JP2017107890A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】高重量であっても、作業員への負担が少なく、改善された作業性をもって取り扱うことができ、かつ滑り落とす危険性の少ない支持体を有する基板収納容器を提供すること。
【解決手段】容器本体と、基板を支持する支持体と、を有し、容器本体が、内側面上の取付突起、及び後方内側面上の取付被嵌合部、をそれぞれ有し、支持体が、前方支持面と、後方支持面と、基板を略水平に支持可能な基板支持部と、前方支持面及び／又は後方支持面に設けられ、取付突起に係合する被係合部と、後方支持面の後端部に設けられ、取付被嵌合部と嵌合可能であり、弾性変形可能な１以上の嵌合突起と、前方支持面の前端部に設けられ、支持体の嵌合又は取り外し時に把持可能な把持部と、を有し、把持部は、指を貫通させて係合可能な指被係合部を有し、前方支持面の前端部から突出した把持部基板を有する、基板収納容器。
【選択図】図４

Description

本発明は、支持体を嵌合し、又は取り外すに際して、少ない作業負担で取り扱うことができる、基板収納容器に関する。

半導体ウェハは、その製造過程を通じて、イオン等による汚染や塵等の付着を防止する必要があり、保管や輸送に当たっては、清浄性の維持された密閉可能な容器に収納することが必要である。半導体ウェハを収納するそのような容器としては、例えば、特許文献１に、開口部を有し基板を整列して収納する容器本体と、開口部を密閉可能な蓋体とを有する基板収納容器が開示されている。

ところで、上記の基板収納容器は、所定の合成樹脂を射出成形することにより製造されるが、基板収納容器自体が大型である上に細部にわたり入り組んだ構造を有するので、これを、それぞれ射出成形された複数の部品からなるアセンブリとして構成し、組み立てて使用することが一般的である。しかしながら、基板収納容器は半導体ウェハ等を収納するものであるので、手指等による汚染も含め、各種汚染を防止して容器自体の清浄性を維持する必要があり、特に、半導体ウェハを支持する支持体に対する、手指等による汚染は避けるべきものとされている。このため、支持体を構成する部材は、基板支持部である溝歯部分以外の部位に把持構造（把手）を設けることが必要となる。

着脱可能な支持体を有する基板収納容器としては、特許文献２に、容器本体と、容器本体の開口部を塞ぐ蓋体と、容器本体内の側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された基板を両側から支持する支持体とを備えてなる基板収納容器が開示されており、開口部を上に向けた状態における、この支持体の上部には把手が設けられて、支持体を取り上げる際にこの把手を２本の指で摘んで持ち上げるものとされている。

特許第５２５３４１０号 特許第４１４６７１８号

しかしながら、特許文献２に記載の基板収納容器においては、支持体に設けられた把手を２本指で中央に向かって力を加えて挟みながら、上方に取り上げる２方向動作を同時に行う必要があり、取り上げた後も滑り落とす危険性も高い（図５（ａ）も参照）。特に、近年製造されている４５０ｍｍ半導体基板用の基板収納容器の支持体に至っては、従来の３００ｍｍ半導体基板用の基板収納容器の支持体に比べて、その重量は２．５倍以上（約９００ｇ）と相当程度大きいものになってしまうため、このような重量の大きい支持体を備えた基板収納容器においても、作業員への負担を強いることなく、改善された作業性をもって支持体を取り扱うことができる基板収納容器を提供することが求められていた。したがって、本発明は以上のような課題に鑑みてなされたものであり、高重量であっても、作業員への負担が少なく、改善された作業性をもって取り扱うことができ、かつ滑り落とす危険性の少ない支持体を有する基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明の発明者らは上記課題に鑑み、鋭意研究を行った。その結果、容器本体と、容器本体の内側面に取り付けられて基板を支持する支持体と、を有する基板収納容器において、支持体を、容器本体の前方内側面に対向する前方支持面の前端部に設けられた把持部であって、支持体の嵌合又は取り外し時に把持可能な把持部を有するものとし、この把持部を、指被係合部を有し、前方支持面の前端部から突出した把持部基板を有する構成とした基板収納容器によれば、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は、以下のものを提供する。

