KR101419566B1 - 곤포용 완충체 및 포장체 - Google Patents

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Abstract

낙하시의 충격을 유효하게 흡수할 수 있는 곤포용 완충체 및 포장체를 제공한다. 곤포시에 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 맞닿는 맞닿음부 (25) 와, 이 맞닿음부 (25) 를 갖는 바닥부 (21) 의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽 (22) 사이에 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 대해 맞닿음부 (25) 로부터 이간된 위치에 외주 바닥부 (26) 를 형성하고, 이 외주 바닥부 (26) 와 맞닿음부 (25) 사이에 단차부 (27) 를 형성한다. 이로써, 충격을 받은 경우에 단차부 (27) 가 찌부러져, 맞닿음부 (25) 가 외주 바닥부 (26) 에 대해 적절하게 이동하여, 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다. 따라서, 순간적으로 큰 충격이 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 가해지는 사태를 방지할 수 있어, 낙하 충격을 효율적으로 완충시킬 수 있다.

Description

곤포용 완충체 및 포장체{DAMPING BODY FOR PACKAGING AND PACKAGE BODY}
본 발명은, 트랜지스터나 다이오드 등의 반도체 소자, 메모리나 LSI 등의 반도체 회로 부품, CCD, 반도체 레이저 등의 광학 회로 부품 등을 생산하기 위해서 사용되는 실리콘, 유리, 화합물, 산화물 등의 각종 웨이퍼, 반도체 웨이퍼, 마스크유리, 페리클, 액정 유리, 혹은, 알루미늄이나 유리 등으로 이루어지는 하드 디스크 기판이나 광 디스크 등의 정보 기억 매체 등의 정밀 기판을 수납하는 정밀 기판 수납 용기를 곤포할 때에 사용되는 곤포용 완충체 및 이 완충체를 구비하는 포장체에 관한 것이다.
정밀 기판의 수송용으로 사용되는 정밀 기판 수납 용기로서, 예를 들어, 특허 문헌 1 에 개시된 정밀 기판 수납 용기가 있다. 이 정밀 기판 수납 용기에는, 수납된 정밀 기판을 보호하기 위해서 좌우 방향으로부터 안측으로 크게 장출된 리테이너가 이용되고 있다. 이와 같은 정밀 기판 수납 용기를 안전하게 수송하기 위해서 사용되는 포장체로서, 예를 들어, 특허 문헌 2 및 특허 문헌 3 에 개시된 포장체가 있다. 이들 포장체에는, 정밀 기판 수납 용기의 상부와 하부에 배치되는 1 세트의 완충체가 이용되고 있다. 이들 각 완충체에는, 정밀 기판 수납 용기를 수납하기 위한 수납부가 형성되어 있다. 또, 특허 문헌 4 에는, 발 포 부재를 이용하여 성형된 완충체가 개시되어 있다.
그런데, 포장체에는, 정밀 기판을 안전하게 수송하기 위한 요건으로서, 정밀 기판 수납 용기를 곤포한 포장체를 자연 낙하시켰을 때에, 포장체에 수납되어 있는 정밀 기판 수납 용기나 정밀 기판에 파손 등의 이상을 발생시키지 않는 낙하 높이가 1.0m 이상, 바람직하게는 1.5m 이상으로 될 것이 요망된다.
상기 서술한 특허 문헌 1 에 기재된 정밀 기판 수납 용기는, 정밀 기판을 보호하기 위해서는 바람직하다. 그러나, 덮개의 장착이나 분리를 자동적으로 행하는 전용 장치가 필요한 점, 큰 리테이너를 가지고 있기 때문에 용기 본체로부터 덮개를 제거할 때에 큰 스트로크가 필요한 점, 덮개 개폐 장치의 설치 공간을 불필요하게 취할 필요가 있는 점 등의 문제가 있다. 이들 문제를 해결하기 위해서, 덮개를 제거할 때의 인발 스트로크가 디바이스 메이커 공정 내에서 사용되는 수납 용기와 동등하고, 또한 SEMI 규격 E62, E63 등으로 표준화된 덮개 개폐 장치의 사용이 가능한 정밀 기판 수납 용기가 개발되었다 (특허 문헌 5 참조). 그러나, 이 정밀 기판 수납 용기는, 리테이너에 의한 정밀 기판의 유지 범위가 중앙 부분에 한정되어 있어, 정밀 기판을 유지하는 스트로크도 작았다. 따라서, 이와 같은 정밀 기판 수납 용기를 상기 서술한 특허 문헌 2 ∼ 4 에 개시된 종래의 포장체에 곤포하면, 낙하시의 충격을 충분히 흡수할 수 없어, 특히 포장체의 모서리부나 능선부는 낙하시의 충격에 의한 손상이 커진다. 구체적으로는, 낙하 높이가 0.8m 이상으로 되면, 정밀 기판이 파손되어 파티클이 증가해 버린다. 따라서, 종래의 포장체를 수송용으로 사용할 수 없었다.
특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2000-159288호
특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 평7-307378호
특허 문헌 3 : 일본 공개특허공보 2002-160769호
특허 문헌 4 : 일본 공개특허공보 2004-168324호
특허 문헌 5 : 일본 공개특허공보 2003-174081호
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
그런데, 상기 서술한 종래의 포장체를 보강하기 위해서, 예를 들어, 발포 스티롤이나 우레탄폼 등을 완충 부재로서 사용하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 발포 스티롤이나 우레탄폼 등은 일반적으로 부피가 커지기 쉽고, 포장체의 사이즈도 커지는 점, 그 때문에 큰 보관 공간이나 수송을 위한 공간이 필요해져 공장의 공간 효율이 나빠지는 점, 사용 후에 완충체를 회수하기 위한 수송 비용이 증대된다는 문제가 있었다. 또, 발포 스티롤로 이루어지는 완충체의 경우에는, 단부 (端部) 가 용이하게 파손되기 때문에 미세하게 분쇄된 파편이 공장의 클린룸을 오염시키는 점, 우레탄폼으로 이루어지는 완충체의 경우에는, 파손되기는 어렵지만 발포 개구가 표면에 노출되어 있기 때문에 오염물이 쌓이기 쉬운 점 등의 문제가 있었다. 또, 상기 서술한 바와 같은 문제로 인해 재사용이나 리사이클에도 문제가 있었다. 따라서, 발포 스티롤이나 우레탄폼 등을 완충 부재로서 사용하는 것은 곤란하다.
