KR101698635B1

KR101698635B1 - 기판 수납 용기

Info

Publication number: KR101698635B1
Application number: KR1020127020591A
Authority: KR
Inventors: 오사무 오가와
Original assignee: 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
Priority date: 2010-03-04
Filing date: 2011-02-24
Publication date: 2017-01-20
Also published as: EP2544226A4; TWI519455B; US8770410B2; JP5318800B2; EP2544226B1; TW201217242A; EP2544226A1; KR20130044198A; US20120325707A1; JP2011181867A; CN102792435B; WO2011108424A1; CN102792435A

Abstract

반도체 웨이퍼 수납용의 용기 본체의 천장에 부착 기구를 설치하고, 부착 기구에 반송 부품인 로보틱 플랜지를 착탈이 자유롭게 부착하는 기판 수납 용기이고, 부착 기구는 천장에 대설되는 복수 쌍의 지지 레일과, 천장에 설치되는 복수의 가이드편과, 각 가이드편에 형성되는 간섭 걸어맞춤부를 구비하고, 가이드편과 간섭 걸어맞춤부를 조합하여 그 앞부분을 두 갈래부로 형성한다. 또, 반송 부품은 복수 쌍의 지지 레일 사이에 지지되는 부품 본체를 구비하고, 부품 본체에 유체용의 유통구를 천공함과 아울러, 두 갈래부에 간섭하는 탄성 변형 가능한 탄성 걸어맞춤편을 내장한다.

Description

기판 수납 용기{SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}

본 발명은 반도체 웨이퍼, 유리 웨이퍼, 마스크 유리 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송, 수송 등을 할 때 사용되는 기판 수납 용기에 관한 것이다.

종래에 있어서의 기판 수납 용기는, 도시하지 않지만, 복수 매의 반도체 웨이퍼를 상하로 나란히 정렬 수납하는 프론트 오픈 박스(front open box)의 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구한 정면을 개폐하는 덮개체를 구비하고, 용기 본체에 부착 기구가 설치되고, 이 부착 기구에 반송용의 반송 부품이 착탈이 자유롭게 부착되어 있고, 반도체 웨이퍼의 수납, 보관, 반송, 수송에 사용되고 있다(특허문헌 1, 2 참조).

부착 기구는 용기 본체의 주벽(周壁), 구체적으로는 용기 본체의 천장과 양 측벽에 각각 일체 형성되어 있다. 이 부착 기구는 용기 본체의 주벽에 대설(對設)되어 서로 대향하는 한 쌍의 지지 레일을 구비하고, 이 한 쌍의 지지 레일의 근방에 반송 부품용의 걸어맞춤부와 걸어맞춤 리브(rib)가 각각 형성되어 있다. 이러한 부착 기구는, 한 쌍의 지지 레일이 반송 부품을 끼우고, 걸어맞춤부와 걸어맞춤 리브가 끼워진 반송 부품에 걸어맞춰져 고정한다.

반송 부품은 용기 본체의 천장에 부착 기구를 통하여 착탈이 자유롭게 부착되어 반송 장치에 파지되는 로보틱 플랜지(robotic flange)와, 용기 본체의 양 측벽에 부착 기구를 통하여 각각 착탈이 자유롭게 부착되어 수동 조작되는 한 쌍의 매뉴얼 핸들(manual handle)을 구비하고 있다. 이 반송 부품은 복수 매의 반도체 웨이퍼를 가득 실은 무거운 기판 수납 용기(반도체 웨이퍼를 가득 실은 경우에는 약 7kg의 질량)를 확실히 지지하는 관점에서 고강성을 가지는 폴리카보네이트 등에 의해 성형되어 있다.

반송 부품은 예를 들면 부착 기구의 한 쌍의 지지 레일에 끼워지는 판형의 기체를 구비하고, 이 기체에 지주가 대략 수직으로 돌출 형성되어 있고, 이 지주의 단부에 파지용의 플랜지나 파지부가 형성되어 있다. 반송 부품의 기체에는, 부착 기구의 걸어맞춤 리브에 변형되어 걸어맞춰지는 되돌림 방지용의 후크부(hook part)가 일체 형성되어 있다.

일본 특허공개 2000306988호 공보 일본 특허공개 200834879호 공보

종래에 있어서의 기판 수납 용기는, 이상과 같이 반송 부품이 고강성의 폴리카보네이트 등의 성형 재료에 의해 성형되고, 반송 부품의 기체에 되돌림 방지용의 후크부가 일체 형성되어 있으므로, 후크부에 높은 탄성력을 부여할 수가 없다. 이 때문에, 부착 기구의 걸어맞춤 리브에 후크부를 걸어맞추는 경우에는, 후크부에 큰 외력을 가하여 무리하게 변형시켜 걸어맞추지 않으면 안되어, 작업성이 나쁘다고 하는 문제가 있다. 또, 부착 기구의 걸어맞춤 리브로부터 후크부를 떼어내는 경우에도, 후크부에 외력을 강하게 가하여 무리하게 변형시키지 않으면 안되어, 작업성의 향상을 도모할 수가 없을 우려가 있다.

또, 복수 회에 걸쳐 후크부를 부착하고 떼어내고 하면, 후크부가 변형되어 충분한 걸어맞춤력을 유지할 수 없고, 걸어맞춤 리브로부터 후크부가 빠지기 쉬워질 우려가 있다. 또, 걸어맞춤 리브와 후크부의 걸어맞춤 개소가 반송 부품의 이면측으로 되는 경우에는, 조작에 지장을 초래하고, 작업성이나 조작성의 저하를 초래하게 된다.

또한, 기판 수납 용기의 용기 본체는 세정조의 세정수에 의해 세정하여 사용되거나 재사용되는데, 부착 기구의 지지 레일, 걸어맞춤부, 걸어맞춤 리브가 이른바 막다른 골목 구조로 구성되어 있으므로 세정수가 잔존하기 쉽고, 또한 건조용의 공기의 유통성도 나쁘므로 건조에 장시간을 요하게 된다. 용기 본체에 세정수가 잔존하면, 물방울의 흔적이 남거나, 용기 본체를 형성하는 성형 재료로부터 휘발성의 유기 가스가 생겨 수납 상태의 반도체 웨이퍼에 부착하고, 유기 화합물 염을 형성하여 오염이나 부식원으로 될 우려가 있다.

