KR20200085328A - 기판 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

덮개를 용기 본체에 설치하여, 기판을 지지부로부터 들어올려 지지할 때, 기판 누름부로부터의 압박력을 기판 받이부에 효율적으로 전달할 수 있는 기판 수납 용기를 제공한다. 기판 수납 용기(1)는 정면에 개구(11)를 갖고, 내측에 기판(W)을 지지하는 지지부(12)와, 지지부(12)보다도 배면벽측에 위치하는 기판 받이부(13)가 형성된 용기 본체(10)와, 기판(W)을 누르는 기판 누름부(210)가 형성된 누름 부재(21)를 갖는 덮개(20)를 구비하는 기판 수납 용기(1)이며, 기판 받이부(13) 및 기판 누름부(210)는 덮개(20)를 정면에서 보아, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 상하 방향의 중심선 Z(Y)로부터 좌우 방향으로 0mm 이상 80mm 이하의 범위에 존재하는 것이다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은, 복수매의 기판을 수납하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
기판 수납 용기는, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 내부 공간에 수납하고, 창고에서의 보관, 반도체 가공 장치간에서의 반송, 공장간에서의 수송 등에 사용되고 있다. 이 때문에, 기판 수납 용기는 수송 시의 진동, 충격 등으로부터 수납한 기판을 보호하게 되어 있다.
이러한 기판 수납 용기로서, 용기 본체의 정면에 개구를 갖고, 개구를 폐쇄하는 덮개를 구비하고, 용기 본체의 양측면에 마련된 기판을 지지하는 지지부 및 기판 받이부와, 덮개에 마련된 기판 누름부를 갖고, 덮개를 용기 본체에 설치하였을 때, 기판을 기판 누름부와 기판 받이부 사이에 끼워, 기판을 지지부로부터 들어올려 지지하는 것이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 제2004-304122호 공보
그러나, 이들 기판 수납 용기에서는, 기판을 상하 방향으로 안내하는 기판 받이부가 용기 본체의 양측면에 마련되어 있고, 덮개에 마련된 기판 누름부로부터의 압박력은, 비스듬히 분산되어, 기판 받이부에 효율적으로 전해지지 않기 때문에, 큰 압박력이 필요하였다.
그래서, 본 발명은 이상의 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 덮개를 용기 본체에 설치하여, 기판을 지지부로부터 들어올려 지지할 때, 기판 누름부로부터의 압박력을 기판 받이부에 효율적으로 전달할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1) 본 발명에 따른 하나의 양태는, 정면에 개구를 갖고, 내측에 기판을 지지하는 지지부와, 지지부보다도 배면벽측에 위치하는 기판 받이부가 형성된 용기 본체와, 상기 기판을 누르는 기판 누름부가 형성된 누름 부재를 갖는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기이며, 상기 기판 수납 용기는, 상기 덮개를 상기 용기 본체에 설치하였을 때에는, 상기 기판 누름부와 상기 기판 받이부에 의해 상기 기판을 상기 지지부로부터 들어올려 지지하고, 상기 덮개를 상기 용기 본체로부터 분리하였을 때에는, 상기 기판을 상기 지지부에 의해 지지하는 것이며, 상기 기판 받이부 및 상기 기판 누름부는, 상기 덮개를 정면에서 보아, 상기 용기 본체의 중심을 통과하는 상하 방향의 중심선으로부터 좌우 방향으로 0mm 이상 80mm 이하의 범위에 존재하는 것이다. 단, 기판이 기판 수납 용기에 수납된 상태에서의 기판의 중심에 상당하는 위치를 용기 본체의 중심으로 한다.
(2) 본 발명에 따른 다른 하나의 양태는, 정면에 개구를 갖고, 내측에 기판을 지지하는 지지부와, 지지부보다도 배면벽측에 위치하는 기판 받이부가 형성된 용기 본체와, 상기 기판을 누르는 기판 누름부가 형성된 누름 부재를 갖는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기이며, 상기 기판 수납 용기는, 상기 덮개를 상기 용기 본체에 설치하였을 때에는, 상기 기판 누름부와, 상기 기판 받이부에 의해 상기 기판을 상기 지지부로부터 들어올려 지지하고, 상기 덮개를 상기 용기 본체로부터 분리하였을 때에는, 상기 기판을 상기 지지부에 의해 지지하는 것이며, 상기 기판 받이부 및 상기 기판 누름부는, 상기 기판과의 접촉부에 작용하는 전후 방향의 압박력에 대하여, 상기 접촉부에 있어서의 법선 방향의 반력 성분이, 상기 접촉부에 있어서의 접선 방향의 반력 성분보다도 커지는 위치에 존재하는 것이다. 단, 덮개와 용기 본체의 배면벽을 연결하는 방향을 전후 방향으로 한다.
