JP2011077249A

JP2011077249A - ウエハー収納方法

Info

Publication number: JP2011077249A
Application number: JP2009226393A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Fujii; 務藤井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-09-30
Filing date: 2009-09-30
Publication date: 2011-04-14

Abstract

【課題】容器本体内にウエハーを収納して搬送を行なう場合に、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動により、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうことがある。
【解決手段】半導体ウエハー３０を保護する防塵シート３１と前記半導体ウエハー３０とを、容器本体内に収納された摩擦シート２１上に交互に積層して収納する。この摩擦シート２１は、当該摩擦シート２１と当接する防塵シート３１の回転を防止する摩擦係数を有する。
【選択図】図３

Description

本発明は、容器本体内にウエハーを収納するウエハー収納方法に関する。

ウエハー搬送用の容器本体内にウエハーを収納して搬送を行なう場合に、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動により、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうことがある。その結果、搬送後に自動機による開梱作業ができなくなってしまうことがある。更に、ウエハーの回転に伴って、ウエハーに形成した製品を破損してしまう可能性もある。そこで、従来から考案されているウエハーの回転防止機構として、例えば特許文献１では、容器本体内に収納されているウエハーを個々にストッパーで押さえる搬送用の容器が提案されている。

特開２００６−１２０８５１号公報

しかしながら、特許文献１に記載されているような搬送用の容器では、容器本体内にウエハーとウエハーの保護用部材とを交互に積層させて収納する場合には、利用することができない問題がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係るウエハー収納方法は、容器本体内にウエハーを収納するウエハー収納方法であって、前記ウエハーを保護する防塵シートと前記ウエハーとを、前記容器本体内に収納された摩擦シート上に交互に積層して収納し、前記摩擦シートは、当該摩擦シートと当接する前記防塵シートの回転を防止する摩擦係数を有することを特徴とする。

このウエハー収納方法によれば、容器本体内へウエハーを収納する際、摩擦シート上に、防塵シートとウエハーとを交互に積層して収納する。この摩擦シートは、当接する防塵シートの回転を防止する摩擦係数を有している。これにより、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動等が原因で、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうのを抑制することができる。

［適用例２］本適用例に係るウエハー収納方法は、容器本体内にウエハーを収納するウエハー収納方法であって、前記ウエハーを保護する防塵シートと前記ウエハーとを、前記容器本体内に交互に積層して収納し、前記防塵シートは、前記容器本体に嵌合して当該防塵シートの回転を防止する形状を有することを特徴とする。

このウエハー収納方法によれば、容器本体内へウエハーを収納する際、防塵シートとウエハーとを交互に積層して収納する。この防塵シートは、容器本体に嵌合して防塵シートの回転を防止する形状を有している。これにより、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動等が原因で、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうのを抑制することができる。

［適用例３］本適用例に係るウエハー収納方法は、容器本体内にウエハーを収納するウエハー収納方法であって、前記ウエハーを保護する防塵シートと前記ウエハーとを、前記容器本体内に収納された摩擦シート上に交互に積層して収納し、前記摩擦シートは、当該摩擦シートと当接する前記防塵シートの回転を防止する摩擦係数を有し、且つ前記防塵シートは、前記容器本体に嵌合して当該防塵シートの回転を防止する形状を有することを特徴とする。

このウエハー収納方法によれば、容器本体内へウエハーを収納する際、摩擦シート上に、防塵シートとウエハーとを交互に積層して収納する。この摩擦シートは、当接する防塵シートの回転を防止する摩擦係数を有している。更に、防塵シートは、容器本体に嵌合して防塵シートの回転を防止する形状を有している。これにより、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動等が原因で、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうのを更に強固に抑制することができる。

半導体ウエハー収納方法における容器本体を示す斜視図。半導体ウエハーが収納された状態の容器本体を横から見た図。容器本体内に収納された半導体ウエハーの積層状態を示す模式図。第２実施形態において、容器本体内に収納された半導体ウエハーの積層状態を示す模式図。第２実施形態における防塵シートが容器本体内に積層された状態を、容器本体の上から見た図。

