JPWO2005044694A1

JPWO2005044694A1 - 基板搬送用トレイ

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Inventors: 吉澤　武徳; 武徳吉澤
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Filing date: 2004-10-29
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Abstract

基板（２）を水平に載置するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、前記基板搬送用トレイ（１）は、複数個積み重ねたときに、前記基板搬送用トレイ（１）の上方に配置される基板搬送用トレイ（１）と接触する上方接触部と、下方に配置される基板搬送用トレイ（１）と接触する下方接触部とを備え、前記上方接触部及び前記下方接触部の形状が、前記基板搬送用トレイの上方に他の基板搬送用トレイを載置したときに、前記他の基板搬送用トレイの重心が前記基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に前記他の基板搬送用トレイ（１）を移動させるように形成されている。撓むことで被積載物同士が接触して破損する恐れがないとともに、安定して積み重ねることができる基板搬送用トレイを実現することができる。

Description

本発明は、被積載物を積載するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイに関するものである。

ディスプレイパネル等に用いる基板を複数枚同時に運搬しようとする場合、図２７に示す運搬装置を用いて運搬するのが一般的である。図２７に示す運搬装置は、発泡ポリプロピレン等の材料からなる直方体状の梱包材２０１に、縦穴２０３を設けて有底角筒状とし、縦穴２０３の内壁に収納する基板の数より一つ少ないリブ２０５を設けて縦穴２０３を仕切って溝２０４を基板の枚数分形成し、その溝２０４に基板２０２を一枚ずつ嵌めて収納するようになっており、これを用いて運搬することにより、複数枚の基板を同時に運搬することができる。

また、日本国公開特許公報「特開平１０−２８７３８２号公報」（１９９８年１０月２７日公開）には、基板搬送用トレイに基板を載置し、この基板搬送用トレイ同士を積み重ねることによって複数枚の基板を積み重ね可能な構成が開示されている。この特開平１０−２８７３８２号公報においては、基板搬送用トレイの四辺に形成された鉛直な側面を有する枠の四隅上方に、一部が枠の側面と平行にオフセットされた凹部を設けるとともに、該凹部を設けた箇所の鉛直下方に該凹部と嵌め込み可能な突起部を設けて形成されており、複数の基板搬送用トレイを重ねるときには、上側に配置される基板搬送用トレイの突起部が、下側に配置される基板搬送用トレイの凹部に嵌り込むことにより、複数個の基板搬送用トレイが積み重ね可能になっている。

しかし、縦穴の溝に基板を一枚ずつ嵌める搬送装置では、基板は、端がリブ２０５で保持されているだけであり、中央部はどこにも保持されていない。その結果、大面積のディスプレイパネルの基板の場合、基板が撓んで、基板の中央部が他の基板の中央部に接触して破損する恐れがあるという課題があった。

また、上記特開平１０−２８７３８２号公報の基板搬送用トレイでは、凹部外側面と突起部内側面との間には、製造誤差及び嵌めあいを考慮した余裕が必要である。これは、このような余裕がないと、積み重ねた際に上側に配置される基板搬送用トレイが大きめに製造され下側に配置される基板搬送用トレイが小さめに製造された場合、上側の基板搬送用トレイが下側の基板搬送用トレイにうまく嵌らず、下側の基板搬送用トレイの上に乗り上げてしまうからである。

しかし、このような余裕があると例えば３０段と言ったように多数段積み重ねた場合には新たな課題が発生する。すなわち、複数の基板搬送用トレイを積み重ねたとき、横から見て若干左に寄って積まれたものや、若干右に寄って積まれたものなどが有り得るため、多数段重ねた状態では左右に寄って積まれたものが混在して全体として波打ったような形状となる場合や、ほとんどが左（あるいは右）に寄った状態で積まれ、全体として左（あるいは右）に傾いた形状となる場合があり、安定した積載状態とはならない。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板が撓むことで基板同士が接触して破損する恐れがないとともに、安定して積み重ねることができる基板搬送用トレイを実現することにある。

上記目的を達成するために、本発明に係る基板搬送用トレイは、基板を水平に載置するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、前記基板搬送用トレイは、複数個積み重ねたときに、前記基板搬送用トレイの上方に配置される基板搬送用トレイと接触する上方接触部と、下方に配置される基板搬送用トレイと接触する下方接触部とを備え、前記上方接触部及び前記下方接触部の形状が、前記基板搬送用トレイの上方に他の基板搬送用トレイを載置したときに、前記他の基板搬送用トレイの重心が前記基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に前記他の基板搬送用トレイを移動させるように形成されていることを特徴としている。

この構成によれば、基板搬送用トレイの上方に他の基板搬送用トレイを載置したときに、上側の基板搬送用トレイの重心が下側の基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に上側の基板搬送用トレイが移動するので、基板搬送用トレイを積み重ねたときに、基板搬送用トレイが垂直方向に略直線状に揃うことになる。

