JP6767297B2 - ウェーハ収容容器 - Google Patents
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Description
本発明は、ウェーハ収容容器に関する。
半導体ウェーハを収容するウェーハ収容容器として、例えば特許文献１に開示された容器がある。
特許文献１に開示されたウェーハ収容容器は、容器本体上に略筒状の本体側壁部を備える収容部が設けられ、最上段と最下段にクッション材等を配置し、上下のクッション材の間にウェーハと層間シート（合成樹脂製シートまたは無塵紙または合成樹脂製成形品等）とを交互に介在させて収容し、略筒状の蓋体側壁部を備える蓋体を被せるようにし、保持機構で保持して密閉状態に収容している。
特許文献１に開示されたウェーハ収容容器は、容器本体上に略筒状の本体側壁部を備える収容部が設けられ、最上段と最下段にクッション材等を配置し、上下のクッション材の間にウェーハと層間シート（合成樹脂製シートまたは無塵紙または合成樹脂製成形品等）とを交互に介在させて収容し、略筒状の蓋体側壁部を備える蓋体を被せるようにし、保持機構で保持して密閉状態に収容している。
ところが、特許文献１のウェーハ収容容器では、ウェーハを収容する収容部の本体側壁部をウェーハの外径に合わせておき、蓋体側壁部を本体側壁部の外側に被せるようにして密閉状態としている。
このため、ロボットなどの自動装置で蓋体を被せる際には、あまり問題とならないが、作業者によって蓋体を被せる際に、容器本体の中心軸と蓋体の中心軸がずれて同心状態で被せることができない場合に、蓋体側壁部で、収容されたウェーハに損傷を与える恐れがあるという問題がある。
特に、収容部の本体側壁部をウェーハの外径より大きくしておき、内側に蓋体側壁部を配置してウェーハを蓋体側壁部で押える構造のウェーハ収容容器では、一層蓋体側壁部によるウェーハの損傷の問題が顕著となる。
このため、ロボットなどの自動装置で蓋体を被せる際には、あまり問題とならないが、作業者によって蓋体を被せる際に、容器本体の中心軸と蓋体の中心軸がずれて同心状態で被せることができない場合に、蓋体側壁部で、収容されたウェーハに損傷を与える恐れがあるという問題がある。
特に、収容部の本体側壁部をウェーハの外径より大きくしておき、内側に蓋体側壁部を配置してウェーハを蓋体側壁部で押える構造のウェーハ収容容器では、一層蓋体側壁部によるウェーハの損傷の問題が顕著となる。
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、収容したウェーハに損傷を与えることなく蓋体を被せることができるウェーハ収容容器を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するため、本発明にかかるウェーハ収容容器は、
一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
前記開口部を塞ぐ蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構と、を備えるウェーハ収容容器であって、
前記保持機構は、前記容器本体の前記他端から前記一端に伸び一端部に係止爪部を備えて前記容器本体に固定して設けられる係止部材と、前記蓋体に設けられ前記係止爪部が係止される係止孔部と、を少なくとも２箇所に有し、
前記蓋体の前記容器本体への被せ始めから被せ終わりまでの嵌合時に、前記係止部材に接触させながら前記容器本体と前記蓋体とを互いの中心軸を一致させた同心状態を保持して案内する案内部材を蓋体側壁部に固定して設けた、 ことを特徴とする。
一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
前記開口部を塞ぐ蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構と、を備えるウェーハ収容容器であって、
前記保持機構は、前記容器本体の前記他端から前記一端に伸び一端部に係止爪部を備えて前記容器本体に固定して設けられる係止部材と、前記蓋体に設けられ前記係止爪部が係止される係止孔部と、を少なくとも２箇所に有し、
前記蓋体の前記容器本体への被せ始めから被せ終わりまでの嵌合時に、前記係止部材に接触させながら前記容器本体と前記蓋体とを互いの中心軸を一致させた同心状態を保持して案内する案内部材を蓋体側壁部に固定して設けた、 ことを特徴とする。
前記容器本体は、前記搭載部に、前記ウェーハを収容する収容部を区画する本体側壁部が、間隔を開けて形成され、
前記係止部材は、前記本体側壁部より高く形成される、ことが好ましい。
前記係止部材は、前記本体側壁部より高く形成される、ことが好ましい。
前記案内部材は、前記蓋体側壁部の外側に設けるリブで構成される、ことが好ましい。
前記蓋体は、前記開口部を塞ぐ蓋体天面部を有し、前記蓋体天面部の中心方向に揺動すると共に、前記容器本体に収容され重ねられた前記ウェーハの外側を押える押え部材を前記蓋体天面部に少なくとも２箇所に有し、
前記押え部材は、前記ウェーハの外周を面で押える押え面材が設けられ、
前記容器本体は、前記押え部材の先端部を、前記搭載部の外側から内側に向けて移動させ、前記ウェーハの外周を押える位置にガイドするガイド溝を有し、
前記ガイド溝は、前記搭載部の表面より凹ませて設けられる、ことが好ましい。
前記押え部材は、前記ウェーハの外周を面で押える押え面材が設けられ、
前記容器本体は、前記押え部材の先端部を、前記搭載部の外側から内側に向けて移動させ、前記ウェーハの外周を押える位置にガイドするガイド溝を有し、
前記ガイド溝は、前記搭載部の表面より凹ませて設けられる、ことが好ましい。
本発明のウェーハ収容容器によれば、収容したウェーハに損傷を与えることなく蓋体を被せることができる。
以下、本発明のウェーハ収容容器の一実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。
