WO2011108424A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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WO2011108424A1
WO2011108424A1 PCT/JP2011/054068 JP2011054068W WO2011108424A1 WO 2011108424 A1 WO2011108424 A1 WO 2011108424A1 JP 2011054068 W JP2011054068 W JP 2011054068W WO 2011108424 A1 WO2011108424 A1 WO 2011108424A1
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WO
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piece
attachment mechanism
component
main body
container
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/054068
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English (en)
French (fr)
Inventor
統 小川
Original Assignee
信越ポリマー株式会社
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Publication date
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Priority to US13/582,167 priority patent/US8770410B2/en
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/38—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used when storing, storing, transporting, transporting, and the like, a substrate made of a semiconductor wafer, a glass wafer, a mask glass, or the like.
  • a conventional substrate storage container includes a container body of a front open box that arranges and stores a plurality of semiconductor wafers vertically and a lid body that opens and closes the front surface of the container body, although not shown in the drawings.
  • a mounting mechanism is provided, and a transporting part for transporting is detachably mounted on the mounting mechanism, and is used for storing, storing, transporting, and transporting semiconductor wafers (see Patent Documents 1 and 2).
  • the mounting mechanism is integrally formed on the peripheral wall of the container body, specifically on the ceiling and both side walls of the container body.
  • the attachment mechanism includes a pair of support rails that are opposed to each other and are opposed to the peripheral wall of the container main body, and an engagement portion and an engagement rib for a conveying component are formed in the vicinity of the pair of support rails. .
  • the pair of support rails sandwich the transport component, and engage and fix the transport component sandwiched between the engaging portion and the engagement rib.
  • the transport parts are detachably mounted on the ceiling of the container body via a mounting mechanism and are gripped by the transport device, and are detachably mounted on both side walls of the container body via the mounting mechanism and are manually operated. A pair of manual handles.
  • This transport component is formed of a highly rigid polycarbonate or the like from the viewpoint of reliably supporting a heavy substrate storage container full of a plurality of semiconductor wafers (a mass of about 7 kg when the semiconductor wafers are full).
  • the transport component includes a plate-shaped base that is sandwiched between a pair of support rails of an attachment mechanism, and a support post is formed substantially vertically on the base.
  • a gripping flange or a gripping part is formed at the end of the support post. Is formed.
  • a detent hook portion that is deformed and engaged with the engaging rib of the mounting mechanism is integrally formed on the base of the conveying component.
  • the conveying part is formed of a molding material such as high-rigidity polycarbonate, and the hook part for detent is integrally formed on the base of the conveying part, so that the hook part has high elasticity. Cannot grant power.
  • the hook part has high elasticity.
  • a big external force is applied to a hook part, it must deform
  • the hook part is attached and detached over a plurality of times, the hook part is deformed and a sufficient engagement force cannot be maintained, and the hook part may be easily detached from the engagement rib.
  • the engagement portion between the engagement rib and the hook portion is on the back side of the conveying component, the operation is hindered, and workability and operability are deteriorated.
  • the container body of the substrate storage container is used after being washed with the washing water of the washing tank, or reused.
  • the support rail, the engaging portion, and the engaging rib of the mounting mechanism are configured in a so-called bag path structure.
  • the washing water tends to remain, and the circulation of the air for drying is poor, so that a long time is required for drying. If cleaning water remains in the container body, traces of water droplets remain, or volatile organic gas is generated from the molding material that forms the container body and adheres to the stored semiconductor wafer, forming organic compound salts, causing contamination and May cause corrosion.
  • the present invention has been made in view of the above, and improves the workability of the attachment work of the conveyance part to the attachment mechanism of the container body, eliminates the possibility that the conveyance part is easily detached from the attachment mechanism, and cleans the attachment mechanism and the conveyance part.
  • An object of the present invention is to provide a substrate storage container capable of suppressing the remaining liquid such as water.
  • an attachment mechanism is provided in a container body that accommodates a substrate, and transport parts are detachably attached to the attachment mechanism.
  • the attachment mechanism includes a support rail portion provided on the peripheral wall of the container main body, a guide piece provided on the peripheral wall of the container main body, and an interference engaging portion formed on the guide piece, the guide piece and the interference engaging portion
  • the conveying component includes a component main body supported by the support rail portion of the attachment mechanism, and the component main body is provided with a fluid circulation port and an elastic engagement piece guided by the guide piece of the attachment mechanism.
  • the elastic engaging piece is characterized in that it interferes with the bifurcated portion between the guide piece of the mounting mechanism and the interference engaging portion.
  • the attachment mechanism is provided with a stopper that is provided on the peripheral wall of the container main body and catches on the conveying parts.
  • the container body is formed in a front open box having a front opening
  • the guide piece of the mounting mechanism is directed in the front-rear direction of the container body
  • an interference engaging portion is formed on the side surface
  • the guide piece is disposed in the front-rear direction of the container body. Inclined in a direction intersecting the direction, the elastic engagement piece of the conveying part is given flexibility to bend in contact with the guide piece of the attachment mechanism, and this elastic engagement piece has an interference engagement of the attachment mechanism.
  • a protrusion that interferes with the portion can be formed.
  • a plurality of support rail portions of the attachment mechanism are made to face each other, and the plurality of support rail portions facing each other are inclined so that the distance between the support rail portions is shortened from the rear to the front of the container body.
  • the guide piece is provided between the plurality of support rail portions and is inclined toward the center line in the left-right direction of the container body,
  • the component body of the transport component is formed in a hollow shape, and elastic engagement pieces are built in the hollow body, and sandwiched plates are formed on both sides of the component body to be sandwiched between the plurality of support rail portions of the mounting mechanism.
  • a side surface of each sandwiched plate is inclined along the inclination of the support rail portion, and a flange is formed on the upper part of the component body.
  • An operation hole for exposing the elastic engagement piece is provided on the flange, and a plurality of sandwiched plates are provided.
  • a fluid circulation port can be provided in at least one of the plate and the flange.
  • a plurality of support rail portions of the attachment mechanism are made to face each other, and the plurality of support rail portions facing each other are inclined so that the distance between the support rail portions is shortened from the rear to the front of the container body.
  • the guide piece is provided between a plurality of support rails and is inclined in the vertical direction of the container body,
  • the component body of the transport component is formed into a substantially trapezoidal plate and its both side surfaces are inclined along the inclination of the support rail, and an elastic engagement piece is formed on the back surface of the component body, and the component body is elastically engaged.
  • An operation hole for exposing the piece can be provided.
  • the substrate in the claims includes at least one or more semiconductor wafers (silicon wafers of ⁇ 200, 300, 450 mm), glass wafers, mask glass, and the like.
  • the container body is not particularly required to be transparent, opaque or translucent.
  • the peripheral wall of the container body includes at least a ceiling, a back wall, a side wall and the like of the container body.
  • the guide piece and the interference engagement portion of the attachment mechanism are combined in, for example, a substantially plane Y shape, ⁇ shape, ⁇ shape, or similar shapes.
  • the guide piece can be provided near or around the support rail portion.
  • the transport parts include at least a robotic flange that is detachably attached to the ceiling of the container body and gripped by the transport device, a manual handle that is detachably attached to the side wall of the container body and is manually operated, and a lower part of the side wall of the container body
  • the side rail etc. which are detachably attached and used at the time of conveyance are included.
  • An elastic engaging piece is provided on the component main body of the conveying part via a reinforcing rib.
  • the reinforcing rib and the elastic engaging piece are opposed to each other through a gap, and excessive bending of the elastic engaging piece is restricted by the reinforcing rib. can do.
  • the component main body can be provided with a plurality of flow openings and elastic engagement pieces.
  • the fluid includes at least various liquids (for example, cleaning liquid and pure water) and gas (for example, air and inert gas).
  • the conveyance component when the conveyance component is attached to the attachment mechanism of the peripheral wall of the container body, the conveyance component is supported by the support rail portion of the attachment mechanism.
  • the elastic engagement piece of the conveying part comes into contact with the guide piece of the attachment mechanism and is guided, and the elastic engagement piece interferes with the bifurcated portion of the guide piece and the interference engagement portion, that is, the interference engagement portion.
  • the elastic engagement piece interferes with the interference engagement portion, the elastic engagement piece is restored to the original state, and the conveying part can be attached to the attachment mechanism of the container body.
