KR100776337B1 - 기판 반송용 트레이 - Google Patents

Abstract

기판(2)을 수평으로 재치함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서, 상기 기판 반송용 트레이(1)는, 복수개 적층시, 상기 기판 반송용 트레이(1)의 상방에 배치되는 기판 반송용 트레이(1)와 접촉하는 상방 접촉부와, 하방에 배치되는 기판 반송용 트레이(1)와 접촉하는 하방 접촉부를 구비하고, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부의 형상이, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 다른 기판 반송용 트레이를 재치했을 때, 상기 다른 기판 반송용 트레이의 중심이 상기 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상기 다른 기판 반송용 트레이(1)를 이동시키도록 형성되어 있다. 휘어져 피적재물끼리 접촉하여 파손될 염려가 없고, 안정적으로 적층할 수 있는 기판 반송용 트레이를 실현할 수 있다.

기판, 기판 반송용 트레이

Description

기판 반송용 트레이{TRAY FOR CARRYING SUBSTRATE}

본 발명은, 피적재물을 적재함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 관한 것이다.

디스플레이 패널 등에 사용하는 기판을 복수개 동시에 운반하고자 하는 경우, 도27에 나타낸 운반 장치를 사용하여 운반하는 것이 일반적이다. 도27에 나타낸 운반 장치는, 발포 폴리프로필렌 등의 재료로 이루어지는 직방체상의 포장재(201)에, 세로 구멍(203)을 제공하여 바닥이 있는 각통 형상으로 하고, 세로 구멍(203)의 내벽에 수납하는 기판의 수보다 하나 적은 리브(205)를 설치하여 세로 구멍(203)을 간막이하여 홈(204)을 기판의 매수만큼 형성하고, 홈(204)에 기판(202)을 1매씩 끼워 수납하도록 되어 있고, 이를 사용하여 운반함으로써, 복수매의 기판를 동시에 운반할 수 있다.

또한, 일본국 공개 특허 공보「특개평10-287382호 공보」(1998년 10월 27일 공개)에는, 기판 반송용 트레이에 기판을 얹고,이 기판 반송용 트레이끼리를 적층함으로써 복수매의 기판을 겹쳐 쌓을 수 있는 구성이 개시되어 있다. 상기 일본국 특개평10-287382호 공보에 있어서는, 기판 반송용 트레이의 4변에 형성된 연직 측면을 갖는 틀의 네 코너 상방에, 일부가 틀의 측면과 평행으로 옵셋된 요부(凹部) 를 제공함과 아울러, 상기 요부가 설치된 개소의 연직 하방에 요부와 감입가능한 돌기부를 설치하여 형성되어 있고, 복수의 기판 반송용 트레이를 포갤 때는, 상측에 배치되는 기판 반송용 트레이의 돌기부가, 하측에 배치되는 기판 반송용 트레이의 요부에 끼워짐으로써 복수개의 기판 반송용 트레이가 적층 가능하게 되어 있다.

그러나, 세로 구멍의 홈에 기판을 1매씩 끼우는 반송 장치에서는, 기판은, 단부가 리브(205)로 지지되어 있을 뿐이고, 중앙부는 어디에도 지지되어 있지 않다. 그 결과, 대면적의 디스플레이 패널의 기판의 경우, 기판이 휘어져, 기판의 중앙부가 다른 기판의 중앙부에 접촉하여 파손될 우려가 있는 문제가 있었다.

또한, 상기 일본국 특개평 10-287382호 공보의 기판 반송용 트레이에서는, 요부 외측면과 돌기부 내측면 사이에는, 제조 오차 및 끼워 맞춤을 고려한 여유가 필요하다. 이는, 이와 같은 여유가 없으면, 적층시에 상측에 배치되는 기판 반송용 트레이가 조금 크게 제조되고 하측에 배치되는 기판 반송용 트레이가 작은 듯하게 제조된 경우, 상측의 기판 반송용 트레이가 하측의 기판 반송용 트레이에 잘 끼워지지 않고, 하측의 기판 반송용 트레이 위에 걸려버리기 때문이다.

그러나, 이와 같은 여유가 있으면 예를 들면 30단과 같이 다수 단 적층한 경우에는 새로운 문제가 발생한다. 즉, 복수의 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓았을 때 옆에서 보아 약간 좌측으로 치우쳐 쌓이거나, 약간 우측으로 치우쳐 쌓일 수 있기 때문에, 다수 단 겹친 상태에서는 좌우로 치우쳐 쌓인 것이 혼재하여 전체적으로 물결치는 것과 같은 형상으로 되는 경우나, 대부분이 좌(혹은 우)로 치우친 상태로 쌓여, 전체적으로 좌(혹은 우)로 경사진 형상으로 되는 경우가 있어, 안정된 적재 상태로는 되지 않는다.

본 발명은, 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 기판이 휘어져 기판끼리 접촉하여 파손할 우려가 없는 동시에, 안정적으로 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이를 실현하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 기판을 수평으로 적재함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서,상기 기판 반송용 트레이는, 복수개 겹쳐 쌓았을 때, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 배치되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 상방 접촉부와, 하방에 배치 되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 하방 접촉부를 구비하고, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부의 형상이, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 다른 기판 반송용 트레이를 얹었을 때, 상기 다른 기판 반송용 트레이의 중심이 상기 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상기 다른 기판 반송용 트레이를 이동시키도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 구성에 의하면, 기판 반송용 트레이의 상방에 다른 기판 반송용 트레이를 얹었을 때, 상측의 기판 반송용 트레이의 중심이 하측의 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상측의 기판 반송용 트레이가 이동하기 때문에, 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓았을 때, 기판 반송용 트레이가 수직 방향으로 대략 직선상으로 정렬되게 된다.

