KR100809183B1 - 정밀 기판용 수납 용기 - Google Patents

Abstract

다수의 정밀 기판을 정렬 및 수납용 선반식 지지부는 용기 본체 내부 양 측벽상에 형성되어 있다. 용기 본체 내부 양 측벽의 전방측면 상에는, 정밀 기판의 미끄러짐을 규제하는 규제 수단이 착탈 가능한 방식으로 설치되어 있다. 규제 수단은 용기 본체의 2개의 내부 양 측벽에 있는 삽입부에 착탈가능한 방식으로 삽입되어 지지하는 지지 플레이트와, 지지 플레이트로부터 용기 본체의 배면 방향으로 연장되는 다수의 탄성 아암(elastic arms)과, 탄성 아암의 단부에 성형되어 정밀 기판의 측부의 주변부에 면하는 접촉편(abutting pieces)을 포함한다.

Description

정밀 기판용 수납 용기{STORAGE CONTAINER FOR PRECISION SUBSTRATES}

도 1은 종래의 정밀 기판용 수납 용기 및 정밀 기판의 지지부를 도시하는 부분 사시설명도,

도 2는 종래의 정밀 기판용 수납 용기 및 정밀 기판의 지지부를 도시하는 부분 단면설명도,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 정밀 기판용 수납 용기를 도시하는 전체 사시설명도,

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 정밀 기판용 수납 용기의 용기 본체를 도시하는 사시설명도,

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 정밀 기판용 수납 용기에서의 기본적인 부분을 도시하는 사시설명도,

도 6은 도 5의 IV-IV선 단면설명도,

도 7은 도 5의 V-V선 단면설명도,

도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 정밀 기판용 수납 용기를 도시하는 기본적인 부분의 사시설명도,

도 9는 도 8의 VII-VII선 단면설명도,

도 10은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 정밀 기판용 수납 용기를 도시하는 기본적인 부분의 단면설명도,

도 11은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 정밀 기판용 수납 용기의 수직으로 위치한 수납 용기를 도시하는 단면설명도,

도 12는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 정밀 기판용 수납 용기의 기본적인 부분을 도시하는 평면도,

도 13은 도 12의 XII-XII선 단면도.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 용기 본체 3 : 리테이너

4 : 지지부 5 : 삽입부

6 : 바닥 플레이트 10 : 덮개부

17 : 전방 리테이너 20 : 규제 수단

21 : 지지 플레이트 22 : 탄성 아암

23 : 접촉편 30 : 이완 방지 수단

W : 정밀 기판

본 발명은 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등으로 이루어진 정밀 기판을 수납하는 정밀 기판용 수납 용기에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 상기 용기의 개구로부터 정밀 기판이 돌출하는 것을 규제하고 지지부재에 의해 지지된 정밀 기판의 비뚤어짐을 감소시키기 위한 조절 장치에 관한 것이다.

최근, 반도체 웨이퍼로 이루어진 정밀 기판(W)은 생산성을 향상시킬 목적으로 대구경으로 형성되고, 정밀 기판용 수납 용기를 갖는 자동 반송기에 의해 취급된다.

이와 같은 형태의 정밀 기판용 수납 용기는 다수의 정밀 기판(W)을 수납하는 전방 개구 박스 형식(front opening box type)의 용기 본체와, 상기 용기 본체의 바닥 표면에 장착되는 바닥 플레이트와, 용기 본체의 전방 개구부를 폐쇄하는 착탈가능한 덮개부를 포함한다. 도 1 및 도 2에 부분적으로 도시된 바와 같이, 용기 본체의 내부 양 측벽상에 다수의 정밀 기판을 수직으로 배치하는 정렬 및 저장용 수납 선반식 지지부가 각각 형성되어 있다. 또한, 덮개부의 내부 측면상에는 다수의 정밀 기판(W)의 전방 부분의 주변부를 고정하는 전방 리테이너가 장착되어 있다. 전방 리테이너는 모든 정밀 기판(W)을 고정하여 반송시의 안전 확보를 담당한다.

