KR20060086971A - 기판 반송용 트레이 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 기판을 수평으로 재치함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서,상기 기판 반송용 트레이는, 복수개 적층시, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 배치되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 상방 접촉부와, 하방에 배치되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 하방 접촉부를 구비하고,상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부의 형상이, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 다른 기판 반송용 트레이를 재치했을 때, 상기 다른 기판 반송용 트레이의 중심이 상기 기판 반송용 트레이의 중심의 연직 상방에 배치되는 방향으로 상기 다른 기판 반송용 트레이를 이동시키도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 기판을 적재함과 동시에 복수개 겹쳐 쌓을 수 있는 기판 반송용 트레이에 있어서,상기 기판 반송용 트레이는, 복수개 겹쳐 쌓았을 때, 상기 기판 반송용 트레이의 상방에 재치되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 상방 접촉부와, 하방에 재치 되는 기판 반송용 트레이와 접촉하는 하방 접촉부를 구비하고,상기 상방 접촉부는, 기판 반송용 트레이의 내측을 향하는 방향 또는 기판 반송용 트레이의 외측을 향하는 방향이 낮아지도록 경사진 경사부를 구비하고,상기 하방 접촉부는, 상기 상방 경사부의 경사 방향과 같은 방향으로 경사진 하방 경사부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제2항에 있어서, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는 기판 반송용 트레이의 주연에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부는 상기 상방 접촉부의 상면 전체에 형성되어 있고,상기 하방 경사부는 하방 접촉부의 하면 전체에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부는 상기 상방 접촉부의 상면의 외측 또는 내측의 어느 일방의 단을 포함하는 부위에 배치되어 있고,상기 하방 경사부는 상기 하방 접촉부 중, 상기 상방 경사부가 배치되어 있는 단에 대응하는 단을 포함하는 부위에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부 및 상기 하방 경사부의 일방 또는 쌍방이 평면상의 경사인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부 및 상기 하방 경사부의 일방 또는 쌍방이, 하방으로 향할수록 경사가 완만하게 되는 곡면상의 경사인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 상방 경사부와 상기 하방 경사부의 형상이, 각각이 당접하는 부분에 있어서 합동인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제3항에 있어서, 상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는, 트레이를 붙잡기 위한 척에 계합시키기 위한 돌기와 다른 부분인 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
- 제3항에 있어서, 상기 트레이는, 이 트레이를 붙잡기 위한 척에 계합시키기 위한 돌기를, 주연의 외주면으로부터 외측을 향해 돌출 형성되어 있는 동시에,상기 외주면은, 상기 트레이를 수평 배치했을 때에 연직으로 되는 방향으로 평면상으로 형성되어 있고,상기 상방 접촉부 및 상기 하방 접촉부는 상기 외주면보다도 내측에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 트레이.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190098882A (ko) * | 2018-02-14 | 2019-08-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치용 포장 용기 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7661544B2 (en) * | 2007-02-01 | 2010-02-16 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor wafer boat for batch processing |
JP5113507B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2013-01-09 | 新光電気工業株式会社 | 放熱板収納トレー |
US8042697B2 (en) | 2008-06-30 | 2011-10-25 | Memc Electronic Materials, Inc. | Low thermal mass semiconductor wafer support |
CN101934888B (zh) * | 2009-06-29 | 2012-11-21 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 托盘 |
JP4941527B2 (ja) * | 2009-09-09 | 2012-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体チップ収容トレイ |
US20120032054A1 (en) * | 2010-08-09 | 2012-02-09 | Tzung-Lin Huang | Stackable holder for an integrated circuit package |
JP5924471B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2016-05-25 | キョーラク株式会社 | 薄板パネルの積重ねに用いるモジュール、および薄板パネルの積重ね方法 |
JP5736630B2 (ja) * | 2010-12-25 | 2015-06-17 | キョーラク株式会社 | 薄板パネルの積重ねに用いるモジュール、および薄板パネルの積重ね方法 |
JP5782912B2 (ja) * | 2011-08-15 | 2015-09-24 | 大日本印刷株式会社 | 基板保持用枠体と基板の梱包体 |
US9130088B2 (en) * | 2011-11-08 | 2015-09-08 | Apollo Precision Fujian Limited | Solar panel with integrated mounting clip/shipping support |
KR101253462B1 (ko) * | 2012-10-22 | 2013-04-10 | 재 욱 한 | 진열대용 수직프레임 및 이를 이용한 다용도 조립식 진열대 |
JP6282603B2 (ja) | 2013-02-11 | 2018-02-21 | アキレス株式会社 | テープフレーム付きウエハ用トレイ |
JP2014207277A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池モジュール |
JP6290051B2 (ja) * | 2014-09-12 | 2018-03-07 | 三甲株式会社 | パレット |
CN104528112B (zh) * | 2014-12-03 | 2017-03-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 可堆叠的包装箱及包装箱组 |
JP5987956B2 (ja) * | 2015-07-07 | 2016-09-07 | 大日本印刷株式会社 | 基板保持用枠体と基板の梱包体 |
EP3127829B1 (de) * | 2015-08-03 | 2018-03-14 | Schoeller Allibert GmbH | Stapelbarer behälter mit zentrierhilfen |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US46109A (en) * | 1865-01-31 | Safe-guard for protecting pottery-ware | ||
US738980A (en) * | 1903-01-29 | 1903-09-15 | Charles Bradley | Pressman's tray. |
US1384468A (en) * | 1920-03-26 | 1921-07-12 | Ray Y Cliff | Saggar |
US1877424A (en) * | 1929-06-04 | 1932-09-13 | New Castle Refractories Compan | Crank |
US1941941A (en) * | 1931-04-22 | 1934-01-02 | William W Irwin | Ware support for kilns |
US1971784A (en) * | 1932-04-30 | 1934-08-28 | Delta B Howell | Crank |
US2233434A (en) * | 1937-12-06 | 1941-03-04 | William F Smith | Ceramic support |
US2352684A (en) * | 1941-01-24 | 1944-07-04 | John S Braddock | Serving plate |
US2738564A (en) * | 1954-12-15 | 1956-03-20 | Edward J Guinane | Ceramic tile stackers |
US3549018A (en) * | 1968-11-08 | 1970-12-22 | Banner Metals Inc | Plastic tray |
US3589511A (en) * | 1969-08-13 | 1971-06-29 | Owens Illinois Inc | Package and tray for tubes or the like |
US3695424A (en) * | 1970-10-28 | 1972-10-03 | Eastman Kodak Co | Package for fragile articles |
US4144968A (en) * | 1978-06-26 | 1979-03-20 | Kenneth Shelton | Disposable food tray and container system |
FR2663003B1 (fr) | 1990-06-12 | 1992-09-11 | Sgs Thomson Microelectronics | Conteneur pour plaquette semiconductrice. |
JPH0449715A (ja) * | 1990-06-18 | 1992-02-19 | Nec Corp | 半導体論理回路 |
JPH0448136U (ko) | 1990-08-31 | 1992-04-23 | ||
US5103976A (en) * | 1990-09-25 | 1992-04-14 | R. H. Murphy Company, Inc. | Tray for integrated circuits with supporting ribs |
JPH05294375A (ja) | 1992-04-17 | 1993-11-09 | Fujitsu Ltd | Icトレー |
JPH061239U (ja) | 1992-06-10 | 1994-01-11 | 修身 北岡 | 長尺物用トレー |
JPH06239349A (ja) | 1993-02-12 | 1994-08-30 | Fujimori Kogyo Kk | トレイ |
US5492223A (en) * | 1994-02-04 | 1996-02-20 | Motorola, Inc. | Interlocking and invertible semiconductor device tray and test contactor mating thereto |
US5418692A (en) * | 1994-08-22 | 1995-05-23 | Shinon Denkisangyo Kabushiki-Kaisha | Tray for semiconductor devices |
US6193506B1 (en) * | 1995-05-24 | 2001-02-27 | Brooks Automation, Inc. | Apparatus and method for batch thermal conditioning of substrates |
JPH098116A (ja) | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送治具及び半導体製造装置 |
JP2910684B2 (ja) | 1996-07-31 | 1999-06-23 | 日本電気株式会社 | ウエハー容器 |
JP2933130B2 (ja) * | 1996-10-18 | 1999-08-09 | 信越ポリマー株式会社 | キャリアテープおよびキャリアテープ成形用金型装置 |
JP3977481B2 (ja) | 1997-04-11 | 2007-09-19 | 淀川ヒューテック株式会社 | 基板用トレイカセット |
US6202883B1 (en) * | 1998-02-06 | 2001-03-20 | Mitsubishi Engineering-Plastics Corp. | Tray for semiconductor integrated circuit devices |
US5957293A (en) * | 1998-05-04 | 1999-09-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Tray to ship ceramic substrates and ceramic BGA packages |
JP2000281170A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Nkk Corp | Icトレイ |
US6264467B1 (en) * | 1999-04-14 | 2001-07-24 | Applied Materials, Inc. | Micro grooved support surface for reducing substrate wear and slip formation |
JP3771084B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2006-04-26 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置用トレイ |
JP2002002871A (ja) * | 2000-04-20 | 2002-01-09 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法およびそれに用いられるトレイ |
JP2002104575A (ja) | 2000-10-05 | 2002-04-10 | Toyo Jushi Kk | Icチップ収納トレー |
JP2003031647A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-31 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
US6809936B2 (en) * | 2002-02-07 | 2004-10-26 | E.Pak International, Inc. | Integrated circuit component carrier with angled supporting and retaining surfaces |
US6914771B2 (en) * | 2002-05-29 | 2005-07-05 | Hirokazu Ono | Tray for electronic components |
JP2004059116A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Sharp Corp | ディスプレイ用基板収納用トレイ及びディスプレイ用基板の取り出し機構並びにディスプレイ用基板の取り出し方法 |
JP2004149149A (ja) | 2002-10-30 | 2004-05-27 | Toppan Printing Co Ltd | 大型ガラス基板用搬送トレイ |
TWI229650B (en) * | 2002-11-19 | 2005-03-21 | Sharp Kk | Substrate accommodating tray |
JP2004284601A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の搬送方法および実装方法ならびに包装方法およびそれに用いられる収容体の再利用方法 |
JP4003882B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2007-11-07 | シャープ株式会社 | 基板移載システム |
JP4299721B2 (ja) * | 2003-12-09 | 2009-07-22 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の搬送方法および半導体装置の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190098882A (ko) * | 2018-02-14 | 2019-08-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치용 포장 용기 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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WO2005044694A8 (ja) | 2005-08-04 |
US20070068882A1 (en) | 2007-03-29 |
WO2005044694A1 (ja) | 2005-05-19 |
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CN1874939A (zh) | 2006-12-06 |
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---|---|---|
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