KR20110046038A - 기판 수납 용기 - Google Patents

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신은주
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박종익
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Abstract

기판을 수납하는 기판 수납 용기가 마련된다. 기판 수납 용기는 기판을 지지하기 위한 후방 리테이너를 포함한다. 후방 리테이너는 각각 상면, 저면, 전면 및 양 측면을 가지는 복수의 제1 티스와, 복수의 제1 티스 사이에 각각 마련되는 제1 홈을 포함한다. 제1 티스는 상기 용기의 전방을 향해 돌출되어 있고, 제1 홈은 상기 용기의 후방을 향해 만입되어 상기 기판의 후방부와 맞물린다. 제1 홈은 U자형 또는 V자형이다.

Description

기판 수납 용기{SUBSTRATE RECEIVING CONTAINER}
본 발명은 기판을 수납하기 위한 기판 수납 용기에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기판을 수납하여 제위치에 안정적으로 고정시키기 위한 홈을 구비하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
일반적으로, 기판의 수납, 보관 및 수송을 위한 장치로서 기판 수납 용기가 사용된다. 예컨대, 기판에 속하는 반도체 웨이퍼를 수납하여 반도체 공정의 필요 장소로 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 반도체 웨이퍼 캐리어가 사용된다.
기판 수납 용기는 기판을 용기 내 제위치에 수평하게 유지하면서, 용기 수송시 기판이 이동하는 것을 방지할 수 있도록 안정적으로 기판을 유지할 필요가 있다. 또한, 용기 수송시 용기에 기대치 이상의 강한 충격이 작용하는 경우 수납된 기판이 손상될 수 있으며, 수납된 기판과 접촉하는 용기의 일부와 기판에 충격을 가함으로서 기판의 긁힘 또는 파티클(particle)이 형성될 수 있으므로, 이를 방지할 필요가 있다.
특히, 반도체 웨이퍼 캐리어에 있어서, 웨이퍼의 파티클, 웨이퍼의 위치 어긋남 및 웨이퍼의 변형에 관한 규제가 엄격하므로, 상술한 안정적인 기판 수납의 필요성이 강조된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 안정적으로 수납하기 위한 기판 수납 용기가 마련되며, 이 기판 수납 용기는 기판을 수납하여 제위치에 안정적으로 고정시키기 위한 홈을 구비한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 수납하는 기판 수납 용기가 마련된다. 이 기판 수납 용기는 기판을 지지하기 위한 후방 리테이너를 포함하고, 상기 후방 리테이너는 각각 상면, 저면, 전면 및 양 측면을 가지는 복수의 제1 티스와, 상기 복수의 제1 티스 사이에 각각 마련되는 제1 홈을 포함한다. 여기서, 상기 제1 티스는 상기 용기의 전방을 향해 돌출되어 있고, 상기 제1 홈은 상기 용기의 후방을 향해 만입되어 상기 기판의 후방부와 맞물리며, 상기 제1 홈은 U자형 또는 V자형이다.
상기 제1 홈은 상기 제1 티스 사이의 중간지점보다 아래에 위치할 수 있다. 상기 제1 홈은 기판 수납시 기판이 그 상에서 활주하는 활주부, 기판이 맞물리는 정점부 및 기판의 상방 이동을 억제하는 턱부를 포함할 수 있다. 상기 제1 티스의 상면과, 상기 제1 홈의 활주부, 정점부 및 턱부는 순차적으로 연속적으로 연결되며, 상기 정점부는 상기 활주부와 턱부 사이에 위치하여 상기 활주부 및 턱부보다 상기 용기의 후방을 향해 더 깊게 만입되어 있다.