그래서, 본 발명은 상기 서술한 과제를 해결하기 위해서, 낙하시의 충격을 유효하게 흡수할 수 있는 곤포용 완충체 및 포장체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명의 곤포용 완충체는, 정밀 기판을 수납하는 정밀 기판 수납 용기를 포장체에 곤포할 때에 정밀 기판 수납 용기의 상부 및/또는 하부에 배치되는 곤포용 완충체로서, 곤포시에 정밀 기판 수납 용기의 상면 또는 하면을 덮는 바닥부와, 바닥부의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽과, 외주벽에 형성된 보강부를 구비하고, 바닥부는, 정밀 기판 수납 용기의 상면 또는 하면과 맞닿음 가능한 맞닿음부와, 맞닿음부의 외주에 형성되어, 정밀 기판 수납 용기에 대해 맞닿음부로부터 이간된 위치에 형성된 외주 바닥부를 갖고, 맞닿음부와 외주 바닥부 사이에는 단차부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 발명에 의하면, 곤포시에 정밀 기판 수납 용기에 맞닿는 맞닿음부와, 이 맞닿음부를 갖는 바닥부의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽 사이에 정밀 기판 수납 용기에 대해 맞닿음부로부터 이간된 위치에 외주 바닥부가 형성되고, 이 외주 바닥부와 맞닿음부 사이에 단차부가 형성되어 있다. 이로써, 외부로부터 충격을 받은 경우에 단차부가 찌부러져, 맞닿음부가 외주벽에 대해 적절하게 이동하여, 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다. 따라서, 순간적으로 큰 충격이 정밀 기판 수납 용기에 가해지는 사태를 방지할 수 있어, 낙하 충격을 효과적으로 완충시킬 수 있다.
본 발명의 곤포용 완충체에 있어서, 보강부가 벨로우즈인 것이 바람직하다. 혹은, 보강부를 단면 형상이 원호 형상인 오목부 또는 볼록부로 해도 된다.
본 발명의 곤포용 완충체에 있어서, 맞닿음부는, 외주 바닥부로부터 정밀 기판 수납 용기를 향해 밀어 올리는 대좌부인 것이 바람직하다.
또, 대좌부에는, 정밀 기판 수납 용기와 이간되는 방향으로 돌출되어, 정밀 기판 수납 용기와 이간됨에 따라 직경이 계단 형상으로 작게 만들어진 돌출부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이로써, 외부로부터 충격을 받은 경우, 충격을 돌기부에서 단계적으로 수용하여 완화시킬 수 있다. 따라서, 낙하 충격을 더욱 효과적으로 완충시킬 수 있다.
또, 바닥부는, 정밀 기판 수납 용기의 상면 또는 하면과 대면하는 대향부와, 대향부로부터 정밀 기판 수납 용기와 접근하는 방향으로 돌출하여, 정밀 기판 수납 용기에 접근함에 따라 직경이 계단 형상으로 작게 만들어진 돌출부를 갖고, 맞닿음부는 돌출부에 의해 형성되는 구성으로 해도 된다.
또, 단차부에는, 평면에서 보았을 때 안쪽으로 패인 원호 형상 오목부 또는 바깥쪽으로 돌출되는 원호 형상 볼록부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 곤포용 완충체는, 정밀 기판을 수납하는 정밀 기판 수납 용기를 포장체에 곤포할 때에 정밀 기판 수납 용기의 상부 및/또는 하부에 배치되는 곤포용 완충체로서, 곤포시에 정밀 기판 수납 용기의 상면 또는 하면을 덮는 바닥부와, 바닥부의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽과, 외주벽에 형성된 보강부를 구비하고, 바닥부는 정밀 기판 수납 용기의 상면 또는 하면과 맞닿음 가능한 맞닿음부를 갖고, 맞닿음부는 정밀 기판 수납 용기와 이간 또는 접근하는 방향으로 돌출되는 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
이 발명에 의하면, 정밀 기판 수납 용기에 맞닿음 가능한 맞닿음부를 구비하고, 이 맞닿음부에는, 정밀 기판 수납 용기와 이간 또는 접근하는 방향으로 돌출되는 돌출부가 형성되어 있다. 이로써, 외부로부터 충격을 받은 경우에 돌출부가 찌부러져, 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다. 따라서, 순간적으로 큰 충격이 정밀 기판 수납 용기에 가해지는 사태를 방지할 수 있어, 낙하 충격을 효과적으로 완충시킬 수 있다.
또, 돌출부의 직경은 선단측을 향해 계단 형상으로 작아지는 것이 바람직하다. 즉, 돌출부가 정밀 기판 수납 용기와 이간되는 방향으로 돌출되는 경우에는, 돌출부의 직경은 정밀 기판 수납 용기와 이간됨에 따라 계단 형상으로 작아지고, 돌출부가 정밀 기판 수납 용기와 접근하는 방향으로 돌출되는 경우에는, 돌출부의 직경은 정밀 기판 수납 용기와 접근함에 따라 계단 형상으로 작아진다.
또, 본 발명의 포장체는, 상기의 곤포용 완충체를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이 발명에 의하면, 상기의 곤포용 완충체를 구비하고 있기 때문에, 외부로부터 충격을 받은 경우에 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다. 따라서, 순간적으로 큰 충격이 정밀 기판 수납 용기에 가해지는 사태를 방지할 수 있어, 낙하 충격을 효과적으로 완충시킬 수 있다.
발명의 효과
본 발명에 관련된 곤포용 완충체 및 포장체에 의하면, 낙하시의 충격을 유효하게 흡수할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 포장체에 정밀 기판 수납 용기를 수납할 때의 분해 사시도이다.
도 2 는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 포장체에 정밀 기판 수납 용기가 수납된 상태의 단면도이다.
도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 상부 완충체의 사시도이다.
도 4 는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 상부 완충체의 평면도이다.
도 5 는 도 3 의 V-V 선 단면도이다.
도 6 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 하부 완충체의 사시도이다.
도 7 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 하부 완충체의 평면도이다.
도 8 은 보강체를 구비한 상부 완충체의 단면도이다.
도 9 는 본 발명에 관련된 벨로우즈의 변형예를 나타내는 확대 단면도이다.
도 10 은 본 발명의 그 밖의 실시형태에 관련된 상부 완충체의 단면도이다.
도 11 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 완충체의 사시도이다.
도 12 는 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 완충체의 평면도이다.
도 13 은 도 11 의 XIII-XIII 선 단면도이다.
도 14 는 도 12 의 XIV-XIV 선 단면도이다.
도 15 는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 완충체의 사시도이다.
도 16 은 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 완충체의 평면도이다.
도 17 은 도 15 의 XVII-XVII 선 단면도이다.
도 18 은 본 발명의 변형예에 관련된 보강 볼록부가 형성된 외주벽의 단면도이다.
