JP2910684B2 - ウエハー容器 - Google Patents
ウエハー容器Info
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- JP2910684B2 JP2910684B2 JP20170496A JP20170496A JP2910684B2 JP 2910684 B2 JP2910684 B2 JP 2910684B2 JP 20170496 A JP20170496 A JP 20170496A JP 20170496 A JP20170496 A JP 20170496A JP 2910684 B2 JP2910684 B2 JP 2910684B2
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- Japan
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- wafer
- wafer container
- resin portion
- container according
- container
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウエハー容器に係
り、特に半導体基板であるウエハーを保管及び輸送する
ためのウエハー容器に関する。
り、特に半導体基板であるウエハーを保管及び輸送する
ためのウエハー容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ウエハーの保管や輸送に用い
るウエハー容器として、図１１に示すように、ウエハー
３０を１枚単位に収納して円盤状の容器フタ３２で密閉
する構造の容器３１が知られている（実開昭６３−２０
０３４４号公報）。また、図１２に示すように、複数枚
のウエハー３０を互いに離間して平行に収納し、容器フ
タ３４で密閉する構造の容器３３が知られている。この
容器３３はウエハー製造メーカーがウエハーを保管し、
製品出荷する容器で、ＩＣ製造工程中においてウエハー
の保管又は輸送に利用することがある。また、容器３３
はＩＣを製造するために用いられることもある。
るウエハー容器として、図１１に示すように、ウエハー
３０を１枚単位に収納して円盤状の容器フタ３２で密閉
する構造の容器３１が知られている（実開昭６３−２０
０３４４号公報）。また、図１２に示すように、複数枚
のウエハー３０を互いに離間して平行に収納し、容器フ
タ３４で密閉する構造の容器３３が知られている。この
容器３３はウエハー製造メーカーがウエハーを保管し、
製品出荷する容器で、ＩＣ製造工程中においてウエハー
の保管又は輸送に利用することがある。また、容器３３
はＩＣを製造するために用いられることもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記の従来
のウエハー容器３１及び３３は、一時的なウエハーの保
管には十分に耐えられるが、大口径で、かつ、厚さの異
なるウエハーを輸送する場合に、輸送中の衝撃に耐えら
れずウエハーが割れてしまうことがある。また、輸送の
ため容器を梱包した後の、梱包の体積が大きく、輸送コ
スト増につながるという問題もある。
のウエハー容器３１及び３３は、一時的なウエハーの保
管には十分に耐えられるが、大口径で、かつ、厚さの異
なるウエハーを輸送する場合に、輸送中の衝撃に耐えら
れずウエハーが割れてしまうことがある。また、輸送の
ため容器を梱包した後の、梱包の体積が大きく、輸送コ
スト増につながるという問題もある。
【０００４】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
大口径で、かつ、厚さの異なるウエハーを損傷すること
なく輸送し得るウエハー容器を提供することを目的とす
る。
大口径で、かつ、厚さの異なるウエハーを損傷すること
なく輸送し得るウエハー容器を提供することを目的とす
る。
【０００５】また、本発明の他の目的は、包装後もコン
パクトなウエハー容器を提供することにある。
パクトなウエハー容器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、上下両面の中央部に、収納するウエハー
の径より大なる径の凹部がそれぞれ形成された断面形状
の樹脂部と、樹脂部の上下両面の前記凹部内にそれぞれ
設けられた断面凹形状の独立発泡体からなる緩衝材とを
有し、複数枚積み重ねられて接触する２つの緩衝材間
に、緩衝材の口径以下で、接触する２つの緩衝材間の凹
部深さ以下の厚さのウエハーを１枚ずつ収納することを