（１） 本発明の第１の態様は、正面に開口部を有する容器本体と、上記容器本体の内側面に取り付けられて基板を支持する支持体と、を有する基板収納容器であって、上記容器本体が、上記内側面上の取付突起、及び後方内側面上の取付被嵌合部、をそれぞれ有し、上記支持体が、上記容器本体の前方内側面に対向する前方支持面と、上記容器本体の上記後方内側面に対向する後方支持面と、上記前方支持面及び上記後方支持面に架設され、基板を略水平に支持可能な基板支持部と、上記前方支持面及び／又は上記後方支持面に設けられ、上記取付突起に係合する被係合部と、上記後方支持面の後端部に設けられ、上記取付被嵌合部と嵌合可能であり、弾性変形可能な１以上の嵌合突起と、前方支持面の前端部に設けられ、支持体の嵌合又は取り外し時に把持可能な把持部と、を有し、上記把持部は、指を貫通させて係合可能な指被係合部を有し、上記前方支持面の前端部から突出した把持部基板を有する、基板収納容器である。

（２） 本発明の第２の態様は、（１）に記載の基板収納容器であって、上記把持部基板上、上記指被係合部が孔を形成していることを特徴とするものである。

（３） 本発明の第３の態様は、（１）又は（２）に記載の基板収納容器であって、上記把持部は、上記把持部基板に対して略垂直に突出した親指押圧部を有することを特徴とするものである。

（４） 本発明の第４の態様は、（３）に記載の基板収納容器であって、上記指被係合部の周縁に、上記把持部基板に対して略垂直に突出した指当接部を有することを特徴とするものである。

（５） 本発明の第５の態様は、（４）に記載の基板収納容器であって、上記把持部基板上、上記指被係合部が２つの孔を形成し、上記把持部基板の上記開口部側の縁部が、２つの上記孔に沿って形成された２つの山部と、上記山部の間に形成される谷部とを有し、上記把持部が、上記谷部の略底部に上記親指押圧部、及び２つの山部の略頂部に上記指当接部を有することを特徴とするものである。

本発明の基板収納容器は、基板を支持する支持体を、容器本体の前方内側面に対向する前方支持面の前端部に設けられた把持部であって、支持体の嵌合又は取り外し時に把持可能な把持部を有するものとし、この把持部を、指被係合部を有し、前方支持面の前端部から突出した把持部基板を有する構成としたので、支持体を嵌合し又は取り外す際には、作業員の指を指被係合部に係合させて支持体を取り扱うことができる。したがって、支持体を取り扱う際に、指への負担等の作業の負担が少なく、作業性も改善され、かつ滑り落とす危険性も低減される。

本発明の基板収納容器の斜視図である。 （ａ）基板支持部が設けられる面側、及び（ｂ）容器本体の内側面との当接面側から見た、本発明の基板収納容器に備えられる支持体を示す図面である。 支持体が容器本体に固定される態様を示す図面である。 （ａ）本発明の一態様における把持部の斜視図、及び（ｂ）本発明の他の態様における把持部の斜視図を示す図面である。 （ａ）従来技術の支持体における把持部、及び（ｂ）本発明の一態様における把持部を示す図面である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。本実施形態において、Ｘ方向とは、基板収納容器１における左側面から右側面に向かう方向を指し、Ｙ方向とは、基板収納容器１における左右両側面と平行な方向を指し、Ｚ方向とは、基板収納容器１における鉛直方向であり、基板収納容器１の底面から天井面２ａに向かう方向を指す。

＜基板収納容器＞
図１は、本発明の基板収納容器１を示す斜視図である。本発明の基板収納容器１は、例えば正面等の一面に開口部２１を有し複数の基板を水平に保持し、かつ、垂直方向に整列させて収納可能な容器本体２と、開口部２１を密閉可能な蓋体１１と、を有する。

［容器本体及び蓋体］
図１に示すように、容器本体２には、その対向する内面に一対の支持体３が着脱可能に取り付けられる構造となっており、容器本体２の左右の内側面２ｂには、それぞれ取付突起２２が形成されるとともに、後方内側面上には取付被嵌合部２３が形成されている。後述するように、この取付突起２２と取付被嵌合部２３は、支持体３に設けられる被係合部３１１や嵌合突起３２１と着脱自在に係合するようになっている。容器本体２の天井面２ａには、ロボティックフランジが着脱自在に装着されていてもよい。容器本体２の天井面２ａにこのロボティックフランジが装着された場合、ロボティックフランジが自動の天井搬送機に保持されることにより、基板収納容器１が工程内及び工程間を搬送される。

