TWI661985B - 晶圓收容容器 - Google Patents

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廣瀬賢一
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日商阿基里斯股份有限公司
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Abstract

一種晶圓收容容器(1)，係具備有：容器本體(10)，係於一端具有開口部(11)，於另一端具有與開口部(11)對向且重疊收容晶圓之搭載部(12)；蓋體(20)，係蓋住開口部(11)；以及保持機構(30)，係可開閉地將容器本體(10)與蓋體(20)嵌合保持；保持機構(30)係於至少兩個部位具有：卡止構件(32)，係從容器本體(10)的另一端朝一端延伸，並於一端部具備有卡止爪部(31)；以及卡止孔部(33)，係設置於蓋體(20)，且卡止爪部(31)進行卡止；於蓋體側壁部(21)設置有：導引構件(40)，係於蓋體(20)朝容器本體(10)嵌合時，一邊接觸卡止構件(32)一邊保持同心狀態地導引容器本體(10)與蓋體(20)。

Description

晶圓收容容器
本發明係有關於一種晶圓收容容器。
作為用以收容半導體晶圓之晶圓收容容器，例如有專利文獻1所揭示的容器。
於專利文獻1所揭示的晶圓收容容器設置有收容部，該收容部係於容器本體上具備有略筒狀的本體側壁部。於收容部的最上段與最下段配置有緩衝材等。收容部係使晶圓與夾層片(interlayer sheet)(合成樹脂製片或者無塵紙或者合成樹脂製成形品等)交互地夾設收容於上下的緩衝材之間。收容部係以使具備有略筒狀的蓋體側壁部之蓋體覆蓋之方式藉由保持機構保持並收容成密閉狀態。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開2004-262545號公報。
然而，在專利文獻1的晶圓收容容器中，預先使用以收容晶圓之收容部的本體側壁部配合晶圓的外徑，並以將蓋體側壁部覆蓋於本體側壁部的外側之方式作成密閉狀態。因此，在以藉由機器人等自動裝置使蓋體覆蓋時不會有什麼問題。然而，在藉由作業者使蓋體覆蓋時容器本體的中心軸與蓋體的中心軸偏離而無法以同心狀態覆蓋之情形中，會有因為蓋體側壁部而對被收容的晶圓造成損傷之虞的問題。尤其是，在預先將收容部的本體側壁部作成比晶圓的外側還大且將蓋體側壁部配置於內側並以蓋體側壁部按壓晶圓之構造的晶圓收容容器中，蓋體側壁部所致使之晶圓的損傷問題會變得更顯著。
本發明係有鑑於相關習知技術的問題點而研創，目的在於提供一種能不會對已收容的晶圓造成損傷地使蓋體覆蓋之晶圓收容容器。
為了達成上述目的，本發明的晶圓收容容器係具備有：容器本體，係於一端具有開口部，於另一端具有與前述開口部對向且重疊收容晶圓之搭載部；蓋體，係蓋住前述開口部；以及保持機構，係可開閉地將前述容器本體與前述蓋體嵌合保持；前述保持機構係於至少兩個部位具有：卡止構件，係從前述容器本體的前述另一端朝前述一端延 伸，並於一端部具備有卡止爪部；以及卡止孔部，係設置於前述蓋體，且前述卡止爪部進行卡止；於蓋體側壁部設置有：導引構件，係於前述蓋體朝前述容器本體嵌合時，一邊接觸前述卡止構件一邊保持同心狀態地導引前述容器本體與前述蓋體。
較佳為，前述容器本體係於前述搭載部隔著間隔形成有：本體側壁部，係區劃用以收容前述晶圓之收容部；前述卡止構件係形成為比前述本體側壁部還高。
較佳為，前述導引構件係由設置於前述蓋體側壁部的外側之肋(rib)所構成。
