DE112018005884T5 - Substrataufbewahrungsbehälter - Google Patents

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Kazumasa Onuki
Hiroshi Mimura
Junya Toda
Takashi Suda
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Abstract

Es ist ein Substrataufbewahrungsbehälter bereitgestellt, der in der Lage ist, effizient eine Druckkraft von einem Substratandruckabschnitt auf einen Substrataufnahmeabschnitt auszuüben, wenn ein Deckel an einem Behälterhauptkörper angebracht wird, um ein Substrat durch Anheben des Substrats von einem Trägerabschnitt zu tragen. Ein Substrataufbewahrungsbehälter 1 umfasst einen Behälterhauptkörper 10 mit einer Öffnung 11 an der Vorderseite, einen Trägerabschnitt 12 zum Tragen eines Substrats W in seinem Inneren und einen Substrataufnahmeabschnitt 13, der weiter zu einer Rückwand hin als der Trägerabschnitt 12 angeordnet ist, und einen Deckel 20, auf dem ein Substratandruckabschnitt 210 zum Andrücken des Substrats W ausgebildet ist. Der Substrataufnahmeabschnitt 13 und der Substratandruckabschnitt 210 befinden sich in einem Bereich von mehr als oder gleich 0 mm und weniger als oder gleich 80 mm in horizontaler Richtung von einer vertikalen Mittellinie aus, die durch die Mitte des Behälterhauptkörpers 10 verläuft, wenn der Deckel 20 von vorne betrachtet wird.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Substrataufbewahrungsbehälter, in dem eine Mehrzahl von Substraten aufbewahrt wird.
  • STAND DER TECHNIK
  • Substrataufbewahrungsbehälter bewahren Substrate wie z.B. Halbleiterwafer in einem inneren Raum auf und werden zur Aufbewahrung der Substrate in einem Lagerhaus, während des Transports zwischen Halbleiterverarbeitungsvorrichtungen, für den Transport zwischen Fabriken usw. verwendet. Aus diesem Grund schützen Substrataufbewahrungsbehälter das aufbewahrte Substrat während des Transports vor Vibrationen, Stößen und dergleichen.
  • Als ein solcher Substrataufbewahrungsbehälter ist ein Substrataufbewahrungsbehälter bekannt, der eine Öffnung an der Vorderseite eines Behälterhauptkörpers, einen Deckel zum Verschließen der Öffnung, Trägerabschnitte und Substrataufnahmeabschnitte zum Tragen von Substraten, die auf beiden Seitenflächen des Behälterhauptkörpers vorgesehen sind, und einen Substratandruckabschnitt, der auf dem Deckel vorgesehen ist, aufweist, wobei, wenn der Deckel an dem Behälterhauptkörper angebracht ist, Substrate zwischen dem Substratandruckabschnitt und den Substrataufnahmeabschnitten sandwichartig angeordnet sind und die Substrate dadurch getragen werden, dass sie von dem Trägerabschnitt abgehoben werden (siehe zum Beispiel japanische ungeprüfte Patentveröffentlichung Nr. 2004-304122).
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • TECHNISCHES PROBLEM
  • In diesen Substrataufbewahrungsbehältern sind jedoch die Substrataufnahmeabschnitte zur Führung des Substrats in vertikaler Richtung auf beiden Seitenflächen des Behälterhauptkörpers vorgesehen, und die Druckkraft, die von dem Substratandruckabschnitt, der auf dem Deckel vorgesehen ist, wird schräg verteilt. Daher war eine große Andruckkraft erforderlich, da der Druck nicht effizient auf den Substrataufnahmeabschnitt ausgeübt werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf das oben genannte Problem entwickelt. Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, einen Substrataufbewahrungsbehälter bereitzustellen, der in der Lage ist, wirksam Druck von einem Substratandruckabschnitt auf einen Substrataufnahmeabschnitt auszuüben, wenn ein Deckel an einem Behälterhauptkörper befestigt wird und die Substrate dadurch getragen werden, dass sie von den Trägerabschnitten angehoben und getragen werden.