（第１実施形態）
以下、第１実施形態に係る半導体ウエハー収納方法について、図面を参照して説明する。

図１は、第１実施形態に係る半導体ウエハー収納方法における容器本体１０を示す斜視図である。同図では、半導体ウエハーが収納されていない空の状態の容器本体１０を示している。
図１に示す容器本体１０は、半導体ウエハーを収納する円筒状の部材であり、容器本体１０の内径は、収納する半導体ウエハーの外径より僅かに大きく作られている。また、容器本体１０の側面部１２には、側面部１２の上端から容器本体１０の底部１１に亘って４つの所定幅のスリット１２ａが容器本体１０の周方向に形成されている。なお、なお容器本体１０の材料は特に限定されず、例えばポリプロピレン等で形成される。

図２は、半導体ウエハー３０が収納された状態の容器本体１０を横から見た図である。また、図３は、容器本体１０内に収納された半導体ウエハー３０の積層状態を示す模式図である。
図２及び図３に示す変形防止板２０は、半導体ウエハー３０と共に容器本体１０内に収納されて半導体ウエハー３０の変形を防止する所定の厚さの板材である。変形防止板２０の材料としては、例えば、ポリカーボネイトやＡＢＳ樹脂等が用いられる。また、変形防止板２０の平面形状は、本実施形態では半導体ウエハー３０の円形状と同一の円形状を有している。

摩擦シート２１は、当該摩擦シート２１上に当接して積層される防塵シート３１が回転するのを防止するために用いるシート材である。摩擦シート２１としては、防塵シート３１の回転を防止するために、例えば、摩擦係数の高いＰＥシート等が用いられる。また、摩擦シート２１の形状は、本実施形態では半導体ウエハー３０の円形状と同一の円形状を有している。

防塵シート３１は、半導体ウエハー３０同士を直接当接させないようにして半導体ウエハー３０を保護するために用いるシート材である。また、防塵シート３１の形状は、本実施形態では半導体ウエハー３０の円形状と同一の円形状を有している。

第１実施形態に係る半導体ウエハー収納方法では、容器本体１０内に半導体ウエハー３０を収納する際に、先ず、容器本体１０の底部１１に、変形防止板２０と摩擦シート２１とを積層する。次に、当該摩擦シート２１上に防塵シート３１と半導体ウエハー３０とを交互に積層する。そして最後に、これらの摩擦シート２１、複数の防塵シート３１及び半導体ウエハーを上からサンドイッチ状に挟むように変形防止板２０を積層する。

このようにして半導体ウエハー３０が収納された容器本体１０内は、摩擦シート２１上に防塵シート３１と半導体ウエハー３０とが交互に積層された状態になっている。この摩擦シート２１は、当接する防塵シート３１の回転を防止する摩擦係数を有している。
これにより、容器本体１０へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動等が原因で、容器本体１０内に収納された半導体ウエハー３０が、防塵シート３１の回転に伴って回転してしまうのを抑制することができる。この結果、半導体ウエハー３０の回転によって搬送後に自動機による開梱作業ができなくなったり、半導体ウエハー３０に形成した製品が破損したりするのを防止することができる。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態に係る半導体ウエハー収納方法について、図面を参照して説明する。

第２実施形態に係る半導体ウエハー収納方法における容器本体は、前述した第１実施形態における容器本体１０と同様である。しかし、第２実施形態に係る半導体ウエハー収納方法では、容器本体１０内に積層する内容が第１実施形態とは異なっている。

図４は、第２実施形態において、容器本体１０内に収納された半導体ウエハー３０の積層状態を示す模式図である。同図に示すように、ここでは、第１実施形態における摩擦シート２１が容器本体１０内に収納されていない。そして、変形防止板２０上に防塵シート４１と半導体ウエハー３０とが交互に積層されている。更に、防塵シート４１の形状が第１実施形態における防塵シート３１の形状とは異なっている。

図５は、第２実施形態における防塵シート４１が容器本体１０内に積層された状態を、容器本体１０の上から見た図である。同図に示すように、防塵シート４１の形状は、第１実施形態における防塵シート３１のような円形状ではなく、容器本体１０の側面部１２に設けられた４つのスリット１２ａの部分に突出し、容器本体１０に嵌合する形状となっている。

第２実施形態に係る半導体ウエハー収納方法では、容器本体１０内に半導体ウエハー３０を収納する際に、先ず、容器本体１０の底部１１に、変形防止板２０を積層する。次に、当該変形防止板２０上に、容器本体１０から一部が突出して嵌合する形状の防塵シート４１と半導体ウエハー３０とを交互に積層する。そして最後に、これらの複数の防塵シート４１及び半導体ウエハー３０を上からサンドイッチ状に挟むように変形防止板２０を積層する。