蓋体１１は、例えば、蓋体本体と、蓋体本体の容器本体２側を覆うカバー部材とを有しおり、蓋体１１が容器本体２に係合した状態で蓋体１１を容器本体２に固定する施錠機構が備えられていてもよい。施錠機構が設けられることにより、半導体製造工程において、半導体ウェハを容器本体２から取り出す必要があるときには、蓋体１１を除去して容器本体２の開口部２１を開放しつつも、基板収納容器１を輸送する際等、基板収納容器１を密閉する必要がある際には、蓋体１１を容器本体２の開口部２１に固定して、半導体ウェハの汚染等を防止することができる。蓋体１１の裏面には、基板の周縁部を保持する保持部材（フロントリテーナー；図示せず）が取り付けられていてもよく、この保持部材に設けられる基板支持部は、後述の支持体３に設けられる基板支持部３３と共に、基板を略水平に支持可能なように、支持体３の基板支持部３３とＺ軸上の略同一の位置に、同数設けられている。

［支持体］
図２は、基板支持部３３が設けられる面側、及び容器本体２の内側面２ｂとの当接面側から見た、本発明の基板収納容器１に備えられる支持体３を示す図面である。上述のとおり、容器本体２の内側面２ｂには、一対の支持体３が着脱可能に取り付けられる。この支持体３は、容器本体２の前方内側面に対向する前方支持面３１と、容器本体２の後方内側面に対向する後方支持面３２とを有しており、前方支持面３１及び後方支持面３２には、基板の周縁部を略水平に支持可能な複数の基板支持部３３が架設される。そして、支持体３は、支持体３の嵌合又は取り外し時に把持可能な把持部３４を有している。

（前方支持面及び後方支持面）
図３は、支持体３が容器本体２に固定される態様を示す図面である。支持体３は、容器本体２の内側面２ｂと面接合した状態で固定されることにより、容器本体２の内側面２ｂ上に固定される。ここで、容器本体２の前方内側面に対向する支持体３の前方支持面３１、及び／又は容器本体２の後方内側面に対向する支持体３の後方支持面３２には、上述した取付突起２２に係合する被係合部３１１が設けられており、後方支持面３２の後端部には、上述した取付被嵌合部２３と嵌合可能であり、弾性変形可能な１以上の嵌合突起３２１が設けられている。そして、取付突起２２と被係合部３１１が係合し、取付被嵌合部２３と嵌合突起３２１とが嵌合することにより、支持体３は容器本体２の内側面２ｂ上に面接合した状態で固定される。取付被嵌合部２３及び嵌合突起３２１の組み合わせの設置数は、容器本体２の内側面２ｂに支持体３を安定に固定できる限りにおいて、特に限定されるものではないが、２箇所以上であることが好ましい。

（基板支持部）
支持体３において、基板支持部３３はＺ方向に一定間隔に複数整列しており、容器本体２の左右それぞれの内側面２ｂの前後方向に水平に延びる細長い板状に成形されている。支持体３が有する基板支持部３３の数は、基板収納容器１が収納可能な基板の数と同数となっているが、その数は、右側内側面に設けられる支持体３の基板支持部３３の数と、左側内側面に設けられる支持体３の基板支持部３３の数が同数になる限りにおいて、特に限定されるものではない。右側内側面に設けられる支持体３と、左側内側面に設けられる支持体３は、基板収納容器１の左右中心面を中心に左右対称に設置されており、これにより、支持体３に設けられる左右の基板支持部３３で、基板を略水平に支持できるようになっている。

（把持部）
上述のとおり、支持体３は、その前端部に、支持体３の嵌合又は取り外し時に把持可能な把持部３４を有している。そして、この把持部３４は、支持体３の前方支持面３１の前端部から突出した把持部基板３４１を有しており、把持部基板３４１には、指を貫通させて係合可能な指被係合部３４２が形成されている。指被係合部３４２は、把持部基板３４１上の孔として形成されていることが好ましく、図４に示すように、孔の数は、例えば、指を１本のみ貫通可能な孔を１個以上、好ましくは２個以上設けてもよいし、指を２本以上貫通可能な孔を１個以上設けてもよい。

把持部基板３４１は、前方支持面３１における、容器本体２の前方内側面との接触面と比較して、容器本体２の外側に傾斜しており、基板収納容器１に基板を挿入し、又は取り出す際に、把持部基板３４１が基板と干渉しないように構成されている。これにより、基板の挿入及び取り出しの際に、基板が把持部基板３４１に接触して意図せず脱落するといった事態を防止することができる。一方で、把持部基板３４１が、前方支持面３１と容器本体２の前方内側面との接触面から傾斜する際の傾斜角は、支持体３を容器本体２に装着したままの状態で指被係合部３４２に指を貫通させた場合においても、貫通させた指と容器本体２の内側面２ｂとが相互に干渉することを防止できる範囲の角度に設定されていることが好ましい。このような構成を採用することにより、支持体３の取扱性がより向上することとなる。