이제, 용기 본체로부터 정밀 기판(W)을 취출하기 위해서, 덮개부는 용기 본체의 전방으로부터 제거된다. 공정 중에 전방 개구부를 개장시키며 용기 본체가 이동될 때, 정밀 기판(W)을 고정하는 전방 리테이너가 용기 본체의 개구부에 존재하지 않을 수 있다. 따라서, 설비의 진동과 이동중의 충격에 의해, 용기 본체내의 정밀 기판(W)은 변위될 수 있으며, 정밀 기판이 개구부로부터 미끄러져나와서 손상을 입을 수 있다. 또는, 기판 반송 로봇이 연속적으로 다음 정밀 기판을 언로딩할 때, 상기 변위된 정밀 기판(W)은 기판 반송 로봇의 핸드에 의해서 간섭받아 손상을 입을 수도 있다.

종래에는, 이와 같은 문제를 해결하기 위해서, 지지부(4)의 전방면상에 스토퍼(stoppers)가 일체형으로 형성되어 정밀 기판의 미끄러져나오는 것을 이들 스토퍼로 저지하는 방법이 제안되었다.

그러나, 지지부(4)의 전방면상에 스토퍼를 형성하는 방법에서, 용기 본체가 전방 개구 박스 형식의 구조를 가지는 경우에는, 스토퍼가 성형후의 금형으로부터의 떨어져 나가는 구조, 즉 언더컷이 된다. 따라서, 용기 본체의 지지부(4)에 스토퍼를 성형하는 것은 현실적으로 매우 어렵다.

또한, 만약 용기 본체의 지지부(4)에 스토퍼를 형성하려면, 용기 본체가 세정장치에 의해 세정될 때, 스토퍼가 세정액의 순환 장애가 되어 지지부(4)는 완전히 세정되지 못할 수 있다. 결과적으로, 스토퍼 주변에 물방울이 고여 건조시간의 지연을 초래하게 된다.

상술한 문제를 해결하기 위해서, 스토퍼는 금형내의 가동 조립 코어 또는 고정 코어(stay-put core)를 이용해 형성될 수 있다. 선택적으로, 금형을 복잡하게 분할해서 특수한 구조를 갖게 할 수도 있다. 그러나, 이 방법으로는, 금형 관련 비용이 상당히 커지며 비용 절감을 꾀하기가 거의 불가능하다.

또한, 이와 같은 대구경 또는 얇은 두께(예를 들면, 직경이 300㎜이고 약 0.7㎜인 웨이퍼)인 정밀 기판은 매우 비뚤어지기 쉽고, 반송중에 공진을 일으킬 수 있는 문제가 있으며, 인접한 기판과 접촉하여 결국 마모되거나 파괴된다. 특히, 배면이 0.4㎜ 이하의 극도로 얇은 두께로 연마된 배면 웨이퍼의 경우 비뚤어짐이 심해서 반송되기 어렵다.

이와 같은 문제를 해결하기 위한 제안으로, 용기의 배면에 플레이트를 설치하여 정밀 기판을 지지함으로써 정밀 기판의 비뚤어짐을 방지하는 것이 있다.

그러나, 이와 같은 지지부가 배면에 설치될 때, 지지부가 정밀 기판의 로딩 및 언로딩을 수행하는 반송 장치의 정밀 기판 흡입 핸드에 의해서 간섭을 받는다는 문제가 있다.

상술한 내용을 고려하면, 금형 관련 비용을 감소시킬 수 있고, 용기 본체 세정시, 예를 들어 건조 과정의 진행 시간을 감소시킬 목적으로, 효과적인 순환을 위한 필요 액체를 통과시키는 정밀 기판용 수납 용기를 제공하는 것이 본 발명의 목적이다.

본 발명은 전술한 목적을 성취하기 위한 것으로, 본 발명의 요지는 다음과 같다.