따라서, 기판이 휘어져 기판끼리 접촉하여 파손할 우려가 없는 동시에, 안정적으로 겹쳐 쌓을 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 기판을 적재함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서, 상기 기판 반송용 트레이는,복수개 겹쳐 쌓았을 때, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 적재되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 상방 접촉부와, 하방에 적재되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 하방 접촉부를 구비하고, 상기 상방 접촉부는, 기판 반송용 트레이의 내측을 향하는 방향 또는 기판 반송용 트레이의 외측으로 향하는 방향이 낮아지도록 경사진 상방 경사부를 구비하고, 상기 하방 접촉부는, 상기 상방 경사부의 경사 방향과 같은 방향으로 경사진 하측 경사부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있어.

또한, 여기에서 말하는 경사란, 직선상의 것에 한정되지 않고 곡선상의 것도 포함하는 것으로 한다.

이 구성에 의하면, 같은 형상의 트레이를 겹쳐 쌓으면, 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓았을 때, 기판 반송용 트레이가 수직 방향으로 대략 직선상으로 정렬되기 때문에 바람직하다.

맞닿는 영역인 상방 접촉부·하방 접촉부는, 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓았을 때 서로 당접하는 부위이면 좋고, 피적재물의 형상에 따라 결정하면 된다. 예를 들면 피적재물이 디스플레이 패널의 기판과 같이 대면적이고, 기판 반송용 트레이의 저면을 최대한 사용하여 1매의 피적재물을 위치시키도록 한 경우, 당접 영역은, 기판 반송용 트레이의 주연부로 할 수 있다.

당접 영역의 상하측에 있어서의 전체 면이 사면(斜面) 형상으로 되어 있어도 좋고, 당접 영역 상하측에 있어서의 외측 방향 또는 중앙 방향의 일방의 단부를 포함하는 부위만 사면 형상으로, 타방의 단부를 포함하는 부위는 수평인 면으로 되어 있어도 좋다.

상기 구성에 의해서도, 상측의 기판 반송용 트레이는, 하측의 기판 반송용 트레이의 사면 형상을 따라, 하측의 기판 반송용 트레이 위를 미끄러져 내리고, 기판 반송용 트레이의 수평 방향에 있어서의 중심 위치가 양 기판 반송용 트레이끼리 일치하는 위치에서 멈춘다. 따라서, 기판 반송용 트레이가 좌우로 물결치거나 한쪽으로 휘어지는 것을 방지할 수 있고, 즉시 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓을 수 있다. 따라서, 기판 반송용 트레이들을 안정적으로 겹쳐 쌓을 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 피적재물을 적재함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서, 기판 반송용 트레이의 각부에 있어서, 기판 반송용 트레이를 수평면으로 위치시켰을 때 기판 반송용 트레이의 중앙으로 향하는 방향을 중앙 방향, 기판 반송용 트레이의 외측으로 향하는 방향을 외측 방향이라 하고, 중앙 방향 또는 외측 방향의 어느 한쪽을 B 방향이라 할 때, 기판 반송용 트레이의, 상기 피적재물이 적재되지 않은 영역에 있어서, 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓았을 때 기판 반송용 트레이끼리 맞닿는 당접 영역의 상방측의 면의 적어도 일부에, B 방향측이 낮은 사면이 형성되고, 상기 당접 영역의 하방측의 면에, 적층에서 밑에 위치하는 다른 기판 반송용 트레이의 당접 영역의 상방측의 면에 끼워지도록 한 사면이 형성되어 있도록 구성하는 것도 가능하다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 상기 구성에 덧붙여, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는 기판 반송용 트레이의 주연에 배치되어 있도록 구성할 수 있다.

피적재물이 디스플레이 패널의 기판과 같이 대면적의 것이고, 기판 반송용 트레이의 저면을 최대한 사용하여 1매의 피적재물을 놓도록 한 경우, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는 기판 반송용 트레이의 주연부로 함으로써, 기판의 적재 개소를 넓게 취할 수 있다. 또한, 다단으로 적재시 쉽게 안정된다.

이와 같은 주연부를 당접 영역인 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부로서 이 용하는 것에 의해 별도 당접 영역과 같은 형상부를 새로 제공할 필요가 없기 때문에, 구조가 보다 간단하게 된다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는,상기 구성에 덧붙여, 상기 상방 경사부는 상기 상방 접촉부의 표면 전체에 형성되어 있고, 상기 하측 경사부는 하방 접촉부의 하면 전체에 형성되어 있도록 구성할 수 있다.

이 구성에 의하면, 상방에 재치되는 기판 반송용 트레이의 재치가 크게 어긋난 경우에도 이 어긋남을 보정할 수 있다. 즉, 전부 사면으로 되어 있는 것에 의해 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓을 때의 어긋남이 비교적 커도 기판 반송용 트레이의 중량에 의해 자연과 본래의 적재 위치에 이동하기 쉽다.

또한, 상기 당접 영역의 상방측의 면 전체면이 사면 형상이고, 상기 당접 영역의 하방측의 면 전체면이, 적층 아래에 위치하는 다른 기판 반송용 트레이의 당접 영역의 상방측의 상기 사면 형상에 끼워지도록 한 사면 형상으로 구성할 수도 있다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 상기 구성에 덧붙여, 상기 상방 경사부는 상기 상방 접촉부의 표면의 외측 또는 내측의 어느 일방 단을 포함하는 부위에 배치되어 있고, 상기 하방 경사부는 상기 하방 접촉부 중, 상기 상방 경경사부에 배치되어 있는 단에 대응하는 단을 포함하는 부위에 형성되어 있도록 구성할 수 있다.

상기 구성에 의하면, 겹쳐 쌓인 기판 반송용 트레이의 중량을, 수평면부에 의해 보다 강하게 지지할 수 있다.

또한, 상기 당접 영역 상하측에 있어서의 외측 방향 및 중앙 방향 중 일방의 단부를 포함하는 부위만 사면 형상이고, 타방의 단부를 포함하는 부위는 수평인 면으로 되어 있도록 구성할 수도 있다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 상기 구성에 덧붙여, 상기 상방 경사부 및 상기 하방 경사부의 일방 또는 쌍방이 평면상의 경사로 되도록 구성할 수 있다.

