TWI642604B - Substrate storage container - Google Patents

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TWI642604B
TWI642604B TW103117836A TW103117836A TWI642604B TW I642604 B TWI642604 B TW I642604B TW 103117836 A TW103117836 A TW 103117836A TW 103117836 A TW103117836 A TW 103117836A TW I642604 B TWI642604 B TW I642604B
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Abstract

在本發明的基板收納容器中，側壁25係具有：半圓狀的半圓狀凸部251，係構成為從側壁25往離開側壁25外表面之方向突出，突出量隨著從拆卸位置接近安裝位置而變大；導引構件252、252A，係導引搬運構件8能夠在安裝位置與拆卸位置之間移動；及內側卡合部253，係形成在一對側壁25的內側。搬運構件8係具有：板狀的搬運構件主體81，係沿著一對側壁25的各者配置；圓形的限位貫通孔84，係以於搬運構件8的厚度方向貫通搬運構件主體81的方式形成，能夠讓半圓狀凸部251卡合；搬運構件側被導引部86，係卡合至導引構件252、252A而由導引構件252、252A導引在安裝位置與拆卸位置之間移動；及內側被卡合部87，係藉由搬運構件8從拆卸位置移往安裝位置而能夠卡合於內側卡合部253。

Description

基板收納容器
本發明係有關收納半導體晶圓(wafer)等基板的基板收納容器。
就收納半導體晶圓等基板的容器而言，習知中已有具備容器主體、蓋體及搬運(handling)構件的基板收納容器。容器主體係具有一端部形成容器主體開口部、另一端部為封閉的筒狀的壁部。於容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間係由壁部所圍成，能夠收納複數片基板。蓋體係能夠對容器主體開口部裝卸，能夠將容器主體開口部封閉起來。側邊基板支撐部係在基板收納空間內以成對的方式設置於壁部。當容器主體開口部未被蓋體封閉起來時，側邊基板支撐部係能夠在使相鄰的基板彼此隔著既定間隔並列的狀態下，支撐複數片基板的緣部。
在蓋體的一部分且為將容器主體開口部封閉起來時與基板收納空間相對向的部分，係設有蓋體側基板支撐部(前保持器(front retainer))。當容器主體開口部被蓋體封閉起來時，蓋體側基板支撐部係能夠支撐複數片基板的緣部。
壁部基板支撐部係以與蓋體側基板支撐部成對的方式設置於壁部。壁部基板支撐部係能夠支撐複數片基板的緣部。當容器主體開口部被蓋體封閉起來時，壁部基板支撐部係與蓋體側基板支撐部協同支撐複數片基板，藉此在使相鄰的基板彼此隔著既定間隔並列的狀態下，保持複數片基板。
搬運構件係以能夠對側壁裝卸的方式設置在構成部分壁部的側壁。搬運構件的端部係具有卡爪，藉由卡爪卡止於側壁，搬運構件便固定至容器主體(參照下述之專利文獻1)。
先行技術文獻 專利文獻
專利文獻1 國際專利公開第99/039994號公報
然而，在習知的基板收納容器中，搬運構件的卡爪係有斷裂之虞。又，搬運構件的卡爪對側壁的卡止並不牢固，不夠牢靠。
本發明的目的在於提供能夠將搬運構件牢固地卡止在側壁，且用以將搬運構件卡止在側壁的構成不易損壞的基板收納容器。
本發明係具備：容器主體，係具備一端部形成容器主體開口部、另一端部為封閉的筒狀的壁部且 為具有內壁、上壁、下壁及一對側壁而由前述上壁的一端部、前述下壁的一端部及前述側壁的一端部形成前述容器主體開口部的壁部，前述上壁的內面、前述下壁的內面、前述側壁的內面及前述內壁的內面形成能夠收納複數片基板且連通至前述容器主體開口部的基板收納空間；蓋體，係能夠對前述容器主體開口部裝卸，且能夠將前述容器主體開口部封閉；一對搬運構件，係以分別與前述一對側壁的外表面相對向的方式配置，能夠沿著前述側壁在安裝位置與拆卸位置之間移動，藉由移往前述安裝位置移動而固定於前述側壁而裝上，藉由移往前述拆卸位置而從前述側壁卸下；前述側壁係具有：半圓狀的半圓狀凸部，係構成為從前述側壁往離開前述側壁外表面的方向突出，突出量隨著從前述拆卸位置接近前述安裝位置而變大；導引構件，係能夠導引前述搬運構件在前述安裝位置與前述拆卸位置之間移動；及內側卡合部，係形成在前述一對側壁的內側；前述半圓狀凸部中突出量最小的部分係位於前述半圓狀凸部中最接近前述拆卸位置之位置，前述半圓狀凸部中突出量最大的部分係位在前述半圓狀凸部中最接近前述安裝位置之位置；前述搬運構件係具有：板狀的搬運構件主體，係沿著前述一對側壁的各者配置；圓形的限位貫通孔，係以於前述搬運構件的厚度方向貫通前述搬運構件主體的方式形成，能夠讓前述半圓狀凸部卡合；搬運構件側被導引部，係卡合至前述導引構件而由前述導引構件導引移動在前述安裝位置與前述拆卸位置之間；及內側被卡合 部，係藉由前述搬運構件從前述拆卸位置移往前述安裝位置而能夠卡合於前述內側卡合部；藉由前述搬運構件側被導引部卡合於前述導引構件、及藉由前述內側被卡合部卡合於前述內側卡合部，使前述搬運構件受到固定，無法在相對於前述側壁的上下方向移動，藉由前述半圓狀凸部卡合於限位貫通孔，使前述搬運構件受到固定，無法在相對於前述側壁的連結前述安裝位置與前述拆卸位置之移動方向移動。