それゆえ、基板が撓むことで基板同士が接触して破損する恐れがないとともに、安定して積み重ねることができる。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、基板を積載するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、前記基板搬送用トレイは、複数個積み重ねたときに、前記基板搬送用トレイの上方に載置される基板搬送用トレイと接触する上方接触部と、下方に載置される基板搬送用トレイと接触する下方接触部とを備え、前記上方接触部は、基板搬送用トレイの内側に向かう方向又は基板搬送用トレイの外側に向かう方向が低くなるように傾斜した上方傾斜部を備え、前記下方接触部は、前記上方傾斜部の傾斜方向と同方向に傾斜した下方傾斜部を備えていることを特徴としている。

なお、ここでいう傾斜とは、直線状のものに限られず、曲線状のものも含むものとする。

この構成によれば、同形状のトレイを積み重ねれば、基板搬送用トレイを積み重ねたときに、基板搬送用トレイが垂直方向に略直線状に揃うことになるため好適である。

当接領域である上方接触部・下方接触部は、基板搬送用トレイを積み重ねたときに互いに当接する部位であればよく、被積載物の形状に応じて決めればよい。例えば被積載物がディスプレイパネルの基板のように大面積のものであって、基板搬送用トレイの底面を目一杯使って一枚の被積載物を置くような場合、当接領域は、基板搬送用トレイの周縁部とすることができる。

当接領域の上下側における全面が斜面形状になっていてもよいし、当接領域の上下側における外側方向または中央方向の一方の端部を含む部位のみ斜面形状で、他方の端部を含む部位は水平な面になっていてもよい。

この構成によっても、上側の基板搬送用トレイは、下側の基板搬送用トレイの斜面形状に沿って、下側の基板搬送用トレイの上を滑り降り、基板搬送用トレイの水平方向における中心位置が両基板搬送用トレイ同士で一致する位置で止まる。したがって、基板搬送用トレイが左右に波打ったり一方に曲がったりするのを防ぐことができ、まっすぐに基板搬送用トレイを積み重ねることができる。それゆえ、基板搬送用トレイ同士を安定して積み重ねることができる。

なお、本発明に係る基板搬送用トレイは、被積載物を積載するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、基板搬送用トレイの各部において、基板搬送用トレイを水平面に置いたときに基板搬送用トレイの中央に向かう向きを中央方向、基板搬送用トレイの外側に向かう向きを外側方向と称し、中央方向または外側方向のいずれか一方をＢ方向とするとき、基板搬送用トレイの、上記被積載物が積載されない領域であって、基板搬送用トレイを積み重ねたときに基板搬送用トレイ同士で当接し合う当接領域の上方側の面の少なくとも一部に、Ｂ方向側が低い斜面が形成され、上記当接領域の下方側の面に、積み重ねで下に位置する他の基板搬送用トレイの当接領域の上方側の面に嵌るような斜面が形成されているように構成することもできる。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、上記の構成に加えて、前記上方接触部及び前記下方接触部は基板搬送用トレイの周縁に配置されているように構成することができる。

被積載物がディスプレイパネルの基板のように大面積のものであって、基板搬送用トレイの底面を目一杯使って一枚の被積載物を置くような場合、前記上方接触部及び前記下方接触部は基板搬送用トレイの周縁部とすることで、基板の載置箇所を広く取ることが可能である。また、多段に載置したときに安定しやすい。

このような周縁部を当接領域である上方接触部及び前記下方接触部として利用することにより、別途当接領域のような形状部を新たに設ける必要がないので、構造がより簡単になる。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、上記の構成に加えて、前記上方傾斜部は前記上方接触部の上面全体に形成されており、前記下方傾斜部は下方接触部の下面全体に形成されているように構成することができる。

この構成によれば、上方に載置される基板搬送用トレイの載置ずれが大きい場合であっても、このずれを補正することが可能である。すなわち、すべて斜面になっていることにより、基板搬送用トレイを積み重ねたときのずれが比較的大きくても基板搬送用トレイの重量により自然と本来の積み位置へと移動しやすい。

なお、上記当接領域の上方側の面全面が斜面形状であり、上記当接領域の下方側の面全面が、積み重ねで下に位置する他の基板搬送用トレイの当接領域の上方側の上記斜面形状に嵌るような斜面形状になっているように構成することもできる。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、上記の構成に加えて、前記上方傾斜部は前記上方接触部の上面の外側又は内側のいずれか一方端を含む部位に配置されており、前記下方傾斜部は前記下方接触部のうち、前記上方傾斜部の配置されている端に対応する端を含む部位に形成されているように構成することができる。

上記の構成によれば、積み重ねられた基板搬送用トレイの重量を、水平面部によってより強く支えることができる。

なお、上記当接領域の上下側における外側方向および中央方向のうちの一方の端部を含む部位のみ斜面形状であり、他方の端部を含む部位は水平な面になっているように構成することもできる。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、上記の構成に加えて、前記上方傾斜部及び前記下方傾斜部の一方又は双方が平面状の傾斜であるように構成することができる。

上記の構成によれば、上側の基板搬送用トレイが、スムーズに下側の基板搬送用トレイへと落ちていく。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、上記の構成に加えて、前記上方傾斜部及び前記下方傾斜部の一方又は双方が、下方に向かうほど勾配が緩やかになる曲面状の傾斜であるように構成することができる。

上記の構成によれば、上側の基板搬送用トレイが、下側の基板搬送用トレイへと落ちていく際に、止まるべき位置に近づくと減速することができ、より静かに定位置へと収めることができる。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、上記の構成に加えて、前記上方傾斜部と前記下方傾斜部の形状が、それぞれが当接する部分において合同であるように構成することができる。

上記の構成によれば、基板搬送用トレイを積み重ねるときに、水平面内では、基板搬送用トレイの向きを考えなくても、上下の基板搬送用トレイ間で傾斜の線同士が一致し、好適に積み重ねることができるので、その分、処理を簡単にすることができる。

また、本発明に係る基板搬送用トレイは、上記の構成に加えて、前記基板搬送用トレイは、該基板搬送用トレイを掴むためのチャックに係合させるための突起を、周縁の外周面から外側に向かって突出形成されているとともに、前記外周面は、前記基板搬送用トレイを水平配置した際に鉛直となる方向に平面状に形成されており、前記上方接触部及び前記下方接触部は前記外周面よりも中央側に形成されているように構成することができる。

これは例えば、アルミ枠等の当接領域の外側には基板搬送用トレイの保持部としての突起以外の余計な「はみ出し」がないということである。そのため、例えば積み重ねた状態の基板搬送用トレイの横から基板搬送用トレイ運搬装置のチャックを各基板搬送用トレイの保持部としての突起に引っかけて基板搬送用トレイを運搬しようとするときに、チャックが上記のようにはみ出した部位を誤って引っかけてしまう恐れがない。そのため、よりスムーズに基板搬送用トレイを運搬することができる。

なお、上記当接領域の、外側方向の側面は、基板搬送用トレイを積み重ねたときに積み重ねられている基板搬送用トレイの当接領域の外側方向の側面との境界では突起のない平面形状であるように構成することもできる。

本発明によれば、基板搬送用トレイの上方に他の基板搬送用トレイを載置したときに、上側の基板搬送用トレイの重心が下側の基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に上側の基板搬送用トレイが移動するので、基板搬送用トレイを積み重ねたときに、基板搬送用トレイが垂直方向に略直線状に揃うことになる。それゆえ、基板が撓むことで基板同士が接触して破損する恐れがないとともに、安定して積み重ねることができる。

本発明のさらに他の目的、特徴、および優れた点は、以下に示す記載によって十分わかるであろう。また、本発明の利益は、添付図面を参照した次の説明で明白になるであろう。

本発明の実施形態を示すものであり、基板搬送用トレイの構成を概略的に示す断面斜視図である。本発明の実施形態を示すものであり、基板搬送用トレイを水平に置いた状態で鉛直上方から見た構成を概略的に示す平面図である。基板搬送用トレイを積み重ねた構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイを積み重ねた構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイを積み重ねて基板搬送用トレイ運搬装置で運搬する様子を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイを積み重ねて基板搬送用トレイ運搬装置で運搬する様子を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を示す概略的に断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を示す概略的に断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を示す概略的に断面図である。基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。比較となる基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。比較となる基板搬送用トレイの要部構成を概略的に示す断面図である。比較となる基板搬送用トレイを積み重ねた構成を概略的に示す断面図である。比較となる基板搬送用トレイを積み重ねた構成を概略的に示す断面図である。比較となる基板搬送用トレイを積み重ねて基板搬送用トレイ運搬装置で運搬する様子を概略的に示す断面図である。従来技術を示すものであり、基板を入れて運ぶための梱包材の要部構成を概略的に示す斜視図である。

本発明の一実施形態について図１（ａ）ないし図２６に基づいて説明すると以下の通りである。

図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、基板搬送用トレイ１は、被積載物として例えば液晶ディスプレイパネル等用のガラス基板２（以下、単に基板２と記載する）を積載するものである。図１（ａ）は、基板搬送用トレイ１に基板２を載せた状態でちょうど中央で鉛直方向に切った断面、すなわち図１（ｂ）におけるＡ−Ａ矢視断面にかかる斜視図であり、図１（ｂ）は基板２を基板搬送用トレイ１に載置した状態における上面図を示している。

ここでの説明においては、基板６を水平に載置する状態を基準とし、基盤６は基板搬送用トレイ１の上方に載置されるものとして説明を行うものとする。従って、図１（ａ）においては、紙面に向かって上方となる方向が上であり、下方となる方向が下である。図１（ｂ）は上面図であるので、紙面に向かって上下方向が奥行き方向であり、左右方向が幅方向となる。

基板搬送用トレイ１は、枠４と、枠４の中央側に保持され、かつ基板２を載置する台としての機能を有する載置台６とを有している。

載置台６は、基板を載置する平板に、基板の外周よりも少し大きい内周を有する断面が長方形状の枠部６ｂを有して形成されている。平板の枠部６ｂを配置する側の面を上面とし、上面とは反対側の面を下面と称し、平板の上面のうち枠６ｂの外側となる箇所を外側部６ａ、内側となる箇所を内側部６ｃと称するとすれば、内側部６ｃの上に基板２が載置される。この枠部６ｂは、基板搬送用トレイ１が揺れたりしても基板２がこの枠部６ｂに当たることで、基板２がずり落ちたり、枠４に直接当たってその衝撃で壊れたりしないように設けられている。そのため、載置台６は、衝撃を吸収できるような素材、例えば発泡ポリエチレンなどから形成される。なお、外側部６ａは、枠４に固定される部分である。

枠４は、載置台６の外周を囲繞する形状に形成されるもので、枠本体１１と、枠本体１１の内周面１１ｃから内側向きに突設した一対の平板上のリブである上側固定部１２・下側固定部１３と、枠本体１１の外側面１１ｄから外側向きに突設した鍔部１４とを有している。

枠本体１１は、図２に示すように基板搬送用トレイ同士を積み重ねたときに、上方に載置される基板搬送用トレイと当接し合う当接領域である上方接触部１１ａ、１１ｉ、及び下方に配置される基板搬送用トレイと当接し合う当接領域である下方接触部１１ｂ、１１ｊを有している。そして、上方接触部１１ａ、１１ｉの形状は、外周から内周に向かって鉛直方向の高さが低くなるよう傾斜が設けられており、下方接触部１１ｂ、１１ｊの形状は、外周から内周にむかって鉛直方向の高さが低くなるよう傾斜が設けられている。本実施形態においては、この傾斜は同一の斜度に形成されており、上方接触部と下方接触部の幅も同一に形成されているため、上方接触部と下方接触部の傾斜形状は合同である。

ここで、上方接触部１１ａ、１１ｉに設けられた傾斜部分を上方傾斜部、下方接触部１１ｂ、１１ｊに設けられた傾斜部分を下方傾斜部と称すると、上方傾斜部と下方傾斜部とは、同一の方向の勾配を有する傾斜として形成されていることになる。

なお、本実施例では、上方接触部１１ａ、１１ｉと下方接触部１１ｂ、１１ｊの全面に傾斜が設けられているため、上方接触部１１ａ、１１ｉと上方傾斜部とは同じ箇所を、下方接触部１１ｂ、１１ｊと下方傾斜部とは同じ箇所を示すことになるが、傾斜が全面に設けられていない場合には、異なる箇所を示すことになる。

上側固定部１２・下側固定部１３は、載置台６を挟み込むことができる程度に離間して形成されており、その間に載置台６を挟持することで載置台６の周囲を支持している。

鍔部１４は、基板搬送用トレイ１全体を持ち上げる際に、後述する基板搬送用トレイ運搬装置８８のチャック８９（図４参照）により係合される部分であり、本実施形態においては、枠本体１１の外側面１１ｄ全域から水平方向に同一厚みを有する平板状に延設されたものを例として示している。しかし、その形状はこれに限られるものではなく、チャック８９の形状により適宜その形状は選択される。例えば、チャックが予め決められた対向辺と係合する場合には、枠本体１１の外側面１１ｄのうちでその対向辺（例えば辺１１ｇ・１１ｈ）にのみ設けられていてもよく、チャック８９に安定して支持できるのであれば、その他の形状であっても良い。

枠本体１１の外側面１１ｄは、鍔部１４が設けられている以外は、鉛直方向に伸びる平面状とし、はみ出しや窪みが無いように設けることが望ましい。このように、はみ出しや窪みが無いように設けられていることにより、チャック８９に基板搬送用トレイ１を係合させ持ち上げるときに、はみ出しや窪みをチャック８９がつかむことがなく、安定して基板搬送用トレイ運搬装置８８を動作させることができる。

鍔部１４は、上述の通り、基板搬送用トレイ１を掴むためのチャックに係合させるための突起（カセット掴み部）である。また、上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触部１１ｂ、１１ｊは、上側固定部１２・下側固定部１３にて載置台６の位置決めを行う役割を持つ位置決め部である。そして本形態では、カセット掴み部である鍔部１４と、位置決め部である上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触部１１ｂ、１１ｊとが、互いに異なる部分となっている。この結果、カセット掴み部と位置決め部とが同じ部分であるように構成した場合と異なり、チャックによるトレイ掴み時に基板搬送用トレイ１の荷重によりカセット掴み部が力を受けても、位置決め部はその力を受けずに済む。したがって、その分、基板搬送用トレイ１の変形や、載置台６の位置決め精度の悪化等を抑えることができる。

以上に示した基板搬送用トレイ１を図２に示すように複数段積み重ねると、上に位置する基板搬送用トレイ１ａの下方接触部１１ｂ、１１ｊは、基板搬送用トレイ１ｂの上方接触部１１ａの斜面形状に嵌ることになる。基板搬送用トレイ１ｂとその下の基板搬送用トレイ１ｃとについても同様である。それにより、基板搬送用トレイ１ａが基板搬送用トレイ１ｂ上に載置されるときに、多少位置がずれたとしても、斜面における重力の作用により基板搬送用トレイ１ａ及び基板搬送用トレイ１ｂの重心が鉛直線上に揃う方向に基板搬送用トレイ１ａが移動する。従って、基板搬送用トレイ１を複数段重ねても各段において水平方向の位置が自動的に揃うことになる。これにより、基板搬送用トレイ１を例えば５０段といったように多数段積み重ねたとしても、鉛直方向に不揃いとなることがない。

図３は、基板搬送用トレイ１を何段も積み重ねた状態を示している。なお、図３では載置台６部分の構造は簡略化して描いている。最下段の基板搬送用トレイ１は、上方接触部と同様の形状をした接触部を上面に備えた土台２１に載せることで安定する。また、液晶表示装置用等のガラス基板は塵埃の混入を避けることが望ましいため、最上段の基板搬送用トレイ１の上に、下方接触部と同様の形状をした接触部を有する蓋２２を置いている。この蓋２２の作用により塵埃の混入を防止することができる。

このような基板搬送用トレイ１は、図４に示すように基板搬送トレイ運搬装置８８により他の装置へと運搬される。基板搬送用トレイ運搬装置８８には、基板搬送用トレイ１の幅よりも広い幅離間した状態に配置された一対のアーム８７、８７と、該一対のアーム８７、８７の内側面に設けられ、基板搬送トレイ１を複数段重ねたときに隣り合う基板搬送トレイの鍔部１４の間隔と同等の間隔を有するチャック８９とを備えて形成される。

一対のアーム８７、８７は、基板搬送用トレイ１の幅方向に駆動自在に設けられており、その間隔を適宜変更することができるものである。その動作は、まず、チャック８９の内側端が鍔部１４に接触しない間隔となるよう一対のアーム８７、８７の間隔を広げ、多段に積み重ねられた基板搬送用トレイ上方から下方に向かって下降し、基板搬送用トレイの外側に配置するようにする。次に、一対のアーム８７、８７の間隔を小さくして鍔部１４の下方にチャック８９の内側端が配置されるように移動させ、チャック８９を鍔部１４に係合可能とする。そして、一対のアーム８７、８７を上昇し、チャック８９が鍔部１４に係合した状態とし基板搬送用トレイ１を持ち上げる。このようにして、基板搬送用トレイ運搬装置は基板搬送用トレイを運搬する。

上記の基板搬送用トレイ１の比較対象となる例（以下、比較例と称する）について図２２から図２６を用いて述べる。比較例は、基板搬送用トレイ１と同様に被積載物として例えば液晶ディスプレイパネル等用の基板２を積載するものである。

比較例にかかる基板搬送用トレイ１００は、図２２に示すように、枠本体１０１の上方接触部及び下方接触部が水平に形成されている。そして、基板搬送用トレイを複数積み重ねる際に上方に載置される基板搬送用トレイが滑りおちないようにするための枠状突起１０２が上方接触部の外側上端に設けられ、さらには、枠本体１０１の外側面から外側に向かって鍔部１０１ｄが設けられている。

枠状突起１０２は、基板搬送用トレイの枠本体１０１の上端部から、枠本体１０１の外側面よりも外側へ向かって水平に延設された上端外側延設部としての突起１０１ｂと、突起１０１ｂの外側端から上方に向かって鉛直に延設された突起１０１ｃとから形成されている。

突起１０１ｂ及び突起１０１ｃはいずれも枠本体１０１の上端外側に全周に亘って延設されるもので、突起１０１ｃの内側面は枠本体１０１の下端部の外側面よりも外側となるように形成される。そのため、基板搬送用トレイ１００を複数段重ねたときに、上方に配置される基板搬送用トレイ１００の枠本体１０１の下端部を、枠本体１０１の上端側の内側に嵌め込むことができる。なお、この嵌め込みが固いと取り外し難くなり、さらには製造誤差が大きい場合には、上側の基板搬送用トレイを下側の基板搬送用トレイに載せたときに上側の基板搬送用トレイが端面１０１ｃの面に乗り上げる恐れがあるため、上端側の内側面と上方に載置される基板搬送用トレイの下端側の外側面との間にはある程度以上の余裕をもって形成されている。この様子を図２３に示す。図２３において、ｄは上方に配置される基板搬送用トレイ１００の枠本体１０１の下端側と、枠本体１０１の上端側の内側との間の距離（上記に云う余裕に該当する。）を示している。

なお、図２２から図２６に記載する比較例にかかる基板搬送用トレイ１００においても、本実施の形態について説明した上側固定部１２・下側固定部１３（図１（ａ）および図１（ｂ）参照）に相当するものが存在するが、図示を省略している。また、基板２や載置台６の形状は図１（ａ）および図１（ｂ）と同一である。また、図２４、図２５、図２６では載置台６部分の構造は簡略化して描いているが、特に図２２に記載されるものと変わるものではない。

上記のとおり、上端側の内側面と上方に載置される基板搬送用トレイの下端側の外側面との間にはある程度以上の余裕が必要であるが、何段も基板搬送用トレイを積んだときには、この余裕が問題を生じることになる。すなわち、余裕があるために、上方に載置された基板搬送用トレイ１００はその余裕分だけ自由に動くことができるため、各段毎にずれを生じることとなる。

多段積みにした場合においては、図２４に示すように、このずれが蓄積され、最上段付近の基板搬送用トレイと最下段付近の基板搬送用トレイとでは横方向の位置に大きなずれが生じたり、図２５に示すように、最下段から最上段に至る間に基板搬送用トレイが横方向に波打ったように曲がりくねって積まれたりし、基板搬送用トレイがまっすぐ積まれないことになる。そのため、何段も基板搬送用トレイ１００を積んだときの全体の安定性が悪い。

また、上記の構成では、図２６に示すように、基板搬送用トレイ運搬装置８８のチャック８９により基板搬送用トレイ１００を上昇させるとき、チャック８９が鍔部１０１ｄに十分係合せずに基板搬送用トレイが上昇されない場合や、チャック８９の一方が枠本体１０１の外側面より外側に突出している突起１０１ｂの下端面を掴み、傾いた状態で基板搬送用トレイ１００を上昇させる場合等があり、運搬不良となる。

これに対し、本実施の形態に係る構成では、上方に基板搬送用トレイ１を載置する際に多少ずれた位置に載置したとしても、載置した基板搬送用トレイの重心が、下方に隣接する基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に移動し、積み重ねた基板搬送用トレイが鉛直方向に直線状に揃うように形成されているため、上記のような運搬不良は発生しない。

また、基板搬送用トレイ１を上方に載置するときの位置が、傾斜を設けている範囲を超えてずれない限り、自動的に積み重ねた基板搬送用トレイが鉛直方向に直線状に揃うため、多少のずれを許容でき好適である。

これまで記載した実施の形態には種々の変形を加えることが可能である。まず、基板搬送用トレイ運搬装置８８に関しては、図４のような基板搬送用トレイ運搬装置８８以外にも、図５に示すような基板搬送用トレイ運搬装置９０を使用可能である。基板搬送用トレイ運搬装置９０は、各基板搬送用トレイ１の突起である鍔部１４をひっかける爪状のチャック９１を有し、これによって基板搬送用トレイ１を一つずつ運搬するものである。このようなチャック９１に対しても、本発明によれば基板搬送用トレイが鉛直方向に一列に揃うため、位置を調整せずとも一定位置で確実に基板搬送用トレイを掴むことが可能である。

また基板搬送用トレイ１の、枠本体１１の上方接触部及び下方接触部の形状も上記の例に限られるものではない。以下、このバリエーションについて図６から図１９を用いて述べる。なお、載置台６部分の構造は簡略化して描くこととする。また、図１（ａ）および図１（ｂ）にかかる構成と同一の構成については同一の符号を付し重複した説明は省略する。さらに、以下のバリエーションではすべて、図１（ａ）および図１（ｂ）同様、載置台６を囲む全周に対して傾斜を有する構成について説明するが、図１（ａ）および図１（ｂ）のような場合も含めて、このような傾斜が形成されているのは周位置のうちの一部のみでもよい。

図６の例では、図１（ａ）および図１（ｂ）同様、基板搬送用トレイ１の枠本体１１の上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触部１１ｂ、１１ｊは、内側が外側に比べて低くなる傾斜を有している。しかし、上方接触部は全体が傾斜しているのではなく、外周端部を含む一部のみが傾斜した上方傾斜部となっており、内端部を含めた残りは水平面になっている。また、下方接触部は全体が傾斜しているのではなく、外周端部を含む一部のみが傾斜した下方傾斜部となっている。当該構成によっても、上下方に隣接する基板搬送用トレイの上方傾斜部に当節する位置に配置された場合については、下方に隣接する基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に上方に載置した基板搬送用トレイの重心が移動し、積み重ねた基板搬送用トレイが鉛直方向に直線状に揃うため、同様の作用効果を生じる。

図７の例では、図１（ａ）および図１（ｂ）同様、基板搬送用トレイ１の枠本体１１の上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触面１１ｂ、１１ｊは、内側が外側に比べて低くなる傾斜を有している。しかし、上方接触部は全体が傾斜しているのではなく、内周端部を含む一部のみが傾斜した上方傾斜部となっており、内端部を含めた残りは水平面になっている。また、下方接触部は全体が傾斜しているのではなく、内周端部を含む一部のみが傾斜した下方傾斜部となっている。当該構成によっても、下方に隣接する基板搬送用トレイの上方傾斜部に当節する位置に配置された場合については、下方に隣接する基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に上方に載置した基板搬送用トレイの重心が移動し、積み重ねた基板搬送用トレイが鉛直方向に直線状に揃うため、同様の作用効果を生じる。

図８の例では、図１（ａ）および図１（ｂ）同様、基板搬送用トレイ１の枠本体１１の上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触部１１ｂ、１１ｊは、全体が斜面形状となっているが、すべて、内側に比べて外側が低くなっている。この形状の場合は、図１（ａ）および図１（ｂ）に示した例と同様の効果を生じる。

図９の例では、図８同様、基板搬送用トレイ１の枠本体１１の上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触面１１ｂ、１１ｊは、内側が外側に比べて低くなる傾斜を有している。しかし、上方接触部は全体が傾斜しているのではなく、外周端部を含む一部のみが傾斜した上方傾斜部となっており、内端部を含めた残りは水平面になっている。また、下方接触部は全体が傾斜しているのではなく、外周端部を含む一部のみが傾斜した下方傾斜部となっている。この例は図６の例と同様の効果を奏する。

図１０の例では、図８同様、基板搬送用トレイ１の枠本体１１の上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触面１１ｂ、１１ｊは、内側が外側に比べて低くなる傾斜を有している。しかし、上方接触部は全体が傾斜しているのではなく、内周端部を含む一部のみが傾斜した上方傾斜部となっており、内端部を含めた残りは水平面になっている。また、下方接触部は全体が傾斜しているのではなく、内周端部を含む一部のみが傾斜した下方傾斜部となっている。この例は図７の例と同様の効果を奏する。

図１１の例では、図１（ａ）および図１（ｂ）同様、基板搬送用トレイ１の枠本体１１の上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方側の底面１１ｂは、内側が外側に比べて低くなっている。しかし、上方傾斜部及び下方傾斜部は内周端部を含む領域および外周端部を含む領域は水平であり、両領域に挟まれた一部の（中間領域）のみが斜面である。この場合でも、下方に隣接する基板搬送用トレイの上方傾斜部に当節する位置に配置された場合については、下方に隣接する基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に上方に載置した基板搬送用トレイの重心が移動し、積み重ねた基板搬送用トレイが鉛直方向に直線状に揃うため、同様の作用効果を生じる。

図１２の例では、図８同様、基板搬送用トレイ１の枠本体１１の上方接触部１１ａ、１１ｉおよび下方接触面１１ｂ、１１ｊは、内側が外側に比べて低くなる傾斜を有している。しかし、上方傾斜部及び下方傾斜部は内周端部を含む領域および外周端部を含む領域は水平であり、両領域に挟まれた一部の（中間領域）のみが斜面である。この場合でも、上方に載置した基板搬送用トレイの下方傾斜部が、下方に隣接する基板搬送用トレイの上方傾斜部に当節する位置に配置された場合については、下方に隣接する基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に上方に載置した基板搬送用トレイの重心が移動し、積み重ねた基板搬送用トレイが鉛直方向に直線状に揃うため、同様の作用効果を生じる。

上記に示した例についてはいずれも斜面は平面になっているが、曲面とすることもできる。この斜面を曲面に形成した例について図１３から図１９に示す。

図１３は、図１（ａ）および図１（ｂ）に示す例を変形したもので、傾斜を平面状に形成せず、下方であるほどほど傾斜勾配が緩やかになる曲面状としたものである。このようにしても図１（ａ）および図１（ｂ）に示した例と同様の効果を奏することができる。

図１４は、図１（ａ）および図１（ｂ）に示す例を変形したもので、傾斜を平面状に形成せず、上方であるほど傾斜勾配が緩やかになる曲面状としたものである。このようにしても図１（ａ）および図１（ｂ）に示した例と同様の効果を奏することができる。

図１５は、図６に示す例を変形したもので、傾斜を、下方であるほど傾斜勾配が緩やかになる曲面としたものである。このようにしても図６に示した例と同様の効果を奏することができる。

図１６は、図７に示す例を変形したもので、傾斜を、上方であるほど傾斜勾配が緩やかになる曲面としたものである。このようにしても図７に示した例と同様の効果を奏することができる。

図１７は、図８に示す例を変形したもので、傾斜を平面状に形成せず、下方であるほどほど傾斜勾配が緩やかになる曲面状としたものである。このようにしても図８に示した例と同様の効果を奏することができる。

図１８は、図８に示す例を変形したもので、傾斜を平面状に形成せず、上方であるほど傾斜勾配が緩やかになる曲面状としたものである。このようにしても図８に示した例と同様の効果を奏することができる。

図１９は、図９に示す例を変形したもので、傾斜を、下方であるほど傾斜勾配が緩やかになる曲面としたものである。このようにしても図９に示した例と同様の効果を奏することができる。

図２０は、図１０に示す例を変形したもので、傾斜を、上方であるほど傾斜勾配が緩やかになる曲面としたものである。このようにしても図１０に示した例と同様の効果を奏することができる。

上記のすべての例においては、当接領域の傾斜方向が同一のものについて示したが、図２１に示すように、上方傾斜部と下方傾斜部の傾斜を逆にした構成も可能である。すなわち、外側よりも内側が下方となるような傾斜を有する上方傾斜部と内側よりも外側が下方となるような傾斜を有する下方傾斜部とを有する基板搬送用トレイ１ｆと、内側よりも外側が下方となるような傾斜を有する上方傾斜部と外側よりも内側が下方となるような傾斜を有する下方傾斜部とを有する基板搬送用トレイ１ｇとの２種類の基板搬送用トレイを作成し、それを交互に積み重ねるようにしてもよい。なお、この場合は、２種類の基板搬送用トレイ１ｆ・１ｇを交互に積み重ねる必要がある。この例でも、上記他のすべての例と同様、上方に基板搬送用トレイを載置する際に多少ずれた位置に載置したとしても、載置した基板搬送用トレイの重心が、下方に隣接する基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に移動し、積み重ねた基板搬送用トレイが鉛直方向に直線状に揃うように形成されることになる。

また、上記のすべての例においては、上方接触部と下方接触部の形状を合同（基板搬送用トレイを重ね合わせたときに上方接触部が下方接触部の全面に亘って同じように対向する形状）としたが、これにより全面に亘って上方の基板搬送用トレイを支えられるため安定して支えることが可能である。

尚、発明を実施するための最良の形態の項においてなした具体的な実施態様または実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と次に記載する特許請求の範囲内で、いろいろと変更して実施することができるものである。

本発明は、被積載物たる基板同士がたわむことで接触して破損する恐れを防ぐことができるとともに、基板搬送用トレイ同士を安定して積み重ねることができるので、基板を積載した状態で複数個積み重ねて運搬等を行う用途に使用可能である。

Claims

基板を水平に載置するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、
前記基板搬送用トレイは、複数個積み重ねたときに、前記基板搬送用トレイの上方に配置される基板搬送用トレイと接触する上方接触部と、下方に配置される基板搬送用トレイと接触する下方接触部とを備え、
前記上方接触部及び前記下方接触部の形状が、前記基板搬送用トレイの上方に他の基板搬送用トレイを載置したときに、前記他の基板搬送用トレイの重心が前記基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に前記他の基板搬送用トレイを移動させるように形成されていることを特徴とする基板搬送用トレイ。
基板を積載するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、
前記基板搬送用トレイは、複数個積み重ねたときに、前記基板搬送用トレイの上方に載置される基板搬送用トレイと接触する上方接触部と、下方に載置される基板搬送用トレイと接触する下方接触部とを備え、
前記上方接触部は、基板搬送用トレイの内側に向かう方向又は基板搬送用トレイの外側に向かう方向が低くなるように傾斜した上方傾斜部を備え、
前記下方接触部は、前記上方傾斜部の傾斜方向と同方向に傾斜した下方傾斜部を備えていることを特徴とする基板搬送用トレイ。
前記上方接触部及び前記下方接触部は基板搬送用トレイの周縁に配置されていることを特徴とする請求の範囲２に記載の基板搬送用トレイ。
前記上方傾斜部は前記上方接触部の上面全体に形成されており、
前記下方傾斜部は下方接触部の下面全体に形成されていることを特徴とする請求の範囲２又は請求の範囲３に記載の基板搬送用トレイ。
前記上方傾斜部は前記上方接触部の上面の外側又は内側のいずれか一方端を含む部位に配置されており、
前記下方傾斜部は前記下方接触部のうち、前記上方傾斜部の配置されている端に対応する端を含む部位に形成されていることを特徴とする請求の範囲２又は請求の範囲３に記載の基板搬送用トレイ。
前記上方傾斜部及び前記下方傾斜部の一方又は双方が平面状の傾斜であることを特徴とする請求の範囲２又は請求の範囲３に記載の基板搬送用トレイ。
前記上方傾斜部及び前記下方傾斜部の一方又は双方が、下方に向かうほど勾配が緩やかになる曲面状の傾斜であることを特徴とする請求の範囲２又は請求の範囲３に記載の基板搬送用トレイ。
前記上方傾斜部と前記下方傾斜部の形状が、それぞれが当接する部分において合同であることを特徴とする請求の範囲２又は請求の範囲３に記載の基板搬送用トレイ。
前記上方接触部及び前記下方接触部は、トレイを掴むためのチャックに係合させるための突起と異なる部分であることを特徴とする請求の範囲３に記載の基板搬送用トレイ。
前記トレイは、該トレイを掴むためのチャックに係合させるための突起を、周縁の外周面から外側に向かって突出形成されているとともに、
前記外周面は、前記トレイを水平配置した際に鉛直となる方向に平面状に形成されており、
前記上方接触部及び前記下方接触部は前記外周面よりも内側に形成されていることを特徴とする請求の範囲３に記載の基板搬送用トレイ。