  • LÖSUNG DES PROBLEMS
    1. (1) Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Substrataufbewahrungsbehälter, der ausgestattet ist mit einem Behälterhauptkörper mit einer Öffnung an einer Vorderseite, einen Trägerabschnitt zum Tragen eines Substrats in seinem Inneren, einem Substrataufnahmeabschnitt, der mehr zur Seite einer Rückwandseite hin als der Trägerabschnitt angeordnet ist, und einem Deckel mit einem Andruckelement mit einem Substratandruckabschnitt zum Andrücken des Substrats, wobei der Substrataufbewahrungsbehälter das Substrat trägt, indem er das Substrat mit dem Substratandruckabschnitt und dem Substrataufnahmeabschnitt von dem Trägerabschnitt anhebt, wenn der Deckel an dem Behälterhauptkörper angebracht ist, und das Substrat mit dem Trägerabschnitt trägt, wenn der Deckel von dem Behälterhauptkörper entfernt ist, wobei der Substrataufnahmeabschnitt und der Substratandruckabschnitt in einem Bereich von größer oder gleich 0 mm und kleiner oder gleich 80 mm in horizontaler Richtung von einer vertikalen Mittellinie, die durch die Mitte des Behälterhauptkörpers verläuft, wenn der Deckel von vorne betrachtet wird, vorhanden sind. Es ist zu beachten, dass eine Position, die der Mitte des Substrats entspricht, wenn das Substrat im Substrataufbewahrungsbehälter aufbewahrt wird, als die Mitte des Behälterhauptkörpers bezeichnet wird.
    2. (2) Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Substrataufbewahrungsbehälter, der ausgestattet ist mit einem Behälterhauptkörper mit einer Öffnung an einer Vorderseite, einem Trägerabschnitt zum Tragen eines Substrats in seinem Inneren und einem Substrataufnahmeabschnitt, der weiter zur Seite einer Rückwandseite hin als der Trägerabschnitt angeordnet ist, und einem Deckel mit einem Andruckelement, das mit einem Substratandruckabschnitt zum Andrücken des Substrats ausgebildet ist, wobei der Substrataufbewahrungsbehälter das Substrat trägt, indem er das Substrat mit dem Substratandruckabschnitt und dem Substrataufnahmeabschnitt von dem Trägerabschnitt anhebt, wenn der Deckel an dem Behälterhauptkörper angebracht ist, und das Substrat mit dem Trägerabschnitt trägt, wenn der Deckel vom Behälterhauptkörper entfernt ist, wobei der Substrataufnahmeabschnitt und der Substratandruckabschnitt an Positionen vorhanden sind, an denen eine Reaktionskraftkomponente in Richtung einer Normalen an einem Kontaktabschnitt mit dem Substrat gegen eine Andruckkraft, die auf den Kontaktabschnitt des Substrats in einer Richtung von vorne nach hinten wirkt, größer ist als eine Reaktionskraftkomponente in einer tangentialen Richtung am Kontaktabschnitt. Es ist zu beachten, dass eine Richtung, die den Deckel und die Rückwand des Behälterhauptkörpers verbindet, als die Richtung von vorne nach hinten bezeichnet wird.
    3. (3) Bei dem obigen Aspekt (1) oder (2) kann der Substratandruckabschnitt in einem Bereich von größer oder gleich 0° und kleiner oder gleich 30° in horizontaler Richtung von der Mitte des Behälterhauptkörpers liegen, wenn der Deckel von vorne betrachtet wird.
    4. (4) Bei jedem der obigen Aspekte (1) bis (3) kann der Substrataufnahmeabschnitt in einem Bereich von größer oder gleich 20° und kleiner oder gleich 30° in horizontaler Richtung von der Mitte des Behälterhauptkörpers liegen, wenn die Rückwand von vorne betrachtet wird.
    5. (5) Bei jedem der obigen Aspekte (1) bis (4) kann das Substrat einen Durchmesser von 300 mm haben.
  • VORTEILHAFTE WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Substrataufbewahrungsbehälter bereitgestellt werden, der in der Lage ist, eine Andruckkraft von einem Substratandruckabschnitt auf ein Substrataufnahmeabschnitt wirksam auszuüben, wenn ein Deckel an einem Behälterhauptkörper angebracht ist und ein Substrat durch Anheben von einem Trägerabschnitt getragen wird.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine schematische perspektivische Explosionsdarstellung, die einen Substrataufbewahrungsbehälter gemäß einer ersten Ausführungsform darstellt.
    • 2A ist eine Sammlung von Diagrammen, die den Substrataufbewahrungsbehälter darstellen, wenn ein Deckel angebracht ist, wobei (a) eine Vorderansicht ist, (b) eine Draufsicht ist und (c) eine entlang der Linie A-A aufgenommene Querschnittsansicht ist.