상기 정점부는 상기 용기의 수평 중심선을 지나는 수직 평면을 향하도록 경 사질 수 있고, 상기 제1 티스의 상면 및 전면 중 하나 이상의 적어도 일부에는 경사 또는 곡률이 형성될 수 있다. 상기 제1 티스의 전면은 상기 용기의 수평 중심선을 지나는 수직 평면을 향하도록 경사질 수 있으며, 제1 티스의 상면의 적어도 일부는 상기 상면의 나머지 부분에 대해 경사를 이루도록 하방으로 경사질 수 있다. 상기 제1 티스의 상면, 저면, 전면 및 양 측면 사이의 경계들에는 곡률이 형성될 수 있다.
또한, 상기 용기는 기판의 전방부와 맞물리는 복수의 제2 홈을 구비한 전방 리테이너를 더 포함할 수 있다. 상기 용기에 수납된 하나의 기판의 후방부 및 전방부 각각에는 두 개의 제1 홈과 두 개의 제2 홈이 맞물리며, 하나의 기판에 맞물리는 상기 두 개의 제1 홈 사이의 거리는 상기 두 개의 제2 홈 사이의 거리보다 길 수 있다.
본 발명에 따른 실시예에서, 기판은 반도체 웨이퍼일 수 있으며, 상기 용기는 전면 개방 박스형(FOSB) 웨이퍼 캐리어일 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판 수납 용기는 기판을 용기 내 제위치에 수평하게 유지하면서, 기판의 긁힘 또는 파티클(particle) 형성을 방지할 수 있도록 안정적으로 기판을 유지한다.
상술한 발명의 내용은 단지 설명을 위한 것이며 어떠한 방식으로도 제한을 의도한 것이 아니다. 상술한 설명적 양태, 실시예 및 특징에 덧붙여 추가의 양태, 실시예 및 특징이 도면 및 아래의 상세한 설명을 참조함으로써 명백해질 것이다.
아래의 상세한 설명에서는 명세서의 일부를 형성하는 첨부된 도면을 참조한다. 상세한 설명, 도면 및 청구항에 기재된 설명적 실시예들은 제한을 의도한 것이 아니다. 여기에 나타난 본 개시의 사상 또는 범위로부터 벗어남이 없이 다른 실시예들이 이용될 수 있으며, 다른 변형이 행해질 수 있다.
본 개시에서 설명하는 방향은 기판(S)이 반입/반출되는 방향을 전후방으로 하고, 이를 기준으로 설명한다. 즉, 도 1을 참조하여 설명하면, 본 개시에서 전후방은 Y축을 따르는 방향으로서, 전방은 본체(B)에서 전방판(110)을 향하는 방향을, 후방은 전방판(110)에서 본체(B)를 향하는 의미한다. 또한, 횡방향은 X축을 따르는 방향을 의미한다. 더불어, 수직 방향은 Z축을 따르는 방향으로서, 하방은 상방판(130)에서 하방판(140)을 향하는 방향을, 상방은 하방판(140)에서 상방판(130)을 향하는 방향을 의미한다. 본 개시에서 설명하는 방향은 상술한 설정을 기준으로 각 도면에 도시된 좌표축 및 기준선을 참조하여 설명됨을 유의한다. 다만, 여기에 나타난 본 개시의 사상 또는 범위로부터 벗어남이 없이 다른 기준에 따른 방향 설정이 이루어질 수 있음을 당업자라면 명백히 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 기판 수납 용기의 사시도를 도시한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 일 실시예에 따른 기판 수납 용기(100)는 전면 개방 박스형(FOSB) 웨이퍼 캐리어일 수 있으며, 기판 수납 용기에 수납되는 기판(S; 도 2 참조)은 반도체 웨이퍼일 수 있다. 도 1에서, 기판 수납 용기(100)는 육면체형 박스 형상을 가진다. 기판 수납 용기(100)는 전방판(110)과, 후방판(120)과, 상방판(130)과, 하방판(140)과, 양 측방판(150, 160)을 포함한다. 후방판(120), 상방판(130), 하방판(140) 및 양 측방판(150, 160)은 상호 결합되어 기판 수납 용기의 본체(B)를 구성한다. 이러한 전방판(110), 후방판(120), 상방판(130), 하방판(140) 및 양 측방판(150,160)은 플라스틱으로 성형될 수 있으며, 예컨대, 폴리카보네이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에스테르계 엘라스토머, 폴리올레핀계 엘라스토머, 열가소성 엘라스토머 등으로 성형될 수 있다. 또한, 이들 후방판(120), 상방판(130), 하방판(140) 및 양 측방판(150, 160))은 일체로 형성될 수 있다.
후방판(120)은 기판 수납 용기(100)에 수납된 기판(S)과 맞물리는 후방 리테이너(200)를 포함한다(도 2 및 도 3 참조). 후방 리테이너(200)는 복수의 제1 티스(210)와 복수의 제1 홈(220)을 포함한다. 이러한 후방 리테이너(200)는 플라스틱으로 성형될 수 있으며, 예컨대, 폴리카보네이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르이미드, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에스테르계 엘라스토머, 폴리올레핀계 엘라스토머, 열가소성 엘라스토머 등으로 성형될 수 있다. 또한, 후방 리테이너(200)는 후방판(120)과 일체로 성형될 수 있다.
도 1에 있어서, 기판 수납 용기(100)의 전방판(110)은 분리된 것으로 도시되어 있다. 기판 수납 용기(100)에 기판을 반입하거나 반출할 때, 전방판(110)은 분리될 수 있다. 전방판(110)을 기판 수납 용기(100)의 본체(B)에 결합시키기 위해서, 전방판(110)은 래치 기구(111)를 포함할 수 있다. 래치 기구(111)는 수동 또는 로봇 아암에 의해 전방판(110)의 둘레 외측을 향해 돌출하도록 작동되는 돌출부 를 포함한다. 전방판(110)의 외측으로 돌출된 돌출부는 기판 수납 용기(100)의 상방판(130) 및/또는 하방판(140)에 형성된 홈에 삽입된다. 돌출부가 상방판(130) 및/또는 하방판(140)의 홈에 삽입됨으로써, 기판 수납 용기(100)의 전방판(110)은 기판 수납 용기(100)의 본체(B)에 결합된다. 기판 수납 용기(100)를 이송할 때, 기판 수납 용기(100)의 전방판(110)은 기판 수납 용기(100)의 본체(B)에 결합된 상태일 수 있다. 또한, 전방판(110)은 기판 수납 용기(100)에 수납된 기판(S)과 맞물리는 전방 리테이너(300)를 포함한다(도 2 참조).
도 1에 도시한 바와 같이, 좌 측방판(150) 및 우 측방판(160)은 각각 기판 수납 용기(100)의 좌우에 마련된다. 기판 수납 용기(100)의 양 측방판(150, 160)은 각각 기판을 지지하기 위한 측방 리테이너(400)를 포함한다. 측방 리테이너(400)는 좌우 측방판(150, 160) 각각에 마련되며, 측방판(150, 160)과 일체로 형성될 수 있다.
도 2는 도 1의 기판 수납 용기의 저면도를 도시한다. 도 2에 있어서, 전방판(110)은 본체(B)에 결합되어 있으며, 기판(S)이 기판 수납 용기(100)에 수납되어 있다.
후방 리테이너(200)는 복수의 제1 티스(210)를 포함한다. 제1 티스(210)는 기판 수납 용기(100)의 전방을 향해 돌출되어 있다. 도 2에서, 각각 Z축선을 따라 기판 수납 용기(100)의 수직방향으로 연장된 C1열 및 C2열을 따라 각각 복수의 제1 티스(210)가 배치된다. 도 2에서, Y축선 방향으로 연장된 수평 중심선(a1)을 지나는 수직 평면에 대해 C1열과 C2열은 상호 대칭적으로 위치한다.
제1 티스(210)는 상면(211), 저면(212), 전면(213) 및 양 측면(214)을 가진다(도 3 참조). 도 2에 도시된 바와 같이, 수평 중심선(a1)을 지나는 수직 평면을 향하도록 제1 티스(210)의 전면에는 경사(α) 또는 곡률이 형성된다. 도 2에서, C1열의 제1 티스(210)의 전면 경사(α)는 C2열의 제1 티스(210)의 전면 경사(α)와 수평 중심선(a1)을 지나는 수직 평면을 기준으로 대칭이도록 형성되어 있다. 이러한 제1 티스(210)의 전면 경사(α)는 제1 티스(210)의 양 측면(214) 중 하나에 대해 약 55 내지 65°일 수 있고, 이러한 전면 경사(α)는 제1 티스(210)가 수납되는 기판(S)의 후방부 가장자리를 따라 기판(S)과 접촉할 수 있게 한다.
C1열 및 C2열을 따라 배치된 복수의 제1 티스(210) 사이에는 기판과 맞물리는 제1 홈이(220) 마련된다(도 3 참조). 제1 홈(220)은 기판 수납 용기(100)의 후방을 향해 만입되어 있다. C1열에 속하는 하나의 제1 홈(220)과 이러한 제1 홈과 수평하게 위치하며 C2열에 속하는 하나의 제1 홈(220)이 함께 하나의 기판의 후방부와 맞물릴 수 있다. 이러한 제1 홈(220)의 구성에 있어서, 용기에 수납된 기판(S)의 후방부는 두 개의 제1 홈(220)과 점접촉을 할 수 있다. 따라서, 하나의 기판(S)의 후방부는 후방 리테이너(200)와 2점 접촉 관계일 수 있다.
도 2에서, 전방 리테이너(300)는 전방판(110)에 위치하여 기판(S)의 전방부와 맞물린다. 전방 리테이너(300)는 X축선을 따르는 전방판(110)의 횡방향으로 연정되며, 전방판(110)의 중앙 영역에 위치한다. 또한, 전방 리테이너(300)는 Z축선을 따르는 전방판(110)의 수직방향으로 연장된다.
구체적으로 도시되지 아니하였으나, 전방 리테이너(300)는 각각 전방판(110) 의 수직방향으로 배치되는 복수의 제2 홈을 포함할 수 있다. 전방 리테이너(300)의 제2 홈은 전방판(110)의 전방을 향해 만입되어 수납된 기판(S)과 맞물림으로써 기판(S)을 지지한다. 이러한 복수의 제2 홈은 도 2의 C3열 및 C4열을 따라 각각 배치된다. C3열과 C4열은 각각 Z축선을 따르는 기판 수납 용기(100)의 수직방향으로 연장된다. C3열에 속하는 하나의 제2 홈과 이러한 제2 홈과 수평하게 위치하면서 C4열에 속하는 하나의 제2 홈이 함께 하나의 기판의 전방부와 맞물릴 수 있다. 이러한 제2 홈의 구성에 있어서, 용기(100)에 수납된 기판(S)의 전방부는 두 개의 제2 홈과 점접촉을 할 수 있다. 따라서, 기판(S)의 전방부는 전방 리테이너와 2점 접촉 관계일 수 있다.
또한, 전방 리테이너(300)는 X축선을 따르는 기판 수납 용기(100)의 횡방향으로 연장되며 탄성을 가지는 연장부를 포함할 수 있다. 이 연장부는 제2 홈을 가진다.
제1 홈(220)이 배치되는 C1열과 C2열 사이의 거리(L1)는 제2 홈이 배치되는 C3열과 C4열 사이의 거리(L2)보다 길 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 기판 수납 용기(100)에 충격이 가해졌을 때, 기판(S)과 전방 리테이너(300)의 연장부 사이의 접촉 면적이 전방 리테이너(300)의 연장부의 탄성 변형에 의해 넓어지게 되므로, 제1 홈(220)과 전방 리테이너(300)의 연장부에 의해 기판(S)에 가해지는 지지력이 균형을 이루게 된다. 따라서, 이러한 제1 홈(220) 및 제2 홈의 배치는 기판(S)의 안정적인 지지를 도모할 수 있다.
제1 홈(220) 및 제2 홈의 개수는 기판 수납 용기(100)에 수납되는 기판(S)의 개수에 따라 정해질 수 있다. 예컨대, 제1 홈(220)은 C1열을 따라 25개가 배치되고, C2열을 따라 25개가 배치될 수 있으며, 제2 홈도 유사하게 C3열 및 C4열을 따라 각각 25개 배치될 수 있다. 이 경우, 2개의 제1 홈(220)과 2개의 제2 홈이 하나의 기판과 맞물리게 되므로, 25개의 기판이 제1 홈 및 제2 홈과 맞물릴 수 있다. 따라서, 기판 수납 용기(100)에는 25개의 기판(S)이 수납될 수 있다.
또한, 전방 리테이너(300)는 기판(S)을 수납할 때 기판을 안내하기 위한 제2 티스를 포함할 수 있다. 이 제2 티스는 기판 수납 용기(100)의 횡방향으로 연장된 연장부 상에 일체로 성형될 수 있다.
기판 수납 용기(100)의 하방판(140)은 제위치에 있을 때 기판 수납 용기(100) 전체를 지지하기 위한 기구와 맞물리는 결합구(141)를 포함한다. 예컨대, 하방판의 결합구(141)는 로봇 아암과 맞물리고, 맞물린 로봇 아암은 기판 수납 용기(100)를 지지하여 이송시킬 수 있다. 하방판(140)에는 기판 수납 용기(100)의 정보를 가진 인포 패드(도시되지 않음)가 장착될 수 있다.
기판 수납 용기(100)의 양 측방판(150, 160)은 측방 리테이너(400)를 각각 포함한다. 각각의 측방 리테이너(400)는 수납 과정에서 기판(S)을 지지하며 기판(S)의 이동 경로를 형성하는 복수의 제3 티스(410)를 각각 포함한다. 제3 티스(410)는 기판 수납 용기(100)의 내측을 향해 돌출되어 있다. 제3 티스(410)의 상부에는 기판이 안착하여 활주하는 지지면이 마련된다. 도 2에 도시한 바와 같이, 제3 티스(410)는 후방부로 갈수록 수납되는 기판의 형상에 대응하도록 곡률을 형성한다.
도 3은 도 2의 C2열을 따라 배치된 후방 리테이너의 사시도 및 확대도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 후방 리테이너(200)는 복수의 제1 티스(210)와 복수의 제1 홈(220)을 포함한다. 제1 티스(210)는 기판 수납 용기(100)의 전방을 향해 돌출되어 있으며, 제1 홈(220)은 기판 수납 용기(100)의 후방을 향해 만입되어 있다.
제1 티스(210)는 상면(211), 저면(212), 전면(213) 및 양 측면(214)을 가진다. 여기서, 제1 티스(210)의 저면(212)과 상면(211) 사이의 높이는 약 2.9±0.2 mm일 수 있으며, 제1 티스(210)가 돌출된 길이는 약 7.4±0.3 mm일 수 있고, 양 측면(214) 사이의 너비는 약 6.7±0.3 mm 이하 일 수 있다. 양 측면(214) 사이의 너비는 제1 티스(210)의 후방으로부터 전방으로 갈 수록 좁아질 수 있다. 또한, 어느 하나의 제1 티스(210)의 상면(211)과 이 제1 티스의 상부에 인접한 다른 하나의 제1 티스(210)의 저면(212) 사이의 높이는 약 7.2±0.3 mm일 수 있다. 이러한 제1 티스(210)의 면들(211, 212, 213 및 214) 사이의 경계를 이루는 모서리 중 하나 이상에는 라운드가 형성되어 수납되는 기판(S)의 긁힘을 방지할 수 있다.
제1 티스(210)의 전면(213)의 적어도 일부에는 경사 또는 곡률이 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 티스(210)의 전면(213)은 수평 중심선(a1)을 지나는 수직 평면을 향하는 경사각(α; 도 2 참조)을 형성할 수 있으며, 상술한 바와 같이 이러한 경사각(α)은 양 측면(214) 중 어느 하나를 기준으로 약 55° 내지 65°일 수 있다.