特徴とする。
め、本発明は、上下両面の中央部に、収納するウエハー
の径より大なる径の凹部がそれぞれ形成された断面形状
の樹脂部と、樹脂部の上下両面の前記凹部内にそれぞれ
設けられた断面凹形状の独立発泡体からなる緩衝材とを
有し、複数枚積み重ねられて接触する２つの緩衝材間
に、緩衝材の口径以下で、接触する２つの緩衝材間の凹
部深さ以下の厚さのウエハーを１枚ずつ収納することを
特徴とする。
【０００７】本発明では、断面凹形状の緩衝材内にウエ
ハーを収納するようにしているため、緩衝材の凹部の口
径内であれば大口径で、かつ、異なる厚さのウエハーで
もウエハー容器を多段積み重ねることで収納できる。
ハーを収納するようにしているため、緩衝材の凹部の口
径内であれば大口径で、かつ、異なる厚さのウエハーで
もウエハー容器を多段積み重ねることで収納できる。
【０００８】ここで、樹脂部の凹部の外側の位置で、か
つ、上下両面の一方に形成された横ずれ防止用凸部と、
樹脂部の上下両面の他方の面で、かつ、横ずれ防止用凸
部に対応する位置に形成された横ずれ防止用凹部とが設
けることにより、ウエハー容器を多段積み重ねたときで
も安定に積み重ねることができる。
つ、上下両面の一方に形成された横ずれ防止用凸部と、
樹脂部の上下両面の他方の面で、かつ、横ずれ防止用凸
部に対応する位置に形成された横ずれ防止用凹部とが設
けることにより、ウエハー容器を多段積み重ねたときで
も安定に積み重ねることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。
て図面と共に説明する。
【００１０】図１は本発明になるウエハー容器の第１の
実施の形態の正面図、図２は図１中のII−II’線に沿う
断面図、図３は図１のウエハー容器の側面図を示す。各
図中、同一構成部分には同一符号を付してある。図１及
び図２に示すように、この実施の形態のウエハー容器１
は、正面が円盤状で、かつ、上面と下面（表面と裏面）
に断面が凹形状の窪みを有する帯電防止の樹脂部２と、
樹脂部２の上記の窪みに嵌合するように配置された緩衝
材３からなる構造とされている。これにより、取扱上帯
電防止の樹脂で軽量のウエハー容器１が構成される。
実施の形態の正面図、図２は図１中のII−II’線に沿う
断面図、図３は図１のウエハー容器の側面図を示す。各
図中、同一構成部分には同一符号を付してある。図１及
び図２に示すように、この実施の形態のウエハー容器１
は、正面が円盤状で、かつ、上面と下面（表面と裏面）
に断面が凹形状の窪みを有する帯電防止の樹脂部２と、
樹脂部２の上記の窪みに嵌合するように配置された緩衝
材３からなる構造とされている。これにより、取扱上帯
電防止の樹脂で軽量のウエハー容器１が構成される。
【００１１】ここで、ウエハーを保管したときにウエハ
ーが接触する緩衝材３は厚さ１ｍｍ以内の帯電防止の独
立発泡体で、例えば不織布が用いられる。独立発泡体を
用いるのは、スポンジのような連続発泡体では、内部の
気泡が連続しているためゴミの吸着する可能性があるた
めと、バキュームピンセットで吸着したときに吸着部分
の周りからエアーが回り込み吸着できなくなることを防
ぐためである。また、この独立発泡体の緩衝材３を用い
て構成したウエハー容器１を用いた場合は自動包装が可
能となる。
ーが接触する緩衝材３は厚さ１ｍｍ以内の帯電防止の独
立発泡体で、例えば不織布が用いられる。独立発泡体を
用いるのは、スポンジのような連続発泡体では、内部の
気泡が連続しているためゴミの吸着する可能性があるた
めと、バキュームピンセットで吸着したときに吸着部分
の周りからエアーが回り込み吸着できなくなることを防
ぐためである。また、この独立発泡体の緩衝材３を用い
て構成したウエハー容器１を用いた場合は自動包装が可
能となる。
【００１２】また、樹脂部２の緩衝材３より外側の例え
ば対向する２個所の位置において、外部には凸部４が形
成され、内部には凹部５が形成されている。更に樹脂部
２の側面には図３に示すように、ウエハー容器１の管理
番号、あるいは収納するウエハーに対応した記号あるい
はバーコード等のウエハー識別番号６が印刷等にて表示
されている。これにより、ウエハーの管理又は自動包装
化を促進することができる。
ば対向する２個所の位置において、外部には凸部４が形
成され、内部には凹部５が形成されている。更に樹脂部
２の側面には図３に示すように、ウエハー容器１の管理
番号、あるいは収納するウエハーに対応した記号あるい
はバーコード等のウエハー識別番号６が印刷等にて表示
されている。これにより、ウエハーの管理又は自動包装
化を促進することができる。
