JPWO2020122261A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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Abstract

一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、壁部の内面によって、基板を収納可能であり容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、を備え、容器本体２の壁部２０には、基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた位置合わせ部に係止されて固定される中央被固定部材６が容器本体２の壁部２０に対して着脱可能に設けられている基板収納容器１である。

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（特許文献１〜２参照）。
容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
容器本体の壁部は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有しており、上壁の一端部、下壁の一端部、及び側壁の一端部によって容器本体開口部が形成されている。下壁を有する基板収納容器の容器本体の底部は、基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポート等のキネマピンが当接する当接部を有している。また、底部は、ロードポート等の中央容器係止部に係止されて固定される被中央係止部を有している。被中央係止部は、複数の各当接部から略等距離に位置している。被中央係止部がロードポート等の中央容器係止部に固定されることにより、容器本体は、ロードポート等のキネマピンに支持された状態で、ロードポート等に対して固定される。
国際公開第２００７−０３４６５４号 特開２００７−０８８０６４号公報
前述のように、被中央係止部がロードポート等の中央容器係止部に係止されることにより、容器本体は、ロードポート等に対して位置決めされて固定される。このため、被中央係止部は、基板を自動移載する場合等のセンターを決める重要な役割を果たしている。このため、被中央係止部については、精度向上が要求され、ロードポートの稼働中に容器固定を行う必要がある。容器固定を行うためには、被中央係止部の構造上、容器を下面（基準面側）に引きつける必要がある。被中央係止部は穴形状を有しており、また、Ｚ方向（上下方向）への所定の高さを有している。
このため、容器本体と当該被中央係止部とを一体成形する場合には、被中央係止部は射出成形金型の離型時にアンダーカットとなる。そのため、金型にスライド構造と呼ばれる複雑な構造が必要になる。この結果、金型の作動動作が複雑になる為、金型破損防止の為、動作速度を落す必要が有る。その結果、成形サイクルが長くなる事で、生産効率が悪くなる。
また、金型の構造が複雑になる為、溶融樹脂の熱量を吸収する為に金型内に冷却水を循環させる金型の冷却回路を、最適な位置に最適な回路として形成することが難くなり、冷却時間が延びるという問題が生ずる。
本発明は、金型の構造が複雑になることを回避して、金型内に冷却水を循環させる金型の冷却回路を、最適な位置に最適な回路として形成することを容易とする基板収納容器を提供することを目的とする。
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体に取り付けられ、前記蓋体及び前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部及び前記蓋体に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を閉塞するシール部材と、を備え、前記容器本体の壁部には、前記基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた位置合わせ部に係止されて固定される中央被固定部材が前記容器本体の壁部に対して着脱可能に設けられている基板収納容器に関する。
また、前記中央被固定部材は、前記容器本体の壁部に対して嵌め込み構造により固定されることが好ましい。
また、前記中央被固定部材は、前記容器本体の一端部側の前記中央被固定部材の部分を構成する長円形状の部材前部と、前記容器本体の他端部側の前記中央被固定部材の部分を構成する長方形状の部材後部と、を有することが好ましい。
また、前記部材前部は１箇所で前記容器本体に係合して固定され、前記部材後部は２箇所で前記容器本体に係合して固定されて、前記中央被固定部材は、前記容器本体の壁部に対して嵌め込まれていることが好ましい。
また、前記中央被固定部材は、ポリカーボネート樹脂を材料として構成されていることが好ましい。また、前記中央被固定部材は、シクロオレフィンポリマー樹脂を材料としてもよい。
本発明によれば、金型の構造が複雑になることを回避して、金型内に冷却水を循環させる金型の冷却回路を、最適な位置に最適な回路として形成することを容易とする基板収納容器を提供することができる。