(3) 상기 (1) 또는 (2)의 양태에 있어서, 상기 기판 누름부는, 상기 덮개를 정면에서 보아, 상기 용기 본체의 중심으로부터 좌우 방향으로 0° 이상 30° 이하의 범위에 존재해도 된다.
(4) 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 기판 받이부는, 상기 배면벽을 정면에서 보아, 상기 용기 본체의 중심으로부터 좌우 방향으로 20° 이상 30° 이하의 범위에 존재해도 된다.
(5) 상기 (1) 내지 (4) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 기판은 직경이 300mm여도 된다.
본 발명에 따르면, 덮개를 용기 본체에 설치하여, 기판을 지지부로부터 들어올려 지지할 때, 기판 누름부로부터의 압박력을 기판 받이부에 효율적으로 전달할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태의 기판 수납 용기를 나타내는 분해 개략 사시도이다.
도 2a는 덮개를 설치하였을 때의 기판 수납 용기를 나타내는 (a) 정면도, (b) 평면도, (c) A-A 단면도이다.
도 2b는 덮개를 설치하였을 때의 기판 수납 용기를 나타내는 (d) B-B 단면도, (e) G부의 확대 단면도, (f) H부의 확대 단면도, (g) I부의 확대 단면도이다.
도 3a는 덮개를 분리하였을 때의 용기 본체를 나타내는 (a) 정면도, (b) 평면도, (c) E-E 단면도이다.
도 3b는 덮개를 분리하였을 때의 용기 본체를 나타내는 (d) F-F 단면도, (e) J부의 확대 단면도, (f) K부의 확대 단면도이다.
도 4는 기판 수납 용기에 있어서의 기판의 지지 상태를 나타내는 수평 단면도이다.
도 5는 제2 실시 형태의 기판 수납 용기에 있어서의 기판의 지지 상태를 나타내는 수평 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 명세서의 실시 형태에 있어서는, 전체를 통해서 동일한 부재에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
(제1 실시 형태)
먼저, 기판 수납 용기(1)에 대하여 설명한다. 도 1은 기판 수납 용기(1)를 나타내는 분해 개략 사시도이다. 도 2a는 덮개(20)를 설치하였을 때의 기판 수납 용기(1)를 나타내는 (a) 정면도, (b) 평면도, (c) A-A 단면도이며, 도 2b는 덮개(20)를 설치하였을 때의 기판 수납 용기(1)를 나타내는 (d) B-B 단면도, (e) G부의 확대 단면도, (f) H부의 확대 단면도, (g) I부의 확대 단면도이다. 또한, 도 1에 있어서, 기판(W)의 면을 수평 방향으로 수납한 기판 수납 용기(1)를 덮개(20)측에서 보았을 때의, 좌우 방향을 X축 방향, 상하 방향을 Z축 방향, 덮개(20)와 배면벽(10b)을 연결하는 전후 방향을 Y축 방향으로 한다. 이후의 도면에 있어서도, 필요에 따라서 X축, Y축, Z축을 나타낸다.
도 1에 도시되는 기판 수납 용기(1)는, 복수매의 기판(W)을 수납하는 것이며, 용기 본체(10) 및 덮개(20)를 구비하고 있다. 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)은, 예를 들어 직경이 300mm인 반도체 웨이퍼나 마스크 유리 등이지만, 이것에 한정되지 않는다.
용기 본체(10)는, 정면의 개구(11)를 형성하는 개구 프레임(10a)과, 배면벽(10b)과, 우측벽(10c)과, 좌측벽(10d)과, 천장면벽(10e)과, 저면벽(10f)을 포함하는 상자 형상의 것이고, 소위 프론트 오픈형의 것이다.
