KR20160013018A - 기판수납용기 - Google Patents

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KR20160013018A
KR20160013018A KR1020157032142A KR20157032142A KR20160013018A KR 20160013018 A KR20160013018 A KR 20160013018A KR 1020157032142 A KR1020157032142 A KR 1020157032142A KR 20157032142 A KR20157032142 A KR 20157032142A KR 20160013018 A KR20160013018 A KR 20160013018A
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유타 카나모리
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미라이얼 가부시키가이샤
신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

측벽(25)은, 측벽(25)의 외면으로부터 이간하는 방향으로 측벽(25)으로부터 돌출되어 분리위치로부터 장착위치로 접근함에 따라 돌출량이 커지도록 구성된 반원형의 반원형 철부(251)와, 핸들링부재(8)를 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동 가능하게 안내하는 안내부재(252, 252A)와, 한 쌍의 측벽(25)의 안측에 형성된 안측 결합부(253)를 갖는다. 핸들링부재(8)는 한 쌍의 측벽(25)의 각각을 따라 배치되는 대략 판 모양의 핸들링부재 본체(81)와, 핸들링부재(8)의 두께방향으로 핸들링부재 본체(81)를 관통하도록 형성되고, 반원형 철부(251)가 결합 가능한 원형의 위치규제 관통구멍(84)과, 안내부재(252, 252A)에 결합하여 안내부재(252, 252A)에 의해 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동이 안내되는 핸들링부재측 피안내부(86)와, 분리위치로부터 장착위치로의 핸들링부재(8)의 이동에 의해, 안측 결합부(253)에 결합 가능한 안측 피결합부(87)를 갖는다.

Description

기판수납용기{SUBSTRATE STORAGE CONTAINER}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 기판수납용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 용기로서는, 용기본체와 덮개체(蓋體)와 핸들링부재를 구비하는 기판수납용기가 종래부터 알려져 있다. 용기본체는 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고, 타단부가 폐색(閉塞)된 통(筒)형의 벽부(壁部)를 갖는다. 용기본체 내에는 기판수납공간이 형성되어 있다. 기판수납공간은 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어 있으며, 복수의 기판을 수납할 수 있다. 덮개체는 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하고, 용기본체 개구부를 폐색가능하다. 측방기판 지지부는 기판수납공간 내에서 쌍을 이루도록 벽부에 마련되어 있다. 측방기판 지지부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되지 않은 때에, 인접하는 기판들을 소정의 간격으로 이간(離間)시켜 병렬시킨 상태에서, 복수의 기판의 연부(緣部)를 지지할 수 있다.
덮개체의 부분이자 용기본체 개구부를 폐색하고 있는 때에 기판수납공간에 대향하는 부분에는, 덮개체측 기판 지지부(프론트 리테이너)가 마련되어 있다. 덮개체측 기판 지지부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에, 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다.
벽부 기판 지지부는 덮개체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 벽부에 마련되어 있다. 벽부 기판 지지부는 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다. 벽부 기판 지지부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에, 덮개체측 기판 지지부와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판들을 소정의 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판을 보존유지(保持)한다.
핸들링부재는 벽부의 일부를 구성하는 측벽에, 측벽에 대하여 착탈 가능하게 마련되어 있다. 핸들링부재의 단부는 걸림조(係止爪)를 가지고 있으며, 걸림조가 측벽에 걸림(係止)으로써 핸들링부재는 용기본체에 고정된다(특허문헌 1 참조).
국제공개 제99/039994호 팸플릿
그러나 종래의 기판수납용기에서는 핸들링부재의 걸림조가 부러질 우려가 있다. 또한, 핸들링부재의 걸림조의 벽부로의 걸림은 강고한 것이 아니어서 불충분하였다.
본 발명은, 핸들링부재를 벽부에 강고하게 걸 수 있고, 또한, 핸들링부재를 벽부에 걸기 위한 구성이 파손되기 어려운 기판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색된 통형의 벽부이자, 안벽(奧壁), 상벽, 하벽, 및 한 쌍의 측벽을 가지며 상기 상벽의 일단부, 상기 하벽의 일단부, 및 상기 측벽의 일단부에 의해 상기 용기본체 개구부가 형성된 벽부를 구비하고, 상기 상벽의 내면, 상기 하벽의 내면, 상기 측벽의 내면, 및 상기 안벽의 내면에 의해 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기본체 개구부에 연통하는 기판수납공간이 형성된 용기본체와, 상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하고, 상기 용기본체 개구부를 폐색 가능한 덮개체와, 상기 한 쌍의 측벽의 외면에 각각 대향하여 배치되고, 상기 측벽을 따라 장착위치와 분리위치 사이에서 이동 가능하며, 상기 장착위치로 이동함으로써 상기 측벽에 고정되어 장착되고, 상기 분리위치로 이동함으로써 상기 측벽으로부터 분리되는 한 쌍의 핸들링부재를 구비하고, 상기 측벽은, 상기 측벽의 외면으로부터 이간하는 방향으로 상기 측벽으로부터 돌출되어 상기 분리위치로부터 상기 장착위치로 접근함에 따라 돌출량이 커지도록 구성된 반원형의 반원형 철부(凸部)와, 상기 핸들링부재를 상기 장착위치와 상기 분리위치의 사이에서 이동 가능하게 안내하는 안내부재와, 상기 한 쌍의 측벽의 안측(奧側)에 형성된 안측 결합(係合)부를 가지고, 상기 반원형 철부의 돌출량이 최소인 부분은 상기 반원형 철부의 상기 분리위치에 가장 가까운 위치에 있고, 상기 반원형 철부의 돌출량이 최대인 부분은 상기 반원형 철부의 상기 장착위치에 가장 가까운 위치에 있으며, 상기 핸들링부재는, 상기 한 쌍의 측벽 각각을 따라 배치되는 대략 판 모양의 핸들링부재 본체와, 상기 핸들링부재의 두께방향으로 상기 핸들링부재 본체를 관통하도록 형성되고, 상기 반원형 철부가 결합(係合) 가능한 원형의 위치규제 관통구멍과, 상기 안내부재에 결합하여 상기 안내부재에 의해 상기 장착위치와 상기 분리위치의 사이에서 이동이 안내되는 핸들링부재측 피안내부와, 상기 분리위치로부터 상기 장착위치로의 상기 핸들링부재의 이동에 의해 상기 안측 결합부에 결합 가능한 안측 피결합부를 가지며, 상기 핸들링부재측 피안내부의 상기 안내부재와의 결합과, 상기 안측 피결합부의 상기 안측 결합부와의 결합에 의해 상기 핸들링부재는 상기 측벽에 대하여 상하방향으로 이동 불능하게 고정되고, 상기 반원형 철부의 위치규제 관통구멍과의 결합에 의해 상기 핸들링부재는 상기 측벽에 대하여 상기 장착위치와 상기 분리위치를 잇는 이동방향으로 이동 불능하게 고정되는 기판수납용기에 관한 것이다.
또한, 상기 기판은, 상기 기판의 상면 및 하면이 대략 수평이 되는 위치관계에서 상기 기판수납공간에 수납되고, 상기 한 쌍의 측벽의 안측 부분은, 각각 상기 기판수납공간에 수납된 상기 기판의 주연(周緣)을 따라 상기 한 쌍의 측벽의 외면(外面)이 움푹 패인 안부(奧部) 외면 함몰부를 가지며, 상기 한 쌍의 핸들링부재는, 상기 장착위치에 있을 때의 상기 핸들링부재 본체의 부분이자, 상기 안부 외면 함몰부에 대향하는 부분에, 상기 안부 외면 함몰부에 감합(嵌合) 가능한 추부를 각각 갖는 것이 바람직하다.