도 19 는 본 발명의 변형예에 관련된 단차부가 형성된 완충체의 평면도이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
1 : 포장 상자 (포장체)
2A, 2C : 상부 완충체 (곤포용 완충체)
2B : 하부 완충체 (곤포용 완충체)
2D, 2E : 완충체 (곤포용 완충체)
3 : 정밀 기판 수납 용기
21, 41, 61, 71 : 바닥부
22, 42, 62, 72, 82 : 외주벽
23, 43, 63 : 벨로우즈 (보강부)
24, 74 : 돌출부
25, 45, 75 : 대좌부 (맞닿음부)
26, 46, 66, 76 : 외주 바닥부
27, 47, 67, 77 : 단차부
48 : 반원 형상부 (원호 형상 오목부)
49 : 반원 형상부 (원호 형상 볼록부)
64 : 돌출부 (맞닿음부)
65 : 대향부
73, 83 : 보강 오목부 (보강부)
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
이하, 본 발명에 관련된 곤포용 완충체 및 포장체의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 포장체에 정밀 기판 수납 용기를 수납할 때의 분해 사시도이다. 도 2 는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 포장체에 정밀 기판 수납 용기가 수납된 상태의 단면도이다. 도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 포장체 (100) 는, 포장 상자 (1) 와, 상부 완충체 (2A) 와, 하부 완충체 (2B) 를 갖는다.
포장 상자 (1) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 수송할 때에 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 곤포하기 위한 상자이다. 정밀 기판 수납 용기 (3) 는, 반도체 웨이퍼 (정밀 기판) (33) 를 수납하는 용기이다. 이 정밀 기판 수납 용기 (3) 는, 플라스틱 봉투나 알루미늄 라미네이트 봉투에 담겨져 밀봉된 후에, 상부 완충체 (2A) 와 하부 완충체 (2B) 사이에 유지되어 포장 상자 (1) 에 곤포된다.
포장 상자 (1) 로는, 예를 들어, 각종 골판지 상자, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 플라스틱 수지제 상자, 폴리우레탄, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 수지 등의 발포 재료제 상자를 사용할 수 있고, 하나 또는 복수의 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 수납할 수 있는 크기로 형성된다. 특히, 포장 상자 (1) 를 플라스틱 수지제로 함으로써, 재사용의 편리성을 향상시킬 수 있음과 함께, 종이 가루 등에 의한 클린룸의 오염을 없앨 수 있다.
상부 완충체 (2A) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 포장 상자 (1) 에 곤포할 때에 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상부에 배치되는 완충체이고, 하부 완충체 (2B) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 포장 상자 (1) 에 곤포할 때에 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 하부에 배치되는 완충체이다. 또한, 이하의 설명에서, 상부 완충체 및 하부 완충체를 구별할 필요가 없는 경우에는, 완충체 (2A, 2B) 라고 한다. 또, 완충체 (2A, 2B) 의 설명에 있어서, 정밀 기판 수납 용기 (3) 측을 정면측으로 하고, 그 반대측을 배면측으로 한다.
완충체 (2A, 2B) 는, 수지 시트를 진공 성형, 압공 성형, 프레스 성형, 플러그 어시스트 등의 공지된 제조 방법에 의해 성형된다. 완충체 (2A, 2B) 에 성형되는 수지 시트로는, 폴리올레핀계 수지나 폴리스티렌계 수지 등의 플라스틱제 시트를 들 수 있다. 수지 시트의 두께는, 0.5 ㎜ ∼ 2.0 ㎜ 정도가 바람직하고, 0.7 ㎜ ∼ 1.6 ㎜ 정도가 보다 바람직하다. 또, 상기 수지 시트에 대전 방지제나 착색제 혹은 각종 첨가제를 첨가해도 된다.
다음으로, 상부 완충체 (2A) 에 대해, 도 3 ∼ 도 5 를 참조하여 설명한다. 도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 상부 완충체의 사시도, 도 4 는 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 상부 완충체의 평면도, 도 5 는 도 3 의 V-V 선 단면도이다.
상부 완충체 (2A) 에는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 수용하기 위한 오목부가 형성되어 있다. 이 오목부는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상면을 덮는 바닥부 (21) 와, 이 바닥부 (21) 의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽 (22) 에 의해 형성된다. 외주벽 (22) 의 높이는, 외주 방향을 따라 교대로 높낮이를 반복한다. 이하에서는, 외주벽 (22) 이 높은 부분을 외주벽 볼록부 (22A) 라고 하고, 외주벽 (22) 이 낮은 부분을 외주벽 오목부 (22B) 라고 한다. 본 실시 형태에서는, 외주벽 볼록부 (22A) 및 외주벽 오목부 (22B) 를 각각 4 지점씩 외주 방향을 따라 교대로 형성하였다.
외주벽 (22) 의 단부면 (단부) 에는, 충격을 흡수하기 위한 벨로우즈 (보강부) (23) 가 형성되어 있다. 이 벨로우즈 (23) 는, 3 개가 연속한 삼각형상의 굴곡편에 의해 형성되어, 정밀 기판 수납 용기의 전체 둘레를 둘러싸도록 형성되어 있다. 벨로우즈 (23) 를 형성하는 각 삼각형상의 높이는 동일하게 형성되어 있다. 외주벽 (22) 의 단부면에 벨로우즈 (23) 를 형성함으로써, 측방으로부터 충격을 받은 경우에 외주벽 (22) 이 신축되어, 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다. 또, 외주벽 (22) 의 높이를 변화시켜, 벨로우즈의 높이 위치가 상이하도록 하는 것이 바람직하고, 이로써 외주벽 (22) 을 바람직하게 신축시킬 수 있다.
상부 완충체 (2A) 의 바닥부 (21) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상면 (덮개 (32)) 과 맞닿음 가능한 대좌부 (맞닿음부) (25) 와, 이 대좌부 (25) 의 외주에 형성되어, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 대해 대좌부 (25) 로부터 이간된 위치에 형성된 외주 바닥부 (26) 를 구비하고 있다. 즉, 대좌부 (25) 는, 외주 바닥부 (26) 로부터 정면측 (도 5 에 있어서의 상측) 으로 밀어 올리도록 형성되어 있다. 또, 대좌부 (25) 와 외주 바닥부 (26) 사이에는 계단 형상의 단차부 (27) 가 형성되어 있다. 이 단차부 (27) 는 대좌부 (25) 의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다. 단차부 (27) 는 복수의 단차부 (27a) 에 의해 구성되어고, 각 단차부 (27a) 는 대략 동일한 높이로 되어 있다.