용기 본체(10)에는, 기판(W)을 지지하는 한 쌍의 지지부(12)와, 한 쌍의 기판 받이부(13)가 형성되어 있다. 또한, 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 한 쌍 중 다른 쪽의 지지부(12) 및 기판 받이부(13)는 대칭의 위치에 형성되어 있다.
지지부(12)는 우측벽(10c) 및 좌측벽(10d)의 내측의 2군데에 대향하여 형성되어 있다(도 2a의 (c) 참조). 또한, 이 지지부(12)는 소위 홈 티스로 구성되는 것이며, 높이 방향으로 형성된 복수의 홈으로 구성되어 있다(도 2b의 (d) 참조). 그리고, 기판(W)은 각각의 홈에 삽입되어 수납된다.
기판 받이부(13)는 배면벽(10b)의 2군데에 나란히 형성되어 있고(도 2a의 (c) 참조), 지지부(12)보다도 배면벽(10b)측에 위치하고 있다(도 2b의 (d) 참조). 이 기판 받이부(13)에도, 지지부(12)에 형성된 홈에 따른 개수로 복수의 홈이 형성되어 있다.
한편, 덮개(20)는 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐쇄하고, 기판 수납 용기(1)의 내부 공간을 형성하게 되어 있다. 또한, 용기 본체(10)와 덮개(20) 사이에는, 도시하지 않은 패킹이 배치되어 있다. 패킹은 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하였을 때, 기판 수납 용기(1)의 기밀성을 확보하여, 기판 수납 용기(1)에의 외부로부터의 먼지, 습기 등의 침입을 저감시킬 수 있다.
덮개(20)는 누름 부재(21)를 갖고 있으며, 이 누름 부재(21)에, 기판(W)을 억제하는 기판 누름부(210)가 형성되어 있다(도 2a의 (c) 참조). 누름 부재(21)는 덮개(20)의 내측의 X축 방향에 있어서의 중앙부에 마련되어 있다.
기판 누름부(210)는 X축 방향을 따라서 2군데에 형성되고, 이 2군데에서 기판(W)을 눌러서 지지한다. 기판 누름부(210)는, 예를 들어 누름 부재(21)의 탄성을 갖는 암(220)으로 형성되어 있고, 암(220)의 탄성에 의해 기판(W)에 접촉하여 기판(W)을 억제하게 되어 있다. 또한, 기판 누름부(210)는 수납 가능한 기판(W)의 매수에 따라서 상하 방향으로 복수 형성되어 있다.
용기 본체(10) 및 덮개(20)의 재료로서는, 예를 들어 폴리카르보네이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리에테르에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 알로이 등을 들 수 있다.
지지부(12)의 재료로서는, 용기 본체(10)와 동일한 것을 사용할 수 있지만, 기판(W)의 미끄럼성을 양호하게 하기 위해서, 환상 올레핀 폴리머 등의 비결정성 수지를 사용해도 된다.
기판 받이부(13)의 재료로서는, 용기 본체(10)와 동일한 것을 사용할 수 있지만, 기판(W)의 미끄럼성을 양호하게 하기 위해서, 환상 올레핀 폴리머 등의 비결정성 수지를 사용해도 된다.
누름 부재(21)의 재료로서는, 덮개(20)와 동일한 것을 사용할 수 있지만, 기판(W)과의 마모성을 양호하게 하기 위해서, 폴리카르보네이트, 폴리카르보네이트와 폴리부틸렌테레프탈레이트의 알로이와 같은 열가소성 수지를 사용하거나, 미끄럼성을 양호하게 하기 위해 첨가물을 함유시키거나 해도 된다.
여기서, 덮개(20)를 용기 본체(10)로부터 분리하였을 때의 용기 본체(10)에의 기판(W)의 수납 상태, 및 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하였을 때의 용기 본체(10)에의 기판(W)의 수납 상태에 대하여 설명한다. 도 3a는 덮개(20)를 분리하였을 때의 용기 본체(10)를 나타내는 (a) 정면도, (b) 평면도, (c) E-E 단면도이며, 도 3b는 덮개(20)를 분리하였을 때의 용기 본체(10)를 나타내는 (d) F-F 단면도, (e) J부의 확대 단면도, (f) K부의 확대 단면도이다.