本発明のウェーハ収容容器１は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハＷが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０と、を備えるウェーハ収容容器１であって、保持機構３０は、容器本体１０の他端から一端に伸び一端部に係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有し、蓋体２０の容器本体１０への嵌合時に、係止部材３２に接触しながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する案内部材４０を蓋体側壁部２１に設けて構成される。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、少なくとも２箇所で蓋体側壁部２１の案内部材４０が容器本体１０に設けた係止部材３２に接触しながら同心状態を保持して蓋体２０が案内されることで、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく蓋体２０を被せることができる。
本実施の形態では、容器本体１０の開口部１１が上方に向けて開口し、搭載部１２上に水平なウェーハＷを重ねて収容する場合を例に説明する。なお、ウェーハ収容容器１にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた収容完了後は、ウェーハＷがどのような状態（ウェーハＷの向きが、例えば水平や垂直等）で、搬送などが行われても良く、何の支障がないものである。
本発明のウェーハ収容容器１は、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハＷが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０と、を備えるウェーハ収容容器１であって、保持機構３０は、容器本体１０の他端から一端に伸び一端部に係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有し、蓋体２０の容器本体１０への嵌合時に、係止部材３２に接触しながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する案内部材４０を蓋体側壁部２１に設けて構成される。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、少なくとも２箇所で蓋体側壁部２１の案内部材４０が容器本体１０に設けた係止部材３２に接触しながら同心状態を保持して蓋体２０が案内されることで、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく蓋体２０を被せることができる。
本実施の形態では、容器本体１０の開口部１１が上方に向けて開口し、搭載部１２上に水平なウェーハＷを重ねて収容する場合を例に説明する。なお、ウェーハ収容容器１にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた収容完了後は、ウェーハＷがどのような状態（ウェーハＷの向きが、例えば水平や垂直等）で、搬送などが行われても良く、何の支障がないものである。
容器本体１０は、底面板となる搭載部１２を備える。搭載部１２は、図１に示すように、４隅が円弧状とされた略正方形状の４角形に形成されており、搭載部１２の上面にウェーハＷが重ねられて収容される。なお、搭載部１２は、４角形状に限らず他の形状であっても良い。
また、搭載部１２には、ウェーハＷの収容部１３を区画する本体側壁部１４が上方に突き出すように形成され、ウェーハＷの形状に合わせて円筒の一部をなす複数、例えば４つの円弧状に形成される。本体側壁部１４は、円周に沿って間隔Ｌを開け、搭載部１２と一体に成形されている。これにより、本体側壁部１４の上端部が容器本体１０の開口部１１となり、本体側壁部１４で区画された空間がウェーハＷの収容部１３となる。
本体側壁部１４の内径は、ウェーハＷの収容や取り出しに支障のない大きさに形成され、ウェーハＷの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに比べて大きく（例えば、直径で１〜２ｍｍ程度）してある。本体側壁部１４の間隔Ｌは、ウェーハＷの取り出しの際のロボットアームの挿入口とされる。
また、搭載部１２には、ウェーハＷの収容部１３を区画する本体側壁部１４が上方に突き出すように形成され、ウェーハＷの形状に合わせて円筒の一部をなす複数、例えば４つの円弧状に形成される。本体側壁部１４は、円周に沿って間隔Ｌを開け、搭載部１２と一体に成形されている。これにより、本体側壁部１４の上端部が容器本体１０の開口部１１となり、本体側壁部１４で区画された空間がウェーハＷの収容部１３となる。
本体側壁部１４の内径は、ウェーハＷの収容や取り出しに支障のない大きさに形成され、ウェーハＷの大きさ（直径）、例えば５インチ、６インチ、８インチ、１２インチ等のサイズに比べて大きく（例えば、直径で１〜２ｍｍ程度）してある。本体側壁部１４の間隔Ｌは、ウェーハＷの取り出しの際のロボットアームの挿入口とされる。
容器本体１０は、図１および図２に示すように、本体側壁部１４の下端部外周に蓋体２０（図３参照）との円弧状のシール面１５が上方に突き出すように形成されている。搭載部１２の外周の本体側壁部１４の間隔Ｌ部分には、段差部を介して直線状のシール面１６が形成されている。直線状のシール面１６は、両端部で円弧状のシール面１５と連続して環状に連結されて容器本体１０の全周を囲んでいる。
これにより、後述する蓋体２０が被せられると、蓋体２０の４つに分割された蓋体側壁部２１の内側面が円弧状のシール面１５に接触するとともに、蓋体２０の蓋体側壁部２１と連結された４辺上の直線状の蓋体外壁部２２が直線状のシール面１６に接触することでシールされ、ウェーハ収容容器１は、収容部１３内を密閉状態にすることができる。