又，較佳為，前述基板係以前述基板的上表面及下表面形成水平的位置關係收納於前述基板收納空間；前述一對側壁內側的部分係分別具有由前述一對側壁的外表面沿著收納在前述基板收納空間的前述基板的周緣凹陷而成的內部外表面凹陷部；前述一對搬運構件係在位於前述安裝位置時前述搬運構件主體中與前述內部外表面凹陷部相對向的部分，分別具有能夠嵌合至前述內部外表面凹陷部的配重部。
此外，較佳為，前述配重部係前述搬運構件主體往前述一對搬運構件與側壁外表面相對向之側形成為厚壁而構成。
此外，較佳為，前述導引構件係具有形成在前述側壁、分別往上方及下方開口、於前述移動方向延伸的一對導引溝；前述搬運構件側被導引部係由能夠卡合於前述導引溝且於前述移動方向延伸的一對溝卡合部所構成。
此外，較佳為，前述基板係以前述基板的上表面及下表面形成水平的位置關係收納於前述基板收納空間；前述一對側壁內側的部分係分別具有由前述一對側壁的外表面沿著收納在前述基板收納空間的前述基板的周緣凹陷成階梯狀而成的內部外表面凹陷部；前述內側卡合部係由從前述內部外表面凹陷部的外表面於前述安裝位置朝前述拆卸位置之拆卸側方向突出的突出部所構成；前述搬運構件主體的前述拆卸側方向的端部係具有與前述拆卸側方向正交且往接近前述側壁之方向延伸的端部板狀部；前述內側被卡合部係由形成在前述端部板狀部、以貫通前述端部板狀部之方式形成、能夠讓前述突出部卡合的板狀部貫通孔所構成。
此外，較佳為，前述搬運構件係在前述搬運構件主體的與前述移動方向正交之方向的中央部分具有於前述移動方向平行延伸的肋(rib)；以堆高機(fork lift)的叉(fork)支撐前述肋，藉此使基板收納容器由前述堆高機抬起。
依據本發明，能夠提供能夠將搬運構件牢固地卡止在側壁，且用來將搬運構件卡止在側壁的構成不易損壞的基板收納容器。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器主體
3‧‧‧蓋體
8‧‧‧搬運構件
20‧‧‧壁部
21‧‧‧容器主體開口部
22‧‧‧內壁
23‧‧‧上壁
24‧‧‧下壁
25‧‧‧第1側壁
26‧‧‧第2側壁
27‧‧‧基板收納空間
81‧‧‧搬運構件主體
82‧‧‧肋
83‧‧‧配重部
84‧‧‧限位貫通孔
86‧‧‧導軌(搬運構件側被導引部、溝卡合部)
87‧‧‧板狀部貫通孔(內側被卡合部)
251‧‧‧半圓狀凸部
253‧‧‧側壁後部突起(內側卡合部、突出部)
W‧‧‧基板
第1圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1之立體分解圖。
第2A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之側視圖。
第2B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之俯視圖。
第2C圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之後視圖。
第3圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之立體圖。
第4A圖係顯示在本發明第1實施形態的基板收納容器1的容器主體安裝搬運構件8的態樣之側視圖。
第4B圖係顯示在本發明第1實施形態的基板收納容器1的容器主體安裝搬運構件8的態樣之後方立體圖。
第4C圖係顯示在本發明第1實施形態的基板收納容器1的容器主體安裝搬運構件8的態樣之後方放大立體圖。
第5A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之側視圖。
第5B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之放大側視圖。
第5C圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之俯視圖。
第5D圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之放大俯視圖。
第6A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8從拆卸位置移往安裝位置的態樣之側視圖。
第6B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8從拆卸位置移往安裝位置的態樣之放大側視圖。
第7A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之側視圖。
第7B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之放大側視圖。
第7C圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之後方立體圖。
第7D圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之後方放大立體圖。
第8圖係顯示本發明第2實施形態的基板收納容器的搬運構件8A之側視圖。
第9圖係顯示本發明第2實施形態的基板收納容器的搬運構件8A之立體圖。