本発明の基板収納容器１に装着される支持体３においては、把持部基板３４１の指被係合部３４２の周縁に、把持部基板３４１に対して略垂直に突出した指当接部３４３が形成されていることが好ましい。特に大型の半導体基板を収納する基板収納容器１においては、支持体３の重量も相当程度大きなものとなる傾向があるが、このように、指被係合部３４２の周縁に指当接部３４３が形成されていることにより、指被係合部３４２に指を係合させて支持体３を持ち上げた際に、支持体３の重量が、指当接部３４３の全面に分散され、支持体３を取り扱う際の指等への作業負担を低減することができる。

本発明においては、把持部３４は、さらに、把持部基板３４１に対して略垂直に突出した親指押圧部３４４を有していることが好ましい。この場合、容器本体２に支持体３を装着し又は取り外す際、指被係合部３４２には、例えば、人差し指と中指を係合させるとともに、親指を親指押圧部３４４に押し当てて作業することができ、支持体３の装着又は取り外しの際の作業性を向上させることができる。

把持部基板３４１の形状や、指被係合部３４２、親指押圧部３４４等の設置位置については、指を係合させ、親指を押し当てることができる形状及び位置である限りにおいて特に限定されるものではないが、例えば、把持部基板３４１上に、指被係合部３４２が２つの孔を形成している場合においては、容器本体２の開口部２１側の把持部基板３４１の縁部が、２つの孔に沿って形成された２つの山部と、山部の間に形成される谷部とを有し、谷部の略底部に親指押圧部３４４、山部の略頂部に指当接部３４３を有していることが好ましい。このような構成を採用することにより、指被係合部３４２に係合される指が、支持体３を保持している間、Ｚ方向に変位することが防止されるとともに、親指が、係合される２本の指の間に位置することとなるため、安定性を持って支持体３を保持することが可能となる。

＜基板収納容器の製造方法＞
なお、容器本体２、蓋体１１、支持体３等は、金型成形の技術を使用して、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマー等の従来公知の合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブ等を添加して、導電性を付与してもよい。

１ 基板収納容器
１１ 蓋体
２ 容器本体
２ａ 容器本体の天井面
２ｂ 容器本体の内側面
２１ 開口部
２２ 取付突起
２３ 取付被嵌合部
３ 支持体
３１ 前方支持面
３１１ 被係合部
３２ 後方支持面
３２１ 嵌合突起
３３ 基板支持部
３４ 把持部
３４１ 把持部基板
３４２ 指被係合部
３４３ 指当接部
３４４ 親指押圧部

Claims (5)

1. 正面に開口部を有する容器本体と、前記容器本体の内側面に取り付けられて基板を支持する支持体と、を有する基板収納容器であって、
   前記容器本体が、前記内側面上の取付突起、及び後方内側面上の取付被嵌合部、をそれぞれ有し、
   前記支持体が、
   前記容器本体の前方内側面に対向する前方支持面と、
   前記容器本体の前記後方内側面に対向する後方支持面と、
   前記前方支持面及び前記後方支持面に架設され、基板を略水平に支持可能な基板支持部と、
   前記前方支持面及び／又は前記後方支持面に設けられ、前記取付突起に係合する被係合部と、
   前記後方支持面の後端部に設けられ、前記取付被嵌合部と嵌合可能であり、弾性変形可能な１以上の嵌合突起と、
   前方支持面の前端部に設けられ、支持体の嵌合又は取り外し時に把持可能な把持部と、を有し、
   前記把持部は、指を貫通させて係合可能な指被係合部を有し、前記前方支持面の前端部から突出した把持部基板を有する、基板収納容器。
2. 前記把持部基板上、前記指被係合部が孔を形成している、請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記把持部は、前記把持部基板に対して略垂直に突出した親指押圧部を有する、請求項１又は２に記載の基板収納容器。
4. 前記指被係合部の周縁に、前記把持部基板に対して略垂直に突出した指当接部を有する、請求項３に記載の基板収納容器。
5. 前記把持部基板上、前記指被係合部が２つの孔を形成し、
   前記把持部基板の前記開口部側の縁部が、２つの前記孔に沿って形成された２つの山部と、前記山部の間に形成される谷部とを有し、
   前記把持部が、前記谷部の略底部に前記親指押圧部、及び２つの山部の略頂部に前記指当接部を有する、請求項４に記載の基板収納容器。

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