較佳為，前述蓋體係具有蓋住前述開口部之蓋體頂面部，於前述蓋體頂面部的至少兩個部位具有：按壓構件，係於前述蓋體頂面部的中心方向搖動，按壓已收容並重疊於前述容器本體之前述晶圓的外側；前述按壓構件係設置有：按壓面件，係以面按壓前述晶圓的外周；前述容器本體係具有：引導(guide)槽，係使前述按壓構件的前端部從前述搭載部的外側朝內側移動，並引導至按壓前述晶圓的外周之位置；前述引導槽係設置成比前述搭載部的表面還凹陷。
依據本發明的晶圓收容容器，能不對已收容的晶圓造成損傷地使蓋體覆蓋。
1‧‧‧晶圓收容容器
10‧‧‧容器本體
11‧‧‧開口部
12‧‧‧搭載部
13‧‧‧收容部
14‧‧‧本體側壁部
15‧‧‧圓弧狀的密封面
16‧‧‧直線狀的密封面
17‧‧‧引導槽
17a‧‧‧傾斜面
17b‧‧‧垂直面
20‧‧‧蓋體
21‧‧‧蓋體側壁部
22‧‧‧蓋體外壁部
23、23a‧‧‧蓋體頂面部
24‧‧‧凹部
25‧‧‧按壓構件
26‧‧‧搖動軸部
27‧‧‧按壓面件
28‧‧‧上部按壓部
30‧‧‧保持機構
31‧‧‧卡止爪部
32‧‧‧卡止構件
33‧‧‧卡止孔部
34‧‧‧卡止面
40‧‧‧導引構件
41‧‧‧肋
51‧‧‧環間隔物
52‧‧‧夾層片
L‧‧‧間隔
W‧‧‧晶圓
圖1係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的容器本體的概略立體圖。
圖2中的(a)係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的卡止構件片的後視圖；圖2中的(b)為本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的卡止構件片的剖視圖。
圖3係已將本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的蓋體的上下反轉之狀態的概略立體圖。
圖4係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的圖3的局部放大立體圖。
圖5中的(a)係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的蓋體的卡止孔部之前視圖；圖5中的(b)係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的蓋體的卡止孔部的中央剖視圖。
圖6中的(a)係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的導引構件的動作的導引開始狀態的說明圖；圖6中的(b)係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的導引構件的動作的導引結束後的說明圖。
圖7中的(a)係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的按壓構件的動作的局部俯視圖；圖7中的(b)係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的按壓構件的動作的局部剖 視圖。
圖8係本發明的晶圓收容容器的實施形態之一的分解狀態的構略立體圖。
以下依據圖式詳細地說明本發明的晶圓收容容器的實施形態之一。
本發明的晶圓收容容器1係具備有：容器本體10，係於一端具有開口部11，於另一端具有與開口部11對向且重疊收容晶圓W之搭載部12；蓋體20，係蓋住開口部11；以及保持機構30，係可開閉地將容器本體10與蓋體20嵌合保持。保持機構30係於至少兩個部位具有：卡止構件32，係從容器本體10的另一端朝一端延伸，並於一端部具備有卡止爪部31；以及卡止孔部33，係設置於蓋體20，且卡止爪部31進行卡止。此外，於蓋體側壁部21設置有：導引構件40，係於蓋體20朝容器本體10嵌合時，一邊接觸卡止構件32一邊保持同心狀態地導引容器本體10與蓋體20。