  • the flow port of the component body smoothly circulates the fluid into and out of the component body, thereby improving the workability of cleaning and drying work of the conveying component.
  • the present invention there is an effect that it is possible to improve the workability of attaching the conveying part to the attaching mechanism of the container body, and to eliminate the possibility that the conveying part is easily detached from the attaching mechanism. Further, it is possible to suppress the liquid such as the cleaning water from remaining in the attachment mechanism and the conveying part.
  • the elastic engagement piece of the conveying part is brought into contact with the inclined guide piece of the attachment mechanism, and the elastic engagement piece can be appropriately guided while being deformed.
  • the elastic engagement piece passes through the guide piece by the reaction force and causes the protrusion to interfere with the bifurcated portion of the guide piece and the interference engagement portion.
  • the conveying parts can be firmly attached to the peripheral wall.
  • the plurality of support rail portions of the attachment mechanism are inclined in the front-rear direction of the container body, it is possible to prevent the positional deviation and backlash of the transport parts with respect to the container body with a simple configuration. Thus, it is possible to appropriately slide the conveying component to a predetermined location.
  • the side surfaces of the conveyance component and the sandwiched plate are inclined corresponding to the inclination of the support rail, the direction when setting the conveyance component is less likely to be wrong.
  • the operation hole for exposing the elastic engagement piece is provided in the flange or the component main body, the elastic engagement piece can be easily operated regardless of the position of the elastic engagement piece.
  • the fluid smoothly flows without remaining in the gap defined by the concavo-convex portion, so that it is possible to suppress the remaining liquid such as cleaning water from being conveyed on the conveying parts. become.
  • the deformation restricting portion can effectively prevent the elastic engagement piece from being excessively deformed and damaged, or the elastic engagement piece from being excessively deformed and being unable to maintain a sufficient engagement force. .
  • a substrate storage container in the present embodiment includes a container main body 1 for storing semiconductor wafers, and the container main body 1.
  • a detachable lid body 10 for opening and closing the opened front surface is provided, and an attachment mechanism 20 is provided on the peripheral wall of the container body 1, and a conveyance component 30 for conveyance is detachably attached to the attachment mechanism 20.
  • the semiconductor wafer is made of, for example, a ⁇ 300 mm silicon wafer, and a plurality of wafers are horizontally stored in the container main body 1 in a vertically aligned manner or sequentially taken out by a dedicated handling robot.
  • the container main body 1 and the lid body 10 are each formed by combining a plurality of parts by injection molding a plurality of parts using a molding material containing a predetermined resin.
  • the predetermined resin in the molding material include polycarbonate, polyether ether ketone, polyether imide, polybutylene terephthalate, polyacetal, liquid crystal polymer, and cyclic olefin resin, which are excellent in mechanical properties and heat resistance. Carbon, carbon fiber, metal fiber, carbon nanotube, conductive polymer, antistatic agent, flame retardant or the like is selectively added to the predetermined resin as necessary.
  • the container body 1 is formed into a front open box having a front opening, the ceiling 2 is slightly inclined in the vertical direction, and a load port device attached to a semiconductor wafer processing apparatus. Positioned and mounted on the top from above.
  • the container body 1 is provided with a pair of left and right support pieces for horizontally supporting a semiconductor wafer on both sides of the inside, that is, the inner surfaces of both side walls 3, and the pair of support pieces is predetermined in the vertical direction of the container body 1. Are arranged at intervals of
  • a substrate storage container specifically, a positioning tool for positioning the container body 1 is mounted on both the front side and the rear center of the bottom plate of the container body 1.
  • a bottom plate used for sensing and fixing is attached to the bottom plate of the container body 1, and the bottom plate exposes a plurality of positioning tools.
  • manual handles 4 capable of causing fingers to interfere with each other are formed to be inclined in the front-rear direction.
  • the lid 10 includes a horizontally long casing that fits in the opened front of the container body 1, a surface plate 11 that covers the opened front of the casing, and the casing and the surface.
  • a locking mechanism 13 interposed between the plate 11 and the plate 11 is provided.
  • the casing of the lid body 10 is basically formed in a shallow bottom cross-sectional plate shape having a frame-shaped peripheral wall, and through holes for the locking mechanism 13 are drilled in the upper and lower sides of the peripheral wall. Each through hole faces a locking hole on the inner periphery of the front surface of the container body 1.
  • a front retainer that elastically holds the semiconductor wafer is detachably mounted on the back surface of the housing.
  • the front retainer includes a vertically long frame body that prevents deformation of the lid body 10, and a plurality of elastic pieces that extend inward while being inclined are integrally formed on a pair of left and right vertical beam portions of the frame body.
  • Each elastic piece is integrally formed with a small holding block for holding the front peripheral edge of the semiconductor wafer by a U-shaped groove or a V-shaped groove.
  • a frame-shaped fitting groove is formed in the peripheral edge of the back surface of the housing, and a gasket that is press-fitted to the inner periphery of the front surface of the container body 1 is tightly fitted in the fitting groove.
  • This gasket is molded into a frame shape that can be elastically deformed using, for example, fluoro rubber, silicone rubber, various thermoplastic elastomers (for example, olefin, polyester, polystyrene, etc.) that have excellent heat resistance and weather resistance as molding materials. Is done.
  • the surface plate 11 is formed in a horizontally long flat plate so as to correspond to the open front of the housing, and operation ports 12 for the locking mechanism 13 are drilled in the left and right sides, respectively.
  • the locking mechanism 13 includes a pair of left and right rotating plates 14 that are rotated by operating pins of the load port device that penetrates the operating port 12 of the surface plate 11, and a plurality of sliding mechanisms that slide in the vertical direction as each rotating plate 14 rotates. And a plurality of retractable locking claws that protrude from the through-holes of the housing and are locked in the locking holes of the container body 1 as each slide plate slides. Located in.
  • the attachment mechanism 20 is integrally disposed on the peripheral wall of the container body 1, specifically, the ceiling 2 or the side wall 3 of the container body 1, but in the present embodiment, the attachment mechanism 20 is disposed on the ceiling 2 of the container body 1. Will be described. In this case, the attachment mechanism 20 is formed of the same molding material as that of the container body 1 and the lid body 10, for example.
  • the attachment mechanism 20 includes a plurality of paired left and right support rails 21 arranged on both sides of the surface of the ceiling 2 of the container body 1 and facing each other.
  • the conveying component 30 is detachably supported between the plurality of pairs (for example, two pairs) of support rails 21.
  • the plurality of pairs of support rails 21 include a pair of support rails 21 and a pair of support rails 21 having different sizes and lengths and a central portion of the surface of the ceiling 2 of the container body 1. Arranged in a horizontal row.
  • Each pair of support rails 21 gradually (narrows) the width between the support rails 21 and the support rails 21 from the rear (lower side in FIG. 2) to the front (upper side in FIG. 2) of the container body 1.
  • the support rails 21 are bent and formed in a substantially L-shaped cross section extending linearly in the front-rear direction of the container body 1.
  • a substantially L-shaped stopper 22 that is engaged with the conveying component 30 is spaced apart from the ceiling 2 of the container main body 1 that is positioned between the front portions of the support rails 21 on the opposite sides.
  • a plurality of left and right guide pieces 23 extending in front of the container body 1 are arranged at intervals on the ceiling 2 of the container body 1 that is formed between the plurality of stoppers 22.
  • An interference engaging portion 24 is integrally formed at the front portion of the outer surface of the.
  • the guide piece 23 and the interference engaging portion 24 are combined in a substantially Y-shaped plane with a slightly deformed front portion of the bifurcated portion 25, and the guide piece 23 is in the front-rear direction of the container body 1. , In other words, gradually inclines toward the center line in the left-right direction of the container body 1, more specifically, in the direction opposite to the interference engagement portion 24.
  • the interference engaging portion 24 is formed shorter than the guide piece 23, is bent and extended toward the front of the container body 1 with respect to the guide piece 23, and is gradually separated from the distal end portion of the guide piece 23.
  • the bifurcated portion 25 is not particularly limited, as shown in FIG. 9, the bifurcated portion 25 may be inclined in the insertion direction from the viewpoint of preventing the conveyance component 30 from coming out in the insertion direction easily after locking. It is preferable that depressions are formed. By forming the bifurcated portion 25 in this way, it is possible to prevent the conveyance component 30 from being unexpectedly dropped due to an impact.
