JPWO2008096462A1 - 梱包用緩衝体および包装体 - Google Patents

Abstract

落下時の衝撃を有効に吸収することができる梱包用緩衝体および包装体を提供する。梱包時に精密基板収納容器３に当接する当接部２５と、この当接部２５を有する底部２１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁２２との間に、精密基板収納容器３に対して当接部２５より離間した位置に外周底部２６を形成し、この外周底部２６と当接部２５との間に段差部２７を形成する。これにより、衝撃を受けた場合に、段差部２７が潰れて、当接部２５が外周底部２６に対して好適に移動して、衝撃を効率良く吸収することができる。したがって、瞬間的に大きな衝撃が精密基板収納容器３に加わる事態を防止することができ、落下衝撃を効率的に緩衝させることができる。

Description

本発明は、トランジスタやダイオードなどの半導体素子、メモリやＬＳＩなどの半導体回路部品、ＣＣＤ、半導体レーザなどの光学回路部品などを生産するために使用されるシリコン、ガラス、化合物、酸化物等の各種のウェーハ、半導体ウェーハ、マスクガラス、ペリクル、液晶ガラス、あるいは、アルミやガラスなどからなるハードディスク基板や光ディスク等の情報記憶媒体等の精密基板を収納する精密基板収納容器を梱包する際に用いられる梱包用緩衝体およびこの緩衝体を備える包装体に関する。

精密基板の輸送用に使用される精密基板収納容器として、例えば、特許文献１に開示された精密基板収納容器がある。この精密基板収納容器には、収納された精密基板を保護するために左右方向から奥側に大きく張り出したリテーナが用いられている。このような精密基板収納容器を安全に輸送するために使用される包装体として、例えば、特許文献２および特許文献３に開示された包装体がある。これらの包装体には、精密基板収納容器の上部と下部に配置される１組の緩衝体が用いられている。これらの各緩衝体には、精密基板収納容器を収納するための収納部が設けられている。また、特許文献４には、発泡部材を用いて成形された緩衝体が開示されている。

ところで、包装体には、精密基板を安全に輸送するための要件として、精密基板収納容器を梱包した包装体を自然落下させたときに、包装体に収納されている精密基板収納容器や精密基板に破損等の異常を生じさせることのない落下高さが、１．０ｍ以上、好ましくは１．５ｍ以上になることが望まれている。

上述した特許文献１に記載された精密基板収納容器は、精密基板を保護するためには好適である。しかしながら、蓋体の取り付けや取り外しを自動的に行う専用の装置が必要であること、大きなリテーナを有しているために容器本体から蓋体を取り除くときに大きなストロークが必要であること、蓋体開閉装置の設置スペースを余計に取る必要があること等の問題がある。これらの問題を解決するために、蓋体を取り除く際の引き抜きストロークがデバイスメーカー工程内で使用される収納容器と同等であり、かつＳＥＭＩ規格Ｅ６２、Ｅ６３等で標準化された蓋体開閉装置の使用が可能な精密基板収納容器が開発された（特許文献５参照）。しかしながら、この精密基板収納容器は、リテーナによる精密基板の保持範囲が中央部分に限定されており、精密基板を保持するストロークも小さい。したがって、このような精密基板収納容器を、上述した特許文献２〜４に開示された従来の包装体に梱包すると、落下時の衝撃を十分に吸収することができず、特に包装体の角部や稜線部は落下時の衝撃による損傷が大きくなる。具体的には、落下高さが０．８ｍ以上になると、精密基板が破損し、パーティクルが増加してしまう。したがって、従来の包装体を輸送用に用いることができなかった。
特開２０００−１５９２８８号公報 特開平７−３０７３７８号公報 特開２００２−１６０７６９号公報 特開２００４−１６８３２４号公報 特開２００３−１７４０８１号公報

ところで、上述した従来の包装体を補強するために、例えば、発泡スチロールやウレタンフォーム等を緩衝部材として使用することが考えられる。しかしながら、発泡スチロールやウレタンフォーム等は、一般的に嵩張りやすく、包装体のサイズも大きくなってしまうこと、そのため大きな保管スペースや輸送のためのスペースが必要になり工場のスペース効率が悪くなること、使用後に緩衝体を回収するための輸送費用が増大してしまうという問題があった。また、発泡スチロールからなる緩衝体の場合は、端部が容易に破損してしまうため細かく粉砕された破片が工場のクリーンルームを汚染してしまうこと、ウレタンフォームからなる緩衝体の場合は、破損はし難いが、発泡開口が表面に露出しているために汚染物がたまり易いこと等の問題があった。また、上述したような問題からリユースやリサイクルにも問題があった。したがって、発泡スチロールやウレタンフォーム等を緩衝部材として使用することには困難を要する。