상기 구성에 의하면, 상측의 기판 반송용 트레이가, 부드럽게 하측의 기판 반송용 트레이로 떨어진다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 상기 구성에 덧붙여, 상기 상방 경사부 및 상기 하방 경사부의 일방 또는 쌍방이, 하측으로 향할수록 경사가 완만하게 되는 곡면상의 경사로 되도록 구성할 수 있다.

상기 구성에 의하면, 상측의 기판 반송용 트레이가, 하측의 기판 반송용 트레이로 떨어질 때, 멈춰야 할 위치에 접근하면 감속할 수 있어, 보다 조용히 정위치로 수렴될 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 상기 구성에 덧붙여, 상기 상방 경사부와 상기 하방 경사부의 형상이, 각각이 당접하는 부분에 있어서 합동으로 되도록 구성할 수 있다.

상기 구성에 의하면, 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓을 때, 수평면 내에서는,기판 반송용 트레이의 방향을 고려하지 않아도 상하의 기판 반송용 트레이 간에 경사의 선 끼리 일치하고, 적절히 겹쳐 쌓을 수 있기 때문에, 그만큼 처리를 간단히 할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 기판 반송용 트레이는, 상기 구성에 덧붙여, 상기 기판 반송용 트레이는, 이 기판 반송용 트레이를 잡기 위한 척에 계합시키기 위한 돌기를, 주연의 외주면으로부터 외측을 향해 돌출 형성되어 있는 동시에, 상기 외주면은, 상기 기판 반송용 트레이를 수평 배치했을 때 연직으로 되는 방향으로 평면상으로 형성되어 있고, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는 상기 외주면보다 중앙측으로 형성되도록 구성할 수 있다.

이는, 예를 들면, 알루미늄 틀 등의 당접 영역의 외측에는 기판 반송용 트레이의 지지부로서의 돌기 이외의 불필요한 "불거져 나온 부위"가 없다고 하는 것이다. 그 때문에, 예를 들면 적층 상태의 기판 반송용 트레이의 횡으로부터 기판 반송용 트레이 운반 장치의 척을 각 기판 반송용 트레이의 지지부로서의 돌기에 걸어 기판 반송용 트레이를 운반하고자 했을 때, 척이 상기한 바와 같이 불거져 나온 부위에 걸려버릴 염려가 없다. 그 때문에, 보다 유연하게 기판 반송용 트레이를 운반할 수 있다.

더욱이, 상기 당접 영역의, 외측 방향의 측면은,기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓았을 때 겹쳐 쌓여있는 기판 반송용 트레이의 당접 영역의 외측 방향의 측면과의 경계에서는, 돌기가 없는 평면 형상으로 되도록 구성할 수도 있다.

본 발명에 의하면, 기판 반송용 트레이의 상방에 다른 기판 반송용 트레이를 얹었을 때, 상측의 기판 반송용 트레이의 중심이 하측의 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상측의 기판 반송용 트레이가 이동하기 때문에, 기판 반송용 트레이를 적층했을 때, 기판 반송용 트레이가 수직 방향으로 대략 직선상으로 정렬되게 된다. 이에 따라, 기판이 휘어져 기판끼리 접촉하여 파손될 염려가 없는 동시에, 안정적으로 적층할 수 있다.

본 발명의 또 다른 목적, 특징 및 우수한 점은, 이하의 기재에 의해 충분히 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 이점은 첨부 도면을 참조한 하기 설명으로부터 명백하게 될 것이다.

도1(a)는 본 발명의 실시 형태를 나타낸 것으로, 기판 반송용 트레이의 구성을 개략적으로 나타낸 단면 사시도이다.

도1(b)는 본 발명의 실시 형태를 나타낸 것으로, 기판 반송용 트레이를 수평으로 위치시킨 상태에서 연직 상방에서 본 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.

도2는 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓은 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이 다.

도3은 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓은 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도4는 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓아 기판 반송용 트레이를 운반장치로 운반하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도5는 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓아 기판 반송용 트레이 운반 장치로 운반하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도6은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도7은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 나타낸 개략적으로 단면도이다.

도8은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 나타낸 개략적으로 단면도이다.

도9는 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도10은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도11은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도12는 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도13은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도14는 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도15는 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도16은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도17은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도18는기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도19는 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도20은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 나타낸 개략적으로 단면도이다.

도21은 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도22는 비교로 되는 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도23은 비교로 되는 기판 반송용 트레이의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도24는 비교로 되는 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓은 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다

도25는 비교로 되는 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓은 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다

도26은 비교로 되는 기판 반송용 트레이를 겹쳐 쌓아 기판 반송용 트레이 운반 장치로 운반하는 상태를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도27은 종래 기술을 나타낸 것으로, 기판을 넣어 운반하기 위한 포장재의 요부 구성을 개략적으로 나타낸 사시도이다.

본 발명의 1 실시 형태에 대해 도1(a) 내지 도26에 기초하여 설명하면 이하와 같다.

도1(a) 및 도1(b)에 나타낸 바와 같이, 기판 반송용 트레이(1)는, 피적재물로서 예를 들면 액정 디스플레이 패널 등의 글래스 기판(2)(이하, 간단히 기판(2) 라 한다)을 적재하는 것이다. 도1(a)는, 기판 반송용 트레이(1)에 기판(2)을 얹은 상태에서 정확히 중앙에서 연직 방향으로 절단한 단면, 즉 도1(b)에 있어서의 A-A화살표 단면에 관한 사시도이고, 도1(b)는 기판(2)을 기판 반송용 트레이(1)에 적재한 상태에 있어서의 상면도를 나타내고 있다.

여기에서의 설명에 있어서는, 기판(2)을 수평으로 적재하는 상태를 기준으로 하고, 기판(2)은 기판 반송용 트레이(1)의 상방에 재치되는 것으로 하여 설명을 행 한다. 따라서, 도1(a)에 있어서는, 지면(紙面)을 향하여 상방으로 되는 방향이 위이고, 하방으로 되는 방향이 밑이다. 도1(b)는 상면도이므로, 지면을 향해 상하 방향이 깊이 방향이고, 좌우방향으로 되는 방향이 폭방향으로 된다.