藉此，當使蓋體20覆蓋於容器本體10時，在至少兩部位中，蓋體側壁部21的導引構件40係接觸設置於容器本體10的卡止構件32。導引構件40與卡止構件32一邊接觸一邊保持同心狀態並導引蓋體20，藉此能以蓋體側壁 部21不會對已收容的晶圓W造成損傷之方式使蓋體20覆蓋。
在本實施形態中，以容器本體10的開口部11朝向上方開口並將水平的晶圓W重疊收容於搭載部12上之情形作為例子進行說明。此外，亦可在將晶圓W重疊收容至晶圓收容容器1並使蓋體20覆蓋之收容完畢後，不論晶圓W在何種狀態下皆可進行搬運等。晶圓W的朝向不論是例如水平或垂直等皆不會產生任何問題。
容器本體10係具備有成為底面板之搭載部12。如圖1所示，搭載部12係形成為四個角落作成圓弧狀之略正方形形狀的四角形。於搭載部12的上表面重疊收容有晶圓W。此外，搭載部12並未限定於四角形形狀，亦可為其他的形狀。
此外，於搭載部12以朝上方突出之方式形成有本體側壁部14，該本體側壁部14係區劃晶圓W的收容部13。本體側壁部14係形成為複數個圓弧狀，例如形成為四個圓弧狀，該圓弧狀係配合晶圓W的形狀並作為圓筒的一部分。本體側壁部14係沿著圓周隔著間隔L，並與搭載部12一體地形成。藉此，本體側壁部14的上端部係成為容器本體10的開口部11，被本體側壁部14區劃的空間係成為晶圓W的收容部13。
本體側壁部14的內徑係形成為不會對晶圓W的收容或取出造成阻礙的大小。本體側壁部14的內徑係比晶圓W的大小(直徑)還大，例如比5英吋、6英吋、8英吋、12英吋等尺寸還大(例如直徑為1mm至2mm左右)。本體側壁部14的間隔L係作為晶圓W取出時的機器人手臂的插入口。
如圖1以及圖2中的(a)、(b)所示，於容器本體10的本體側壁部14的下端部外周以朝上方突出之方式形成有與蓋體20(參照圖3)之間呈圓弧狀的密封(seal)面15。於搭載部12的外周的本體側壁部14的間隔L部分經由段差部形成有直線狀的密封面16。直線狀的密封面16係在兩端部與圓弧狀的密封面15連續且連結成環狀並圍繞容器本體10的全周。
藉此，當使後述的蓋體20覆蓋時，蓋體20中之被分割成四個蓋體側壁部21的內側面係接觸圓弧狀的密封面15。再者，與蓋體20的蓋體側壁部21連結的四邊上的直線狀的蓋體外壁部22係接觸直線狀的密封面16。藉由這些接觸而被密封，晶圓收容容器1係能將收容部13內作成密閉狀態。
將蓋體20顯示於圖3、圖4、圖5中的(a)、(b)以及圖8。蓋體20係以蓋住容器本體10的開口部11(參照圖1)之 方式覆蓋。蓋體20係具備有：略正方形形狀的蓋體頂面部23，係將外形與搭載部12為相同形狀的四個角落作成圓弧狀。將蓋體頂面部23的內部中之位於比中央的環狀部還低的位置之周緣部作為蓋體頂面部23a予以圖示。
於蓋體頂面部23的四個角落以朝下方突出之方式形成有與容器本體10的本體側壁部14對應且分割成四個的蓋體側壁部21。此外，於蓋體頂面部23的直線狀的四邊上以朝下方突出之方式形成有蓋體外壁部22。蓋體外壁部22的兩端部係與蓋體側壁部21連結並圍繞蓋體20的全周。
藉此，當使蓋體20覆蓋於容器本體10時，如前述說明般，藉由蓋體側壁部21的內側面與圓弧狀的密封面15之間的接觸以及蓋體外壁部22的內側面與直線狀的密封面16之間的接觸而密封。結果，晶圓收容容器1係變成能以密封狀態密封收容部13的內部。
晶圓收容容器1係具備有：保持機構30，係可開閉地將容器本體10與蓋體20嵌合保持。保持機構30係於至少兩個部位具有：卡止構件32，係從容器本體10的另一端朝一端延伸，並於一端部具備有卡止爪部31；以及卡止孔部33，係設置於蓋體20，且卡止爪部31進行卡止。