そこで、本発明は、上述した課題を解決するために、落下時の衝撃を有効に吸収することができる梱包用緩衝体および包装体を提供することを目的とする。

本発明の梱包用緩衝体は、精密基板を収納する精密基板収納容器を包装体に梱包する際に、精密基板収納容器の上部および／または下部に配置される梱包用緩衝体であって、梱包時に精密基板収納容器の上面または下面を覆う底部と、底部の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁と、外周壁に形成された補強部とを備え、底部は、精密基板収納容器の上面または下面と当接可能とされた当接部と、当接部の外周に形成され精密基板収納容器に対して当接部より離間した位置に形成された外周底部とを有し、当接部と外周底部との間には、段差部が形成されていることを特徴とする。

この発明によれば、梱包時に精密基板収納容器に当接する当接部と、この当接部を有する底部の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁との間に、精密基板収納容器に対して当接部より離間した位置に外周底部が形成され、この外周底部と当接部との間に段差部が形成されている。これにより、外部から衝撃を受けた場合に、段差部が潰れて、当接部が外周壁に対して好適に移動して、衝撃を効率良く吸収することができる。したがって、瞬間的に大きな衝撃が精密基板収納容器に加わる事態を防止することができ、落下衝撃を効果的に緩衝させることができる。

本発明の梱包用緩衝体において、補強部がベローズであることか好ましい。あるいは、補強部を、断面形状が円弧状の凹部または凸部としてもよい。

本発明の梱包用緩衝体において、当接部は、外周底部より精密基板収納容器に向かって迫り出した台座部であることが好ましい。

また、台座部には、精密基板収納容器と離間する方向へ突出し、精密基板収納容器と離間するにつれて径が階段状に小さくされた突出部が形成されていることが好ましい。これにより、外部から衝撃を受けた場合、衝撃を突起部で段階的に受け止めて緩和することができる。従って、落下衝撃を一層効果的に緩衝させることができる。

また、底部は、精密基板収納容器の上面または下面と対面する対向部と、対向部より精密基板収納容器と接近する方向へ突出し、精密基板収納容器に接近するにつれて径が階段状に小さくされた突出部とを有し、当接部は、突出部によって形成される構成としてもよい。

また、段差部には、平面視において、内方に凹む円弧状の凹部または外方に突出する円弧状の凸部が形成されていることが好ましい。

また、本発明の梱包用緩衝体は、精密基板を収納する精密基板収納容器を包装体に梱包する際に、精密基板収納容器の上部および／または下部に配置される梱包用緩衝体であって、梱包時に精密基板収納容器の上面または下面を覆う底部と、底部の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁と、外周壁に形成された補強部とを備え、底部は、精密基板収納容器の上面または下面と当接可能とされた当接部を有し、当接部は、精密基板収納容器と離間又は接近する方向に突出する突出部を有することを特徴としている。

この発明によれば、精密基板収納容器に当接可能とされた当接部を備え、この当接部には、精密基板収納容器と離間又は接近する方向に突出する突出部が形成されている。これにより、外部から衝撃を受けた場合に、突出部が潰れて、衝撃を効率良く吸収することができる。したがって、瞬間的に大きな衝撃が精密基板収納容器に加わる事態を防止することができ、落下衝撃を効果的に緩衝させることができる。

また、突出部の径は、先端側に向かって階段状に小さくなることが好ましい。すなわち、突出部が精密基板収納容器と離間する方向に突出する場合には、突出部の径は、精密基板収納容器と離間するにつれて階段状に小さくなり、突出部が精密基板収納容器と接近する方向に突出する場合には、突出部の径は、精密基板収納容器と接近するにつれて階段状に小さくなる。

また、本発明の包装体は、上記の梱包用緩衝体を備えることを特徴とする。この発明によれば、上記の梱包用緩衝体を備えているため、外部から衝撃を受けた場合に、衝撃を効率良く吸収することができる。したがって、瞬間的に大きな衝撃が精密基板収納容器に加わる事態を防止することができ、落下衝撃を効果的に緩衝させることができる。

本発明に係る梱包用緩衝体および包装体によれば、落下時の衝撃を有効に吸収することができる。

本発明の第１実施形態に係る包装体に精密基板収納容器を収納する際の分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る包装体に精密基板収納容器が収納された状態の断面図である。 本発明の第１実施形態に係る上部緩衝体の斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る上部緩衝体の平面図である。 図３のＶ−Ｖ線断面図である。 本発明の第１実施形態に係る下部緩衝体の斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る下部緩衝体の平面図である。 補強体を備えた上部緩衝体の断面図である。 本発明に係るベローズの変形例を示す拡大断面図である。 本発明の他の実施形態に係る上部緩衝体の断面図である。 本発明の第２実施形態に係る緩衝体の斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る緩衝体の平面図である。 図１１のXIII−XIII線断面図である。 図１２のXIV−XIV線断面図である。 本発明の第３実施形態に係る緩衝体の斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る緩衝体の平面図である。 図１５のXVII−XVII線断面図である。 本発明の変形例に係る補強凸部が形成された外周壁の断面図である。 本発明の変形例に係る段差部が形成された緩衝体の平面図である。