기판 반송용 트레이(1)는, 틀(4)과, 틀(4)의 중앙측에 지지되고, 또한 기판(2)를 재치하는 대(臺)로서 기능을 갖는 재치대(6)를 갖고 있다.

재치대(6)는, 기판을 재치하는 평판에, 기판의 외주보다도 조금 큰 내주를 갖는 단면이 직사각형의 틀부(6b)를 갖고 형성되어 있다. 평판의 틀부(6b)를 재치하는 측의 면을 상면으로 하고, 상면과는 반대쪽의 면을 하면이라 칭하고, 평판의 상면 중 틀(6b의 외측으로 되는 개소를 외측부(6a), 내측으로 되는 개소를 내측부(6c)라 칭하면, 내측부(6c) 위에 기판(2)이 재치된다. 이 틀부(6b)는, 기판 반송 용 트레이(1)가 흔들려도 기판(2)이 틀부(6b)에 당접함으로써, 기판(2)이 흘러내리거나, 틀(4)에 직접 닿아 그 충격으로 훼손되지 않도록 설치되어 있다. 그 때문에, 재치대(6)는, 충격을 흡수할 수 있도록 한 소재, 예를 들면 발포 폴리에틸렌 등으로 형성된다. 또한, 외측부(6a)는, 틀(4)에 고정되는 부분이다.

틀(4)은, 재치대(6)의 외주를 둘러싸는 형상으로 형성되므로, 틀 본체(11)와, 틀 본체(11)의 내주면(11c)으로부터 내측을 향해 돌출설치된 한쌍의 평판상의 리브인 상측 고정부(12), 하측 고정부(13)와, 틀 본체(11)의 외측면(11d)으로부터 외측을 향해 돌출설치된 가장자리부(14)를 갖고 있다.

틀 본체(11)는, 도2에 나타낸 바와 같이 기판 반송용 트레이끼리를 적층했을 때, 상방에 재치되는 기판 반송용 트레이와 당접하는 당접 영역인 상방 접촉부(11a,11i) 및 하방에 배치되는 기판 반송용 트레이와 당접하는 당접 영역인 하방 접촉부(11b,11j)를 갖고 있다. 그리고, 상방 접촉부(11a,11i)의 형상은, 외주로부터 내주를 향해 연직 방향의 높이가 낮아지도록 경사가 제공되어 있고, 하방 접촉부(11b,11j)의 형상은, 외주로부터 내주를 향해 연직 방향의 높이가 낮아지도록 경사가 제공되어 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 이 경사는 동일한 경사도로 형성 되어 있고, 상방 접촉부와 하방 접촉부의 폭도 동일하게 형성되어 있기 때문에, 상방 접촉부와 하방 접촉부의 경사 형상은 합동이다.

여기에서, 상방 접촉부(11a,11i)에 제공된 경사 부분을 상방 경사부, 하방 접촉부(11b,11j)에 제공된 경사 부분을 하방 경사부라 칭하면, 상방 경사부와 하방 경사부는, 동일한 방향의 구배를 갖는 경사로서 형성되어 있는 것으로 된다.

또한, 본 실시예에서는, 상방 접촉부(11a,11i)와 하방 접촉부(11b,11j)의 전면에 경사가 제공되어 있기 때문에, 상방 접촉부(11a,11i)와 상방 경사부는 동일한 개소를, 하방 접촉부(11b,11j)와 하방 경사부는 동일한 개소를 가리키게 되지만, 경사가 전체면에 제공되어 있지 않은 경우에는, 다른 개소를 가리키게 된다.

상측 고정부(12), 하측 고정부(13)는, 재치대(6)를 사이에 두고 끼워넣을 수 있을 정도로 떨어져 형성되어 있고, 그 사이에 재치대(6)을 협지함으로써 재치대(6)의 주위를 지지하고 있다.

가장자리부(14)는, 기판 반송용 트레이(1) 전체를 들어올릴 때, 후술하는 기판 반송용 트레이 운반 장치(88)의 척(89)(도4 참조)에 의해 계합되는 부분이고, 본 실시 형태에 있어서는, 틀 본체(11)의 외측면(11d) 전역에서 수평 방향으로 동일 두께를 갖는 평판상으로 연장된 것을 예로서 나타내고 있다. 그러나, 그 형상은 이것에 한정하지 않고, 척(89)의 형상에 의해 적절히 그 형상이 선택된다. 예를 들면, 척이 미리 결정된 대향 변과 계합하는 경우에는, 틀 본체(11)의 외측면(11d) 중 그 대향 변(예컨대 변 11g·11h)에만 제공되어도 좋고, 척(89)에 안정적으로 지지 가능하면, 기타의 형상이라도 된다.

틀 본체(11)의 외측면(11d)은, 가장자리부(14)가 제공되어 있는 이외는, 연직 방향으로 뻗어있는 평면상으로 하고, 돌출부나 오목부가 없도록 제공하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 돌출부나 오목부가 없도록 제공되어 있는 것에 의해 척(89)에 기판 반송용 트레이(1)을 계합시켜 들어올릴 때, 돌출부나 오목부를 척(89)이 붙 잡는 일이 없이, 안정적으로 기판 반송용 트레이 운반 장치(88)을 동작시킬 수 있다.

가장자리부(14)는, 상기와 같이, 기판 반송용 트레이(1)을 잡기 위한 척에 계합시키기 위한 돌기(카세트 파악부)이다. 또한, 상방 접촉부(11a,11i) 및 하방 접촉부(11b,11j)는, 상측 고정부(12)·하측 고정부(13)에서 재치대(6)의 위치 결정 을 행하는 역할을 갖는 위치 결정부이다. 그리고 본 형태에서는, 카세트 파악부인 가장자리부(14)와, 위치결정부인 상방 접촉부(11a,11i) 및 하방 접촉부(11b,11j)가, 서로 다른 부분으로 되어 있다. 그 결과, 카세트 파악부와 위치결정부가 같은 부분으로 되도록 구성한 경우와 달리, 척에 의한 트레이 파악시에 기판 반송용 트레이(1)의 하중에 의해 카세트 파악부가 힘을 받아도 위치결정부는 그 힘을 받지 않게 된다. 따라서, 그 만큼 기판 반송용 트레이(1)의 변형이나, 재치대(6)의 위치결정 정밀도의 악화 등을 억제할 수 있다.