如圖1以及圖2中的(a)、(b)所示，於容器本體10中 之搭載部12的四個角落中之本體側壁部14的外側的四個部位形成有卡止構件32。卡止構件32係與搭載部12一體地朝上方(一端的開口部11側)突出地形成。於卡止構件32的前端內側設置有卡止爪部31。卡止構件32的卡止爪部31係卡止於蓋體20的卡止孔部33，藉此能保持容器本體10與蓋體20之間的連結狀態。如圖2中的(a)、(b)所示，卡止爪部31的前端部係稍微從本體側壁部14的緣部突出。
於蓋體20中之與容器本體10的卡止構件32的配置對應之各個蓋體頂面部23a分別形成有卡止孔部33。在容器本體10的卡止構件32的卡止爪部31越過卡止孔部33後，卡止爪部31的下端水平面被卡止而變成保持狀態。
如圖5中的(b)所示，卡止孔部33係形成於凹部24內，該凹部24係形成於蓋體頂面部23a。凹部24係具有卡止構件32的卡止爪部31不會從蓋體20的表面突出之程度的深度或者如圖6中的(b)所示般稍微突出之程度的深度。如圖5中的(a)所示，卡止爪部31進行卡止之卡止孔部33的卡止面34係形成為下述面：在使中央部凹陷且卡止狀態解放時，容易推回卡止爪部31。
當使蓋體20覆蓋於容器本體10時，四個部位的容器本體10側的卡止構件32的卡止爪部31係越過蓋體20側的卡止孔部33。已越過的卡止爪部31係卡止於卡止面34。 在該卡止狀態中，藉由容器本體10與蓋體20，以晶圓W的收容部13在密封狀態下被密封的狀態進行保持。另一方面，已卡止之保持狀態的解放係利用蓋體20的卡止面34的中央部的凹陷，藉此能確實且簡單地將卡止構件32從中心側壓回至外側。此外，保持構件30只要能將容器本體10與蓋體20保持於卡止狀態即可。於只要至少兩個部位例如對角位置的兩個部位設置保持機構30即可。
蓋體20係具備有：按壓構件25，係抵接並按壓至晶圓W的外側部。按壓構件25係設置於成為晶圓W的外側部之至少兩個部位，例如設置於與容器本體10的本體側壁部14的間隔L對應之四個部位。
按壓構件25係與蓋體20一體性地形成為平板狀。按壓構件25係從成為頂面之蓋體頂面部23的內側朝下方(與開口部11相反之側)突出，並與蓋體側壁部21的中心方向正交。按壓構件25係形成為可以基端部的搖動軸部26作為中心搖動。由於按壓構件25與蓋體20為一體，因此搖動軸部26係成為樞接(hinge)構造。
於搖動軸部26的內側部分形成有槽部。藉由槽部，樞接構造部分係成為薄壁部。藉此，已將搖動軸部26作為中心之按壓構件25的搖動變得容易。在按壓構件25的內側面(晶圓W的中心側的面)中，以成為配合重疊收容的晶圓 W的外徑之位置的方式設定搖動軸部26的位置。
如圖7中的(a)、(b)所示，於按壓構件25的內側面設置有按壓面件27，該案壓面件27係以面按壓晶圓W的外周。按壓面件27係例如與按壓構件25一體地形成。此外，按壓面件27亦可與按壓構件25為獨立的個體，或亦可為以其他素材形成且裝設之物。亦即，按壓面件27只要能確實地以面按壓晶圓W的外周即可。
如圖1以及圖7中的(b)所示，容器本體10係具備有：引導槽17，係將按壓構件25引導至用以按壓晶圓W的外周之位置。引導槽17係形成於搭載部12的本體側壁部14的間隔L的四個部位。引導槽17係以下述方式引導：以搖動軸部26使蓋體20的按壓構件25搖動，並使按壓構件25的前端部從搭載部12的外側朝內側(中心側)移動。
引導槽17係與成為底面板之搭載部12的中心方向正交且形成為直線狀。此外，引導槽17係形成為從搭載部12的表面凹陷。引導槽17係具備有：傾斜面17a，係容器本體10的外側高且中心側低；以及垂直面17b，係於傾斜面17a的中心側連續。傾斜面17a與垂直面17b係以組裝後成為略V字狀的剖面形狀之方式形成。