本発明の一実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係る基板収納容器１を示す右側面図である。 本発明の一実施形態に係る基板収納容器１を示す底面図である。 本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す正面図である。 本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の前部を示す分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の後部を示す分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の後部を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の前部を示す斜視図である。
以下、一実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２Ａは、基板収納容器１を示す右側面図である。図２Ｂは、基板収納容器１を示す底面図である。図３は、基板収納容器１の容器本体２を示す正面図である。
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成され、容器本体２は基板支持板状部５と奥側基板支持部５６（図３等参照）とを、蓋体３はフロントリテーナ（図示せず）を備えている。
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部５６（図３等参照）が設けられている。
奥側基板支持部５６は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部５６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部５６と対をなすように配置されている。
フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部５６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
以下、各部について、詳細に説明する。
図４は、基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の前部を示す分解斜視図である。図５は、基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の後部を示す分解斜視図である。図６Ａは、基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の後部を示す斜視図である。図６Ｂは、基板収納容器１の容器本体２に設けられた中央被固定部材６の前部を示す斜視図である。
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。
また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
下壁２４の中央位置には、中央貫通孔６０１が形成された中央被固定部材６と、中央被固定部材６を固定する前側固定部２４５と、後側固定部２４６と、前側固定部２４５と後側固定部２４６との間の位置に設けられた検知用中央凸部２４７と、が設けられている。
前側固定部２４５は、下壁２４の中央位置と下壁２４の前端との間の長さの略１／３程度前方向Ｄ１１へ当該中央位置から進んだ位置に設けられている。前側固定部２４５は、略左右方向Ｄ３に延び下方向Ｄ２２へ突出する後壁２４５１と、後壁２４５１の左右両端部から前方向へ延び下方向Ｄ２２へ突出する側壁２４５２と、後壁２４５１の下端と側壁２４５２の下端と一体成形されることにより一体的に接続された下壁２４５３とを有している。側壁２４５２の前端と下壁２４５３の前端とは、前方向１１へ向かって開口する開口部を構成する。後壁２４５１の中央部、及び、その左右両側には、前後方向Ｄ１へ貫通する貫通孔２４５５が形成されている。中央の貫通孔２４５５には、後述の前部被係合部６１３が嵌め込まれ、これにより、前部被係合部６１３が前側固定部２４５に、この一箇所において係合して固定される。
後側固定部２４６は、下壁２４の中央位置と下壁２４の後端との間の長さの略１／３程度後方向Ｄ１２へ当該中央位置から進んだ位置に設けられている。後側固定部２４６は、略前後方向Ｄ１に延び下方向Ｄ２２へ突出する一対の側壁２４６１と、一対の側壁２４６１のそれぞれの後部から、互いに接近するように延び、それぞれ側壁２４６１と一体成形されることにより一体的に接続された下壁２４６３とを有している。下壁２４６３の前端部は、前方向Ｄ１１に進むにつれて上方向Ｄ２１へ上がる傾斜面２４６５を有している。一対の下壁２４６３の下側には、後述の後部被係合部６２３の被係止板部６２３２がそれぞれ配置され、これにより、後部被係合部６２３が、後側固定部２４６に、後部被係合部６２３の左右方向Ｄ３における両端部の２箇所において係合して固定される。検知用中央凸部２４７は、左右方向Ｄ３へ延び、下方向Ｄ２２へ突出する長方形状の壁部により構成されている。
中央被固定部材６は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗを処理装置に搬送するための図示しないロードポートに設けられた容器固定部を構成するボスに係止されて固定される。中央被固定部材６は、容器本体２の壁部２０を構成する下壁２４に嵌め込み構造により固定される、下壁２４とは別個に独立した部品により構成されている。
中央被固定部材６は、ポリカーボネート樹脂、シクロオレフィンポリマー樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等の樹脂が用いられる。本実施形態においては、ポリカーボネート樹脂やシクロオレフィンポリマー樹脂が用いられる。
中央被固定部材６は、図６Ａ、図６Ｂ等に示すように、部材前部６１と部材後部６２とを有している。部材前部６１は、底面視で長円形状を有しており、部材後部６２は、底面視で長方形状を有しており、部材前部６１と部材後部６２とは、一体成形されて一体的に接続されている。
部材前部６１の周囲には、上方向Ｄ２１に突出する前部周囲壁部６１２が、前部底部６１１に一体成形されて一体的に接続されている。前部周囲壁部６１２は、部材前部６１の後部を除いた周縁の部分の全体に渡って設けられている。前部周囲壁部６１２の前部には、平面視で前後方向に長い略長方形状を有する貫通孔により構成される中央貫通孔６０１が形成されている。中央貫通孔６０１には、図示しないロードポートの容器固定部を構成するボスが挿入されて、当該ボスに中央被固定部材６が係止され、容器本体２がロードポートに対して基準面側に引きつけられて固定される。
前部周囲壁部６１２の前端には、前方向に突出する前部被係合部６１３が、前部周囲壁部６１２に一体成形されて一体的に接続されている。前部被係合部６１３は、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行であり前部周囲壁部６１２の前端から前方向Ｄ１１へ突出する板状の基部６１３１と、前部周囲壁部６１２の前端と基部６１３１の上面とに一体成形され前方向Ｄ１１に延びる一対の上側リブ６１３２と、前部周囲壁部６１２の前端と基部６１３１の下面とに一体成形され前方向Ｄ１１に延びる一対の下側リブ６１３３と、を有している。上側リブ６１３２、下側リブ６１３３の前端は、基部６１３１の前端よりも後側にあり、上側リブ６１３２、下側リブ６１３３が設けられていない基部６１３１の前端の部分は、前側固定部２４５の貫通孔２４５５に挿入されて、前部被係合部６１３が前側固定部２４５に係合することにより係止され固定される。
また、部材前部６１の前部底部６１１の上面には、図６Ａ、図６Ｂに示すように、支持壁部６１５が設けられている。支持壁部６１５は、前後方向Ｄ１に延び、上方向Ｄ２１に突出する略三角形状の壁部により構成されている。支持壁部６１５の上端は、中央被固定部材６が下壁２４に固定されているときには、下壁２４に当接している。
部材前部６１において中央貫通孔６０１が形成されている部分よりも後側には、左右方向に延びる貫通孔６１６が形成されている。貫通孔６１６は、底面視において検知用中央凸部２４７の幅及び長さよりも僅かに長い幅及び長さを有しており、中央被固定部材６が下壁２４に固定されているときには、貫通孔６１６には、検知用中央凸部２４７が挿入される。
部材後部６２の後端には、上方向Ｄ２１に突出する後部被係合部６２３が、後部底部６２１に一体成形されて一体的に接続されている。左右方向Ｄ３において、後部被係合部６２３は、部材後部６２よりも長い長方形状の板状部６２３１を有している。板状部６２３１の上端部の左右方向Ｄ３における端部には、板状部６２３１の上端縁から後方向Ｄ１２且つ下方向Ｄ２２へ斜めに延びる被係止板部６２３２が、板状部６２３１に一体成形されることにより一体的に接続されている。被係止板部６２３２は、中央被固定部材６が前側固定部２４５と後側固定部２４６とに嵌め込まれるときに、傾斜面２４６５に摺動してゆき、傾斜面２４６５の前端縁を乗り越えると、下壁２４６３の下側に入り込んで、後側固定部２４６に後部被係合部６２３が係合して係止されて固定される。
底部を構成する下壁２４は、当接部としての溝部７が設けられている。溝部７は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗを処理装置に搬送するためのロードポート（図示せず）に設けられた複数の位置合わせ部としてのキネマピンであって、容器本体２をロードポートに対して位置決めするための複数のキネマピンにそれぞれ当接する。このキネマピンとの当接により、基板収納容器１は、前後方向Ｄ１，左右方向Ｄ３、上下方向Ｄ２において、位置決めされる。
溝部７は３つ設けられており、中央貫通孔６０１の前部を中心として、下壁２４の外面に沿って、底面視で約１２０°の中心角をなす間隔で、下壁２４の３か所に位置している。全ての溝部７の溝が中央貫通孔６０１へ指向するように、溝部７は形成されている。
蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
蓋体３の内側（図１に表れている蓋体３の外面に対する反対側）においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように基板収納容器１は、容器本体２の壁部２０には、基板収納空間２７に収納された基板Ｗを処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた容器固定部を構成するボスに係止されて固定される中央被固定部材６が容器本体２の壁部２０に対して着脱可能に設けられている。
この構成により、容器本体２を成形する射出成形金型の離型時にアンダーカットとなることを回避することが可能となる。このため、金型にスライド構造と呼ばれる複雑な構造を設けることを回避することが可能となり、金型の作動動作が複雑になることを回避することが可能となる。この結果、金型破損防止のために動作速度を落さずにすみ、成形サイクルが長くなり、生産効率が悪くなることを回避することが可能となる。
また、金型の構造が複雑になることを回避することが可能となり、溶融樹脂の熱量を吸収する為に金型内に冷却水を循環させる金型の冷却回路を、最適な位置に最適な回路として形成することが可能となる。この結果、冷却時間が延びることを回避することが可能となる。
また、中央被固定部材６は、容器本体２の壁部２０に対して嵌め込み構造により固定される。これにより、容器本体２の壁部２０に対して中央被固定部材６を着脱可能とする構成を容易に実現することができる。
また、中央被固定部材６は、容器本体２の一端部側の中央被固定部材６の部分を構成する長円形状の部材前部６１と、容器本体２の他端部側の中央被固定部材６の部分を構成する長方形状の部材後部６２と、を有する。そして、部材前部６１は１箇所で容器本体２に係合して固定され、部材後部６２は２箇所で容器本体２に係合して固定されて、中央被固定部材６は、容器本体２の壁部２０に対して嵌め込まれている。
この構成により、中央被固定部材６の容器本体２の下壁２４への嵌め込みのハンドリングを容易とすることができる。また、上記形状とすることにより、樹脂の流動性を良好とすることが可能となり、成形性を良好とすることが可能である。また、上記形状とすることにより、包装して輸送する際に、包装袋が破けにくくすることが可能である。
また、中央被固定部材６は、ポリカーボネート樹脂を材料として構成されている。また、中央被固定部材６は、シクロオレフィンポリマー樹脂を材料として構成されている。この構成により、吸水率・吸湿率が低く且つアウトガス発生量が少ない中央被固定部材６とすることが可能となる。
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚や寸法に限定されない。例えば、中央被固定部材等の形状等の構成は、本実施形態における中央被固定部材６の形状等の構成に限定されない。
１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
６ 中央被固定部材
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２２ 奥壁
２３ 上壁
２４ 下壁（底部）
２５ 第１側壁
２６ 第２側壁
２７ 基板収納空間
６１ 部材前部
６２ 部材後部
Ｗ 基板

Claims (6)

  1. 一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    前記蓋体に取り付けられ、前記蓋体及び前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部及び前記蓋体に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を閉塞するシール部材と、を備え、
    前記容器本体の壁部には、前記基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた位置合わせ部に係止されて固定される中央被固定部材が前記容器本体の壁部に対して着脱可能に設けられている基板収納容器。
  2. 前記中央被固定部材は、前記容器本体の壁部に対して嵌め込み構造により固定される請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 前記中央被固定部材は、
    前記容器本体の一端部側の前記中央被固定部材の部分を構成する長円形状の部材前部と、
    前記容器本体の他端部側の前記中央被固定部材の部分を構成する長方形状の部材後部と、を有する請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 前記部材前部は１箇所で前記容器本体に係合して固定され、前記部材後部は２箇所で前記容器本体に係合して固定されて、前記中央被固定部材は、前記容器本体の壁部に対して嵌め込まれている請求項３に記載の基板収納容器。
  5. 前記中央被固定部材は、ポリカーボネート樹脂を材料として構成されている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
  6. 前記中央被固定部材は、シクロオレフィンポリマー樹脂を材料として構成されている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
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