JP5980716B2 - 梱包体 - Google Patents
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Description
特許文献1は、基板収納容器をその上下部において緩衝体を介して包装箱に収納した構成の梱包体の記載がある。各緩衝体の基板収納容器と対向する面は該基板収納容器と嵌合できる凹凸面が形成されている。
特許文献2は、ウェーハ容器をその上下部において緩衝体を介して外装箱に収納した構成の記載がある。各緩衝体の外装箱に対向する面は環状の緩衝突起が形成されている。
特許文献3は、ウェーハ用カセットケースをその上下部において緩衝部材を介して段ボール箱に収納した構成の記載がある。各緩衝体の段ボール箱に対向する面には複数の衝撃吸収ブロックが形成されている。
ここで、ウェーハ収納容器は、いわゆる平置きの場合、収納される半導体ウェーハは水平状態にして垂直方向に多数配置されるようになっているが、各半導体ウェーハの撓みが生じてしまうのを回避するため、いわゆる縦置きにし、収納される各半導体ウェーハを垂直状態にしておく場合が往々にしてある。
この場合、緩衝体を、平置き用のウェーハ収納容器に対応するようにして形成した場合、ウェーハ収納容器を縦置きにして収納させたい場合において、該緩衝体を使用できず、他に、縦置き用に形成した緩衝体を予め用意しておかなければならないという不都合を生じる。
(1)本発明の梱包体は、1または複数のウェーハ収納容器を梱包する梱包体であって、前記ウェーハ収納容器を振動から保護する緩衝体を備え、前記緩衝体は、外周壁と、前記外周壁に囲まれ、前記ウェーハ収納容器の第1面部を収納可能に形成された第1収納凹部と、前記第1収納凹部内に形成され、前記第1収納凹部に収納された前記ウェーハ収納容器を支持する支持部と、前記外周壁に囲まれ、前記支持部を間にして複数形成され、前記ウェーハ収納容器の前記第1面部に隣接する第2面部を収納可能に形成された第2収納凹部と、を備えることを特徴とする。
(2)本発明の梱包体は、(1)の構成において、前記第1収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが水平状態になるように収納し、前記第2収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが垂直状態になるように収納する、ことを特徴とする。
(3)本発明の梱包体は、(1)、(2)のいずれかの構成において、前記支持部は、隣接される前記第2収納凹部の間に形成される第1支持部と、前記第1支持部の長手方向と交差する方向に延在する第2支持部と、を有することを特徴とする。
(4)本発明の梱包体は、(3)の構成において、前記第1支持部は、隣接する前記第2収納凹部を区画するリブで形成され、前記第2支持部は、前記外周壁の内周面に設けられた棚部によって形成されている、ことを特徴とする。
(5)本発明の梱包体は、(4)の構成において、前記外周壁は、前記棚部と対向する内周面に、前記ウェーハ収納容器を前記棚部に載置させるための位置決め突起を有する、ことを特徴とする。
(実施形態1)
図1は、本発明の梱包体を示した断面図で、ウェーハ収納容器が収納された状態を示している。
図1において、ウェーハ収納容器10は、包装箱20内の底面に配置される第1緩衝体301と包装箱20内の上面に配置される第2緩衝体302とで挟持されるように配置されている。
ここで、図3(a)、(b)を用いて、ウェーハ収納容器10の構成について概略的に説明する。図3(a)、(b)に示すウェーハ収納容器10は平置きの状態で描いている。
図3(a)に示すように、ウェーハ収納容器10は、有底円筒状の容器本体10Aと、この容器本体10Aに被せられる蓋体10Bとの組み合わせによって構成されている。
図3(b)に示すように、半導体ウェーハWは、その上下面にスペーサシート16で挟んでトレー17内に収容され、それぞれ半導体ウェーハWを収容したトレー17、17、…は、多段に積み重ねられて配置されている。また、半導体ウェーハWを収容したトレー17、17、…の積層体は、容器本体10A側に配置されたクッション18と蓋体10B側に配置されたクッション19よって挟持され、半導体ウェーハWは、これらクッション18、19によって、重量あるいは締め付け力による破損から保護されるようになっている。
上述したように、第1緩衝体301は、たとえば、樹脂シートの加熱・真空成形法により製造されるようになっている。
第1緩衝体301の外周壁31の形成によって、該外周壁31に囲まれる領域には奥行方向(図2(a)、(b)中α方向)に、順次、第1収納凹部32、第2収納凹部33が形成されるようになっている。
また、第1支持部34のそれぞれの一端側の外周壁31の壁面にはその周方向に延在して棚部35が形成され、この棚部は、その高さが第1支持部34の高さhと同じとなることにより、第2支持部36として機能するようになっている。この場合、第2支持部36は第1支持部34に対して交差する方向に延在して形成されるようになる。
また、外周壁31には、前記棚部35対向する内周面(壁面)に、前記ウェーハ収納容器10を前記棚部35に載置させるための位置決め突起37が第1支持部34の長手方向に突出して形成されている。これにより、第1収納凹部32に収納されるウェーハ収納容器10は、第2支持部36である棚部35に確実に載置でき、第1支持部34とともに支持されるようになる。位置決め突起37がない場合は、第1収納凹部32と同じ幅の第2収納凹部33を形成する関係から、第1収納凹部32にウェーハ収納容器10を搭載した時のガタツキが大きくなる他、第1支持部34でのみウェーハ収納容器10を支持することも生じるので、負荷が大きくなってウェーハ収納容器10を安定的に支持することができなくなる。そのため、位置決め突起37により第1収納凹部32の中心(図中O)を、第2収納凹部33の中心(図中O’)から変位した位置になるようにずらすことで、第1支持部34と第2支持部36とで、ウェーハ収納容器10を支持することが可能となる。
この場合、第1緩衝体301、第2緩衝体302は、図1に示したものと同様のものを用い、包装箱20’は、図1に示した包装箱20よりも高さの大きいものを使用している。ウェーハ収納容器10を縦置き状態とした場合の高さ寸法に対応させるためである。なお、縦置き状態のウェーハ収納容器10は、それに内蔵される半導体ウェーハWが垂直状態に配置されるようになっている。
各ウェーハ収納容器10は、図4に示すように、第1緩衝体301、第2緩衝体302の第2収納凹部33に収納されるようになっている。
第1支持リブ34、第2支持リブ36は、それぞれ連続する1本のリブや1つの棚として記載したが、それぞれ複数個に分割されたリブや棚であってもよい。
