JP5318060B2 - 半導体ウエハーの収納容器 - Google Patents
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Description
半導体ウエハーと当接する底面の位置が、容器部本体の底部よりも上に位置しているので、平面に容器部本体を置いた状態で底部に加わる振動や衝撃は直接底面に伝わることがない。
2 底面
3 底面
5 外側面
6 底辺
7 外側面
8 内側壁
9 外側壁
10 最上部の表面部
11 円弧状内側壁
12 立ち上がり剛構造部
13 係止部(破線部)
14 蓋部
15 容器部本体
16 容器部本体
17 容器部本体
18 蓋部
21 上部平面
22 上部平面
31 上部平面
32 上部平面
41 上部円弧状部
51 外側面
61 底辺
71 外側面
81 外側壁
91 外側壁
92 外側壁
93 外側壁
100 接続部
111 内側壁
131 係止部(破線部)
132 係止部(破線部)
Claims (9)
- 容器部本体と蓋部からなる半導体ウエハーの収納容器であって、容器部本体が半導体ウエハーと当接する底面と該底面から立ち上がる側壁からなり、側壁が柔構造を有する内側壁及び外側壁の2重構造に形成され、容器部本体の外側壁と蓋部の外側壁内側が各々嵌合して密閉状態を形成することを特徴とする半導体ウエハーの収納容器。
- 半導体ウエハーと当接する底面の位置が、容器部本体の底部よりも上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の側壁が3面のみ形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 蓋部の外側壁の角部に設けられた係止部と、容器部本体の外側壁の角部に設けられた係止部が各々嵌合することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の外側壁、最上部の表面部、内側壁壁及び立ち上がり剛構造部の連続構造により、上下方向に対して剛性を有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 蓋部上面に形成された凹凸形状と、上に重ねた容器部本体の底面の凹凸形状が一致して嵌合することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の内側壁の角部が、収納した半導体ウエハーの角部と当接しない形状であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の内側壁の角部底面が、収納した半導体ウエハーの角部底部と当接しない形状であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体と蓋部が一体に成形されていることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
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