【００１３】上記の構造のウエハー容器１を用いたウエ
ハー保管又は輸送時には、図４に示すように、まず、最
初に緩衝材３と同一口径の凹部と前記凹部５に嵌合する
凸部を有する下カバー８にウエハー７を乗せ、続いてウ
エハー容器１をその凹部５が下カバー８の凸部と嵌合す
るように積み上げる。次に、そのウエハー容器１の上側
の緩衝材３による凹部に１枚のウエハー７を乗せる。以
下、次のウエハー容器１を凹部５が下のウエハー容器１
の凸部４と嵌合するように積み上げ、緩衝材３内にウエ
ハー７を乗せるということを順番に繰り返して、ウエハ
ー容器１を積み上げ、最後に上カバー９を積み上げる。
このようにして、横ずれなく複数枚のウエハー７をウエ
ハー容器１内に収納保管することができる。
ハー保管又は輸送時には、図４に示すように、まず、最
初に緩衝材３と同一口径の凹部と前記凹部５に嵌合する
凸部を有する下カバー８にウエハー７を乗せ、続いてウ
エハー容器１をその凹部５が下カバー８の凸部と嵌合す
るように積み上げる。次に、そのウエハー容器１の上側
の緩衝材３による凹部に１枚のウエハー７を乗せる。以
下、次のウエハー容器１を凹部５が下のウエハー容器１
の凸部４と嵌合するように積み上げ、緩衝材３内にウエ
ハー７を乗せるということを順番に繰り返して、ウエハ
ー容器１を積み上げ、最後に上カバー９を積み上げる。
このようにして、横ずれなく複数枚のウエハー７をウエ
ハー容器１内に収納保管することができる。
【００１４】ここで、ウエハー７は上下のウエハー容器
１又は一方が下カバー８又は上カバー９の間の緩衝材３
の間に保管されるから、緩衝材３の口径以下で、接触す
る２つの緩衝材３間の凹部深さ以下の厚さのウエハーで
あれば大口径で、かつ、厚さの異なるウエハーも保管す
ることができる。
１又は一方が下カバー８又は上カバー９の間の緩衝材３
の間に保管されるから、緩衝材３の口径以下で、接触す
る２つの緩衝材３間の凹部深さ以下の厚さのウエハーで
あれば大口径で、かつ、厚さの異なるウエハーも保管す
ることができる。
【００１５】このようにして、複数のウエハー容器１内
に複数枚のウエハー７を保管した後は、図５に示すよう
に、上カバー９上にクッション１０を乗せた状態でケー
ス１１内に収納し、更に蓋１２をのせて密閉する。これ
により、大口径で、かつ、厚さの異なるウエハーを輸送
する場合でも輸送中の衝撃に十分耐えられるのでウエハ
ーを破損することを防止することができる。
に複数枚のウエハー７を保管した後は、図５に示すよう
に、上カバー９上にクッション１０を乗せた状態でケー
ス１１内に収納し、更に蓋１２をのせて密閉する。これ
により、大口径で、かつ、厚さの異なるウエハーを輸送
する場合でも輸送中の衝撃に十分耐えられるのでウエハ
ーを破損することを防止することができる。
【００１６】また、上記の保管方法の他の例として、図
６に示すようにポリプロピレン又は塩化ビニール等の収
縮性のある収縮包装１３で複数のウエハー容器１を一括
して束ねることも考えられる。この場合は輸送のためウ
エハー容器１を梱包した後の梱包の体積を従来に比し小
さくでき、輸送コスト低減が可能である。
６に示すようにポリプロピレン又は塩化ビニール等の収
縮性のある収縮包装１３で複数のウエハー容器１を一括
して束ねることも考えられる。この場合は輸送のためウ
エハー容器１を梱包した後の梱包の体積を従来に比し小
さくでき、輸送コスト低減が可能である。
【００１７】図７は本発明になるウエハー容器の第２の
実施の形態の正面図、図８は図７の断面図を示す。同図
中、ウエハー容器１５は正面の外形が四角形で、内部に
円形で、かつ、上面と下面（表面と裏面）に断面が凹形
状の窪みを有する帯電防止の樹脂部１６と、樹脂部１６
の上記の窪みに嵌合するように配置された緩衝材１７か
らなる構造とされている。これにより、取扱上帯電防止
の樹脂で軽量のウエハー容器１５が構成される。
実施の形態の正面図、図８は図７の断面図を示す。同図
中、ウエハー容器１５は正面の外形が四角形で、内部に
円形で、かつ、上面と下面（表面と裏面）に断面が凹形
状の窪みを有する帯電防止の樹脂部１６と、樹脂部１６
の上記の窪みに嵌合するように配置された緩衝材１７か
らなる構造とされている。これにより、取扱上帯電防止
の樹脂で軽量のウエハー容器１５が構成される。
【００１８】この実施の形態も、ウエハーを保管したと
きにウエハーが接触する緩衝材１７は厚さ１ｍｍ以内の
帯電防止の独立発泡体であり、また、樹脂部１６の緩衝
材１７より外側の例えば対向する２個所の位置におい
て、上面には凹部１８が形成され、下面には凸部１９が
形成されている。この実施の形態のウエハー容器１５