符号の説明

１…包装箱（包装体）、２Ａ，２Ｃ…上部緩衝体（梱包用緩衝体）、２Ｂ…下部緩衝体（梱包用緩衝体）、２Ｄ，２Ｅ…緩衝体（梱包用緩衝体）、３…精密基板収納容器、２１，４１，６１，７１…底部、２２，４２，６２，７２，８２…外周壁、２３，４３，６３…ベローズ（補強部）、２４，７４…突出部、２５，４５，７５…台座部（当接部）、２６，４６，６６，７６…外周底部、２７，４７，６７，７７…段差部、４８…半円形状部（円弧状の凹部）、４９…半円形状部（円弧状の凸部）６４…突出部（当接部）、６５…対向部、７３，８３…補強凹部（補強部）。

以下、本発明に係る梱包用緩衝体および包装体の実施形態を図面に基づき説明する。なお、各図において、同一要素には同一符号を付して重複する説明を省略する。

図１は、本発明の第１実施形態に係る包装体に精密基板収納容器を収納する際の分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る包装体に精密基板収納容器が収納された状態の断面図である。図１および図２に示すように、包装体１００は、包装箱１と、上部緩衝体２Ａと、下部緩衝体２Ｂとを有する。

包装箱１は、精密基板収納容器３を輸送する際に、精密基板収納容器３を梱包するための箱である。精密基板収納容器３は、半導体ウェーハ（精密基板）３３を収納する容器である。この精密基板収納容器３は、プラスチック袋やアルミラミネート袋に入れられて密封された後に、上部緩衝体２Ａと下部緩衝体２Ｂの間に保持されて包装箱１に梱包される。

包装箱１としては、例えば、各種のダンボール箱、ポリエチレン、ポリプロピレン等のプラスチック樹脂製の箱、ポリウレタン、ポリエチレン、ポリプロピレン樹脂等の発泡材料製の箱が使用でき、一または複数の精密基板収納容器３を収納可能な大きさに形成される。特に、包装箱１をプラスチック樹脂製にすることによって、リユースの利便性を向上させることができるとともに、紙粉等によるクリーンルームの汚染を滅却させることができる。

上部緩衝体２Ａは、精密基板収納容器３を包装箱１に梱包する際に、精密基板収納容器３の上部に配置される緩衝体であり、下部緩衝体２Ｂは、精密基板収納容器３を包装箱１に梱包する際に、精密基板収納容器３の下部に配置される緩衝体である。なお、以下の説明において、上部緩衝体及び下部緩衝体を区別する必要がない場合には、緩衝体２Ａ，２Ｂとする。また、緩衝体２Ａ，２Ｂの説明において、精密基板収納容器３側を正面側とし、その反対側を背面側とする。

緩衝体２Ａ，２Ｂは、樹脂シートを真空成形、圧空成形、プレス成形、プラグアシスト等の公知の製造方法により成形される。緩衝体２Ａ，２Ｂに成形される樹脂シートとしては、ポリオレフィン系樹脂やポリスチレン系樹脂などのプラスチック製シートが挙げられる。樹脂シートの厚さは、０．５ｍｍ〜２．０ｍｍ程度が好ましく、０．７ｍｍ〜１．６ｍｍ程度がより好ましい。また、上記樹脂シートに、帯電防止剤や着色剤あるいは各種添加剤を添加してもよい。

次に、上部緩衝体２Ａについて、図３〜図５を参照して説明する。図３は、本発明の第１実施形態に係る上部緩衝体の斜視図、図４は、本発明の第１実施形態に係る上部緩衝体の平面図、図５は、図３のＶ−Ｖ線断面図である。

上部緩衝体２Ａには、精密基板収納容器３を収容するための凹部が設けられている。この凹部は、精密基板収納容器３の上面を覆う底部２１と、この底部２１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁２２とによって形成される。外周壁２２の高さは、外周方向に沿って交互に高低を繰り返す。以下においては、外周壁２２の高い部分を外周壁凸部２２ａと称し、外周壁２２の低い部分を外周壁凹部２２ｂと称する。本実施形態では、外周壁凸部２２ａおよび外周壁凹部２２ｂをそれぞれ４箇所ずつ外周方向に沿って交互に設けた。

外周壁２２の端面（端部）には、衝撃を吸収するためのベローズ（補強部）２３が形成されている。このベローズ２３は、３つの連続した三角形状の屈曲片により形成され、精密基板収納容器の全周を取り囲むように形成されている。ベローズ２３を形成する各三角形状の高さは同一に形成されている。外周壁２２の端面にベローズ２３を形成することによって、側方から衝撃を受けた場合に、外周壁２２が伸縮して、衝撃を効率良く吸収することができる。また、外周壁２２の高さを変化させて、ベローズの高さ位置が異なるようにすることが好ましく、これにより、外周壁２２を好適に伸縮させることができる。

上部緩衝体２Ａの底部２１は、精密基板収納容器３の上面（蓋体３２）と当接可能とされた台座部（当接部）２５と、この台座部２５の外周に形成され精密基板収納容器３に対して台座部２５より離間した位置に形成された外周底部２６とを備えている。すなわち、台座部２５は、外周底部２６から正面側（図５における上側）へ迫り出すように形成されている。また、台座部２５と外周底部２６との間には、階段状の段差部２７が形成されている。この段差部２７は、台座部２５の外周を取り囲むように形成されている。段差部２７は複数の段部２７ａによって構成され、各段部２７ａは略同じ高さとされている。

