JP2014093400A - ウェーハカセットの梱包体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハWのウェーハカセット1と、ウェーハカセット1を上下から挟持する第一、第二の緩衝体30・40とを備えたウェーハカセットの梱包体であり、ウェーハカセット1を、半導体ウェーハWを起立状態で整列収納するカセット2と、カセット2の上部6に着脱自在に嵌合される蓋体12から構成し、カセット2の一対の側壁上部を曲げてフランジ8とし、蓋体12を断面略皿形状に形成してその少なくとも周壁13の両側部をフランジ8に干渉可能とし、第一、第二の緩衝体30・40を、対向板31・41と、対向板31・41から張り出して屈曲する外壁37・48とから形成し、対向板31・41に、ウェーハカセット1を部分的に収容する収容凹部32・42を形成する。
【選択図】図1
Description
しかし、収納容器の部品点数を今以上に削減できれば、コストを大幅に削減して研究開発や設備投資等を促進することができ、しかも、産業廃棄物の低減を通じて地球環境の保護に資することができる。
ウェーハカセットは、複数枚のウェーハを起立させた状態で整列収納可能なカセットと、このカセットの開口した上部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体とを含み、カセットの周壁のうち、少なくとも対向する一対の側壁の上部をそれぞれ外方向に曲げてフランジとし、蓋体を断面略皿形状に形成し、この蓋体の周壁のうち、少なくとも周壁の両側部をカセットのフランジに干渉可能とし、
第一の緩衝体は、第二の緩衝体に対向する対向板と、この対向板の周縁部から下方に屈曲する外壁とを備え、対向板に、ウェーハカセットを部分的に収容する収容凹部を形成し、この収容凹部を、ウェーハカセットの一部を収容して搭載する幅広部と、この幅広部の下方に形成される段差部と、この段差部に形成されて下方に突出する緩衝部とから形成し、
第二の緩衝体は、第一の緩衝体の対向板に対向する対向板と、この対向板の周縁部から上方に屈曲する外壁とを備え、対向板に、ウェーハカセットを部分的に収容する収容凹部を形成し、この収容凹部を、ウェーハカセットの一部以外の残部を収容する幅広部と、この幅広部の上方に形成されてウェーハカセットの蓋体に接触する段差部と、この段差部に形成されて上方に突出する緩衝部とから形成したことを特徴としている。
また、第二の緩衝体の幅広部と段差部のいずれかに、蓋体のドーム部に対向して干渉を回避する回避部を形成することができる。
また、第一の緩衝体の対向板と第二の緩衝体の対向板のいずれか一方に係止凹部を形成し、他方には、係止凹部に嵌め入れられる係止突部を形成することも可能である。
請求項4記載の発明によれば、ウェーハカセットを挟み持つ第一、第二の緩衝体が外れることにより、ウェーハやウェーハカセットが損傷したり、ウェーハが汚染したりするのを防止することが可能になる。
蓋体12は、図1、図3、図4等に示すように、カセット2の開口した上部6と略同じ大きさを有する平面略矩形に形成され、前後左右の周縁部に、カセット2の上部6を外側から包囲する周壁13が一体形成されることにより、断面略皿形に形成される。
包装袋20は、図5には説明の都合上、矩形で図示するが、実際には不定形でウェーハカセット1に密接する。
外壁48は、複数の収容凹部42を包囲する平面略枠形に形成され、第二の緩衝体40が収納箱内の上部に収納されると、収納箱の周壁内面に面接触し、第二の緩衝体40の姿勢を安定させる。
但し、耐久性や低汚染性の観点からすると、プラスチック製の中空構造板(プラ段)の使用が好ましい。また、第一、第二の緩衝体30・40の搬送や輸送に際しては、段ボール箱等からなる収納箱の代わりに、プラスチック製のコンテナを用いることもできる。
2 カセット
5 側壁
6 上部
7 周壁
8 フランジ
9 位置決め凸部
10 位置決め凹部
11 整列溝
12 蓋体
13 周壁
14 枠形溝(溝)
15 ドーム部
16 保持部
17 保持溝
20 包装袋
30 第一の緩衝体
31 対向板
32 収容凹部
33 係止穴(係止凹部)
34 幅広部
35 段差部
36 緩衝部
37 外壁
40 第二の緩衝体
41 対向板
42 収容凹部
43 係止突部
44 幅広部
45 段差部
46 緩衝部
48 外壁
W 半導体ウェーハ(ウェーハ)
Claims (4)
- ウェーハを収納するウェーハカセットと、このウェーハカセットを上下方向から挟んで収容する第一、第二の緩衝体とを備えたウェーハカセットの梱包体であって、
ウェーハカセットは、複数枚のウェーハを起立させた状態で整列収納可能なカセットと、このカセットの開口した上部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体とを含み、カセットの周壁のうち、少なくとも対向する一対の側壁の上部をそれぞれ外方向に曲げてフランジとし、蓋体を断面略皿形状に形成し、この蓋体の周壁のうち、少なくとも周壁の両側部をカセットのフランジに干渉可能とし、
第一の緩衝体は、第二の緩衝体に対向する対向板と、この対向板の周縁部から下方に屈曲する外壁とを備え、対向板に、ウェーハカセットを部分的に収容する収容凹部を形成し、この収容凹部を、ウェーハカセットの一部を収容して搭載する幅広部と、この幅広部の下方に形成される段差部と、この段差部に形成されて下方に突出する緩衝部とから形成し、
第二の緩衝体は、第一の緩衝体の対向板に対向する対向板と、この対向板の周縁部から上方に屈曲する外壁とを備え、対向板に、ウェーハカセットを部分的に収容する収容凹部を形成し、この収容凹部を、ウェーハカセットの一部以外の残部を収容する幅広部と、この幅広部の上方に形成されてウェーハカセットの蓋体に接触する段差部と、この段差部に形成されて上方に突出する緩衝部とから形成したことを特徴とするウェーハカセットの梱包体。 - カセットのフランジに位置決め凸部を形成し、蓋体の内面中央と周壁との間に溝を区画するとともに、この溝に、カセットの位置決め凸部を被覆する中空のドーム部を形成し、第二の緩衝体の段差部には、蓋体のドーム部に対向して干渉を回避する回避部を形成した請求項1記載のウェーハカセットの梱包体。
- 蓋体の内部に、ウェーハの周縁上部を保持する保持部を形成した請求項1又は2記載のウェーハカセットの梱包体。
- 第一の緩衝体の対向板と第二の緩衝体の対向板のいずれか一方に係止凹部を形成し、他方には、係止凹部に嵌め入れられる係止突部を形成した請求項1、2、又は3記載のウェーハカセットの梱包体。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2019127273A (ja) * | 2018-01-22 | 2019-08-01 | 信越ポリマー株式会社 | 緩衝体及び梱包体 |
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-
2012
- 2012-11-02 JP JP2012242655A patent/JP6068096B2/ja active Active
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