此外，如圖1以及圖2中的(a)、(b)所示，為了補強或 者在其他步驟中的處理(handling)性等，能因應需要於容器本體10中之搭載部12、本體側壁部14等構件形成凹凸部或者肋等。
按壓構件25係被引導槽17引導。在用以使蓋體20覆蓋於容器本體10之動作的初期(參照圖6中的(a))中，按壓構件25的前端部(在圖式的例子中為下端部)係位於容器本體10的引導槽17內。按壓構件25的前端部係被引導槽17引導直至蓋體20覆蓋完成為止。在已使蓋體20完全地覆蓋之結束期間(參照圖6中的(b))中，按壓構件25的內側面係被引導直至成為接觸引導槽17的垂直面17b的狀態為止。按壓構件25的突出長度係以適合引導槽17所為之引導之方式制定。
亦即，在已使蓋體20覆蓋於容器本體10之保持狀態中，按壓構件25的前端部係位於引導槽17的底部，且藉由傾斜面17a變成不會返回至外側的狀態。藉此，在保持狀態中，四個部位的按壓構件25係被保持於與晶圓W的外徑對應之位置。因此，能藉由四個部位的按壓構件25的按壓面件27以面按壓重疊的晶圓W的外周，藉此能確實地防止晶圓W的水平移動。
按壓構件25係位於成為蓋體20的頂面之蓋體頂面部23至於成為容器本體10的底面部之搭載部12凹陷的引導 槽17之間。因此，能以面按壓積層重疊於搭載部12上之全部的晶圓W的外周，且即使為最下段的晶圓W亦能確實地按壓。
此外，按壓構件25係不存在於已取下蓋體20的容器本體10。因此，晶圓W朝向容器本體10之收容係不會被按壓構件25干擾而能如以往般進行。
此外，如圖3、圖4以及圖5中的(a)、(b)所示，為了補強或者其他步驟中的處理性等，因應需要於蓋體20的蓋體側壁部21、蓋體外壁部22、蓋體頂面部23等構件形成有凹凸部或肋等。此外，用以將收容於容器本體10的搭載部12的晶圓W上下地按壓之上部按壓部28係一體地形成於蓋體頂面部23。藉此，與以往同樣地，重疊的晶圓W係在上部按壓部28與搭載部12之間被上下地按壓。
使蓋體20覆蓋於容器本體10時，用以防止收容於收容部13的晶圓W的損傷之導引構件40係設置於晶圓收容容器1的至少兩個部位。導引構件40係用以保持已使容器本體10的中心軸與蓋體20的中心軸一致的同心狀態並導引蓋體20。在圖式的例子中，導引構件40係設置於蓋體20的四個角落的四個部位的蓋體側壁部21。導引構件40係一邊接觸設置於容器本體10的四個部位的卡止構件32，一邊保持同心狀態地導引容器本體10與蓋體20。
各個導引構件40係具備有：兩個肋41，係設置於蓋體側壁部21的外側。如圖4以及圖6中的(a)所示，兩個肋41係以位於各個卡止構件32的內側之方式形成。此外，兩個肋41係以與各個卡止構件32的寬度(與中心方向正交的方向的長度)對應並彼此隔著間隔朝中心方向外側突出之方式形成。
肋41係具備有前端部(在圖6中的(a)中為下端部)成為圓弧狀之先端較細的傾斜面。肋41的傾斜面係成為與卡止構件32的卡止爪部31的上端的傾斜面相同方向的傾斜面。此外，肋41的傾斜面係形成為從前端的傾斜面達至基端的蓋體頂面部23的凹部24的卡止孔部33。肋41的圓弧狀的傾斜面與從圓弧狀的傾斜面連續且從前端朝基端突出的寬度變大之傾斜面係成為卡止構件32的導引面。
藉此，從蓋體20開始覆蓋起，容器本體10的卡止構件32係保持與蓋體20的導引構件40的肋41同心狀態並被肋41導引。同心狀態係在蓋體20覆蓋完成且容器本體10的卡止爪部31卡止至蓋體20的卡止孔部33為止的期間內持續。此外，將肋41的外側形狀作成傾斜面，藉此能提升成形時從模具離開的脫模性。