このように台座部２５の外周を取り囲むように段差部２７を設けることによって、上下方向から衝撃を受けた場合に、段差部２７で衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができる。つまり、衝撃を受けた場合に、段差部２７全体が一気に潰れてしまう事態を抑制することができると共に、剛性のある外周壁２２の影響を排除して、台座部２５をバランス良くスムーズに変形させることができる。従って、上下方向（高さ方向）における衝撃吸収能力を向上させることができる。

上部緩衝体２Ａの台座部２５には、背面側へ突出する複数の突出部２４が形成されている。図３に示すように、突出部２４は、三行×三列に配設され、これら突出部２４の高さは３０ｍｍ〜８０ｍｍの間で同一の高さになるように形成されている。突出部２４は、円柱状の四つの段部２４ｓ，２４ｐを有し、これら段部部分の直径は１０ｍｍ〜８０ｍｍで、突出部２４の先端部分２４ｐに向かうほど段部部分の直径が小さくなるように形成されている。各段部間の段差は５〜１５ｍｍの間で形成されている。突出部２４の高さは同一ではなく、部分的に異なるようにしておくこともできる。

突出部２４に複数の段部２４ｓ，２４ｐを設けることによって、それぞれの段部ごとに異なる座屈強度を持たせることができる。したがって、外部から衝撃を受けた場合に、突出部２４によって衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができる。つまり、衝撃を受けた場合に、突出部２４全体が一気に潰れてしまう事態を抑制することができ、ひいては、精密基板収納容器に強い衝撃が加わる事態を防止することができる。さらに、精密基板を保持するリテーナ３１が取り付けられた蓋体３２が一気に変動する事態を抑制することができるため、パーティクルを低減させることができる。

また、突出部２４の先端部分２４ｐの剛性は、その他の部分と比較して極端に弱めることが好ましい。また、突出部２４の先端部分２４ｐは、外周底部２６より背面側に突出し、突出部２４の先端部分２４ｐの下面と、外周壁２２の下端２２ｃとの間にクリアランスが設けられている（外周壁２２の下端２２ｃは、突出部２４の先端部分２４ｐの下面より下方に突出する）ことが好ましい。このような構造とすることで、緩衝能力を高めると共に、振動の伝達を抑制して耐振動性能の向上を図ることができる。

次に、下部緩衝体２Ｂについて、図２、図６及び図７を参照して説明する。図６は、本発明の第１実施形態に係る下部緩衝体の斜視図、図７は、本発明の第１実施形態に係る下部緩衝体の平面図である。

下部緩衝体２Ｂには、精密基板収納容器３を収容するための凹部が設けられている。この凹部は、精密基板収納容器３の下面を覆う底部４１と、この底部４１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁４２とによって形成される。外周壁４２の高さは、外周方向に沿って高低を繰り返す。以下においては、外周壁４２の高い部分を外周壁凸部４２ａと称し、外周壁４２の低い部分を外周凹部４２ｂと称する。本実施形態では、一対の外周凹部４２ｂが対向して配置されている。

外周壁４２の端面（端部）には、衝撃を吸収するためのベローズ４３が形成されている。このベローズ４３は、３つの連続した三角形状の屈曲片により形成され、精密基板収納容器の全周を取り囲むように形成されている。ベローズ４３を形成する各三角形状の高さは同一に形成されている。外周壁４２の端面にベローズ４３を形成することによって、側方から衝撃を受けた場合に、外周壁４２が伸縮して、衝撃を効率良く吸収することができる。また、外周壁４２の高さを変化させて、ベローズ４３の高さ位置が異なるようにすることが好ましく、これにより、外周壁４２を好適に伸縮させることができる。

下部緩衝体２Ｂの底部４１は、精密基板収納容器３の下面と当接可能とされた台座部（当接部）４５と、この台座部４５の外周に形成され精密基板収納容器３に対して台座部４５より離間した位置に形成された外周底部４６とを備えている。すなわち、台座部４５は、外周底部４６から正面側（図示上側）へ迫り出すように形成されている。また、台座部４５と外周底部４６との間には、階段状の段差部４７が形成されている。この段差部４７は、台座部４５の外周を取り囲むように形成されている。段差部４７は複数の段部４７ａ，４７ｂ，４７ｃによって構成されている。ここでは、台座部４５から外周底部４６に向かって、順に、段部４７ａ，４７ｂ，４７ｃとする。また、段部４７ａ，４７ｂは、平面視において、内方へ凹む半円形状部４８を有している。この半円形状部４８は、対向する一対の辺に、複数個（本実施形態では３個）配置されている。なお、半円形状部４８に代えて、図１９に示すように、平面視において、外方へ突出する半円形状部４９としてもよい。

