JPH10335440A - ウエハカセット - Google Patents
ウエハカセットInfo
- Publication number
- JPH10335440A JPH10335440A JP14159597A JP14159597A JPH10335440A JP H10335440 A JPH10335440 A JP H10335440A JP 14159597 A JP14159597 A JP 14159597A JP 14159597 A JP14159597 A JP 14159597A JP H10335440 A JPH10335440 A JP H10335440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- wafers
- opening
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大口径のウエハを搬送・保管する際に飛び出
しを防止すると共に、破損させることなく収容すること
ができ、しかも簡易な構造であるウエハカセットを提供
することを目的とする。 【解決手段】 ウエハ１３の出し入れのための開口を有
するカセット本体１１と、このカセット本体１１に対向
して設けられ、ウエハ１３を支持する一対の支持部１２
とを具備し、前記一対の支持部１２は、それぞれ開口側
に突起１４を有することを特徴としている。
しを防止すると共に、破損させることなく収容すること
ができ、しかも簡易な構造であるウエハカセットを提供
することを目的とする。 【解決手段】 ウエハ１３の出し入れのための開口を有
するカセット本体１１と、このカセット本体１１に対向
して設けられ、ウエハ１３を支持する一対の支持部１２
とを具備し、前記一対の支持部１２は、それぞれ開口側
に突起１４を有することを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の半導体ウエ
ハ（以下、ウエハと省略する）を収容するウエハカセッ
トに関する。
ハ（以下、ウエハと省略する）を収容するウエハカセッ
トに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ウエハは大口径化しており、現在
１２インチ（３００ｍｍ）のものが製造されてきてい
る。しかしながら、この大口径のウエハは、口径の増大
に対して厚さの増加が少ない。したがって、１２インチ
ウエハは、８インチ（２００ｍｍ）ウエハに比べて、重
量は増加するが強度は強くなっていない。すなわち、１
２インチウエハは、８インチウエハに比べて破損し易
い。
１２インチ（３００ｍｍ）のものが製造されてきてい
る。しかしながら、この大口径のウエハは、口径の増大
に対して厚さの増加が少ない。したがって、１２インチ
ウエハは、８インチ（２００ｍｍ）ウエハに比べて、重
量は増加するが強度は強くなっていない。すなわち、１
２インチウエハは、８インチウエハに比べて破損し易
い。
【０００３】このため、１２インチウエハを搬送する際
に、ウエハを立てた状態にしておくと、ウエハの自重や
搬送時と振動によりウエハの下端部が破損したり、歪ん
だりしてしまう。したがって、１２インチウエハの搬送
や保管においては、通常表面を水平にした状態でウエハ
カセットに収納する。
に、ウエハを立てた状態にしておくと、ウエハの自重や
搬送時と振動によりウエハの下端部が破損したり、歪ん
だりしてしまう。したがって、１２インチウエハの搬送
や保管においては、通常表面を水平にした状態でウエハ
カセットに収納する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】表面を水平にした状態
でウエハを搬送する場合には、ウエハカセットからウエ
ハが飛び出したり、発塵が問題となる。この対策とし
て、ポッド式カセットを用いることが行われている。
でウエハを搬送する場合には、ウエハカセットからウエ
ハが飛び出したり、発塵が問題となる。この対策とし
て、ポッド式カセットを用いることが行われている。
【０００５】このポッド式カセットは、図５に示すよう
に、箱型のポッドカセット本体２１の支持部２３に、表
面を水平にして複数のウエハ２４を収納させ、蓋２２で
密閉するものである。
に、箱型のポッドカセット本体２１の支持部２３に、表
面を水平にして複数のウエハ２４を収納させ、蓋２２で
密閉するものである。
【０００６】しかしながら、このポッド式カセットを用
いる場合には、必ず蓋２２を開けるオープナー機構が必
要となる。すなわち、カセットまたは装置にオープナー
機構を設ける必要がある。このため、カセットや装置が
複雑となり、コストも高くなるという問題がある。
いる場合には、必ず蓋２２を開けるオープナー機構が必
要となる。すなわち、カセットまたは装置にオープナー
機構を設ける必要がある。このため、カセットや装置が
複雑となり、コストも高くなるという問題がある。
【０００７】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、大口径のウエハを搬送・保管する際に飛び出しを
防止すると共に、破損させることなく収容することがで
き、しかも簡易な構造であるウエハカセットを提供する
ことを目的とする。
あり、大口径のウエハを搬送・保管する際に飛び出しを
防止すると共に、破損させることなく収容することがで
き、しかも簡易な構造であるウエハカセットを提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は以下の手段を講じた。すなわち、本発明は、
表面がほぼ平行となるように所定の間隔をおいて複数の
ウエハを収容するウエハカセットであって、ウエハの出
し入れのための開口を有するカセット本体と、このカセ
ット本体に対向して設けられ、ウエハを支持する一対の
支持部とを具備し、前記一対の支持部は、それぞれ開口
側に突起を有することを特徴とするウエハカセットを提
供する。
に本発明は以下の手段を講じた。すなわち、本発明は、
表面がほぼ平行となるように所定の間隔をおいて複数の
ウエハを収容するウエハカセットであって、ウエハの出
し入れのための開口を有するカセット本体と、このカセ
ット本体に対向して設けられ、ウエハを支持する一対の
支持部とを具備し、前記一対の支持部は、それぞれ開口
側に突起を有することを特徴とするウエハカセットを提
供する。
【０００９】この構成によれば、大口径のウエハであっ
てもその自重等により破損することを防止でき、しかも
搬送・保管中におけるウエハの飛び出しを十分に防止す
ることができる。また、上記構成によれば、蓋のような
部材を設ける必要がないので、簡易な構造となる。
てもその自重等により破損することを防止でき、しかも
搬送・保管中におけるウエハの飛び出しを十分に防止す
ることができる。また、上記構成によれば、蓋のような
部材を設ける必要がないので、簡易な構造となる。
【００１０】本発明においては、突起の少なくともウエ
ハと接触する部分は所定の曲率を有することが好まし
い。これにより、突起がウエハと接触しても、ウエハを
破損させることがなく、発塵を効果的に防止することが
できる。
ハと接触する部分は所定の曲率を有することが好まし
い。これにより、突起がウエハと接触しても、ウエハを
破損させることがなく、発塵を効果的に防止することが
できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明
のウエハカセットを示す斜視図である。ウエハカセット
１は、ウエハ出し入れたための開口を有するカセット本
体１１と、カセット本体１１の内部に設けられた支持部
１２とから主に構成されている。このウエハカセット
は、PEEK（ポリエーテルエーテルケトン）等の樹脂材料
で構成されている。
て、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明
のウエハカセットを示す斜視図である。ウエハカセット
１は、ウエハ出し入れたための開口を有するカセット本
体１１と、カセット本体１１の内部に設けられた支持部
１２とから主に構成されている。このウエハカセット
は、PEEK（ポリエーテルエーテルケトン）等の樹脂材料
で構成されている。
【００１２】カセット本体１１は、収容するウエハの大
きさよりも大きい寸法を有する略鉛板状の上板部１１ａ
と、上板部１１ａとほぼ同じ形状を有する下板部１１ｂ
と、上板部１１ａおよび下板部１１ｂを平行に保持する
側板部１１ｃとから構成されており、側板部１１ｃの間
で上記開口が区画されている。
きさよりも大きい寸法を有する略鉛板状の上板部１１ａ
と、上板部１１ａとほぼ同じ形状を有する下板部１１ｂ
と、上板部１１ａおよび下板部１１ｂを平行に保持する
側板部１１ｃとから構成されており、側板部１１ｃの間
で上記開口が区画されている。
【００１３】また、一対の側板部１１ｃの内壁面には、
それぞれ複数の支持部１２が設けられており、図２に示
すように、対面する支持部１２で１枚のウエハ１３をそ
の表面が水平になるように支持するようになっている。
したがって、複数のウエハをその表面を水平にして、し
かも所定の間隔をおいて積層するようにして支持するよ
うに構成されている。
それぞれ複数の支持部１２が設けられており、図２に示
すように、対面する支持部１２で１枚のウエハ１３をそ
の表面が水平になるように支持するようになっている。
したがって、複数のウエハをその表面を水平にして、し
かも所定の間隔をおいて積層するようにして支持するよ
うに構成されている。
【００１４】支持部１２の開口側の先端には、図３およ
び図４に示すように、突起１４が設けられている。この
突起１４は、角部が曲率を有するＲ部１４ａである略矩
形状である。Ｒ部１４ａの曲率は、ウエハが接触したと
きにウエハに損傷を与えない範囲で、突起１４の高さや
支持部１２の長さを考慮して適宜設定することができる
が、４〜５ｍｍであることが好ましい。
び図４に示すように、突起１４が設けられている。この
突起１４は、角部が曲率を有するＲ部１４ａである略矩
形状である。Ｒ部１４ａの曲率は、ウエハが接触したと
きにウエハに損傷を与えない範囲で、突起１４の高さや
支持部１２の長さを考慮して適宜設定することができる
が、４〜５ｍｍであることが好ましい。
【００１５】また、この突起１４の高さとしては、少な
くとも支持するウエハ１３の厚さの５０％あることが好
ましい。突起１４の高さの上限は、特にないが、突起１
４を設けることにより、ウエハの出し入れのためにウエ
ハ間の間隔を広く取る必要がある。このため、１つのウ
エハカセットに収容できるウエハの枚数が少なくなるの
で、このことを考慮すると、ウエハピッチは１３ｍｍ程
度にすることが望ましい。
くとも支持するウエハ１３の厚さの５０％あることが好
ましい。突起１４の高さの上限は、特にないが、突起１
４を設けることにより、ウエハの出し入れのためにウエ
ハ間の間隔を広く取る必要がある。このため、１つのウ
エハカセットに収容できるウエハの枚数が少なくなるの
で、このことを考慮すると、ウエハピッチは１３ｍｍ程
度にすることが望ましい。
【００１６】また、側板部１１ｃの内壁面から支持部１
２の先端までの距離は、ウエハの飛び出し防止、震動防
止等を考慮すると、ウエハ幅の１５〜２０％であること
が好ましい。
２の先端までの距離は、ウエハの飛び出し防止、震動防
止等を考慮すると、ウエハ幅の１５〜２０％であること
が好ましい。
【００１７】さらに、支持部１２は、大口径のウエハを
支持することを考慮して、根元（ウエハ本体の側板部１
１ｃ側）を太くすることが好ましい。具体的には、支持
部１２の突起１４以外の部分よりも根元部分が２０〜３
０％程度太いことが望ましい。
支持することを考慮して、根元（ウエハ本体の側板部１
１ｃ側）を太くすることが好ましい。具体的には、支持
部１２の突起１４以外の部分よりも根元部分が２０〜３
０％程度太いことが望ましい。
【００１８】上記構成を有するウエハカセットに対して
ウエハの出し入れを行う場合、ウエハを搬送アームで把
持した状態で搬送アームを上板部１１ａの下面もしくは
支持部１２の下面と支持部１２の突起１４の頂部との間
の位置まで昇降させる。次いで、ウエハを把持した搬送
アームを上板部１１ａの下面もしくは支持部１２の下面
と支持部１２の突起１４の頂部との間に挿入する。その
後、搬送アームを僅かに、ほぼ突起１４の高さ分だけ下
降させてウエハを支持部１２に支持させる。
ウエハの出し入れを行う場合、ウエハを搬送アームで把
持した状態で搬送アームを上板部１１ａの下面もしくは
支持部１２の下面と支持部１２の突起１４の頂部との間
の位置まで昇降させる。次いで、ウエハを把持した搬送
アームを上板部１１ａの下面もしくは支持部１２の下面
と支持部１２の突起１４の頂部との間に挿入する。その
後、搬送アームを僅かに、ほぼ突起１４の高さ分だけ下
降させてウエハを支持部１２に支持させる。
【００１９】また、ウエハカセットからウエハを取り出
す場合には、搬送アームをウエハ間に挿入し、僅かに上
昇させて搬送アームでウエハを把持し、さらに搬送アー
ムを突起１４の頂部より上に上昇させる。次いで、ウエ
ハを把持した状態で搬送アームをウエハカセットから取
り出す。
す場合には、搬送アームをウエハ間に挿入し、僅かに上
昇させて搬送アームでウエハを把持し、さらに搬送アー
ムを突起１４の頂部より上に上昇させる。次いで、ウエ
ハを把持した状態で搬送アームをウエハカセットから取
り出す。
【００２０】このウエハカセットは、複数のウエハを収
容した状態で搬送され、保管される。この場合、搬送・
保管中の振動等により支持部１２で支持されたウエハの
位置が変わっても、突起１４があるために、突起１４が
ストッパとなってウエハカセットの開口から飛び出すこ
とがない。また、このウエハカセットは、ウエハの表面
を水平にして支持するので、大口径のウエハであっても
その自重等により破損することも防止することができ
る。
容した状態で搬送され、保管される。この場合、搬送・
保管中の振動等により支持部１２で支持されたウエハの
位置が変わっても、突起１４があるために、突起１４が
ストッパとなってウエハカセットの開口から飛び出すこ
とがない。また、このウエハカセットは、ウエハの表面
を水平にして支持するので、大口径のウエハであっても
その自重等により破損することも防止することができ
る。
【００２１】さらに、このウエハカセットは、蓋を用い
ていないので、簡易な構成であり、低コストにすること
ができる。また、蓋の開閉の際に発生するパーティクル
等の問題も回避することができる。
ていないので、簡易な構成であり、低コストにすること
ができる。また、蓋の開閉の際に発生するパーティクル
等の問題も回避することができる。
【００２２】上記実施形態によれば、支持部１２の突起
１４が支持部１２に一体として設けられている場合につ
いて説明しているが、本発明においては、突起１４は支
持部１２に対して別体で設けても良い。この場合、突起
１４をゴムや軟質樹脂等の弾性材料で構成しても良い。
１４が支持部１２に一体として設けられている場合につ
いて説明しているが、本発明においては、突起１４は支
持部１２に対して別体で設けても良い。この場合、突起
１４をゴムや軟質樹脂等の弾性材料で構成しても良い。
【００２３】上記実施形態においては、支持部１２の突
起１４は、４つの角部がＲ部である場合について説明し
ているが、本発明においては、少なくともウエハと接触
する部分が曲率を有していれば良い。
起１４は、４つの角部がＲ部である場合について説明し
ているが、本発明においては、少なくともウエハと接触
する部分が曲率を有していれば良い。
【００２４】本発明のウエハカセットは、半導体ウエハ
を収納する場合だけでなく、広く板状の基板を収納する
場合にも適用することができる。
を収納する場合だけでなく、広く板状の基板を収納する
場合にも適用することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明のウエハカセ
ットは、ウエハを支持する一対の支持部がそれぞれ開口
側に突起を有するので、大口径のウエハを搬送・保管す
る際に飛び出させることなく、また破損させることなく
収容することができ、しかも簡易な構造である。
ットは、ウエハを支持する一対の支持部がそれぞれ開口
側に突起を有するので、大口径のウエハを搬送・保管す
る際に飛び出させることなく、また破損させることなく
収容することができ、しかも簡易な構造である。
【図１】本発明のウエハカセットを示す斜視図である。
【図２】本発明のウエハカセットを示す正面図である。
【図３】本発明のウエハカセットの支持部を示す拡大図
である。
である。
【図４】本発明のウエハカセットにおいてウエハを支持
した状態を示す図である。
した状態を示す図である。
【図５】従来のウエハカセットを示す斜視図である。
１…ウエハカセット、１１…カセット本体、１１ａ…上
板部、１１ｂ…下板部、１１ｃ…側板部、１２…支持
部、１３…ウエハ、１４…突起、１４ａ…Ｒ部。
板部、１１ｂ…下板部、１１ｃ…側板部、１２…支持
部、１３…ウエハ、１４…突起、１４ａ…Ｒ部。
Claims (2)
- 【請求項１】 表面がほぼ平行となるように所定の間隔
をおいて複数のウエハを収容するウエハカセットであっ
て、ウエハの出し入れのための開口を有するカセット本
体と、このカセット本体に対向して設けられ、ウエハを
支持する一対の支持部とを具備し、前記一対の支持部
は、それぞれ開口側に突起を有することを特徴とするウ
エハカセット。 - 【請求項２】 前記突起の少なくともウエハと接触する
部分は所定の曲率を有することを特徴とする請求項１に
記載のウエハカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159597A JPH10335440A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | ウエハカセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159597A JPH10335440A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | ウエハカセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10335440A true JPH10335440A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15295671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14159597A Pending JPH10335440A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | ウエハカセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10335440A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007115785A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Oki Electric Ind Co Ltd | 薄板用支持容器 |
| KR100809183B1 (ko) * | 2000-09-27 | 2008-02-29 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 정밀 기판용 수납 용기 |
| WO2010084785A1 (ja) * | 2009-01-26 | 2010-07-29 | 平田機工株式会社 | ワーク搬入出装置及びワーク貯留システム |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP14159597A patent/JPH10335440A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100809183B1 (ko) * | 2000-09-27 | 2008-02-29 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 정밀 기판용 수납 용기 |
| JP2007115785A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Oki Electric Ind Co Ltd | 薄板用支持容器 |
| WO2010084785A1 (ja) * | 2009-01-26 | 2010-07-29 | 平田機工株式会社 | ワーク搬入出装置及びワーク貯留システム |
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