蓋體20係具備有用以構成導引構件40之兩個肋41， 藉此當使蓋體20覆蓋於容器本體10時，在四個部位中各兩個肋41的前端抵接至容器本體10的卡止構件32的卡止爪部31的上表面。在該狀態下一邊使傾斜面彼此接觸一邊以按入之方式使蓋體20覆蓋時，藉由肋41與卡止爪部31之間的傾斜面彼此修正蓋體20相對於容器本體10之中心軸的偏離而成為同心狀態。
再者，當使四個部位的蓋體20的肋41與四個部位的卡止構件32的內側表面以及卡止爪部31一邊接觸一邊按入時，蓋體20係在與容器本體10同心狀態下進行覆蓋。當蓋體20覆蓋完成時，卡止爪部31係卡止於蓋體20的卡止孔部33。藉此，蓋體20與容器本體10在同心狀態下被密閉並成為保持狀態。
依據本實施形態，在使蓋體20覆蓋於容器本體10之情形中，由於確保同心狀態，因此防止蓋體20的蓋體側壁部21碰撞到收容於容器本體10的晶圓W導致晶圓W損傷。
在本實施形態中，卡止構件32係比容器本體10的本體側壁部14還高。藉此，使蓋體20覆蓋於容器本體10之情形中，最初導引構件40的肋41係抵接至卡止構件32的卡止爪部31。此在以於蓋體20的下方突出的按壓構件25按壓收容於比容器本體10的本體側壁部14還低的位置之 最上段的晶圓W之情形中亦同樣。因此，能進一步地從蓋體20開始進行覆蓋起確實地防止收容部13的晶圓W的損傷。
此外，由於以同心狀態使蓋體20覆蓋，因此能防止按壓構件25導致晶圓W的損傷。再者，按壓構件25從朝外側開放的狀態被引導槽17引導至封閉在預定位置的狀態，藉此亦能保持容器本體10與蓋體20之間的同心狀態。藉此，在晶圓收容容器1中，即使在不使用機器人手臂等自動化裝置而是藉由作業者以手動方式使蓋體20覆蓋之情形中，容器本體10與蓋體20的中心軸亦不會偏離而能確實地密閉。
較佳為，在晶圓收容容器1中，容器本體10以及蓋體20係由導電性塑膠所形成。作為導電性塑膠，能例舉添加有導電性填料之塑膠或者經過聚合混合體(polymer alloy)處理的塑膠等。作為導電性填料，能例舉碳黑(carbon black)、石墨碳(graphite carbon)、石墨、碳纖維、金屬粉末、金屬纖維、金屬氧化物的粉末、經過金屬塗布之無機質微粉末、有機質微粉末或者纖維等。
如圖8所示，在此種構成的晶圓收容容器1中，於被容器本體10的四個本體側壁部14圍繞的搭載部12上的收容部13配置有作為最下段的緩衝材之環間隔物(ring spacer)51。於環間隔物51上交互地重疊有晶圓W與夾層片52。於最上段配置有作為緩衝材之環間隔物51。從最下段的環間隔物51至最上段的環間隔物51係收容於收容部13。將預定片數的晶圓W重疊並收容於容器本體10後，以蓋體20覆蓋。
如圖6中的(a)所示，當使蓋體20覆蓋於容器本體10時，在晶圓收容容器1的四個部位(四個角落)中，各為兩個肋41的前端係抵接至容器本體10的卡止構件32的卡止爪部31的上表面。當在此狀態下一邊使傾斜面彼此接觸一邊壓入蓋體20時，藉由肋41與卡止爪部31之間的傾斜面彼此修正蓋體20相對於容器本體10之中心軸的偏離而成為同心狀態。
再者，當使四個部位的蓋體20的肋41與四個部位的卡止構件32的內側表面以及卡止爪部31一邊接觸一邊壓入時，在與容器本體10同心狀態下使蓋體20進行覆蓋。當蓋體20覆蓋完成時，卡止爪部31卡止於蓋體20的卡止孔部33，蓋體20與容器本體10係在同心狀態下被密閉而成為保持狀態。
此外，當使蓋體20朝容器本體10覆蓋時，蓋體20的蓋體外壁部22的前端係接觸直線狀的密封面16。此時，蓋體20的按壓構件25的前端部係成為位於容器本體10的 引導槽17的上方之狀態。
再者，當使蓋體20朝容器本體10覆蓋時，按壓構件25的前端部係被容器本體10的引導槽17的傾斜面17a引導並從外側朝中心側移動。按壓構件25係以基端部的搖動軸部26作為中心搖動。