このように台座部４５の外周を取り囲むように段差部４７を設けることによって、上下方向から衝撃を受けた場合に、段差部４７で衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができる。つまり、衝撃を受けた場合に、段差部４７全体が一気に潰れてしまう事態を抑制することができると共に、剛性のある外周壁４２の影響を排除して、台座部４５をバランス良くスムーズに変形させることができる。従って、上下方向（高さ方向）における衝撃吸収能力を向上させることができる。

下部緩衝体２Ｂの台座部４５には、外周壁４２の背面側に突出する複数の突出部４４が形成されている。図７に示すように、突出部４４は、一行×二列に配設され、これら突出部４４の高さは３０ｍｍ〜８０ｍｍの間で同一の高さになるように形成されている。突出部４４は、円柱状の四つの段部を有し、これら段部部分の直径は１０ｍｍ〜８０ｍｍで、突出部４４の先端部分４４ｐに向かうほど段部部分の直径が小さくなるように形成されている。各段部間の段差は５〜１５ｍｍの間で形成されている。

突出部４４に複数の段部を設けることによって、それぞれの段部ごとに異なる座屈強度を持たせることができる。したがって、外部から衝撃を受けた場合に、突出部４４で衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができる。つまり、衝撃を受けた場合に、突出部４４全体が一気に潰れてしまう事態を抑制することができ、ひいては、精密基板収納容器に強い衝撃が加わる事態を防止することができる。さらに、精密基板を保持するリテーナ３１が取り付けられた蓋体３２が一気に変動する事態を抑制することができるため、パーティクルを低減させることできる。

また、突出部４４の先端部分４４ｐの剛性は、その他部分と比較して極端に弱めることが好ましい。また、突出部４４の先端部分４４ｐは、外周底部４６より背面側に突出することが好ましい。このような構造を採用することにより、振動の伝達を抑制して耐振動性能の向上を図ることができる。

このように緩衝体２Ａ，２Ｂによれば、精密基板収納容器を収納する凹部の底部２１，４１に、当接部２５，４５、段差部２７，４７、外周底部２６，４６が形成され、当接部２５，４５は、外周底部２６，４６から段差部２７，４７を介して正面側に突出するように形成されている。これにより、上下方向の衝撃を受けた際に、段差部２７，４７が順次潰れ、一度の衝撃で複数段全ての段差部２７，４７が潰れて衝撃緩衝力（衝撃吸収能力）を失うことを防止することができる。従って、精密基板収納容器３に強い衝撃が加わることがなくなるため、精密基板収納容器３の開口部を閉鎖している蓋体３２への衝撃を緩和することができる。基板を保持するリテーナへの振動や衝撃を緩和することができるので、基板上のパーティクル増加が防止される。

また、このような包装体１００は、自動化対応されたラッチ機構が内蔵された蓋体を有する精密基板収納容器の梱包体として十分な衝撃緩衝力を有して、従来の包装体では対応困難と考えられていた１５０ｃｍ落下試験でも、精密基板（ウエーハ）の破損や溝外れ、パーティクルの増加を防止することができる。また、振動試験を行った場合でも、精密基板の回転移動が無く、精密基板収納容器内の汚染を防止できることが確認された。これにより、精密基板収納容器を安全に輸送することができる。

また、緩衝体２Ａ，２Ｂを着色することにより、仕様変更などがあった場合、初期流動品などを梱包状態で分けて管理することができる。また、雌型を用いて樹脂シートを成形することにより、緩衝体２Ａ，２Ｂの底部やコーナー部の肉厚を維持しつつ、強度を向上させることができると共に、緩衝体２Ａ，２Ｂの底部やコーナー部の延伸量を低減して、成形前の樹脂シートの肉厚を保つことができる。

次に、本発明の第２実施形態に係る緩衝体２Ｄについて、図１１〜図１４を参照しながら説明する。図１１は、本発明の第２実施形態に係る緩衝体の斜視図、図１２は、本発明の第２実施形態に係る緩衝体の平面図、図１３は、図１１のXIII−XIII線断面図、図１４は、図１２のXIV−XIV線断面図である。緩衝体２Ｄは、精密基板収納容器３を包装箱１に梱包する際に、精密基板収納容器３の上部および／または下部に配置されるものである。緩衝体２Ｄの説明において、精密基板収納容器３側を正面側とし、その反対側を背面側とする。

緩衝体２Ｄには、精密基板収納容器３を収容するための凹部が設けられている。この凹部は、精密基板収納容器３の上面または下面を覆う底部７１と、この底部７１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁７２とによって形成される。外周壁７２の高さは、外周方向に沿って交互に高低を繰り返す。以下においては、外周壁７２の高い部分を外周壁凸部７２ａと称し、外周壁７２の低い部分を外周壁凹部７２ｂと称する。本実施形態では、外周壁凸部７２ａおよび外周壁凹部７２ｂをそれぞれ４箇所ずつ外周方向に沿って交互に設けた。

外周壁７２の端面には、衝撃を吸収するための補強凹部（補強部）７３が複数形成されている。この補強凹部７３は、図１４に示すように、断面が円弧状（半円形状）を成し、下方に窪むように形成され、平面視において、直線状に形成されている。また、補強凹部７３は、精密基板収納容器３の外周を取り囲むように部分的に形成されている。外周壁７２の端面に補強凹部７３を形成することによって、側方から衝撃を受けた場合に、外周壁７２が伸縮して、衝撃を効率良く吸収することができる。