  • a robotic flange 31 As the conveying component 30, a robotic flange 31, a pair of left and right manual handles 4, a pair of left and right side rails, and the like are selected as appropriate.
  • the robotic flange 31 gripped by the ceiling transport device will be described.
  • the robotic flange 31 is formed of the same molding material as the container body 1, the lid body 10, and the attachment mechanism 20 from the viewpoint of reliably supporting a heavy substrate storage container full of a plurality of semiconductor wafers.
  • the robotic flange 31 includes a plane main body 32 having a substantially hollow frame shape that is slidably disposed between a plurality of pairs of support rails 21 of the mounting mechanism 20.
  • a pair of left and right sandwiched plates 40 sandwiched between the pair of support rails 21 from both sides of the lower end of the component main body 32 extend in the horizontal direction, and the upper end of the component main body 32 is held by the ceiling transport device.
  • the flange 44 is integrally formed horizontally.
  • the component body 32 includes peripheral walls 33 on the front, rear, left, and right sides, and a plurality of reinforcing ribs 34 that are integrated with the flange 44 to ensure strength are arranged side by side in the front, rear, left, and right.
  • the pair of left and right reinforcing ribs 34 located on the front side of the container body 1 are respectively provided with elastically deformable elastic engagement pieces 35 that extend forward and interfere with the guide pieces 23 and the interference engagement portions 24 of the attachment mechanism 20. It is integrally formed.
  • the peripheral wall 33 of the component main body 32 is perforated with a necessary number of flow ports 36 through which fluid, that is, cleaning water, air (see arrows in FIG. 4), and the like flow inside and outside the component main body 32.
  • Each reinforcing rib 34 is formed in a planar L-shape that is integrally built between the inner surfaces of the peripheral walls so as to straddle the peripheral wall corners of the component main body 32, and defines a substantially rectangular space between the peripheral wall 33 of the component main body 32. To do.
  • the reinforcing rib 34 is formed lower than the peripheral wall 33 of the component body 32 to define a gap 37 through which cleaning water and air are circulated, and the cleaning water and air are passed through the gap 37 and the flow port 36 of the peripheral wall 33. Circulates inside and outside the component main body 32.
  • Each elastic engagement piece 35 is formed in a substantially linear shape having flexibility and faces the side reinforcing rib 34 with a gap, and is guided to the guide piece 23 of the mounting mechanism 20 at the lower end of the tip.
  • a cylindrical lock pin 38 that interferes with the interference engagement portion 24 of the bifurcated portion 25 is integrally formed.
  • an operation gripping piece 39 bulging upward is integrally formed in a substantially semicircular shape.
  • Each sandwiched plate 40 is basically formed in a flat plate shape that overlaps the surface of the ceiling 2 of the container main body 1, and both side surfaces 41 are gradually inclined so as to follow the inclination of the support rail 21.
  • the slide slides forward from the rear and engages with the support rail 21 in a detachable manner, and engages and locks with the stopper 22 to restrict unnecessary slide.
  • the sandwiched plate 40 has a planar substantially track-shaped flow port 42 through which cleaning water and air are circulated, and a plurality of concave and convex portions 43 are arranged on the front and both sides of the back surface.
  • the concavo-convex portion 43 defines a plurality of gaps through which cleaning water and air circulate between the ceiling 2 of the container body 1.
  • the plurality of uneven portions 43 are appropriately formed on the back surface of the peripheral wall 33 of the component main body 32 as necessary, in addition to the back surface of the sandwiched plate 40.
  • the flange 44 is basically formed in a flat rectangular shape with four corners chamfered, and a recess 45 for screwing is formed in the center, and is sensed or positioned by the ceiling transport device.
  • the recess 45 is formed in a substantially truncated cone shape and is integrated with the vicinity of the bent portion of the plurality of reinforcing ribs 34, and a screw hole 46 is drilled in the thickness direction of the central portion.
  • a plurality of flow ports 47 and square holes 48 communicating with each other in the component main body 32 are formed in the flange 44, and a pair of left and right corners positioned on the front side of the container main body 1 among the plurality of square holes 48.
  • the elastic engagement pieces 35 are exposed through the holes 48 so as to be visible and operable.
  • the exposed elastic engagement piece 35 is bent and deformed in the direction orthogonal to the sliding direction of the robotic flange 31, that is, in the left-right direction of the container body 1, with the contact with the guide piece 23 of the mounting mechanism 20.
  • the distance D from the inner side 49 that defines the hole 48 is adjusted so as to be within the range of the amount of deflection (see FIG. 3).
  • a plurality of positioning V-grooves 50 are arranged at intervals on the front, rear, left and right sides of the peripheral edge of the flange 44 protruding from the peripheral wall 33 of the component body 32. Further, a plurality of bent grooves 51 are arranged at intervals on the front and left and right sides of the surface of the flange 44.
  • the robotic flange 31 that is the conveying component 30 is attached to the attachment mechanism 20 of the container main body 1, the robotic flange 31 is disposed behind the ceiling 2 of the container main body 1, and a plurality of pairs of the attachment mechanisms 20 are arranged.
  • the sandwiched plate 40 of the robotic flange 31 is sandwiched between the support rails 21 and slid forward of the container body 1, and the front portion of the sandwiched plate 40 of the robotic flange 31 is locked to each stopper 22. It prevents the tick flange 31 from coming off upward.
  • the robotic flange 31 can be appropriately slid to a predetermined location. Further, since the side surface 41 of the sandwiched plate 40 of the robotic flange 31 is also inclined corresponding to the inclination of the support rail 21, there is no mistake in the direction when the robotic flange 31 is set.
  • the robotic flange 31 When the interference between the interference engaging portion 24 and the lock pin 38 is released, the robotic flange 31 is slid to the rear of the container body 1, and the sandwiching relationship between the pair of support rails 21 and the sandwiched plate 40 of the robotic flange 31 is achieved. Is released, the robotic flange 31 can be removed from the attachment mechanism 20 of the container body 1.
  • the gripping piece 39 of the elastic engagement piece 35 is operated in the direction of the inner side 49 of the square hole 48, and the elastic engagement piece 35 only needs to be bent and deformed inward in the left-right direction of the container body 1. Therefore, there is no need to apply a large external force to the elastic engagement piece 35 to force it to deform. Therefore, the workability of the work of removing the robotic flange 31 from the attachment mechanism 20 can be remarkably improved.
  • the amount of bending of the elastic engagement piece 35 is small, it is possible to effectively eliminate the possibility that the elastic engagement piece 35 is easily deformed and detached even if the elastic engagement piece 35 is attached and detached multiple times. it can. Further, since the finger is inserted into the square hole 48 and the gripping piece 39 of the elastic engagement piece 35 is operated to bend the elastic engagement piece 35, the operation is hardly hindered, and workability and operability are reduced. There will be no decline.
  • a plurality of flow ports 36, 42, 47 are formed in the component main body 32, the pair of sandwiched plates 40, and the flange 44 of the robotic flange 31, and a plurality of uneven portions 43 are formed in each sandwiched plate 40. Therefore, even if the container main body 1 of the substrate storage container is cleaned with the cleaning water, the cleaning water does not remain or the flowability of the drying air is very low. Therefore, the container body 1 can be dried in a short time.
  • FIG. 10 shows a second embodiment of the present invention.
  • the mounting mechanism 20 and the side rails 52 are arranged on the outer surfaces of the side walls 3 of the container body 1 so as to be separated from each other vertically.
  • the manual handle 4 is detachably attached to each attachment mechanism 20 as the conveying component 30.
  • Each attachment mechanism 20 includes a pair of upper and lower support rails 21 disposed on the surface of the side wall 3 of the container body 1 and facing each other, and a conveying component 30 is detachably supported between the pair of support rails 21.
  • the pair of support rails 21 are provided in an inclined manner so that the width between the support rail 21 and the support rail 21 gradually decreases from the rear to the front of the container main body 1. Are bent into a substantially L-shaped cross section extending linearly in the front-rear direction.
  • guide pieces 23 extending forward of the container main body 1 are formed at intervals, and interference engagement is formed on the front portion of the outer surface of the guide piece 23.
  • the part 24 is integrally formed.
  • the guide piece 23 and the interference engaging portion 24 are combined in a substantially Y-shaped plane with a slightly deformed front portion of the bifurcated portion 25, and in other words, the direction in which the guide piece 23 intersects the front-rear direction of the container body 1, in other words, interference It gradually inclines in the up-down direction opposite to the engaging portion 24.