第2収納凹部33は、3個に限らず、ウェーハ収納容器の寸法に合わせて、任意の個数とできる。また、ウェーハ収納容器は、トレーを用いずにウェーハを、スペーサシート16を介して積層したものであってもよく、中空のダイシングフレームに貼られたフィルムに支持されたウェーハを、スペーサシート16を介して積層したものであっても良い。
これらの他に、上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。また、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
10A……容器本体、
10B……蓋体、
11……基底部、
12……容器円筒部、
13……スリット、
14……蓋体円筒部、
15……角筒部、
16……スペーサシート、
17……トレー、
18、19……クッション、
20……包装箱、
301……第1緩衝体
302……第2緩衝体、
31……外周壁、
32……第1収納凹部、
33……第2収納凹部、
34……第1支持部、
35……棚部、
36……第2支持部、
37……位置決め突起、
51、52……凹凸部。
Claims (5)
- 1または複数のウェーハ収納容器を梱包する梱包体であって、
前記ウェーハ収納容器を振動から保護する緩衝体を備え、
前記緩衝体は、
外周壁と、
前記外周壁に囲まれ、前記ウェーハ収納容器の第1面部を収納可能に形成された第1収納凹部と、
前記第1収納凹部内に形成され、前記第1収納凹部に収納された前記ウェーハ収納容器を支持する支持部と、
前記外周壁に囲まれ、前記支持部を間にして複数形成され、前記ウェーハ収納容器の前記第1面部に隣接する第2面部を収納可能に形成された第2収納凹部と、
を備えることを特徴とする梱包体。 - 前記第1収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが水平状態になるように収納し、
前記第2収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが垂直状態になるように収納する、
ことを特徴とする請求項1に記載の梱包体。 - 前記支持部は、
隣接される前記第2収納凹部の間に形成される第1支持部と、
前記第1支持部の長手方向と交差する方向に延在する第2支持部と、
を有することを特徴とする請求項1、2のいずれかに記載の梱包体。 - 前記第1支持部は、隣接する前記第2収納凹部を区画するリブで形成され、
前記第2支持部は、前記外周壁の内周面に設けられた棚部によって形成されている、
ことを特徴とする請求項3に記載の梱包体。 - 前記外周壁は、前記棚部と対向する内周面に、前記ウェーハ収納容器を前記棚部に載置させるための位置決め突起を有する、
ことを特徴とする請求項4に記載の梱包体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013093695A JP5980716B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | 梱包体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013093695A JP5980716B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | 梱包体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014213899A JP2014213899A (ja) | 2014-11-17 |
JP5980716B2 true JP5980716B2 (ja) | 2016-08-31 |
Family
ID=51940050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013093695A Active JP5980716B2 (ja) | 2013-04-26 | 2013-04-26 | 梱包体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5980716B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015015615A1 (ja) * | 2013-08-01 | 2015-02-05 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器を梱包するための梱包構造 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2803567B2 (ja) * | 1994-05-11 | 1998-09-24 | 信越半導体株式会社 | 半導体ウエーハ収納容器の梱包構造体 |
JPH09290862A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Sony Corp | 集合梱包体 |
JP4480296B2 (ja) * | 2001-05-09 | 2010-06-16 | アキレス株式会社 | 電子部材用収納容器 |
US7584851B2 (en) * | 2004-10-08 | 2009-09-08 | Seagate Technology Llc | Container for disk drives |
JP4827500B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2011-11-30 | 信越ポリマー株式会社 | 梱包体 |
JP4886307B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2012-02-29 | ポーラ化成工業株式会社 | 収納器 |
JP5165623B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2013-03-21 | 積水化成品工業株式会社 | 緩衝包装材 |
-
2013
- 2013-04-26 JP JP2013093695A patent/JP5980716B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014213899A (ja) | 2014-11-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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