    • 2B ist eine Sammlung von Diagrammen, die den Substrataufbewahrungsbehälter darstellen, wenn der Deckel angebracht ist, wobei (d) eine entlang der Linie B-B aufgenommene Querschnittsansicht ist, (e) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil G ist, (f) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil H ist und (g) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil I ist.
    • 3A ist eine Sammlung von Diagrammen, die einen Behälterhauptkörper bei abgenommenem Deckel darstellen, wobei (a) eine Vorderansicht ist, (b) eine Draufsicht ist und (c) eine entlang der Linie E-E aufgenommene Querschnittsansicht ist.
    • 3B ist eine Sammlung von Diagrammen, die den Behälterhauptkörper darstellen, wenn der Deckel angebracht ist, wobei (d) eine entlang der Linie F-F aufgenommene Querschnittsansicht ist, (e) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil J ist und (f) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil K ist.
    • 4 ist ein Querschnittsdiagramm in horizontaler Richtung, das einen Zustand darstellt, in dem ein Substrat innerhalb des Substrataufbewahrungsbehälters gehalten wird.
    • 5 ist ein Querschnittsdiagramm in horizontaler Richtung, das einen Zustand darstellt, in dem ein Substrat in einem Substrataufbewahrungsbehälter gemäß einer zweiten Ausführungsform gehalten wird.
  • BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Im Folgenden werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ausführlich beschrieben. In der gesamten Beschreibung der Ausführungsformen in der vorliegenden Beschreibung werden dieselben Elemente durch dieselben Bezugszahlen und Symbole bezeichnet.
  • (Erste Ausführungsform)
  • Zunächst wird ein Substrataufbewahrungsbehälter 1 beschrieben. 1 ist eine schematische perspektivische Explosionsdarstellung, die den Substrataufbewahrungsbehälter 1 darstellt. 2A ist eine Sammlung von Diagrammen, die den Substrataufbewahrungsbehälter 1 darstellen, wenn ein Deckel 20 angebracht ist, wobei (a) eine Vorderansicht ist, (b) eine Draufsicht ist und (c) eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A ist. 2B ist eine Sammlung von Diagrammen, die den Substrataufbewahrungsbehälter 1 darstellen, wenn der Deckel 20 angebracht ist, wobei (d) eine entlang der Linie B-B aufgenommene Querschnittsansicht ist, (e) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil G ist, (f) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil H ist und (g) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil I ist. In 1 wird die horizontale Richtung als X-Achsenrichtung bezeichnet, die vertikale Richtung als Z-Achsenrichtung, und eine Richtung von vorne nach hinten, die den Deckel 20 und eine Rückwand 10b verbindet, wird als Y-Achsenrichtung bezeichnet, wenn der Substrataufbewahrungsbehälter 1, in dem eine Oberfläche eines Substrats W in horizontaler Richtung untergebracht ist, von der Seite zur Seite des Deckels 20 hin betrachtet wird. Die X-Achse, die Y-Achse und die Z-Achse sind in den nachfolgenden Zeichnungen bei Bedarf ebenfalls dargestellt.
  • Der Substrataufbewahrungsbehälter 1, der in 1 dargestellt ist, bewahrt eine Mehrzahl von Substraten W auf und ist mit einem Behälterhauptkörper 10 und einem Deckel 20 ausgestattet. Die Substrate W, die in dem Substrataufbewahrungsbehälter 1 aufbewahrt werden, sind Halbleiterwafer oder Maskenglas mit einem Durchmesser von z.B. 300 mm, aber nicht darauf beschränkt.
  • Der Behälterhauptkörper 10 hat eine kastenartige Form mit einem Öffnungsrahmen 10a, der eine vordere Öffnung 11, eine Rückwand 10b, eine rechte Wand 10c, eine linke Wand 10d, eine obere Wand 10e und eine untere Wand 10f bildet. Der Behälterhauptkörper 10 ist von dem so genannten frontoffenen Typ.
  • Ein Paar Trägerabschnitte 12, die die Substrate W tragen, und ein Paar Substrataufnahmeabschnitte 13 sind im Behälterhauptkörper 10 ausgebildet. Obwohl in 1 nicht dargestellt, ist das andere der Paare der Trägerabschnitte 12 und der Substrataufnahmeabschnitte 13 an symmetrischen Positionen ausgebildet.
  • Die Trägerabschnitte 12 werden an zwei Stellen an den Innenseiten der rechten Wand 10c und der linken Wand 10d einander zugewandt ausgebildet (siehe 2A (c)). Die Trägerabschnitte 12 sind durch sogenannte Nutzähne konfiguriert und bestehen aus einer Mehrzahl von Nuten, die in Höhenrichtung ausgebildet sind (siehe 2B (d)). Die Substrate W werden in die jeweiligen Nuten eingesetzt und darin aufbewahrt.
