JP6673185B2 - 緩衝材 - Google Patents
緩衝材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6673185B2 JP6673185B2 JP2016249986A JP2016249986A JP6673185B2 JP 6673185 B2 JP6673185 B2 JP 6673185B2 JP 2016249986 A JP2016249986 A JP 2016249986A JP 2016249986 A JP2016249986 A JP 2016249986A JP 6673185 B2 JP6673185 B2 JP 6673185B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- cushioning material
- storage container
- rib
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 148
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 60
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 55
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 16
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 11
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 9
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 7
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 4
- 229920006248 expandable polystyrene Polymers 0.000 claims description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 14
- 239000011111 cardboard Substances 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 4
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000006261 foam material Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
輸送の際には、梱包ケースが搬送装置から落下する等して、衝撃力等の外力が収納容器に作用することがある。そのため、外力によって半導体ウェーハが変形・損傷しない構造が必要である。このような構造としては、収納容器と梱包ケースの間に緩衝材を設けた構造がある。
特許文献1には、個別パレットを、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリウレタン等の緩衝能力に優れる発泡材料で構成して、緩衝材とすることも記載されている。
特許文献2では、ショア00硬度が20°〜120°の弾性緩衝体が好ましいとされている。具体的にはエラストマーやゴムが挙げられている。
特許文献4には、底板の代わりに発泡スチロール製の緩衝材を用いてもよいことが記載されている。半導体ウェーハケースの上面に蓋体を設け、蓋体の裏面にスポンジ状のポリウレタンを設け、衝撃を吸収する構造も記載されている。
上部緩衝体は、ウェーハ収納容器の上部を収納するアッパ凹部と、アッパ凹部の外周に設けられ、ウェーハ収納容器の上端面に接触する押し付けリブを備えている。
下部緩衝体の底面には衝撃吸収用突起が設けられている。衝撃吸収用突起は、ウェーハ収納容器を収納したコンテナが落下して床に衝突した際に、衝突の衝撃で潰れることにより、衝撃エネルギーを吸収して半導体ウェーハに衝撃が伝わらないようにする。
収納容器の外形は単純な箱型に限られない。収納する半導体ウェーハの形状に沿った円弧状の部分や、収納容器を置く場合に、底面の片当たりを防ぐための脚部を備えた構造がある。
そのため、収納容器において、衝撃が加えられた場合に半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位がどこであるかは、内部の構造や外形に依存する。
また、緩衝材を設けると、梱包体の重量や体積が増えて作業性が悪化するため、位置や寸法にも留意する必要がある。
特許文献5に記載の構造は、衝撃吸収用突起の位置および形状が特定されているが、収納箱と接触しない外側に設けられており、半導体ウェーハを変形・損傷させる可能性が高い部位を保護する構造ではない。
上面が開放された箱型の本体と、前記上面を塞ぐ蓋と、前記蓋の裏側に設けられ、前記本体内に収容された前記半導体ウェーハの上部周縁と当接し、前記半導体ウェーハの移動を規制する保持部と、を備え、前記緩衝材は、前記蓋の上面と接触する上部収納部を備えた上部緩衝材を有し、前記上部収納部は、前記蓋の上面と離間して対向する上部対向面と、前記上部対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する上部側リブと、を備え、前記上部側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることを特徴とする。
この発明によれば、収納容器に対して緩衝材の平面上の設置角度が90°ずれていても保持部を押さえられる位置に上部側リブが位置するため、緩衝材を設ける際の位置の自由度を高くでき、作業効率に優れる。