これにより、後述する蓋体２０が被せられると、蓋体２０の４つに分割された蓋体側壁部２１の内側面が円弧状のシール面１５に接触するとともに、蓋体２０の蓋体側壁部２１と連結された４辺上の直線状の蓋体外壁部２２が直線状のシール面１６に接触することでシールされ、ウェーハ収容容器１は、収容部１３内を密閉状態にすることができる。
蓋体２０は、図３〜図５に示すように、容器本体１０の開口部１１（図１参照）を塞ぐように被せられるもので、外形が搭載部１２と同一形状の４隅を円弧状とした略正方形状の蓋体天面部２３を備えている。
蓋体天面部２３には、容器本体１０の本体側壁部１４に対応して４つに分割された蓋体側壁部２１が４隅に、下方に突き出すように形成される。また、蓋体天面部２３の直線状の４辺上に蓋体外壁部２２が下方に突き出して形成され、両端部が蓋体側壁部２１と連結されて蓋体２０の全周を囲んでいる。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、既に説明したように、蓋体２０の４つ蓋体側壁部２１の内側面が容器本体１０の円弧状のシール面１５に接触するとともに、蓋体２０の直線状の蓋体外壁部２２の内側面が容器本体１０の直線状のシール面１６に接触することでシールされ、ウェーハ収容容器１は、収容部１３内を密封状態でシールできるようになっている。
蓋体天面部２３には、容器本体１０の本体側壁部１４に対応して４つに分割された蓋体側壁部２１が４隅に、下方に突き出すように形成される。また、蓋体天面部２３の直線状の４辺上に蓋体外壁部２２が下方に突き出して形成され、両端部が蓋体側壁部２１と連結されて蓋体２０の全周を囲んでいる。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、既に説明したように、蓋体２０の４つ蓋体側壁部２１の内側面が容器本体１０の円弧状のシール面１５に接触するとともに、蓋体２０の直線状の蓋体外壁部２２の内側面が容器本体１０の直線状のシール面１６に接触することでシールされ、ウェーハ収容容器１は、収容部１３内を密封状態でシールできるようになっている。
ウェーハ収容容器１は、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０を備えている。保持機構３０は、容器本体１０の他端から一端に伸び一端部に係止爪部３１を備える係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有している。
容器本体１０には、図１および図２に示すように、搭載部１２の４隅の、本体側壁部１４の外側４箇所に、先端内側に係止爪部３１が設けられた係止部材３２が搭載部１２と一体に上方（一端の開口部１１側）に突き出して形成されている。係止部材３２の係止爪部３１は、蓋体２０の係止孔部３３に係止することで容器本体１０と蓋体２０との連結状態を保持できるようにしてある。
容器本体１０には、図１および図２に示すように、搭載部１２の４隅の、本体側壁部１４の外側４箇所に、先端内側に係止爪部３１が設けられた係止部材３２が搭載部１２と一体に上方（一端の開口部１１側）に突き出して形成されている。係止部材３２の係止爪部３１は、蓋体２０の係止孔部３３に係止することで容器本体１０と蓋体２０との連結状態を保持できるようにしてある。
蓋体２０の蓋体天面部２３の４隅の、容器本体１０の係止部材３２の配置に対応する４箇所に、係止孔部３３が形成されている。容器本体１０の搭載部１２から上方に突き出す係止部材３２の係止爪部３１が係止孔部３３を乗り越えた後、係止爪部３１の下端水平面が係止されることで保持状態となる。
係止孔部３３は、図５に示すように、蓋体天面部２３の上面に形成された凹部２４に形成され、係止部材３２の係止爪部３１が蓋体２０の表面から突き出さないようにしてある。係止爪部３１が係止される係止孔部３３の係止面３４は、中央部を凹ませて係止状態の解放の際、係止爪部３１を押し戻し易くしてある。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにして４箇所の容器本体１０側の係止部材３２の係止爪部３１を、蓋体２０側の係止孔部３３を乗り越えさせて、係止爪部３１が係止面３４に係止される。
この係止状態では、容器本体１０と蓋体２０とによってウェーハＷの収容部１３が密閉状態でシールされた状態で保持される。
一方、係止された保持状態の解放は、蓋体２０の係止面３４の中央部の凹みを利用することで、確実に係止部材３２を中心側から外側に押し戻すことができ、簡単に行うことができる。
なお、保持機構３０は、少なくとも２箇所、例えば対角位置の２箇所に設ければ良く、容器本体１０と蓋体２０とを係止状態に保持できれば良い。
係止孔部３３は、図５に示すように、蓋体天面部２３の上面に形成された凹部２４に形成され、係止部材３２の係止爪部３１が蓋体２０の表面から突き出さないようにしてある。係止爪部３１が係止される係止孔部３３の係止面３４は、中央部を凹ませて係止状態の解放の際、係止爪部３１を押し戻し易くしてある。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにして４箇所の容器本体１０側の係止部材３２の係止爪部３１を、蓋体２０側の係止孔部３３を乗り越えさせて、係止爪部３１が係止面３４に係止される。
この係止状態では、容器本体１０と蓋体２０とによってウェーハＷの収容部１３が密閉状態でシールされた状態で保持される。
一方、係止された保持状態の解放は、蓋体２０の係止面３４の中央部の凹みを利用することで、確実に係止部材３２を中心側から外側に押し戻すことができ、簡単に行うことができる。
なお、保持機構３０は、少なくとも２箇所、例えば対角位置の２箇所に設ければ良く、容器本体１０と蓋体２０とを係止状態に保持できれば良い。
蓋体２０は、ウェーハＷの外側部となる少なくとも２箇所、例えば容器本体１０の本体側壁部１４の間隔Ｌに対応する４箇所に、ウェーハＷの外側部に当てて押える押え部材２５を備えている。
押え部材２５は、平板状に形成され、天面となる蓋体天面部２３の内側から下方（開口部１１とは反対側）に突き出し、蓋体側壁部２１の中心方向と直交するように一体に形成されている。押え部材２５は、基端部の揺動軸部２６を中心に揺動可能に形成され、蓋体２０と一体に形成することで、揺動軸部２６がヒンジ構造となっている。
ここでは、押え部材２５は、揺動軸部２６の内側部分に溝部が形成してあり、溝部によって押え部材２５のヒンジ構造部分が薄肉となり、揺動軸部２６を中心とした押え部材２５の揺動が容易となっている。
押え部材２５の内側面（ウェーハＷの中心側の面）は、重ねて収容されるウェーハＷの外径に合わせた位置となるように揺動軸部２６の位置が設定される。
押え部材２５の内側面には、ウェーハＷの外周を面で押える押え面材２７が設けられ、例えば押え部材２５と一体に成形される。なお、押え面材２７は、押え部材２５とは別体としたり、別素材で形成して取り付けたものであっても良く、確実にウェーハＷの外周を面で押えることができれば良い。
押え部材２５は、平板状に形成され、天面となる蓋体天面部２３の内側から下方（開口部１１とは反対側）に突き出し、蓋体側壁部２１の中心方向と直交するように一体に形成されている。押え部材２５は、基端部の揺動軸部２６を中心に揺動可能に形成され、蓋体２０と一体に形成することで、揺動軸部２６がヒンジ構造となっている。
ここでは、押え部材２５は、揺動軸部２６の内側部分に溝部が形成してあり、溝部によって押え部材２５のヒンジ構造部分が薄肉となり、揺動軸部２６を中心とした押え部材２５の揺動が容易となっている。
押え部材２５の内側面（ウェーハＷの中心側の面）は、重ねて収容されるウェーハＷの外径に合わせた位置となるように揺動軸部２６の位置が設定される。
押え部材２５の内側面には、ウェーハＷの外周を面で押える押え面材２７が設けられ、例えば押え部材２５と一体に成形される。なお、押え面材２７は、押え部材２５とは別体としたり、別素材で形成して取り付けたものであっても良く、確実にウェーハＷの外周を面で押えることができれば良い。
容器本体１０は、図１および図７に示すように、押え部材２５をウェーハＷの外周を押える位置にガイドするガイド溝１７を備えており、搭載部１２の本体側壁部１４の間隔Ｌの４箇所に形成される。ガイド溝１７は、蓋体２０の蓋体天面部２３に設けた押え部材２５を基端部の揺動軸部２６で揺動させ、先端部を搭載部１２の外側から内側（中心側）に移動させるようにガイドするものである。
ガイド溝１７は、底面板となる搭載部１２の中心方向と直交して直線状に形成され、搭載部１２の表面より凹ませて形成してある。ガイド溝１７は、容器本体１０の外側が高く中心側が低い傾斜面１７ａと、傾斜面１７ａの中心側に連続する垂直面１７ｂとで、略Ｖ字状の断面形状に形成されている。
なお、容器本体１０は、図１および図２に示すように、搭載部１２、本体側壁部１４等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されている。
ガイド溝１７は、底面板となる搭載部１２の中心方向と直交して直線状に形成され、搭載部１２の表面より凹ませて形成してある。ガイド溝１７は、容器本体１０の外側が高く中心側が低い傾斜面１７ａと、傾斜面１７ａの中心側に連続する垂直面１７ｂとで、略Ｖ字状の断面形状に形成されている。
なお、容器本体１０は、図１および図２に示すように、搭載部１２、本体側壁部１４等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されている。
押え部材２５は、ガイド溝１７によってガイドさせるため、突き出し長さが以下のように定めてある。
押え部材２５は、容器本体１０に蓋体２０を被せる場合に、被せ終わりの初期（図７参照）では、先端部（図示例では、下端部）が容器本体１０のガイド溝１７内に位置し、蓋体２０を被せ終わるようにして行くにしたがってガイド溝１７でガイドされ、完全に被せた終わり完了期（図７（ｂ）参照）では、押え部材２５の内側面がガイド溝１７の垂直面１７ｂに接する状態までガイドされるように突き出し長さが定めてある。
すなわち、容器本体１０に蓋体２０を被せてシールして係止した保持状態では、押え部材２５の先端部がガイド溝１７の底部に位置し、傾斜面１７ａによって外側に戻れない状態になる。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せてシールして係止した状態では、４箇所の押え部材２５がウェーハＷの外径に対応した位置に保持され、４箇所の押え部材２５の押え面材２７で、重ねられたウェーハＷの外周を面で押えることができ、ウェーハＷの水平移動を確実に防止することができる。
押え部材２５は、蓋体２０の天面なる蓋体天面部２３から容器本体１０の底面部となる搭載部１２に凹ませたガイド溝１７までの間に位置しているので、搭載部１２上に積み重ねられた全てのウェーハＷの外周を面で押えることができ、最下段のウェーハＷであっても確実に押えることができる。
また、押え部材２５は、蓋体２０を取り外した容器本体１０には、存在しないので、容器本体１０へのウェーハＷの収容は、押え部材２５に邪魔されることなくこれまで通りに行うことができる。
なお、蓋体２０は、図３〜図５に示すように、蓋体側壁部２１、蓋体外壁部２２、蓋体天面部２３等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されている。また、容器本体１０の搭載部１２に収容されたウェーハＷを、上下に押えるための上部押え部２８が蓋体天面部２３に一体に形成されており、これまでと同様に、重ねられたウェーハＷを搭載部１２との間で上下に押える。
押え部材２５は、容器本体１０に蓋体２０を被せる場合に、被せ終わりの初期（図７参照）では、先端部（図示例では、下端部）が容器本体１０のガイド溝１７内に位置し、蓋体２０を被せ終わるようにして行くにしたがってガイド溝１７でガイドされ、完全に被せた終わり完了期（図７（ｂ）参照）では、押え部材２５の内側面がガイド溝１７の垂直面１７ｂに接する状態までガイドされるように突き出し長さが定めてある。
すなわち、容器本体１０に蓋体２０を被せてシールして係止した保持状態では、押え部材２５の先端部がガイド溝１７の底部に位置し、傾斜面１７ａによって外側に戻れない状態になる。
これにより、容器本体１０に蓋体２０を被せてシールして係止した状態では、４箇所の押え部材２５がウェーハＷの外径に対応した位置に保持され、４箇所の押え部材２５の押え面材２７で、重ねられたウェーハＷの外周を面で押えることができ、ウェーハＷの水平移動を確実に防止することができる。
押え部材２５は、蓋体２０の天面なる蓋体天面部２３から容器本体１０の底面部となる搭載部１２に凹ませたガイド溝１７までの間に位置しているので、搭載部１２上に積み重ねられた全てのウェーハＷの外周を面で押えることができ、最下段のウェーハＷであっても確実に押えることができる。
また、押え部材２５は、蓋体２０を取り外した容器本体１０には、存在しないので、容器本体１０へのウェーハＷの収容は、押え部材２５に邪魔されることなくこれまで通りに行うことができる。
なお、蓋体２０は、図３〜図５に示すように、蓋体側壁部２１、蓋体外壁部２２、蓋体天面部２３等の部材に、補強や他の工程でのハンドリング等のため、必要に応じて凹凸部やリブ等が形成されている。また、容器本体１０の搭載部１２に収容されたウェーハＷを、上下に押えるための上部押え部２８が蓋体天面部２３に一体に形成されており、これまでと同様に、重ねられたウェーハＷを搭載部１２との間で上下に押える。
ウェーハ収容容器１は、容器本体１０に蓋体２０を被せる際に、収容部１３に収容されたウェーハＷの損傷を防止する案内部材４０が少なくとも２箇所に設けられる。案内部材４０は、容器本体１０の中心軸と蓋体２０の中心軸とを一致させた同心状態を保持して蓋体２０を案内するためのものであり、図示例では、蓋体２０の４隅の４箇所に設けてある。
案内部材４０は、蓋体側壁部２１に設けてあり、容器本体１０に設けた４箇所の係止部材３２に接触させながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する。各案内部材４０は、蓋体側壁部２１の外側に設けるリブ４１で構成され、例えば２つのリブ４１が各係止部材３２の幅（中心方向と直交する方向の長さ）の内側に位置する間隔をあけて中心方向外側に突き出すよう形成してある。リブ４１は、先端部（図示例では、下端部）が円弧状の下向きの傾斜面とされ、中心側が低く外側を高くしてあり、係止部材３２の係止爪部３１の上端の傾斜面（中心側が低く、外側が高い）と同一方向の傾斜面としてある。
また、案内部材４０のリブ４１は、先端の傾斜面から基端の蓋体天面部２３の凹部２４の係止孔部３３まで形成され、先端から基端に向かって突き出し幅大きくなる傾斜面が円弧状の傾斜面と連続して形成され、案内面となっている。
これにより、容器本体１０の係止部材３２と蓋体２０の案内部材４０のリブ４１が蓋体２０の被せ始めから被せ終わって容器本体１０の係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止されるまでの間、同心状態を保持して案内される。
また、リブ４１の外側形状を傾斜面とすることで、成形時の金型からの脱型性を向上することができる。
案内部材４０は、蓋体側壁部２１に設けてあり、容器本体１０に設けた４箇所の係止部材３２に接触させながら容器本体１０と蓋体２０とを同心状態を保持して案内する。各案内部材４０は、蓋体側壁部２１の外側に設けるリブ４１で構成され、例えば２つのリブ４１が各係止部材３２の幅（中心方向と直交する方向の長さ）の内側に位置する間隔をあけて中心方向外側に突き出すよう形成してある。リブ４１は、先端部（図示例では、下端部）が円弧状の下向きの傾斜面とされ、中心側が低く外側を高くしてあり、係止部材３２の係止爪部３１の上端の傾斜面（中心側が低く、外側が高い）と同一方向の傾斜面としてある。
また、案内部材４０のリブ４１は、先端の傾斜面から基端の蓋体天面部２３の凹部２４の係止孔部３３まで形成され、先端から基端に向かって突き出し幅大きくなる傾斜面が円弧状の傾斜面と連続して形成され、案内面となっている。
これにより、容器本体１０の係止部材３２と蓋体２０の案内部材４０のリブ４１が蓋体２０の被せ始めから被せ終わって容器本体１０の係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止されるまでの間、同心状態を保持して案内される。
また、リブ４１の外側形状を傾斜面とすることで、成形時の金型からの脱型性を向上することができる。
このような蓋体２０が案内部材４０を構成する２つのリブ４１を備えることにより、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、４箇所でそれぞれ２つのリブ４１の先端が容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１の上面に当たる。
この状態で傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、リブ４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
さらに、４箇所の蓋体２０のリブ４１と４箇所の係止部材３２の内側表面および係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持状態となる。
この状態で傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、リブ４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
さらに、４箇所の蓋体２０のリブ４１と４箇所の係止部材３２の内側表面および係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持状態となる。
案内部材４０として蓋体側壁部２１の外側に２つのリブ４１を形成するようにしたが、リブ４１の幅を広くして１つで案内部材４０を構成しても良い。
また、２つのリブ４１の間の蓋体側壁部２１を取り除き、リブ４１の先端側を壁面で連続させた断面コ字状の案内部材４０として蓋体側壁部２１の一部を外側に突き出すように構成しても良く、容器本体１０の係止部材３２と接触させて同心状態で蓋体２０を被せることができるものであれば良い。
また、２つのリブ４１の間の蓋体側壁部２１を取り除き、リブ４１の先端側を壁面で連続させた断面コ字状の案内部材４０として蓋体側壁部２１の一部を外側に突き出すように構成しても良く、容器本体１０の係止部材３２と接触させて同心状態で蓋体２０を被せることができるものであれば良い。
このような蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、同心状態が確保されるので、蓋体２０の蓋体側壁部２１が容器本体１０に収容されたウェーハＷに当たってウェーハＷを損傷することが防止される。
また、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、容器本体１０の本体側壁部１４よりも係止部材３２が高くしてあるので、最初に係止部材３２の係止爪部３１に案内部材４０のリブ４１が当たることで、収容部１３のウェーハＷの損傷を蓋体２０の被せ始めから一層確実に防止することができる。
さらに、容器本体１０の本体側壁部１４よりも係止部材３２が高くしてあるので、最上段のウェーハＷ（容器本体１０の本体側壁部１４より低い位置に収容される）を蓋体２０の下方に突き出す押え部材２５で押えるようにしても、最初に係止部材３２の係止爪部３１に案内部材４０のリブ４１が当たることで、収容部１３のウェーハＷの損傷を蓋体２０の被せ始めから完了まで確実に防止することができる。
また、蓋体２０には、ウェーハＷの外側を面で押える押え部材２５が設けてあるが、蓋体２０を同心状態で被せるので、押え部材２５によるウェーハＷの損傷を防止することができるとともに、押え部材２５が外側に開いた状態からガイド溝１７で所定の位置に閉じられた状態にガイドされることによっても容器本体１０と蓋体２０との同心状態を保持することができる。
これにより、ウェーハ収容容器１では、ロボットアームなどの自動化装置を使用せず作業者により手動で蓋体２０を被せる場合であっても容器本体１０と蓋体２０の中心軸がずれることなく、確実に密閉することができる。
また、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、容器本体１０の本体側壁部１４よりも係止部材３２が高くしてあるので、最初に係止部材３２の係止爪部３１に案内部材４０のリブ４１が当たることで、収容部１３のウェーハＷの損傷を蓋体２０の被せ始めから一層確実に防止することができる。
さらに、容器本体１０の本体側壁部１４よりも係止部材３２が高くしてあるので、最上段のウェーハＷ（容器本体１０の本体側壁部１４より低い位置に収容される）を蓋体２０の下方に突き出す押え部材２５で押えるようにしても、最初に係止部材３２の係止爪部３１に案内部材４０のリブ４１が当たることで、収容部１３のウェーハＷの損傷を蓋体２０の被せ始めから完了まで確実に防止することができる。
また、蓋体２０には、ウェーハＷの外側を面で押える押え部材２５が設けてあるが、蓋体２０を同心状態で被せるので、押え部材２５によるウェーハＷの損傷を防止することができるとともに、押え部材２５が外側に開いた状態からガイド溝１７で所定の位置に閉じられた状態にガイドされることによっても容器本体１０と蓋体２０との同心状態を保持することができる。
これにより、ウェーハ収容容器１では、ロボットアームなどの自動化装置を使用せず作業者により手動で蓋体２０を被せる場合であっても容器本体１０と蓋体２０の中心軸がずれることなく、確実に密閉することができる。
ウェーハ収容容器１では、容器本体１０及び蓋体２０は、導電性プラスチックにより形成することが好ましい。導電性プラスチックとしては、導電性フィラーを添加したプラスチックやポリマーアロイ処理したプラスチック等が挙げられる。導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラファイトカーボン、グラファイト、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末や繊維等が挙げられる。
このように構成したウェーハ収容容器１では、図８に示すように、容器本体１０の４つの本体側壁部１４で囲まれた搭載部１２上の収容部１３に、最下段のクッション材とするリングスペーサ５１を配置し、その上にウェーハＷと層間シート５２とを交互に重ね、最上段にクッション材とするリングスペーサ５１を配置して収容する。
容器本体１０に所定枚数のウェーハＷを重ねて収容した後、蓋体２０を被せるようにする。
蓋体２０を容器本体１０に被せるようにすると、図６（ａ）に示すように、ウェーハ収容容器１の４箇所（４隅）でそれぞれ２つのリブ４１の先端が容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１の上面に当たる。
この状態で傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、リブ４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
さらに、４箇所の蓋体２０のリブ４１と４箇所の係止部材３２の内側表面および係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持状態となる。
また、容器本体１０に蓋体２０を被せていき、蓋体２０の蓋体外壁部２２の先端が直線状のシール面１６に接する状態まで被せられると、蓋体２０の押え部材２５の先端部が容器本体１０のガイド溝１７の上方に位置する状態となる。
さらに、蓋体２０を容器本体１０に被せていくと、押え部材２５の先端部が容器本体１０のガイド溝１７の傾斜面１７ａにガイドされて外側から中心側に移動して行き、押え部材２５は、基端部の揺動軸部２６を中心に揺動する。
そして、蓋体２０が容器本体１０に完全に被せられた状態では、図７（ｂ）に示すよう
に、押え部材２５は、ガイド溝１７の中心側の垂直面１７ｂに接する状態となり、押え部材２５の内側面がウェーハＷの外径に接する位置となる。
これにより、４箇所の押え部材２５の押え面材２７で、重ねられたウェーハＷの外周が面で押えられ、水平方向の移動が防止される。
このようなウェーハ収容容器１では、容器本体１０にウェーハＷを収容した状態で、蓋体２０を被せても、容器本体１０と蓋体２０との中心軸がずれることなく同心状態となり、蓋体２０の蓋体側壁部２１や押え部材２５がウェーハＷに当たって損傷を与えることを防止することができる。
また、重ねられたウェーハＷは、容器本体１０の搭載部１２の上面と蓋体２０の蓋体天面部２３の上部押え部２８によって押えられ、上下方向の移動も押えられる。
さらに、この蓋体２０を容器本体１０に完全に被せた状態では、蓋体２０の蓋体側壁部２１および蓋体外壁部２２が容器本体１０の円弧状のシール面１５および直線状のシール面１６に接触した密封状態になる。
こうして容器本体１０にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた後は、収容部１３に収容したウェーハＷは、上下及び左右方向が押えられているので、ウェーハ収容容器１を任意の方向にして搬送しても、ウェーハＷは移動せず、ウェーハＷと直接接触する層間シート等と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分によるウェーハＷへの汚染等の問題を防止することができる。
容器本体１０に所定枚数のウェーハＷを重ねて収容した後、蓋体２０を被せるようにする。
蓋体２０を容器本体１０に被せるようにすると、図６（ａ）に示すように、ウェーハ収容容器１の４箇所（４隅）でそれぞれ２つのリブ４１の先端が容器本体１０の係止部材３２の係止爪部３１の上面に当たる。
この状態で傾斜面同士を接触させながら蓋体２０を押し込むように被せると、リブ４１と係止爪部３１との傾斜面同士によって容器本体１０に対する蓋体２０の中心軸のずれが修正され、同心状態となる。
さらに、４箇所の蓋体２０のリブ４１と４箇所の係止部材３２の内側表面および係止爪部３１とを接触させながら押し込んでいくと、容器本体１０と同心状態で蓋体２０が被せられていき、被せ終わると、係止爪部３１が蓋体２０の係止孔部３３に係止され、蓋体２０と容器本体１０とが同心状態で密閉され保持状態となる。
また、容器本体１０に蓋体２０を被せていき、蓋体２０の蓋体外壁部２２の先端が直線状のシール面１６に接する状態まで被せられると、蓋体２０の押え部材２５の先端部が容器本体１０のガイド溝１７の上方に位置する状態となる。
さらに、蓋体２０を容器本体１０に被せていくと、押え部材２５の先端部が容器本体１０のガイド溝１７の傾斜面１７ａにガイドされて外側から中心側に移動して行き、押え部材２５は、基端部の揺動軸部２６を中心に揺動する。
そして、蓋体２０が容器本体１０に完全に被せられた状態では、図７（ｂ）に示すよう
に、押え部材２５は、ガイド溝１７の中心側の垂直面１７ｂに接する状態となり、押え部材２５の内側面がウェーハＷの外径に接する位置となる。
これにより、４箇所の押え部材２５の押え面材２７で、重ねられたウェーハＷの外周が面で押えられ、水平方向の移動が防止される。
このようなウェーハ収容容器１では、容器本体１０にウェーハＷを収容した状態で、蓋体２０を被せても、容器本体１０と蓋体２０との中心軸がずれることなく同心状態となり、蓋体２０の蓋体側壁部２１や押え部材２５がウェーハＷに当たって損傷を与えることを防止することができる。
また、重ねられたウェーハＷは、容器本体１０の搭載部１２の上面と蓋体２０の蓋体天面部２３の上部押え部２８によって押えられ、上下方向の移動も押えられる。
さらに、この蓋体２０を容器本体１０に完全に被せた状態では、蓋体２０の蓋体側壁部２１および蓋体外壁部２２が容器本体１０の円弧状のシール面１５および直線状のシール面１６に接触した密封状態になる。
こうして容器本体１０にウェーハＷを重ねて収容し、蓋体２０を被せた後は、収容部１３に収容したウェーハＷは、上下及び左右方向が押えられているので、ウェーハ収容容器１を任意の方向にして搬送しても、ウェーハＷは移動せず、ウェーハＷと直接接触する層間シート等と擦れ、傷や割れ等による破損、発塵、あるいは化学的成分によるウェーハＷへの汚染等の問題を防止することができる。
本発明のウェーハ収容容器１によれば、一端に開口部１１を有し、他端に開口部１１と対向しウェーハＷが重ねて収容される搭載部１２を有する容器本体１０と、開口部１１を塞ぐ蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構３０と、を備えるウェーハ収容容器１であって、保持機構３０は、容器本体１０の他端から一端に伸び一端部に係止爪部３１を備えて容器本体１０に固定して設けられる係止部材３２と、蓋体２０に設けられ係止爪部３１が係止される係止孔部３３と、を少なくとも２箇所に有し、蓋体２０の容器本体１０への被せ始めから被せ終わりまでの嵌合時に、係止部材３２に接触させながら容器本体１０と蓋体２０とを互いの中心軸を一致させた同心状態を保持して案内する案内部材４０を蓋体側壁部２１に固定して設けてあるので、容器本体１０に蓋体２０を被せるようにすると、少なくとも２箇所で蓋体側壁部２１の案内部材４０が容器本体１０に設けた係止部材３２に接触しながら同心状態を保持して蓋体２０が案内されることで、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく蓋体２０を被せることができる。
本発明のウェーハ収容容器１によれば、容器本体１０は、搭載部１２に、ウェーハＷを収容する収容部１３を区画する本体側壁部１４が、間隔Ｌを開けて形成され、係止部材３２は、本体側壁部１４より高く形成されているので、蓋体２０を容器本体１０に被せる場合に、案内部材４０が本体側壁部１４より高い係止部材３２に最初に接触して案内されることで、収容したウェーハＷに蓋体側壁部２１で損傷を与えることなく、確実に蓋体２０を被せることができる。
本発明のウェーハ収容容器１によれば、案内部材４０は、蓋体側壁部２１の外側に設けるリブ４１で構成されるので、リブ４１を設けるだけで案内部材４０とすることができ、構造を簡素化することができ、同心状態にするためのスペースの確保が容易となり、蓋体側壁部２１を補強することもできる。
本発明のウェーハ収容容器１によれば、蓋体２０は、開口部１１を塞ぐ蓋体天面部２３を有し、蓋体天面部２３の中心方向に揺動すると共に、容器本体１０に収容され重ねられたウェーハＷの外側を押える押え部材２５を蓋体天面部２３に少なくとも２箇所に有し、押え部材２５は、ウェーハＷの外周を面で押える押え面材２７が設けられ、容器本体１０は、押え部材２５の先端部を、搭載部１２の外側から内側に向けて移動させ、ウェーハＷの外周を押える位置にガイドするガイド溝１７を有し、ガイド溝１７は、搭載部１２の表面より凹ませて設けているので、容器本体１０に収容されたウェーハＷの動きを押え部材２５で両側から押えて防止することができる。
また、押え部材２５の先端部を搭載部１２に凹ませたガイド溝１７でガイドして押え面材２７で押えるので、搭載部１２上の全てのウェーハＷの外周を面で押えることができる。これにより、ウェーハＷの厚さが薄いものであっても、確実に押えて動きを防止することができるとともに、面で押えることで、荷重が１点に集中することがなく、ウェーハＷの損傷を防止することができる。
また、押え部材２５の先端部を搭載部１２に凹ませたガイド溝１７でガイドして押え面材２７で押えるので、搭載部１２上の全てのウェーハＷの外周を面で押えることができる。これにより、ウェーハＷの厚さが薄いものであっても、確実に押えて動きを防止することができるとともに、面で押えることで、荷重が１点に集中することがなく、ウェーハＷの損傷を防止することができる。
なお、上記実施の形態では、押え部材２５を４箇所に設ける場合を例に説明したが、少なくとも対角位置の２箇所に設けるようにすれば良く、３箇所以上に押え部材２５を設けることで、確実にウェーハＷを押えることができる。
また、押え部材２５を１箇所に１つの平板状のものを設置するようにしたが、１箇所の押え部材２５を分割構造として複数の平板状のものをそれぞれ中心に対して直交して揺動するようにすることもできる。こうすることで、それぞれの分割された押え部材２５でウェーハＷを確実に押えることができる。
また、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
また、押え部材２５を１箇所に１つの平板状のものを設置するようにしたが、１箇所の押え部材２５を分割構造として複数の平板状のものをそれぞれ中心に対して直交して揺動するようにすることもできる。こうすることで、それぞれの分割された押え部材２５でウェーハＷを確実に押えることができる。
また、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
１ ウェーハ収容容器
１０ 容器本体
１１ 開口部
１２ 搭載部
１３ 収容部
１４ 本体側壁部
１５ 円弧状のシール面
１６ 直線状のシール面
１７ ガイド溝
１７ａ 傾斜面
１７ｂ 垂直面
２０ 蓋体
２１ 蓋体側壁部
２２ 蓋体外壁部
２３ 蓋体天面部
２４ 凹部
２５ 押え部材
２６ 揺動軸部
２７ 押え面材
２８ 上部押え部
３０ 保持機構
３１ 係止爪部
３２ 係止部材
３３ 係止孔部
３４ 係止面
４０ 案内部材
４１ リブ
５１ リングスペーサ
５２ 層間シート
Ｌ 間隔
Ｗ ウェーハ
１０ 容器本体
１１ 開口部
１２ 搭載部
１３ 収容部
１４ 本体側壁部
１５ 円弧状のシール面
１６ 直線状のシール面
１７ ガイド溝
１７ａ 傾斜面
１７ｂ 垂直面
２０ 蓋体
２１ 蓋体側壁部
２２ 蓋体外壁部
２３ 蓋体天面部
２４ 凹部
２５ 押え部材
２６ 揺動軸部
２７ 押え面材
２８ 上部押え部
３０ 保持機構
３１ 係止爪部
３２ 係止部材
３３ 係止孔部
３４ 係止面
４０ 案内部材
４１ リブ
５１ リングスペーサ
５２ 層間シート
Ｌ 間隔
Ｗ ウェーハ
Claims (4)
- 一端に開口部を有し、他端に前記開口部と対向しウェーハが重ねて収容される搭載部を有する容器本体と、
前記開口部を塞ぐ蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体とを開閉可能に嵌合して保持する保持機構と、を備えるウェーハ収容容器であって、
前記保持機構は、前記容器本体の前記他端から前記一端に伸び一端部に係止爪部を備えて前記容器本体に固定して設けられる係止部材と、前記蓋体に設けられ前記係止爪部が係止される係止孔部と、を少なくとも２箇所に有し、
前記蓋体の前記容器本体への被せ始めから被せ終わりまでの嵌合時に、前記係止部材に接触させながら前記容器本体と前記蓋体とを互いの中心軸を一致させた同心状態を保持して案内する案内部材を蓋体側壁部に固定して設けた、
ことを特徴とするウェーハ収容容器。 - 前記容器本体は、前記搭載部に、前記ウェーハを収容する収容部を区画する本体側壁部が、間隔を開けて形成され、
前記係止部材は、前記本体側壁部より高く形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ収容容器。 - 前記案内部材は、前記蓋体側壁部の外側に設けるリブで構成される、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のウェーハ収容容器。 - 前記蓋体は、前記開口部を塞ぐ蓋体天面部を有し、前記蓋体天面部の中心方向に揺動すると共に、前記容器本体に収容され重ねられた前記ウェーハの外側を押える押え部材を前記蓋体天面部に少なくとも２箇所に有し、
前記押え部材は、前記ウェーハの外周を面で押える押え面材が設けられ、
前記容器本体は、前記押え部材の先端部を、前記搭載部の外側から内側に向けて移動させ、前記ウェーハの外周を押える位置にガイドするガイド溝を有し、
前記ガイド溝は、前記搭載部の表面より凹ませて設けられる、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のウェーハ収容容器。
Priority Applications (9)
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