본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 정밀 기판용 수납 용기는 내부 양 측벽에 배치된 정밀 기판을 지지하기 위한 대략 선반식 형상의 지지부와, 상기 정밀 기판이 용기 본체의 개구부로부터 미끄러져나오는 것을 규제하기 위한 규제 수단을 포함하며, 상기 규제 수단이, 상기 용기 본체의 적어도 하나의 내부 측벽에 있는 개구면에서 탈착가능한 방식으로 설치된 지지 플레이트와, 상기 지지 플레이트로부터 상기 용기 본체의 개구면과 대향하는 방향으로 연장되는 탄성 아암(elastic arm)과, 상기 탄성 아암의 자유 단부에 제공되어 상기 정밀 기판의 주변부에 대향하는 접촉편을 포함한다.

본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 제 1 실시예의 정밀 기판용 수납 용기에 있어서, 용기 본체의 적어도 하나의 내부 측벽에서의 개구면 또는 지지 플레이트중 어느 하나에 오목부 또는 돌출부를 각각 구비하며, 오목부와 돌출부는 서로 결합되는 방식으로 특성화된다.

본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 제 1 실시예의 정밀 기판용 수납 용기에 있어서, 탄성 아암의 접촉편 하부는 각기 대향하는 방향으로 지지부의 하부보다 돌출되어 이완 방지 수단(slack preventing means)을 구성하는 방식으로 특성화된다.

본 발명의 제 4 실시예에 따르면, 제 2 실시예의 정밀 기판용 수납 용기에 있어서, 탄성 아암의 접촉편 하부는 각기 대향하는 방향으로 지지부의 하부보다 돌출되어 이완 방지 수단을 구성하는 방식으로 특성화된다.

본 발명의 제 5 실시예에 따르면, 정밀 기판용 수납 용기에 있어서, 내부 양 측벽에 배치된 정밀 기판을 지지하기 위한 대략 선반식 형상의 지지부와, 용기 본체내의 정밀 기판의 비뚤어짐을 감소시키기 위한 규제 수단을 포함하며, 규제 수단이 지지 플레이트와, 용기 본체의 개구면에 대향하는 방향으로 연장되는 탄성 아암과, 상기 각 대략 선반식 형상의 지지부상에 각기 설치된 정밀 기판의 하부와 중첩되게 연장되고, 정밀 기판의 하면과 각기 접촉할 수 있는 탄성 아암의 접촉편의 하부를 포함한다.

본 발명에 있어서, 용기 본체는 전방 개구 박스 형식이어도 되고, 또는 투명하거나 그렇지 않아도 된다. 정밀 기판은 단일 또는 다수의 반도체 웨이퍼와 유리 기판 등을 포함한다. 또한, 지지부는 용기 본체의 내부 양 측벽이 일체로 구성되거나 또는 별개로 구성되기도 한다. 규제 수단의 지지 플레이트는 개구면에서 용기 본체의 적어도 하나의 내부 측벽상에 설치될 수 있다. 따라서, 상기 지지 플레이트는 개구면에서 용기 본체의 내부 측면 양 측벽 모두에 각기 설치될 수 있다. 또한, 지지 플레이트, 탄성 아암 및 접촉 편은 동일한 재질이어도 되고, 또는 다른 것이어도 된다. 또한, 탄성 아암과 접촉 편은 동일한 두께여도 되고 또한 다른 두께여도 된다. 마지막으로, 오목부 및 돌출부의 조립은 레귤러 스플라인 조인트(regular spline joint)와 더브테일 스플라인 조인트(dovetail spline joint) 등의 접합 기술을 사용할 수 있다.

본 발명에 있어서, 용기 본체의 지지부에 지지된 단일 또는 다수의 정밀 기판이 용기 본체의 개구부로부터 미끄러져나오려고 할 때, 상기 정밀 기판은 규제 수단의 접촉편과 접촉하게 된다. 따라서, 정밀 기판의 외부로의 미끄러져나옴 및 변위는 규제될 것이다. 이 때, 규제 수단의 지지 플레이트로부터 연장되는 가요성 탄성 아암이 접촉시의 충격을 완화하면서 정밀 기판을 지지하기 때문에, 정밀 기판의 손상을 효과적으로 피할 수 있다.

또한, 규제 수단은 지지부와 일체로 되지 않고 분리 가능한 부분이기 때문에, 규제 수단은 필요에 따라서 용기 본체로부터 자유롭게 착탈가능할 수 있다.

또한 본 발명에 있어서, 용기 본체의 적어도 하나의 내부 측벽에서의 개구면, 또는 지지 플레이트 모두 각기 오목부와 돌출부를 구비한다. 따라서, 이들 오목부와 돌출부가 서로 결합함으로써 지지 플레이트는 착탈가능하게 접합될 수 있다. 결과적으로, 간소한 구성을 기대할 수 있다. 또한, 규제 수단을 용기 본체에 비교적 쉽게 장착할 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예는 첨부 도면을 참조해서 설명된다. 이 실시예에서 정밀 기판용 수납 용기는 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 다수(예를 들면, 13개, 25개 또는 26개)의 정밀 기판(W)(예를 들면, 300㎜ 실리콘 웨이퍼)을 수납하는 용기 본체(1)와, 상기 용기 본체(1)의 저면에 부착된 바닥 플레이트(6)와, 이음새 없는 밀봉 개스킷(13)을 통해 용기 본체(1)의 전방 개구부를 폐쇄하는 착탈가능한 덮개부(10)를 포함한다. 용기 본체(1)의 내부 양 측벽의 전방 개구면상에는 용기 본체(1)의 전방 개구부로부터 외부 방향으로 정밀 기판(W)이 미끄러져나오는 것을 규제하는 한쌍의 규제 수단(20)이 각각 착탈가능하게 장착되어 있다.

용기 본체(1)는 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이 충분한 강도와 강성을 갖는 폴리카보네이트 및 폴리부틸렌 테레프탈레이트 수지와 같은 각종 합성 수지를 사용해서 투명한 전방 개구 박스 형식으로 성형되어 있다. 이 용기 본체(1)의 바닥 표면에는 가공 장치에 대하여 위치 결정 수단으로써 기능하는 V자형 홈(9)이 전방 양측과 후부 중앙에 각각 형성되어 있다. 다수의 V자형 홈(9)에서, 바닥 플레이트(6) 형태의 플레이트가 조립 및 고정되어 있다. 이 바닥면에 관해서는, 전술한 구조 외에도, 주변부에 여러 위치에서 L자형 또는 그와 다른 형태의 고정부가 제공되고, 용기 본체(1)의 저부에 고정부 삽입용 고정 홈이 제공될 수도 있다. 이들을 서로 결합시킴으로써 바닥 플레이트(6)는 고정될 수 있다. 이것은 또한 나사형성부나 나사부를 사용하여 조립될 수 있다.

또한, 용기 본체내에 설치된 바닥 플레이트 대신, 단지 V자형 홈을 구비한 다수의 위치 결정 수단만이 용기 본체상에 일체형으로 구비되기도 한다.

용기 본체(1)의 전방면은 같은 도면에서 도시된 바와 같이 측면으로 서서히 전방면의 폭이 연장되면서 성형된다. 내부면에는 상기 도면에 도시되지 않은 다수의 저지 홈이 특정 간격으로 함몰 성형되어 있다. 피고정부(2)는 전방 좌우측으로부터 각기 좌우 횡방향으로 돌출된다. 또한, 용기 본체(1)의 내부 후면에는, 다수의 정밀 기판(W)의 후부 주변부를 고정하는 후방 리테이너(3)가 설치되어 있다. 이들 후방 리테이너(3)는 반송중에 각 정밀 기판을 고정하여 안정성을 확보하도록 기능한다.

용기 본체(1)의 대향하는 내부 양 측벽에는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이 선반식 지지부(4)가 각각 성형되어 있다. 이들 지지부(4)의 지지 홈은 상단으로부터 하단 방향으로 특정 위치에서 위치가 결정된 다수의 정밀 기판(W)을 정렬 및 수납하며, 동시에, 각 정밀 기판(W)을 수평 방향으로 지지한다. 도 3과 도 7에 도시된 바와 같이, 용기 본체(1)의 내부 양 측벽상의 개구면의 상단에서부터 하단까지에는, 삽입부(5)가 전방 방향을 향해 각각 수평하게 돌출되어 있다. 각 삽입부(5)는 돌출부로써 기능한다. 이들 삽입부(5)는 길고 좁은 돌출 리브(ribs)가 될 뿐만 아니라, I자형이나 L자형 또는 오목부로 구성되기도 한다. 이들 삽입부(5)의 표면상에는, 삽입력을 조절하기 위해서, 반구형상, 삼각 형상의 정지 돌기 또는 오목부로써 필요에 따라 성형될 수 있다.

바닥 플레이트(6)는 도 3에 도시된 바와 같이 폴리카보네이트 및 폴리부틸렌 테레프탈에이트 수지 등의 각종 합성 수지를 사용해서 기본적으로는 대략 평면 Y자형으로 성형되어 있다. 이 바닥 플레이트(6)는 좌우측부로 분리된 전방부 양측과 후방부 중앙에 있는 V자형 홈(9) 주위로 삽입된 안내부(7)를 구비하고 있다. 중앙부에는 공정 설비 고정용 관통구(8)가 설치되어 있다.

덮개부(10)는 외부 표면 플레이트(12)와 대향하여 조립되는 내면 플레이트(11)를 구비하며, 주변부상에 밀봉 폐쇄용 밀봉 개스킷(13)으로 조립되어 있다. 덮개부의 좌우측면부에는 가요성 결합 플레이트(14)가 전후방향으로 회전 가능하도록 각각 결합되어 있다. 클램프 플레이트(14)의 각 개구부(15) 및 가요성 분할편(16)은 용기 본체(1)의 결합부(2)내로 조립되어 덮개부(10)의 조립을 단단히 유지한다. 내면 플레이트(11)상에는 다수의 정밀 기판(W)의 전방부의 주변을 고정하는 전방 리테이너(17)가 설치된다. 이 전방 리테이너(17)는 정밀 기판(W)의 후부의 주변을 고정하는 후방 리테이너(3)와 함께 정밀 기판(W)을 고정하여 이송시의 안전을 확보한다.

여기에서, 덮개부(10)는 외부 표면 플레이트(12)와 상호 대향 조립된 내부 표면 플레이트(11)를 포함한다. 이들 대략 장방형의 내부 표면 플레이트(11)와 외부 표면 플레이트(12) 사이에 있는 중공부(hollow)내에는 표면으로부터 외부 방향으로 작동 가능한 한쌍의 래칫 장치가 구비되어 있으며, 덮개부(10)가 용기 본체(1)내로 조립됨에 따라 상기 한쌍의 래칫 장치의 신축 가능한 결합 고리가 결합 구멍에 결합됨으로써 기판용 수납 용기의 밀봉 상태가 보장된다.

각 규제 수단(20)은 폴리카보네이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤 등의 열가소성 수지와, 폴리올레핀계, 폴리에스테르계의 열가소성 탄성중합체와, 합성 고무 등의 고탄성 재료를 사용하여 성형된다. 이들 규제 수단(20)은 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이 대략 수평 방향 U자형 또는 측벽에 대해 평행하게 연장되는 U자형 단면 형상으로써 용기 본체(1)의 각 내부 측벽상의 삽입부(5)내로 탈착가능하게 삽입 고정되는 다수의 탄성 지지 플레이트(21)와, 대략 기둥형의 지지 플레이트(21)의 내면상에 대략 빗살형으로 일체 성형되고 용기 본체(1)의 배면 방향(전방 개구면에 대해 대향하는 방향)으로 약간 굽어지고 휘어지며 연장되는 다수의 탄성 아암(22)과, 전방 단부, 즉 탄성 아암(22)의 자유 단부에서 보다 조금 크게 일체형으로 성형되고 정밀 기판(W)의 측면 주변부로 근접 대향하는 대략 장방형의 접촉편(23)을 포함한다.

탄성 아암(22)의 폭과 두께 치수는 1㎜ 내지 5㎜, 바람직하게는 2㎜ 내지 3㎜ 사이에서 원재료의 강성을 고려해서 임의로 설정된다. 기판 반송 로봇을 구비하는 자체 로딩 기계에 의한 정밀 기판(W)의 반송에 지장이 없도록, 각 접촉편(23)은 SEMI 규격에 따라서 규정된 지지부(4)의 상단으로부터의 0.7㎜ 보다도 낮은 높이로, 약 0.2㎜ 내지 0.3㎜ 사이의 임의의 간격으로 정밀 기판(W)과 대향하도록 설정된다.

상기 구성에 있어서, 용기 본체(1)의 전방으로부터 덮개부(10)를 제거함으로써 용기 본체(1)를 개방시킬 때와, 공정 중에 용기 본체(1)를 이동시키거나, 다른 공정 장치로 이동될 때, 용기 본체(1)의 전방면에 있는 한쌍의 규제 수단(20)은 스토퍼로써 존재한다. 각 탄성 아암(22)의 접촉편(23)이 정밀 기판(W)을 안내하여 정밀 기판(W)의 미끄러져나오는 것을 효과적으로 방지함으로써(도 5 참조), 용기 본체(1)내에 있는 정밀 기판(W)은 전방면 방향으로 변위되거나, 이동중에 장치의 진동과 충격에 의해 손상되지 않을 것이다. 또한 기판 반송 로봇이 정밀 기판(W)을 다시 언로딩할 때, 변위된 정밀 기판(W) 사이에서의 간섭으로 인해 손상되지도 않고, 반송 로봇 핸드가 정밀 기판(W)의 손상을 일으키지도 않을 것이다.

상기 구성에 의하면, 스토퍼로써 기능하는 규제 수단(20)은 지지부(4)의 전방 표면상에 일체로 형성되는 수단은 아니다. 따라서, 성형시에 규제 수단(20)에서의 금형 분리를 불가능하게 만드는 언더컷(undercut)이 없다. 결과적으로, 금형용 가동 조립 코어나 정지 코어를 사용하거나, 또는 금형을 복잡하게 분할해서 특수 구조로 할 필요가 없다. 이를 통해서, 금형 관련 비용이 절감되며, 상당한 비용 감소가 이뤄진다. 또한, 규제 수단(20)은 용기 본체(1)로부터 필요에 따라 설치 및 제거될 수 있다. 용기 본체(1)가 세정 장치에 의해 세정될 때, 만약 규제 수단(20)이 용기 본체(1)로부터 제거된다면, 세정액의 순환에 대한 어떠한 방해도 없게 되는 것이며, 지지부(4)는 완전히 세정된다. 따라서, 물방울의 잔류가 상당히 억제되어 건조 시간의 단축을 통해 공정 작업 효율의 급격한 향상을 기대할 수 있다.

또한, 제거된 규제 수단(20)은 용기 본체(1)와는 별도로 세정이 가능하다. 그 뿐만 아니라, 규제 수단(20)은 선택적인 부분으로 사용될 수 있기에 손상시 교체가 용이하다. 또한, 지지 플레이트(21)가 U자형 단면 또는 수평 방향 U자형, 바꾸어 말하면, 결합용 홈을 구비함으로써, 규제 수단(20)은 용기 본체(1)의 삽입부(5)에 쉽게 설치 가능하다. 또한, 이들 제조의 단순화를 크게 기대할 수 있다. 결국, 삽입용 홈의 내부 주변부에는 스토퍼 돌출부 및 오목부가 필요에 따라 구비될 수 있다.

다음에, 도 8 및 도 9는 본 발명의 제 2 실시예를 도시하고 있다. 이러한 경우에, 각 접촉편(23)의 일부는 용기 본체(1)의 후방 방향으로 연장되고 정밀 기판(W)의 측면 주변부 및 인접하는 부분과 갭을 가로질러 부분적으로 중첩된다. 각 접촉편(23)의 바닥은 인접하는 정밀 기판(W)의 표면 방향에 면하는 이완 방지 수단(30)이 된다.

각 이완 방지 수단(30)은 지지부(4)로부터 0.1㎜ 내지 3㎜, 바람직하게는 1㎜ 내지 2㎜ 돌출되어 성형된다. 이완 방지 수단(30)의 바닥으로부터의 돌출 정도는 기판을 취득하는 로봇의 선단 암을 간섭하지 않는 높이로 설정된다.

이완 방지 수단이 용기 본체의 지지부에서 수납된 정밀 기판의 측면 주변부 및 인접하는 부분과 중첩됨에 따라서, 이들 중첩부는 정밀 기판의 비뚤어짐을 규제하기 위해 저면으로부터 지지한다. 또한, 탄성 아암의 강도와 중첩량을 임의로 크게 설정함으로써, 배면이 일반 실리콘 웨이퍼의 약 1/2 보다 작은 두께를 가지므로 대량의 비뚤어짐이 일어나기 쉬운, 배면 웨이퍼(back ground wafer)의 비뚤어짐을 적절하게 조절 가능하며, 따라서 이면 웨이퍼는 반송되어 용기 내부로 수납이 가능해진다.

다른 부분들은 상기 실시예와 동일함으로 설명을 생략한다.

다음에, 도 10 및 도 11은 본 발명의 제 3 실시예를 도시하고 있다. 이 경우에는, 각 접촉편(23)의 일부가 용기 본체(1)의 후방 방향으로 연장되어, 정밀 기판(W)의 측면 주변부 및 인접하는 부분과 갭을 가로질러 부분적으로 중첩된다. 각 접촉편(23)으로부터, 단면이 대략 반구형 또는 반타원구형인 이완 방지 돌출부인 이완 방지 수단(30)의 돌기로써 인접하는 정밀 기판(W)의 이완 방지 수단(30) 저면에 대해 수직 방향으로 돌출된다.

각 이완 방지 수단(30)은 지지부(4)의 저면 단부로부터 0.5㎜ 내지 3㎜, 바람직하게는 1㎜ 내지 2㎜로 돌출되어 성형되어 있다. 다른 부분들은 상기 실시예와 동일함으로 설명을 생략한다.

본 실시예에 의하면, 예를 들어, 용기 본체(1)가 세로로 위치되었다 하더라도, 정밀 기판(W)은 서로간의 접촉에 의해 발생 가능한 손상이 대단히 효과적으로 방지된다. 이점을 상세하게 설명하면, 정밀 기판이 자동 로딩 기계에 의해 취급될 때, 수평하게 위치한 용기 본체(1)로부터 수평한 정밀 기판을 취출하는 것이 편리하다. 그러나, 정밀 기판(W)을 검사하는 경우에는, 수직으로 위치한 용기 본체(1)로부터 수직인 정밀 기판(W)을 취출할 수도 있다. 이와 같은 경우에 용기 본체(1)의 전방 개구부가 상방향으로 위치되고 정밀 기판(W)이 수직으로 위치할 때, 정밀 기판(W)의 하부는 후방 리테이너(3)의 지지 홈 내면으로 조립된다. 그러나, 정밀 기판의 이동을 규제하는 전방 리테이너(17)가 전방 개구부에 없는 경우에는, 다수의 정밀 기판(W)은 지지부(4)에서 이완을 일으킬 수 있으며, 최악의 경우 정밀 기판(W)이 서로간에 접촉을 일으켜 손상될 수도 있다.

본 실시예에 따르면, 용기 본체(1)가 세로로 위치되었다 하더라도, 지지부(4)의 지지 홈의 내부의 다수의 정밀 기판(W)의 이완은 이완 방지 수단(30)의 접촉으로 억제되어 작아진다. 그러므로, 다수의 정밀 기판(W)이 경사 접촉하여 파손되는 것을 대단히 효과적으로 방지할 수 있다.

도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 정밀 기판용 수납 용기의 제 4 실시예를 도시하고 있다. 이 경우에는, 각 접촉편(23)의 하부는 정밀 기판의 반경방향으로 중첩되어 정밀 기판을 지지함으로써 정밀 기판이 비뚤어지지 않게 된다. 이 경우에, 중첩되는 접촉편의 팁 위치는 정밀 기판의 반경 범위의 60％ 내지 90％내에서 위치된다. 또한, 정밀 기판을 로딩 및 언로딩하는 반송 장치의 조작 암에 간섭받지 않기 위해서, 각 대향 접촉편의 팁 사이에서의 간격이 약 5㎜ 내지 30㎜ 정도로 정밀 기판의 반경보다 넓게 설정된다.

이 방법으로, 중첩된 접촉편에 의해서 정밀 기판의 저부를 지지함으로써, 정밀 기판의 비뚤어짐이 1/2 이하로 감소될 수 있으며 정밀 기판은 손상 없이 안전하게 반송될 수 있다.

특히, 배면을 구비하는 표면상에 형성된 배면 웨이퍼와 같은 정밀 기판의 반송에 있어서 얇은 두께의 반도체부품의 사양에 부합하게 하는 것이 효과적이다.

또한, 조립된 정밀 기판의 경우에는, 만약 정밀 기판의 저면이 본 발명의 지지부에 접촉된다 해도 문제될 것이 없으므로, 중첩부의 수평 높이는 정밀 기판에 대한 지지부의 지지위치와 대략 동일하게 설정될 수 있다.

또한, 이완 방지 수단은 상기 규제 수단에서와 같이 지지부의 저면으로부터 돌출되어 설치될 수도 있다. 다른 부분들은 상기 실시예와 동일하다.

또한, 상기 실시예에서, 삽입부(5)는 용기 본체(1)의 돌출부가 되어 오목부인 지지 플레이트(21)와 결합하는 구조가 된다. 그러나, 이러한 형태는 다른 모든 형태로 이뤄질 수 있다. 예를 들어, 하나 또는 다수의 오목부가 용기 본체(1)의 측벽 전방면에 배치되는 반면에 하나 또는 다수의 돌출부가 지지 플레이트(21)상에 배치되기도 하는 구조가 될 수도 있다. 이들 돌출부 및 오목부의 위치, 개수 및 형상 등은 임의로 증가 또는 감소될 수 있다. 또한, 지지 플레이트(21)는 고 강성 열가소성 수지를 사용하여 성형될 수도 있는 반면에 탄성 아암(22)과 접촉편(23)은 탄성의 열가소성 탄성중합체로 성형될 수도 있다. 또한, 덮개부(10)는 내부 표면 플레이트(11)와 외부 표면 플레이트(12)를 구비하는 대신에, 단일 플레이트로 성형될 수도 있다.

본 발명에 따르면, 언더 컷에 대항하는 수단을 가질 필요가 없으므로 금형에 관련된 비용 감소가 가능하다. 또한, 규제 수단은 용기 본체로부터 제거 가능하기 때문에, 예를 들면, 세정제와 같은 유체가 용기 본체 내부로 쉽게 순환되고 유입되어, 건조 공정 등의 공정 시간 단축을 달성한다.

Claims (5)

1. 용기 본체의 내부 양 측벽에, 정밀 기판을 수납하는 선반 형상의 지지부를 각각 마련하고, 해당 용기 본체내에, 개구면으로부터 해당 정밀 기판이 미끄러져 나오는 것을 규제하는 규제 수단을 설치한 정밀 기판 수납 용기에 있어서,

   상기 규제 수단이, 상기 용기 본체의 적어도 내부 일측벽의 개구면측에 착탈 가능하게 설치되는 지지 플레이트와, 이 지지 플레이트로부터 해당 용기 본체의 개구면과 반대측의 방향으로 신장되는 탄성 아암과, 이 탄성 아암의 자유 단부에 마련되어 상기 정밀 기판의 주연부에 대향하는 접촉편을 구비하며, 상기 탄성 아암의 접촉편의 하면의 각각이, 대향하는 지지부의 각각의 하단측에 인접하는 정밀 기판의 면방향으로 돌출하는 정밀 기판의 이완 방지 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는

   정밀 기판용 수납 용기.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 용기 본체의 적어도 하나의 내부 측벽에서의 개구면 또는 지지 플레이트 중 어느 하나에 오목부 또는 돌출부가 각각 형성되며, 상기 오목부와 돌출부는 서로 결합되는 것을 특징으로 하는

   정밀 기판용 수납 용기.
3. 삭제
4. 삭제
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 탄성 아암의 접촉편의 하면을 정밀 기판의 하면과 접촉 가능하게 신장한 것을 특징으로 하는

   정밀 기판용 수납 용기.

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