以下，針對本發明第1實施形態的基板收納容器1，參照圖式進行說明。第1圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1之立體分解圖。第2A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之側視圖。第2B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之俯視圖。第2C圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之後視圖。第3圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8之立體圖。
第4A圖係顯示在本發明第1實施形態的基板收納容器1的容器主體安裝搬運構件8的態樣之側視圖。第4B圖係顯示在本發明第1實施形態的基板收納容器1的容器主體安裝搬運構件8的態樣之後方立體圖。第4C圖係顯示在本發明第1實施形態的基板收納容器1的容器主體安裝搬運構件8的態樣之後方放大立體圖。第5A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之側視圖。第5B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之放大側視圖。第5C圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之俯視圖。第5D圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於拆卸位置的狀態之放大俯視圖。
第6A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8從拆卸位置移往安裝位置的態樣之側視圖。第6B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8從拆卸位置移往安裝位置的態樣之放大側視圖。第7A圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之側視圖。第7B圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之放大側視圖。第7C圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之後方立體圖。第7D圖係顯示本發明第1實施形態的基板收納容器1的搬運構件8位於安裝位置的狀態之後方放大立體圖。
此處，為了說明上的方便，將從後述的容器主體2朝蓋體3之方向(第1圖中的左下方向)定義為前方向D11、將該方向的相反方向定義為後方向D12、將該兩個方向定義為前後方向D1。此外，將從後述的下壁24朝上壁23之方向(第1圖中的上方向)定義為上方向D21、將該方向的相反方向定義為下方向D22、將該兩個方向定義為上下方向D2。此外，將從後述的第2側壁26朝第1側壁25之方向(第1圖中的左上方向)定義為左方向D31、將該方向的相反方向定義為右方向D32、將該兩個方向定為為左右方向D3。
此外，收納於基板收納容器1的基板W(參照第1圖)係圓盤狀的矽(silicon)晶圓、玻璃(glass)晶圓、藍寶石(sapphire)晶圓等在產業中使用的薄基板。本實施形態的基板W係直徑450mm的矽晶圓。
如第1圖所示，基板收納容器1係具有容器主體2、蓋體3及搬運構件8。
容器主體2係具有一端部形成容器主體開口部21、另一端部為封閉的筒狀的壁部20。於容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27係由壁部20所圍成。在壁部20的一部分且為形成基板收納空間27的部分，係配置有基板支撐板狀部5。在基板收納空間27能夠收納複數片基板W。
基板支撐板狀部5係在基板收納空間27內於左右方向D3以成對的方式設置於壁部20。當容器主體開口部21未被蓋體3封閉起來時，基板支撐板狀部 5係能夠在使相鄰的基板W彼此隔著既定間隔並列的狀態下，支撐複數片基板W的緣部。在基板支撐板狀部5的內側係設有內側基板支撐部(未圖示)。當容器主體開口部21被蓋體3封閉起來時，內側基板支撐部(未圖示)係能夠支撐複數片基板W的緣部的後部。
蓋體3係能夠對容器主體開口部21裝卸，能夠將容器主體開口部21封閉起來。在蓋體3的一部分且為當容器主體開口部21被蓋體3封閉起來時與基板收納空間27相對向的部分(第1圖中所示的蓋體3的背面的面)，係設有前保持器(未圖示)。前保持器(未圖示)係以與內側基板支撐部(未圖示)成對的方式配置。
當容器主體開口部21被蓋體3封閉起來時，前保持器(未圖示)係能夠支撐複數片基板W的緣部的前部。當容器主體開口部21被蓋體3封閉起來時，前保持器(未圖示)係與內側基板支撐部(未圖示)協同支撐複數片基板W，藉此，在使相鄰的基板W彼此隔著既定間隔並列的狀態下，支撐複數片基板W。
搬運構件8係設有一對，以沿著後述的一對側壁25、26的外表面之方式，分別配置成與一對側壁的外表面相對向。搬運構件8係能夠於著側壁25、26，在屬於前側位置的安裝位置(參照第7A圖等)與屬於後側位置的拆卸位置(參照第5A圖等)之間移動。搬運構件8係藉由移往安裝位置而固定於側壁25、26而裝上，藉由移往拆卸位置而從側壁25、26卸下。以下，針對各部詳細進行說明。
如第1圖所示，容器主體2的壁部20係具有內壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25及第2側壁26。內壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25及第2側壁26係以塑膠(plastic)材料等所構成，在第1實施形態中係以聚碳酸酯(polycarbonate)一體成形地構成。