또한, 상기 추부는, 상기 한 쌍의 핸들링부재가 상기 측벽의 외면과 대향하는 쪽에 상기 핸들링부재 본체가 두껍게 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 안내부재는, 상기 측벽에 형성되어 위쪽 및 아래쪽으로 각각 개구되어 상기 이동방향으로 연장되는 한 쌍의 안내홈을 가지고, 상기 핸들링부재측 피안내부는, 상기 안내홈에 결합 가능하고 상기 이동방향으로 연장되는 한 쌍의 홈 결합부로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기판은, 상기 기판의 상면 및 하면이 대략 수평이 되는 위치관계에서 상기 기판수납공간에 수납되고, 상기 한 쌍의 측벽의 안측 부분은, 각각 상기 기판수납공간에 수납된 상기 기판의 주연을 따라 상기 한 쌍의 측벽의 외면이 계단형으로 움푹 패인 안부 외면 함몰부를 가지고, 상기 안측 결합부는, 상기 장착위치로부터 상기 분리위치로 향하는 분리측 방향으로 상기 안부 외면 함몰부의 외면으로부터 돌출되는 돌출부에 의해 구성되고, 상기 분리측 방향의 상기 핸들링부재 본체의 단부는, 상기 분리측 방향에 직교하고, 상기 측벽에 접근하는 방향으로 확장되는 단부 판형부를 가지며, 상기 안측 피결합부는, 상기 단부 판형부에 형성되고 상기 단부 판형부를 관통하도록 형성되며 상기 돌출부가 결합 가능한 판형부 관통구멍으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 핸들링부재는, 상기 이동방향에 직교하는 방향의 상기 핸들링부재 본체의 중앙부분에서 상기 이동방향으로 평행하게 연장되는 리브를 가지며, 상기 리브가 포크리프트의 포크에 의해 지지됨으로써, 기판수납용기는 상기 포크리프트에 의해 들어 올려지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 핸들링부재를 측벽에 강고하게 걸 수 있으며, 또한, 핸들링부재를 측벽에 걸기 위한 구성이 파손되기 어려운 기판수납용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 측면도이다.
도 2b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 평면도이다.
도 2c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 배면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체에 핸들링부재(8)를 장착하는 모습을 나타낸 측면도이다.
도 4b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체에 핸들링부재(8)를 장착하는 모습을 나타낸 후방 사시도이다.
도 4c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체에 핸들링부재(8)를 장착하는 모습을 나타낸 후방 확대 사시도이다.
도 5a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 5b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 확대 측면도이다.
도 5c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 평면도이다.
도 5d는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 확대 평면도이다.
도 6a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치로부터 장착위치로 이동하고 있는 모습을 나타낸 측면도이다.
도 6b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치로부터 장착위치로 이동하고 있는 모습을 나타낸 확대 측면도이다.
도 7a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 7b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 확대 측면도이다.
도 7c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 후방 사시도이다.
도 7d는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 확대 후방 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 기판수납용기의 핸들링부재(8A)를 나타낸 측면도이다.
도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 기판수납용기의 핸들링부재(8A)를 나타낸 사시도이다.
이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)를 나타낸 분해 사시도이다. 도 2a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 측면도이다. 도 2b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 평면도이다. 도 2c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 배면도이다. 도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)를 나타낸 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체에 핸들링부재(8)를 장착하는 모습을 나타낸 측면도이다. 도 4b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체에 핸들링부재(8)를 장착하는 모습을 나타낸 후방 사시도이다. 도 4c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 용기본체에 핸들링부재(8)를 장착하는 모습을 나타낸 후방 확대 사시도이다. 도 5a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 측면도이다. 도 5b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 확대 측면도이다. 도 5c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 평면도이다. 도 5d는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치에 있는 상태를 나타낸 확대 평면도이다.
도 6a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치로부터 장착위치로 이동하고 있는 모습을 나타낸 측면도이다. 도 6b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 분리위치로부터 장착위치로 이동하고 있는 모습을 나타낸 확대 측면도이다. 도 7a는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 측면도이다. 도 7b는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 확대 측면도이다. 도 7c는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 후방 사시도이다. 도 7d는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)의 핸들링부재(8)가 장착위치에 있는 상태를 나타낸 확대 후방 사시도이다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기본체(2)로부터 덮개체(3)로 향하는 방향(도 1의 왼쪽 아랫방향)을 전(前)방향(D11)으로 정의하고, 그 반대방향을 후(後)방향(D12)으로 정의하며, 이들을 전후방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)으로부터 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1의 윗방향)을 상(上)방향(D21)으로 정의하고, 그 반대방향을 하(下)방향(D22)으로 정의하며, 이들을 상하방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제 2 측벽(26)으로부터 제 1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1의 왼쪽 윗방향)을 좌(左)방향(D31)으로 정의하고, 그 반대방향을 우(右)방향(D32)로 정의하며, 이들을 좌우방향(D3)으로 정의한다.
또한, 기판수납용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은, 원반형의 실리콘 웨이퍼, 글래스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등이며, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시형태의 기판(W)은 직경 450mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판수납용기(1)는 용기본체(2)와, 덮개체(3)와, 핸들링부재(8)를 가지고 있다.
용기본체(2)는 일단부에 용기본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐색된 통형의 벽부(20)를 갖는다. 용기본체(2) 내에는 기판수납공간(27)이 형성되어 있다. 기판수납공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분이자 기판수납공간(27)을 형성하고 있는 부분에는 기판지지 판형부(5)가 배치되어 있다. 기판수납공간(27)에는 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.
기판지지 판형부(5)는 기판수납공간(27) 내에서 좌우방향(D3)으로 쌍을 이루도록 벽부(20)에 마련되어 있다. 기판지지 판형부(5)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되지 않은 때에, 인접하는 기판(W)들을 소정의 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태에서, 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다. 기판지지 판형부(5)의 안측(奧側)에는 안측기판 지지부(미도시)가 마련되어 있다. 안측기판 지지부(미도시)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에, 복수의 기판(W)의 연부의 후부(後部)를 지지할 수 있다.
덮개체(3)는 용기본체 개구부(21)에 대하여 착탈 가능하며, 용기본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 덮개체(3)의 부분이자 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에 기판수납공간(27)에 대향하는 부분(도 1에 나타낸 덮개체(3)의 이측(裏側) 면)에는, 프론트 리테이너(미도시)가 마련되어 있다. 프론트 리테이너(미도시)는 안측기판 지지부(미도시)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(미도시)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에, 복수의 기판(W)의 연부의 전부(前部)를 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(미도시)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에, 안측기판 지지부(미도시)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)들을 소정의 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)을 보존유지(保持)한다.