상기한 기판 반송용 트레이(1)를 도2에 나타낸 바와 같이 복수단 적층하면, 위에 위치하는 기판 반송용 트레이(1a)의 하방 접촉부(11b,11j)는, 기판 반송용 트레이(1b)의 상방 접촉부(11a)의 경사면 형상으로 끼워지게 된다. 기판 반송용 트레이(1b)와 그 아래의 기판 반송용 트레이(1c)에 대해서도 동일하다. 그에 의해 기판 반송용 트레이(1a)가 기판 반송용 트레이(1b) 상에 재치될 때, 다소 위치가 어긋나도, 경사면에 있어서의 중력의 작용에 의해 기판 반송용 트레이(1a) 및 기판 반송용 트레이(1b)의 중심이 연직선상에 정렬되는 방향으로 기판 반송용 트레이(1a)가 이동한다. 따라서, 기판 반송용 트레이(1)를 복수단 겹쳐도 각 단에 있어서 수평 방향의 위치가 자동적으로 정렬되게 된다. 이에 의해 기판 반송용 트레이(1)를 예를 들면 50단과 같이 다수 단 적층하여도, 연직 방향으로 균일하게 정렬된다.

도3은, 기판 반송용 트레이(1)을 몇 단이나 겹쳐 쌓은 상태를 나타내고 있다. 더욱이, 도3에서는 재치대(6) 부분의 구조는 간략화하여 묘사하고 있다. 최하단의 기판 반송용 트레이(1)는, 상방 접촉부와 같은 형상을 한 접촉부를 상면에 구 비한 토대(21)에 얹는 것에 의해 안정한다.

또한, 액정 표시 장치용 등의 글래스 기판은 분진의 혼입을 피하는 것이 바람직하기 때문에, 최상단의 기판 반송용 트레이(1)의 위에, 하방 접촉부와 같은 형상을 한 접촉부를 갖는 덮개(22)를 두고 있다. 이 덮개(22)의 작용에 의해 분진의 혼입을 방지할 수 있다.

이와 같은 기판 반송용 트레이(1)는, 도4에 나타낸 바와 같이 기판 반송 트레이 운반 장치(88)에 의해 다른 장치로 운반된다. 기판 반송용 트레이 운반 장치(88)에는, 기판 반송용 트레이(1)의 폭보다도 넓은 폭이 이간된 상태로 배치된 한쌍의 아암(87,87)과, 이 한쌍의 아암(87,87)의 내측면에 설치되고, 기판 반송 트레이(1)를 복수단 겹쳤을 때 인접하는 기판 반송 트레이의 가장자리부(14)의 간격과 동등한 간격을 갖는 척(89)을 구비하여 형성된다.

한쌍의 아암(87,87)은, 기판 반송용 트레이(1)의 폭 방향으로 구동이 자유롭게 설치되어 있고, 그 간격을 적당히 변경할 수 있다. 그 동작은, 우선, 척(89)의 내측단이 가장자리부(14)에 접촉하지 않는 간격으로 되도록 한쌍의 아암(87,87)의 간격을 넓히고, 다단으로 적층된 기판 반송용 트레이 상방으로부터 하측을 향해 하강하고, 기판 반송용 트레이의 외측에 배치하도록 한다. 다음에, 한쌍의 아암(87,87)의 간격을 작게 하여 가장자리부(14)의 하측에 척(89)의 내측단이 배치되도록 이동시키고, 척(89)을 가장자리부(14)에 계합가능하게 한다. 그리고, 한쌍의 아암(87,87)을 상승시키고, 척(89)이 가장자리부(14)에 계합한 상태로 하여 기판 반송용 트레이(1)을 들어올린다. 이와 같이 하여, 기판 반송용 트레이 장치는 기판 반송용 트레이를 운반한다.

상기 기판 반송용 트레이(1)의 비교 대상으로 되는 예(이하, 비교예라 한다)에 대해 도22 내지 도26을 사용하여 기술한다. 비교예는, 기판 반송용 트레이(1)와 같이 피적재물로서 예를 들면 액정 디스플레이 패널 등의 기판(2)을 적재하는 것이다.

비교예에 관한 기판 반송용 트레이(100)는, 도22에 나타낸 바와 같이, 틀 본체(101)의 상방 접촉부 및 하방 접촉부가 수평으로 형성되어 있다. 그리고, 기판 반송용 트레이를 복수 적층시에 상방에 재치되는 기판 반송용 트레이가 미끄러져지지 않도록 하기 위한 틀 모양 돌기(102)가 상방 접촉부의 외측 상단에 설치되고, 또한, 틀 본체(101)의 외측면으로부터 외측을 향해 가장자리부(101d)가 설치되어 있다.

틀 모양 돌기(102)는, 기판 반송용 트레이의 틀 본체(101)의 상단부로부터,틀 본체(101)의 외측면보다도 외측을 향해 수평으로 연설된 상단 외측 연설부로서의 돌기(101b)와, 돌기(101b)의 외측단으로부터 상방을 향해 연직으로 연설된 돌기(101c)로 형성되어 있다.

돌기(101b) 및 돌기(101c)는 어느 것이나 틀 본체(101)의 상단 외측에 전주에 걸쳐 연설되는 것으로, 돌기(101c)의 내 측면은 틀 본체(101)의 하단부의 외측면보다도 외측으로 되도록 형성된다. 그 때문에, 기판 반송용 트레이(100)를 복수단 겹쳤을 때, 상방에 배치되는 기판 반송용 트레이(100)의 틀 본체(101)의 하단부를, 틀 본체(101)의 상단측의 내측에 끼워넣을 수 있다. 또한, 이 끼워넣는 것이 단단하면 분리가 어려워지고, 또한, 제조 오차가 큰 경우에는,·상측의 기판 반송용 트레이를 하측의 기판 반송용 트레이에 얹었을 때 상측의 기판 반송용 트레이가 단면(101c)의 면에 걸릴 염려가 있기 때문에, 상단쪽의 내측면과 상방에 재치되는 기판 반송용 트레이의 하단측의 외측면 사이에는 어느 정도 이상의 여유를 갖고 형성되어 있다. 이 상태를 도23에 나타낸다. 도23에 있어서, d는 상방에 배치되는 기판 반송용 트레이(100)의 틀 본체(101)의 하단측과, 틀 본체(101)의 상단측의 내측 간의 거리(상기한 여유에 해당한다)를 나타내고 있다.

또한, 도22 내지 도26에 기재하는 비교예에 관한 기판 반송용 트레이(100)에 있어서도, 본 실시 형태에 대해 설명한 상측 고정부(12)·하측 고정부(13)(도1(a)및 도1(b) 참조)에 상당하는 것이 존재하지만, 도시를 생략하고 있다. 또, 기판(2)이나 재치대(6)의 형상은 도1(a) 및 도1(b)와 같다. 또, 도24, 도25, 도26에서는 재치대(6) 부분의 구조는 간략화하여 나타내고 있으나, 특별히 도22에 나타낸 것과 바뀐 것은 없다.

상기와 같이, 상단측의 내측면과 상방에 재치된 기판 반송용 트레이의 하단측의 외측면 사이에는 어느 정도 이상의 여유가 필요하지만, 몇 단이나 기판 반송용 트레이를 적재시켰을 때는, 이 여유가 문제를 일으키게 된다. 즉, 여유가 있기 때문에, 상방에 재치된 기판 반송용 트레이(100)는 그 여유분만큼 자유롭게 움직일 수 있기 때문에, 각 단마다 치우침을 일으키게 된다.

다단 적층한 경우에 있어서는, 도24에 나타낸 바와 같이, 이 치우침이 축적되고, 최상단 부근의 기판 반송용 트레이와 최하단 부근의 기판 반송용 트레이에서 는 횡방향의 위치에 큰 치우침이 생기거나, 도25에 나타낸 바와 같이, 최하단에서 최상단에 이르는 사이에 기판 반송용 트레이가 횡방향으로 물결치도록 휘어져 쌓이거나 하여, 기판 반송용 트레이가 올바로 쌓이지 않게 된다. 그 때문에, 몇 단이나 기판 반송용 트레이(100)를 쌓았을 때의 전체의 안정성이 나쁘다.

또한, 상기 구성에서는, 도26에 나타낸 바와 같이, 기판 반송용 트레이 운반 장치(88)의 척(89)에 의해 기판 반송용 트레이(100)를 상승시킬 때, 척(89)이 가장자리부(101d)에 충분히 맞물리지 않고 기판 반송용 트레이가 상승되지 않는 경우나, 척(89)의 일방이 틀 본체(101)의 외측면보다 외측으로 돌출하고 있는 돌기(101b)의 하단면을 붙잡고, 경사진 상태에서 기판 반송용 트레이(100)를 상승시키는 경우 등이 있어, 운반 불량으로 된다.

이에 대해, 본 실시 형태로 관한 구성에서는, 상방에 기판 반송용 트레이(1)을 재치할 때 다소 어긋난 위치에 재치하여도, 재치된 기판 반송용 트레이의 중심이, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 이동하고, 적층된 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 직선상으로 정렬되도록 형성되어 있기 때문에, 상기한 바와 같은 운반 불량은 발생하지 않는다.

또, 기판 반송용 트레이(1)를 상방에 재치했을 때의 위치가, 경사를 제공하고 있는 범위를 초과하여 어긋나지 않는 한, 자동적으로 겹쳐 쌓은 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 직선상으로 정렬되기 때문에, 다소의 어긋남을 허용할 수 있어 바람직하게 된다.

지금까지 기재한 실시 형태에는 여러가지의 변형을 가하는 것이 가능하다. 우선, 기판 반송용 트레이 운반 장치(88)에 관하여는, 도4와 같은 기판 반송용 트레이 운반 장치(88) 이외에도, 도5에 나타낸 바와 같은 기판 반송용 트레이 운반 장치(90)을 사용할 수 있다. 기판 반송용 트레이 운반 장치(90)는, 각 기판 반송용 트레이(1)의 돌기인 가장자리부(14)를 거는 손톱모양의 척(91)을 갖고, 이에 의해 기판 반송용 트레이(1)를 하나씩 운반하는 것이다. 이와 같은 척(91)에 대해서도, 본 발명에 의하면 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 1열로 정렬되기 때문에, 위치를 조정하지 않아도 일정 위치에서 확실히 기판 반송용 트레이를 붙잡을 수 있다.

또한, 기판 반송용 트레이(1)의, 틀 본체(11)의 상방 접촉부 및 하방 접촉부의 형상도 상기 예에 한정되는 것은 아니다. 이하, 이 변형에 대해 도6 내지 도19를 사용하여 기술한다. 또한, 재치대(6) 부분의 구조는 간략화하여 나타낸 것으로 한다. 또, 도1(a) 및 도1(b)에 관한 구성과 동일한 구성에 관해서는 동일한 부호를 붙이고 중복 설명은 생략한다. 또한, 이하의 변형에서는 모두, 도1(a) 및 도1(b)와 같이, 재치대(6)를 둘러싸는 전주(全周)에 대해 경사를 갖는 구성에 대해서 설명하지만, 도1(a) 및 도1(b)와 같은 경우도 포함하여, 이와 같은 경사가 형성되어 있는 것은 둘레 위치 중 일부만이라도 좋다.