接著，如圖7中的(b)所示，在蓋體20完全地覆蓋容器本體10的狀態下，按壓構件25係成為接觸引導槽17的中心側的垂直面17b之狀態。此時，按壓構件25的內側面係成為接觸晶圓W的外徑之位置。藉此，藉由四個部位的按壓構件25的按壓面件27以面按壓重疊的晶圓W的外周，防止水平方向的移動。
在此種晶圓收容容器1中，在晶圓W收容於容器本體10的狀態下，即使使蓋體20覆蓋，容器本體10與蓋體20之間的中心軸亦不會偏離而是成為同心狀態。藉此，能防止蓋體20的蓋體側壁部21或者按壓構件25碰撞至晶圓W而對晶圓W造成損傷。
此外，重疊的晶圓W係被容器本體10的搭載部12的上表面與蓋體20的蓋體頂面部23的上部按壓部28按壓，上下方向的移動亦被按壓。
再者，在已使蓋體20完全地覆蓋於容器本體10的狀態下，蓋體20的蓋體側壁部21以及蓋體外壁部22係成為已接觸容器本體10的圓弧狀的密封面15以及直線狀的密封面16之密封狀態。
使蓋體20覆蓋後，收容於收容部13的晶圓W的上下方向以及左右方向係被按壓。因此，即使將晶圓收容容器1朝任意的方向搬運，晶圓W亦不會移動。藉此，能防止晶圓W與直接接觸的夾層片等因為擦傷、割傷或者破裂等導致破損、產生灰塵或者化學性成分導致晶圓W的污染等問題。
本發明的晶圓收容容器1係具備有：容器本體10，係於一端具有開口部11，於另一端具有與開口部11對向且重疊收容晶圓W之搭載部12；蓋體20，係蓋住開口部11；以及保持機構30，係可開閉地將容器本體10與蓋體20嵌合保持。保持機構30係於至少兩個部位具有：卡止構件32，係從容器本體10的另一端朝一端延伸，並於一端部具備有卡止爪部31；以及卡止孔部33，係設置於蓋體20，且卡止爪部31進行卡止。此外，於蓋體側壁部21設置有：導引構件40，係於蓋體20朝容器本體10嵌合時，一邊接觸卡止構件32一邊保持同心狀態地導引容器本體10與蓋體20。藉由此種構成，當使蓋體20覆蓋於容器本體10時，在至少兩個部位中蓋體側壁部21的導引構件40係一邊接 觸設置於容器本體10的卡止構件32一邊保持同心狀態地導引蓋體20。因此，能以蓋體側壁部21不會對已收容的晶圓W造成損傷之方式使蓋體20覆蓋。
在本發明的晶圓收容容器1中，容器本體10係隔著間隔L於搭載部12形成有本體側壁部14，該本體側壁部14係區劃用以收容晶圓W之收容部13，卡止構件32係形成為比本體側壁部14還高。藉此，在使蓋體20覆蓋容器本體10之情形中，導引構件40係於最初接觸並被導引至比本體側壁部14還高的卡止構件32。因此，而確實地使蓋體20覆蓋而不會因為蓋體側壁部21而對已收容的晶圓W造成損傷。
在本發明的晶圓收容容器1中，導引構件40係由設置於蓋體側壁部21的外側之肋41所構成。藉此，僅設置肋41即能作為導引構件40。因此，能將構造簡單化，並變得容易確保用於同心狀態的空間，且亦能補強蓋體側壁部21。
在本發明的晶圓收容容器1中，蓋體20係具有蓋住開口部11之蓋體頂面部23，於蓋體頂面部23的至少兩個部位具有：按壓構件25，係於蓋體頂面部23的中心方向搖動，按壓已收容並重疊於容器本體10之晶圓W的外側。按壓構件25係設置有：按壓面件27，係以面按壓晶圓W 的外周。容器本體10係具有：引導槽17，係使按壓構件25的前端部從搭載部12的外側朝內側移動，並引導至按壓晶圓W的外周之位置。引導槽17係設置成比搭載部12的表面還凹陷。藉此，能以按壓構件25從兩側按壓並防止收容於容器本體10的晶圓W的移動。
此外，由於以於搭載部12凹陷的引導槽17引導按壓構件25的前端部並以按壓面件27按壓，因此能以面按壓搭載部12上的全部的晶圓W的外周。藉此，即使晶圓W的厚度較薄，亦能確實地按壓並防止移動。再者，藉由以面按壓，荷重不會集中於一點，故能防止晶圓W的損傷。