본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로, 용기 본체의 부착 기구에 대한 반송 부품의 부착 작업의 작업성을 향상시키고, 부착 기구로부터 반송 부품이 빠지기 쉬워질 우려를 배제하고, 부착 기구나 반송 부품에 세정수 등의 액체가 잔존하는 것을 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명에 있어서는 상기 과제를 해결하기 위해, 기판을 수납하는 용기 본체에 부착 기구를 설치하고, 이 부착 기구에 반송 부품을 착탈이 자유롭게 부착하도록 한 것으로서, 부착 기구는 용기 본체의 주벽에 설치되는 지지 레일부와, 용기 본체의 주벽에 설치되는 가이드편과, 이 가이드편에 형성되는 간섭 걸어맞춤부를 포함하고, 가이드편과 간섭 걸어맞춤부를 조합하여 그 앞부분을 두 갈래부로 형성하고, 반송 부품은 부착 기구의 지지 레일부에 지지되는 부품 본체를 구비하고, 이 부품 본체에 유체용의 유통구를 설치함과 아울러, 부착 기구의 가이드편에 안내되는 탄성 걸어맞춤편을 설치하고, 이 탄성 걸어맞춤편을 부착 기구의 가이드편과 간섭 걸어맞춤부의 두 갈래부에 간섭시키도록 한 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 부착 기구에는 용기 본체의 주벽에 설치되고 반송 부품에 걸리는 스토퍼(stopper)를 구비하면 좋다.

또, 용기 본체를 정면이 개구한 프론트 오픈 박스로 형성하고, 부착 기구의 가이드편을 용기 본체의 전후 방향을 향해 그 측면에는 간섭 걸어맞춤부를 형성함과 아울러, 가이드편을 용기 본체의 전후 방향에 교차하는 방향으로 경사시키고, 반송 부품의 탄성 걸어맞춤편에, 부착 기구의 가이드편에 접촉하여 휘는 가요성(flexibility)을 부여하고, 이 탄성 걸어맞춤편에는 부착 기구의 간섭 걸어맞춤부에 간섭하는 돌출부를 형성할 수가 있다.

또, 부착 기구의 지지 레일부를 복수로 하여 대향시키고, 이 대향하는 복수의 지지 레일부를, 용기 본체의 후방에서 전방을 향함에 따라 지지 레일부 사이의 거리가 짧아지도록 각각 경사시키고, 부착 기구의 가이드편을 복수의 지지 레일부 사이에 설치하여 용기 본체의 좌우 방향의 중심선을 향해 경사시키고, 반송 부품의 부품 본체를 중공으로 형성하여 그 내부에는 탄성 걸어맞춤편을 내장하고, 부품 본체의 양 측부에, 부착 기구의 복수의 지지 레일부에 끼워지는 끼움판을 각각 형성하여 각 끼움판의 측면을 지지 레일부의 경사를 따르도록 경사시키고, 부품 본체의 상부에 플랜지를 형성함과 아울러, 이 플랜지에는 탄성 걸어맞춤편을 노출시키는 조작공을 설치하고, 복수의 끼움판과 플랜지의 적어도 어느 것에 유체용의 유통구를 설치할 수가 있다.

또, 부착 기구의 지지 레일부를 복수로 하여 대향시키고, 이 대향하는 복수의 지지 레일부를, 용기 본체의 후방에서 전방을 향함에 따라 지지 레일부 사이의 거리가 짧아지도록 각각 경사시키고, 부착 기구의 가이드편을 복수의 지지 레일부 사이에 설치하여 용기 본체의 상하 방향으로 경사시키고, 반송 부품의 부품 본체를 대략 사다리꼴의 판으로 형성하여 그 양 측면을 지지 레일부의 경사를 따르도록 경사시키고, 부품 본체의 이면에는 탄성 걸어맞춤편을 형성하고, 부품 본체에 탄성 걸어맞춤편을 노출시키는 조작공을 설치할 수가 있다.

또한, 부품 본체와 끼움판의 적어도 어느 일방의 이면에, 용기 본체의 주벽과의 사이에 간극을 구획하는 요철부를 형성하고, 부품 본체에 부착 기구의 가이드편의 접촉에 수반하는 탄성 걸어맞춤편의 과잉의 변형을 규제하는 변형 규제부를 형성하는 것이 가능하다.

여기서, 특허 청구의 범위에 있어서의 기판에는, 적어도 단수 복수의 반도체 웨이퍼(φ200, 300, 450mm의 실리콘 웨이퍼), 유리 웨이퍼, 마스크 유리 등이 포함된다. 용기 본체는 투명, 불투명, 반투명 등을 특히 따지지 않는다. 이 용기 본체의 주벽에는 적어도 용기 본체의 천장, 배면벽, 측벽 등이 포함된다. 또, 부착 기구의 가이드편과 간섭 걸어맞춤부는, 예를 들면 평면 대략 Y자형, λ자형, ν자형, 이들에 유사한 형태로 조합된다. 가이드편은 지지 레일부의 근방이나 주변에 설치할 수가 있다.

반송 부품에는 적어도 용기 본체의 천장에 착탈이 자유롭게 부착되어 반송 장치에 파지되는 로보틱 플랜지(robotic flange), 용기 본체의 측벽에 착탈이 자유롭게 부착되어 수동 조작되는 매뉴얼 핸들(manual handle), 용기 본체의 측벽 하부에 착탈이 자유롭게 부착되어 반송시에 사용되는 사이드 레일(side rail) 등이 포함된다.

반송 부품의 부품 본체에는 탄성 걸어맞춤편을 보강 리브를 통하여 설치하고, 이 보강 리브와 탄성 걸어맞춤편을 간극을 통하여 대향시키고, 보강 리브에 의해 탄성 걸어맞춤편의 과잉의 휨을 규제할 수가 있다. 부품 본체에는 단수 복수의 유통구나 탄성 걸어맞춤편을 설치할 수가 있다. 또한, 유체에는 적어도 각종의 액체(예를 들면, 세정액이나 순수 등)나 기체(예를 들면, 공기나 불활성 가스 등)가 포함된다.

본 발명에 의하면, 용기 본체의 주벽의 부착 기구에 반송 부품을 부착하는 경우에는, 부착 기구의 지지 레일부에 반송 부품을 지지시킨다. 이때 부착 기구의 가이드편에 반송 부품의 탄성 걸어맞춤편이 접촉하여 안내되고, 탄성 걸어맞춤편이 가이드편과 간섭 걸어맞춤부의 두 갈래부, 즉 간섭 걸어맞춤부에 간섭한다. 간섭 걸어맞춤부에 탄성 걸어맞춤편이 간섭하면, 탄성 걸어맞춤편이 원래의 상태로 복원되고, 용기 본체의 부착 기구에 반송 부품을 부착할 수가 있다.

또, 부품 본체의 유통구는 액체나 기체 등으로 이루어지는 유체가 사용될 때, 이 유체를 부품 본체의 내외로 원활히 유통시키고, 반송 부품의 세정이나 건조 작업의 작업성을 향상시킨다.

본 발명에 의하면, 용기 본체의 부착 기구에 대한 반송 부품의 부착 작업의 작업성을 향상시키고, 부착 기구로부터 반송 부품이 빠지기 쉬워질 우려를 배제할 수가 있다고 하는 효과가 있다. 또, 부착 기구나 반송 부품에 세정수 등의 액체가 잔존하는 것을 억제할 수가 있다.

또, 청구항 2 기재의 발명에 의하면, 스토퍼가 반송 부품에 접촉하여 걸리므로, 용기 본체에 대한 반송 부품의 과잉의 슬라이드(slide)나 위치 어긋남, 덜거덕거림 등을 유효하게 방지할 수가 있다.

또, 청구항 3 기재의 발명에 의하면, 부착 기구의 경사진 가이드편에 반송 부품의 탄성 걸어맞춤편을 접촉시키고, 이 탄성 걸어맞춤편을 변형시키면서 적절히 안내할 수가 있다. 또, 탄성 걸어맞춤편이 휘어 변형된 후, 탄성 걸어맞춤편이 그 반력에 의해 가이드편을 통과하여 가이드편과 간섭 걸어맞춤부의 두 갈래부에 돌출부를 간섭시키므로, 용기 본체의 주벽에 반송 부품을 강고하게 부착할 수가 있다.

또, 청구항 4 또는 5 기재의 발명에 의하면, 부착 기구의 복수의 지지 레일부가 용기 본체의 전후 방향으로 경사지므로, 용기 본체에 대한 반송 부품의 위치 어긋남이나 덜거덕거림을 간이한 구성으로 방지할 수가 있고, 소정의 개소에 반송 부품을 적절히 슬라이드시키는 것이 가능하게 된다. 또, 반송 부품이나 끼움판의 측면이 지지 레일의 경사에 대응하여 경사지므로, 반송 부품을 세트할 때의 방향을 착각하는 일이 적다. 또, 플랜지나 부품 본체에 탄성 걸어맞춤편을 노출시키는 조작공을 설치하므로, 탄성 걸어맞춤편의 위치에 관계없이 탄성 걸어맞춤편을 용이하게 조작할 수가 있다.

또, 청구항 6 기재의 발명에 의하면, 요철부가 구획하는 간극을 유체가 체류하지 않고 매끄럽게 유통하므로, 반송 부품에 세정수 등의 액체가 잔존하는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다. 또한, 변형 규제부에 의해, 탄성 걸어맞춤편이 과잉으로 변형되어 손상되거나, 탄성 걸어맞춤편이 과도하게 변형되어 충분한 걸어맞춤력을 유지할 수 없게 될 우려를 유효하게 방지하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 전체 사시 설명도이다.
도 2는 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 부착 기구를 모식적으로 나타내는 평면 설명도이다.
도 3은 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 부착 기구와 반송 부품을 모식적으로 나타내는 평면 설명도이다.
도 4는 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 부착 기구와 로보틱 플랜지를 기울기 후방으로부터 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 5는 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 부착 기구와 로보틱 플랜지를 모식적으로 나타내는 단면 설명도이다.
도 6은 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 로보틱 플랜지를 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 7은 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 로보틱 플랜지를 이면측으로부터 모식적으로 나타내는 사시 설명도이다.
도 8은 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 로보틱 플랜지를 모식적으로 나타내는 단면 측면도이다.
도 9는 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 실시 형태에 있어서의 부착 기구의 가이드편 및 간섭 걸어맞춤부와 로보틱 플랜지의 탄성 걸어맞춤편의 관계를 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 10은 본 발명에 관계되는 기판 수납 용기의 제2의 실시 형태를 모식적으로 나타내는 측면 설명도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명하면, 본 실시 형태에 있어서의 기판 수납 용기는, 도 1 내지 도 9에 나타내듯이, 반도체 웨이퍼를 수납하는 용기 본체(1)와, 이 용기 본체(1)의 개구한 정면을 개폐하는 착탈이 자유로운 덮개체(10)를 구비하고, 용기 본체(1)의 주벽에 부착 기구(20)를 설치하고, 이 부착 기구(20)에 반송용의 반송 부품(30)을 착탈이 자유롭게 부착하도록 하고 있다.

반도체 웨이퍼는 예를 들면 φ300mm의 실리콘 웨이퍼로 이루어지고, 용기 본체(1) 내에 복수 매가 수평으로 하여 상하로 정렬 수납되거나, 전용의 핸들링 로봇에 의해 순차 꺼내진다.

용기 본체(1)와 덮개체(10)는 소정의 수지를 함유하는 성형 재료에 의해 복수의 부품이 각각 사출 성형되고, 이 복수의 부품의 조합으로 구성된다. 이 성형 재료 중의 소정의 수지로서는, 예를 들면 역학적 성질이나 내열성 등이 뛰어난 폴리카보네이트, 폴리에터에터케톤, 폴리에터이미드, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 액정 폴리머, 혹은 환상 올레핀 수지 등을 들 수 있다. 소정의 수지에는 카본, 카본 섬유, 금속 섬유, 카본 나노튜브, 도전성 폴리머, 대전 방지제, 또는 난연제 등이 필요에 따라 선택적으로 첨가된다.

용기 본체(1)는, 도 1이나 도 2에 나타내듯이, 정면의 개구한 프론트 오픈 박스로 성형되고, 천장(2)이 상하 방향으로 약간 경사져 있고, 반도체 웨이퍼의 가공 장치에 부설된 로드 포트(load port) 장치 상에 상방으로부터 위치결정 탑재된다. 이 용기 본체(1)는 내부의 양측, 즉 양 측벽(3)의 내면에 반도체 웨이퍼를 수평으로 지지하는 좌우 한 쌍의 지지편이 대설(對設)되고, 이 한 쌍의 지지편이 용기 본체(1)의 상하 방향으로 소정의 간격으로 배열된다.

용기 본체(1)의 저판의 앞부분 양측과 뒷부분 중앙에는, 기판 수납 용기, 구체적으로는 용기 본체(1)를 위치결정하는 위치결정구(具)가 각각 장착된다. 용기 본체(1)의 저판에는 센싱(sensing)이나 고정에 제공되는 바텀 플레이트(bottom plate)가 장착되고, 이 바텀 플레이트가 복수의 위치결정구를 각각 노출시킨다. 또, 용기 본체(1)의 양 측벽(3)의 외면에는, 손가락 등을 간섭시킬 수 있는 매뉴얼 핸들(manual handle)(4)이 각각 전후 방향으로 기울여 신장 형성된다.

덮개체(10)는, 도 1에 나타내듯이, 용기 본체(1)의 개구한 정면 내에 끼워맞춰지는 가로로 긴 케이스와, 이 케이스의 개구한 정면을 피복하는 표면 플레이트(11)와, 이들 케이스와 표면 플레이트(11) 사이에 개재되는 잠금 기구(13)를 구비하여 구성된다. 이 덮개체(10)의 케이스는 기본적으로는 프레임형의 주벽(周壁)을 구비한 얕은 바닥의 단면 대략 접시형으로 형성되고, 주벽의 상하 양 측부에는 잠금 기구(13)용의 관통공이 각각 천공되어 있고, 각 관통공이 용기 본체(1)의 정면 내주의 걸림 구멍에 대향한다.

케이스의 이면에는 반도체 웨이퍼를 탄발적으로 보지(保持)하는 프론트 리테이너(front retainer)가 착탈이 자유롭게 장착된다. 이 프론트 리테이너는 덮개체(10)의 변형을 방지하는 세로로 긴 프레임체을 구비하고, 이 프레임체의 좌우 한 쌍의 세로대부에는 경사지면서 내방향으로 뻗는 복수의 탄성편이 상하로 나란히 일체 형성되고, 각 탄성편에는 반도체 웨이퍼의 앞부분 주연(周緣)을 U자 홈 또는 V홈에 의해 보지하는 작은 보지 블록이 일체 형성된다.

케이스의 이면 주연부에는 프레임형의 끼워맞춤홈이 형성되고, 이 끼워맞춤홈에는 용기 본체(1)의 정면 내주에 압접하는 개스킷이 밀착하여 끼워진다. 이 개스킷은, 예를 들면 내열성이나 내후성 등이 뛰어난 불소 고무, 실리콘 고무, 각종의 열가소성 엘라스토머(elastomer)(예를 들면, 올레핀계, 폴리에스터계, 폴리스티렌계 등) 등을 성형 재료로 하여 탄성 변형 가능한 프레임형으로 성형된다.

표면 플레이트(11)는 케이스의 개구한 정면에 대응하도록 가로로 긴 평판으로 형성되고, 좌우 양 측부에는 잠금 기구(13)용의 조작구(12)가 각각 천공된다. 또, 잠금 기구(13)는 표면 플레이트(11)의 조작구(12)를 관통한 로드 포트(load port) 장치의 조작핀에 회전 조작되는 좌우 한 쌍의 회전 플레이트(14)와, 각 회전 플레이트(14)의 회전에 수반하여 상하 방향으로 슬라이드(slide)하는 복수의 슬라이드 플레이트와, 각 슬라이드 플레이트의 슬라이드에 수반하여 케이스의 관통공으로부터 돌출하여 용기 본체(1)의 걸림 구멍에 걸리는 출몰 가능한 복수의 걸림 발톱을 구비하여 구성되고, 프론트 리테이너의 전방에 위치한다.

부착 기구(20)는 용기 본체(1)의 주벽, 구체적으로는 용기 본체(1)의 천장(2)이나 측벽(3)에 일체적으로 배치되지만, 본 실시 형태에서는 용기 본체(1)의 천장(2)에 배치되는 경우에 대해서 설명한다. 이 경우의 부착 기구(20)는 예를 들면 용기 본체(1)나 덮개체(10)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 성형된다.

부착 기구(20)는, 도 1 내지 도 5, 도 8이나 도 9에 나타내듯이, 용기 본체(1)의 천장(2) 표면의 양 측부에 배치되어 서로 대향하는 좌우 한 쌍의 지지 레일(21)을 복수 나란히 구비하고, 이 복수 쌍(예를 들면 2쌍)의 지지 레일(21) 사이에 반송 부품(30)이 착탈이 자유롭게 지지된다. 이 복수 쌍의 지지 레일(21)은, 도 2나 도 5 등에 나타내듯이, 크기나 길이가 다른 한 쌍의 지지 레일(21)과 한 쌍의 지지 레일(21)이 용기 본체(1)의 천장(2)의 표면 중앙부를 통하여 가로 일렬로 배열된다.

각 한 쌍의 지지 레일(21)은 용기 본체(1)의 후방(도 2의 하측)에서 전방(도 2의 상측)을 향함에 따라 지지 레일(21)과 지지 레일(21) 사이의 폭이 서서히 달라지도록(좁아지도록) 경사지게 대설되고, 각 지지 레일(21)이 용기 본체(1)의 전후 방향으로 직선적으로 뻗는 단면 대략 L자형으로 굴곡 형성된다.

복수 쌍의 지지 레일(21) 중 가장 양측의 지지 레일(21)의 앞부분 사이에 위치하는 용기 본체(1)의 천장(2)에는, 반송 부품(30)에 걸리는 단면 대략 L자형의 스토퍼(22)가 간격을 두어 복수 형성되고, 이 복수의 스토퍼(22) 사이에 위치하는 용기 본체(1)의 천장(2)에는, 용기 본체(1)의 전방으로 뻗는 좌우 한 쌍의 가이드편(23)이 간격을 두고 배열 형성되어 있고, 각 가이드편(23)의 외측면 앞부분에는 간섭 걸어맞춤부(24)가 일체 형성된다.

가이드편(23)과 간섭 걸어맞춤부(24)는, 도 2나 도 9에 나타내듯이, 앞부분이 두 갈래부(25)의 약간 변형된 평면 대략 Y자형으로 조합되고, 가이드편(23)이 용기 본체(1)의 전후 방향에 교차하는 방향, 환언하면, 용기 본체(1)의 좌우 방향의 중심선, 보다 구체적으로는 간섭 걸어맞춤부(24)와는 반대 방향을 향해 서서히 경사진다. 간섭 걸어맞춤부(24)는 가이드편(23)보다도 짧게 형성되고, 가이드편(23)보다도 용기 본체(1)의 전방을 향해 굴곡하여 신장되어 있고, 가이드편(23)의 선단부로부터 서서히 이격한다.

두 갈래부(25)는 특히 한정되는 것은 아니지만, 도 9에 나타내듯이, 반송 부품(30)이 걸린 후에 간단히 삽입 방향으로 빠져 버리는 것을 방지하는 관점에서, 삽입 방향으로 경사지거나 오목하게 형성되는 등이 바람직하다. 이와 같이 두 갈래부(25)가 형성됨으로써, 충격에 수반하는 반송 부품(30)의 예기치 못한 탈락을 방지할 수가 있다.

반송 부품(30)은 로보틱 플랜지(31), 좌우 한 쌍의 매뉴얼 핸들(4), 좌우 한 쌍 사이드 레일 등이 적당히 선택되지만, 본 실시 형태에서는 용기 본체(1)의 천장(2) 중앙부에 착탈이 자유롭게 부착되어 천장 반송 장치에 파지되는 로보틱 플랜지(31)에 대해서 설명한다. 이 로보틱 플랜지(31)는 복수 매의 반도체 웨이퍼를 가득 실은 무거운 기판 수납 용기를 확실히 지지하는 관점에서, 용기 본체(1), 덮개체(10), 부착 기구(20)와 마찬가지의 성형 재료에 의해 성형된다.

로보틱 플랜지(31)는, 도 1, 도 3 내지 도 9에 나타내듯이, 부착 기구(20)의 복수 쌍의 지지 레일(21) 사이에 슬라이드하여 배치되는 평면 대략 중공 프레임형의 부품 본체(32)를 구비하고, 이 부품 본체(32)의 하단부 양측으로부터 한 쌍의 지지 레일(21)에 각각 끼워지는 좌우 한 쌍의 끼움판(40)이 수평 방향으로 신장하고 있고, 부품 본체(32)의 개구한 상단부에는 천장 반송 장치에 파지되는 플랜지(44)가 수평으로 일체 형성된다.

부품 본체(32)는 전후좌우에 주벽(33)을 구비하고 그 내부에는 플랜지(44)와 일체화하여 강도를 확보하는 복수의 보강 리브(rib)(34)가 전후좌우로 나란히 배치되고, 이 복수의 보강 리브(34) 중 용기 본체(1)의 전방측에 위치하는 좌우 한 쌍의 보강 리브(34)에는 전방으로 신장하여 부착 기구(20)의 가이드편(23)이나 간섭 걸어맞춤부(24)에 간섭하는 탄성 변형 가능한 탄성 걸어맞춤편(35)이 각각 일체 형성된다. 이 부품 본체(32)의 주벽(33)에는 부품 본체(32)의 내외로 유체, 즉 세정수나 공기(도 4의 화살표 참조) 등을 유통시키는 필요한 수의 유통구(36)가 천공된다.

각 보강 리브(34)는 부품 본체(32)의 주벽 모퉁이부를 걸치도록 주벽 내면 사이에 일체적으로 가설되는 평면 L자형으로 형성되고, 부품 본체(32)의 주벽(33) 사이에 평면 대략 직사각형의 공간을 구획한다. 이 보강 리브(34)는 부품 본체(32)의 주벽(33)보다도 낮게 형성되어 세정수나 공기를 유통시키는 간극(37)을 구획 형성하고, 이 간극(37)과 주벽(33)의 유통구(36)를 경유하여 세정수나 공기가 부품 본체(32)의 내외를 유통한다.

각 탄성 걸어맞춤편(35)은 가요성을 가지는 직선적인 대략 판형으로 형성되어 측방의 보강 리브(34)에 간극을 두어 대향하고, 선단 하부에, 부착 기구(20)의 가이드편(23)에 안내되어 두 갈래부(25)의 간섭 걸어맞춤부(24)에 간섭하는 원기둥형의 잠금핀(38)이 일체 형성된다. 탄성 걸어맞춤편(35)의 상부에는 상방으로 돌출하는 조작용의 파지편(39)이 대략 반원형으로 일체 형성된다.

각 끼움판(40)은 기본적으로는 용기 본체(1)의 천장(2) 표면에 겹치는 평탄한 판형으로 형성되고 그 양 측면(41)이 지지 레일(21)의 경사를 따르도록 각각 서서히 경사지고, 용기 본체(1)의 후방에서 전방으로 슬라이드하여 지지 레일(21)에 착탈이 자유롭게 걸어맞춰지고, 또한 스토퍼(22)에 끼워맞춰져 걸려 필요 이상의 슬라이드가 규제된다. 이 끼움판(40)은 세정수나 공기를 유통시키는 평면 대략 트랙(track)형의 유통구(42)가 천공되고, 이면의 앞부분과 양 측부에 복수의 요철부(43)가 각각 배열 형성되어 있고, 이 복수의 요철부(43)가 용기 본체(1)의 천장(2)과의 사이에 세정수나 공기를 유통시키는 복수의 간극을 구획 형성한다.

또한, 복수의 요철부(43)는 끼움판(40)의 이면 외에, 필요에 따라 부품 본체(32)의 주벽(33)의 이면 등에도 적당히 형성된다.

플랜지(44)는 기본적으로는 네 귀퉁이부가 모따기된 평면 직사각형으로 형성되고, 중앙부에 나사 고정용의 오목부(45)가 형성되어 있고, 천장 반송 장치에 센싱되거나 위치결정된다. 오목부(45)는 대략 원뿔대형으로 형성되어 복수의 보강 리브(34)의 굴곡부 부근과 일체화하고, 중심부의 두께 방향으로 나사공(46)이 천공되어 있고, 이 나사공(46)에 나사 등으로 이루어지는 체결구가 상방으로부터 나사관통하여 용기 본체(1)의 천장 중앙부의 나사 구멍(5)에 나사삽입됨으로써, 로보틱 플랜지(31)가 고정 가능하게 된다.

플랜지(44)에는 부품 본체(32) 내로 연통하는 복수의 유통구(47)와 각공(48)이 각각 나란히 천공되고, 이 복수의 각공(48) 중 용기 본체(1)의 전방측에 위치하는 좌우 한 쌍의 각공(48)으로부터 탄성 걸어맞춤편(35)이 각각 시인(視認) 가능, 조작 가능하게 노출된다. 이 노출되는 탄성 걸어맞춤편(35)은 부착 기구(20)의 가이드편(23)의 접촉에 수반하여, 로보틱 플랜지(31)의 슬라이드 방향과 직교하는 방향, 즉 용기 본체(1)의 좌우 방향으로 휘어 변형되지만, 각공(48)을 구획하는 내측변(49)과의 거리(D)가 휨량의 범위 내로 되도록 조정된다(도 3 참조).

플랜지(44)의 부품 본체(32)의 주벽(33)으로부터 뻗어나가는 주연부의 전후좌우에는 위치결정용의 복수의 V홈(50)이 간격을 두어 배열 형성된다. 또, 플랜지(44) 표면의 전방과 좌우에는 복수의 굴곡홈(51)이 간격을 두어 배열 형성된다.

상기 구성에 있어서, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)에 반송 부품(30)인 로보틱 플랜지(31)를 장착하는 경우에는, 용기 본체(1)의 천장(2) 후방에 로보틱 플랜지(31)를 배치하고, 부착 기구(20)의 복수 쌍의 지지 레일(21) 사이에 로보틱 플랜지(31)의 끼움판(40)을 각각 끼워 용기 본체(1)의 전방으로 슬라이드시키고, 각 스토퍼(22)에 로보틱 플랜지(31)의 끼움판(40) 앞부분을 걸리게 하여 로보틱 플랜지(31)의 상방에의 빠짐을 방지한다.

이때 부착 기구(20)의 복수 쌍의 지지 레일(21)이 용기 본체(1)의 전후 방향으로 경사져 있으므로, 용기 본체(1)에 대한 로보틱 플랜지(31)의 위치 어긋남이나 덜거덕거림을 간이한 구성으로 방지할 수가 있다. 따라서, 소정의 개소에 로보틱 플랜지(31)를 적절히 슬라이드시킬 수가 있다. 또, 로보틱 플랜지(31)의 끼움판(40)의 측면(41)도 지지 레일(21)의 경사에 대응하여 기울어져 있으므로, 로보틱 플랜지(31)를 세트할 때의 방향을 착각하는 일이 없다.

로보틱 플랜지(31)가 전방으로 슬라이드하면 도 9에 나타내듯이, 부착 기구(20)의 경사진 한 쌍의 가이드편(23)에 로보틱 플랜지(31)의 탄성 걸어맞춤편(35)이 각각 미끄럼 접합하여 안내되고, 한 쌍의 탄성 걸어맞춤편(35)이 서로 다른 방향, 구체적으로는 용기 본체(1)의 좌우 방향 내측으로 각각 휘어 변형된 후, 각 탄성 걸어맞춤편(35)이 가이드편(23)의 앞부분을 타고 넘어 가이드편(23)과 간섭 걸어맞춤부(24)의 분기한 두 갈래부(25), 즉 외측의 간섭 걸어맞춤부(24)에 잠금핀(38)을 간섭시킨다.

이때 용기 본체(1)의 내측으로 탄성 걸어맞춤편(35)이 과잉으로 크게 휘어 변형되려고 하면, 근접하는 보강 리브(34)에 접촉하여 그 변형이 규제되므로(도 7 참조), 탄성 걸어맞춤편(35)의 과잉의 변형에 수반하는 손상을 유효하게 방지할 수가 있다. 이렇게 하여 각 두 갈래부(25)의 간섭 걸어맞춤부(24)에 잠금핀(38)이 간섭하여 걸어맞춰지면, 휜 각 탄성 걸어맞춤편(35)이 원래의 상태로 복원되고, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)에 로보틱 플랜지(31)를 강고하게 장착할 수가 있다.

다음에, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)에 장착한 로보틱 플랜지(31)를 떼어내는 경우에는, 로보틱 플랜지(31)의 각공(48)에 상방으로부터 손가락을 삽입하여 각 탄성 걸어맞춤편(35)의 파지편(39)을 각공(48)의 내측변(49) 방향으로 누름 조작하여, 각 탄성 걸어맞춤편(35)을 용기 본체(1)의 좌우 방향 내측으로 휘게 하여 변형시키고, 간섭 걸어맞춤부(24)와 잠금핀(38)의 간섭을 해제한다.

간섭 걸어맞춤부(24)와 잠금핀(38)의 간섭을 해제하면, 로보틱 플랜지(31)를 용기 본체(1)의 후방으로 슬라이드시키고, 복수 쌍의 지지 레일(21)과 로보틱 플랜지(31)의 끼움판(40)의 끼움 관계를 해제하면, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)로부터 로보틱 플랜지(31)를 떼어낼 수가 있다.

상기 구성에 의하면, 탄성 걸어맞춤편(35)의 파지편(39)을 각공(48)의 내측변(49) 방향으로 조작하여, 탄성 걸어맞춤편(35)을 용기 본체(1)의 좌우 방향 내측으로 휘게 하여 변형시키는 것만으로 좋기 때문에, 탄성 걸어맞춤편(35)에 큰 외력을 가하여 무리하게 변형시킬 필요가 전혀 없다. 따라서, 부착 기구(20)에 대한 로보틱 플랜지(31)의 떼어내기 작업의 작업성을 현저히 향상시킬 수가 있다.

또, 탄성 걸어맞춤편(35)의 휨량이 작으므로, 복수 회에 걸쳐 탄성 걸어맞춤편(35)을 부착하고 떼어내도, 탄성 걸어맞춤편(35)이 변형되어 빠지기 쉬워질 우려를 유효하게 배제할 수가 있다. 또, 각공(48)에 손가락을 삽입하여 탄성 걸어맞춤편(35)의 파지편(39)을 조작하여 탄성 걸어맞춤편(35)을 휘게 하므로, 조작에 지장을 초래하는 일이 실로 적고, 작업성이나 조작성의 저하를 초래하는 일이 없다.

또, 로보틱 플랜지(31)의 부품 본체(32), 한 쌍의 끼움판(40), 플랜지(44)에 복수의 유통구(36, 42, 47)가 각각 천공됨과 아울러, 각 끼움판(40)에 복수의 요철부(43)가 형성되어 있으므로, 가령 기판 수납 용기의 용기 본체(1)가 세정수에 의해 세정되어도, 세정수가 잔존하거나 건조용의 공기의 유통성이 저하되는 일이 매우 적다. 따라서, 용기 본체(1)를 단시간에 건조시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 용기 본체(1)에 세정수가 잔존하는 일이 매우 적으므로, 물방울 흔적이 남거나 용기 본체(1)의 성형 재료로부터 휘발성의 유기 가스가 생겨 반도체 웨이퍼에 부착하는 것을 억제 방지할 수가 있다. 또한, 유기 화합물염의 생성으로 오염이나 부식원으로 될 우려를 배제하는 것이 가능하게 된다.

다음에, 도 10은 본 발명의 제2의 실시 형태를 나타내는 것으로, 이 경우에는 용기 본체(1)의 양 측벽(3)의 외면에 부착 기구(20)와 사이드 레일(52)을 각각 상하로 떼어 배치하고, 각 부착 기구(20)에 반송 부품(30)으로서 매뉴얼 핸들(4)을 착탈이 자유롭게 부착하도록 하고 있다.

각 부착 기구(20)는, 용기 본체(1)의 측벽(3) 표면에 배치되어 서로 대향하는 상하 한 쌍의 지지 레일(21)을 구비하고, 이 한 쌍의 지지 레일(21) 사이에 반송 부품(30)이 착탈이 자유롭게 지지된다. 이 한 쌍의 지지 레일(21)은 용기 본체(1)의 후방에서 전방을 향함에 따라 지지 레일(21)과 지지 레일(21) 사이의 폭이 서서히 좁아지도록 경사지게 대설되고, 각 지지 레일(21)이 용기 본체(1)의 전후 방향으로 직선적으로 뻗는 단면 대략 L자형으로 굴곡 형성된다.

한 쌍의 지지 레일(21) 사이에 위치하는 용기 본체(1)의 측벽(3) 표면에는 용기 본체(1)의 전방으로 뻗는 가이드편(23)이 간격을 두고 배열 형성되고, 가이드편(23)의 외측면 앞부분에는 간섭 걸어맞춤부(24)가 일체 형성된다. 가이드편(23)과 간섭 걸어맞춤부(24)는, 앞부분이 두 갈래부(25)의 약간 변형된 평면 대략 Y자형으로 조합되고, 가이드편(23)이 용기 본체(1)의 전후 방향에 교차하는 방향, 환언하면, 간섭 걸어맞춤부(24)와는 반대의 상하 방향을 향해 서서히 경사진다.

또한, 용기 본체(1)의 각 측벽(3)에는 필요에 따라 매뉴얼 핸들(4)의 앞부분에 걸리는 단면 대략 L자형의 복수의 스토퍼(22)가 간격을 두고 적당히 형성된다.

매뉴얼 핸들(4)은, 부착 기구(20)의 한 쌍의 지지 레일(21) 사이에 용기 본체(1)의 후방(도 10의 우측)에서 전방으로 슬라이드하여 배치되는 평면 대략 사다리꼴의 부품 본체(53)를 구비하고, 이 부품 본체(53)의 이면 뒷부분에 탄성 변형 가능한 탄성 걸어맞춤편(35)이 보강 리브(34)를 통하여 일체 형성되어 있고, 이 탄성 걸어맞춤편(35)이 전방으로 신장하여 부착 기구(20)의 가이드편(23)이나 간섭 걸어맞춤부(24)에 간섭한다.

부품 본체(53)는 예를 들면 용기 본체(1)의 측벽(3)에 대향하는 단면 대략 해트(hat)형의 판으로 형성되어 그 양 측면(54)이 지지 레일(21)의 경사를 따르도록 서서히 경사지고, 앞부분에는 세정수나 공기를 유통시키는 유통구(36)가 천공되어 있고, 뒷부분에는 탄성 걸어맞춤편(35)을 시인 가능, 조작 가능하게 노출시키는 각공(48)이 천공된다. 이 부품 본체(53)의 표면의 전후부에는 지주부(55)가 각각 배치되고, 이 한 쌍의 지주부(55) 사이에는 쥠용의 그립(grip)(56)이 가설된다.

부품 본체(53)의 이면의 양 측부 등에는 복수의 요철부(43)가 각각 선택적으로 배열 형성되고, 이 복수의 요철부(43)가 용기 본체(1)의 측벽(3)과의 사이에 세정수나 공기를 유통시키는 복수의 간극을 구획 형성한다. 또, 탄성 걸어맞춤편(35)은 가요성을 가지는 직선적인 대략 판형으로 형성되어 보강 리브(34)에 간극을 두어 대향하고, 선단 하부에, 부착 기구(20)의 가이드편(23)에 안내되어 간섭 걸어맞춤부(24)에 간섭하는 원기둥형의 잠금핀(38)이 일체 형성된다. 탄성 걸어맞춤편(35)의 상부에는 돌출하는 조작용의 파지편(39)이 선택적으로 형성된다.

또한, 보강 리브(34)는 필요에 따라 부품 본체(53)의 이면 뒷부분에 대략 井자형, 대략 I자형, 대략 H자형, 대략 L자형, 대략 T자형 등으로 일체 형성되고, 적어도 일부가 탄성 걸어맞춤편(35)의 측면에 간극을 통하여 대향한다.

상기 구성에 있어서, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)에 반송 부품(30)인 매뉴얼 핸들(4)을 장착하는 경우에는, 용기 본체(1)의 측벽(3) 후방에 매뉴얼 핸들(4)을 배치하고, 부착 기구(20)의 한 쌍의 지지 레일(21) 사이에 매뉴얼 핸들(4)의 부품 본체(53)를 끼워 용기 본체(1)의 전방으로 슬라이드시키고, 매뉴얼 핸들(4)의 탈락을 방지한다.

이때 부착 기구(20)의 한 쌍의 지지 레일(21)이 경사져 있으므로, 소정의 개소에 매뉴얼 핸들(4)을 적절히 슬라이드시킬 수가 있다. 또, 부품 본체(53)의 양 측면(54)도 지지 레일(21)의 경사에 대응하여 기울어져 있으므로, 매뉴얼 핸들(4)을 세트할 때의 방향을 착각하는 일이 없다.

매뉴얼 핸들(4)이 전방으로 슬라이드하면, 부착 기구(20)의 경사진 한 쌍의 가이드편(23)에 매뉴얼 핸들(4)의 탄성 걸어맞춤편(35)이 미끄럼 접합하여 안내되고, 탄성 걸어맞춤편(35)이 용기 본체(1)의 상하 방향으로 휘어 변형된 후, 탄성 걸어맞춤편(35)이 가이드편(23)의 앞부분을 타고 넘어 가이드편(23)과 간섭 걸어맞춤부(24)의 두 갈래부(25), 즉 간섭 걸어맞춤부(24)에 잠금핀(38)을 간섭시킨다.

이때 탄성 걸어맞춤편(35)이 과잉으로 휘어 변형되려고 하면, 근접하는 보강 리브(34)에 접촉하여 그 변형이 규제되므로, 탄성 걸어맞춤편(35)의 과잉의 변형에 수반하는 손상을 유효하게 방지할 수가 있다. 두 갈래부(25)의 간섭 걸어맞춤부(24)에 잠금핀(38)이 간섭하면, 휜 탄성 걸어맞춤편(35)이 원래의 상태로 복원되고, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)에 매뉴얼 핸들(4)을 강고하게 장착할 수가 있다.

다음에, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)에 장착한 매뉴얼 핸들(4)을 떼어내는 경우에는, 매뉴얼 핸들(4)의 각공(48)에 손가락을 삽입하여 탄성 걸어맞춤편(35)을 조작하여, 탄성 걸어맞춤편(35)을 용기 본체(1)의 상하 방향으로 휘게 하여 변형시키고, 간섭 걸어맞춤부(24)와 잠금핀(38)의 간섭을 해제한다.

간섭 걸어맞춤부(24)와 잠금핀(38)의 간섭을 해제하면, 매뉴얼 핸들(4)을 용기 본체(1)의 후방으로 슬라이드시키고, 한 쌍의 지지 레일(21)과 매뉴얼 핸들(4)의 끼움 관계를 해제하면, 용기 본체(1)의 부착 기구(20)로부터 매뉴얼 핸들(4)을 떼어낼 수가 있다. 그 외의 부분에 대해서는, 상기 실시 형태와 대략 동일하므로 설명을 생략한다.

본 실시 형태에 있어서도 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 기대할 수 있고, 또한 부착 기구(20)나 반송 부품(30)의 구성의 다양화를 도모할 수가 있는 것은 분명하다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서의 용기 본체(1)의 양 측벽(3) 하부에 부착 기구(20)를 각각 배치하고, 각 부착 기구(20)에 반송 부품(30)으로서 사이드 레일(52)을 착탈이 자유롭게 부착해도 좋다. 또, 복수 쌍의 지지 레일(21) 사이에 위치하는 용기 본체(1)의 천장(2) 표면에 좌우 한 쌍의 끼워맞춤홈을 전후 방향으로 절결(切缺)하여 형성하고, 부품 본체(32)의 주벽(33) 하단부에, 천장(2)의 각 끼워맞춤홈에 끼워맞춰지는 끼워맞춤편을 형성해도 좋다. 또, 상기 실시 형태에서는 부착 기구(20)의 지지 레일(21)을 단면 대략 L자형으로 형성했지만, 지지 레일(21)을 단면 대략 J자형이나 대략 T자형으로 굴곡 형성해도 좋다.

또, 부착 기구(20)의 지지 레일(21)의 수를 1개로 하거나, 3개나 4개 등으로 적당히 증가시켜도 좋다. 또, 용기 본체(1)의 천장(2)이나 측벽(3)에 단면 대략 L자형, 대략 J자형, 대략 T자형의 홈을 형성하고, 이 홈을 지지 레일부로 하는 것도 가능하다. 이에 대응시켜 반송 부품(30)의 부품 본체(32, 53)나 끼움판(40)에 볼록부를 돌출 형성하고, 이 볼록부를 지지 레일부에 착탈이 자유롭게 끼워맞추는 것도 가능하다. 또, 반송 부품(30)의 잠금핀(38)이 빠지는 방향에 대해서 부착 기구(20)의 가이드편(23)을 역테이퍼형으로 형성할 수도 있다. 또한, 반송 부품(30)의 부품 본체(32, 53)는 프레임형이나 판형 외에 링형 등으로 형성할 수가 있다.

<산업상 이용 가능성>

본 발명에 관계되는 기판 수납 용기는 액정이나 반도체 등의 제조 분야에서 사용된다.

1: 용기 본체 2: 천장(주벽)
3: 측벽(주벽)
4: 매뉴얼 핸들(manual handle)(반송 부품)
10: 덮개체 20: 부착 기구
21: 지지 레일(지지 레일부) 22: 스토퍼(stopper)
23: 가이드편 24: 간섭 걸어맞춤부
25: 두 갈래부 30: 반송 부품
31: 로보틱 플랜지(robotic flange)(반송 부품)
32: 부품 본체 33: 주벽
34: 보강 리브(rib)(변형 규제부) 35: 탄성 걸어맞춤편
36: 유통구 37: 간극
38: 잠금핀(돌출부) 39: 파지편
40: 끼움판 41: 측면
42: 유통구 43: 요철부
44: 플랜지 47: 유통구
48: 각공(조작공) 49: 내측변
52: 사이드 레일(반송 부품) 53: 부품 본체
54: 측면

Claims

기판을 수납하는 용기 본체에 부착 기구를 설치하고, 이 부착 기구에 반송 부품을 착탈이 자유롭게 부착하도록 한 기판 수납 용기로서,
부착 기구는 용기 본체의 천장 또는 측벽에 설치되는 지지 레일부와, 상기 지지 레일부와 이격되어 설치되는 가이드편과, 이 가이드편에 형성되는 간섭 걸어맞춤부를 포함하고, 상기 가이드편과 간섭 걸어맞춤부를 조합한 상태에서의 앞부분을 두 갈래부로 형성하고,
반송 부품은 부착 기구의 지지 레일부에 지지되는 부품 본체를 구비하고, 이 부품 본체에 유체용의 유통구를 설치함과 아울러, 부착 기구의 가이드편에 안내되는 탄성 걸어맞춤편을 설치하고, 이 탄성 걸어맞춤편을 부착 기구의 가이드편과 간섭 걸어맞춤부의 두 갈래부에 걸어맞춰지도록 한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,　
부착 기구는 상기 지지 레일부의 앞부분에 설치되고 반송 부품에 걸리는 스토퍼를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,
용기 본체를 정면이 개구한 프론트 오픈 박스로 형성하고, 상기 용기 본체의 전후 방향을 향해 상기 가이드편의 측면에는 간섭 걸어맞춤부를 형성함과 아울러, 가이드편을 용기 본체의 전후 방향에 교차하는 방향으로 경사시키고, 반송 부품의 탄성 걸어맞춤편에, 부착 기구의 가이드편에 접촉하여 휘는 가요성을 부여하고, 이 탄성 걸어맞춤편에는 부착 기구의 간섭 걸어맞춤부에 간섭하는 돌출부를 형성한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제3항에 있어서,
부착 기구의 지지 레일부를 복수로 하여 대향시키고, 이 대향하는 복수의 지지 레일부를, 용기 본체의 후방에서 전방을 향함에 따라 지지 레일부 사이의 거리가 짧아지도록 각각 경사시키고, 부착 기구의 가이드편을 복수의 지지 레일부 사이에 설치하여 용기 본체의 전후 방향에 교차하는 방향을 향해 경사시키고,
반송 부품의 부품 본체를 중공으로 형성하여 상기 중공의 내부에는 탄성 걸어맞춤편을 내장하고, 부품 본체의 양 측부에, 부착 기구의 복수의 지지 레일부에 끼워지는 끼움판을 각각 형성하여 각 끼움판의 측면을 지지 레일부의 경사를 따르도록 경사시키고, 부품 본체의 상부에 플랜지를 형성함과 아울러, 이 플랜지에는 탄성 걸어맞춤편을 노출시키는 조작공을 설치하고, 상기 유체용의 유통구는 복수의 끼움판과 플랜지의 적어도 어느 것에 설치한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제3항에 있어서,
부착 기구의 지지 레일부를 복수로 하여 대향시키고, 이 대향하는 복수의 지지 레일부를, 용기 본체의 후방에서 전방을 향함에 따라 지지 레일부 사이의 거리가 짧아지도록 각각 경사시키고, 부착 기구의 가이드편을 복수의 지지 레일부 사이에 설치하여 용기 본체의 상하 방향으로 경사시키고,
반송 부품의 부품 본체를 사다리꼴의 판으로 형성하여 상기 사다리꼴의 판의 양 측면을 지지 레일부의 경사를 따르도록 경사시키고, 부품 본체의 이면에는 탄성 걸어맞춤편을 형성하고, 부품 본체에 탄성 걸어맞춤편을 노출시키는 조작공을 설치한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
제4항에 있어서,
부품 본체와 끼움판의 적어도 어느 일방의 이면에, 용기 본체의 천장 또는 측벽과의 사이에 간극을 구획하는 요철부를 형성하고,
부품 본체에, 부착 기구의 가이드편의 접촉에 수반하는 탄성 걸어맞춤편의 과잉의 변형을 규제하는 변형 규제부를 형성한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.