이와 같이 대좌부 (25) 의 외주를 둘러싸도록 단차부 (27) 를 형성함으로써, 상하 방향으로부터 충격을 받은 경우에, 단차부 (27) 에서 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있다. 예컨대, 충격을 받은 경우에 단차부 (27) 전체가 단번에 찌부러져 버리는 사태를 억제할 수 있음과 함께, 강성이 있는 외주벽 (22) 의 영향을 배제하여, 대좌부 (25) 를 밸런스 좋게 순조롭게 변형시킬 수 있다. 따라서, 상하 방향 (높이 방향) 에 있어서의 충격 흡수 능력을 향상시킬 수 있다.
상부 완충체 (2A) 의 대좌부 (25) 에는, 배면측으로 돌출되는 복수의 돌출부 (24) 가 형성되어 있다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 돌출부 (24) 는 3 행 × 3 열로 배치 형성되고, 이들 돌출부 (24) 의 높이는 30 ㎜ ∼ 80 ㎜ 사이에서 동일한 높이가 되도록 형성되어 있다. 돌출부 (24) 는 원주 형상의 4 개의 단차부 (24s, 24p) 를 갖고, 이들 단차부 부분의 직경은 10 ㎜ ∼ 80 ㎜ 로, 돌출부 (24) 의 선단 부분 (24p) 을 향할수록 단차부 부분의 직경이 작아지도록 형성되어 있다. 각 단차부간의 단차는 5 ∼ 15 ㎜ 사이에서 형성되어 있다. 돌출부 (24) 의 높이는 동일하지 않고, 부분적으로 상이하게 해 둘 수도 있다.
돌출부 (24) 에 복수의 단차부 (24s, 24p) 를 형성함으로써, 각각의 단차부 마다 상이한 좌굴 강도를 갖게 할 수 있다. 따라서, 외부로부터 충격을 받은 경우에, 돌출부 (24) 에 의해 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있다. 예컨대, 충격을 받은 경우에 돌출부 (24) 전체가 단번에 찌부러져 버리는 사태를 억제할 수 있고, 나아가서는, 정밀 기판 수납 용기에 강한 충격이 가해지는 사태를 방지할 수 있다. 또한, 정밀 기판을 유지하는 리테이너 (31) 가 장착된 덮개 (32) 가 단번에 변동하는 사태를 억제할 수 있기 때문에, 파티클을 저감시킬 수 있다.
또, 돌출부 (24) 의 선단 부분 (24p) 의 강성 (剛性) 은, 그 밖의 부분과 비교하여 극단적으로 약하게 하는 것이 바람직하다. 또, 돌출부 (24) 의 선단 부분 (24p) 은, 외주 바닥부 (26) 로부터 배면측으로 돌출되어, 돌출부 (24) 의 선단 부분 (24p) 의 하면과, 외주벽 (22) 의 하단부 (22c) 사이에 클리어런스가 형성되어 있는 (외주벽 (22) 의 하단부 (22c) 는, 돌출부 (24) 의 선단 부분 (24p) 의 하면으로부터 하방으로 돌출하는) 것이 바람직하다. 이와 같은 구조로 함으로써, 완충 능력을 높임과 함께, 진동의 전달을 억제하여 내진동 성능의 향상을 도모할 수 있다.
다음으로, 하부 완충체 (2B) 에 대해, 도 2, 도 6 및 도 7 을 참조하여 설명한다. 도 6 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 하부 완충체의 사시도, 도 7 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 하부 완충체의 평면도이다.
하부 완충체 (2B) 에는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 수용하기 위한 오목부가 형성되어 있다. 이 오목부는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 하면을 덮는 바 닥부 (41) 와, 이 바닥부 (41) 의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽 (42) 에 의해 형성된다. 외주벽 (42) 의 높이는, 외주 방향을 따라 높낮이를 반복한다. 이하에서는, 외주벽 (42) 이 높은 부분을 외주벽 볼록부 (42A) 라고 하고, 외주벽 (42) 이 낮은 부분을 외주 오목부 (42B) 라고 한다. 본 실시 형태에서는, 1 쌍의 외주 오목부 (42B) 가 대향하여 배치되어 있다.
외주벽 (42) 의 단부면 (단부) 에는, 충격을 흡수하기 위한 벨로우즈 (43) 가 형성되어 있다. 이 벨로우즈 (43) 는, 3 개가 연속한 삼각형상의 굴곡편에 의해 형성되어, 정밀 기판 수납 용기의 전체 둘레를 둘러싸도록 형성되어 있다. 벨로우즈 (43) 를 형성하는 각 삼각형상의 높이는 동일하게 형성되어 있다. 외주벽 (42) 의 단부면에 벨로우즈 (43) 를 형성함으로써, 측방으로부터 충격을 받은 경우에, 외주벽 (42) 이 신축되어 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다. 또, 외주벽 (42) 의 높이를 변화시켜, 벨로우즈 (43) 의 높이 위치가 상이하도록 하는 것이 바람직하고, 이로써 외주벽 (42) 을 바람직하게 신축시킬 수 있다.
하부 완충체 (2B) 의 바닥부 (41) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 하면과, 맞닿음 가능한 대좌부 (맞닿음부) (45) 와, 이 대좌부 (45) 의 외주에 형성되어, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 대해 대좌부 (45) 로부터 이간된 위치에 형성된 외주 바닥부 (46) 를 구비하고 있다. 즉, 대좌부 (45) 는, 외주 바닥부 (46) 로부터 정면측 (도시 상측) 으로 밀어 올리도록 형성되어 있다. 또, 대좌부 (45) 와 외주 바닥부 (46) 사이에는 계단 형상의 단차부 (47) 가 형성되어 있다. 이 단차부 (47) 는 대좌부 (45) 의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다. 단차부 (47) 는 복수의 단차부 (47a, 47b, 47c) 에 의해 구성되어 있다. 여기서는, 대좌부 (45) 로부터 외주 바닥부 (46) 를 향하여 순서대로 단차부 (47a, 47b, 47c) 라고 한다. 또, 단차부 (47a, 47b) 는, 평면에서 보았을 때 안쪽으로 패인 반원 형상부 (48) 를 가지고 있다. 이 반원 형상부 (48) 는, 대향하는 1 쌍의 변에 복수개 (본 실시 형태에서는 3 개) 배치되어 있다. 또한, 반원 형상부 (48) 대신에 도 19 에 나타내는 바와 같이, 평면에서 보았을 때 바깥쪽으로 돌출되는 반원 형상부 (49) 로 해도 된다.