緩衝体２Ｄの底部７１は、精密基板収納容器３の上面（蓋体３２）または下面と当接可能とされた台座部（当接部）７５と、この台座部７５の外周に形成され精密基板収納容器３に対して台座部７５より離間した位置に形成された外周底部７６とを備えている。すなわち、台座部７５は、外周底部７６から正面側（図１２における上側）へ迫り出すように形成されている。また、台座部７５と外周底部７６との間には、階段状の段差部７７が形成されている。この段差部７７は、台座部７５の外周を取り囲むように形成されている。段差部７７は複数の段部７７ａによって構成され、各段部７７ａは略同じ高さとされている。

このように台座部７５の外周を取り囲むように段差部７７を設けることによって、上下方向から衝撃を受けた場合に、段差部７７で衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができる。つまり、衝撃を受けた場合に、段差部７７全体が一気に潰れてしまう事態を抑制することができると共に、剛性のある外周壁７２の影響を排除して、台座部７５をバランス良くスムーズに変形させることができる。従って、上下方向（高さ方向）における衝撃吸収能力を向上させることができる。

緩衝体２Ｄの台座部７５には、背面側へ突出する突出部７４が形成されている。突出部７４は、台座部７５の中央に配置され、平面視において矩形を成している。突出部７４は、四つの段部７４ｓ（図１３参照）を有している。各段部間の段差は５〜１５ｍｍの間で形成されることが好ましい。また、突出部７４の先端部分７４ｐの中央には、貫通穴７８が形成されている。

突出部７４に複数の段部７４ｓ，７４ｐを設けることによって、それぞれ段部７４ｓ，７４ｐごとに異なる座屈強度を持たせることができる。したがって、外部から衝撃を受けた場合に、突出部７４によって衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができる。つまり、衝撃を受けた場合に、突出部７４全体が一気に潰れてしまう事態を抑制することができ、ひいては、精密基板収納容器３に強い衝撃が加わる事態を防止することができる。さらに、精密基板を保持するリテーナ３１（図２参照）が取り付けられた蓋体３２が一気に変動する事態を抑制することができるため、パーティクルを低減させることができる。

また、突出部７４の先端部分７４ｐの剛性は、その他の部分と比較して極端に弱めることが好ましい。また、突出部７４の先端部分７４ｐは、外周底部７６より背面側に突出することが好ましい。突出部７４の先端部分７４ｐの下面と、外周壁７２の下端７２ｃとの間にクリアランスが設けられていることが好ましい。このような構造とすることで、緩衝能力を高めると共に、振動の伝達を抑制して耐振動性能の向上を図ることができる。

このような本実施形態の緩衝体２Ｄにあっても、台座部７５が段差部７７を介して外周底部７６から正面側に突出するように形成されている。これにより、上下方向の衝撃を受けた際に、段差部７７が順次潰れ、一度の衝撃で複数段全ての段差部７７が潰れて衝撃緩衝力（衝撃吸収能力）を失うことを防止することができる。従って、精密基板収納容器３に強い衝撃が加わることがなくなるため、精密基板収納容器３の開口部を閉鎖している蓋体への衝撃を緩和することができる。基板を保持するリテーナへの振動や衝撃を緩和することができるので、基板上のパーティクル増加が防止される。このように、第２実施形態の緩衝体２Ｄにあっても、第１実施形態の緩衝体２Ａ，２Ｂと同様な作用、効果を奏する。

次に、本発明の第３実施形態に係る緩衝体２Ｅについて、図１５〜図１７を参照しながら説明する。図１５は、本発明の第３実施形態に係る緩衝体の斜視図、図１６は、本発明の第３実施形態に係る緩衝体の平面図、図１７は、図１５のXVII−XVII線断面図である。緩衝体２Ｅは、精密基板収納容器３を包装箱１に梱包する際に、精密基板収納容器３の上部および／または下部に配置されるものである。この第３実施形態の緩衝体２Ｅが第１実施形態の上部緩衝体２Ａと違う点は、外周壁に形成された補強部の構造が異なる点であり、ベローズ２３が形成された外周壁２２に代えて、補強凹部８３が形成された外周壁８２を備えている点である。その他の構成は、上部緩衝体２Ａの構成と同等であるため、同一符号を付して重複説明を省略する。

外周壁８２は、外周壁２２同様、底部２１の外周縁から立ち上がって隆起している。外周壁８２の高さは、外周方向に沿って交互に高低を繰り返し、外周壁８２の高い部分である外周壁凸部８２ａと、外周壁８２の低い部分である外周凹部８２ｂとを有している。