제1 티스(210)의 상면(211)은 기판 수납시 기판(S)이 활주하는 지지면으로서 역할한다. 제1 티스(210)의 상면의 적어도 일부(211a)에는 경사 또는 곡률이 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제1 티스(210)의 상면의 적어도 일부(211a)에는 제1 티스(210)의 상면(211)의 나머지 부분(211b)에 대해 경사를 이루도록 하방으로 경사가 형성될 수 있으며, 이 경사각(β; 도 4 참조)은 약 22°내지 32°일 수 있다.
상술한 제1 티스(210)의 전면(213) 및 상면(211)의 경사 또는 곡률의 조합으로 경사면 또는 곡면이 형성된다. 기판(S)은 수납될 때 이러한 경사면 또는 곡면을 따라 제1 티스(210) 상에서 대각선 방향으로 활주한다.
이러한 제1 티스의 구성으로 인해, 기판 수납시, 기판의 후방부가 제1 티스의 상면 전방부에서 상면 후방부로 이동할 때, 기판이 부드럽게 활주한다. 따라서, 기판과 제1 티스가 접촉할 때 기판의 긁힘이 방지될 수 있으며, 파티클의 생성을 억제할 수 있다.
복수의 제1 티스(210) 사이에는 복수의 제1 홈(220)이 마련된다. 제1 홈(220)은 V자형 또는 U자형으로 형성된다.
후방 리테이너(200)의 제1 홈(220)은 활주부(221), 정점부(222) 및 턱부(223)를 포함한다. 제1 홈(220)의 정점부(222)는 기판 수납 용기(100)의 후방을 향해 가장 깊게 만입되어 있는 부분으로서, 활주부(221) 및 턱부(223)보다 기판 수납 용기(100)의 후방을 향해 더 깊게 만입되어 있다. 제1 홈(220)의 정점부(222)는 활주부(221) 및 턱부(223) 사이에 위치하며, 따라서, 제1 홈(220)의 활주부와 턱부는 제1 홈(220)의 정점부(222)를 향해 경사져있다. 어느 하나의 제1 홈(220)의 바로 아래에 위치하는 제1 티스(210)의 상면(211)으로부터 제1 홈(220)의 활주 부(221), 정점부(222) 및 턱부(223)가 그 순서에 따라 연속적으로 연결될 수 있다. 기판 수납시, 기판(S)은 상면(211) 및 활주부(221) 상에서 활주하여 정점부(222)에 맞물리며, 턱부(223)에 의해 상방으로의 추가 진행이 방지된다. 기판 수납시 기판(S)이 상면(211)을 거쳐 활주부(221)로 부드럽게 진행하기 위해, 활주부(221)에는 경사면이 형성되며, 예컨대 이 경사면의 경사각(δ; 도 4 참조)은 상면(211)에 대해 약 45°내지 55°일 수 있다.
제1 홈(220)의 정점부(222)는 제1 티스들(210) 사이의 중간지점보다 아래에 위치하여, 제1 홈(220) 중 어느 하나의 위에 위치한 제1 티스(210)의 저면(212)보다 제1 홈(220)의 아래에 위치한 제1 티스(210)의 상면(211)에 더 가까이 위치할 수 있다. 이러한 정점부(222)의 배치를 통해, 제1 홈(220)에 맞물린 기판(S)과 이 기판(S) 아래 제1 티스(210) 사이의 거리를 감소시킴으로써, 기판(S) 이동 또는 반출시 기판(S)의 자중 또는 외력에 의한 기판(S)과 제1 티스(210) 사이의 충격을 감소시킬 수 있다.