は、図１乃至図３と共に説明した第１の実施の形態のウ
エハー容器１と同様にしてウエハーの保管を行い、また
図５あるいは図６にした方法で梱包を行うものである
が、更にウエハー容器１に比し外形が四角形であるの
で、梱包等の作業面で有利である。
きにウエハーが接触する緩衝材１７は厚さ１ｍｍ以内の
帯電防止の独立発泡体であり、また、樹脂部１６の緩衝
材１７より外側の例えば対向する２個所の位置におい
て、上面には凹部１８が形成され、下面には凸部１９が
形成されている。この実施の形態のウエハー容器１５
は、図１乃至図３と共に説明した第１の実施の形態のウ
エハー容器１と同様にしてウエハーの保管を行い、また
図５あるいは図６にした方法で梱包を行うものである
が、更にウエハー容器１に比し外形が四角形であるの
で、梱包等の作業面で有利である。
【００１９】なお、凸部４、１９と凹部５、１８はウエ
ハー容器１、１５を複数重ね合わせるときに横ずれのな
いようにするためのものであり、これらはそれぞれ独立
したものであれば、図１乃至図３、あるいは図７及び図
８に示すように最低２個所は必要であるが、ウエハー容
器１の横ずれ防止が目的であることから多種の形状が考
えられる。
ハー容器１、１５を複数重ね合わせるときに横ずれのな
いようにするためのものであり、これらはそれぞれ独立
したものであれば、図１乃至図３、あるいは図７及び図
８に示すように最低２個所は必要であるが、ウエハー容
器１の横ずれ防止が目的であることから多種の形状が考
えられる。
【００２０】例えば、図９の断面図に示すように、凸部
２０と凹部２１の断面がそれぞれ角型であるウエハー容
器、図１０の断面図に示すように凸部２３と凹部２２の
断面がそれぞれ三角形状であるウエハー容器が考えられ
る。更には、上記の凸部４、１９、２０、２３と凹部
５、１８、２１、２２は周囲全体に形成するようにして
もよい。また、凹凸の向きは上下どちらでも構わない。
２０と凹部２１の断面がそれぞれ角型であるウエハー容
器、図１０の断面図に示すように凸部２３と凹部２２の
断面がそれぞれ三角形状であるウエハー容器が考えられ
る。更には、上記の凸部４、１９、２０、２３と凹部
５、１８、２１、２２は周囲全体に形成するようにして
もよい。また、凹凸の向きは上下どちらでも構わない。
【００２１】なお、本発明は以上の実施の形態に限定さ
れるものではなく、例えばウエハー容器に水分を吸収す
るための乾燥剤を取り付けるための凹部を形成してもよ
い。また、樹脂部２、１６と緩衝材３、１７を一体成形
してもよく、この場合には樹脂部２、１６と緩衝材３、
１７の接合部からのゴミの発生及び吸着を防止すること
ができる。更には、樹脂部２、１６と緩衝材３、１７の
間に気体層を形成するようにしてもよく、この場合は気
体層によりウエハー輸送時の衝撃を緩衝させることがで
きる。
れるものではなく、例えばウエハー容器に水分を吸収す
るための乾燥剤を取り付けるための凹部を形成してもよ
い。また、樹脂部２、１６と緩衝材３、１７を一体成形
してもよく、この場合には樹脂部２、１６と緩衝材３、
１７の接合部からのゴミの発生及び吸着を防止すること
ができる。更には、樹脂部２、１６と緩衝材３、１７の
間に気体層を形成するようにしてもよく、この場合は気
体層によりウエハー輸送時の衝撃を緩衝させることがで
きる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
大口径で、かつ、異なる厚さのウエハーを多段積み重ね
たウエハー容器の緩衝材の凹部に収納するようにしたた
め、輸送する場合に輸送中の衝撃に十分耐えることがで
き、ウエハーの損傷を防止することができる。
大口径で、かつ、異なる厚さのウエハーを多段積み重ね
たウエハー容器の緩衝材の凹部に収納するようにしたた
め、輸送する場合に輸送中の衝撃に十分耐えることがで
き、ウエハーの損傷を防止することができる。
【００２３】また、本発明によれば、収納しようとする
ウエハーの枚数に対応した数のウエハー容器を積み重ね
ることにより必要枚数のウエハーを収納することができ
るので、包装後も容器全体をコンパクトにでき、輸送コ
ストを低減することができる。
ウエハーの枚数に対応した数のウエハー容器を積み重ね
ることにより必要枚数のウエハーを収納することができ
るので、包装後も容器全体をコンパクトにでき、輸送コ
ストを低減することができる。
【００２４】更に、本発明によれば、自動包装化あるい
は開梱時の自動化を図ることができる。
は開梱時の自動化を図ることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の正面図である。