  • Die Substrataufnahmeabschnitte 13 sind nebeneinander an zwei Positionen auf der Rückwand 10b ausgebildet (siehe 2A (c)) und befinden sich weiter zur Rückwand 10b hin als die Trägerabschnitte 12 (siehe 2B (d)). Die Substrataufnahmeabschnitte 13 sind ebenfalls mit einer Mehrzahl von Nuten versehen, die der Anzahl der Nuten entspricht, die in den Trägerabschnitten 12 ausgebildet sind.
  • Währenddessen verschließt der Deckel 20 die Öffnung 11 des Behälterhauptkörpers 10 und bildet einen Innenraum des Substrataufbewahrungsbehälters 1. Zusätzlich ist ein Verpackungsmaterial (nicht abgebildet) zwischen dem Behälterhauptkörper 10 und dem Deckel 20 angeordnet. Das Verpackungsmaterial sichert die Luftdichtheit des Substrataufbewahrungsbehälters 1, wenn der Deckel 20 auf dem Behälterhauptkörper 10 angebracht ist, und ist in der Lage, das Eindringen von Staub, Feuchtigkeit usw. in den Substrataufbewahrungsbehälter 1 von außen zu reduzieren.
  • Der Deckel 20 hat ein Andruckelement 21, und auf dem Andruckelement 21 sind Substratandruckabschnitte 210 gebildet, die die Substrate W andrücken (siehe 2A (c)). Das Andruckelement 21 befindet sich in der Mitte in Richtung der X-Achse an der Innenseite des Deckels 20.
  • Die Substratandruckabschnitte 210 werden an zwei Positionen entlang der X-Achsenrichtung gebildet und drücken die Substrate W an diesen beiden Positionen an und tragen sie. Die Substratandruckabschnitte 210 sind als Arme 220 ausgebildet, die die Elastizität des Andruckelements 21 haben, die die Substrate W durch die Elastizität der Arme 220 berühren und andrücken. Es ist zu beachten, dass eine Mehrzahl von Substratandruckabschnitten 210 in vertikaler Richtung entsprechend der Anzahl der aufbewahrbaren Substrate W ausgebildet sind.
  • Beispiele für das Material des Behälterhauptkörpers 10 und des Deckels 20 sind thermoplastische Harze wie Polycarbonat, Cycloolefinpolymer, Polyetherimid, Polyetherketon, Polyetheretherketon, Polybutylenterephthalat, Polyacetal, Flüssigkristallpolymer und deren Legierungen.
  • Als Material der Trägerabschnitte 12 kann das gleiche Material wie das des Behälterhauptkörpers 10 verwendet werden. Alternativ kann zur Verbesserung der Gleiteigenschaften der Substrate W ein amorphes Harz, wie z.B. ein zyklisches Olefinpolymer, verwendet werden.
  • Als Material für die Substrataufnahmeabschnitte 13 kann das gleiche Material wie das des Behälterhauptkörpers 10 verwendet werden. Alternativ kann zur Verbesserung der Gleiteigenschaften der Substrate W ein amorphes Harz, wie z.B. ein zyklisches Olefinpolymer, verwendet werden.
  • Als Material für das Andruckelement 21 kann das gleiche Material wie das des Deckels 20 verwendet werden. Alternativ kann ein thermoplastisches Harz wie Polycarbonat oder eine Legierung aus Polycarbonat und Polybutylenterephthalat verwendet werden, um die Abriebeigenschaften in Bezug auf die Substrate W zu verbessern. Zusätzlich kann ein Additiv zugegeben werden, um die Gleiteigenschaften zu verbessern.
  • Hier wird ein Zustand beschrieben, in dem ein Substrat W im Behälterhauptkörper 10 aufbewahrt wird, wenn der Deckel 20 vom Behälterhauptkörper 10 entfernt ist, und ein Zustand, in dem das Substrat W im Behälterhauptkörper 10 aufbewahrt wird, wenn der Deckel 20 am Behälterhauptkörper 10 angebracht ist. 3A ist eine Sammlung von Diagrammen, die den Behälterhauptkörper 10 darstellen, wenn der Deckel 20 entfernt ist, wobei (a) eine Vorderansicht ist, (b) eine Draufsicht ist und (c) eine entlang der Linie E-E aufgenommene Querschnittsansicht ist. 3B ist eine Sammlung von Diagrammen, die den Behälterhauptkörper 10 darstellen, wenn der Deckel 20 angebracht ist, wobei (d) eine entlang der Linie F-F aufgenommene Querschnittsansicht ist, (e) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil J ist und (f) eine vergrößerte Querschnittsansicht von Teil K ist.