  • a plurality of stoppers 22 having a substantially L-shaped cross section that are locked to the front portion of the manual handle 4 are appropriately formed on each side wall 3 of the container body 1 at intervals.
  • the manual handle 4 includes a substantially trapezoidal component main body 53 that is slid forward from the rear (right side in FIG. 10) of the container main body 1 between the pair of support rails 21 of the attachment mechanism 20.
  • An elastic engagement piece 35 that can be elastically deformed is integrally formed on the rear surface of the rear surface of the rear surface of the rear surface of the attachment mechanism 20 via the reinforcing rib 34. The elastic engagement piece 35 extends forward to guide the guide piece 23 and the interference engagement portion of the mounting mechanism 20. 24.
  • the component main body 53 is formed, for example, in a substantially hat-shaped plate facing the side wall 3 of the container main body 1, and both side surfaces 54 are gradually inclined so as to follow the inclination of the support rail 21.
  • a circulation port 36 through which air and air are circulated is perforated, and a square hole 48 that exposes the elastic engagement piece 35 so as to be visible and operable is formed in the rear part.
  • Supporting portions 55 are respectively provided on the front and rear portions of the surface of the component main body 53, and a gripping grip 56 is installed between the pair of supporting portions 55.
  • a plurality of concavo-convex portions 43 are selectively formed on both sides of the back surface of the component main body 53, and the plurality of concavo-convex portions 43 circulate cleaning water and air between the side walls 3 of the container main body 1.
  • a gap is formed.
  • the elastic engagement piece 35 is formed in a substantially linear shape having flexibility, is opposed to the reinforcing rib 34 with a gap, and is guided by the guide piece 23 of the mounting mechanism 20 at the lower end.
  • a cylindrical lock pin 38 that interferes with the interference engagement portion 24 is integrally formed.
  • a gripping piece 39 for bulging operation is selectively formed on the upper part of the elastic engagement piece 35.
  • the reinforcing rib 34 is integrally formed in a substantially rear shape, a substantially I shape, a substantially H shape, a substantially L shape, a substantially T shape, or the like at the rear rear portion of the component main body 53 as required, and at least a part thereof is elastically engaged. It faces the side surface of the piece 35 through a gap.
  • the manual handle 4 can be appropriately slid to a predetermined location.
  • both side surfaces 54 of the component main body 53 are also inclined corresponding to the inclination of the support rail 21, there is no mistake in the direction when the manual handle 4 is set.
  • the elastic engagement piece 35 of the manual handle 4 is slidably guided by the pair of inclined guide pieces 23 of the attachment mechanism 20, and the elastic engagement piece 35 is guided in the vertical direction of the container body 1.
  • the elastic engagement piece 35 gets over the front portion of the guide piece 23 and causes the lock pin 38 to interfere with the bifurcated portion 25 of the guide piece 23 and the interference engagement portion 24, that is, the interference engagement portion 24.
  • the manual handle 4 When the interference between the interference engaging portion 24 and the lock pin 38 is released, the manual handle 4 is slid to the rear of the container body 1 to release the clamping relationship between the pair of support rails 21 and the manual handle 4.
  • the manual handle 4 can be removed from the mounting mechanism 20.
  • the other parts are substantially the same as those in the above embodiment, and thus description thereof is omitted. In the present embodiment, it is obvious that the same effects as those of the above-described embodiment can be expected, and the configuration of the attachment mechanism 20 and the conveying component 30 can be diversified.
  • the attachment mechanisms 20 may be respectively disposed at the lower portions of the side walls 3 of the container body 1 in the above-described embodiment, and the side rails 52 may be detachably attached to the attachment mechanisms 20 as the conveyance parts 30. Further, a pair of left and right fitting grooves are cut out in the front-rear direction on the surface of the ceiling 2 of the container main body 1 located between the plurality of pairs of support rails 21, and each of the ceiling 2 is formed at the lower end of the peripheral wall 33 of the component main body 32. A fitting piece that fits into the fitting groove may be formed. Moreover, in the said embodiment, although the support rail 21 of the attachment mechanism 20 was formed in cross-sectional substantially L shape, you may bend and form the support rail 21 in cross-sectional substantially J shape or a substantially T shape.