핸들링부재(8)는 후술하는 한 쌍의 측벽(25, 26)의 외면(外面)에 따르도록 각각 한 쌍의 측벽의 외면에 대향하여 배치되며, 한 쌍 마련되어 있다. 핸들링부재(8)는 측벽(25, 26)을 따라, 전측(前側)의 위치인 장착위치(도 7a 등 참조)와, 후측(後側)의 위치인 분리위치(도 5a 등 참조) 사이에서 이동 가능하다. 핸들링부재(8)는 장착위치로 이동함으로써 측벽(25, 26)에 고정되어 장착되며, 분리위치로 이동함으로써 측벽(25, 26)으로부터 분리된다. 이하, 각 부에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 용기본체(2)의 벽부(20)는 안벽(22)과 상벽(23)과 하벽(24)과 제 1 측벽(25)과 제 2 측벽(26)을 갖는다. 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제 1 측벽(25), 및 제 2 측벽(26)은 플라스택재(材) 등으로 구성되어 있으며, 제 1 실시형태에서는 폴리카보네이트에 의해 일체 성형되어 구성되어 있다.
제 1 측벽(25)과 제 2 측벽(26)은 대향하고 있으며, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단, 하벽(24)의 후단, 제 1 측벽(25)의 후단, 및 제 2 측벽(26)의 후단은 모두 안벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단, 하벽(24)의 전단, 제 1 측벽(25)의 전단, 및 제 2 측벽(26)의 전단은 안벽(22)에 대향하는 위치관계를 가지고, 대략 장방형상을 한 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(28)를 구성한다.
개구 주연부(28)는 용기본체(2)의 일단부에 마련되어 있으며, 안벽(22)은 용기본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기본체(2)의 외형은 상자형이다. 벽부(20)의 내면, 즉, 안벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제 1 측벽(25)의 내면, 및 제 2 측벽(26)의 내면은 이들에 의해 둘러싸인 기판수납공간(27)을 형성하고 있다. 개구 주연부(28)에 형성된 용기본체 개구부(21)는 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기본체(2)의 내부에 형성된 기판수납공간(27)에 연통하고 있다. 기판수납공간(27)에는 최대 25매의 기판(W)을, 기판(W)의 상면 및 하면이 대략 수평이 되는 위치관계로 수납할 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분이자, 개구 주연부(28)의 근방 부분에는, 기판수납공간(27)의 바깥쪽을 향해 움푹 패인 래치 결합 요부(latch 係合 凹部)(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치 결합 요부(231A, 231B, 241A, 241B)는 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩 총 4개 형성되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23)의 외면에 있어서는 플랜지 고정부(미도시) 및 리브(235A, 235B)가, 상벽(23)과 일체 성형되어 마련되어 있다. 플랜지 고정부(미도시)는 상벽(23)의 중앙부에 배치되어 있다. 플랜지 고정부(미도시)에는 도 1에 나타낸 바와 같이, 피걸림부로서의 톱 플랜지(236)가 고정된다. 톱 플랜지(236)는 상벽(23)의 중앙부에 배치되어 있다. 톱 플랜지(236)는 AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에서 기판수납용기(1)를 매달 때에, 견인부재로서 이들 기계의 암(미도시)에 걸리며, 이에 따라 기판수납용기(1)는 암에 매달리게 된다.
상벽에는 리브(235A, 235B)가 마련되어 있다. 리브(235A)는 톱 플랜지(236)로부터 왼쪽 전방향, 오른쪽 전방향으로 각각 3개씩 뻗어 있다. 또한, 리브(235B)는 톱 플랜지(236)로부터 전방향(D11)으로 5개 뻗어 있다. 또한, 톱 플랜지(236)로부터 후방향(D12)으로 2개 뻗어 있다.
측벽(25)은, 측벽(26)과 좌우 대칭 형상을 갖기 때문에, 이하 측벽(25)에 대해서만 설명하고, 측벽(26)에 대해서는 설명을 생략한다. 도 4a 등에 나타낸 바와 같이, 측벽(25)은 반원형의 반원형 철부(251)와, 안내부재로서의 가이드 리브(252)와, 안측 결합부의 돌출부로서의 측벽 후부 돌기(253)를 갖는다. 또한, 측벽(25)은 안부 외면 함몰부(254)(도 4b 등 참조)를 가지고 있다.
도 4b에 나타낸 바와 같이, 안부 외면 함몰부(254)는 측벽(25)에 형성되어 있다. 보다 구체적으로는, 안부 외면 함몰부(254)는 개구 주연부(28)로부터 후방향(D12)을 향해 서서히 좌우방향(D3)의 측벽(25)과 측벽(26) 사이의 거리가 작아지도록 계단형으로 형성되어 있다. 특히, 측벽(25)의 안측(뒤쪽)에 있어서의 안부 외면 함몰부(254)의 부분은 기판수납공간(27)(도 1 참조)에 수납된 원반형 기판(W)의 주연을 따라 한 쌍의 측벽(25)의 외면이 계단형으로 움푹 패여 있으며, 측벽(25)의 전측에 있어서의 안부 외면 함몰부(254)의 부분보다 좌우방향(D3)의 단차가 크게 구성되어 있다.
도 4a에 나타낸 바와 같이, 반원형 철부(251)는 측벽(25)의 전부(前部)이자, 개구 주연부(28) 근방에 위치하고 있다. 반원형 철부(251)는 측벽(25)에 한 쌍 존재한다. 반원형 철부(251)는 상하방향에서 측벽(25)의 상단으로부터 측벽(25)의 상하방향 높이의 4분의 1 정도 아래쪽 위치와, 상하방향에서 측벽(25)의 하단으로부터 측벽(25)의 상하방향 높이의 4분의 1 정도 위쪽 위치에 존재하고 있다.
반원형 철부(251)는 반원형의 직경 부분은 가장 후방향(D12)에 위치하고 있으며, 직경은 상하방향(D2)으로 일치하는 위치관계를 갖는다. 반원형 철부(251)는 측벽(25)의 외면으로부터 이간하는 방향으로, 즉, 좌방향(D31)으로 측벽(25)으로부터 돌출되어 있다. 반원형 철부(251)는 전방향(D11)을 향해 분리위치로부터 장착위치로 접근함에 따라 서서히 돌출량이 커지도록 구성되어 있다. 따라서, 반원형 철부(251)에서는, 반원형 철부(251)의 돌출량이 최소인 부분(251A)은 반원형의 직경 부분이다. 이 부분은 반원형 철부(251)에서 분리위치에 가장 가까운 위치에 있다. 반원형 철부(251)에서는, 반원형 철부(251)의 돌출량이 최대인 부분(251B)은 반원형의 호의 일부이자, 반원형의 직경에 위치하는 양단의 중간부분이다. 이 부분은 반원형 철부(251)에서 장착위치에 가장 가까운 위치에 있다.
가이드 리브(252)는 전후방향에서 측벽(25)의 전단으로부터 측벽(25)의 전후방향 길이(奧行)의 4분의 1 정도 후방향(D12)의 위치에, 측벽(25)의 상하방향(D2)으로 한 쌍 존재한다. 가이드 리브(252)는 상하방향에서 측벽(25)의 상단으로부터 측벽(25)의 상하방향 높이의 8분의 1 정도 아래쪽 위치와, 상하방향에서 측벽(25)의 하단으로부터 측벽(25)의 상하방향 높이의 8분의 1 정도 위쪽 위치에 존재하고 있다.