第1側壁25與第2側壁26係相對向，上壁23與下壁24係相對向。上壁23的後端、下壁24的後端、第1側壁25的後端及第2側壁26的後端全都與內壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1側壁25的前端及第2側壁26的前端係具有與內壁22相對向的位置關係，構成開口周緣部28，該開口周緣部28形成略長方形狀的容器主體開口部21。
開口周緣部28係設置在容器主體2的一端部，內壁22係位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形係為箱狀。壁部20的內面，亦即內壁22的內面、上壁23的內面、下壁24的內面、第1側壁25的內面及第2側壁26的內面，係形成由該些內面圍成的基板收納空間27。形成在開口周緣部28的容器主體開口部21係與由壁部20圍起並形成在容器主體2內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27係以基板W的上表面及下表面形成略水平的位置關係，最多可收納25片基板W。
如第1圖所示，在上壁23及下壁24的一部分且為開口周緣部28附近的部分，係形成有朝基板收納空間27外方凹陷的栓鎖(latch)卡合凹部231A、231B、 241A、241B。栓鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B係於上壁23及下壁24的左右兩端部附近各形成1個，共計形成4個。
如第1圖所示，在上壁23的外表面，凸緣(flange)固定部(未圖示)及肋235A、235B係與上壁23以一體成形的方式設置。凸緣固定部(未圖示)係配置在上壁23的中央部。如第1圖所示，作為被卡止部的頂凸緣(top flange)236係固定在凸緣固定部(未圖示)。頂凸緣236係配置在上壁23的中央部。在AMHS(自動晶圓搬運系統)、PGV(晶圓基板搬運車)等中要懸吊基板收納容器1時，頂凸緣236係被掛至作為吊起構件的該些機械的臂(arm)(未圖示)，藉此，基板收納容器1便為臂所懸吊。
在上壁係設有肋235A、235B。肋235A係從頂凸緣236於左前方向、右前方向分別延伸3條。此外，肋235B係從頂凸緣236於前方向D11延伸5條，此外，還從頂凸緣236於後方向D12延伸2條。
由於側壁25係具有與側壁26左右對稱的形狀，故以下僅針對側壁25進行說明，省略針對側壁26的說明。如第4A圖等圖所示，側壁25係具有半圓狀的半圓狀凸部251、作為導引構件的導引肋252及作為內側卡合部之突出部的側壁後部突起253。此外，側壁25係具有內部外表面凹陷部254(參照第4B圖等圖)。
如第4B圖所示，內部外表面凹陷部254係形成在側壁25。更具體而言，內部外表面凹陷部254係以側壁25與側壁26的左右方向D3之間的距離自開口 周緣部28朝後方向D12漸漸變小的方式形成為階梯狀。特別是，內部外表面凹陷部254中位於側壁25內側(後側)的部分係由一對側壁25的外表面沿著收納在基板收納空間27(參照第1圖)的圓盤狀的基板W的周緣凹陷成階梯狀，且構成為左右方向D3的段差比內部外表面凹陷部254於側壁25前側的部分還大。
如第4A圖所示，半圓狀凸部251係位在側壁25的前部且位於開口周緣部28附近。半圓狀凸部251係於側壁25存在一對。就在上下方向中的位置而言，半圓狀凸部251係存在於從側壁25上端往下的側壁25上下方向高度的4分之1左右之位置、及從側壁25下端往上的側壁25上下方向高度的4分之1左右之位置。
半圓狀凸部251中，半圓狀的直徑的部分最靠後方向D12，直徑係具有與上下方向D2一致的位置關係。半圓狀凸部251係從側壁25外表面往離開外表面的方向突出，亦即從側壁25往左方向D31突出。半圓狀凸部251係構成為突出量隨著從拆卸位置朝前方向D11接近安裝位置而漸漸變大。因此，在半圓狀凸部251中，半圓狀凸部251中突出量最小的部分251A係為半圓狀的直徑的部分。該部分係位於半圓狀凸部251中最接近拆卸位置的位置。在半圓狀凸部251中，半圓狀凸部251中突出量最大的部分251B係為半圓狀的圓弧的一部分，且為半圓狀的直徑兩端的中間部分。該部分係在半圓狀凸部251中位於最接近安裝位置的位置。
就在前後方向中的位置而言，導引肋252係存在於從側壁25前端往後方向D12中的側壁25前後方向深度的4分之1左右之位置，在側壁25的上下方向D2存在一對。就在上下方向中的位置而言，導引肋252係存在於從側壁25上端往下的側壁25上下方向高度的8分之1左右之位置、及從側壁25下端往上的側壁25上下方向高度的8分之1左右之位置。
如第4A圖、第4B圖所示，上側的導引肋252係與側壁25一體成形地構成，於前後方向D1延伸。關於導引肋252，以平行於上下方向D2及左右方向D3之面剖切時，剖面具有略L字形，且藉由導引肋252和側壁25的外表面而形成向上方向D21開口的導引溝252A。導引溝252A的前端、後端係分別向前方向D11、後方向D12開口。
同樣地，關於下側的導引肋252，以平行於上下方向D2及左右方向D3之面剖切時，剖面具有略L字形，且藉由導引肋252和側壁25的外表面而形成向下方開口的導引溝252A。導引溝252A的前端、後端係分別向前方向D11、後方向D12開口。