제1 홈(220)에는 수평 중심선(a1; 도 2 참조)을 지나는 수직 평면을 향하는 경사 또는 곡률이 형성될 수 있다. 이 제1 홈(220)의 경사각은 상술한 제1 티스(210)의 전면(213)이 형성하는 경사각(α)과 동일할 수 있다. 이러한 경사 또는 곡률이 형성됨에 따라, 제1 홈(220)은 기판(S)의 외측 가장자리의 곡률을 따라 맞물릴 수 있다. 또한, 제1 홈(220)의 가장자리들 중 하나 이상에는 라운드가 형성되어 수납되는 기판(S)의 긁힘을 방지할 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따른 기판 수납 용기에 기판을 수납하는 과정을 설명하 기 위한 기판 및 후방 리테이너의 일부 측면도이다. 아래에서는 도 4를 참조하여 기판 수납 용기(100)에 기판(S)을 수납하는 과정을 상세히 설명한다.
우선, 기판 수납 용기(100)에 기판(S)을 반입하기 위해 기판 수납 용기(100)의 전방판(110)을 본체(B)로부터 분리한다. 전방판(110)을 분리하기 전에, 전방판(110)의 래치 기구(111)를 해제 상태로 작동시켜 전방판(110)과 기판 수납 용기(100)의 본체(B) 간의 결합을 해제시킨다. 래치 기구(111)의 해제를 포함하는 전방판(110)의 분리 과정은 수동 또는 로봇 아암에 의해 이루어질 수 있다.
기판 수납 용기(100)의 전방판(110)을 본체(B)로부터 분리한 후, 기판(S)을 본체(B)에 반입한다. 기판(S)은 요구되는 개수만큼 기판 수납 용기(100)에 반입되며, 기판 수납 용기(100)에 형성된 제1 티스(210) 및 제1 홈(220)의 개수에 따라 수납 가능한 개수가 한정된다.
기판(S)을 본체(B)에 반입할 때, 기판(S)은 양 측방판(150, 160)의 제3 티스410)의 지지면 상에 안착한다. 또한, 기판(S)은 후방 리테이너(200)의 제1 티스(210)의 전방부와 접촉한다(위치 1).
요구되는 개수만큼 기판(S)이 기판 수납 용기(100)의 본체(B)에 반입된 후, 전방판(110)을 본체(B)에 결합시킨다. 전방판(110)의 분리의 경우와 마찬가지로, 전방판(110)의 결합 과정은 수동 또는 로봇 아암에 의해 이루어질 수 있다.
전방판(110)의 결합에 있어서, 전방판(110)이 본체(B)와 맞물려 후방판(120)을 향해 가압되는 경우 전방판(110)과 접촉하는 기판(S)은 후방판(120)을 향해 이동한다. 따라서, 기판(S)은 제3 티스(410)의 지지면을 따라 이동하면서 제1 티 스(210)의 전방부로부터 제1 홈(220)을 향해 이동한다. 구체적으로, 기판(S)은 후방 리테이너(200)의 경사가 형성된 제1 티스(210)의 상면(211)의 일부(211a)에서(위치 1) 상면(211)의 나머지 부분(211b)을 향해 활주하고, 이후 제1 홈(220)의 활주부(221)를 거쳐(위치 2) 제1 홈(220)의 정점부(222)에 맞물리게 된다(위치 3). 도 4에 도시된 화살표는 기판 수납시 기판(S)의 이동 방향을 의미한다. 기판(S)의 추가 이동은 제1 홈(220)의 턱부(223)에 의해 차단된다.
전방판(110)과 본체(B)의 결합이 완료되면, 기판(S)의 후방부는 후방 리테이너(200)의 제1 홈(220)의 정점부(222)와 맞물리고, 기판(S)의 전방부는 전방 리테이너(300)의 제2 홈과 맞물린다. 도 2에 도시한 실시예에 있어서, C1, C2, C3 및 C4열의 각각 하나의 제1 또는 제2 홈이 기판과 맞물리므로, 기판과 기판 수납 용기는 4점 접촉을 할 수 있다. 이 경우 양 측방판(150, 160)의 제3 티스(410)와 기판(S) 사이에는 간극이 형성되어 그 사이의 파티클 발생이 억제된다.