  • Für den Fall, dass das Substrat W im Behälterhauptkörper 10 aufbewahrt werden soll, wird das Substrat W von der Öffnung 11 an der Frontfläche des Behälterhauptkörpers 10 aus in gegenüberliegende Nuten des Paares von Trägerabschnitten 12 auf gleicher Höhe eingeführt und in einem Zustand aufbewahrt, in dem nur das Paar aus linkem und rechtem Trägerabschnitt 12 das Substrat W so trägt, dass die Oberfläche des Substrats W horizontal ist (siehe 3B (f)). In dem Zustand, in dem das Substrat W nur von den Trägerabschnitten 12 getragen wird, sind die Trägerabschnitte 12 mit einem geneigten abgestuften Abschnitt (nicht dargestellt) versehen, so dass die Seite des Substrats W zur Rückwand 10b hin die Substrataufnahmeabschnitte 13 (unterhalb der darin ausgebildeten V-förmigen Nut 130) nicht berührt.
  • Wenn der Deckel 20 auf dem Behälterhauptkörper 10 aus einem Zustand angebracht wird, in dem das Substrat W nur von den Trägerabschnitten 12 getragen wird, wird das Substrat W zwischen den Substratandruckabschnitten 210 und den Substrataufnahmeabschnitten 13 sandwichartig gehalten, und das Substrat W wird von dem Trägerabschnitt 12 abgehoben und von den Substratandruckabschnitten 210 und den Substrataufnahmeabschnitten 13 getragen (siehe 2B).
  • Genauer gesagt wird in jedem der Substratandruckabschnitte 210 eine V-förmige Nut 211 gebildet (siehe 2B (g)), und wenn der Deckel 20 am Behälterhauptkörper 10 befestigt ist, wird die Vorderseite des Substrats W in die V-förmigen Nuten 211 der Substratandruckabschnitte 210 eingepasst. Danach, wenn das Substrat W durch den Substratandruckabschnitt 210 zur Rückseite hin geschoben wird, bewegen die Substrataufnahmeabschnitte 13 das Substrat W aus dem in 3B (e) dargestellten Zustand in den in 2B (e) dargestellten Zustand, indem das Substrat W entlang der V-förmigen Nuten 130 gleitet, und das Substrat W erreicht den Boden zur Rückseite der V-förmigen Nuten 130 hin.
  • Das Substrat W, das auf diese Weise im Substrataufbewahrungsbehälter aufbewahrt wird, wird von den Substrataufnahmeabschnitten 13 und den Substratandruckabschnitten 210 getragen, während es vom Trägerabschnitt 12 abgehoben wird. Wenn der Deckel 20 vom Behälterhauptkörper 10 abgenommen wird, wird das Substrat W nur von den Trägerabschnitten 12 getragen.
  • Als nächstes wird die Positionsbeziehung zwischen den Substrataufnahmeabschnitten 13 und den Substratandruckabschnitten 210 beschrieben. 4 ist eine horizontale Querschnittsansicht, die einen Zustand darstellt, in dem ein Substrat W im Substrataufbewahrungsbehälter 1 aufbewahrt ist.
  • In 4 sind die Substrataufnahmeabschnitte 13 und die Substratandruckabschnitte 210 an einander gegenüberliegenden Positionen angeordnet.
  • Insbesondere sind die Substrataufnahmeabschnitte 13 mindestens in einem Bereich von größer oder gleich 0 mm und kleiner oder gleich 80 mm in horizontaler Richtung von einer vertikalen (Richtung der Z-Achse) Mittellinie Z entfernt, die durch die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 verläuft, wenn der Deckel 20 von vorne betrachtet wird. Es ist zu beachten, dass die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 eine Position ist, die der Mitte des Substrats W entspricht, wenn das Substrat W im Substrataufbewahrungsbehälter 1 aufbewahrt wird. Darüber hinaus sind eine Mittellinie X, eine Mittellinie Y und eine Mittellinie Z als diejenigen bezeichnet, die durch die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 verlaufen.