この発明によれば、緩衝材が収納容器と接触した状態でも孔から収納容器を視認できる。そのため、緩衝材が確実に収納容器に保持されているかを容易に確認できる。また、孔部の内周を掴むことにより、容易に収納容器から緩衝材を取り外せるため、作業効率に優れる。
また、この発明によれば、底面側リブが収納容器の底面と接触した状態で、脚部が底面対向面と離間する。よって、脚部が底面対向面に接触して底面側リブから収納容器の底面が浮くのを防ぐことができ、収納容器の底面を確実に保護できる。
この発明によれば、1組の上部緩衝材、中部緩衝材、下部緩衝材で4つ以上の収納容器を保護できるため、輸送や梱包の際の作業効率に優れる。
この発明によれば、緩衝材を発泡倍率が20倍以上、40倍以下の発泡体で構成するので、外部からの衝撃に対して耐えられる硬さと、衝撃を吸収する柔らかさを両立できる。
この発明によれば、緩衝材を発泡倍率が20倍以上、40倍以下の発泡体に容易にできる。
まず、図1〜図3を参照して、本実施形態に係る緩衝材の概略構成について、簡単に説明する。
図1では、上部緩衝材1と中部緩衝材5の間に上段の収納容器7が3つ設けられ、中部緩衝材5と下部緩衝材3の間に下段の収納容器7が3つ設けられる。
緩衝材100は、さらに、下部緩衝材3の底面に設けられた振動吸収材9を備える。
以上が本実施形態に係る緩衝材100の概略構成の説明である。
収納容器7は、図2に示す半導体ウェーハ200を収納する容器であり、例えばFOSB(Front Opening Shipping Box)である。収納容器7は、図4に示すように、上面が開放された箱型の本体81と、上面を塞ぐ蓋83を有する。
脚部87は、本体81の底面86から突出するように底面86の端部に設けられた、少なくとも一対の脚である。ここでは4隅に1つずつ設けられる。
ウェーハ収納部85は、半導体ウェーハ200の外縁側部と接触する側部収納部85Aと、半導体ウェーハ200の外縁底部と接触する底部収納部85Bから構成される。
ここでは、側部収納部85Aは、本体81の対向する内周側面に1対設けられている。底部収納部85Bは、底面86の直上に2つ設けられている。2つの側部収納部85Aは、溝の配列方向に互いに平行に配置されている。
蓋83は、平面形状が矩形の板状部材であり、図4および図5に示すように、一対のロック部89と、保持部91を有する。
ロックレバー89Cは、ロック部側に押し込むことにより、ロック棒89AをD1の向きに、ロック棒89BをD2の向きに移動させて蓋83の外側に押し出す。押し出されたロック棒89A、89Bの先端は本体81の凹部81Aに係合し、蓋83を本体81にロックして固定する。ロックした状態で、ロックレバー89Cの位置を元に戻すことで、ロック棒89A、89Bを蓋83の内側に引き戻し、ロックを解除する。
図5では、保持部91は蓋83の矩形を構成する辺の1つに平行になるように、蓋83の中央部に、半導体ウェーハ200の配列方向(縦方向)に平行に設けられている。
以上が収納容器7の構造の説明である。
上部緩衝材1は、上段の収納容器7の上面に設けられる緩衝材であり、平面形状が矩形の板材である。上部緩衝材1は、図6に示すように、収納容器7の蓋83と接触する上部収納部13A、13B、13Cを備える。
上部側リブ15、17は上部対向面14から突出した縦長のリブであり、少なくとも一方が蓋83の上面と接触し、接触した状態で、少なくとも保持部91が設けられた領域の直上に位置する、蓋83の上面領域(ここでは、図5の符号91の示す点線で囲まれた領域)と接触する位置に設けられる。
ここでは、図2に示すように、保持部91が設けられた領域の直上に位置する、蓋83の上面領域と接触する位置に上部側リブ17が設けられる。さらに、上部側リブ17は、その延在方向(縦方向)が、保持部91の延在方向と一致する位置に設けられる。
保持部91は半導体ウェーハ200を保持する部材であり、衝撃の際に半導体ウェーハ200を変形・損傷させる可能性が高いので、上部側リブ17が保持部91を押さえることにより、保持部91を優先して保護できる。
そのため、上部緩衝材1を設ける際の位置の自由度を高くでき、作業効率に優れる。
上部側孔19は、上部緩衝材1が収納容器7に設けられた状態で、収納容器7の上面を視認するために用いられる。上部側孔19は、収納容器7から上部緩衝材1を取り外す際の取っ手の代わりにも用いられる。具体的には、上部側孔19の内周を掴むことにより、容易に上部緩衝材1を取り外せる。
以上が上部緩衝材1の構造の説明である。
下部緩衝材3は、下段の収納容器7の底面に設けられる緩衝材であり、平面形状が矩形の板材である。下部緩衝材3は、収納容器7の底面と接触する下部収納部31A、31B、31Cを備える。
下部対向面33は、脚部87と離間して収納容器7の底面86と対向する面であり、下部収納部31A、31B、31Cの底面である。
下部対向面33は脚部87と離間するので、図2および図3に示すように、下部側リブ35の高さH1は、収納容器7の底面86と接触した状態で、脚部87が下部対向面33と離間する高さである。
よって、脚部87が下部対向面33に接触して、下部側リブ35から収納容器7の底面86が浮くのを防ぐことができ、収納容器7の底面86を確実に保護できる。
下部側リブ35は、底部収納部85Bと対向する位置(ここでは直下)に設けられるのが好ましい。理由は以下の通りである。
図2および図3では、底部収納部85Bは、底面86の直上に設けられているため、底面86に衝撃が加えられると、衝撃が底部収納部85Bに伝わり、半導体ウェーハ200を変形・損傷させる可能性がある。そのため、下部側リブ35を、底部収納部85Bと対向する位置に設けることにより、底面86を介して底部収納部85Bを押さえることができる。これにより、底部収納部85Bを優先して保護でき、好ましい。