이와 같이 대좌부 (45) 의 외주를 둘러싸도록 단차부 (47) 를 형성함으로써, 상하 방향으로부터 충격을 받은 경우에, 단차부 (47) 에서 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있다. 예컨대, 충격을 받은 경우에 단차부 (47) 전체가 단번에 찌부러져 버리는 사태를 억제할 수 있음과 함께, 강성이 있는 외주벽 (42) 의 영향을 배제하여, 대좌부 (45) 를 밸런스 좋게 순조롭게 변형시킬 수 있다. 따라서, 상하 방향 (높이 방향) 에 있어서의 충격 흡수 능력을 향상시킬 수 있다.
하부 완충체 (2B) 의 대좌부 (45) 에는, 외주벽 (42) 의 배면측으로 돌출되는 복수의 돌출부 (44) 가 형성되어 있다. 도 7 에 나타내는 바와 같이, 돌출부 (44) 는 1 행 × 2 열로 배치 형성되고, 이들 돌출부 (44) 의 높이는 30 ㎜ ∼ 80 ㎜ 사이에서 동일한 높이가 되도록 형성되어 있다. 돌출부 (44) 는 원주 형상의 4 개의 단차부를 갖고, 이들 단차부 부분의 직경은 10 ㎜ ∼ 80 ㎜ 로, 돌출부 (44) 의 선단 부분 (44p) 을 향할수록 단차부 부분의 직경이 작아지도록 형성되어 있다. 각 단차부간의 단차는 5 ∼ 15 ㎜ 사이에서 형성되어 있다.
돌출부 (44) 에 복수의 단차부를 형성함으로써, 각각의 단차부 마다 상이한 좌굴 강도를 갖게 할 수 있다. 따라서, 외부로부터 충격을 받은 경우에, 돌출부 (44) 에 의해 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있다. 예컨대, 충격을 받은 경우에, 돌출부 (44) 전체가 단번에 찌부러져 버리는 사태를 억제할 수 있고, 나아가서는, 정밀 기판 수납 용기에 강한 충격이 가해지는 사태를 방지할 수 있다. 또한, 정밀 기판을 유지하는 리테이너 (31) 가 장착된 덮개 (32) 가 단번에 변동하는 사태를 억제할 수 있기 때문에, 파티클을 저감시킬 수 있다.
또, 돌출부 (44) 의 선단 부분 (44p) 의 강성은, 그 밖의 부분과 비교하여 극단적으로 약하게 하는 것이 바람직하다. 또, 돌출부 (44) 선단 부분 (44p) 은, 외주 바닥부 (46) 로부터 배면측으로 돌출되는 것이 바람직하다. 이와 같은 구조를 채용함으로써, 진동의 전달을 억제하여 내진동 성능의 향상을 도모할 수 있다.
이와 같이 완충체 (2A, 2B) 에 의하면, 정밀 기판 수납 용기를 수납하는 오목부의 바닥부 (21, 41) 에 맞닿음부 (25, 45), 단차부 (27, 47), 외주 바닥부 (26, 46) 가 형성되고, 맞닿음부 (25, 45) 는, 외주 바닥부 (26, 46) 로부터 단차부 (27, 47) 를 개재하여 정면측으로 돌출되도록 형성되어 있다. 이에 의해, 상하 방향의 충격을 받았을 때에 단차부 (27, 47) 가 순차적으로 찌부러지고, 한번의 충격으로 복수단 전체의 단차부 (27, 47) 가 찌부러져, 충격 완충력 (충격 흡수 능력) 을 잃는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 강한 충격이 가해지지 않기 때문에, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 개구부를 폐쇄하고 있는 덮개 (32) 에 대한 충격을 완화시킬 수 있다. 기판을 유지하는 리테이너에 대한 진동이나 충격을 완화시킬 수 있기 때문에, 기판 상의 파티클 증가가 방지된다.
또, 이와 같은 포장체 (100) 는, 자동화 대응된 래치 기구가 내장된 개체를 갖는 정밀 기판 수납 용기의 곤포체로서 충분한 충격 완충력을 갖고, 종래의 포장체에서는 대응 곤란한 것으로 생각되던 150㎝ 낙하 시험에서도, 정밀 기판 (웨이퍼) 의 파손이나 홈 어긋남, 파티클의 증가를 방지할 수 있다. 또, 진동 시험을 실시한 경우에도 정밀 기판의 회전 이동이 없고, 정밀 기판 수납 용기 내의 오염을 방지할 수 있는 것이 확인되었다. 이로써, 정밀 기판 수납 용기를 안전하게 수송할 수 있다.
또, 완충체 (2A, 2B) 를 착색함으로써, 사양 변경 등이 있는 경우, 초기 유동품 등을 곤포 상태로 나누어 관리할 수 있다. 또, 암틀을 이용하여 수지 시트를 성형함으로써, 완충체 (2A, 2B) 의 바닥부나 코너부의 두께를 유지하면서, 강도를 향상시킬 수 있음과 함께, 완충체 (2A, 2B) 의 바닥부나 코너부의 연신량을 저감시켜, 성형 전 수지 시트의 두께를 유지할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 완충체 (2D) 에 대해, 도 11 ∼ 도 14 를 참조하면서 설명한다. 도 11 은 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 완충체의 사시도, 도 12 는 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 완충체의 평면도, 도 13 은 도 11 의 XIII-XIII 선 단면도, 도 14 는 도 12 의 XIV-XIV 선 단면도이다. 완충체 (2D) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 포장 상자 (1) 에 곤포 할 때에 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상부 및/또는 하부에 배치되는 것이다. 완충체 (2D) 의 설명에 있어서, 정밀 기판 수납 용기 (3) 측을 정면측으로 하고, 그 반대측을 배면측으로 한다.
완충체 (2D) 에는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 수용하기 위한 오목부가 형성되어 있다. 이 오목부는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상면 또는 하면을 덮는 바닥부 (71) 와, 이 바닥부 (71) 의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽 (72) 에 의해 형성된다. 외주벽 (72) 의 높이는, 외주 방향을 따라 교대로 높낮이를 반복한다. 이하에서는, 외주벽 (72) 이 높은 부분을 외주벽 볼록부 (72a) 라고 하고, 외주벽 (72) 이 낮은 부분을 외주벽 오목부 (72b) 라고 한다. 본 실시 형태에서는, 외주벽 볼록부 (72a) 및 외주벽 오목부 (72b) 를 각각 4 지점씩 외주 방향을 따라 교대로 형성하였다.
외주벽 (72) 의 단부면에는, 충격을 흡수하기 위한 보강 오목부 (보강부) (73) 가 복수 형성되어 있다. 이 보강 오목부 (73) 는, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 단면이 원호 형상 (반원 형상) 을 이루어 하방으로 패이도록 형성되고, 평면에서 보았을 때 직선 형상으로 형성되어 있다. 또, 보강 오목부 (73) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 외주를 둘러싸도록 부분적으로 형성되어 있다. 외주벽 (72) 의 단부면에 보강 오목부 (73) 를 형성함으로써, 측방으로부터 충격을 받은 경우에 외주벽 (72) 이 신축되어, 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다.
완충체 (2D) 의 바닥부 (71) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상면 (덮개 (32)) 또는 하면과 맞닿음 가능한 대좌부 (맞닿음부) (75) 와, 이 대좌부 (75) 의 외주에 형성되어, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 대해 대좌부 (75) 로부터 이간된 위치에 형성된 외주 바닥부 (76) 를 구비하고 있다. 즉, 대좌부 (75) 는, 외주 바닥부 (76) 로부터 정면측 (도 12 에 있어서의 상측) 으로 밀려올라가도록 형성되어 있다. 또, 대좌부 (75) 와 외주 바닥부 (76) 사이에는 계단 형상의 단차부 (77) 가 형성되어 있다. 이 단차부 (77) 는, 대좌부 (75) 의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다. 단차부 (77) 는 복수의 단차부 (77a) 에 의해 구성되고, 각 단차부 (77a) 는 대략 동일한 높이로 되어 있다.
이와 같이 대좌부 (75) 의 외주를 둘러싸도록 단차부 (77) 를 형성함으로써, 상하 방향으로부터 충격을 받은 경우에, 단차부 (77) 에서 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있다. 예컨대, 충격을 받은 경우에, 단차부 (77) 전체가 단번에 찌부러져 버리는 사태를 억제할 수 있음과 함께, 강성이 있는 외주벽 (72) 의 영향을 배제하여, 대좌부 (75) 를 밸런스 좋게 순조롭게 변형시킬 수 있다. 따라서, 상하 방향 (높이 방향) 에 있어서의 충격 흡수 능력을 향상시킬 수 있다.
완충체 (2D) 의 대좌부 (75) 에는, 배면측으로 돌출되는 돌출부 (74) 가 형성되어 있다. 돌출부 (74) 는, 대좌부 (75) 의 중앙에 배치되어, 평면에서 보았을 때 직사각형을 이루고 있다. 돌출부 (74) 는 4 개의 단차부 (74s) (도 13 참조) 를 가지고 있다. 각 단차부간의 단차는 5 ∼ 15 ㎜ 사이에서 형성되는 것이 바람직하다. 또, 돌출부 (74) 의 선단 부분 (74p) 의 중앙에는, 관통 구멍 (78) 이 형성되어 있다.
돌출부 (74) 에 복수의 단차부 (74s, 74p) 를 형성함으로써, 각각의 단차부 (74s, 74p) 마다 상이한 좌굴 강도를 갖게 할 수 있다. 따라서, 외부로부터 충격을 받은 경우에, 돌출부 (74) 에 의해 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있다. 예컨대, 충격을 받은 경우에, 돌출부 (74) 전체가 단번에 찌부러져 버리는 사태를 억제할 수 있고, 나아가서는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 강한 충격이 가해지는 사태를 방지할 수 있다. 또한, 정밀 기판을 유지하는 리테이너 (31) (도 2 참조) 가 장착된 덮개 (32) 가 단번에 변동하는 사태를 억제할 수 있기 때문에, 파티클을 저감시킬 수 있다.
또, 돌출부 (74) 의 선단 부분 (74p) 의 강성은, 그 밖의 부분과 비교하여 극단적으로 약하게 하는 것이 바람직하다. 또, 돌출부 (74) 의 선단 부분 (74p) 은 외주 바닥부 (76) 로부터 배면측으로 돌출되는 것이 바람직하다. 돌출부 (74) 의 선단 부분 (74p) 의 하면과, 외주벽 (72) 의 하단부 (72c) 사이에 클리어런스가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 구조로 함으로써, 완충 능력을 높임과 함께, 진동의 전달을 억제하여 내진동 성능의 향상을 도모할 수 있다.
이와 같은 본 실시 형태의 완충체 (2D) 에 있어서도, 대좌부 (75) 가 단차부 (77) 를 개재하여 외주 바닥부 (76) 로부터 정면측으로 돌출되도록 형성되어 있다. 이로써, 상하 방향의 충격을 받았을 때에 단차부 (77) 가 순차적으로 찌부러지고, 한번의 충격으로 복수단 전체의 단차부 (77) 가 찌부러져, 충격 완충력 (충격 흡수 능력) 을 잃는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 강한 충격이 기해지지 않기 때문에, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 개구부를 폐쇄하고 있는 덮개에 대한 충격을 완화시킬 수 있다. 기판을 유지하는 리테이너에 대한 진동이나 충격을 완화시킬 수 있기 때문에, 기판 상의 파티클 증가가 방지된다. 이와 같이, 제 2 실시형태의 완충체 (2D) 에 있어서도, 제 1 실시형태의 완충체 (2A, 2B) 와 동일한 작용, 효과를 나타낸다.
다음으로, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 완충체 (2E) 에 대해, 도 15 ∼ 도 17 을 참조하면서 설명한다. 도 15 는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 완충체의 사시도, 도 16 은 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 완충체의 평면도, 도 17 은 도 15 의 XVII-XVII 선 단면도이다. 완충체 (2E) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 를 포장 상자 (1) 에 곤포할 때에 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상부 및/또는 하부에 배치되는 것이다. 이 제 3 실시형태의 완충체 (2E) 가 제 1 실시형태의 상부 완충체 (2A) 와 다른 점은, 외주벽에 형성된 보강부의 구조가 상이한 점으로서, 벨로우즈 (23) 가 형성된 외주벽 (22) 대신에 보강 오목부 (83) 가 형성된 외주벽 (82) 을 구비하고 있는 점이다. 그 밖의 구성은, 상부 완충체 (2A) 의 구성과 동등하기 때문에, 동일 부호를 부여하여 중복 설명을 생략한다.
외주벽 (82) 은, 외주벽 (22) 과 마찬가지로 바닥부 (21) 의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되고 있다. 외주벽 (82) 의 높이는, 외주 방향을 따라 교대로 높낮이를 반복하여, 외주벽 (82) 이 높은 부분인 외주벽 볼록부 (82A) 와, 외주벽 (82) 이 낮은 부분인 외주 오목부 (82B) 를 가지고 있다.
외주벽 (82) 의 단부면에는, 충격을 흡수하기 위한 보강 오목부 (보강부) (83) 가 복수 형성되어 있다. 이 보강 오목부 (83) 는, 평면에서 보았을 때 원형으로 형성됨과 함께, 단면이 원호 형상 (반원 형상) 을 이루어, 하방으로 패이도록 형성되어 있다. 복수의 보강 오목부 (83) 는, 외주벽 (82) 의 단부면의 길이 방향을 따라 소정 간격 이간되어 배치되어 있다. 외주벽 (82) 의 단부면에 보강 오목부 (83) 를 형성함으로써, 측방으로부터 충격을 받은 경우에 외주벽 (82) 이 신축되어, 충격을 효율적으로 흡수할 수 있다. 이와 같이 구성된 제 3 실시형태의 완충체 (2E) 에 있어서도, 제 1 실시형태의 완충체 (2A, 2B) 와 동일한 작용, 효과를 나타낸다.
이상, 본 발명을 그 실시형태에 기초하여 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태에 있어서, 포장체는 상부 완충체 (2A) 및 하부 완충체 (2B) 를 구비하는 구성으로 하고 있지만, 상부 완충체 (2A) 및 하부 완충체 (2B) 의 적어도 일방을 구비하는 포장체로 해도 된다. 예를 들어, 상부 완충체 (2A) 를 구비하고, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 바닥부측 (덮개와 반대측) 에 바닥부에 요철 형상을 갖는 그 밖의 완충체를 사용해도 된다.
또, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어, 상부 완충체 (2A) 의 배면측에, 상부 완충체 (2A) 의 강도를 향상시키는 것을 목적으로 하여 보강체 (51) 를 장착해도 된다. 보강체 (51) 는 판 형상을 이루어, 상부 완충체 (2A) 의 배면측 개구부에 대응하는 크기로 되어 있다. 또, 이 보강체는, 돌출부 (24), 외주 바닥부 (26) 의 배면과 맞닿도록 배치되어 있다.
본 실시 형태에서의 포장체에 의하면, 상기 서술한 특허 문헌 5 에 개시된 정밀 기판 수납 용기를 곤포하는 경우에도 충분한 충격 완충력을 발휘할 수 있다. 구체적으로 설명하면, 상기 서술한 특허 문헌 2 ∼ 4 에 개시된 종래의 포장체에서는 대응하기가 곤란하던 1.5m 의 낙하 시험을 실시한 바, 반도체 웨이퍼의 파손이나 홈 어긋남, 파티클의 증가 등의 이상이 발생하지 않는 것이 확인되었다. 또, 진동 시험을 실시한 바, 반도체 웨이퍼가 회전하지 않고, 오염이 발생하지 않는 것이 확인되었다. 따라서, 본 실시 형태에서의 포장체를 사용함으로써, 정밀 기판 수납 용기를 안전하게 수송할 수 있다.
또, 상부 완충체 (2A) 는 네스팅한 상태에서 보관할 수 있기 때문에, 보관 공간을 삭감할 수 있음과 함께, 재사용시의 반송 비용도 삭감할 수 있다.
또, 상기 서술한 실시형태에서의 벨로우즈 (23) 에서는, 벨로우즈를 형성하는 각 삼각형상의 높이를 동일하게 형성하고 있는데, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 벨로우즈를 형성하는 각 삼각형상 (23a, 23b, 23c) 의 높이를 내측으로부터 외측에 걸쳐 서서히 높게 해도 된다. 또, 벨로우즈를 형성하는 각 삼각형상의 높이를 내측으로부터 외측에 걸쳐 서서히 낮게 해도 된다. 이와 같은 벨로우즈 (23) 를 형성함으로써, 벨로우즈 (23) 의 압축 강도를 서서히 변화시킬 수 있다. 따라서, 충격을 받은 경우에, 상이한 높이의 벨로우즈 (23) 에서 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있어, 완충 흡수 능력을 보다 향상시킬 수 있다. 또, 이러한 구조로 하면, 정밀 기판 수납 용기를 곤포하여 수송할 때의 진동 흡수에도 효과적이다.
또, 상기 서술한 실시형태에서의 벨로우즈 (23) 는, 3 개가 연속한 삼각형상의 굴곡편에 의해 형성되어 있는데, 이것에 한정되지 않고, 복수의 삼각형상의 굴곡편에 의해 형성되어 있으면 되고, 형상도 삼각형상에 한정되지 않고 다각형상이나 물결 형상이어도 된다.
또, 상기 서술한 벨로우즈 (23) 는, 정밀 기판 수납 용기의 전체 둘레를 둘러싸도록 형성되어 있는데, 이것에 한정되지 않고, 벨로우즈 (23) 는 적어도 일부에 형성되어 있으면 된다. 단, 전체 둘레에 형성한 것이 충격을 보다 흡수할 수 있다.
또, 상기 서술한 실시형태에서의 돌출부 (24) 는, 외주벽 (22) 의 융기 방향과는 반대측 방향으로 돌출되어 있지만, 돌출부 (24) 의 돌출 방향은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 외주벽 (22) 의 융기 방향과 동일한 방향으로 돌출되는 돌출부 (64) 를 구비한 상부 완충체 (2C) 로 해도 된다. 이하, 그 밖의 실시형태로서 상부 완충체 (2C) 에 대해 설명한다.
도 10 은 본 발명의 그 밖의 실시형태에 관련된 상부 완충체의 단면도이다. 상부 완충체 (2C) 에는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상면을 덮는 바닥부 (61) 와, 이 바닥부 (61) 의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되는 외주벽 (62) 에 의해 형성된다. 외주벽 (62) 의 높이는, 외주 방향을 따라 교대로 높낮이를 반복하여, 외주벽 (62) 이 높은 부분을 외주 볼록부 (62a) 라고 하고, 외주벽 (62) 이 낮은 부분을 외주벽 오목부 (62b) 라고 한다. 외주벽 볼록부 (62a) 및 외주벽 오목부 (62b) 는, 각각 4 지점씩 외주 방향을 따라 교대로 형성되고, 외주벽 (62) 의 단부면 (단부) 에는, 충격을 흡수하기 위한 벨로우즈 (63) 가 형성되어 있다.
상부 완충체 (2C) 의 바닥부 (61) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상면과 대면하는 대향부 (65) 와, 이 대향부 (65) 의 외주에 형성된 외주 바닥부 (66) 를 구비하고 있다. 대향부 (65) 는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 대해 외주 바닥부 (66) 로부터 이간된 위치에 형성되어 있다. 즉, 대향부 (65) 는, 외주 바닥부 (66) 로부터 배면측으로 패이도록 형성되어 있다. 또, 대향부 (65) 와 외주 바닥부 (66) 사이에는 계단 형상의 단차부 (67) 가 형성되어 있다. 이 단차부 (67) 는, 대향부 (65) 의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다. 단차부 (67) 는 복수의 단차부 (67a) 에 의해 구성되며, 각 단차부 (67a) 는 대략 동일한 높이로 되어 있다.