【図２】図１のII−II’線に沿う断面図である。
【図３】図１のウエハー容器の側面図である。
【図４】ウエハー収納状態を示す図である。
【図５】ウエハー容器のケース収納状態を示す図であ
る。
る。
【図６】ウエハー容器の収縮包装状態を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態の正面図である。
【図８】図７の断面図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態の断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態の断面図である。
【図１１】従来のウエハー容器の一例の断面図である。
【図１２】従来のウエハー容器の他の例の断面図であ
る。
る。
１、１５ ウエハー容器 ２、１６ 樹脂部 ３、１７ 緩衝材 ４、１９、２０、２３ 凸部 ５、１８、２１、２２ 凹部 ６ ウエハー識別番号 ７ ウエハー ８ 下カバー ９ 上カバー １０ クッション １１ ケース １２ 蓋 １３ 収縮包装
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−167414（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−57640（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−330407（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−129719（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−158437（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−169034（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−39237（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭48−28953（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86
Claims (7)
- 【請求項１】 上下両面の中央部に、収納するウエハー
の径より大なる径の凹部がそれぞれ形成された断面形状
の樹脂部と、 前記樹脂部の上下両面の前記凹部内にそれぞれ設けられ
た断面凹形状の独立発泡体からなる緩衝材とを有し、複
数枚積み重ねられて接触する２つの前記緩衝材間に、該
緩衝材の口径以下で、接触する２つの該緩衝材間の凹部
深さ以下の厚さのウエハーを１枚ずつ収納することを特
徴とするウエハー容器。 - 【請求項２】 前記樹脂部の前記凹部の外側の位置で、
かつ、上下両面の一方に形成された横ずれ防止用凸部
と、前記樹脂部の上下両面の他方の面で、かつ、前記横
ずれ防止用凸部に対応する位置に形成された横ずれ防止
用凹部とが設けられていることを特徴とする請求項１記
載のウエハー容器。 - 【請求項３】 前記樹脂部、緩衝材、横ずれ防止用凸部
及び横ずれ防止用凹部のそれぞれは、帯電防止材料から
構成されていることを特徴とする請求項２記載のウエハ
ー容器。 - 【請求項４】 前記樹脂部と緩衝材の間に気体層を形成
したことを特徴とする請求項１記載のウエハー容器。 - 【請求項５】 前記樹脂部と緩衝材を一体成形したこと
を特徴とする請求項１記載のウエハー容器。 - 【請求項６】 前記樹脂部に、水分を吸収するための乾
燥剤取り付け用凹部を形成したことを特徴とする請求項
１記載のウエハー容器。 - 【請求項７】 前記樹脂部の側面に収納する前記ウエハ
ーの情報を表示する表示面を設けたことを特徴とする請
求項１乃至６のうちいずれか一項記載のウエハー容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20170496A JP2910684B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ウエハー容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20170496A JP2910684B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ウエハー容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1050815A JPH1050815A (ja) | 1998-02-20 |
| JP2910684B2 true JP2910684B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=16445546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20170496A Expired - Fee Related JP2910684B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ウエハー容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2910684B2 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7682455B2 (en) * | 2003-07-11 | 2010-03-23 | Tec-Sem Ag | Device for storing and/or transporting plate-shaped substrates in the manufacture of electronic components |
| US7874434B2 (en) | 2003-11-06 | 2011-01-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate carrying tray |
| JP2006173363A (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 搬送体 |
| JP4644035B2 (ja) | 2005-05-25 | 2011-03-02 | ミライアル株式会社 | 枚葉収納容器 |
| JP4789566B2 (ja) | 2005-09-30 | 2011-10-12 | ミライアル株式会社 | 薄板保持容器及び薄板保持容器用処理装置 |
| JP4903429B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2012-03-28 | ミライアル株式会社 | 載置トレイ及び薄板保持容器 |
| JP4726623B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2011-07-20 | ミライアル株式会社 | 板材保持容器からの板材出し入れ方法 |
| JP5025962B2 (ja) * | 2006-02-15 | 2012-09-12 | ミライアル株式会社 | 薄板収納容器 |
| US7922000B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-04-12 | Miraial Co., Ltd. | Thin plate container with a stack of removable loading trays |
| JP4728840B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2011-07-20 | ミライアル株式会社 | 薄板保持容器 |
| JP4947631B2 (ja) * | 2006-07-19 | 2012-06-06 | ミライアル株式会社 | クッションシート付ウエハ収納容器 |
| WO2008013153A1 (fr) * | 2006-07-25 | 2008-01-31 | Miraial Co., Ltd. | Réceptacle pour tranche muni d'une feuille d'amortissement |
| JP4883627B2 (ja) * | 2007-01-24 | 2012-02-22 | ミライアル株式会社 | クッションシート付ウエハ収納容器 |
| JP5238927B2 (ja) | 2007-03-14 | 2013-07-17 | セミコンダクター・コンポーネンツ・インダストリーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 半導体装置の製造方法 |
| JP4859716B2 (ja) * | 2007-03-14 | 2012-01-25 | オンセミコンダクター・トレーディング・リミテッド | ウエハ及びその搬送システム |
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