기판(W)을 용기 본체(10)에 수납하는 경우, 기판(W)은 용기 본체(10)의 정면 개구(11)로부터, 마주 향하는 한 쌍의 지지부(12)의 동일한 높이의 홈에 삽입되고, 좌우 한 쌍의 지지부(12)만에 의해서, 기판(W)의 면이 수평 방향이 되도록 지지된 상태로 수납된다(도 3b의 (f) 참조). 그리고, 기판(W)이 지지부(12)만에 의해 지지된 상태에서는, 기판(W)의 배면벽(10b)측이 기판 받이부(13)(에 형성된 V자 홈(130)의 하방)에 접촉하지 않도록, 지지부(12)에는 도시하지 않은 경사 단차부가 형성되어 있다.
그리고, 기판(W)을 지지부(12)만에 의해 지지한 상태로부터, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하였을 때에는, 기판(W)이 기판 누름부(210)와 기판 받이부(13) 사이에 끼워짐으로써, 기판(W)은 지지부(12)로부터 들어올려지고, 기판 누름부(210)와 기판 받이부(13)로 지지된다(도 2b 참조).
상세하게 설명하면, 기판 누름부(210)에는, V자 홈(211)이 형성되어 있고(도 2b의 (g) 참조), 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하였을 때, 기판(W)의 정면측이 기판 누름부(210)의 V자 홈(211)에 끼워 넣게 되어 있다. 그 후, 기판(W)이 기판 누름부(210)에 의해 안측으로 눌리면, 기판 받이부(13)에서는, 도 3b의 (e)에 나타낸 상태로부터, 도 2b의 (e)에 나타낸 상태로, 기판(W)이 V자 홈(130)을 미끄러지게 들어올려져, V자 홈(130)의 안측 바닥에 도달한다.
이와 같이 하여, 기판 수납 용기(1)에 수납된 기판(W)은, 지지부(12)로부터 들어올린 상태에서, 기판 받이부(13)와 기판 누름부(210)로 지지되게 된다. 그리고, 덮개(20)를 용기 본체(10)로부터 분리하였을 때에는, 기판(W)은 지지부(12)만에 의해 지지되게 된다.
다음에, 기판 받이부(13)와 기판 누름부(210)의 위치 관계에 대하여 설명한다. 도 4는 기판 수납 용기(1)에 있어서의 기판(W)의 지지 상태를 나타내는 수평 단면도이다.
도 4에 있어서, 기판 받이부(13)와 기판 누름부(210)가 서로 대향하는 위치에 배치되어 있다.
구체적으로는, 기판 받이부(13)는 덮개(20)를 정면에서 보아, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 상하 방향(Z축 방향)의 중심선 Z로부터 좌우 방향으로 0mm 이상 80mm 이하의 범위에 적어도 존재하고 있다. 단, 용기 본체(10)의 중심 C는, 기판(W)이 기판 수납 용기(1)에 수납된 상태에서의 기판(W)의 중심에 상당하는 위치이다. 또한, 중심선 X, 중심선 Y 및 중심선 Z는, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 것으로 한다.
바꾸어 말하면, 기판 받이부(13)는, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 전후 방향(Y축 방향)의 중심선 Y로부터 좌우 방향으로 0mm 이상 80mm 이하의 범위에 적어도 존재하고 있다. 또한, 도 4에, 중심선 Y로부터 80mm 이격된 위치를 선분 Y1로 나타낸다.
또한, 기판 받이부(13)는, 배면벽(10b)을 정면에서 보아, 용기 본체(10)의 중심 C로부터 좌우 방향으로 20° 이상 30° 이하의 범위에 존재한다. 즉, 기판 받이부(13)(의 중앙)와 용기 본체(10)의 중심 C를 연결하는 선분과, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 전후 방향(Y축 방향)의 중심선 Y가 이루는 각도 γ가, 중심선 Y에 대하여 ±20° 이상 ±30° 이하의 범위에 존재하고 있다.
한편, 기판 누름부(210)도 기판 받이부(13)와 동일하게, 덮개(20)를 정면에서 보아, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 상하 방향(Z축 방향)의 중심선 Z로부터 좌우 방향으로 0mm 이상 80mm 이하의 범위에 적어도 존재하고 있다.