以上が下部緩衝材3の構造の説明である。
中部緩衝材5は、上段の収納容器7の底面、および下段の収納容器7の上面に設けられる緩衝材であり、板状の中部緩衝材本体51を備える。
中部蓋収納部53A、53B、53Cは、収納容器7の上端に嵌まり込んで保持される凹部である。ここでは、平面形状が矩形の凹部である。
中部蓋収納部53A、53B、53Cは、蓋対向面54、蓋側リブ55、57、蓋側孔59、蓋側補強リブ61を備える。
蓋側リブ55、57は蓋対向面54から突出したリブであり、少なくとも一方が蓋83の上面と接触し、接触した状態で、少なくとも保持部91が設けられた領域の直上に位置する、蓋83の上面領域と接触する位置に設けられる。ここでは、図2に示すように、保持部91が設けられた領域の直上に位置する、蓋83の上面領域と接触する位置に蓋側リブ57が設けられる。さらに、蓋側リブ57は、その延在方向(縦方向)が、保持部91の延在方向と一致する位置に設けられる。
よって、上部側リブ17と同様に、蓋側リブ57が保持部91を押さえることにより、保持部91を優先して保護できる。
十字形であることにより、中部緩衝材5の平面上の設置角度が90°ずれていても、保持部91を押さえられる位置に蓋側リブ55、57のいずれかが位置する。
蓋側補強リブ61は、中部蓋収納部53A、53B、53Cの隣接する側面を連結するように設けられたL字型のリブであり、中部蓋収納部53A、53B、53Cの側面を補強する。
中部底面収納部71A、71B、71Cは収納容器7の下端に嵌まり込んで保持される形状の凹部である。ここでは、平面形状が矩形の凹部である。中部底面収納部71A、71B、71Cは、底面対向面73、底面側リブ75を備える。
底面側リブ75は中部底面収納部71A、71B、71Cから突出したリブであり、図2および図3に示すように収納容器7の底面86と接触する位置に設けられる。
底面対向面73は脚部87と離間するので、図2および図3に示すように、底面側リブ75の高さH2は、収納容器7の底面86と接触した状態で、脚部87が底面対向面73と離間する高さである。
よって、脚部87が底面対向面73に接触して、下部側リブ35から収納容器7の底面86が浮くのを防ぐことができ、収納容器7の底面86を確実に保護できる。
以上が中部緩衝材5の構造の説明である。
緩衝材100は、外部からの衝撃に対して破損せずに耐えられる硬さと、衝撃を吸収して、収納容器7に衝撃が伝わらないようにできる程度の柔らかさが必要である。このような要件を満たす材料としては、発泡倍率が20倍以上、40倍以下の発泡体が好ましい。
具体的な発泡体としては、発泡ポリウレタン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、または発泡ポリスチレンが挙げられる。
以上が、緩衝材100を構成する材料の説明である。
振動吸収材9は、収納容器7を緩衝材100で梱包した状態で、床に置く際に生じる振動を吸収する部材であり、板材9A、9B、および弾性体9Cを備える。
板材9A、9Bは、互いに対向して設けられ、それぞれ緩衝材および床と接触する部材である。板材9A、9Bは、例えばプラスチック板で構成される。
弾性体9Cは、振動に対して弾性変形することにより、振動を吸収する部材であり、板材9A、9Bに挟まれるように設けられる。弾性体9Cは、例えばポリウレタン、合成ゴム、ポリエチレンで構成される。
以上が、振動吸収材9の構造の説明である。
そのため、上部緩衝材1を収納容器7に設けると、上部側リブ17が保持部91を押さえることができ、衝撃の際に半導体ウェーハ200を変形・損傷させる可能性が高い、保持部91を優先して保護できる。
そのため、上部緩衝材1を設ける際の位置の自由度を高くでき、作業効率に優れる。
そのため、上部緩衝材1が確実に収納容器7に保持されているかを容易に確認できる。また、収納容器7から上部緩衝材1を取り外す際に、上部側孔19の内周を取っ手の代わりに掴むことにより、容易に収納容器7から上部緩衝材1を取り外せるため、作業効率に優れる。
そのため、脚部87が下部対向面33に接触して、下部側リブ35から収納容器7の底面86が浮くのを防ぐことができ、収納容器7の底面86を確実に保護できる。
そのため、中部緩衝材5を収納容器7に設けると、蓋側リブ57が保持部91を押さえることができ、衝撃の際に半導体ウェーハ200を変形・損傷させる可能性が高い、保持部91を優先して保護できる。
そのため、脚部87が底面対向面73に接触して、底面側リブ75から収納容器7の底面86が浮くのを防ぐことができ、収納容器7の底面86を確実に保護できる。
よって中部緩衝材5は、上部緩衝材1や下部緩衝材3として用いることもできる。また、収納容器7を高さ方向に多段に収納できる。
そのため、緩衝材100を発泡倍率が20倍以上、40倍以下の発泡体に容易にできる。
そのため1組の上部緩衝材1、下部緩衝材3、中部緩衝材5で4つ以上(ここでは6つ)の収納容器7を保護できるため、輸送や梱包の際の作業効率に優れる。
Claims (7)
- 半導体ウェーハを収納する収納容器を梱包ケースに梱包する際に、前記収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、
前記収納容器は、
上面が開放された箱型の本体と、前記上面を塞ぐ蓋と、前記蓋の裏側に設けられ、前記本体内に収容された前記半導体ウェーハの上部周縁と当接し、前記半導体ウェーハの移動を規制する保持部と、
底面から突出するように前記底面に設けられた少なくとも一対の脚部と、
を備え、
前記緩衝材は、前記蓋の上面と接触する上部収納部を備えた上部緩衝材と、前記底面と接触する下部収納部を備えた下部緩衝材と、前記蓋および前記底面と接触する中部緩衝材と、を有し、
前記上部収納部は、