또, 상부 완충체 (2C) 의 대향부 (65) 에는, 정면측 (정밀 기판 수납 용기와 접근하는 방향) 으로 돌출되는 복수의 돌출부 (64) 가 형성되어 있다. 돌출부 (64) 는, 3 행 × 3 열로 배치 형성되고, 이들 돌출부 (64) 의 높이는 30 ㎜ ∼ 80 ㎜ 사이에서 동일한 높이가 되도록 형성되어 있다. 돌출부 (64) 는 원주 형상의 4 개의 단차부 (64s, 64p) 를 갖고, 이들 단차부 부분의 직경은 10 ㎜ ∼ 80 ㎜ 로, 돌출부 (64) 의 선단 부분 (64p) 을 향할수록 단차부 부분의 직경이 작아지도록 형성되어 있다. 각 단차부간의 단차는 5 ∼ 15 ㎜ 사이에서 형성되어 있다. 그리고, 이 돌출부 (64) 의 선단 부분 (64p) 이 본 발명의 맞닿음부에 상당하는 것이다. 즉, 돌출부 (64) 의 선단 부분 (64p) 은 외주 바닥부 (66) 로부터 정면측에 형성되어, 정밀 기판 수납 용기 (3) 의 상면에 맞닿음 가능하게 되어 있다.
이와 같이 구성된 상부 완충체 (2C) 에 있어서도, 상기 서술한 완충체 (2A, 2B) 와 마찬가지로, 상하 방향의 충격 흡수 능력을 향상시킬 수 있다. 구체적으로는, 외부로부터 충격을 받은 경우에, 돌출부 (64) 및 단차부 (67) 에 의해 충격을 단계적으로 수용하면서 완화시켜 갈 수 있다. 예컨대, 충격을 받은 경우에, 돌출부 (64) 및 단차부 (67) 가 단번에 찌부러져 버리는 사태를 억제할 수 있고, 나아가서는, 정밀 기판 수납 용기 (3) 에 강한 충격이 가해지는 사태를 방지할 수 있다. 또한, 정밀 기판을 유지하는 리테이너 (31) 가 장착된 덮개 (32) 가 단번에 변동하는 사태를 억제할 수 있기 때문에, 파티클을 저감시킬 수 있다.
또, 상기 서술한 제 2 실시형태의 완충체 (2D) 및 제 3 실시형태의 완충체 (2E) 에서는, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 외주벽 (72, 82) 의 내부측 (도시 하측) 으로 패인 보강 오목부 (73, 83) 가 형성되어 있는데, 보강부는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 18 에 나타내는 바와 같이, 보강부는 외주벽 (72, 82) 의 외부측 (도시 상측) 으로 돌출되는 보강 볼록부 (93) 이어도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 완충체 (2A ∼ 2E) 는, 단차부 (27, 47, 67, 77) 를 구비하는 구성으로 하고 있지만, 단차부를 구비하지 않는 완충체로 해도 된다.
본 발명은, 트랜지스터나 다이오드 등의 반도체 소자, 메모리나 LSI 등의 반도체 회로 부품, CCD, 반도체 레이저 등의 광학 회로 부품 등을 생산하기 위해서 사용되는 실리콘, 유리, 화합물, 산화물 등의 각종 웨이퍼, 반도체 웨이퍼, 마스크 유리, 페리클, 액정 유리, 혹은, 알루미늄이나 유리 등으로 이루어지는 하드 디스 크 기판이나 광 디스크 등의 정보 기억 매체 등의 정밀 기판을 수납하는 정밀 기판 수납 용기를 곤포할 때에 사용되는 곤포용 완충체 및 이 완충체를 구비하는 포장체에 이용할 수 있다.

Claims (10)

  1. 플라스틱제 시트를 형성하여 이루어지고, 정밀 기판을 수납하는 정밀 기판 수납 용기를 포장체에 곤포할 때에, 상기 정밀 기판 수납 용기의 상부 및/또는 하부에 배치되는 곤포용 완충체로서,
    상기 곤포시에 상기 정밀 기판 수납 용기를 수용하고, 그 용기의 상면 또는 하면을 덮는 바닥부와,
    상기 바닥부의 외주 가장자리로부터 세워져 융기되고, 외주 방향을 따라 교대로 고저를 반복하고, 상기 정밀 기판 수납 용기를 수용하는 오목부를 형성하는 외주벽과,
    상기 외주벽에 상기 정밀 기판 수납 용기의 전체 둘레를 둘러싸도록 형성된 보강부를 구비하고,
    상기 바닥부는, 상기 정밀 기판 수납 용기의 상면 또는 하면과 맞닿음 가능하게 된 하나의 맞닿음부와,
    상기 맞닿음부의 전체 외주에 걸쳐 형성되어 상기 정밀 기판 수납 용기에 대해 상기 맞닿음부로부터 이간된 위치에 형성된 외주 바닥부를 갖고,
    상기 맞닿음부와 상기 외주 바닥부 사이에는, 상기 맞닿음부의 외주를 둘러싸는 단차부가 형성되어 있고,
    상기 맞닿음부에는, 상기 외주 바닥부보다 배면측으로 돌출된 선단 부분을 갖는 복수의 돌출부가 형성되어 있고,
    상기 돌출부의 상기 선단 부분의 하면과, 상기 외주벽의 하단 사이에 클리어런스가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 곤포용 완충체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 보강부가, 벨로우즈인 것을 특징으로 하는 곤포용 완충체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 보강부가, 단면 형상이 원호 형상인 오목부 또는 볼록부인 것을 특징으 로 하는 곤포용 완충체.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 맞닿음부는, 상기 외주 바닥부로부터 상기 정밀 기판 수납 용기를 향해 밀어 올린 대좌부인 것을 특징으로 하는 곤포용 완충체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 대좌부에는, 상기 정밀 기판 수납 용기와 이간되는 방향으로 돌출되고, 상기 정밀 기판 수납 용기와 이간됨으로써 직경이 계단 형상으로 작게 만들어진 상기 돌출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 곤포용 완충체.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단차부에는, 평면에서 보았을 때, 안쪽으로 패인 원호 형상 오목부 또는 바깥쪽으로 돌출되는 원호 형상 볼록부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 곤포용 완충체.
  7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 곤포용 완충체를 구비하는 것을 특징으로 하는 포장체.
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  9. 삭제
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