このようにして半導体ウエハー３０が収納された容器本体１０内は、変形防止板２０上に防塵シート４１と半導体ウエハー３０とが交互に積層された状態になっている。この防塵シート４１は、容器本体１０から一部が突出して嵌合する形状となっている。
この防塵シート４１と容器本体１０との嵌合により、容器本体１０へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動等が原因で、容器本体１０内に収納された半導体ウエハー３０が、防塵シート４１の回転に伴って回転してしまうのを抑制することができる。

（第３実施形態）
次に、第３実施形態に係る半導体ウエハー収納方法について、図面を参照して説明する。

第３実施形態に係る半導体ウエハー収納方法における容器本体は、前述した第１実施形態における容器本体１０と同様である。また、容器本体１０内に積層する内容についても第１実施形態と同様であるが、第１実施形態における防塵シート３１に替えて第２実施形態における防塵シート４１を積層する。
つまり、防塵シート４１が回転するのを防止するために摩擦シート２１を用いるのに加えて、容器本体１０から一部が突出して嵌合する形状の防塵シート４１を用いることで当該防塵シート４１の回転を防止する。

このようにして半導体ウエハー３０が収納された容器本体１０内は、摩擦シート２１上に防塵シート４１と半導体ウエハー３０とが交互に積層された状態になっている。この摩擦シート２１は、当接する防塵シート４１の回転を防止する摩擦係数を有している。更に、この防塵シート４１は、容器本体１０から一部が突出して嵌合する形状となっている。
この摩擦シート２１、及び防塵シート４１と容器本体１０との嵌合により、容器本体１０へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動等が原因で、容器本体１０内に収納された半導体ウエハー３０が、防塵シート４１の回転に伴って回転してしまうのを更に強固に抑制することができる。

なお、上記した実施形態では、容器本体１０内に収納するウエハーとして半導体ウエハーを例示している。しかし、収納するウエハーの種類はこれには限られず、その他のウエハーにも適用することができる。また、容器本体１０内に収納するウエハーの枚数は、複数枚数に限られず、１枚であっても良い。

また、上記した実施形態では、容器本体１０内に２枚の変形防止板２０が収納されている。しかし、収納する変形防止板２０の枚数は、これには限られず、例えば、変形防止板２０が１枚であっても３枚以上であっても良い。また、場合によっては変形防止板２０を収納しなくても良い。また、変形防止板２０以外の部材を容器本体１０内に収納しても良い。

また、上記した実施形態では、容器本体１０の側面部１２に４つのスリット１２ａを形成した。しかし、スリット１２ａの個数はこれに限られず、例えば４つより少なくても多くても良い。また、上記した第１及び第３実施形態における防塵シート４１の形状は、各スリット１２ａの全てに応じた形状であっても一部のスリット１２ａに応じた形状であっても良い。また、防塵シート４１の形状は、スリット１２ａ以外の部材に嵌合する形状であっても良い。

１０…容器本体、１１…底部、１２…側面部、１２ａ…スリット、２０…変形防止板、２１…摩擦シート、３０…半導体ウエハー、３１，４１…防塵シート。

Claims

容器本体内にウエハーを収納するウエハー収納方法であって、
前記ウエハーを保護する防塵シートと前記ウエハーとを、前記容器本体内に収納された摩擦シート上に交互に積層して収納し、
前記摩擦シートは、当該摩擦シートと当接する前記防塵シートの回転を防止する摩擦係数を有することを特徴とするウエハー収納方法。
容器本体内にウエハーを収納するウエハー収納方法であって、
前記ウエハーを保護する防塵シートと前記ウエハーとを、前記容器本体内に交互に積層して収納し、
前記防塵シートは、前記容器本体に嵌合して当該防塵シートの回転を防止する形状を有することを特徴とするウエハー収納方法。
容器本体内にウエハーを収納するウエハー収納方法であって、
前記ウエハーを保護する防塵シートと前記ウエハーとを、前記容器本体内に収納された摩擦シート上に交互に積層して収納し、
前記摩擦シートは、当該摩擦シートと当接する前記防塵シートの回転を防止する摩擦係数を有し、且つ前記防塵シートは、前記容器本体に嵌合して当該防塵シートの回転を防止する形状を有することを特徴とするウエハー収納方法。