도 4a, 도 4b에 나타낸 바와 같이, 상측(上側)의 가이드 리브(252)는 측벽(25)과 일체 성형되어 구성되며, 전후방향(D1)으로 뻗어 있다. 가이드 리브(252)는 상하방향(D2) 및 좌우방향(D3)에 평행한 면으로 자른 단면이 대략 L자형을 가지고 있으며, 가이드 리브(252)와 측벽(25)의 외면에 의해 상방향(D21)으로 개구되는 안내홈(252A)이 형성되어 있다. 안내홈(252A)의 전단, 후단은 각각 전방향(D11), 후방향(D12)으로 개구되어 있다.
마찬가지로, 하측(下側)의 가이드 리브(252)는 상하방향(D2) 및 좌우방향(D3)에 평행한 면으로 자른 단면이 대략 L자형을 가지고 있으며, 가이드 리브(252)와 측벽(25)의 외면에 의해, 아래쪽으로 개구되는 안내홈(252A)이 형성되어 있다. 안내홈(252A)의 전단, 후단은 각각 전방향(D11), 후방향(D12)으로 개구되어 있다.
따라서, 안내부재로서의 한 쌍의 가이드 리브(252, 252)는, 측벽(25)에 형성되어 상방향(D21) 및 하방향(D22)으로 각각 개구되는 안내홈(252A, 252A)이자, 장착위치와 분리위치를 잇는 방향(이하,「이동방향」이라 함)으로 뻗어 있는 한 쌍의 안내홈(252A, 252A)을 갖는다. 가이드 리브(252)는 핸들링부재(8)를 장착위치(도 7a 등 참조)와 분리위치(도 5a 등 참조)의 사이에서 이동 가능하게 안내한다. 또한, 도 4a에 나타낸 바와 같이, 상측 가이드 리브(252)의 전단, 후단, 및 중앙부에는 각각 가이드 리브(252)의 하단과 측벽(25)을 접속하는 지지 리브(252B)가 총 3개 마련되어 있다. 마찬가지로, 하측 가이드 리브(252)의 전단, 후단, 및 중앙부에는 각각 가이드 리브(252)의 상단과 측벽(25)을 접속하는 지지 리브(252B)가 총 3개 마련되어 있다.
도 4a, 도 7c에 나타낸 바와 같이, 측벽 후부 돌기(253)는 전후방향에서 측벽(25)의 후단으로부터 측벽(25)의 전후방향 길이의 5분의 1 정도 전방향(D11)의 위치에, 상하방향(D2)으로 등간격으로 3개 존재한다. 측벽 후부 돌기(253)는 상하방향(D2)에서 측벽(25)의 상단으로부터 측벽(25)의 상하방향(D2) 높이의 8분의 1 정도 아래쪽 위치와, 상하방향(D2)에서 측벽(25)의 하단으로부터 측벽(25)의 상하방향 높이의 8분의 1 정도 위쪽 위치와, 측벽(25)의 상하방향(D2)에 있어서 이들 위치의 중간 위치에 각각 존재하고 있다.
측벽 후부 돌기(253)는, 측벽(25)의 안측(뒤쪽)에 있어서의 안부 외면 함몰부(254)의 부분이자, 계단형을 갖는 안부 외면 함몰부(254)의 전단으로부터 헤아려 3단째의 후단면(254A)에 존재하고 있다. 후단면(254A)은 안부 외면 함몰부(254)의 외면을 구성한다. 측벽 후부 돌기(253)는 측벽(25)과 일체 성형되어 구성되어 있으며, 계단형을 갖는 안부 외면 함몰부(254)의 3단째 후단면(254A)으로부터 후방향(D12)으로, 즉, 핸들링부재(8)의 장착위치로부터 분리위치로 향하는 방향(이하,「분리측 방향」이라 함)으로 돌출되어 있다. 측벽 후부 돌기(253)는 후방에서 볼 때(後方視) 「ヨ」자를 거울로 비춘 것과 같은, 「ヨ」자와는 좌우 대칭인 입체 형상을 가지고 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 장방형상을 가지고 있다. 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 대하여 착탈 가능하며, 개구 주연부(28)에 덮개체(3)가 장착됨으로써, 덮개체(3)는 용기본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 덮개체(3)의 외주연부(外周緣部)에는 시일부재 감합(嵌合)홈이 덮개체(3)의 외주연부를 따라 형성되어 있다. 시일부재 감합홈에는 도 1에 나타낸 바와 같이, 탄성 변형 가능한 POE(폴리옥시에틸렌)제(製), PEE제를 비롯해, 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등 환형의 시일부재(4)가 끼워져 있다. 시일부재(4)는 덮개체(3)의 외주연부를 일주(一周)하도록 배치되어 있다.
덮개체(3)가 개구 주연부(28)에 장착된 때에, 덮개체(3)의 외주연부는 시일부재(4)를 통해 용기본체(2)의 개구 주연부(28)의 내주연부(內周緣部)에 당접(當接)한다. 이에 따라, 시일부재(4)는 덮개체(3)의 외주연부와 개구 주연부(28)의 내주연부에 의해 끼워져 탄성 변형되고, 덮개체(3)는 용기본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐색한다. 개구 주연부(28)로부터 덮개체(3)가 분리됨으로써 용기본체(2) 내의 기판수납공간(27)에 대해 기판(W)을 출입시킬 수 있다.
덮개체(3)에는 래치기구가 마련되어 있다. 래치기구는 덮개체(3)의 좌우 양단부 근방에 마련되어 있으며, 도 1에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)의 상변(上邊)에서 상방향(D21)으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A)와, 덮개체(3)의 하변(下邊)에서 하방향(D22)으로 돌출 가능한 2개의 하측 래치부(미도시)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A)는 덮개체(3) 상변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있으며, 2개의 하측 래치부는 덮개체(3) 하변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.
덮개체(3)의 외면에는 조작부(操作部)(33)가 마련되어 있다. 조작부(33)를 덮개체(3)의 전측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(미도시)를 덮개체(3)의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있으며, 또한, 상변, 하변으로부터 돌출되지 않는 상태로 할 수 있다. 상측 래치부(32A)가 덮개체(3)의 상변에서 상방향(D21)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치 결합 요부(231A, 231B)에 결합되고, 또한 하측 래치부가 덮개체(3)의 하변에서 하방향(D22)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치 결합 요부(241A, 241B)에 결합됨으로써, 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 고정된다.
덮개체(3)의 내측에는 기판수납공간(27)의 바깥쪽으로 움푹 패인 요부(미도시)가 형성되어 있다. 요부(미도시)에는 프론트 리테이너(미도시)가 고정되어 마련되어 있다.
프론트 리테이너는, 프론트 리테이너 기판 수용부(미도시)를 가지고 있다. 프론트 리테이너 기판 수용부는 좌우방향(D3)에 소정의 간격으로 이간되어 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판 수용부는 상하방향(D2)으로 25쌍 병렬된 상태로 마련되어 있다. 기판수납공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고, 덮개체(3)가 닫히게 됨으로써, 프론트 리테이너 기판 수용부는 기판(W) 연부의 단연(端緣)을 협지(挾持)하여 지지한다.
한 쌍의 핸들링부재(8)는 동일 형상을 가지고 있기 때문에, 한 쪽의 핸들링 부재(8)에 대해서만 설명한다.
도 2a 등에 나타낸 바와 같이, 핸들링부재(8)는 핸들링부재 본체(81)와, 리브(82)와, 추부(錘部)(83)와, 위치규제 관통구멍(84)과, 핸들링부재측 피안내부 및 홈 결합부로서의 가이드 레일(86)과, 안측 피결합부로서의 판형부 관통구멍(87)(도 2c 참조)을 갖는다. 핸들링부재 본체(81)는 측벽(25)의 대략 모든 면을 덮을 수 있는 크기의 판 형상을 가지고 있으며, 전후방향(D1)에 있어서의 핸들링부재 본체(81)의 대략 중앙부는 상하방향으로 각각 움푹 패인 요부가 형성된 잘록부(811)를 가지고 있다.
도 2b에 나타낸 바와 같이, 잘록부(811)의 좌우 양단 부분은, 측벽(25)에 접근하도록 측벽(25) 방향(우방향(D32))으로 만곡되어 있다. 따라서, 잘록부(811)는 핸들링부재 본체(81)의 전부(前部)보다 측벽(25) 가까이 위치하고 있다. 또한, 측벽(25)에 대향하는 잘록부(811)의 면에는 측벽(25)의 방향으로 돌출하는 안쪽 철부(812)가 마련되어 있다. 안쪽 철부(812)는 리브(82)를 중심으로 하여 상하로 한 쌍 마련되어 있다.
리브(82)는 이동방향에 직교하는 방향에 있어서 핸들링부재 본체(81)의 중앙부분, 즉, 상하방향(D2)에 있어서 핸들링부재 본체(81)의 중앙부분에 마련되어 있다. 리브(82)는 측벽(25)에 대향하는 핸들링부재 본체(81)의 내면과는 반대측 외면(外面)상에, 전후방향(D1)에서 핸들링부재 본체(81)의 전단에서 후단에 이르기까지, 이동방향(전후방향(D1))에 평행하게 일직선 모양으로 마련되어 있다.
리브(82)는 핸들링부재 본체(81)의 외면으로부터 이간되도록 돌출되어 있다. 도 2a 등에 나타낸 바와 같이, 리브(82)에는, 측방에서 볼 때(側方視) 복수의 장방형상의 공간(821)이 형성되어 있다. 인접하는 공간(821) 사이에는 상하방향으로 뻗어 있는 리브 벽부(822)가 마련되어 있다. 또한, 잘록부(811)에 위치하는 리브(82) 부분에는, 측벽(25)에 접근하는 방향으로 V로 움푹 패인 V자 요부(823)(도 2b 참조)가 형성되어 있다. 리브(82)의 하부(下部)가 포크리프트(forklift)(미도시)의 포크에 의해 지지됨으로써, 기판수납용기(1)는 포크리프트에 의해 들어 올려질 수 있다.
도 2b에 나타낸 바와 같이, 추부(83)는 핸들링부재 본체(81)의 잘록부(811)보다 후측의 부분으로 구성되어 있다. 추부(83)는 잘록부(811)보다 후측의 핸들링부재 본체(81)의 부분 전체가 두껍게 구성되어 있다. 두껍게 되어 있는 것은 측벽(25)의 외면과 대향하는 핸들링부재 본체(81) 쪽이다. 따라서, 핸들링부재 본체(81)의 추부(83) 부분은 핸들링부재 본체(81)의 다른 부분보다 측벽(25)에 접근하는 방향으로 두껍게 구성되고, 같은 방향으로 돌출되어 있다.
핸들링부재(8)가 측벽(25)에 장착되어 고정되어 있는 장착위치(도 7a 참조)에 있는 때에는, 추부(83)는 도 7c 등에 나타낸 바와 같이, 안부 외면 함몰부(254)의 안측 부분에 대향하고 있으며, 안부 외면 함몰부(254)로부터 이간된 상태에서 안부 외면 함몰부(254)의 안측 부분에 형성된 움푹 패인 공간에 갑합한다.
도 2a에 나타낸 바와 같이, 위치규제 관통구멍(84)은 원형의 관통구멍으로 구성되어 있으며, 핸들링부재(8)의 두께방향으로 핸들링부재 본체(81)를 관통한다. 위치규제 관통구멍(84)은 핸들링부재 본체(81)의 전단 근방 부분에서, 리브(82)의 상측 및 하측에 각각 1개씩 한 쌍 형성되어 있다. 위치규제 관통구멍(84)의 내경(內徑)은 반원형 철부(25)의 직경보다 근소하게 크다. 도 7a에 나타낸 바와 같이, 핸들링부재(8)가 장착위치(도 7a 참조)에 있는 때에는, 한 쌍의 위치규제 관통구멍(84)에는 한 쌍의 반원형 철부(251)가 결합한다.
한 쌍의 위치규제 관통구멍(84)보다 핸들링부재 본체(81)의 상단 근처부분, 하단 근처부분이자, 한 쌍의 위치규제 관통구멍(84)보다 핸들링부재 본체(81)의 뒤쪽에는, 각각 가이드 리브 삽입구멍(85)이 형성되어 있다. 가이드 리브 삽입구멍(85)은 옆쪽에서 볼 때 이동방향, 즉, 전후방향(D1)으로 긴 장방형상을 가지고 있다.
도 2a에 나타낸 바와 같이, 가이드 레일(86)은 전후방향(D1)에 있어서 가이드 리브 삽입구멍(85)의 중앙보다 후방향(D12)의 부분에 마련되어 있다. 가이드 레일(86)은 옆쪽에서 볼 때 장방형상을 가지고 있으며, 가이드 레일(86)의 전후방향(D1)의 길이는 같은 방향에 있어서 가이드 리브 삽입구멍(85) 길이의 1/2 정도이고, 가이드 레일(86)의 상하방향(D2)의 폭은 같은 방향에 있어서 가이드 리브 삽입구멍(85) 폭의 1/4 정도이다.
가이드 레일(86)은 장방형상의 가이드 리브 삽입구멍(85)의 장변(長邊) 중 리브(82)에서 떨어진 쪽의 장변에, 가이드 레일(86)의 장변 중 리브(82)에서 더 떨어진 쪽의 장변이 일치된 위치관계로 마련되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 2a 등에 나타낸 바와 같이, 상측 가이드 리브 삽입구멍(85)에는 가이드 리브 삽입구멍(85) 상측의 장변에 가이드 레일(86)이 마련되어 있다. 또한, 하측의 가이드 리브 삽입구멍(85)에는 가이드 리브 삽입구멍(85) 하측의 장변에 가이드 레일(86)이 마련되어 있다. 가이드 레일(86)은 가이드 리브(252)와 측벽(25)에 의해 구성된 안내홈(252A)에 결합 가능하다. 또한, 가이드 레일(86)은 안내홈(252A)에 결합된 상태에서 안내홈(252A)을 형성하는 가이드 리브(252) 및 측벽(25)에 의해, 장착위치(도 5a 참조)와 분리위치(도 7a 참조)의 사이에서 이동이 안내된다.
도 2b 등에 나타낸 바와 같이, 분리측 방향(후방향(D12))의 핸들링부재 본체(81)의 단부, 즉, 핸들링부재 본체(81)의 후단에는 단부 판형부(88)가 마련되어 있다. 단부 판형부(88)는 핸들링부재 본체(81)의 후단에서 측벽(25)으로 접근하는 방향으로 뻗어 있다. 따라서, 단부 판형부(88)는 분리측 방향, 즉, 후방향(D12)에 직교하는 위치관계를 가지고 있다. 도 2c에 나타낸 바와 같이, 단부 판형부(88)는 핸들링부재 본체(81)의 상단에서 하단에 이르기까지 뻗어 있는 가늘고 긴 판 모양을 가지고 있다.
도 2c에 나타낸 바와 같이, 판형부 관통구멍(87)은 단부 판형부(88)에 형성되어 있다. 판형부 관통구멍(87)은 상하방향(D2)으로 긴 장방형상을 가지고 있으며, 단부 판형부(88)의 상단부 근방 부분과, 단부 판형부(88)의 하단부 근방 부분과, 상하방향(D2)에 있어서 중앙부에 형성되어 있다. 판형부 관통구멍(87)은 「ヨ」자 모양의 대칭형상의 측벽 후부 돌기(253)가 삽입되어 결합되도록, 당해 ヨ자 모양의 세로 및 가로 길이보다 근소하게 큰 값을 갖는 세로 및 가로 길이를 가지고 있다.
상기 구성에 의한 기판수납용기(1)에서 핸들링부재(8)의 착탈은 이하와 같이 하여 이루어진다.
도 4a 내지 도 4c에 나타낸 바와 같이, 먼저, 핸들링부재(8)를 측벽(25)을 따라 용기본체(2)의 뒤쪽에서 전방향(D11)으로 이동시킨다. 그리고 옆쪽에서 볼 때 가이드 리브 삽입구멍(85)을 가이드 리브(252)에 대향하는 위치관계로 하고, 핸들링부재(8)를 측벽(25)에 가까이 할 때, 도 5a에 나타낸 바와 같이, 가이드 리브 삽입구멍(85)의 전부(前部)에 가이드 리브(252)를 삽입한다. 이 때의 핸들링부재(8)의 위치는 분리위치이다.
다음으로, 핸들링부재(8)를 용기본체(2)에 대하여 전방향(D11)으로 이동시켜, 도 6a, 도 6b에 나타낸 바와 같이, 안내홈(252A)에 가이드 레일(86)을 결합시킨다. 그러면 핸들링부재 본체(81)의 전단부가 반원형 철부(251)에 올라앉기 시작한다. 그리고 다시, 핸들링부재(8)를 용기본체(2)에 대해 전방향(D11)으로 이동시켜 가면, 도 7a, 도 7b에 나타낸 바와 같이, 가이드 리브(252)가 가이드 리브 삽입구멍(85)의 후단에 위치하는 상태가 된다. 이 때, 핸들링부재(8)의 후부에는, 3개의 판형부 관통구멍(87)에, 동시에 측벽 후부 돌기(253)가 삽입된다. 또한, 이 때 2개의 위치규제 관통구멍(84)에, 동시에 반원형 철부(251)가 결합한다. 이 때의 핸들링부재(8)의 위치는 장착위치이다.
분리위치(도 5a 참조)로부터 장착위치(도 7a 참조)로의 핸들링부재(8)의 이동에 의해, 핸들링부재측 피안내부로서의 가이드 레일(86)과 안내부재로서의 가이드 리브(252)의 안내홈(252A)과의 결합과, 안측 피결합부로서의 판형부 관통구멍(87)과 안측 결합부로서의 측벽 후부 돌기(253)와의 결합에 의해, 핸들링부재(8)는 측벽(25)에 대해 상하방향(D2)으로 이동 불능하게 고정된다. 또한, 핸들링부재(8)가 장착위치(도 7a 참조)에 있을 때에, 반원형 철부(251)의 위치규제 관통구멍(84)과의 결합에 의해, 핸들링부재(8)는 측벽(25)에 대해 장착위치와 분리위치를 잇는 이동방향(전후방향(D1))에 이동 불능하게 고정된다.
핸들링부재(8)를 측벽(25)으로부터 분리할 때에는, 먼저, 핸들링부재 본체(81) 전단부의 판형부 관통구멍(87) 근방의 부분을 측벽(25)으로부터 이간하는 방향으로 끌어올려 휘게 한다. 그 상태를 유지한 채, 핸들링부재(8)를 후방향(D12)으로 이동시킨다. 그리고 도 5a에 나타낸 바와 같이, 가이드 레일(86)이 가이드 리브 삽입구멍(85)의 전부(前部)에 위치할 때에, 즉, 핸들링부재(8)가 분리위치에 있을 때에, 핸들링부재(8)를 측벽(25)으로부터 이간시킨다. 이에 따라, 핸들링부재(8)가 측벽(25)으로부터 분리된다.
상기 구성의 제 1 실시형태에 따른 기판수납용기(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 측벽(25)은, 측벽(25)의 외면으로부터 이간하는 방향으로 측벽(25)으로부터 돌출되어 분리위치(도 5a 참조)로부터 장착위치(도 7a 참조)로 접근함에 따라 돌출량이 커지도록 구성된 반원형의 반원형 철부(251)와, 핸들링부재(8)를 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동 가능하게 안내하는 안내부재로서의 가이드 리브(252)와, 측벽(25)의 안측에 형성된 안측 결합부로서의 측벽 후부 돌기(253)를 갖는다. 그리고 반원형 철부(251)의 돌출량이 최소인 부분(251A)은 반원형 철부(251)의 분리위치에 가장 가까운 위치에 있으며, 반원형 철부(251)의 돌출량이 최대인 부분(251B)은 반원형 철부(251)의 장착위치에 가장 가까운 위치에 있다.
또한, 핸들링부재(8)는 측벽(25)을 따라 배치되는 대략 판형의 핸들링부재 본체(81)와, 핸들링부재(8)의 두께방향으로 핸들링부재 본체(81)를 관통하도록 형성되고, 반원형 철부(251)가 결합 가능한 원형의 위치규제 관통구멍(84)과, 안내부재로서의 가이드 리브(252)에 의해 형성되는 안내홈(252A)에 결합하여 안내부재(가이드 리브(252))에 의해 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동이 안내되는 핸들링부재측 피안내부로서의 가이드 레일(86)과, 분리위치(도 5a 참조)로부터 장착위치(도 7a 참조)로의 핸들링부재(8)의 이동에 의해, 안측 결합부(측벽 후부 돌기(253))에 결합 가능한 안측 피결합부로서의 판형부 관통구멍(87)을 갖는다.
이 때문에, 가이드 레일(86)의 안내홈(252A)과의 결합과, 측벽 후부 돌기(253)의 판형부 관통구멍(87)과의 결합에 의해, 핸들링부재(8)를 측벽(25)에 대하여 상하방향(D2)으로 이동 불능하게 고정할 수 있다. 또한, 이와 함께, 반원형 철부(251)의 위치규제 관통구멍(84)과의 결합에 의해, 핸들링부재(8)를 측벽(25)에 대하여 장착위치와 분리위치를 잇는 이동방향으로 이동 불능하게 고정할 수 있다.
특히,위치규제 관통구멍(84)이 형성되어 있는 판형의 핸들링부재 본체(81)의 부분을 휘게 하여, 반원형 철부(251)의 위치규제 관통구멍(84)과의 결합/결합해제를 수행하기 위해, 이 부분을 파손되기 어려운 구성으로 할 수 있다. 이 결과, 핸들링부재(8)를 벽부(20)의 일부를 구성하는 측벽(25)에 강고하게 걸 수 있으며, 또한 핸들링부재(8)를 측벽(25)에 걸기 위한 구성이 파손되기 어려운 기판수납용기(1)로 할 수 있다.
또한, 반원형 철부(251)가 원형의 위치규제 관통구멍(84)으로 결합하기 때문에, 이동방향뿐 아니라, 상하방향(D2)으로도 측벽(25)과 핸들링부재 본체(81) 사이의 흔들림 발생을 억제할 수 있다. 또한, 반원형 철부(251)의 원형의 위치규제 관통구멍(84)과의 결합을 원활(smooth)하면서도 용이하게 수행할 수 있다. 또한, 이 결합 시에 긁히는 부분을 적게 할 수 있어, 내구성을 높일 수 있다.
또한, 반원형 철부(251)의 돌출량이 최소인 부분(251A)은 반원형 철부(251)의 분리위치에 가장 가까운 위치에 있고, 반원형 철부(251)의 돌출량이 최대인 부분(251B)은 반원형 철부(251)의 장착위치에 가장 가까운 위치에 있기 때문에, 위치규제 관통구멍(84)이 형성되어 있는 핸들링부재 본체(81)의 부분이 반원형 철부(251)를 용이하게 타고 넘을 수 있으며, 반원형 철부(251)의 위치규제 관통구멍(84)과의 결합을 용이하게 할 수 있다.
또한, 측벽(25)의 안측 부분은, 각각 기판수납공간(27)에 수납된 기판(W)의 주연을 따라 한 쌍의 측벽(25) 외면이 움푹 패인 안부 외면 함몰부(254)를 갖는다. 그리고 핸들링부재(8)는 장착위치(도 7A 참조)에 있을 때의 핸들링부재 본체(81)의 부분이자, 안부 외면 함몰부(254)에 대향하는 부분에, 안부 외면 함몰부(254)에 감합 가능한 추부(83)를 각각 갖는다. 이 때문에, 덮개체(3)의 중량이 크더라도 기판수납용기(1)의 전후에서 중량의 밸런스를 적절하게 할 수 있다. 게다가, 추부(83)가 기판수납용기(1)의 바깥쪽으로 크게 돌출하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 추부(83)는 한 쌍의 핸들링부재(8)가 측벽(25)의 외면과 대향하는 쪽에 핸들링부재 본체(81)가 두껍게 구성되어 있다. 이 때문에, 추부(83)를 간단한 구성으로 할 수 있어, 기판수납용기(1) 전체에 드는 비용을 줄일 수 있다.
안내부재는, 측벽(25)에 형성되고 상방향(D21) 및 하방향(D22)으로 각각 개구되어 이동방향으로 연장되는 한 쌍의 안내홈(252A)을 갖는다. 그리고 핸들링부재측 피안내부는, 안내홈(252A)에 결합 가능하며 이동방향으로 연장되는 한 쌍의 홈 결합부로서의 가이드 레일(86)로 구성되어 있다.
이 때문에, 안내홈(252A)에 의해 장착위치(도 7a 참조)와 분리위치(도 5a 참조)의 사이에서, 핸들링부재측 피안내부로서의 가이드 레일(86)의 이동을 안정하게 직선적으로 안내할 수 있다. 또한, 핸들링부재(8)가 장착위치에 있을 때에, 이동방향으로 연장되는 안내홈(252A)에, 이동방향으로 연장되는 홈 결합부로서의 가이드 레일(86)이 결합하고 있기 때문에, 포크리프트에 의해 리브(82)가 리프트된 때에, 이동방향으로 연장되는 안내홈(252A)과 가이드 레일(86)에 용기본체(2) 및 덮개체(3)의 하중을 걸 수 있다. 이 때문에, 걸림조 등의 작은 부재에 하중이 걸리는 경우와 비교하여, 핸들링부재(8)를 측벽(25)에 고정하는 구성을 파손되기 어렵게 할 수 있다.
한 쌍의 측벽(25)의 안측 부분은, 각각 기판수납공간(27)에 수납된 기판(W)의 주연을 따라 측벽(25)의 외면이 계단형으로 움푹 패인 안부 외면 함몰부(254)를 갖는다. 그리고 안측 결합부는 장착위치에서 분리위치로 향하는 분리측 방향(후방향(D12))에 안부 외면 함몰부(254)의 외면으로부터 돌출되는 돌출부로서의 측벽 후부 돌기(253)로 구성된다. 또한, 분리측 방향(후방향(D12))의 핸들링부재 본체(81)의 단부는, 분리측 방향에 직교하는 단부 판형부(88)를 갖는다. 그리고 안측 피결합부는, 단부 판형부(88)에 형성되고 단부 판형부(88)를 관통하도록 형성되며 돌출부가 결합 가능한 판형부 관통구멍(87)으로 구성되어 있다.
이 때문에, 핸들링부재(8)를 장착위치(도 7a 참조)로 이동시킴으로써, 확실하게 측벽 후부 돌기(253)를 판형부 관통구멍(87)에 결합시킬 수 있다. 또한, 판형부 관통구멍(87)에 측벽 후부 돌기(253)가 결합함으로써 핸들링부재(8)가 측벽(25)에 견고하게 고정되기 때문에, 포크리프트에 의해 리브(82)가 리프트된 때에, 측벽 후부 돌기(253)가 파손되는 것을 최대한 억제할 수 있다.
또한, 핸들링부재(8)는 이동방향에 직교하는 방향(상하방향(D2))의 핸들링부재 본체(81)의 중앙부분에서, 이동방향(전후방향(D1))에 평행하게 뻗어 있는 리브(82)를 갖는다. 이 때문에, 핸들링부재(8)의 강도를 높이기 위한 리브(82)를, 포크리프트의 포크에 의해 지지함으로써 기판수납용기(1)를 포크리프트에 의해 들어 올리기 위해 이용할 수 있다.
이하, 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 기판수납용기에 대해 설명한다. 도 8은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 기판수납용기의 핸들링부재(8A)를 나타낸 측면도이다. 도 9는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 기판수납용기의 핸들링부재(8A)를 나타낸 사시도이다.
제 2 실시형태에서는, 핸들링부재(8A)는, 핸들링부재(8A)를 측벽(25)으로부터 용이하게 분리 가능하게 하는 분리용 손잡이부(841)를 갖는다는 점에서 제 1 실시형태와 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제 1 실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.
분리용 손잡이부(841)는 핸들링부재 본체(81A) 전단의 위치규제 관통구멍(84) 근방에 마련되어 있다. 분리용 손잡이부(841)는 핸들링부재 본체(81A)의 전단 부분이, 도 8, 도 9에 나타낸 것처럼, 옆쪽에서 볼 때 장방형상으로 측벽(25)으로부터 이간하는 방향으로 돌출되어 구성되어 있다.
상기 구성의 제 2 실시형태에 의한 기판수납용기에 의하면 분리용 손잡이부(841)가 마련되어 있기 때문에, 위치규제 관통구멍(84)이 형성되어 있는 핸들링부재 본체(81A)의 부분을, 측벽(25)으로부터 이간하는 방향(좌방향(D31))으로 용이하게 휠 수 있으며, 반원형 철부(251)의 위치규제 관통구멍(84)과의 결합/결합해제를 용이하게 수행할 수 있다.
본 발명은, 상술한 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다. 예를 들어, 기판수납용기(1)의 형상이나 구성은, 상술한 실시형태에 형상이나 구성에 한정되지 않는다. 구체적으로는, 예를 들어, 단부 판형부(88)는 분리측 방향(후방향(D12))에 직교하고 있었지만, 이에 한정되지 않고 교차하는 위치관계를 가지고 있어도 좋다.
마찬가지로, 측벽의 안내부재, 안측 결합부나, 핸들링부재의 핸들링부재측 피안내부, 안측 피결합부 등의 형상에 대해서도 본 실시형태의 형상에 한정되지 않는다. 안내부재는 핸들링부재를 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동 가능하게 안내할 수 있으면 좋고, 안측 결합부는 한 쌍의 측벽의 안측에 형성되어 있으면 좋다. 또한, 핸들링부재측 피안내부는 안내부재에 결합하여 안내부재에 의해 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동이 안내되도록 구성되어 있으면 좋고, 안측 피결합부는 분리위치로부터 장착위치로의 핸들링부재의 이동에 의해 안측 결합부에 결합 가능하면 좋다.
1: 기판수납용기
2: 용기본체
3: 덮개체
8: 핸들링부재
20: 벽부
21: 용기본체 개구부
22: 안벽
23: 상벽
24: 하벽
25: 제 1 측벽
26: 제 2 측벽
27: 기판수납공간
81: 핸들링부재 본체
82: 리브
83: 추부
84: 위치규제 관통구멍
86: 가이드 레일(핸들링부재측 피안내부, 홈 결합부)
87: 판형부 관통구멍(안측 피결합부)
251: 반원형 철부
253: 측벽 후부 돌기(안측 결합부, 돌출부)
W: 기판

Claims (6)

  1. 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐색(閉塞)된 통(筒)형의 벽부이자, 안벽(奧壁), 상벽, 하벽, 및 한 쌍의 측벽을 가지며 상기 상벽의 일단부, 상기 하벽의 일단부, 및 상기 측벽의 일단부에 의해 상기 용기본체 개구부가 형성된 벽부를 구비하고, 상기 상벽의 내면, 상기 하벽의 내면, 상기 측벽의 내면, 및 상기 안벽의 내면에 의해 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기본체 개구부에 연통하는 기판수납공간이 형성된 용기본체와,
    상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하고, 상기 용기본체 개구부를 폐색 가능한 덮개체(蓋體)와,
    상기 한 쌍의 측벽의 외면에 각각 대향하여 배치되고, 상기 측벽을 따라 장착위치와 분리위치 사이에서 이동 가능하며, 상기 장착위치로 이동함으로써 상기 측벽에 고정되어 장착되고, 상기 분리위치로 이동함으로써 상기 측벽으로부터 분리되는 한 쌍의 핸들링부재를 구비하고,
    상기 측벽은, 상기 측벽의 외면으로부터 이간(離間)하는 방향으로 상기 측벽으로부터 돌출되어 상기 분리위치로부터 상기 장착위치로 접근함에 따라 돌출량이 커지도록 구성된 반원형의 반원형 철부(凸部)와, 상기 핸들링부재를 상기 장착위치와 상기 분리위치의 사이에서 이동 가능하게 안내하는 안내부재와, 상기 한 쌍의 측벽의 안측(奧側)에 형성된 안측 결합(係合)부를 가지고,
    상기 반원형 철부의 돌출량이 최소인 부분은 상기 반원형 철부의 상기 분리위치에 가장 가까운 위치에 있고, 상기 반원형 철부의 돌출량이 최대인 부분은 상기 반원형 철부의 상기 장착위치에 가장 가까운 위치에 있으며,
    상기 핸들링부재는, 상기 한 쌍의 측벽 각각을 따라 배치되는 대략 판 모양의 핸들링부재 본체와, 상기 핸들링부재의 두께방향으로 상기 핸들링부재 본체를 관통하도록 형성되고, 상기 반원형 철부가 결합 가능한 원형의 위치규제 관통구멍과, 상기 안내부재에 결합하여 상기 안내부재에 의해 상기 장착위치와 상기 분리위치의 사이에서 이동이 안내되는 핸들링부재측 피안내부와, 상기 분리위치로부터 상기 장착위치로의 상기 핸들링부재의 이동에 의해 상기 안측 결합부에 결합 가능한 안측 피결합부를 가지며,
    상기 핸들링부재측 피안내부의 상기 안내부재와의 결합과, 상기 안측 피결합부의 상기 안측 결합부와의 결합에 의해 상기 핸들링부재는 상기 측벽에 대하여 상하방향으로 이동 불능하게 고정되고, 상기 반원형 철부의 위치규제 관통구멍과의 결합에 의해 상기 핸들링부재는 상기 측벽에 대하여 상기 장착위치와 상기 분리위치를 잇는 이동방향으로 이동 불능하게 고정되는 기판수납용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판은, 상기 기판의 상면 및 하면이 대략 수평이 되는 위치관계에서 상기 기판수납공간에 수납되고,
    상기 한 쌍의 측벽의 안측 부분은, 각각 상기 기판수납공간에 수납된 상기 기판의 주연(周緣)을 따라 상기 한 쌍의 측벽의 외면(外面)이 움푹 패인 안부(奧部) 외면 함몰부를 가지며,
    상기 한 쌍의 핸들링부재는, 상기 장착위치에 있을 때의 상기 핸들링부재 본체의 부분이자, 상기 안부 외면 함몰부에 대향하는 부분에, 상기 안부 외면 함몰부에 감합(嵌合) 가능한 추부를 각각 갖는 기판수납용기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 추부는, 상기 한 쌍의 핸들링부재가 상기 측벽의 외면과 대향하는 쪽에 상기 핸들링부재 본체가 두껍게 구성되는 기판수납용기.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 안내부재는, 상기 측벽에 형성되어 위쪽 및 아래쪽으로 각각 개구되어 상기 이동방향으로 연장되는 한 쌍의 안내홈을 가지고,
    상기 핸들링부재측 피안내부는, 상기 안내홈에 결합 가능하고 상기 이동방향으로 연장되는 한 쌍의 홈 결합부로 구성되어 있는 기판수납용기.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판은, 상기 기판의 상면 및 하면이 대략 수평이 되는 위치관계에서 상기 기판수납공간에 수납되고,
    상기 한 쌍의 측벽의 안측 부분은, 각각 상기 기판수납공간에 수납된 상기 기판의 주연을 따라 상기 한 쌍의 측벽의 외면이 계단형으로 움푹 패인 안부 외면 함몰부를 가지고,
    상기 안측 결합부는, 상기 장착위치로부터 상기 분리위치로 향하는 분리측 방향으로 상기 안부 외면 함몰부의 외면으로부터 돌출되는 돌출부에 의해 구성되고,
    상기 분리측 방향의 상기 핸들링부재 본체의 단부는, 상기 분리측 방향에 직교하고, 상기 측벽에 접근하는 방향으로 확장되는 단부 판형부를 가지며,
    상기 안측 피결합부는, 상기 단부 판형부에 형성되고 상기 단부 판형부를 관통하도록 형성되며 상기 돌출부가 결합 가능한 판형부 관통구멍으로 구성되어 있는 기판수납용기.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 핸들링부재는, 상기 이동방향에 직교하는 방향의 상기 핸들링부재 본체의 중앙부분에서 상기 이동방향으로 평행하게 연장되는 리브를 가지며,
    상기 리브가 포크리프트의 포크에 의해 지지됨으로써, 기판수납용기는 상기 포크리프트에 의해 들어 올려지는 기판수납용기.
KR1020157032142A 2013-05-29 2013-05-29 기판수납용기 KR102098722B1 (ko)

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