이후 전방판(110)의 래치 기구(111)를 결합 상태로 작동시켜 전방판(110)과 기판 수납 용기(100)의 본체(B)를 상호 고정시킨다. 전방판(110)과 본체(B)가 상호 고정된 상태에서 기판 수납 용기(100)는 기판(S)의 수납을 완료한다.
상술한 내용으로부터, 본 개시의 다양한 실시예들이 설명의 목적을 위해 여기에 기재되었으며, 다양한 변경들이 본 개시의 범위 및 사상으로부터 벗어남이 없이 행해질 수 있음이 이해될 것이다. 따라서, 여기에 개시된 다양한 실시예들은 다음의 청구항들에 의해 지정되는 진정한 범위 및 사상을 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 일 실시예에 따른 기판 수납 용기의 사시도.
도 2는 도 1의 기판 수납 용기의 저면도.
도 3은 도 2의 C2열을 따라 배치된 후방 리테이너의 사시도 및 확대도.

Claims (11)

  1. 기판을 수납하는 기판 수납 용기로서,
    상기 용기는 상기 기판을 지지하기 위한 후방 리테이너를 포함하고,
    상기 후방 리테이너는 각각 상면, 저면, 전면 및 양 측면을 가지는 복수의 제1 티스와, 상기 복수의 제1 티스 사이에 각각 마련되는 제1 홈을 포함하며,
    상기 제1 티스는 상기 용기의 전방을 향해 돌출되어 있고,
    상기 제1 홈은 상기 용기의 후방을 향해 만입되어 상기 기판의 후방부와 맞물리며,
    상기 제1 홈은 U자형 또는 V자형인 것인 기판 수납 용기.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 제1 홈은 상기 제1 티스 사이의 중간지점보다 아래에 위치하는 것인 기판 수납 용기.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제1 홈은 기판 수납시 기판이 그 상에서 활주하는 활주부, 기판이 맞물리는 정점부 및 기판의 상방 이동을 억제하는 턱부를 포함하고, 상기 제1 티스의 상면과, 상기 제1 홈의 활주부, 정점부 및 턱부는 순차적으로 연속적으로 연결되며,
    상기 정점부는 상기 활주부와 턱부 사이에 위치하여, 상기 활주부 및 턱부보다 상기 용기의 후방을 향해 더 깊게 만입되어 있는 것인 기판 수납 용기.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 정점부는 상기 용기의 수평 중심선을 지나는 수직 평면을 향하도록 경사진 것인 기판 수납 용기.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제1 티스의 상면 및 전면 중 하나 이상의 적어도 일부에는 경사 또는 곡률이 형성된 것인 기판 수납 용기.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 제1 티스의 전면은 상기 용기의 수평 중심선을 지나는 수직 평면을 향하도록 경사진 것인 기판 수납 용기.
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 제1 티스의 상면의 적어도 일부는 상기 상면의 나머지 부분에 대해 경사를 이루도록 하방으로 경사진 것인 기판 수납 용기.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 제1 티스의 상면, 저면, 전면 및 양 측면 사이의 경계들에는 곡률이 형성된 것인 기판 수납 용기.
  9. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 용기는 기판의 전방부와 맞물리는 복수의 제2 홈을 구비한 전방 리테이너를 더 포함하고,
    상기 용기에 수납된 하나의 기판의 후방부 및 전방부 각각에는 두 개의 제1 홈과 두 개의 제2 홈이 맞물리며,
    하나의 기판에 맞물리는 상기 두 개의 제1 홈 사이의 거리는 상기 두 개의 제2 홈 사이의 거리보다 긴 것인 기판 수납 용기.
  10. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 기판은 반도체 웨이퍼인 것인 기판 수납 용기.
  11. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 용기는 전면 개방 박스형(FOSB) 웨이퍼 캐리어인 것인 기판 수납 용기.
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