外周壁８２の端面には、衝撃を吸収するための補強凹部（補強部）８３が複数形成されている。この補強凹部８３は、平面視において、円形に形成されると共に、断面が円弧状（半円形状）を成し、下方に窪むように形成されている。複数の補強凹部８３は、外周壁８２の端面の長手方向に沿って、所定間隔離間して配置されている。外周壁８２の端面に補強凹部８３を形成することによって、側方から衝撃を受けた場合に、外周壁８２が伸縮して、衝撃を効率良く吸収することができる。このように構成された第３実施形態の緩衝体２Ｅにあっても、第１実施形態の緩衝体２Ａ，２Ｂと同様な作用、効果を奏する。

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、包装体は、上部緩衝体２Ａ及び下部緩衝体２Ｂを備える構成としているが、上部緩衝体２Ａ及び下部緩衝体２Ｂの少なくとも一方を備える包装体としてもよい。例えば、上部緩衝体２Ａを備え、精密基板収納容器３の底部側（蓋体と反対側）に、底部に凹凸形状を有するその他の緩衝体を使用してもよい。

また、図８に示すように、例えば、上部緩衝体２Ａの背面側に、上部緩衝体２Ａの強度を向上させることを目的として、補強体５１を装着しても良い。補強体５１は、板状を成し、上部緩衝体２Ａの背面側の開口部に対応する大きさとされている。また、この補強体は、突出部２４、外周底部２６の背面と当接するように配置されている。

本実施形態における包装体によると、上述した特許文献５に開示された精密基板収納容器を梱包する場合でも十分な衝撃緩衝力を発揮することができる。具体的に説明すると、上述した特許文献２〜４に開示された従来の包装体では対応することが困難であった１．５ｍの落下試験を行ったところ、半導体ウェーハの破損や溝外れ、パーティクルの増加等の異常が発生しないことが確認された。また、振動試験を行ったところ、半導体ウェーハが回転することなく、汚染が生じないことが確認された。したがって、本実施形態における包装体を用いることによって、精密基板収納容器を安全に輸送することができる。

また、上部緩衝体２Ａは、ネスティングした状態で保管することができるため、保管スペースを削減することができるとともに、リユースの際の搬送コストも削減することができる。

また、上述した実施形態におけるベローズ２３では、ベローズを形成する各三角形状の高さを同一に形成しているが、これに限定されない。例えば、図９に示すように、ベローズを形成する各三角形状２３ａ，２３ｂ，２３ｃの高さを内側から外側にかけて徐々に高くしてもよい。また、ベローズを形成する各三角形状の高さを内側から外側にかけて徐々に低くしてもよい。このようなベローズ２３を形成することによって、ベローズ２３の圧縮強度を徐々に変化させることができる。したがって、衝撃を受けた場合に、異なる高さのベローズ２３で衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができ、緩衝吸収能力をより向上させることができる。また、こうした構造にすると、精密基板収納容器を梱包して輸送するときの振動吸収にも効果的である。

また、上述した実施形態におけるベローズ２３は、３つの連続した三角形状の屈曲片により形成されているが、これに限定されることはなく、複数の三角形状の屈曲片により形成されていれば良く、形状も三角形状に限らず、多角形状や波形状でも良い。

また、上述したベローズ２３は、精密基板収納容器の全周を取り囲むように形成されているが、これに限定されることはなく、ベローズ２３は、少なくとも一部に形成されていればよい。ただし、全周に設けた方が衝撃をより吸収することができる。

また、上述した実施形態における突出部２４は、外周壁２２の隆起方向とは反対側の方向に突出しているが、突出部２４の突出方向は、これに限定されない。例えば、図１０に示すように、外周壁２２の隆起方向と同じ方向に突出する突出部６４を備えた上部緩衝体２Ｃとしてもよい。以下、他の実施形態として、上部緩衝体２Ｃについて説明する。

図１０は、本発明の他の実施形態に係る上部緩衝体の断面図である。上部緩衝体２Ｃには、精密基板収納容器３の上面を覆う底部６１と、この底部６１の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁６２とによって形成される。外周壁６２の高さは、外周方向に沿って交互に高低を繰り返し、外周壁６２の高い分部を外周凸部６２ａとし、外周壁６２の低い部分を外周壁凹部６２ｂとする。外周壁凸部６２ａおよび外周壁凹部６２ｂは、それぞれ４箇所ずつ外周方向に沿って交互に設けられ、外周壁６２の端面（端部）には、衝撃を吸収するためのベローズ６３が形成されている。

上部緩衝体２Ｃの底部６１は、精密基板収納容器３の上面と対面する対向部６５と、この対向部６５の外周に形成された外周底部６６とを備えている。対向部６５は、精密基板収納容器３に対して外周底部６６より離間した位置に形成されている。すなわち、対向部６５は、外周底部６６から背面側へ凹むように形成されている。また、対向部６５と外周底部６６との間には、階段状の段差部６７が形成されている。この段差部６７は、対向部６５の外周を取り囲むように形成されている。段差部６７は複数の段部６７ａによって構成され、各段部６７ａは略同じ高さとされている。