도6의 예에서는, 도1(a) 및 도1(b)와 같이, 기판 반송용 트레이(1)의 틀 본체(11)의 상방 접촉부(11a,11i) 및 하방 접촉부(11b,11j)는, 내측이 외측에 비해 낮아지는 경사를 갖고 있다. 그러나, 상방 접촉부는 전체가 기울어져 있지 않고, 외주 단부를 포함하는 일부만이 경사진 상방 경사부로 되어 있고, 내단부를 포함한 나머지는 수평면으로 되어 있다. 또한, 하방 접촉부는 전체가 경사져 있지 않고, 외주 단부를 포함하는 일부만 경사진 하방 경사부로 되어 있다. 이 구성에 의해서도 상하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 상방 경사부에 당접하는 위치에 배치된 경우에 대해서는, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상방에 재치된 기판 반송용 트레이의 중심이 이동하고, 겹쳐 쌓은 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 직선상으로 정렬되기 때문에, 동일한 작용 효과를 일으킨다.

도7의 예에서는, 도1(a) 및 도1(b)와 같이, 기판 반송용 트레이(1)의 틀 본체(11)의 상방 접촉부(11a,11i) 및 하측 접촉면(11b,11j)은, 내측이 외측에 비해 낮아지는 경사를 갖고 있다. 그러나, 상방 접촉부는 전체가 경사져 있지 않고, 내주 단부를 포함한 일부만 경사진 상방 경사부로 되어 있고, 내단부를 포함한 나머지는 수평면으로 되어 있다. 또한, 하방 접촉부는 전체가 경사져 있지는 않고, 내주 단부를 포함하는 일부만 경사진 하방 경사부로 되어 있다. 당해 구성에 의해서도 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 상방 경사부에 당접하는 위치에 배치된 경우에 대해서는, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상방에 재치된 기판 반송용 트레이의 중심이 이동하고, 겹쳐 쌓은 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 직선상으로 정렬되기 때문에, 동일한 작용 효과를 일으킨다.

도8의 예에서는, 도1(a) 및 도1(b)와 같이, 기판 반송용 트레이(1)의 틀 본체(11)의 상방 접촉부(11a,11i) 및 하측 접촉부(11b,11j)는, 전체가 경사면 형상으 로 되어 있으나, 모두, 내측에 비해 외측이 낮아져 있다. 이 형상의 경우는, 도1(a) 및 도1(b)에 나타낸 예와 같은 효과를 일으킨다.

도9의 예에서는, 도8과 같이, 기판 반송용 트레이(1)의 틀 본체(11)의 상방 접촉부(11a,11i) 및 하측 접촉면(11b,11j)은 내측이 외측에 비해 낮아지는 경사를 갖고 있다. 그러나, 상방 접촉부는 전체가 경사져 있는 것은 아니고, 외주 단부를 포함하는 일부만 경사진 상방 경사부로 되어 있고, 내단부를 포함한 나머지는 수평면으로 되어 있다. 또, 하방 접촉부는 전체가 경사져 있지는 않고, 외주 단부를 포함하는 일부만 경사진 하방 경사부로 되어 있다. 이 예는 도6의 예와 같은 효과를 나타낸다.

도10의 예에서는, 도8과 같이, 기판 반송용 트레이(1)의 틀 본체(11)의 상방 접촉부(11a,11i) 및 하방 접촉면(11b,11j)은, 내측이 외측에 비해 낮아지는 경사를 갖고 있다. 그러나, 상방 접촉부는 전체가 경사져 있지는 않고, 내주 단부를 포함하는 일부만이 경사진 상방 경사부로 되어 있고, 내단부를 포함한 나머지는 수평면으로 되어 있다. 또, 하방 접촉부는 전체가 경사져 있지는 않고, 내주 단부를 포함하는 일부만 경사진 하방 경사부로 되어 있다. 이 예는 도7의 예와 같은 효과를 나타낸다.

도11의 예에서는, 도1(a)및 도1(b)와 같이, 기판 반송용 트레이(1)의 틀 본체(11)의 상방 접촉부(11a,11i) 및 하방측의 저면(11b)은, 내측이 외측에 비해 낮게 되어 있다. 그러나, 상방 경사부 및 하방 경사부는 내주 단부를 포함하는 영역 및 외주 단부를 포함하는 영역은 수평이고, 양 영역에 협지된 일부의 (중간 영역) 만 사면이다. 이 경우에도, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 상방 경사부에 당접하는 위치에 배치된 경우에 대해서는, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상방에 재치한 기판 반송용 트레이의 중심이 이동하고, 겹쳐 쌓은 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 직선상으로 정렬되기 때문에, 동일한 작용 효과를 일으킨다.

도12의 예에서는, 도8과 같이, 기판 반송용 트레이(1)의 틀 본체(11)의 상방 접촉부(11a,11i) 및 하방 접촉면(11b,11j)은, 내측이 외측에 비해 낮아지는 경사를 갖고 있다. 그러나, 상방 경사부 및 하방 경사부는 내주 단부를 포함하는 영역 및 외주 단부를 포함하는 영역은 수평이고, 양 영역에 사이에 협지된 일부의 (중간 영역)만이 사면이다. 이 경우에도, 상방에 재치한 기판 반송용 트레이의 하방 경사부가, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 상방 경사부에 당접하는 위치에 배치된 경우에 대해서는, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상방에 재치된 기판 반송용 트레이의 중심이 이동하고, 겹쳐 쌓은 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 직선상으로 정렬되기 때문에, 동일한 작용 효과를 일으킨다..

상기에 나타낸 예에 대해서는 어느 것이나 사면은 평면으로 되어 있으나, 곡면으로 하는 것도 가능하다. 이 사면을 곡면으로 형성한 예에 대해 도13 내지 도19에 나타낸다.