因此，作為導引構件的一對導引肋252、252係具有形成在側壁25且分別向上方向D21及下方向D22開口的導引溝252A、252A且為於連結安裝位置與拆卸位置之方向(以下，稱為「移動方向」)延伸的一對導引溝252A、252A。導引肋252係導引搬運構件8能夠在安裝位置(參照第7A圖等圖)與拆卸位置(參照第5A圖 等圖)之間移動。此外，如第4A圖所示，在上側的導引肋252的前端、後端及中央部係分別設有連接導引肋252下端與側壁25的支撐肋252B，共計設有3個。同樣地，在下側的導引肋252的前端、後端及中央部係分別設有連接導引肋252上端與側壁25的支撐肋252B，共計設有3個。
如第4A圖、第7C圖所示，就在前後方向中的位置而言，側壁後部突起253係存在於從側壁25後端往前方向D11中的側壁25前後方向深度的5分之1左右之位置，於上下方向D2等間隔存在3個。就在上下方向D2中的位置而言，側壁後部突起253係分別存在於從側壁25上端往下的側壁25上下方向D2高度的8分之1左右之位置、從側壁25下端往上的側壁25上下方向高度的8分之1左右之位置、及側壁25的上下方向D2中的上述兩位置的中間位置。
側壁後部突起253係內部外表面凹陷部254中位於側壁25內側(後側)的部分，存在於從具有階梯狀的內部外表面凹陷部254前端往後數第3階的後端面254A。後端面254A係構成內部外表面凹陷部254的外表面。側壁後部突起253係與側壁25一體成形地構成，從具有階梯狀的內部外表面凹陷部254的第3階的後端面254A往後方向D12突出，亦即往搬運構件8的安裝位置朝拆卸位置之方向(以下，稱為「拆卸側方向」)突出。側壁後部突起253係具有從後方觀看時為「」字照在鏡子裡般，與「」字左右對稱的立體形狀。
如第1圖所示，蓋體3係具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀略一致的略長方形狀。蓋體3係能夠對容器主體2的開口周緣部28裝卸，藉由在開口周緣部28裝上蓋體3，蓋體3便能夠將容器主體開口部21封閉。在蓋體3的外周緣部係有密封(seal)構件嵌合溝於著蓋體3的外周緣部形成。如第1圖所示，在密封構件嵌合溝中係嵌入有可彈性變形的POE(polyoxyethylene；聚氧乙烯)製、PEE製及聚酯(polyester)系、聚烯烴(polyolefin)系等各種熱可塑性彈性體(elastomer)、含氟橡膠製、矽橡膠製等的環形的密封構件4。密封構件4係以環繞蓋體3的外周緣部一圈的方式配置。
蓋體3安裝至開口周緣部28時，蓋體3的外周緣部係隔介密封構件4抵接於容器主體2的開口周緣部28的內周緣部。藉此，密封構件4被蓋體3的外周緣部與開口周緣部28的內周緣部包夾而彈性變形，蓋體3係將容器主體開口部21以密閉狀態封閉起來。藉由從開口周緣部28取下蓋體3，便能夠對容器主體2內的基板收納空間27取放基板W。
在蓋體3係設有栓鎖機構。栓鎖機構係設在蓋體3的左右兩端部附近，如第1圖所示，係具有能從蓋體3上邊往上方向D21突出的2個上側栓鎖部32A及能從蓋體3下邊往下方向D22突出的2個下側栓鎖部(未圖示)。2個上側栓鎖部32A係配置在蓋體3上邊的左右兩端附近，2個下側栓鎖部係配置在蓋體3下邊的左右兩端附近。
在蓋體3的外表面係設有操作部33。藉由從蓋體3的前側對操作部33進行操作，能夠令上側栓鎖部32A、下側栓鎖部(未圖示)從蓋體3的上邊、下邊突出，也能令上側栓鎖部32A、下側栓鎖部成為不從上邊、下邊突出的狀態。藉由上側栓鎖部32A從蓋體3上邊往上方向D21突出而卡合至容器主體2的栓鎖卡合凹部231A、231B，且下側栓鎖部從蓋體3下邊往下方向D22突出而卡合至容器主體2的栓鎖卡合凹部241A、241B，蓋體3便固定於容器主體2的開口周緣部28。
在蓋體3的內側係形成有往基板收納空間27外凹陷的凹部(未圖示)。在凹部(未圖示)係固設有前保持器(未圖示)。
前保持器係具有前保持器基板承接部(未圖示)。前保持器基板承接部係於左右方向D3隔著既定間隔以成對的方式各配置有2個。如上述以成對的方式各配置有2個的前保持器基板承接部係以於上下方向D2並列有25對的狀態設置。藉由基板W收納於基板收納空間27內、且閉合蓋體3，前保持器基板承接部便夾持基板W的緣部的端緣給予支撐。
一對的搬運構件8係具有同樣的形狀，故僅針對其中一方的搬運構件8進行說明。
如第2A圖等圖所示，搬運構件8係具有搬運構件主體81、肋82、配重部83、限位貫通孔84、作為搬運構件側被導引部和溝卡合部的導軌(guide rail)86及作為內側被卡合部的板狀部貫通孔87(參照第 2C圖)。搬運構件主體81係具有能夠覆蓋大致整個側壁25之大小的板狀，在搬運構件主體81的前後方向D1的略中央部係具有於上下方向分別形成凹陷之凹部的窄腰部811。
如第2B圖所示，窄腰部811的左右兩端的部分係以接近側壁25的方式向側壁25的方向(右方向D32)彎曲。因此，窄腰部811係位於比搬運構件主體81的前部還靠近側壁25。此外，在窄腰部811的與側壁25相對向之面係設有往側壁25的方向突出的內方凸部812。內方凸部812係以肋82為中心而上下設置一對。
肋82係設置在搬運構件主體81的與移動方向正交之方向的中央部分，亦即設置在搬運構件主體81的上下方向D2的中央部分。肋82係設置在搬運構件主體81的與側壁25相對向之內面相反側的外表面上，在前後方向D1上從搬運構件主體81的前端一直設置到後端，平行於移動方向(前後方向D1)設置成一直線狀。
肋82係以離開搬運構件主體81外表面的方式突出。如第2A圖等圖所示，在肋82係形成有複數個從側向觀看時為長方形狀的空間821。在相鄰的空間821之間係設有於上下方向延伸的肋壁部822。此外，在肋82的位於窄腰部811的部分係形成有往接近側壁25的方向凹陷成V字的V字凹部823(參照第2B圖)。以堆高機(未圖示)的叉支撐肋82的下部，基板收納容器1便能夠由堆高機抬起。
如第2B圖所示，配重部83係由搬運構件主體81中位於窄腰部811較後側的部分所構成。配重部83係由搬運構件主體81中位於窄腰部811較後側的部分整個形成為厚壁而構成。形成為厚壁的是搬運構件主體81的與側壁25外表面相對向之側。因此，搬運構件主體81的配重部83部分係以比搬運構件主體81的其他部分往接近側壁25的方向增厚之方式構成而往該方向突出。
當搬運構件8位於安裝並固定於側壁25的安裝位置(參照第7A圖)時，如第7C圖等圖所示，配重部83係與內部外表面凹陷部254內側的部分相對向，在離開內部外表面凹陷部254的狀態下嵌合至形成在內部外表面凹陷部254內側的部分的凹陷空間。
如第2A圖所示，限位貫通孔84係由圓形的貫通孔所構成，於搬運構件8的厚度方向貫通搬運構件主體81。限位貫通孔84係在搬運構件主體81的前端附近的部分，於肋82的上側及下側分別形成1個而形成一對。限位貫通孔84的內徑比半圓狀凸部251的直徑僅大一些。如第7A圖所示，當搬運構件8位於安裝位置(參照第7A圖)時，於一對限位貫通孔84係讓一對半圓狀凸部251卡合。
在比一對限位貫通孔84更靠搬運構件主體81上端的部分及更靠搬運構件主體81下端的部分且為比一對限位貫通孔84更位於搬運構件主體81後方處，係分成形成有導引肋插入孔85。導引肋插入孔85 係具有從側向觀看時於移動方向即前後方向D1呈長形的長方形狀。
如第2A圖所示，導軌86係設置在導引肋插入孔85中比前後方向D1上的中央更位於後方向D12的部分。導軌86係具有從側向觀看時為長方形的形狀，導軌86的前後方向D1的長度係導引肋插入孔85的同一方向的長度的1/2左右，導軌86的上下方向D2的寬度係導引肋插入孔85的同一方向的寬度的1/4左右。
導軌86係以下述的位置關係設置，即導軌86的長邊之中的離肋82較遠之側的長邊，係一致於長方形狀的導引肋插入孔85的長邊之中離肋82較遠之側的長邊。更具體而言，如第2A圖等圖所示，在上側的導引肋插入孔85，導軌86設在導引肋插入孔85上側的長邊。又，在下側的導引肋插入孔85，導軌86設在導引肋插入孔85下側的長邊。導軌86係能夠卡合於由導引肋252與側壁25形成的導引溝252A。此外，導軌86係在卡合於導引溝252A的狀態下由形成導引溝252A的導引肋252及側壁25導引移動在安裝位置(參照第5A圖)與拆卸位置(參照第7A圖)之間。
如第2B圖等圖所示，在搬運構件主體81的拆卸側方向(後方向D12)的端部，亦即在搬運構件主體81的後端，係設有端部板狀部88。端部板狀部88係從搬運構件主體81的後端往接近側壁25之方向延伸。因此，端部板狀部88係具有與拆卸側方向即後方向D12正交的位置關係。如第2C圖所示，端部板狀部88係具 有從搬運構件主體81的上端一直延伸至下端的細長形板狀。
如第2C圖所示，板狀部貫通孔87係形成在端部板狀部88。板狀部貫通孔87係具有於上下方向D2呈長形的長方形狀，形成在端部板狀部88上端部附近部分、端部板狀部88下端部附近部分、上下方向D2的中央部。板狀部貫通孔87所具有的縱向長度及橫向長度的值係比為「」字形對稱形狀的側壁後部突起253的該「」字的縱向長度及橫向長度僅大一些，以使側壁後部突起253插入卡合。
在上述構成的基板收納容器1中，搬運構件8的裝卸係以下述方式進行。
如第4A圖至第4C圖所示，首先，令搬運構件8於著側壁25從容器主體2後方往前方向D11移動。接著，令導引肋插入孔85成為從側向觀察時與導引肋252為相對向之位置關係，繼續令搬運構件8接近側壁25，如第5A圖所示，將導引肋252插入導引肋插入孔85的前部。此時的搬運構件8的位置即為拆卸位置。
接著，令搬運構件8相對於容器主體2往前方向D11移動，如第6A圖、第6B圖所示，令導軌86卡合於導引溝252A。如此一來，搬運構件主體81的前端部便開始跨上半圓狀凸部251。接著，繼續令搬運構件8相對於容器主體2往前方向D11移動，如此一來便會如第7A圖、第7B圖，形成導引肋252位於導引肋插入孔85後端的狀態。此時，在搬運構件8的後部，3 個板狀部貫通孔87同時被側壁後部突起253插入。此外，此時，2個限位貫通孔84同時有半圓狀凸部251卡合。此時的搬運構件8的位置即為安裝位置。
藉由搬運構件8從拆卸位置(參照第5A圖)往安裝位置(參照第7A圖)移動，因為作為搬運構件側被導引部的導軌86與作為導引構件的導引肋252的導引溝252A之間的卡合、及作為內側被卡合部的板狀部貫通孔87與作為內側卡合部的側壁後部突起253之間的卡合，便使搬運構件8受到固定，無法在相對於側壁25的上下方向D2移動。此外，當搬運構件8位於安裝位置(參照第7A圖)時，因為半圓狀凸部251卡合於限位貫通孔84，便使搬運構件8受到固定，無法在相對於側壁25的連結安裝位置與拆卸位置之移動方向(前後方向D1)移動。
要將搬運構件8從側壁25拆卸下來時，首先，將搬運構件主體81的前端部的板狀部貫通孔87附近的部分往離開側壁25的方向拉起使之彎曲變形。在維持該狀態不變下，令搬運構件8往後方向D12移動。接著，在導軌86如第5A圖所示位於導引肋插入孔85的前部時，亦即搬運構件8位於拆卸位置時，令搬運構件8離開側壁25。藉此，搬運構件8便從側壁25卸下。
依據上述構成的第1實施形態的基板收納容器1，能夠獲得下述效果。
如前述，側壁25係具有：半圓狀的半圓狀凸部251，係構成為從側壁25往離開側壁25外表面之方向突出，突出量隨著從拆卸位置(參照第5A圖)接近 安裝位置(參照第7A圖)而變大；作為導引構件的導引肋252，係導引搬運構件8能夠在安裝位置與拆卸位置之間移動；及作為內側卡合部的側壁後部突起253，係形成在側壁25的內側。此外，半圓狀凸部251中突出量最小的部分251A係位於半圓狀凸部251中最接近拆卸位置之位置，半圓狀凸部251中突出量最大的部分251B係位於半圓狀凸部251中最接近安裝位置之位置。
此外，搬運構件8係具有：略板狀的搬運構件主體81，係沿著側壁25配置；圓形的限位貫通孔84，係以於搬運構件8的厚度方向貫通搬運構件主體81的方式形成，能夠讓半圓狀凸部251卡合；作為搬運構件側被導引部的導軌86，係卡合至作為導引構件的導引肋252所形成的導引溝252A而由導引構件(導引肋252)導引移動在安裝位置與拆卸位置之間；及作為內側被卡合部的板狀部貫通孔87，係藉由搬運構件8從拆卸位置(參照第5A圖)移往安裝位置(參照第7A圖)而能夠卡合於內側卡合部(側壁後部突起253)。
因此，藉由導軌86卡合於導引溝252A、及側壁後部突起253卡合於板狀部貫通孔87，便能夠將搬運構件8固定，使搬運構件8無法在相對於側壁25的上下方向D2移動。此外，同時藉由半圓狀凸部251卡合於限位貫通孔84，便能夠將搬運構件8固定，使搬運構件8無法在相對於側壁25的連結安裝位置與拆卸位置之移動方向移動。
其中，由於是使板狀的搬運構件主體81的形成有限位貫通孔84的部分彎曲變形來進行半圓狀凸部251對限位貫通孔84的卡合/卡合解除，故能夠將該部分作成為不易損壞的構成。如此一來，能夠將搬運構件8牢固地卡止在構成壁部20一部分的側壁25，且能夠作成為用於將搬運構件8卡止至側壁25的構成不易損壞的基板收納容器1。
又，由於半圓狀凸部251係卡合於圓形狀的限位貫通孔84，故不僅是在移動方向，在上下方向D2也能夠抑制側壁25與搬運構件主體81之間產生鬆動。此外，能夠沿暢且容易地進行半圓狀凸部251對圓形狀的限位貫通孔84之卡合。此外，能夠減少進行該卡合時發生摩擦的部分，而能夠提高耐久性。
又，由於半圓狀凸部251中突出量最小的部分251A係位於半圓狀凸部251中最接近拆卸位置之位置，半圓狀凸部251中突出量最大的部分251B係位在半圓狀凸部251中最接近安裝位置之位置，故能夠使搬運構件主體81的形成有限位貫通孔84的部分容易跨過半圓狀凸部251，而能夠使半圓狀凸部251對限位貫通孔84之卡合容易進行。
此外，側壁25內側的部分係分別具有由一對側壁25的外表面沿著收納在基板收納空間27的基板W的周緣凹陷而成的內部外表面凹陷部254。而且，搬運構件8係在位於安裝位置(參照第7A圖)時搬運構件主體81中與內部外表面凹陷部254相對向的部分，分別 具有能夠嵌合至內部外表面凹陷部254的配重部83。因此，即便蓋體3的重量大，仍能夠於基板收納容器1前後適當地形成重量平衡。再者，能夠防止配重部83往基板收納容器1外大幅突出。
此外，配重部83係由搬運構件主體81往一對搬運構件8的與側壁25外表面相對向之側形成為厚壁而構成。因此，能夠將配重部83作成為簡單的構成，而能夠壓低基板收納容器1整體的成本。
導引構件係具有形成在側壁25、分別往上方向D21及下方向D22開口且於移動方向延伸的一對導引溝252A。此外，搬運構件側被導引部係由能夠卡合於導引溝252A且在移動方向延伸的一對作為溝卡合部的導軌86所構成。
因此，藉由導引溝252A，能夠在安裝位置(參照第7A圖)與拆卸位置(參照第5A圖)之間穩定且直線地導引作為搬運構件側被導引部的導軌86之移動。此外，當搬運構件8位於安裝位置時，由於在移動方向延伸的作為溝卡合部的導軌86係卡合於在移動方向延伸的導引溝252A，故在藉由堆高機升降肋82時，能夠將容器主體2及蓋體3的荷重施加在於移動方向延伸的導引溝252A與導軌86。因此，相較於荷重是施加在卡爪等小構件的情形，能夠將固定搬運構件8於側壁25的構成作成為較不易損壞。
一對側壁25內側的部分係具有由側壁25的外表面分別沿著收納在基板收納空間27之基板W的 周緣凹陷成階梯狀而成的內部外表面凹陷部254。此外，內側卡合部係由從內部外表面凹陷部254外表面於安裝位置朝拆卸位置之拆卸側方向(後方向D12)突出的作為突出部的側壁後部突起253所構成。又，搬運構件主體81的拆卸側方向(後方向D12)的端部係具有與拆卸側方向正交的端部板狀部88。此外，內側被卡合部係由形成在端部板狀部88，以貫通端部板狀部88之方式形成、能夠讓突出部卡合的板狀部貫通孔87所構成。
因此，藉由使搬運構件8往安裝位置(參照第7A圖)移動，能夠確實地使側壁後部突起253卡合至板狀部貫通孔87。此外，藉由側壁後部突起253卡合於板狀部貫通孔87，搬運構件8便牢固地固定於側壁25，因此當藉由堆高機升降肋82時，能夠極力抑制側壁後部突起253發生損壞。
此外，搬運構件8係在搬運構件主體81的與移動方向正交之方向(上下方向D2)的中央部分，具有於移動方向(前後方向D1)平行延伸的肋82。因此，能夠將用來提高搬運構件8強度的肋82，藉由以堆高機的叉支撐而用於以堆高機抬起基板收納容器1。
以下，針對本發明第2實施形態的基板收納容器進行說明。第8圖係顯示本發明第2實施形態的基板收納容器的搬運構件8A之側視圖。第9圖係顯示本發明第2實施形態的基板收納容器的搬運構件8A之立體圖。
在第2實施形態中，與第1實施形態不同的點在於搬運構件8A係具有能夠容易將搬運構件8A從側壁25拆卸下來的拆卸用柄部841。其餘的構成皆與第1實施形態相同，故對於相同的構件係表示以相同的元件符號並省略其說明。
拆卸用柄部841係設置在搬運構件主體81A前端的限位貫通孔84附近。如第8圖、第9圖所示，拆卸用柄部841係由搬運構件主體81A前端的部分往離開側壁25之方向突出成側向觀看時為長方形狀而構成。
依據上述構成的第2實施形態的基板收納容器，由於設有拆卸用柄部841，故能夠令搬運構件主體81A的形成有限位貫通孔84的部分容易往離開側壁25之方向(左方向D31)彎曲變形，而能夠容易進行半圓狀凸部251對限位貫通孔84的卡合/卡合解除。
本發明並不受上述實施形態所限定，能夠在申請專利範圍所記載的技術範圍內進行變形。例如，基板收納容器1的形狀和構成並不限定為上述實施形態的形狀和構成。具體而言，例如，端部板狀部88雖然係與拆卸側方向(後方向D12)正交，但並不以此為限，亦可為具有交叉的位置關係。
同樣地，關於側壁的導引構件、內側卡合部、搬運構件的搬運構件側被導引部、內側被卡合部等的形狀，亦不限定為本實施形態的形狀。導引構件係只要導引搬運構件能夠在安裝位置與拆卸位置之間移動即可，內側卡合部係只要形成在一對側壁的內側即可。此 外，搬運構件側被導引部係只要構成為卡合於導引構件而由導引構件導引移動在安裝位置與拆卸位置之間即可，內側被卡合部係只要能夠藉由搬運構件從拆卸位置往安裝位置移動而卡合至內側卡合部即可。

Claims (6)

  1. 一種基板收納容器，係具備：容器主體，係具備一端部形成容器主體開口部、另一端部為封閉的筒狀的壁部且為具有內壁、上壁、下壁及一對側壁而由前述上壁的一端部、前述下壁的一端部及前述側壁的一端部形成前述容器主體開口部的壁部，前述上壁的內面、前述下壁的內面、前述側壁的內面及前述內壁的內面形成能夠收納複數片基板且連通至前述容器主體開口部的基板收納空間；蓋體，係能夠對前述容器主體開口部裝卸，且能夠將前述容器主體開口部封閉；及一對搬運構件，係以分別與前述一對側壁的外表面相對向的方式配置，能夠沿著前述側壁在安裝位置與拆卸位置之間移動，藉由移往前述安裝位置移動而固定於前述側壁而裝上，藉由移往前述拆卸位置而從前述側壁卸下；前述側壁係具有：半圓狀的半圓狀凸部，係構成為從前述側壁往離開前述側壁外表面的方向突出，突出量隨著從前述拆卸位置接近前述安裝位置而變大；導引構件，係能夠導引前述搬運構件在前述安裝位置與前述拆卸位置之間移動；及內側卡合部，係形成在前述一對側壁的內側；前述半圓狀凸部中突出量最小的部分係位於前述半圓狀凸部中最接近前述拆卸位置之位置，前述半圓狀凸部中突出量最大的部分係位在前述半圓狀凸部中最接近前述安裝位置之位置；前述搬運構件係具有：板狀的搬運構件主體，係沿著前述一對側壁的各者配置；圓形的限位貫通孔，係以於前述搬運構件的厚度方向貫通前述搬運構件主體的方式形成，能夠讓前述半圓狀凸部卡合；搬運構件側被導引部，係卡合至前述導引構件而由前述導引構件導引移動在前述安裝位置與前述拆卸位置之間；及內側被卡合部，係藉由前述搬運構件從前述拆卸位置移往前述安裝位置而能夠卡合於前述內側卡合部；藉由前述搬運構件側被導引部卡合於前述導引構件、及藉由前述內側被卡合部卡合於前述內側卡合部，使前述搬運構件受到固定，無法在相對於前述側壁的上下方向移動，藉由前述半圓狀凸部卡合於限位貫通孔，使前述搬運構件受到固定，無法在相對於前述側壁的連結前述安裝位置與前述拆卸位置之移動方向移動。
  2. 如請求項1之基板收納容器，其中，前述基板係以前述基板的上表面及下表面形成水平的位置關係收納於前述基板收納空間；前述一對側壁內側的部分係分別具有由前述一對側壁的外表面沿著收納在前述基板收納空間的前述基板的周緣凹陷而成的內部外表面凹陷部；前述一對搬運構件係在位於前述安裝位置時前述搬運構件主體中與前述內部外表面凹陷部相對向的部分，分別具有能夠嵌合至前述內部外表面凹陷部的配重部。
  3. 如請求項2之基板收納容器，其中，前述配重部係由前述搬運構件主體往前述一對搬運構件的與側壁外表面相對向之側形成為厚壁而構成。
  4. 如請求項1之基板收納容器，其中，前述導引構件係具有一對導引溝，該一對導引溝形成在前述側壁且分別往上方及下方開口且於前述移動方向延伸；前述搬運構件側被導引部係由能夠卡合於前述導引溝且於前述移動方向延伸的一對溝卡合部所構成。
  5. 如請求項1之基板收納容器，其中，前述基板係以前述基板的上表面及下表面形成水平的位置關係收納於前述基板收納空間；前述一對側壁內側的部分係分別具有由前述一對側壁的外表面沿著收納在前述基板收納空間的前述基板的周緣凹陷成階梯狀而成的內部外表面凹陷部；前述內側卡合部係由從前述內部外表面凹陷部的外表面於前述安裝位置朝前述拆卸位置之拆卸側方向突出的突出部所構成；前述搬運構件主體的前述拆卸側方向的端部係具有與前述拆卸側方向正交且往接近前述側壁之方向延伸的端部板狀部；前述內側被卡合部係由板狀部貫通孔所構成，該板狀部貫通孔形成在前述端部板狀部且以貫通前述端部板狀部之方式形成且能夠讓前述突出部卡合。
  6. 如請求項1之基板收納容器，其中，前述搬運構件係在前述搬運構件主體的與前述移動方向正交之方向的中央部分具有於前述移動方向平行延伸的肋；以堆高機的叉支撐前述肋，藉此使基板收納容器由前述堆高機抬起。
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