JP2012071880A - 半導体ウエハーの収納容器 - Google Patents
半導体ウエハーの収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012071880A JP2012071880A JP2010219785A JP2010219785A JP2012071880A JP 2012071880 A JP2012071880 A JP 2012071880A JP 2010219785 A JP2010219785 A JP 2010219785A JP 2010219785 A JP2010219785 A JP 2010219785A JP 2012071880 A JP2012071880 A JP 2012071880A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- container
- wall
- storage container
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
【解決手段】 容器部本体と蓋部からなる半導体ウエハーの収納容器であって、容器部本体が半導体ウエハーと当接する底面と該底面から立ち上がる側壁からなり、側壁が柔構造を有する内側壁及び外側壁の2重構造に形成され、容器部本体の外側壁と蓋部の外側壁内側が各々嵌合して密閉状態を形成することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
半導体ウエハーと当接する底面の位置が、容器部本体の底部よりも上に位置しているので、平面に容器部本体を置いた状態で底部に加わる振動や衝撃は直接底面に伝わることがない。
2 底面
3 底面
5 外側面
6 底辺
7 外側面
8 内側壁
9 外側壁
10 最上部の表面部
11 円弧状内側壁
12 立ち上がり剛構造部
13 係止部(破線部)
14 蓋部
15 容器部本体
16 容器部本体
17 容器部本体
18 蓋部
21 上部平面
22 上部平面
31 上部平面
32 上部平面
41 上部円弧状部
51 外側面
61 底辺
71 外側面
81 外側壁
91 外側壁
92 外側壁
93 外側壁
100 接続部
111 内側壁
131 係止部(破線部)
132 係止部(破線部)
Claims (9)
- 容器部本体と蓋部からなる半導体ウエハーの収納容器であって、容器部本体が半導体ウエハーと当接する底面と該底面から立ち上がる側壁からなり、側壁が柔構造を有する内側壁及び外側壁の2重構造に形成され、容器部本体の外側壁と蓋部の外側壁内側が各々嵌合して密閉状態を形成することを特徴とする半導体ウエハーの収納容器。
- 半導体ウエハーと当接する底面の位置が、容器部本体の底部よりも上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の側壁が3面のみ形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 蓋部の外側壁の角部に設けられた係止部と、容器部本体の外側壁の角部に設けられた係止部が各々嵌合することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の外側壁、最上部の表面部、内側壁壁及び立ち上がり剛構造部の連続構造により、上下方向に対して剛性を有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 蓋部上面に形成された凹凸形状と、上に重ねた容器部本体の底面の凹凸形状が一致して嵌合することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の内側壁の角部が、収納した半導体ウエハーの角部と当接しない形状であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体の内側壁の角部底面が、収納した半導体ウエハーの角部底部と当接しない形状であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
- 容器部本体と蓋部が一体に成形されていることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の半導体ウエハーの収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010219785A JP5318060B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 半導体ウエハーの収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010219785A JP5318060B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 半導体ウエハーの収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012071880A true JP2012071880A (ja) | 2012-04-12 |
JP5318060B2 JP5318060B2 (ja) | 2013-10-16 |
Family
ID=46168148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010219785A Active JP5318060B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 半導体ウエハーの収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5318060B2 (ja) |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0243258U (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-26 | ||
JPH1135059A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-09 | Kao Corp | 容 器 |
JPH11171271A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-06-29 | Crown Package:Kk | 収納ケース及び収納ケースの製造方法 |
JP2003012084A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Densei Lambda Kk | 電子部品等の収容体 |
JP2004311779A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハ収納容器及び半導体ウェーハの搬送方法 |
JP2005235994A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウエハトレイ |
JP2005321529A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Arakawa Jushi:Kk | マスクケース |
JP2006222134A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Hitachi Cable Ltd | 半導体ウェハ用トレイ |
JP2007176603A (ja) * | 2007-02-15 | 2007-07-12 | Fujitsu Ltd | 包装体の構造 |
JP2007314236A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Jsp Corp | ガラス基板搬送用ボックス及びガラス基板搬送用包装体 |
JP2009023698A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Seiko Epson Corp | 搬送トレイ |
JP2009141108A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Miraial Kk | 収納容器 |
-
2010
- 2010-09-29 JP JP2010219785A patent/JP5318060B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0243258U (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-26 | ||
JPH1135059A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-09 | Kao Corp | 容 器 |
JPH11171271A (ja) * | 1997-12-10 | 1999-06-29 | Crown Package:Kk | 収納ケース及び収納ケースの製造方法 |
JP2003012084A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-15 | Densei Lambda Kk | 電子部品等の収容体 |
JP2004311779A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハ収納容器及び半導体ウェーハの搬送方法 |
JP2005235994A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウエハトレイ |
JP2005321529A (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Arakawa Jushi:Kk | マスクケース |
JP2006222134A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Hitachi Cable Ltd | 半導体ウェハ用トレイ |
JP2007314236A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Jsp Corp | ガラス基板搬送用ボックス及びガラス基板搬送用包装体 |
JP2007176603A (ja) * | 2007-02-15 | 2007-07-12 | Fujitsu Ltd | 包装体の構造 |
JP2009023698A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Seiko Epson Corp | 搬送トレイ |
JP2009141108A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Miraial Kk | 収納容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5318060B2 (ja) | 2013-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1950151B1 (en) | Packaged body | |
US7322471B2 (en) | Shock absorbing apparatus and method | |
JP4995208B2 (ja) | 梱包用緩衝体および包装体 | |
US20060201847A1 (en) | Protective shipper | |
EP2116480A1 (en) | Packaging body for honeycomb structure | |
JP4597495B2 (ja) | ガラス板梱包ユニット | |
CN101181950A (zh) | 包装箱 | |
JP2007197011A (ja) | 梱包用緩衝体および包装体 | |
JP2002160769A (ja) | 容器の緩衝体 | |
JP2007039091A (ja) | ガラス板梱包ユニット | |
JP2007039092A (ja) | ガラス板梱包ユニット | |
JP5721576B2 (ja) | 梱包体及び緩衝体 | |
JP5318060B2 (ja) | 半導体ウエハーの収納容器 | |
JP6673185B2 (ja) | 緩衝材 | |
JP2017084869A (ja) | セパレータ | |
JP6849047B2 (ja) | 緩衝材 | |
WO2012058676A2 (en) | Substrate shipper | |
JP7005839B2 (ja) | 緩衝体及び梱包体 | |
JP2017050500A (ja) | セパレータ | |
JP2011051643A (ja) | 太陽電池パネル用梱包材 | |
JP6068096B2 (ja) | ウェーハカセットの梱包体 | |
TW201233602A (en) | Substrate shipper | |
JP2005041503A (ja) | 半導体ウェーハの輸送用緩衝体 | |
JP7381496B2 (ja) | 異なったサイズの物品のための緩衝梱包体 | |
WO2023210078A1 (ja) | 梱包ユニットおよび輸送コンテナ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120604 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130709 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5318060 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |