KR102229694B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

기판 수납 용기(1)는, 일단에 개구부(11)를 갖고, 타단에 개구부(11)와 대향하여 기판(W)이 겹쳐서 수납되는 탑재부(12)를 가지는 용기 본체(10)와, 개구부(11)를 막는 덮개(20)를 구비하는 기판 수납 용기(1)로서, 덮개(20)는, 개구부(11)를 막는 덮개부(21)와, 덮개부(21)의 중심 방향으로 요동함과 동시에, 용기 본체(10)에 수납되어 겹쳐지는 기판(W)의 외측을 누르는 누름 부재(22)를 덮개부(21)에 적어도 2개소 갖고, 용기 본체(10)는, 누름 부재(22)의 선단부(22a)를, 탑재부(12)의 외측에서 내측을 향해서 이동시키고, 기판(W)의 외측을 누르는 위치로 가이드하는 가이드홈(13)을 갖고, 가이드홈(13)은, 탑재부(12)의 표면보다 오목하게 형성되어 있다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은, 기판 수납 용기에 관한 것이다.
기판을 수납하는 기판 수납 용기로서, 예를 들면 특허문헌 1에 개시된 반도체 웨이퍼를 수납하는 용기가 있다.
특허문헌 1에 개시된 기판 수납 용기는, 용기 본체 상에 통상(筒狀)의 기판 수납부를 구비한다. 기판 수납부의 최상단과 최하단에 쿠션재 등이 설치된다. 상하의 쿠션재 사이에 웨이퍼(기판)와 층간지(層間紙)(합성 수지제 시트 또는 무진지(無塵紙, clean paper) 또는 합성 수지제 성형품 등)를 교대로 개재(介在)시켜서 수납하고, 덮개(蓋體)를 씌우고 있다.
특개평09-129719호 공보
특허문헌 1의 기판 수납 용기에서는, 웨이퍼를 수납하기 위해서, 웨이퍼의 외경에서, 기판 수납부의 내경을 크게 할 필요가 있다. 이 때문에, 기판 수납부와 웨이퍼의 틈새에 의해서 수송 중의 진동·충격 등으로 웨이퍼가 수평 방향으로 움직여 버린다.
이러한 웨이퍼의 수평 방향의 이동 때문에, 웨이퍼와 직접 접촉하는 층간지 등과의 긁힘, 상처나 균열 등에 의한 파손, 발진, 혹은, 화학적 성분에 의한 웨이퍼에의 오염 등의 문제가 있다.
본 발명은, 관련된 종래 기술의 문제점에 감안한 것으로, 수납한 기판의 움직임을 누를 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관련된 기판 수납 용기는,
일단에 개구부를 갖고, 타단에 상기 개구부와 대향하여 기판이 겹쳐서 수납되는 탑재부를 가지는 용기 본체와, 상기 개구부를 막는 덮개(蓋體)를 구비하는 기판 수납 용기로서,
상기 덮개는, 상기 개구부를 막는 덮개부(蓋體部)와, 상기 덮개부의 중심 방향으로 요동함과 동시에, 상기 용기 본체에 수납되어 겹쳐진 상기 기판의 외측을 누르는 누름 부재를 상기 덮개부에 적어도 2개소 갖고,
상기 용기 본체는, 상기 누름 부재의 선단부를, 상기 탑재부의 외측에서 내측을 향해서 이동시키고, 상기 기판의 외측을 누르는 위치로 가이드하는 가이드홈을 갖고,
상기 가이드홈은, 상기 탑재부의 표면보다 오목하게 형성되는,
것을 특징으로 한다.
상기 용기 본체는, 상기 탑재부에, 상기 기판을 수납하는 수납부를 구획하는 고정 측벽부가, 간격을 두고 형성되고, 상기 고정 측벽부 사이의 상기 탑재부에 상기 가이드홈이 형성되고, 상기 덮개는, 상기 고정 측벽부의 간격에 대응하는 위치의 상기 덮개부에 상기 누름 부재가 형성될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상기 누름 부재는, 상기 덮개와 일체로 성형될 수 있도록 하거나, 상기 누름 부재는, 요동하는 요동축부를 따라서, 요동을 재촉하는 홈부가 형성될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판 수납 용기에 의하면, 수납한 기판의 움직임을 누를 수 있다.
[도 1] 도 1의 (a)는, 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태의 용기 본체를 나타내는 평면도이다. 도 1의 (b)는, 도 1의 (a) 중의 A-A 단면도이다.
[도 2] 도 2의 (a)는, 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태의 계지편을 나타내고, 도 1의 (a) 중의 B 화살표의 도면이다. 도 2의 (b)는, 도 1의 (a) 중의 C-C 단면도이다.
[도 3] 도 3의 (a)는, 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태의 덮개를 나타내는 정면도이다. 도 3의 (b)는, 덮개의 평면도이다.
[도 4] 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태에 관련된 덮개의 저면도이다.
[도 5] 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태에 관련된 덮개와 용기 본체의 일부의 도 3의 (b) 중의 D-D 단면도이다.
[도 6] 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태의 덮개에 관련된 도 3의 (b) 중의 E-E 단면도이다.
[도 7] 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태에 관련된 누름 부재의 동작의 설명도이다.
[도 8] 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태에 관련된 기판의 수납 공정의 설명도이다.
이하, 본 발명의 기판 수납 용기의 일 실시의 형태에 대해 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 기판 수납 용기(1)는, 일단에 개구부(11)를 갖고, 타단에 개구부(11)와 대향하여 기판(W)이 겹쳐서 수납되는 탑재부(12)를 가지는 용기 본체(10)와, 개구부(11)를 막는 덮개(蓋體)(20)를 구비하는 기판 수납 용기(1)이며, 덮개(20)는, 개구부(11)를 막는 덮개부(蓋體部)(21)와, 덮개부(21)의 중심 방향으로 요동함과 동시에, 용기 본체(10)에 수납되어 겹쳐진 기판(W)의 외측을 누르는 누름 부재(22)를 덮개부(21)에 적어도 2개소 갖고, 용기 본체(10)는, 누름 부재(22)의 선단부(22a)를, 탑재부(12)의 외측에서 내측을 향해서 이동시키고, 기판(W)의 외측을 누르는 위치로 가이드하는 가이드홈(13)을 갖고, 가이드홈(13)은, 탑재부(12)의 표면보다 오목하게 형성된다.
이것에 의해, 용기 본체(10)에 덮개(20)를 씌우도록 하면, 누름 부재(22)의 선단부(22a)가 용기 본체(10)의 가이드홈(13)에 의해서 외측에서 내측으로 이동한다. 이 때, 선단부(22a)는, 겹쳐진 기판(W)의 외측을 적어도 2개소에서 누름으로써, 기판(W)의 움직임을 방지한다.
본 실시의 형태에서는, 용기 본체(10)의 개구부(11)이 상방을 향해서 개구되고, 탑재부(12) 상에 수평인 기판(W)을 겹쳐서 수납하는 경우를 예로 설명한다. 또, 기판 수납 용기(1)에 기판(W)을 겹쳐서 수납하고, 덮개(20)를 씌운 수납 완료 후는, 기판(W)이 어떠한 상태(기판(W)의 방향이, 예를 들면 수평이나 수직 등)로, 반송 등이 행해져도 좋은 것이다.
용기 본체(10)는, 저면판이 되는 탑재부(12)를 구비한다. 탑재부(12)는, 도 1의 (a)에 나타내듯이, 정방형의 4모서리(隅)를 노치한 팔각형상으로 형성되어 있다. 탑재부(12)는, 중앙부 상면에 분할해서 설치된 평면이며, 기판(W)을 겹쳐서 수납되는, 기판 탑재부(12a)를 포함한다. 또, 탑재부(12)는, 4각형상으로 형성되어도 좋다.
탑재부(12)에는, 기판(W)의 수납부(S)를 구획하는 고정 측벽부(14)가 상방으로 돌출되도록 형성되고 있다. 고정 측벽부(14)는, 기판(W)의 형상에 맞추어 원통의 일부를 이루는 복수, 예를 들면 4개의 원호상으로서, 원주를 따라서 간격(L)을 두고 형성되고 있다. 고정 측벽부(14)는, 탑재부(12)와 일체로 성형되고 있다. 이것에 의해, 고정 측벽부(14)의 상단부가 용기 본체(10)의 개구부(11)가 되어, 고정 측벽부(14)로 구획된 공간이 기판(W)의 수납부(S)가 된다.
고정 측벽부(14)의 내경은, 기판(W)의 수납이나 취출(取出)에 지장이 없는 크기로 형성된다. 고정 측벽부(14)의 내경은, 기판(W)의 크기(직경), 예를 들면 5 인치, 6 인치, 8 인치, 12 인치 등의 사이즈에 비해 크게(예를 들면, 직경으로 1~2 mm 정도) 되어 있다. 고정 측벽부(14)의 간격(L)은, 기판(W)의 취출 시의 로봇 암의 삽입구가 된다.
용기 본체(10)에는, 도 2의 (b)에 나타내듯이, 고정 측벽부(14)의 하단 부외주에 덮개(20)와의 씰면(15)이 형성되어 있다. 씰면(15)의 외측에는, 상방으로 돌출된 돌출편(15a)이 원호상으로 형성되고 있다. 고정 측벽부(14) 사이의 간격(L) 부분에는, 도 1의 (b)에 나타내듯이, 탑재부(12)로부터 상방으로 돌출되도록 씰면(16)이 형성되어 있다. 씰면(16)은, 씰면(15)과 연속하여 환상으로 되어 있다. 씰면(16)의 외측에는, 돌출편(15a)이 생략되고 있다.
이것에 의해, 후술하는 덮개(20)를 씌울 수 있으면, 덮개(20)의 원통부(23)의 내측면이 씰면(15, 16)에 접촉함으로써 씰 된다. 덮개의 원통부(23)의 외측면을 돌출편(15a)으로 누름으로써, 씰 상태가 보관 유지된다.
용기 본체(10)는, 도 1 및 도 2에 나타내듯이, 탑재부(12)의 4모서리에 위치하는 4개의 고정 측벽부(14)의 외측에, 각각 계지편(係止片)(17)이 형성되어 있다. 계지편(17)은, 선단 내측에 설치된 조부(爪部)(17a)를 구비한다. 계지편(17)은, 탑재부(12)와 일체로 상방으로 돌출되어 형성되고 있다. 계지편(17)의 조부(17a)를, 덮개(20)에 계지함으로써 용기 본체(10)와 덮개(20)의 연결 상태를 보관 유지할 수 있도록 되어 있다. 덮개(20)의 상세에 대하여는, 후술한다.
용기 본체(10)는, 도 1에 나타내듯이, 가이드홈(13)을 구비한다. 가이드홈(13)은, 탑재부(12)의 고정 측벽부(14)의 간격(L)의 4개소에 형성된다. 가이드홈(13)은, 후술하는 덮개(20)의 덮개부(21)에 설치한 누름 부재(22)를 기단부(22b)로 요동시키고, 선단부(22a)를 탑재부(12)의 외측에서 내측(중심측)으로 이동시키도록 가이드하는 것이다.
가이드홈(13)은, 저면판이 되는 탑재부(12)의 중심 방향과 직교하여 직선상으로 형성되고 있다. 가이드홈(13)은, 기판 탑재부(12a)의 표면보다 오목하게 형성되고 있다. 가이드홈(13)은, 용기 본체(10)의 외측이 높고 중심측이 낮은 경사면(13a)과, 경사면(13a)의 중심 측에 연속하는 수직면(13b)으로, 대략 V자 형상의 단면 형상으로 구성되어 있다.
또한, 용기 본체(10)는, 도 1 및 도 2에 나타내듯이, 탑재부(12), 고정 측벽부(14) 등의 부재에, 보강이나 다른 공정으로의 핸들링 등 때문에, 필요에 따라서 요철부나 리브 등이 형성되어 있다. 상술한 용기 본체(10)의 각부는, 모두 일체로 성형하는 것으로 해도 좋다.
덮개(20)는, 도 3~도 5에 나타내듯이, 용기 본체(10)의 개구부(11)를 막도록 씌울 수 있다. 덮개(20)는, 외형이 탑재부(12)와 동일 형상의 팔각형상의 천면판(天面板)이 되는 덮개부(21)를 구비하고 있다.
덮개부(21)는, 팔각형의 단연부(端緣部)로부터 돌출되어 외벽부(24)가 형성되고, 용기 본체(10)의 탑재부(12)의 표면 주위의 립부와 접하게 되어 있다. 덮개부(21)의 외벽부(24)의 내측에는, 원통형의 원통부(23)가 천면부가 되는 덮개부(21)로부터 돌출되어 형성되고 있다. 원통부(23)는, 용기 본체(10)의 탑재부(12)의 씰면(15) 및 씰면(16)과 접해 밀봉 상태로 씰할 수 있게 되어 있다.
덮개부(21)의 4모서리이며, 용기 본체(10)의 계지편(17)의 배치에 대응하는 4개소에, 계지공(係止孔)(25)이 형성되어 있다. 용기 본체(10)의 탑재부(12)로부터 상방으로 돌출되는 계지편(17)의 조부(17a)가 계지공(25)을 넘어서, 조부(17a)의 하단 수평면이 계지된다.
계지공(25)은, 도 6에 나타내듯이, 덮개부(21)의 상면에 형성된 요부(21a)에 형성되고 있다. 요부(21a)는, 도 5에 나타내듯이, 계지편(17)이 계지공(25)을 삽통 후, 덮개부(21)의 표면으로부터 돌출되지 않게 조부(17a)를 수용 가능한 깊이를 갖는다. 조부(17a)가 계지되는 계지공(25)의 계지면(25a)은, 중앙부를 오목하게 계지 상태의 해방 시, 계지편(17)을 되밀어내기 쉽게 되어 있다.
이것에 의해, 용기 본체(10)에 덮개(20)를 씌울 때, 4개소의 용기 본체(10) 측의 계지편(17)의 조부(17a)를, 덮개(20) 측의 계지공(25)을 넘도록 함으로써, 조부(17a)가 계지면(25a)에 계지된다.
이 계지 상태에서는, 용기 본체(10)와 덮개(20)에 의해서 기판(W)의 수납부(S)가 밀폐 상태로 씰된 상태가 된다.
한편, 계지 상태의 해방은, 덮개(20)의 계지면(25a)의 중앙부의 요부를 이용한다. 이것에 의해, 확실히 계지편(17)을 중심측으로부터 외측으로 되밀어내는 것이 가능하고, 간단하게 실시할 수 있다.
덮개(20)는, 기판(W)의 외측부의 적어도 2개소, 예를 들면 4개소에, 누름 부재(22)를 구비하고 있다.
누름 부재(22)는, 평판상으로 형성되고 있다. 누름 부재(22)는, 천면부가 되는 덮개부(21)의 내측에서 하방으로 돌출되고, 덮개부(21)의 중심 방향과 직교하는 위치에 배치된다. 누름 부재(22)는, 기단부(22b)의 요동축부(26)를 중심으로 요동 가능하게 형성되어 있고, 덮개(20)와 일체로 형성함으로써, 요동축부(26)가 경첩 구조가 되고 있다.
여기에서는, 누름 부재(22)는, 요동축부(26)의 외측 부분에 홈부(27)가 형성되어 있다. 이것에 의해, 요동축부(26)에 형성한 홈부(27)에 의해서 누름 부재(22)의 경첩 구조 부분이 얇은 두께(薄肉)가 된다. 따라서, 홈부(27)를 중심으로 한 누름 부재(22)의 요동이 용이해지고, 가이드홈(13)에 의한 누름 부재(22)의 가이드를 부드럽게 실시할 수 있다.
누름 부재(22)의 내측면(기판(W)의 중심측의 면)은, 겹쳐서 수납되는 기판(W)의 외경에 맞춘 위치가 되도록 요동축부(26)의 위치가 설정된다. 누름 부재(22)는, 돌출 길이가 이하와 같이 정해져 있다. 누름 부재(22)는, 용기 본체(10)에 덮개(20)를 씌우는 경우에, 씌우기 시작한 초기(初期)(도 7(a) 참조)에서는, 선단부(도시예에서는, 하단부)(22a)가 용기 본체(10)의 가이드홈(13) 내에 위치한다. 그 후, 누름 부재(22)는, 덮개(20)를 씌워 감에 따라서 가이드홈(13)으로 가이드된다. 용기 본체(10)에 덮개(20)를 완전하게 씌운 종기(終期)(도 7(b) 참조)에서는, 누름 부재(22)의 내측면이 가이드홈(13)의 수직면(13b)에 접하는 상태까지 가이드되도록, 누름 부재(22)의 돌출 길이가 정해져 있다.
즉, 용기 본체(10)에 덮개(20)를 씌워서 씰된 계지한 상태에서는, 누름 부재(22)의 선단부(22a)가 가이드홈(13)의 홈 선단에 위치하고, 경사면(13a)에 의해서 외측으로 돌아올 수 없는 상태가 된다.
이것에 의해, 용기 본체(10)에 덮개(20)를 씌워서 씰된 계지한 상태에서는, 4개소의 누름 부재(22)가 기판(W)의 외경에 대응하는 위치에 보관 유지된다. 따라서, 4개소의 누름 부재(22)와, 겹쳐진 기판(W)의 외측(외측면)을 누르는 것이 가능하고, 기판(W)의 수평 이동을 확실히 방지할 수 있다.
누름 부재(22)는, 덮개(20)의 천면부가 되는 덮개부(21)로부터 용기 본체(10)의 저면부가 되는 탑재부(12)에서 오목한 가이드홈(13)까지의 사이에 위치하고 있다. 이것에 의해, 기판 탑재부(12a) 상에 쌓인 모든 기판(W)을 누르는 것이 가능하고, 최하단의 기판(W)이라도 확실히 누를 수 있다.
또, 누름 부재(22)는, 덮개(20)를 떼어낸 용기 본체(10)에는, 존재하지 않는다. 따라서, 용기 본체(10)에의 기판(W)의 수납은, 누름 부재(22)에 방해받지 않고 지금까지 대로 실시할 수 있다.
또한, 덮개(20)는, 도 3~도 5에 나타내듯이, 덮개부(21), 원통부(23), 외벽부(24) 등의 부재에, 보강이나 다른 공정으로의 핸들링 등 때문에, 필요에 따라서 요철부나 리브 등이 형성되어 있다. 또, 용기 본체(10)의 기판 탑재부(12a)에 수납된 기판(W)을, 상하로 누르기 위한 상부 누름부(28)가 덮개부(21)의 천면부에 일체로 형성되어 있다. 누름부(28) 는, 지금까지와 동일하게, 겹쳐진 기판(W)을 기판 탑재부(12a)와의 사이로 상하로 누른다. 상술한 덮개(20)의 각부는, 모두 일체로 성형하는 것으로 해도 좋다.
기판 수납 용기(1)에서는, 용기 본체(10) 및 덮개(20)는, 도전성 플라스틱에 의해 형성하는 것이 바람직하다. 도전성 플라스틱으로서는, 도전성 필러를 첨가한 플라스틱이나 폴리머 알로이(polymer alloy) 처리한 플라스틱 등을 들 수 있다. 도전성 필러로서는, 카본 블랙, 그라파이트 카본, 그라파이트, 탄소 섬유, 금속 분말, 금속 섬유, 금속 산화물의 분말, 금속 코트한 무기질 미분말, 유기질 미분말이나 섬유 등을 들 수 있다.
이와 같이 구성한 기판 수납 용기(1)에서는, 도 8에 나타내듯이, 용기 본체(10)의 4개의 고정 측벽부(14)로 둘러싸인 기판 탑재부(12a) 상에, 최하단의 쿠션재(31)를 배치하고, 그 위에 기판(W)과 층간지(層間紙)(32)를 교대로 겹치고, 최상단에 쿠션재(31)를 배치하여 수납한다.
용기 본체(10)에 소정 매수의 기판(W)을 겹쳐서 수납한 후, 덮개(20)를 씌워 간다.
도 7(a)에 나타내듯이, 덮개(20)의 원통부(23)의 선단이 용기 본체(10)의 씰면(16)에 접하는 상태까지 씌워지면, 덮개(20)의 누름 부재(22)의 선단부(22a)가 용기 본체(10)의 가이드홈(13)에 위치한다.
또한, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 씌워 가면, 누름 부재(22)의 선단부(22a)가 용기 본체(10)의 가이드홈(13)의 경사면(13a)에 가이드되어 외측으로부터 중심측으로 이동한다. 누름 부재(22)는, 기단부(22b)의 요동축부(26)를 중심으로 요동한다.
그리고, 덮개(20)가 용기 본체(10)에 완전하게 씌워진 상태에서는, 도 7(b)에 나타내듯이, 누름 부재(22)는, 가이드홈(13)의 중심측의 수직면(13b)에 접한다. 이 때, 누름 부재(22)의 내측면이 기판(W)의 외경의 위치가 된다.
이것에 의해, 4개소의 누름 부재(22)에서, 겹쳐진 기판(W)의 외측(외측면)을 눌러지고, 수평 방향의 이동이 방지된다.
또, 겹쳐진 기판(W)은, 용기 본체(10)의 기판 탑재부(12a)의 상면과 덮개(20)의 덮개부(21)의 상부 누름부(28)에 의해서 눌러지고, 상하 방향의 이동도 누를 수 있다.
또한, 이 덮개(20)를 용기 본체(10)에 완전하게 씌운 상태에서는, 덮개(20)의 원통부(23)이 용기 본체(10)의 씰면(15, 16)에 접촉한 밀봉 상태가 된다.
또, 용기 본체(10)의 계지편(17)의 조부(17a)가 덮개(20)의 계지공(25)을 넘은 후, 계지면(25a)에 계지되어, 덮개(20)와 용기 본체(10)의 연결 상태가 보관 유지된다.
이렇게 하여 용기 본체(10)에 기판(W)을 겹쳐서 수납하고, 덮개(20)를 씌운 후에는, 수납부(S)에 수납한 기판(W)은, 상하 및 좌우 방향을 누를 수 있다. 이것에 의해, 기판 수납 용기(1)를 임의의 방향으로 하여 반송해도, 기판(W)은 이동하지 않고, 기판(W)과 직접 접촉하는 층간지 등과 긁힘, 상처나 균열 등에 의한 파손, 발진, 혹은, 화확적 성분에 의한 기판(W)에의 오염 등의 문제를 방지할 수 있다.
본 발명의 기판 수납 용기(1)에 의하면, 일단에 개구부(11)를 갖고, 타단에 개구부(11)와 대향하여 기판(W)이 겹쳐서 수납되는 탑재부(12)를 가지는 용기 본체(10)와, 개구부(11)를 막는 덮개(20)를 구비하는 기판 수납 용기(1)이며, 덮개(20)는, 개구부(11)를 막는 덮개부(21)와, 덮개부(21)의 중심 방향으로 요동함과 동시에, 용기 본체(10)에 수납되어 겹쳐진 기판(W)의 외측을 누르는 누름 부재(22)를 덮개부(21)에 적어도 2개소 갖고, 용기 본체(10)는, 누름 부재(22)의 선단부(22a)를, 탑재부(12)의 외측에서 내측을 향해서 이동시키고, 기판(W)의 외측을 누르는 위치로 가이드하는 가이드홈(13)을 갖고, 가이드홈(13)은, 탑재부(12)의 표면보다 오목하게 형성되고 있으므로, 용기 본체(10)에 수납된 기판(W)의 움직임을 누름 부재(22)로 양측에서 눌러 방지할 수 있다.
또, 누름 부재(22)의 선단부(22a)를 탑재부(12)로 오목한 가이드홈(13)으로 가이드하여 누르므로, 탑재부(12) 상의 모든 기판(W)의 외측(외측면)을 누를 수 있다. 이것에 의해, 기판(W)의 두께가 얇은 것이어도, 확실히 눌러서 움직임을 방지할 수 있다.
본 발명의 기판 수납 용기(1)에 의하면, 용기 본체(10)는, 탑재부(12)에, 기판(W)을 수납하는 수납부(S)를 구획하는 고정 측벽부(14)가, 간격(L)를 두고 형성되고, 고정 측벽부(14) 사이의 탑재부(12)에 가이드홈(13)이 형성되고, 덮개(20)는, 고정 측벽부(14)의 간격(L)에 대응하는 위치의 덮개부(21)에 누름 부재(22)가 형성되어 있다. 이 때문에, 고정 측벽부(14)의 간격(L)를 이용하여 가이드홈(13)과 누름 부재(22)를 설치함으로써, 용기 본체(10)로의 기판(W)의 수납 시나 취출 시에, 가이드홈(13)이나 누름 부재(22)가 전혀 방해가 되지 않고, 지금까지와 동일하게 수납이나 취출을 실시할 수 있다.
종래의 수납 용기는, 고정 측벽부 내에 가동 측벽을 수직축 회전으로 요동할 수 있는 경첩 구조로 하고, 덮개를 씌움으로써, 가동 측벽을 중심 측으로 밀어 내도록 하요 기판을 누른다. 이 경우에는, 가동 측벽과 용기 본체의 탑재부의 표면 사이에 가동을 허용하는 틈새가 필요하다. 이 때문에, 탑재부의 표면으로부터 틈새분만큼 상방을 가동벽이 움직이게 되어, 기판의 두께에 따라서는, 최하단의 기판(W)을 누를 수 없는 등의 문제가 생길 우려가 있다.
이에 대해, 본원 발명의 기판 수납 용기(1)에서는, 탑재부(12)의 표면보다 오목한 위치까지 누름 부재(22)의 선단부(22a)가 위치하므로, 기판(W)의 두께에 의하지 않고, 모든 기판(W)을 누를 수 있다.
또, 종래의 가동 측벽에서는, 용기 본체에 기판을 수납할 때에 가동 측벽이 원래 상태로 돌아오지 않은 경우에는, 수납하는 기판과 간섭할 우려가 생긴다.
이에 대해, 본원 발명의 기판 수납 용기(1)에서는, 누름 부재(22)가 덮개(20)에 설치되어 있으므로, 기판(W)의 수납시에는, 용기 본체(10)에는, 존재하지 않고, 기판(W)과의 간섭은 전혀 일어나지 않고, 지금 그대로 작업을 실시할 수 있다.
또, 고정 측벽부(14)의 간격(L)을 이용하여 로봇 암의 삽입구로 하고, 기판(W)의 취출에 이용할 수도 있다.
본 발명의 기판 수납 용기(1)에 의하면, 누름 부재(22)는, 덮개(20)와 일체로 성형되고 있다. 이것에 의해, 누름 부재(22)의 조립이나 위치 조정의 필요가 없고, 확실히 겹쳐서 수납되는 기판(W)을 누를 수 있다.
본 발명의 기판 수납 용기(1)에 의하면, 누름 부재(22)는, 요동축부(26)에, 요동을 재촉하는 홈부(27)가 형성되어 있다. 이것에 의해, 누름 부재(22)의 경첩 구조 부분이 얇은 두께가 되고, 홈부(27)를 중심으로 하는 누름 부재(22)의 요동이 용이해지고, 가이드홈(13)에 의한 누름 부재(22)의 가이드를 부드럽게 실시할 수 있다.
상기 실시의 형태에서는, 누름 부재(22)를 4개소에 설치하는 경우를 예로 설명한다. 상기 이외에도, 적어도 대각 위치의 2개소에 설치하도록 하면 좋다. 또한, 3개소 이상으로 누름 부재(22)를 설치함으로써, 확실히 기판(W)을 누를 수 있다.
또, 상기 실시의 형태에서는, 누름 부재(22)를 1개소에 1개의 평판상의 것을 설치하도록 한다. 상기 이외에도, 1개소의 누름 부재(22)를 분할 구조로서 복수의 평판상의 것을 각각 중심에 대해 직교하여 요동하도록 할 수도 있다. 이렇게 함으로써, 각각의 분할된 누름 부재(22)로 기판(W)을 누를 수 있다.
또한, 누름 부재(22)의 표면에 기판(W) 측으로 돌출된 돌조를 폭 방향 양측 등에 설치함으로써, 누름 부재(22)의 중앙부 뿐만이 아니라, 양측의 돌조에서도 기판(W)을 누를 수 있도록 해도 좋다. 혹은, 평판상의 누름 부재(22)의 표면을 오목하게 하여 양측을 상대적으로 돌출되도록 하고, 돌출된 부분에서 기판(W)을 누르도록 할 수도 있고, 요부는 1개 또는 복수 형성하도록 해도 좋다. 혹은, 평판상의 누름 부재(22)의 기판(W)과 접촉하는 표면에, 기판(W)의 외주 형상과 대략 동등의 곡면을 형성하고, 그 곡면에서 기판(W)을 누르도록 해도 좋다.
본 발명은, 본 발명의 광의의 정신과 범위를 일탈하지 않고, 다양한 실시 형태 및 변형이 가능하게 되는 것이다. 또, 상술한 실시의 형태는, 이 발명을 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 범위는, 실시의 형태가 아니고, 특허청구범위에 의해서 나타난다. 그리고, 특허청구범위 내 및 그와 동등의 발명의 의의의 범위 내에서 수행되는 다양한 변형이, 이 발명의 범위 내로 간주해진다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명과 관련되는 기판 수납 용기는, 예를 들면 반도체 웨이퍼를 수납하는 기판 수납 용기로서, 매우 적합하게 이용된다.
1 기판 수납 용기
10 용기 본체
11 개구부
12 탑재부
12a 기판 탑재부
13 가이드홈
13a 경사면
13b 수직면
14 고정 측벽부
15 씰면
15a 돌출편
16 씰면
17 계지편
17a 조부
20 덮개
21 덮개부
21a 요부
22 누름 부재
22a 선단부
22b 기단부
23 원통부
24 외벽부
25 계지공
25a 계지면
26 요동축부
27 홈부
28 상부 누름부
31 쿠션재
32 층간지
L 간격
S 수납부
W 기판

Claims (4)

  1. 일단에 개구부를 갖고, 타단에 상기 개구부와 대향하여 기판이 겹쳐서 수납되는 탑재부를 가지는 용기 본체와, 상기 개구부를 막는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기로서,
    상기 덮개는, 상기 개구부를 막는 덮개부와, 상기 덮개부의 중심 방향으로 요동함과 동시에, 상기 용기 본체에 수납되어 겹쳐진 상기 기판의 외측을 누르는 누름 부재를 상기 덮개부에 적어도 2개소 갖고,
    상기 용기 본체는, 상기 누름 부재의 선단부를, 상기 탑재부의 외측에서 내측을 향해서 이동시키고, 상기 기판의 외측을 누르는 위치로 가이드하는 가이드홈을 갖고,
    상기 가이드홈은, 상기 탑재부의 표면보다 오목하게 형성되는,
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 용기 본체는, 상기 탑재부에, 상기 기판을 수납하는 수납부를 구획하는 고정 측벽부가, 간격을 두고 형성되고, 상기 고정 측벽부 사이의 상기 탑재부에 상기 가이드홈이 형성되고,
    상기 덮개는, 상기 고정 측벽부의 간격에 대응하는 위치의 상기 덮개부에 상기 누름 부재가 형성되는,
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 누름 부재는, 상기 덮개와 일체로 성형되어 있는,
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 누름 부재는, 요동하는 요동축부를 따라서, 요동을 재촉하는 홈부가 형성되어 있는,
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
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