  • Mit anderen Worten, die Substrataufnahmeabschnitte 13 befinden sich mindestens in einem Bereich von größer oder gleich 0 mm und kleiner oder gleich 80 mm in horizontaler Richtung von der Mittellinie Y in der Richtung von vorne nach hinten (Y-Achsenrichtung), die durch die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 verläuft. Es ist zu beachten, dass in 4 eine Position 80 mm von der Mittellinie Y entfernt durch ein Liniensegment Y1 gekennzeichnet ist.
  • Ferner liegen die Substrataufnahmeabschnitte 13 in einem Bereich von größer oder gleich 20° und kleiner oder gleich 30° in horizontaler Richtung vom Mittelpunkt C des Behälterhauptkörpers 10, wenn die Rückwand 10b von vorne betrachtet wird. Das heißt, ein Winkel y, der durch ein Liniensegment gebildet wird, das (die Mitte der) Substrataufnahmeabschnitte 13 und die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 verbindet, und die Mittellinie Y, die durch die Mitte C des Behälterhauptkörpers in der Richtung von vorne nach hinten (Richtung der Y-Achse) verläuft, liegt innerhalb eines Bereichs von größer oder gleich ± 20° und kleiner oder gleich ± 30° in Bezug auf die Mittellinie Y.
  • Währenddessen sind in ähnlicher Weise wie die Substrataufnahmeabschnitte 13 auch die Substratandruckabschnitte 210 mindestens in einem Bereich von größer oder gleich 0 mm und kleiner oder gleich 80 mm in vertikaler Richtung von der Mittellinie Z in der vertikalen Richtung (Z-Achsenrichtung) vorhanden, die durch die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 verläuft, wenn der Deckel 20 von vorne betrachtet wird.
  • Außerdem liegen die Substratandruckabschnitte 210 in einem Bereich von mehr als oder gleich 0° und weniger als oder gleich 30° und vorzugsweise in einem Bereich von mehr als oder gleich 0° und weniger als oder gleich 21° in horizontaler Richtung von der Mitte C des Behälterhauptkörpers 10, wenn der Deckel 20 von vorne betrachtet wird. Mit anderen Worten, ein Winkel θ, der durch ein Liniensegment gebildet wird, das (die Mitte) der Substrataufnahmeabschnitte 13 und die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 verbindet, und die Mittellinie Y, die durch die Mitte C des Behälterhauptkörpers in der Richtung von vorne nach hinten (Richtung der Y-Achse) verläuft, liegt innerhalb eines Bereichs von weniger als oder gleich ± 30° und vorzugsweise weniger als oder gleich ± 21° in Bezug auf die Mittellinie Y. Es ist zu beachten, dass sich, wenn der Winkel θ 30° überschreitet, die Formeigenschaften der Substratandruckabschnitte 210 verschlechtern und es nicht möglich ist, die Substrate W gleichmäßig anzudrücken.
  • Gemäß dem Substrataufbewahrungsbehälter 1 der ersten Ausführungsform wirkt, wenn der Deckel 20 an dem Behälterhauptkörper 10 befestigt ist und das Substrat W durch Anheben von den Trägerabschnitten 12 getragen wird, die Druckkraft von den Substratandruckabschnitten 210 hauptsächlich in Richtung der Mittenrichtung des Substrats W an den Substrataufnahmeabschnitten 13. Daher kann der Substrataufbewahrungsbehälter 1 bereitgestellt werden, der in der Lage ist, die Andruckkraft von den Substratandruckabschnitten 210 auf die Substrataufnahmeabschnitte 13 effizient auszuüben. Darüber hinaus ist es durch Anheben und Trennen des Substrats W von den Trägerabschnitten 12 möglich, die Übertragung von Vibrationen, Stößen usw. von den Trägerabschnitten 12 auf das Substrat W während des Transports zu unterdrücken.
  • (Zweite Ausführungsform)
  • 5 ist ein Querschnittsdiagramm in horizontaler Richtung, das einen Zustand darstellt, in dem ein Substrat W in einem Substrataufbewahrungsbehälter 1A gemäß einer zweiten Ausführungsform getragen wird.
  • Im Substrataufbewahrungsbehälter 1A der zweiten Ausführungsform unterscheiden sich die Formen eines Deckels 20A, eines Andruckelements 21A, der Substratandruckabschnitte 210A und der Arme 220A von denen der ersten Ausführungsform, und die anderen Komponenten sind die gleichen wie die der ersten Ausführungsform.
  • Insbesondere ist der Abstand zwischen den beiden Substratandruckabschnitten 210A länger als bei der ersten Ausführungsform, und die Substratandruckabschnitte 210A sind an beiden Enden der bogenförmigen Arme 220A ausgebildet. Darüber hinaus ragen die Substratandruckabschnitte 210A von der Oberfläche des Deckels 20A in Richtung des Behälterhauptkörpers 10 vor.