또한, 기판 누름부(210)는, 덮개(20)를 정면에서 보아, 용기 본체(10)의 중심 C로부터 좌우 방향으로 0° 이상 30° 이하, 바람직하게는 0° 이상 21° 이하의 범위에 존재한다. 바꾸어 말하면, 기판 누름부(210)(의 중앙)와 용기 본체(10)의 중심 C를 연결하는 선분과, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 전후 방향(Y축 방향)의 중심선 Y가 이루는 각도 θ가, 중심선 Y에 대하여 ±30° 이하, 바람직하게는 ±21° 이하의 범위에 존재하고 있다. 또한, 각도 θ가 30°를 초과하면, 기판 누름부(210)의 성형성이 악화되기 때문에, 기판(W)을 균일하게 압박할 수 없게 된다.
제1 실시 형태의 기판 수납 용기(1)에 의하면, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하여, 기판(W)을 지지부(12)로부터 들어올려 지지할 때, 기판 누름부(210)로부터의 압박력이, 기판 받이부(13)에서 기판(W)의 중심 방향으로 주로 작용하기 때문에, 기판 누름부(210)로부터의 압박력을 기판 받이부(13)에 효율적으로 전달할 수 있는 기판 수납 용기(1)를 제공할 수 있다. 또한, 기판(W)을 지지부(12)로부터 들어올려 이격함으로써, 수송 시의 진동, 충격 등이 지지부(12)로부터 기판(W)에 전해지는 것을 억제할 수 있다.
(제2 실시 형태)
도 5는 제2 실시 형태의 기판 수납 용기(1A)에 있어서의 기판(W)의 지지 상태를 나타내는 수평 단면도이다.
제2 실시 형태의 기판 수납 용기(1A)에서는, 덮개(20A), 누름 부재(21A), 기판 누름부(210A) 및 암(220A)의 형상이 제1 실시 형태와는 상이하고, 기타 부분은 제1 실시 형태와 동일하다.
구체적으로는, 2군데의 기판 누름부(210A)간의 거리가, 제1 실시 형태의 것보다도 길고, 기판 누름부(210A)가 아치형의 암(220A)의 양단에 형성되어 있다. 또한, 기판 누름부(210A)는 덮개(20A)의 표면보다도 용기 본체(10)측으로 돌출되어 있다.
이 경우도, 기판 누름부(210A)는, 기판 누름부(210)와 동일하게, 덮개(20)를 정면에서 보아, 용기 본체(10)의 중심 C를 통과하는 상하 방향(Z축 방향)의 중심선 Z로부터 좌우 방향으로 0mm 이상 80mm 이하의 범위에 적어도 존재하고 있다. 또한, 기판 누름부(210)는 덮개(20)를 정면에서 보아, 용기 본체(10)의 중심 C로부터 좌우 방향으로 0° 이상 30° 이하의 범위에 존재한다.
또한, 이 기판 수납 용기(1A)는, 덮개(20A)의 설치 또는 분리나 기판(W)의 삽입 또는 취출을, 로봇 등의 반송 장치로 행하는 것이 아니라, 작업자 등이 매뉴얼로 행하는 경우에 사용된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 요지 범위 내에 있어서, 다양한 변형, 변경이 가능하다.
(변형예)
상기 각 실시 형태에서는, 기판 받이부(13) 및 기판 누름부(210, 210A)의 위치를, 구체적인 치수 및 각도로 정의하였지만, 기판(W)에 작용하는 압박력(또는 반력)으로 정의할 수도 있다. 예를 들어, 덮개(20)를 용기 본체(10)에 설치하였을 때에 발생하는, 기판(W)을 누르는 압박력이 Y축 방향에 따른 방향으로 작용한다고 가정하였을 때, 기판 받이부(13)(의 기판(W)과의 접촉부)에 있어서의 기판(W)을 되미는 법선 방향의 반력 성분(CD)이, 접촉부의 접선 방향의 반력 성분보다도 크고, 보다 바람직하게는 압박력의 0.43배 이상(좌우 2군데에서 받을 경우)이 되는 위치에 기판 받이부(13)가 존재하면 된다. 또한, 기판 누름부(210, 210A)에 대해서도, 기판 받이부(13)와 동일하다. 이와 같이, 기판 받이부(13)에 있어서의 기판(W)을 되미는 법선 방향의 반력 성분(CD)이, 접선 방향의 반력 성분보다도 크면, 기판(W)의 압박력이 가해졌다고 해도, 기판(W)이 회전하는 일이 일어나지 않는다.
상기 각 실시 형태에 있어서, 지지부(12) 및 기판 받이부(13)는 용기 본체(10)와 일체 성형해도 되고, 용기 본체(10)에 별도 부품으로 설치해도 된다.
상기 각 실시 형태에 있어서, 기판 받이부(13)에 형성된 V자 홈(130)의 경사나 기판 누름부(210, 210A)에 형성된 V자 홈(211)의 경사는, 도시한 것에 한정되지 않고, 기판 받이부(13) 및 기판 누름부(210, 210A)에 사용하는 재료에 대한 기판(W)의 미끄럼성이나 기판 누름부(210, 210A)의 기판(W)을 누르는 압박력에 의해 변경해도 된다.
1, 1A 기판 수납 용기
10 용기 본체, 10a 개구 프레임, 10b 배면벽, 우측벽 10c, 좌측벽 10d, 천장면벽 10e, 저면벽 10f, 11 개구, 12 지지부, 13 기판 받이부
20, 20A 덮개, 21, 21A 누름 부재, 210, 210A 기판 누름부
W 기판
CD 기판을 되미는 법선 방향의 반력 성분

Claims (5)

  1. 정면에 개구를 갖고, 내측에 기판을 지지하는 지지부와, 지지부보다도 배면벽측에 위치하는 기판 받이부가 형성된 용기 본체와,
    상기 기판을 누르는 기판 누름부가 형성된 누름 부재를 갖는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기이며,
    상기 기판 수납 용기는, 상기 덮개를 상기 용기 본체에 설치하였을 때에는, 상기 기판 누름부와, 상기 기판 받이부에 의해 상기 기판을 상기 지지부로부터 들어올려 지지하고, 상기 덮개를 상기 용기 본체로부터 분리하였을 때에는, 상기 기판을 상기 지지부에 의해 지지하는 것이며,
    상기 기판 받이부 및 상기 기판 누름부는, 상기 덮개를 정면에서 보아, 상기 용기 본체의 중심을 통과하는 상하 방향의 중심선으로부터 좌우 방향으로 0mm 이상 80mm 이하의 범위에 존재하는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
    단, 기판이 기판 수납 용기에 수납된 상태에서의 기판의 중심에 상당하는 위치를 용기 본체의 중심으로 한다.
  2. 정면에 개구를 갖고, 내측에 기판을 지지하는 지지부와, 지지부보다도 배면벽측에 위치하는 기판 받이부가 형성된 용기 본체와,
    상기 기판을 누르는 기판 누름부가 형성된 누름 부재를 갖는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기이며,
    상기 기판 수납 용기는, 상기 덮개를 상기 용기 본체에 설치하였을 때에는, 상기 기판 누름부와, 상기 기판 받이부에 의해 상기 기판을 상기 지지부로부터 들어올려 지지하고, 상기 덮개를 상기 용기 본체로부터 분리하였을 때에는, 상기 기판을 상기 지지부에 의해 지지하는 것이며,
    상기 기판 받이부 및 상기 기판 누름부는, 상기 기판과의 접촉부에 작용하는 전후 방향의 압박력에 대하여, 상기 접촉부에 있어서의 법선 방향의 반력 성분이, 상기 접촉부에 있어서의 접선 방향의 반력 성분보다도 커지는 위치에 존재하는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
    단, 덮개와 용기 본체의 배면벽을 연결하는 방향을 전후 방향으로 한다.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판 누름부는, 상기 덮개를 정면에서 보아, 상기 용기 본체의 중심으로부터 좌우 방향으로 0° 이상 30° 이하의 범위에 존재하는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 받이부는, 상기 배면벽을 정면에서 보아, 상기 용기 본체의 중심으로부터 좌우 방향으로 20° 이상 30° 이하의 범위에 존재하는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 직경이 300mm인
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
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