前記蓋の上面と離間して対向する上部対向面と、前記上部対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する上部側リブと、
を備え、
前記上部側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられており、
前記下部収納部は、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する下部対向面と、前記下部対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する下部側リブを備え、
前記中部緩衝材は、板状の中部緩衝材本体と、
前記中部緩衝材本体の底面に設けられ、前記蓋の上面と離間して対向する蓋対向面と、前記蓋対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する蓋側リブとを有する中部蓋収納部と、
前記中部緩衝材本体の上面に設けられ、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する底面対向面と、前記底面対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する底面側リブを有する中部底面収納部と、
を備え、
前記蓋側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることを特徴とする、緩衝材。 - 請求項1に記載の緩衝材であって、
前記上部側リブは、平面形状が十字形であることを特徴とする、緩衝材。 - 請求項2に記載の緩衝材であって、
前記上部側リブは、十字の交差部に上部側孔が設けられていることを特徴とする、緩衝材。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の緩衝材であって、
前記上部収納部、前記下部収納部、前記中部蓋収納部、前記中部底面収納部は複数組配列されていることを特徴とする、緩衝材。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の緩衝材であって、発泡倍率が20倍以上、40倍以下の発泡体で構成されることを特徴とする、緩衝材。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の緩衝材であって、発泡ポリウレタン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、または発泡ポリスチレンのいずれかで構成されることを特徴とする、緩衝材。
- 半導体ウェーハを収納する収納容器を梱包ケースに梱包する際に、前記収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、
前記収納容器は、
上面が開放された箱型の本体と、前記上面を塞ぐ蓋と、前記蓋の裏側に設けられ、前記本体内に収容された前記半導体ウェーハの上部周縁と当接し、前記半導体ウェーハの移動を規制する保持部と、
底面から突出するように前記底面の端部に設けられた少なくとも一対の脚部と、を備え、
前記緩衝材は、前記蓋の上面および前記収納容器の前記底面と接触する中部緩衝材を有し、
前記中部緩衝材は、板状の中部緩衝材本体と、
前記中部緩衝材本体の底面に設けられ、前記蓋の上面と離間して対向する蓋対向面と、前記蓋対向面から突出し、前記蓋の上面と接触する蓋側リブとを有する中部蓋収納部と、
前記中部緩衝材本体の上面に設けられ、前記脚部と離間して前記収納容器の前記底面と対向する底面対向面と、前記底面対向面から突出し、前記収納容器の前記底面と接触する底面側リブを有する中部底面収納部と、
を備え、
前記蓋側リブは、少なくとも前記保持部が設けられた領域の直上に位置する前記蓋の上面領域と接触する位置に設けられていることを特徴とする、緩衝材。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016249986A JP6673185B2 (ja) | 2016-12-22 | 2016-12-22 | 緩衝材 |
TW106144936A TWI673215B (zh) | 2016-12-22 | 2017-12-21 | 緩衝材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016249986A JP6673185B2 (ja) | 2016-12-22 | 2016-12-22 | 緩衝材 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019221053A Division JP6849047B2 (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 緩衝材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018107216A JP2018107216A (ja) | 2018-07-05 |
JP6673185B2 true JP6673185B2 (ja) | 2020-03-25 |
Family
ID=62787569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016249986A Active JP6673185B2 (ja) | 2016-12-22 | 2016-12-22 | 緩衝材 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6673185B2 (ja) |
TW (1) | TWI673215B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7263752B2 (ja) * | 2018-12-11 | 2023-04-25 | 三菱電機株式会社 | 梱包装置 |