此外，在上述實施形態中，雖然以將按壓構件25設置於四個部位之情形作為例子進行說明，但只要作成設置於至少對角位置的兩個部位即可，亦可藉由於三個部位以上設置按壓構件25而確實地按壓晶圓W。
此外，雖然將按壓構件25作成為於一個部位設置一個平板狀的構件，但亦可將一個部位的按壓構件25作成分割構造並將複數個平板狀的構件相對於各者的中心正交地搖動。如此，能以分別被分割的按壓構件25確實地按壓晶圓W。
在上述實施形態中，雖然於蓋體側壁部21的外側形成 兩個肋41作為導引構件40，然而亦可將肋41的寬度加寬並以一個肋41構成導引構件40。
此外，亦可構成為去除兩個肋41之間的蓋體側壁部21，將蓋體側壁部21的一部分朝外側突出而作為以壁面使肋41的前端側連續的剖面「」形狀的導引構件40。導引構件40只要能與容器本體10的卡止構件32接觸並以同心狀態使蓋體20覆蓋即可。
本發明只要未逸離本發明的廣義的精神與範圍，即能進行各種的實施形態及變化。此外，前述實施形態係用以說明本發明，而非用以限定本發明的範圍。亦即，本發明的範圍並非由實施形態表示，而是由申請專利範圍表示。再者，在申請專利範圍內以及與申請專利範圍同等的發明的意義的範圍內所施予的各種變化亦視為本發明的範圍內。
本發明係依據2017年3月31日於日本特許廳所提出之日本特願2017-69918號。本說明係參照日本特願2017-69918號的說明書以及申請專利範圍整體並援用於此。
(產業可利用性)
本發明的晶圓收容容器係適用於作為例如半導體晶圓用的晶圓收容容器。

Claims (5)

  1. 一種晶圓收容容器，係具備有：容器本體，係於一端具有開口部，於另一端具有與前述開口部對向且重疊收容晶圓之搭載部；蓋體，係蓋住前述開口部；以及保持機構，係可開閉地將前述容器本體與前述蓋體嵌合保持；前述保持機構係於至少兩個部位具有：卡止構件，係從前述容器本體的前述另一端朝前述一端延伸，並於一端部具備有卡止爪部；以及卡止孔部，係設置於前述蓋體，且前述卡止爪部進行卡止；於蓋體側壁部設置有：導引構件，係於前述蓋體朝前述容器本體嵌合時，一邊接觸前述卡止構件一邊保持同心狀態地導引前述容器本體與前述蓋體；前述卡止構件係未與收容於前述搭載部之前述晶圓接觸。
  2. 如請求項1所記載之晶圓收容容器，其中前述容器本體係於前述搭載部隔著間隔形成有：本體側壁部，係區劃用以收容前述晶圓之收容部；前述卡止構件係形成為比前述本體側壁部還高。
  3. 如請求項1或2所記載之晶圓收容容器，其中前述導引構件係由設置於前述蓋體側壁部的外側之肋所構成。
  4. 如請求項1或2所記載之晶圓收容容器，其中前述蓋體係具有蓋住前述開口部之蓋體頂面部，於前述蓋體頂面部的至少兩個部位具有：按壓構件，係於前述蓋體頂面部的中心方向搖動，按壓已收容並重疊於前述容器本體之前述晶圓的外側；前述按壓構件係設置有：按壓面件，係以面按壓前述晶圓的外周；前述容器本體係具有：引導槽，係使前述按壓構件的前端部從前述搭載部的外側朝內側移動，並引導至按壓前述晶圓的外周之位置；前述引導槽係設置成比前述搭載部的表面還凹陷。
  5. 如請求項3所記載之晶圓收容容器，其中前述蓋體係具有蓋住前述開口部之蓋體頂面部，於前述蓋體頂面部的至少兩個部位具有：按壓構件，係於前述蓋體頂面部的中心方向搖動，按壓已收容並重疊於前述容器本體之前述晶圓的外側；前述按壓構件係設置有：按壓面件，係以面按壓前述晶圓的外周；前述容器本體係具有：引導槽，係使前述按壓構件的前端部從前述搭載部的外側朝內側移動，並引導至按壓前述晶圓的外周之位置；前述引導槽係設置成比前述搭載部的表面還凹陷。
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