  • Auch in diesem Fall liegen die Substratandruckabschnitte 210A mindestens in einem Bereich von größer oder gleich 0 mm und kleiner oder gleich 80 mm in horizontaler Richtung von einer vertikalen (Richtung der Z-Achse) Mittellinie Z aus, die durch die Mitte C des Behälterhauptkörpers 10 verläuft, wenn der Deckel 20 von vorne betrachtet wird, in gleicher Weise wie die Substratandruckabschnitte 210. Darüber hinaus liegen die Substratandruckabschnitte 210 in einem Bereich von größer oder gleich 0° und kleiner oder gleich 30° in horizontaler Richtung von der Mitte C des Behälterhauptkörpers 10, wenn der Deckel 20 von vorne betrachtet wird.
  • Es ist zu beachten, dass dieser Substrataufbewahrungsbehälter 1A verwendet wird, wenn ein menschlicher Bediener, nicht eine Transfervorrichtung wie ein Roboter, das Anbringen oder Abnehmen des Deckels 20A oder das Einsetzen oder Entfernen des Substrats W manuell durchführt.
  • Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind oben ausführlich beschrieben worden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die oben genannten Ausführungsformen beschränkt, und es sind verschiedene Modifikationen und Änderungen im Rahmen der vorliegenden Erfindung, wie in den Ansprüchen aufgeführt, möglich.
  • (Modifikation)
  • In den Ausführungsformen, die oben beschrieben wurden, sind die Positionen der Substrataufnahmeabschnitte 13 und der Substratandruckabschnitte 210 und 210A durch bestimmte Abmessungen und Winkel definiert. Alternativ können diese Positionen durch die Andruckkraft (oder Reaktionskraft) definiert werden, die auf das Substrat W wirkt. Wenn beispielsweise angenommen wird, dass die Andruckkraft zum Andrücken des Substrats W, die erzeugt wird, wenn der Deckel 20 an dem Behälterhauptkörper 10 angebracht wird, in einer Richtung entlang der Y-Achsenrichtung aufgebracht wird, können die Substrataufnahmeabschnitte 13 an Positionen vorhanden sein, an denen eine Reaktionskraftkomponente CD, die das Substrat W an den Substrataufnahmeabschnitten (deren Kontaktabschnitten mit dem Substrat W) in eine normale Richtung zurückdrückt, größer ist als die Reaktionskraftkomponente in der tangentialen Richtung der Kontaktabschnitte und vorzugsweise größer oder gleich 0.43-mal größer als die Druckkraft ist (in dem Fall, dass die Kraft an zwei Stellen in horizontaler Richtung aufgenommen wird). Dasselbe kann auch für die Positionen der Substratandruckabschnitte 210 und 210A gelten. Wenn die Reaktionskraftkomponente CD, die das Substrat W an den Substrataufnahmeabschnitten 13 in normaler Richtung zurückdrückt, auf diese Weise größer ist als die Reaktionskraftkomponente in tangentialer Richtung, dreht sich das Substrat W nicht, wenn die Andruckkraft des Substrats W aufgebracht wird.
  • In jeder der obigen Ausführungsformen können die Trägerabschnitte 12 und die Substrataufnahmeabschnitte 13 einstückig mit dem Behälterhauptkörper 10 ausgebildet oder als getrennte Bauteile in den Behälterhauptkörper 10 eingebaut werden.
  • In jeder der obigen Ausführungsformen sind die Neigung der V-förmigen Nuten 130, die in den Substrataufnahmeabschnitten 13 ausgebildet sind, und die Neigung der V-förmigen Nuten 211, die in den Substratandruckabschnitten 210 und 210A ausgebildet sind, nicht auf die in den Zeichnungen dargestellten beschränkt. Diese Neigungen können je nach den Gleiteigenschaften des Substrats W in Bezug auf die Materialien, die für die Substratandruckabschnitte 210 und 210A verwendet werden, und der Andruckkraft, die von den Substratandruckabschnitten 210 und 210A auf das Substrat W ausgeübt wird, verändert werden.