  • the number of the support rails 21 of the mounting mechanism 20 may be one, or may be appropriately increased to three or four.
  • the guide piece 23 of the attachment mechanism 20 can be formed in a reverse taper shape with respect to the direction in which the lock pin 38 of the conveying component 30 is removed.
  • the component main bodies 32 and 53 of the conveying component 30 can be formed in a ring shape or the like in addition to a frame shape or a plate shape.
  • the substrate storage container according to the present invention is used in the field of manufacturing liquid crystals and semiconductors.
  • Container body 2 Ceiling (surrounding wall) 3 Side wall (peripheral wall) 4 Manual handle (conveyance parts) 10 Lid 20 Mounting Mechanism 21 Support Rail (Support Rail) 22 Stopper 23 Guide piece 24 Interference engagement part 25 Forked part 30 Conveying part 31 Robotic flange (conveying part) 32 Component body 33 Peripheral wall 34 Reinforcement rib (deformation restricting portion) 35 Elastic engagement piece 36 Distribution port 37 Clearance 38 Lock pin (protrusion) 39 Grasping piece 40 Clamped plate 41 Side surface 42 Flow port 43 Concavity and convexity 44 Flange 47 Flow port 48 Square hole (operation hole) 49 Inner side 52 Side rail (conveyance parts) 53 Parts body 54 Side

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Abstract

　容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供する。　半導体ウェーハ収納用の容器本体１の天井２に取付機構２０を設け、取付機構２０に搬送部品３０であるロボティックフランジ３１を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構２０は、天井２に対設される複数対の支持レール２１と、天井２に設けられる複数のガイド片２３と、各ガイド片２３に形成される干渉係合部２４とを備え、ガイド片２３と干渉係合部２４を組み合わせてその前部を二股部２５に形成する。また、搬送部品３０は、複数対の支持レール２１間に支持される部品本体３２を備え、部品本体３２に、流体用の流通口３６を穿孔するとともに、二股部２５に干渉する弾性変形可能な弾性係合片３５を内蔵する。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関するものである。
　従来における基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを上下に並べて整列収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備え、容器本体に取付機構が設けられ、この取付機構に搬送用の搬送部品が着脱自在に装着されており、半導体ウェーハの収納、保管、搬送、輸送に使用されている（特許文献１、２参照）。
　取付機構は、容器本体の周壁、具体的には容器本体の天井と両側壁とにそれぞれ一体形成されている。この取付機構は、容器本体の周壁に対設されて相対向する一対の支持レールを備え、この一対の支持レールの近傍に搬送部品用の係合部と係合リブとがそれぞれ形成されている。このような取付機構は、一対の支持レールが搬送部品を挟持し、係合部と係合リブとが挟持された搬送部品に係合して固定する。
　搬送部品は、容器本体の天井に取付機構を介し着脱自在に装着されて搬送装置に把持されるロボティックフランジと、容器本体の両側壁に取付機構を介しそれぞれ着脱自在に装着されて手動操作される一対のマニュアルハンドルとを備えている。この搬送部品は、複数枚の半導体ウェーハを満載した重い基板収納容器（半導体ウェーハの満載時には、約７ｋｇの質量）を確実に支持する観点から高剛性を有するポリカーボネート等により成形されている。
　搬送部品は、例えば取付機構の一対の支持レールに挟持される板形の基体を備え、この基体に支柱が略垂直に突出形成されており、この支柱の端部に把持用のフランジや把持部が形成されている。搬送部品の基体には、取付機構の係合リブに変形して係合する戻り止め用のフック部が一体形成されている。
特開２０００‐３０６９８８号公報 特開２００８‐３４８７９号公報
　従来における基板収納容器は、以上のように搬送部品が高剛性のポリカーボネート等の成形材料により成形され、搬送部品の基体に戻り止め用のフック部が一体形成されているので、フック部に高い弾性力を付与することができない。このため、取付機構の係合リブにフック部を係合する場合には、フック部に大きな外力を加えて無理に変形させ、係合しなければならず、作業性が悪いという問題がある。また、取付機構の係合リブからフック部を取り外す場合にも、フック部に外力を強く加えて無理に変形させなければならず、作業性の向上を図ることができないおそれがある。
　また、複数回に亘ってフック部を取り付け取り外しすると、フック部が変形して十分な係合力を維持できず、係合リブからフック部が外れ易くなるおそれがある。また、係合リブとフック部との係合箇所が搬送部品の裏面側となる場合には、操作に支障を来たし、作業性や操作性の低下を招くこととなる。
　さらに、基板収納容器の容器本体は、洗浄槽の洗浄水により洗浄して使用されたり、再使用されるが、取付機構の支持レール、係合部、係合リブがいわゆる袋小路構造に構成されているので、洗浄水が残存し易く、しかも、乾燥用のエアの流通性も悪いので、乾燥に長時間を要することとなる。容器本体に洗浄水が残存すると、水滴の跡が残ったり、容器本体を形成する成形材料から揮発性の有機ガスが生じて収納状態の半導体ウェーハに付着し、有機化合物塩を形成して汚染や腐食源になるおそれがある。
　本発明は上記に鑑みなされたもので、容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供することを目的としている。
　本発明においては上記課題を解決するため、本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体に取付機構を設け、この取付機構に搬送部品を着脱自在に取り付けるようにしたものであって、
　取付機構は、容器本体の周壁に設けられる支持レール部と、容器本体の周壁に設けられるガイド片と、このガイド片に形成される干渉係合部とを含み、ガイド片と干渉係合部とを組み合わせてその前部を二股部に形成し、
　搬送部品は、取付機構の支持レール部に支持される部品本体を備え、この部品本体に、流体用の流通口を設けるとともに、取付機構のガイド片に案内される弾性係合片を設け、この弾性係合片を取付機構のガイド片と干渉係合部との二股部に干渉させるようにしたことを特徴としている。
　なお、取付機構には、容器本体の周壁に設けられ、搬送部品に引っかかるストッパを備えると良い。
　また、容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成し、取付機構のガイド片を容器本体の前後方向に向けてその側面には干渉係合部を形成するとともに、ガイド片を容器本体の前後方向に交差する方向に傾斜させ、搬送部品の弾性係合片に、取付機構のガイド片に接触して撓む可撓性を付与し、この弾性係合片には、取付機構の干渉係合部に干渉する突部を形成することができる。
　また、取付機構の支持レール部を複数にして対向させ、この対向する複数の支持レール部を、容器本体の後方から前方に向かうに従い支持レール部間の距離が短くなるようそれぞれ傾斜させ、取付機構のガイド片を複数の支持レール部間に設けて容器本体の左右方向の中心線に向けて傾斜させ、
　搬送部品の部品本体を中空に形成してその内部には弾性係合片を内蔵し、部品本体の両側部に、取付機構の複数の支持レール部に挟み持たれる被挟持板をそれぞれ形成して各被挟持板の側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の上部にフランジを形成するとともに、このフランジには、弾性係合片を露出させる操作孔を設け、複数の被挟持板とフランジの少なくともいずれかに流体用の流通口を設けることができる。