JP2023162706A (ja) * | 2022-04-27 | 2023-11-09 | 株式会社Sumco | 梱包ユニットおよび輸送コンテナ |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5946880U (ja) * | 1982-09-21 | 1984-03-28 | 積水化成品工業株式会社 | 自動車のヒーターユニット等の緩衝包装材 |
JPS60110676A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-17 | 株式会社日立製作所 | ブラウン管梱包用緩衝材 |
JP3556185B2 (ja) * | 2000-06-13 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | シール部材、密封容器及びそのシール方法 |
US6644477B2 (en) * | 2002-02-26 | 2003-11-11 | Entegris, Inc. | Wafer container cushion system |
JP4193472B2 (ja) * | 2002-11-15 | 2008-12-10 | 株式会社カネカ | ウェーハ容器緩衝体 |
JP4827500B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2011-11-30 | 信越ポリマー株式会社 | 梱包体 |
JP5165623B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2013-03-21 | 積水化成品工業株式会社 | 緩衝包装材 |
JP5503258B2 (ja) * | 2009-11-13 | 2014-05-28 | 積水化成品工業株式会社 | 梱包体およびその組立方法 |
EP2544965B1 (en) * | 2010-03-11 | 2019-05-22 | Entegris, Inc. | Thin wafer shipper |
JP5687575B2 (ja) * | 2011-07-11 | 2015-03-18 | 株式会社東芝 | ウェハ搬送容器保護ケース |
TWI568653B (zh) * | 2012-05-04 | 2017-02-01 | 恩特葛瑞斯股份有限公司 | 具有安裝在門上的運輸緩衝墊的晶圓容器 |
JP6119287B2 (ja) * | 2013-02-14 | 2017-04-26 | 株式会社Sumco | ウェーハ収納容器梱包用緩衝材 |
TWM488102U (zh) * | 2014-06-12 | 2014-10-11 | Yeuh Tai Ind Co Ltd | 晶圓盒緩衝體之組合結構 |
-
2016
- 2016-12-22 JP JP2016249986A patent/JP6673185B2/ja active Active
-
2017
- 2017-12-21 TW TW106144936A patent/TWI673215B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI673215B (zh) | 2019-10-01 |
TW201827313A (zh) | 2018-08-01 |
JP2018107216A (ja) | 2018-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4827500B2 (ja) | 梱包体 | |
KR101419566B1 (ko) | 곤포용 완충체 및 포장체 | |
US20200198867A1 (en) | Container | |
KR101124086B1 (ko) | 패키징 케이스 | |
JP6673185B2 (ja) | 緩衝材 | |
JP6849047B2 (ja) | 緩衝材 | |
TWI616383B (zh) | 用於捆包基板收納容器的捆包構造體 | |
CN208022088U (zh) | 缓冲构件 | |
JP2007119020A (ja) | 搬送用緩衝材 | |
JP2010208659A (ja) | 緩衝包装材 | |
KR200490607Y1 (ko) | 패널 반송 용기 | |
JP5340769B2 (ja) | 緩衝包装材 | |
JP5721576B2 (ja) | 梱包体及び緩衝体 | |
CN109956194B (zh) | 半导体晶片收纳容器的打包用缓冲体 | |
JP3198007U (ja) | 梱包材及び梱包体 | |
JP6068096B2 (ja) | ウェーハカセットの梱包体 | |
TWI833493B (zh) | 緩衝材料、包裝體以及包裝方法 | |
CN110092092A (zh) | 缓冲构件 | |
JP2020093805A (ja) | 梱包装置 | |
TWI685050B (zh) | 半導體晶圓收納容器的捆包用緩衝體 | |
JP5980716B2 (ja) | 梱包体 | |
JP4401821B2 (ja) | 梱包用緩衝部材 | |
JP5318060B2 (ja) | 半導体ウエハーの収納容器 | |
JP2009012828A (ja) | 梱包容器 | |
JP4946461B2 (ja) | 梱包用緩衝材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6673185 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |