CN115428138A - 基板收纳容器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板收纳容器。基板收纳容器(1)具备:容器主体(2),具备在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部且另一端部被封闭的筒状的壁部,利用壁部的内表面形成能够收纳基板且与容器主体开口部连通的基板收纳空间;盖体(3);以及密封构件(4),在容器主体(2)的壁部(20)以能够相对于容器主体(2)的壁部(20)拆装的方式设置有中央被固定构件(6),该中央被固定构件(6)卡止并固定在定位部,该定位部设置在用于将收纳在基板收纳空间中的基板向处理装置搬运的装载口。
Description
技术领域
本发明涉及在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片等构成的基板等时使用的基板收纳容器。
背景技术
作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器,以往已知有具备容器主体以及盖体的构成的基板收纳容器(参照专利文献1~2)。
容器主体具有在一端部形成容器主体开口部且另一端部封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成,能够收纳多个基板。盖体相对于容器主体开口部可拆装,能够封闭容器主体开口部。
在盖体的一部分且封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件(front retainer)。在通过盖体封闭容器主体开口部时,前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。另外,以与前部保持构件成对的方式在壁部设置有里侧基板支承部。里侧基板支承部能够支承多个基板的边缘部。在通过盖体封闭容器主体开口部时,里侧基板支承部与前部保持构件协同动作来支承多个基板,由此在使相邻的基板彼此隔开规定的间隔排列的状态下保持多个基板。
容器主体的壁部具有后壁、上壁、下壁以及一对侧壁,通过上壁的一端部、下壁的一端部以及侧壁的一端部形成容器主体开口部。具有下壁的基板收纳容器的容器主体的底部具有抵接部,用于将收纳在基板收纳空间内的基板向处理装置搬运的装载口等的定位销与所述抵接部抵接。另外,底部具有被中央卡止部,所述被中央卡止部卡止并固定在装载口等的中央容器卡止部。被中央卡止部位于距多个各抵接部大致等距离的位置。通过将被中央卡止部固定在装载口等的中央容器卡止部,容器主体以被装载口等的定位销支承的状态相对于装载口等固定。
专利文献1:国际公开第2007-034654号
专利文献2:日本专利公开公报特开2007-088064号
发明内容
如上所述,通过将被中央卡止部卡止在装载口等的中央容器卡止部,由此容器主体相对于装载口等定位并被固定。因此,被中央卡止部起到决定自动移载基板的情况等下的中心的重要作用。因此,对于被中央卡止部,要求提高精度,在装载口的运转中需要进行容器固定。为了进行容器固定,在被中央卡止部的构造上,需要使容器靠近下表面(基准面侧)。被中央卡止部具有孔形状,另外,在Z方向(上下方向)上具有规定的高度。
因此,在将容器主体与该被中央卡止部一体成形的情况下,被中央卡止部在注塑成形模具的脱模时成为死角(undercut)。因此,模具需要具有被称为滑动构造的复杂构造。其结果是,由于模具的工作动作变得复杂,所以为了防止模具破损,需要降低动作速度。其结果是,由于成形周期变长,所以生产效率变差。
另外,由于模具的构造变得复杂,所以难以将为了吸收熔融树脂的热量而使冷却水在模具内循环的模具的冷却回路形成为最适合最佳的位置的回路,产生冷却时间延长这样的问题。
本发明的目的在于提供能够避免模具的构造变得复杂并且能够容易地将使冷却水在模具内循环的模具的冷却回路形成为最适合最佳的位置的回路的基板收纳容器。
本发明提供一种基板收纳容器,具备:容器主体,具备筒状的壁部,该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部,且另一端部被封闭,利用所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间;盖体,能够相对于所述开口周缘部拆装,能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部;密封构件,安装于所述盖体,能够与所述盖体以及所述开口周缘部抵接,夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间,与所述开口周缘部以及所述盖体紧密抵接,由此与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部,在所述容器主体的所述壁部以能够相对于所述容器主体的壁部拆装的方式设置有中央被固定构件,所述中央被固定构件卡止并固定在定位部,所述定位部设置在用于将收纳在所述基板收纳空间中的基板向处理装置搬运的装载口。
此外,优选为,所述中央被固定构件通过嵌入构造相对于所述容器主体的所述壁部固定。
此外,优选为,所述中央被固定构件具有:长圆形状的构件前部,构成所述容器主体的一端部侧的所述中央被固定构件的部分;以及长方形状的构件后部,构成所述容器主体的另一端部侧的所述中央被固定构件的部分。
此外,优选为,所述构件前部在1个部位卡合并固定在所述容器主体,所述构件后部在两个部位卡合并固定在所述容器主体,所述中央被固定构件嵌入所述容器主体的壁部。
此外,优选为,所述中央被固定构件以聚碳酸酯树脂为材料而构成。另外,所述中央被固定构件也可以以环烯烃聚合物树脂为材料而构成。
根据本发明,能够提供一种能够避免模具的构造变得复杂并且能够容易地在最佳的位置形成使冷却水在模具内循环的模具的冷却回路作为最佳的回路的基板收纳容器。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的分解立体图。
图2A是表示本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的右视图。
图2B是表示本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的仰视图。
图3是表示本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的主视图。
图4是表示设置在本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的前部的分解立体图。
图5是表示设置在本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的后部的分解立体图。
图6A是表示设置在本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的后部的立体图。
图6B是表示设置在本发明的一个实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的前部的立体图。
附图标记说明:
1 基板收纳容器
2 容器主体
3 盖体
6 中央被固定构件
20 壁部
21 容器主体开口部
22 后壁
23 上壁
24 下壁(底部)
25 第一侧壁
26 第二侧壁
27 基板收纳空间
61 构件前部
62 构件后部
W 基板
具体实施方式
以下,参照附图对一个实施方式的基板收纳容器1进行说明。
图1是表示在基板收纳容器1中收纳有基板W的状态的分解立体图。图2A是表示基板收纳容器1的右视图。图2B是表示基板收纳容器1的仰视图。图3是表示基板收纳容器1的容器主体2的主视图。
此处,为了便于说明,将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(从图1中的右上朝向左下的方向)定义为前方向D11,将与其相反的方向定义为后方向D12,将它们合起来定义为前后方向D1。另外,将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的朝上方向)定义为上方向D21,将与其相反的方向定义为下方向D22,将它们合起来定义为上下方向D2。另外,将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(从图1中的右下朝向左上的方向)定义为左方向D31,将与其相反的方向定义为右方向D32,将它们合起来定义为左右方向D3。在附图中图示了表示这些方向的箭头。
另外,收纳在基板收纳容器1中的基板W(参照图1)为圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等,为在工业上使用的薄基板。本实施方式的基板W为直径300mm的硅晶片。
如图1所示,基板收纳容器1收纳由上述那样的硅晶片构成的基板W,用作在工厂内的工序中进行搬运的工序内容器、或者用作用于通过陆运方式、空运方式、海运方式等输送方式输送基板的发货容器,基板收纳容器1包括容器主体2以及盖体3,容器主体2具备基板支承板状部5以及里侧基板支承部56(参照图3等),盖体3具备前部保持构件(未图示)。
容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而形成。在壁部20的一部分且形成基板收纳空间27的部分配置有基板支承板状部5。如图1所示,能够在基板收纳空间27中收纳多个基板W。
基板支承板状部5以在基板收纳空间27内成对的方式设置于壁部20。在未通过盖体3封闭容器主体开口部21时,基板支承板状部5与多个基板W的边缘部抵接,由此,能够在使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离并排列的状态下,支承多个基板W的边缘部。在基板支承板状部5的后侧设置有里侧基板支承部56(参照图3等)。
里侧基板支承部56以在基板收纳空间27内与后述的前部保持构件(未图示)成对的方式设置于壁部20。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时,里侧基板支承部56与多个基板W的边缘部抵接,由此能够支承多个基板W的边缘部的后部。
盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)拆装,并能够封闭容器主体开口部21。前部保持构件(未图示)设置于盖体3的一部分且在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分。前部保持构件(未图示)以在基板收纳空间27的内部与里侧基板支承部56成对的方式配置。
在通过盖体3封闭容器主体开口部21时,前部保持构件(未图示)与多个基板W的边缘部抵接,由此能够支承多个基板W的边缘部的前部。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时,前部保持构件(未图示)与里侧基板支承部56协同动作来支承多个基板W,由此在使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离并排列的状态下保持多个基板W。
基板收纳容器1由塑料材料等树脂构成,在没有特别说明的情况下,作为该材料的树脂,例如可举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物等热塑性树脂或它们的合金等。在对这些成形材料的树脂赋予导电性的情况下,选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。另外,为了提高刚性,也可以添加玻璃纤维、碳纤维等。
以下对各部分详细地进行说明。
图4是表示设置在基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的前部的分解立体图。图5是表示设置在基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的后部的分解立体图。图6A是表示设置在基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的后部的立体图。图6B是表示设置在基板收纳容器1的容器主体2的中央被固定构件6的前部的立体图。
如图1等所示,容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25、以及第二侧壁26由上述的材料构成,并且构成为一体成形。
第一侧壁25与第二侧壁26对置,上壁23与下壁24对置。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端以及第二侧壁26的后端全都与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端以及第二侧壁26的前端构成开口周缘部28,所述开口周缘部28形成具有与后壁22对置的位置关系且呈大致长方形状的容器主体开口部21。
开口周缘部28设置在容器主体2的一端部,后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱形。壁部20的内表面、即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面以及第二侧壁26的内表面形成由它们包围的基板收纳空间27。形成于开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围且形成在容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。在基板收纳空间27中最多能够收纳25张基板W。
如图1所示,在上壁23和下壁24的一部分且是开口周缘部28附近的部分形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的闩锁卡合凹部40A、40B、41A、41B。闩锁卡合凹部40A、40B、41A、41B在上壁23以及下壁24的左右两端部附近分别各形成有1个,合计形成有4个。
如图1所示,在上壁23的外表面以与上壁23一体成形的方式设置有肋235。肋235能够提高容器主体2的刚性。
另外,在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是在AMHS(自动晶片输送系统)、PGV(晶片基板输送台车)等中悬吊基板收纳容器1时成为在基板收纳容器1中被勾挂而悬吊的部分的构件。
在下壁24的中央位置设置有:形成有中央贯通孔601的中央被固定构件6;固定中央被固定构件6的前侧固定部245;后侧固定部246;以及设置在前侧固定部245与后侧固定部246之间的位置的检测用中央凸部247。
前侧固定部245设置在从该中央位置向前方向D11前进了下壁24的中央位置与下壁24的前端之间的长度的大致1/3左右的位置。前侧固定部245具有:后壁2451,沿大致左右方向D3延伸且朝向下方向D22突出;侧壁2452,从后壁2451的左右两端部朝向前方向延伸且朝向下方向D22突出;以及下壁2453,通过一体成形与后壁2451的下端以及侧壁2452的下端一体地连接。侧壁2452的前端以及下壁2453的前端构成朝向前方向11开口的开口部。在后壁2451的中央部及其左右两侧形成有沿前后方向D1贯通的贯通孔2455。后述的前部被卡合部613嵌入中央的贯通孔2455,由此,前部被卡合部613在该一个部位卡合并固定在前侧固定部245。
后侧固定部246设置在从该中央位置向后方向D12前进了下壁24的中央位置与下壁24的后端之间的长度的大致1/3左右的位置。后侧固定部246具有:一对侧壁2461,沿大致前后方向D1延伸且向下方向D22突出;以及下壁2463,从一对侧壁2461各自的后部以彼此接近的方式延伸,分别通过一体成形与各个侧壁2461一体地连接。下壁2463的前端部具有随着趋向前方向D11而上方向D21上升的倾斜面2465。在一对下壁2463的下侧分别配置有后述的后部被卡合部623的被卡止板部6232,由此,后部被卡合部623在后部被卡合部623的左右方向D3上的两端部的两个部位卡合并固定在后侧固定部246。检测用中央凸部247由沿左右方向D3延伸且下方向D22突出的长方形状的壁部构成。
中央被固定构件6卡止并固定在构成设置在用于将收纳在基板收纳空间27中的基板W向处理装置搬运的未图示的装载口的容器固定部的凸台。中央被固定构件6由通过嵌入构造固定在构成容器主体2的壁部20的下壁24的、与下壁24分开独立的构件构成。
中央被固定构件6使用聚碳酸酯树脂、环烯烃聚合物树脂、聚对苯二甲酸丁二醇酯树脂、聚缩醛树脂、聚醚醚酮树脂等树脂。在本实施方式中,使用聚碳酸酯树脂、环烯烃聚合物树脂。
如图6A、图6B等所示,中央被固定构件6具有构件前部61以及构件后部62。构件前部61仰视时具有长圆形状,构件后部62仰视时具有长方形状,通过一体成形与构件前部61和构件后部62一体地连接。
在构件前部61的周围,朝上方向D21突出的前部周围壁部612通过一体成形与前部底部611一体地连接。前部周围壁部612以遍及除了构件前部61的后部以外的周缘部分的整体的方式设置。在前部周围壁部612的前部形成有由俯视时具有在前后方向上长的大致长方形状的贯通孔构成的中央贯通孔601。构成未图示的装载口的容器固定部的凸台插入到中央贯通孔601中,中央被固定构件6卡止于该凸台,容器主体2相对于装载口靠近并固定在基准面侧。
在前部周围壁部612的前端,朝前方向突出的前部被卡合部613通过一体成形与前部周围壁部612一体地连接。前部被卡合部613具有:板状的基部6131,与前后方向D1以及左右方向D3平行,从前部周围壁部612的前端朝前方向D11突出;一对上侧肋6132,与前部周围壁部612的前端以及基部6131的上表面一体成形,朝前方向D11延伸;以及一对下侧肋6133,与前部周围壁部612的前端以及基部6131的下表面一体成形,朝前方向D11延伸。上侧肋6132、下侧肋6133的前端位于比基部6131的前端靠后侧的位置,未设置上侧肋6132、下侧肋6133的基部6131的前端的部分插入导前侧固定部245的贯通孔2455中,前部被卡合部613通过与前侧固定部245卡合而被卡止固定。
另外,如图6A、图6B所示,在构件前部61的前部底部611的上表面设置有支承壁部615。支承壁部615由沿前后方向D1延伸且朝上方向D21突出的大致三角形状的壁部构成。当中央被固定构件6固定于下壁24时,支承壁部615的上端与下壁24抵接。
在构件前部61中比形成有中央贯通孔601的部分靠后侧的位置,形成有沿左右方向延伸的贯通孔616。贯通孔616在仰视时具有比检测用中央凸部247的宽度以及长度稍长的宽度以及长度,在将中央被固定构件6固定于下壁24时,检测用中央凸部247插入到贯通孔616中。
在构件后部62的后端,朝上方向D21突出的后部被卡合部623通过一体成形与后部底部621一体地连接。在左右方向D3上,后部被卡合部623具有比构件后部62长的长方形的板状部6231。在板状部6231的上端部的左右方向D3上的端部,从板状部6231的上端缘朝后方向D12且下方向D22倾斜延伸的被卡止板部6232通过一体成形与板状部6231一体地连接。当中央被固定构件6嵌入前侧固定部245以及后侧固定部246时,被卡止板部6232在倾斜面2465上滑动,当越过倾斜面2465的前端缘时,进入下壁2463的下侧,后部被卡合部623与后侧固定部246卡合而被卡止固定。
构成底部的下壁24设置有作为抵接部的槽部7。槽部7与多个定位销分别抵接,该定位销作为设置在用于将收纳在基板收纳空间27中的基板W向处理装置搬运的装载口(未图示)的多个定位部,用于将容器主体2相对于装载口定位。通过与该定位销的抵接,基板收纳容器1在前后方向D1、左右方向D3、上下方向D2上被定位。
槽部7设置有3个,以中央贯通孔601的前部为中心沿着下壁24的外表面以仰视时呈约120°的中心角的间隔位于下壁24的3个部位。槽部7形成为全部的槽部7的槽都指向中央贯通孔601。
如图1等所示,盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28拆装,通过将盖体3安装于开口周缘部28,盖体3能够封闭容器主体开口部21。环状的密封构件4安装,在盖体3的内表面(图1所示的盖体3的背面侧的面)且是与盖体3封闭容器主体开口部21时在紧随开口周缘部28的朝后方向D12的位置处形成的台阶部分的面(密封面281)对置的面,安装有密封构件4。密封构件4由能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制、硅橡胶制等构成。密封构件4以围绕盖体3的外周缘部一周的方式配置。
在盖体3安装于开口周缘部28时,密封构件4被密封面281与盖体3的内表面夹持而弹性变形,盖体3以密封的状态封闭容器主体开口部21。通过将盖体3从开口周缘部28卸下,能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取出或放入基板W。
在盖体3设置有闩锁机构。闩锁机构设置于盖体3的左右两端部附近,如图1所示,具备能够从盖体3的上边朝上方向D21突出的两个上侧闩锁部32A、32B以及能够从盖体3的下边朝下方向D22突出的两个下侧闩锁部(未图示)。两个上侧闩锁部32A、32B配置在盖体3的上边的左右两端附近,两个下侧闩锁部配置在盖体3的下边的左右两端附近。
在盖体3的外表面设置有操作部33。通过从盖体3的前侧操作操作部33,能够使上侧闩锁部32A、32B、下侧闩锁部(未图示)从盖体3的上边、下边突出,另外,能够使上侧闩锁部32A、32B、下侧闩锁部(未图示)不成为从上边、下边突出的状态。通过上侧闩锁部32A、32B从盖体3的上边朝上方向D21突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部40A、40B卡合,且下侧闩锁部(未图示)从盖体3的下边朝下方向D22突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部41A、41B卡合,将盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。
在盖体3的内侧(与图1所示的盖体3的外表面相反的一侧)形成有朝基板收纳空间27的外侧凹陷的凹部(未图示)。在凹部(未图示)以及凹部的外侧的盖体3的部分固定设置有前部保持构件(未图示)。
前部保持构件(未图示)具有前部保持构件基板承接部(未图示)。前部保持构件基板承接部(未图示)在左右方向D3上以规定的间隔分离并成对地各配置两个。这样成对地各配置两个的前部保持构件基板承接部以在上下方向D2上排列有25对的状态设置。通过将基板W收纳在基板收纳空间27内并关闭盖体3,前部保持构件基板承接部夹持并支承基板W的边缘部的端缘。
根据上述构成的实施方式的基板收纳容器1,能够得到以下这样的效果。
如上所述,基板收纳容器1在容器主体2的壁部20以能够相对于容器主体2的壁部20拆装的方式设置有中央被固定构件6,所述中央被固定构件6卡止并固定在构成容器固定部的凸台,所述容器固定部设置在用于将收纳在基板收纳空间27中的基板W向处理装置搬运的装载口。
通过该构成,能够避免在对容器主体2进行成形的注塑成形模具脱模时成为死角。因此,能够避免对模具设置被称为滑动构造的复杂构造,能够避免模具的工作动作变得复杂。其结果是,无需为了防止模具破损而降低动作速度,能够避免成形循环变长、生产效率变差。
另外,能够避免模具的构造变得复杂,能够在最佳的位置形成为了吸收熔融树脂的热量而使冷却水在模具内循环的模具的冷却回路作为最佳的回路。其结果是,能够避免冷却时间延长。
另外,中央被固定构件6通过嵌入构造相对于容器主体2的壁部20固定。由此,能够容易地实现能够将中央被固定构件6相对于容器主体2的壁部20拆装的构成。
另外,中央被固定构件6具有:长圆形状的构件前部61,构成容器主体2的一端部侧的中央被固定构件6的部分;以及长方形状的构件后部62,构成容器主体2的另一端部侧的中央被固定构件6的部分。并且,构件前部61在1个部位卡合并固定在容器主体2,构件后部62在两个部位卡合并固定在容器主体2,中央被固定构件6嵌入容器主体2的壁部20。
通过该构成,能够使中央被固定构件6嵌入容器主体2的下壁24的操作容易。另外,通过形成上述形状,能够使树脂的流动性良好,能够使成形性良好。另外,通过形成上述形状,在包装后输送时,能够使包装袋变得难以破损。
另外,中央被固定构件6以碳酸酯树脂为材料而构成。另外,中央被固定构件6以环烯烃聚合物树脂为材料而构成。通过该构成,能够形成吸水率、吸湿率低且逃逸气体产生量少的中央被固定构件6。
本发明并不限定于上述的实施方式,能够在权利要求所记载的技术范围内进行变形。
例如,容器主体以及盖体的形状、容器主体中能够收纳的基板W的张数及尺寸并不限定于本实施方式中的容器主体2以及盖体3的形状、容器主体2中能够收纳的基板W的张数及尺寸。例如,中央被固定构件等的形状等构成并不限定于本实施方式中的中央被固定构件6的形状等构成。
Claims (6)
1.一种基板收纳容器,其特征在于,
所述基板收纳容器具备:
容器主体,具备筒状的壁部,该壁部在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部,且另一端部被封闭,利用所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间;
盖体,能够相对于所述开口周缘部拆装,能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部;以及
密封构件,安装于所述盖体,能够与所述盖体以及所述开口周缘部抵接,夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间,与所述开口周缘部以及所述盖体紧密抵接,由此与所述盖体一起密封所述容器主体开口部,
在所述容器主体的所述壁部以能够相对于所述容器主体的壁部拆装的方式设置有中央被固定构件,所述中央被固定构件卡止并固定在定位部,所述定位部设置在用于将收纳在所述基板收纳空间中的基板向处理装置搬运的装载口。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器,其特征在于,
所述中央被固定构件通过嵌入构造相对于所述容器主体的壁部固定。
3.根据权利要求2所述的基板收纳容器,其特征在于,
所述中央被固定构件具有:
长圆形状的构件前部,构成所述容器主体的一端部侧的所述中央被固定构件的部分;以及
长方形状的构件后部,构成所述容器主体的另一端部侧的所述中央被固定构件的部分。
4.根据权利要求3所述的基板收纳容器,其特征在于,
所述构件前部在1个部位卡合并固定在所述容器主体,所述构件后部在两个部位卡合并固定在所述容器主体,所述中央被固定构件嵌入所述容器主体的壁部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板收纳容器,其特征在于,
所述中央被固定构件以聚碳酸酯树脂为材料而构成。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的基板收纳容器,其特征在于,
所述中央被固定构件以环烯烃聚合物树脂为材料而构成。
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