　また、取付機構の支持レール部を複数にして対向させ、この対向する複数の支持レール部を、容器本体の後方から前方に向かうに従い支持レール部間の距離が短くなるようそれぞれ傾斜させ、取付機構のガイド片を複数の支持レール部間に設けて容器本体の上下方向に傾斜させ、
　搬送部品の部品本体を略台形の板に形成してその両側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の裏面には弾性係合片を形成し、部品本体に、弾性係合片を露出させる操作孔を設けることができる。
　さらに、部品本体と被挟持板の少なくともいずれか一方の裏面に、容器本体の周壁との間に隙間を区画する凹凸部を形成し、
　部品本体に、取付機構のガイド片との接触に伴う弾性係合片の過剰な変形を規制する変形規制部を形成することが可能である。
　ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも単数複数の半導体ウェーハ（φ２００、３００、４５０ｍｍのシリコンウェーハ）、ガラスウェーハ、マスクガラス等が含まれる。容器本体は、透明、不透明、半透明等を特に問うものではない。この容器本体の周壁には、少なくとも容器本体の天井、背面壁、側壁等が含まれる。また、取付機構のガイド片と干渉係合部とは、例えば平面略Ｙ字形、λ字形、ν字形、これらに類似する形に組み合わされる。ガイド片は、支持レール部の近傍や周辺に設けることができる。
　搬送部品には、少なくとも容器本体の天井に着脱自在に取り付けられて搬送装置に把持されるロボティックフランジ、容器本体の側壁に着脱自在に取り付けられて手動操作されるマニュアルハンドル、容器本体の側壁下部に着脱自在に取り付けられて搬送時に使用されるサイドレール等が含まれる。
　搬送部品の部品本体には、弾性係合片を補強リブを介して設け、この補強リブと弾性係合片とを隙間を介して対向させ、補強リブにより弾性係合片の過剰な撓みを規制することができる。部品本体には、単数複数の流通口や弾性係合片を設けることができる。さらに、流体には、少なくとも各種の液体（例えば、洗浄液や純水等）や気体（例えば、エアや不活性ガス等）が含まれる。
　本発明によれば、容器本体の周壁の取付機構に搬送部品を取り付ける場合には、取付機構の支持レール部に搬送部品を支持させる。この際、取付機構のガイド片に搬送部品の弾性係合片が接触して案内され、弾性係合片がガイド片と干渉係合部との二股部、すなわち干渉係合部に干渉する。干渉係合部に弾性係合片が干渉すると、弾性係合片が元の状態に復元し、容器本体の取付機構に搬送部品を取り付けることができる。
　また、部品本体の流通口は、液体や気体等からなる流体が使用される際、この流体を部品本体の内外に円滑に流通させ、搬送部品の洗浄や乾燥作業の作業性を向上させる。
　本発明によれば、容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除することができるという効果がある。また、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制することができる。
　また、請求項２記載の発明によれば、ストッパが搬送部品に接触して引っかかるので、容器本体に対する搬送部品の過剰なスライドや位置ずれ、ガタツキ等を有効に防ぐことができる。
　また、請求項３記載の発明によれば、取付機構の傾斜したガイド片に搬送部品の弾性係合片を接触させ、この弾性係合片を変形させながら適切に案内することができる。また、弾性係合片が撓んで変形した後、弾性係合片がその反力によりガイド片を通過してガイド片と干渉係合部との二股部に突部を干渉させるので、容器本体の周壁に搬送部品を強固に取り付けることができる。
　また、請求項４又は５記載の発明によれば、取付機構の複数の支持レール部が容器本体の前後方向に傾斜するので、容器本体に対する搬送部品の位置ずれやガタツキを簡易な構成で防ぐことができ、所定の箇所に搬送部品を適切にスライドさせることが可能になる。また、搬送部品や被挟持板の側面が支持レールの傾斜に対応して傾斜するので、搬送部品をセットする際の向きを間違えることが少ない。また、フランジや部品本体に、弾性係合片を露出させる操作孔を設けるので、弾性係合片の位置にかかわらず、弾性係合片を容易に操作することができる。
　また、請求項６記載の発明によれば、凹凸部が区画する隙間を流体が滞留することなく、滑らかに流通するので、搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制することが可能になる。さらに、変形規制部により、弾性係合片が過剰に変形して損傷したり、弾性係合片が過度に変形して十分な係合力を維持できなくなるおそれを有効に防止することが可能になる。
本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における取付機構を模式的に示す平面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における取付機構と搬送部品とを模式的に示す平面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における取付機構とロボティックフランジとを斜め後方から模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における取付機構とロボティックフランジとを模式的に示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるロボティックフランジを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるロボティックフランジを裏面側から模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるロボティックフランジを模式的に示す断面側面図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における取付機構のガイド片及び干渉係合部とロボティックフランジの弾性係合片との関係を模式的に示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す側面説明図である。
　以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図９に示すように、半導体ウェーハを収納する容器本体１と、この容器本体１の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体１０とを備え、容器本体１の周壁に取付機構２０を設け、この取付機構２０に搬送用の搬送部品３０を着脱自在に装着するようにしている。
　半導体ウェーハは、例えばφ３００ｍｍのシリコンウェーハからなり、容器本体１内に複数枚が水平にして上下に整列収納されたり、専用のハンドリングロボットにより順次取り出される。
　容器本体１と蓋体１０とは、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料中の所定の樹脂としては、例えば力学的性質や耐熱性等に優れるポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、あるいは環状オレフィン樹脂等があげられる。所定の樹脂には、カーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー、帯電防止剤、又は難燃剤等が必要に応じて選択的に添加される。
　容器本体１は、図１や図２に示すように、正面の開口したフロントオープンボックスに成形され、天井２が上下方向にやや傾斜しており、半導体ウェーハの加工装置に付設されたロードポート装置上に上方から位置決め搭載される。この容器本体１は、内部の両側、すなわち、両側壁３の内面に、半導体ウェーハを水平に支持する左右一対の支持片が対設され、この一対の支持片が容器本体１の上下方向に所定の間隔で配列される。
　容器本体１の底板の前部両側と後部中央とには、基板収納容器、具体的には容器本体１を位置決めする位置決め具がそれぞれ装着される。容器本体１の底板には、センシングや固定に供されるボトムプレートが装着され、このボトムプレートが複数の位置決め具をそれぞれ露出させる。また、容器本体１の両側壁３の外面には、指等を干渉させることのできるマニュアルハンドル４がそれぞれ前後方向に傾けて伸長形成される。
　蓋体１０は、図１に示すように、容器本体１の開口した正面内に嵌合する横長の筐体と、この筐体の開口した正面を被覆する表面プレート１１と、これら筐体と表面プレート１１との間に介在される施錠機構１３とを備えて構成される。この蓋体１０の筐体は、基本的には枠形の周壁を備えた浅底の断面略皿形に形成され、周壁の上下両側部には、施錠機構１３用の貫通孔がそれぞれ穿孔されており、各貫通孔が容器本体１の正面内周の係止穴に対向する。
　筐体の裏面には、半導体ウェーハを弾発的に保持するフロントリテーナが着脱自在に装着される。このフロントリテーナは、蓋体１０の変形を防止する縦長の枠体を備え、この枠体の左右一対の縦桟部には、傾斜しながら内方向に伸びる複数の弾性片が上下に並べて一体形成され、各弾性片には、半導体ウェーハの前部周縁をＵ字溝又はＶ溝により保持する小さな保持ブロックが一体形成される。
　筐体の裏面周縁部には枠形の嵌合溝が形成され、この嵌合溝には、容器本体１の正面内周に圧接するガスケットが密嵌される。このガスケットは、例えば耐熱性や耐候性等に優れるフッ素ゴム、シリコーンゴム、各種の熱可塑性エラストマー（例えば、オレフィン系、ポリエステル系、ポリスチレン系等）等を成形材料として弾性変形可能な枠形に成形される。
　表面プレート１１は、筐体の開口した正面に対応するよう横長の平板に形成され、左右両側部には、施錠機構１３用の操作口１２がそれぞれ穿孔される。また、施錠機構１３は、表面プレート１１の操作口１２を貫通したロードポート装置の操作ピンに回転操作される左右一対の回転プレート１４と、各回転プレート１４の回転に伴い上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドに伴い筐体の貫通孔から突出して容器本体１の係止穴に係止する出没可能な複数の係止爪とを備えて構成され、フロントリテーナの前方に位置する。
　取付機構２０は、容器本体１の周壁、具体的には容器本体１の天井２や側壁３に一体的に配設されるが、本実施形態では容器本体１の天井２に配設される場合について説明する。この場合の取付機構２０は、例えば容器本体１や蓋体１０と同様の成形材料により成形される。