また、上部緩衝体２Ｃの対向部６５には、正面側（精密基板収納容器と接近する方向）へ突出する複数の突出部６４が形成されている。突出部６４は、三行×三列に配設され、これら突出部６４の高さは３０ｍｍ〜８０ｍｍの間で同一の高さになるように形成されている。突出部６４は、円柱状の四つの段部６４ｓ，６４ｐを有し、これら段部部分の直径は１０ｍｍ〜８０ｍｍで、突出部６４の先端部分６４ｐに向かうほど段部部分の直径が小さくなるように形成されている。各段部間の段差は５〜１５ｍｍの間で形成されている。そして、この突出部６４の先端部分６４ｐが本発明の当接部に相当するものである。すなわち、突出部６４の先端部分６４ｐは、外周底部６６より正面側に形成され、精密基板収納容器３の上面に当接可能とされている。

このように構成された上部緩衝体２Ｃにあっても、上述した緩衝体２Ａ，２Ｂと同様に、上下方向の衝撃吸収能力を向上させることができる。具体的には、外部から衝撃を受けた場合に、突出部６４及び段差部６７によって、衝撃を段階的に受け止めながら緩和させていくことができる。つまり、衝撃を受けた場合に、突出部６４及び段差部６７が一気に潰れてしまう事態を抑制することができ、ひいては、精密基板収納容器３に強い衝撃が加わる事態を防止することができる。さらに、精密基板を保持するリテーナ３１が取り付けられた蓋体３２が一気に変動する事態を抑制することができるため、パーティクルを低減させることできる。

また、上述した第２実施形態の緩衝体２Ｄ及び第３実施形態の緩衝体２Ｅでは、図１４に示すように、外周壁７２，８２の内部側（図示下側）へ凹む補強凹部７３，８３が形成されているが、補強部はこれに限定されない。例えば、図１８に示すように、補強部は、外周壁７２，８２の外部側（図示上側）へ突出する補強凸部９３であってもよい。

また、上記実施形態では、緩衝体２Ａ〜２Ｅは、段差部２７，４７，６７，７７を備える構成としているが、段差部を備えていない緩衝体としてもよい。

本発明は、トランジスタやダイオードなどの半導体素子、メモリやＬＳＩなどの半導体回路部品、ＣＣＤ、半導体レーザなどの光学回路部品などを生産するために使用されるシリコン、ガラス、化合物、酸化物等の各種のウェーハ、半導体ウェーハ、マスクガラス、ペリクル、液晶ガラス、あるいは、アルミやガラスなどからなるハードディスク基板や光ディスク等の情報記憶媒体等の精密基板を収納する精密基板収納容器を梱包する際に用いられる梱包用緩衝体およびこの緩衝体を備える包装体に利用できる。

Claims (10)

1. 精密基板を収納する精密基板収納容器を包装体に梱包する際に、前記精密基板収納容器の上部および／または下部に配置される梱包用緩衝体であって、
   前記梱包時に前記精密基板収納容器の上面または下面を覆う底部と、
   前記底部の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁と、
   前記外周壁に形成された補強部とを備え、
   前記底部は、前記精密基板収納容器の上面または下面と当接可能とされた当接部と、
   前記当接部の外周に形成され前記精密基板収納容器に対して前記当接部より離間した位置に形成された外周底部とを有し、
   前記当接部と前記外周底部との間には、段差部が形成されていることを特徴とする梱包用緩衝体。
2. 前記補強部が、ベローズであることを特徴とする請求項１記載の梱包用緩衝体。
3. 前記補強部が、断面形状が円弧状の凹部または凸部であることを特徴とする請求項１記載の梱包用緩衝体。
4. 前記当接部は、前記外周底部より前記精密基板収納容器に向かって迫り出した台座部であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の梱包用緩衝体。
5. 前記台座部には、前記精密基板収納容器と離間する方向へ突出し、前記精密基板収納容器と離間するにつれて径が階段状に小さくされた突出部が形成されていることを特徴とする請求項４記載の梱包用緩衝体。
6. 前記底部は、前記精密基板収納容器の上面または下面と対面する対向部と、
   前記対向部より前記精密基板収納容器と接近する方向へ突出し、前記精密基板収納容器に接近するにつれて径が階段状に小さくされた突出部とを有し、
   前記当接部は、前記突出部によって形成されることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の梱包用緩衝体。
7. 前記段差部には、平面視において、内方に凹む円弧状の凹部または外方に突出する円弧状の凸部が形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の梱包用緩衝体。
8. 精密基板を収納する精密基板収納容器を包装体に梱包する際に、前記精密基板収納容器の上部および／または下部に配置される梱包用緩衝体であって、
   前記梱包時に前記精密基板収納容器の上面または下面を覆う底部と、
   前記底部の外周縁から立ち上がって隆起する外周壁と、
   前記外周壁に形成された補強部とを備え、
   前記底部は、前記精密基板収納容器の上面または下面と当接可能とされた当接部を有し、
   前記当接部は、前記精密基板収納容器と離間又は接近する方向に突出する突出部を有することを特徴とする梱包用緩衝体。
9. 前記突出部の径は、先端側に向かって階段状に小さくなることを特徴とする請求項８記載の梱包用緩衝体。
10. 請求項１〜９の何れか一項に記載の梱包用緩衝体を備えることを特徴とする包装体。

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