  • Bezugszeichenliste
    • 1, 1A
    Substrataufbewahrungsbehälter
    10
    Behälterhauptteil
    10a
    Öffnungsrahmen
    10b
    Rückwand
    10c
    Rechte Wand
    10d
    Linke Wand
    10e
    Obere Wand
    10f
    Untere Wand
    11
    Öffnung
    12
    Trägerabschnitt
    13
    Substrataufnahmeabschnitt
    20, 20a
    Deckel
    21, 21a
    Andruckelement
    210, 210a
    Substratandruckabschnitt
    W
    Substrat
    CD
    Reaktionskraftkomponente, die das Substrat in normaler Richtung zurück andrückt

Claims (5)

  1. Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A), umfassend: einem Behälterhauptkörper (10) mit einer Öffnung an einer Vorderseite, einem Trägerabschnitt (12) zum Tragen eines Substrats in seinem Inneren, einem Substrataufnahmeabschnitt (13), der weiter zur Seite einer Rückwandseite hin als der Trägerabschnitt (12) angeordnet ist; und einen Deckel (20, 20A) mit einem Andruckelement (21, 21A) mit einem Substratandruckabschnitt (210, 210A) zum Andrücken des Substrats; wobei der Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A) das Substrat trägt, indem er das Substrat mit dem Substratandruckabschnitt (210, 210A) und dem Substrataufnahmeabschnitt (13) von dem Trägerabschnitt (12) anhebt, wenn der Deckel (20, 20A) an dem Behälterhauptkörper (10) angebracht ist, und das Substrat mit dem Trägerabschnitt (12) trägt, wenn der Deckel (20, 20A) von dem Behälterhauptkörper (10) entfernt ist; wobei der Substrataufnahmeabschnitt (13) und der Substratandruckabschnitt (210, 210A) innerhalb eines Bereichs von mehr als oder gleich 0 mm und weniger als oder gleich 80 mm in horizontaler Richtung von einer vertikalen Mittellinie, die durch die Mitte des Behälterhauptkörpers (10) verläuft, wenn der Deckel (20, 20A) von vorne betrachtet wird, vorhanden sind; und wobei eine Position, die der Mitte des Substrats entspricht, wenn das Substrat im Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A) aufbewahrt wird, als die Mitte des Behälterhauptkörpers (10) bezeichnet wird.
  2. Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A), umfassend: einen Behälterhauptkörper (10) mit einer Öffnung auf einer Vorderseite, einem Trägerabschnitt (12) zum Tragen eines Substrats in seinem Inneren und einem Substrataufnahmeabschnitt (13), der weiter zur Seite einer Rückwandseite hin als der Trägerabschnitt (12) angeordnet ist; und einen Deckel (20, 20A) mit einem Andruckelement (21, 21A), das mit einem Substratandruckabschnitt (210, 210A) zum Andrücken des Substrats ausgebildet ist; wobei der Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A) das Substrat trägt, indem er das Substrat mit dem Substratandruckabschnitt (210, 210A) und dem Substrataufnahmeabschnitt (13) von dem Trägerabschnitt (12) anhebt, wenn der Deckel (20, 20A) an dem Behälterhauptkörper (10) angebracht ist, und das Substrat mit dem Trägerabschnitt (12) trägt, wenn der Deckel (20, 20A) vom Behälterhauptkörper (10) entfernt ist; wobei der Substrataufnahmeabschnitt (13) und der Substratandruckabschnitt (210, 210A) an Positionen vorhanden sind, an denen eine Reaktionskraftkomponente in Richtung einer Normalen an einem Kontaktabschnitt mit dem Substrat gegen eine Andruckkraft, die auf den Kontaktabschnitt des Substrats in einer Richtung von vorne nach hinten wirkt, größer ist als eine Reaktionskraftkomponente in einer tangentialen Richtung am Kontaktabschnitt; und wobei eine Richtung, die den Deckel (20, 20A) und die Rückwand des Behälterhauptkörpers (10) verbindet, als Richtung von vorne nach hinten bezeichnet wird.
  3. Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A) nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei: der Substratandruckabschnitt (210, 210A) in einem Bereich von größer oder gleich 0° und kleiner oder gleich 30° in horizontaler Richtung von der Mitte des Behälterhauptkörpers (10) liegt, wenn der Deckel (20, 20A) von vorne betrachtet wird.
  4. Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei: der Substrataufnahmeabschnitt (13) in einem Bereich von größer oder gleich 20° und kleiner oder gleich 30° in horizontaler Richtung von der Mitte des Behälterhauptkörpers (10), wenn die Rückwand von vorne betrachtet wird, vorhanden ist.
  5. Substrataufbewahrungsbehälter (1, 1A) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei: das Substrat einen Durchmesser von 300 mm hat.
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