　取付機構２０は、図１ないし図５、図８や図９に示すように、容器本体１の天井２表面の両側部に配設されて相対向する左右一対の支持レール２１を複数並べ備え、この複数対（例えば二対）の支持レール２１間に搬送部品３０が着脱自在に支持される。この複数対の支持レール２１は、図２や図５等に示すように、大きさや長さの異なる一対の支持レール２１と一対の支持レール２１とが容器本体１の天井２の表面中央部を介し横一列に配列される。
　各一対の支持レール２１は、容器本体１の後方（図２の下側）から前方（図２の上側）に向かうに従い支持レール２１と支持レール２１との間の幅が徐々に異なるよう（狭まるよう）傾斜して対設され、各支持レール２１が容器本体１の前後方向に直線的に伸びる断面略Ｌ字形に屈曲形成される。
　複数対の支持レール２１のうち、最両側の支持レール２１の前部間に位置する容器本体１の天井２には、搬送部品３０に係止する断面略Ｌ字形のストッパ２２が間隔をおいて複数形成され、この複数のストッパ２２間に位置する容器本体１の天井２には、容器本体１の前方に伸びる左右一対のガイド片２３が間隔をおいて配列形成されており、各ガイド片２３の外側面前部には干渉係合部２４が一体形成される。
　ガイド片２３と干渉係合部２４とは、図２や図９に示すように、前部が二股部２５のやや変形した平面略Ｙ字形に組み合わされ、ガイド片２３が容器本体１の前後方向に交差する方向、換言すれば、容器本体１の左右方向の中心線、より具体的には、干渉係合部２４とは反対の方向に向け徐々に傾斜する。干渉係合部２４は、ガイド片２３よりも短く形成され、ガイド片２３よりも容器本体１の前方に向け屈曲して伸長されており、ガイド片２３の先端部から徐々に離隔する。
　二股部２５は、特に限定されるものではないが、図９に示すように、搬送部品３０が係止した後に簡単に挿入方向に抜けてしまうのを防止する観点から、挿入方向に傾斜したり、窪み形成等されることが好ましい。このように二股部２５が形成されることで、衝撃に伴う搬送部品３０の予期せぬ脱落を防止することができる。
　搬送部品３０は、ロボティックフランジ３１、左右一対のマニュアルハンドル４、左右一対のサイドレール等が適宜選択されるが、本実施形態では、容器本体１の天井２中央部に着脱自在に装着されて天井搬送装置に把持されるロボティックフランジ３１について説明する。このロボティックフランジ３１は、複数枚の半導体ウェーハを満載した重い基板収納容器を確実に支持する観点から、容器本体１、蓋体１０、取付機構２０と同様の成形材料により成形される。
　ロボティックフランジ３１は、図１、図３ないし図９に示すように、取付機構２０の複数対の支持レール２１間にスライドして配置される平面略中空枠形の部品本体３２を備え、この部品本体３２の下端部両側から一対の支持レール２１にそれぞれ挟持される左右一対の被挟持板４０が水平方向に伸長しており、部品本体３２の開口した上端部には、天井搬送装置に把持されるフランジ４４が水平に一体形成される。
　部品本体３２は、前後左右に周壁３３を備えてその内部にはフランジ４４と一体化して強度を確保する複数の補強リブ３４が前後左右に並べて配設され、この複数の補強リブ３４のうち、容器本体１の前方側に位置する左右一対の補強リブ３４には、前方に伸長して取付機構２０のガイド片２３や干渉係合部２４に干渉する弾性変形可能な弾性係合片３５がそれぞれ一体形成される。この部品本体３２の周壁３３には、部品本体３２の内外に流体、すなわち洗浄水やエア（図４の矢印参照）等を流通させる必要数の流通口３６が穿孔される。
　各補強リブ３４は、部品本体３２の周壁隅部を跨ぐよう周壁内面間に一体的に架設される平面Ｌ字形に形成され、部品本体３２の周壁３３との間に平面略矩形の空間を区画する。この補強リブ３４は、部品本体３２の周壁３３よりも低く形成されて洗浄水やエアを流通させる隙間３７を区画形成し、この隙間３７と周壁３３の流通口３６を経由して洗浄水やエアが部品本体３２の内外を流通する。
　各弾性係合片３５は、可撓性を有する直線的な略板形に形成されて側方の補強リブ３４に隙間をおいて対向し、先端下部に、取付機構２０のガイド片２３に案内されて二股部２５の干渉係合部２４に干渉する円柱形のロックピン３８が一体形成される。弾性係合片３５の上部には、上方に膨出する操作用の把持片３９が略半円形に一体形成される。
　各被挟持板４０は、基本的には容器本体１の天井２表面に重なる平坦な板形に形成されてその両側面４１が支持レール２１の傾斜に沿うようそれぞれ徐々に傾斜し、容器本体１の後方から前方にスライドして支持レール２１に着脱自在に係合し、かつストッパ２２に嵌合係止して必要以上のスライドが規制される。この被挟持板４０は、洗浄水やエアを流通させる平面略トラック形の流通口４２が穿孔され、裏面の前部と両側部とに複数の凹凸部４３がそれぞれ配列形成されており、この複数の凹凸部４３が容器本体１の天井２との間に洗浄水やエアを流通させる複数の隙間を区画形成する。
　なお、複数の凹凸部４３は、被挟持板４０の裏面の他、必要に応じ、部品本体３２の周壁３３の裏面等にも適宜形成される。
　フランジ４４は、基本的には四隅部が面取りされた平面矩形に形成され、中央部に螺子止め用の凹部４５が形成されており、天井搬送装置にセンシングされたり、位置決めされる。凹部４５は、略円錐台形に形成されて複数の補強リブ３４の屈曲部付近と一体化し、中心部の厚さ方向に螺子孔４６が穿孔されており、この螺子孔４６にビス等からなる締結具が上方から螺貫して容器本体１の天井中央部の螺子穴５に螺挿されることにより、ロボティックフランジ３１が固定可能になる。
　フランジ４４には、部品本体３２内に連通する複数の流通口４７と角孔４８とがそれぞれ並べて穿孔され、この複数の角孔４８のうち、容器本体１の前方側に位置する左右一対の角孔４８から弾性係合片３５がそれぞれ視認可能、操作可能に露出する。この露出する弾性係合片３５は、取付機構２０のガイド片２３との接触に伴い、ロボティックフランジ３１のスライド方向と直交する方向、すなわち容器本体１の左右方向に撓んで変形するが、角孔４８を区画する内側辺４９との距離Ｄが撓み量の範囲内となるよう調整される（図３参照）。
　フランジ４４の部品本体３２の周壁３３から張り出す周縁部の前後左右には、位置決め用の複数のＶ溝５０が間隔をおいて配列形成される。また、フランジ４４の表面の前方と左右とには、複数の屈曲溝５１が間隔をおいて配列形成される。
　上記構成において、容器本体１の取付機構２０に搬送部品３０であるロボティックフランジ３１を装着する場合には、容器本体１の天井２後方にロボティックフランジ３１を配置し、取付機構２０の複数対の支持レール２１間にロボティックフランジ３１の被挟持板４０をそれぞれ挟持させて容器本体１の前方にスライドさせ、各ストッパ２２にロボティックフランジ３１の被挟持板４０前部を係止してロボティックフランジ３１の上方への抜けを防止する。
　この際、取付機構２０の複数対の支持レール２１が容器本体１の前後方向に傾斜しているので、容器本体１に対するロボティックフランジ３１の位置ずれやガタツキを簡易な構成で防止することができる。したがって、所定の箇所にロボティックフランジ３１を適切にスライドさせることができる。また、ロボティックフランジ３１の被挟持板４０の側面４１も支持レール２１の傾斜に対応して傾いているので、ロボティックフランジ３１をセットする際の向きを間違えることがない。
　ロボティックフランジ３１が前方にスライドすると図９に示すように、取付機構２０の傾斜した一対のガイド片２３にロボティックフランジ３１の弾性係合片３５がそれぞれ摺接して案内され、一対の弾性係合片３５が相互に異なる方向、具体的には容器本体１の左右方向内側にそれぞれ撓んで変形した後、各弾性係合片３５がガイド片２３の前部を乗り越えてガイド片２３と干渉係合部２４との分岐した二股部２５、すなわち外側の干渉係合部２４にロックピン３８を干渉させる。
　この際、容器本体１の内側に弾性係合片３５が過剰に大きく撓んで変形しようとすると、近接する補強リブ３４に接触してその変形が規制される（図７参照）ので、弾性係合片３５の過剰な変形に伴う損傷を有効に防止することができる。こうして各二股部２５の干渉係合部２４にロックピン３８が干渉して係合すると、撓んだ各弾性係合片３５が元の状態に復元し、容器本体１の取付機構２０にロボティックフランジ３１を強固に装着することができる。
　次に、容器本体１の取付機構２０に装着したロボティックフランジ３１を取り外す場合には、ロボティックフランジ３１の角孔４８に上方から指を挿入して各弾性係合片３５の把持片３９を角孔４８の内側辺４９方向に押圧操作し、各弾性係合片３５を容器本体１の左右方向内側に撓ませて変形させ、干渉係合部２４とロックピン３８との干渉を解除する。
　干渉係合部２４とロックピン３８との干渉を解除したら、ロボティックフランジ３１を容器本体１の後方にスライドさせ、複数対の支持レール２１とロボティックフランジ３１の被挟持板４０との挟持関係を解除すれば、容器本体１の取付機構２０からロボティックフランジ３１を取り外すことができる。
　上記構成によれば、弾性係合片３５の把持片３９を角孔４８の内側辺４９方向に操作し、弾性係合片３５を容器本体１の左右方向内側に撓ませて変形させるだけで良いので、弾性係合片３５に大きな外力を加えて無理に変形させる必要が全くない。したがって、取付機構２０に対するロボティックフランジ３１の取り外し作業の作業性を著しく向上させることができる。
　また、弾性係合片３５の撓み量が小さいので、複数回に亘って弾性係合片３５を取り付け取り外しても、弾性係合片３５が変形して外れ易くなるおそれを有効に排除することができる。また、角孔４８に指を挿入して弾性係合片３５の把持片３９を操作し、弾性係合片３５を撓ませるので、操作に支障を来たすことが実に少なく、作業性や操作性の低下を招くことがない。
　また、ロボティックフランジ３１の部品本体３２、一対の被挟持板４０、フランジ４４に複数の流通口３６、４２、４７がそれぞれ穿孔されるとともに、各被挟持板４０に複数の凹凸部４３が形成されているので、例え基板収納容器の容器本体１が洗浄水により洗浄されても、洗浄水が残存したり、乾燥用のエアの流通性が低下することが非常に少ない。したがって、容器本体１を短時間で乾燥させることが可能になる。
　さらに、容器本体１に洗浄水が残存することが非常に少ないので、水滴跡が残ったり、容器本体１の成形材料から揮発性の有機ガスが生じて半導体ウェーハに付着するのを抑制防止することができる。さらにまた、有機化合物塩の生成で汚染や腐食源になるおそれを排除することが可能になる。