도13은, 도1(a) 및 도1(b)에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를 평면상으로 형성하지 않고, 하방일수록 경사 구배가 완만하게 되는 곡면상으로 한 것이다. 이 와 같이 하여도 도1(a) 및 도1(b)에 나타낸 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

도14는, 도1(a) 및 도1(b)에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를 평면상으로 형성하지 않고 상방일수록 경사 구배가 완만하게 되는 곡면상으로 한 것이다. 이와 같이 하여도 도11(a) 및 도1(b)에 나타낸 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

도15는, 도6에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를, 하방일수록 경사 구배가 완만하게 되는 곡면으로 한 것이다. 이와 같이 하여도 도6에 나타낸 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

도16은, 도7에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를, 상방일수록 경사 구배가 완만하게 되는 곡면으로 한 것이다. 이와 같이 해도 도7에 나타낸 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

도17은, 도8에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를 평면상으로 형성하지 않고 하방일수록 경사 구배가 완만하게 되는 곡면상으로 한 것이다. 이와 같이 하여도 도8에 예시한 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

도18은, 도8에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를 평면상으로 형성하지 않고 상방일수록 경사 구배가 완만하게 되는 곡면상으로 한 것이다. 이와 같이 하여도, 도8에 나타낸 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

도19는, 도9에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를, 하방일수록 경사 구배가 완만하게 되는 곡면으로 한 것이다. 이와 같이 해도 도9에 나타낸 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

도20은, 도10에 나타낸 예를 변형한 것으로, 경사를, 상방일수록 경사 구배 가 완만하게 되는 곡면으로 한 것이다. 이와 같이 해도 도10에 나타낸 예와 같은 효과를 나타낼 수 있다.

상기 모든 예에 있어서는, 당접 영역의 경사 방향이 동일인 것에 대해 나타냈으나, 도21에 나타낸 바와 같이, 상방 경사부와 하방 경사부의 경사를 반대로 한 구성도 가능하다. 즉, 외측보다도 내측이 하방으로 되도록 한 경사를 갖는 상방 경사부와 내측보다도 외측이 하방으로 되도록 한 경사를 갖는 하방 경사부를 갖는 기판 반송용 트레이(1f)와, 내측보다도 외측이 하측으로 되도록 한 경사를 갖는 상방 경사부와 외측보다도 내측이 하방으로 되도록 한 경사를 갖는 하방 경사부를 갖는 기판 반송용 트레이(1g)의 2종류의 기판 반송용 트레이를 형성하고, 이를 번갈아 겹쳐 쌓도록 해도 좋다. 또한, 이 경우는, 2종류의 기판 반송용 트레이(1f·1g)를 번갈아 적층할 필요가 있다. 이 예에서도, 상기 다른 모든 예와 같이, 상방에 기판 반송용 트레이를 재치할 때에 다소 어긋난 위치에 재치하여도, 재치한 기판 반송용 트레이의 중심이, 하방에 인접하는 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 이동하고, 겹쳐 쌓은 기판 반송용 트레이가 연직 방향으로 직선상으로 정렬되도록 형성되게 된다.

또한, 상기 모든 예에 있어서는, 상방 접촉부와 하방 접촉부의 형상을 합동(기판 반송용 트레이를 중합시켰을 때 상방 접촉부가 하방 접촉부의 전면에 걸쳐 동일하도록 대향하는 형상)으로 했지만, 이에 의해 전체 면에 걸쳐 상방의 기판 반송용 트레이를 지지하기 때문에 안정적으로 지지하는 것이 가능하다.

또한, 발명을 실시하기 위한 형태의 항에 있어서 행한 구체적인 실시형태 또 는 실시예는, 어디까지나, 본 발명의 기술 내용을 명백히 하는 것으로, 그와 같은 구체적인 사례에만 한정하여 협의로 해석되는 것은 아니고, 본 발명의 정신과 다음으로 기재하는 특허청구범위 내에서, 여러가지로 변경하여 실시할 수 있는 것이다.

본 발명은, 피적재물로서의 기판끼리가 휘어져 접촉하여 파손할 우려를 방지할 수 있는 동시에, 기판 반송용 트레이끼리를 안정적으로 적층할 수 있기 때문에,기판을 적재한 상태로 복수개 적층하여 운반 등을 행하는 용도로 사용 가능하다.

Claims (10)

1. 기판을 수평으로 재치함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서,

   상기 기판 반송용 트레이는, 복수개 적층시, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 배치되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 상방 접촉부와, 하방에 배치되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 하방 접촉부를 구비하고,

   상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부의 형상이, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 다른 기판 반송용 트레이를 재치했을 때, 상기 다른 기판 반송용 트레이의 중심이 상기 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상기 다른 기판 반송용 트레이를 이동시키도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
2. 기판을 적재함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서,

   상기 기판 반송용 트레이는, 복수개 겹쳐 쌓았을 때, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 재치되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 상방 접촉부와, 하방에 재치 되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 하방 접촉부를 구비하고,

   상기 상방 접촉부는, 기판 반송용 트레이의 내측을 향하는 방향 또는 기판 반송용 트레이의 외측을 향하는 방향이 낮아지도록 경사진 상방 경사부를 구비하고,

   상기 하방 접촉부는, 상기 상방 경사부의 경사 방향과 같은 방향으로 경사진 하방 경사부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
3. 제2항에 있어서, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는 기판 반송용 트레이의 주연에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부는 상기 상방 접촉부의 상면 전체에 형성되어 있고,

   상기 하방 경사부는 하방 접촉부의 하면 전체에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
5. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부는 상기 상방 접촉부의 상면의 외측 또는 내측의 어느 일방의 단을 포함하는 부위에 배치되어 있고,

   상기 하방 경사부는 상기 하방 접촉부 중, 상기 상방 경사부가 배치되어 있는 단에 대응하는 단을 포함하는 부위에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
6. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부 및 상기 하방 경사부의 일방 또는 쌍방이 평면상의 경사인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
7. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부 및 상기 하방 경사부의 일방 또는 쌍방이, 하방으로 향할수록 경사가 완만하게 되는 곡면상의 경사인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
8. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부와 상기 하방 경사부의 형상이, 각각이 당접하는 부분에 있어서 합동인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
9. 제3항에 있어서, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는, 트레이를 붙잡기 위한 척에 계합시키기 위한 돌기와 다른 부분인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
10. 제3항에 있어서, 상기 트레이는, 이 트레이를 붙잡기 위한 척에 계합시키기 위한 돌기를, 주연의 외주면으로부터 외측을 향해 돌출 형성되어 있는 동시에,

    상기 외주면은, 상기 트레이를 수평 배치했을 때에 연직으로 되는 방향으로 평면상으로 형성되어 있고,

    상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는 상기 외주면보다도 내측에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.

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