　次に、図１０は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の両側壁３の外面に取付機構２０とサイドレール５２とをそれぞれ上下に離して配設し、各取付機構２０に搬送部品３０としてマニュアルハンドル４を着脱自在に装着するようにしている。
　各取付機構２０は、容器本体１の側壁３表面に配設されて相互に対向する上下一対の支持レール２１を備え、この一対の支持レール２１間に搬送部品３０が着脱自在に支持される。この一対の支持レール２１は、容器本体１の後方から前方に向かうに従い支持レール２１と支持レール２１との間の幅が徐々に狭まるよう傾斜して対設され、各支持レール２１が容器本体１の前後方向に直線的に伸びる断面略Ｌ字形に屈曲形成される。
　一対の支持レール２１間に位置する容器本体１の側壁３表面には、容器本体１の前方に伸びるガイド片２３が間隔をおいて配列形成され、ガイド片２３の外側面前部には干渉係合部２４が一体形成される。ガイド片２３と干渉係合部２４とは、前部が二股部２５のやや変形した平面略Ｙ字形に組み合わされ、ガイド片２３が容器本体１の前後方向に交差する方向、換言すれば、干渉係合部２４とは反対の上下方向に向け徐々に傾斜する。
　なお、容器本体１の各側壁３には、必要に応じ、マニュアルハンドル４の前部に係止する断面略Ｌ字形の複数のストッパ２２が間隔をおいて適宜形成される。
　マニュアルハンドル４は、取付機構２０の一対の支持レール２１間に容器本体１の後方（図１０の右側）から前方にスライドして配置される平面略台形の部品本体５３を備え、この部品本体５３の裏面後部に弾性変形可能な弾性係合片３５が補強リブ３４を介して一体形成されており、この弾性係合片３５が前方に伸長して取付機構２０のガイド片２３や干渉係合部２４に干渉する。
　部品本体５３は、例えば容器本体１の側壁３に対向する断面略ハット形の板に形成されてその両側面５４が支持レール２１の傾斜に沿うよう徐々に傾斜し、前部には、洗浄水やエアを流通させる流通口３６が穿孔されており、後部には、弾性係合片３５を視認可能、操作可能に露出させる角孔４８が穿孔される。この部品本体５３の表面の前後部には支柱部５５がそれぞれ配設され、この一対の支柱部５５間には握持用のグリップ５６が架設される。
　部品本体５３の裏面の両側部等には複数の凹凸部４３がそれぞれ選択的に配列形成され、この複数の凹凸部４３が容器本体１の側壁３との間に洗浄水やエアを流通させる複数の隙間を区画形成する。また、弾性係合片３５は、可撓性を有する直線的な略板形に形成されて補強リブ３４に隙間をおいて対向し、先端下部に、取付機構２０のガイド片２３に案内されて干渉係合部２４に干渉する円柱形のロックピン３８が一体形成される。弾性係合片３５の上部には、膨出する操作用の把持片３９が選択的に形成される。
　なお、補強リブ３４は、必要に応じ、部品本体５３の裏面後部に略井字形、略Ｉ字形、略Ｈ字形、略Ｌ字形、略Ｔ字形等に一体形成され、少なくとも一部が弾性係合片３５の側面に隙間を介して対向する。
　上記構成において、容器本体１の取付機構２０に搬送部品３０であるマニュアルハンドル４を装着する場合には、容器本体１の側壁３後方にマニュアルハンドル４を配置し、取付機構２０の一対の支持レール２１間にマニュアルハンドル４の部品本体５３を挟持させて容器本体１の前方にスライドさせ、マニュアルハンドル４の脱落を防止する。
　この際、取付機構２０の一対の支持レール２１が傾斜しているので、所定の箇所にマニュアルハンドル４を適切にスライドさせることができる。また、部品本体５３の両側面５４も支持レール２１の傾斜に対応して傾いているので、マニュアルハンドル４をセットする際の向きを間違えることがない。
　マニュアルハンドル４が前方にスライドすると、取付機構２０の傾斜した一対のガイド片２３にマニュアルハンドル４の弾性係合片３５が摺接して案内され、弾性係合片３５が容器本体１の上下方向に撓んで変形した後、弾性係合片３５がガイド片２３の前部を乗り越えてガイド片２３と干渉係合部２４との二股部２５、すなわち干渉係合部２４にロックピン３８を干渉させる。
　この際、弾性係合片３５が過剰に撓んで変形しようとすると、近接する補強リブ３４に接触してその変形が規制されるので、弾性係合片３５の過剰な変形に伴う損傷を有効に防止することができる。二股部２５の干渉係合部２４にロックピン３８が干渉すると、撓んだ弾性係合片３５が元の状態に復元し、容器本体１の取付機構２０にマニュアルハンドル４を強固に装着することができる。
　次に、容器本体１の取付機構２０に装着したマニュアルハンドル４を取り外す場合には、マニュアルハンドル４の角孔４８に指を挿入して弾性係合片３５を操作し、弾性係合片３５を容器本体１の上下方向に撓ませて変形させ、干渉係合部２４とロックピン３８との干渉を解除する。
　干渉係合部２４とロックピン３８との干渉を解除したら、マニュアルハンドル４を容器本体１の後方にスライドさせ、一対の支持レール２１とマニュアルハンドル４との挟持関係を解除すれば、容器本体１の取付機構２０からマニュアルハンドル４を取り外すことができる。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
　本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、取付機構２０や搬送部品３０の構成の多様化を図ることができるのは明らかである。
　なお、上記実施形態における容器本体１の両側壁３下部に取付機構２０をそれぞれ配設し、各取付機構２０に搬送部品３０としてサイドレール５２を着脱自在に装着しても良い。また、複数対の支持レール２１の間に位置する容器本体１の天井２表面に左右一対の嵌合溝を前後方向に切り欠き形成し、部品本体３２の周壁３３下端部に、天井２の各嵌合溝に嵌合する嵌合片を形成しても良い。また、上記実施形態では取付機構２０の支持レール２１を断面略Ｌ字形に形成したが、支持レール２１を断面略Ｊ字形や略Ｔ字形に屈曲形成しても良い。
　また、取付機構２０の支持レール２１の数を１本にしたり、３本や４本等に適宜増加しても良い。また、容器本体１の天井２や側壁３に断面略Ｌ字形、略Ｊ字形、略Ｔ字形の溝を形成し、この溝を支持レール部とすることも可能である。これに対応させて搬送部品３０の部品本体３２、５３や被挟持板４０に凸部を突出形成し、この凸部を支持レール部に着脱自在に嵌合させることも可能である。また、搬送部品３０のロックピン３８が外れる方向に対して取付機構２０のガイド片２３を逆テーパ形に形成することもできる。さらに、搬送部品３０の部品本体３２、５３は、枠形や板形の他、リング形等に形成することができる。
　本発明に係る基板収納容器は、液晶や半導体等の製造分野で使用される。
１　　　容器本体
２　　　天井（周壁）
３　　　側壁（周壁）
４　　　マニュアルハンドル（搬送部品）
１０　　蓋体
２０　　取付機構
２１　　支持レール（支持レール部）
２２　　ストッパ
２３　　ガイド片
２４　　干渉係合部
２５　　二股部
３０　　搬送部品
３１　　ロボティックフランジ（搬送部品）
３２　　部品本体
３３　　周壁
３４　　補強リブ（変形規制部）
３５　　弾性係合片
３６　　流通口
３７　　隙間
３８　　ロックピン（突部）
３９　　把持片
４０　　被挟持板
４１　　側面
４２　　流通口
４３　　凹凸部
４４　　フランジ
４７　　流通口
４８　　角孔（操作孔）
４９　　内側辺
５２　　サイドレール（搬送部品）
５３　　部品本体
５４　　側面
 

Claims (6)

  1. 　基板を収納する容器本体に取付機構を設け、この取付機構に搬送部品を着脱自在に取り付けるようにした基板収納容器であって、
    　取付機構は、容器本体の周壁に設けられる支持レール部と、容器本体の周壁に設けられるガイド片と、このガイド片に形成される干渉係合部とを含み、ガイド片と干渉係合部とを組み合わせてその前部を二股部に形成し、
    　搬送部品は、取付機構の支持レール部に支持される部品本体を備え、この部品本体に、流体用の流通口を設けるとともに、取付機構のガイド片に案内される弾性係合片を設け、この弾性係合片を取付機構のガイド片と干渉係合部との二股部に干渉させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
  2. 　取付機構は、容器本体の周壁に設けられ、搬送部品に引っかかるストッパを含んでなる請求項１記載の基板収納容器。
  3. 　容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成し、取付機構のガイド片を容器本体の前後方向に向けてその側面には干渉係合部を形成するとともに、ガイド片を容器本体の前後方向に交差する方向に傾斜させ、搬送部品の弾性係合片に、取付機構のガイド片に接触して撓む可撓性を付与し、この弾性係合片には、取付機構の干渉係合部に干渉する突部を形成した請求項１又は２記載の基板収納容器。
  4. 　取付機構の支持レール部を複数にして対向させ、この対向する複数の支持レール部を、容器本体の後方から前方に向かうに従い支持レール部間の距離が短くなるようそれぞれ傾斜させ、取付機構のガイド片を複数の支持レール部間に設けて容器本体の左右方向の中心線に向けて傾斜させ、
    　搬送部品の部品本体を中空に形成してその内部には弾性係合片を内蔵し、部品本体の両側部に、取付機構の複数の支持レール部に挟み持たれる被挟持板をそれぞれ形成して各被挟持板の側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の上部にフランジを形成するとともに、このフランジには、弾性係合片を露出させる操作孔を設け、複数の被挟持板とフランジの少なくともいずれかに流体用の流通口を設けた請求項３記載の基板収納容器。
  5. 　取付機構の支持レール部を複数にして対向させ、この対向する複数の支持レール部を、容器本体の後方から前方に向かうに従い支持レール部間の距離が短くなるようそれぞれ傾斜させ、取付機構のガイド片を複数の支持レール部間に設けて容器本体の上下方向に傾斜させ、
    　搬送部品の部品本体を略台形の板に形成してその両側面を支持レール部の傾斜に沿うよう傾斜させ、部品本体の裏面には弾性係合片を形成し、部品本体に、弾性係合片を露出させる操作孔を設けた請求項３記載の基板収納容器。
  6. 　部品本体と被挟持板の少なくともいずれか一方の裏面に、容器本体の周壁との間に隙間を区画する凹凸部を形成し、
    　部品本体に、取付機構のガイド片との接触に伴う弾性係合片の過剰な変形を規制する変形規制部を形成した請求項４又は５記載の基板収納容器。
     
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