JP2008010574A - ウエハ容器の位置決め構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガイド面部15hは、長孔部15gの真下に連続するように凹設形成されて、位置決めピンとしてのキネマティックカップリングピン2aを係合した状態で、このキネマティックカップリングピン2aの先端部を対向させる位置決めリブ16,16の先端縁との間に、間隙dが形成するように、このキネマティックカップリングピン2aの前記容器本体11への近接距離を規制するように構成されている。
【選択図】図19
Description
前記ガイド部材には、前記容器本体の底面部周縁に下方に向けて突設される枠体の内側面に対して、内側から弾接して係止される係止部を設けたウエハ容器の位置決め構造を特徴としている。
2a キネマティックカップリングピン
11,111 容器本体
11a 開口部
11b,111b 底面部
15 ボトムプレート(ガイド部材)
15a ガイド溝部
15b 外嵌用ボス孔
15c 周縁部
15e,15e 左,右アーム部
15f 中央アーム部
15m 係止爪
15i 確認リブ部
16,116 位置決めリブ(平行ガイド部材)
17 ボス部
18,18 左,右枠体(枠体)
19 平行リブ枠体(枠体)
18b,19b 係止孔
Claims (4)
- ウエハを内部に収容する容器本体と、該容器本体の底面部に着脱可能に装着されて、該容器本体が、載置面に載置される際、該載置面から突設される位置決めピンを係合して、該容器本体を正規の載置位置までガイドするガイド溝部が形成されたガイド部材とを有するウエハ容器の位置決め構造であって、
前記ガイド部材には、前記容器本体の底面部周縁に下方に向けて突設される枠体の内側面に対して、内側から弾接して係止される係止部を設けたことを特徴とするウエハ容器の位置決め構造。 - ウエハを内部に収容する容器本体と、該容器本体の底面部に着脱可能に装着されて、該容器本体が、載置面に載置される際、該載置面から突設される位置決めピンを係合して、該容器本体を正規の載置位置までガイドするガイド溝部が形成されたガイド部材とを有するウエハ容器の位置決め構造であって、
前記ガイド溝部には、前記容器本体の底面部中心から、径方向に沿って突設される一対の平行ガイド部材を係合する長孔部と、該長孔部の真下に連続するように凹設形成されて、前記位置決めピンを係合した状態で、該位置決めピンの先端部が、対向する前記平行ガイド部材の先端縁との間に、間隙が形成されるように、該位置決めピンの前記容器本体への近接距離を規制するガイド面部とを有することを特徴とするウエハ搬送容器の位置決め構造。 - 前記容器本体の底面部に突設形成されたボス部と、前記ガイド部材に設けられて、該ボス部に着脱自在に外嵌する外嵌用ボス孔とを有し、前記ボス部の外周縁には、前記外嵌用ボス孔の周縁部が、突き当てられる装着確認用リブ部が、前記底面部から一定の高さを有して、突設されていることを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ搬送容器の位置決め構造。
- 前記ガイド部材は、略中央から径方向へ放射状に延設される複数のアーム部を有し、該アーム部には、前記外嵌用ボス孔が形成されている部分の近傍に、前記係止部としての係止爪を有する弾接片が一体に形成されると共に、該係止爪が係脱着可能となる係止孔が、前記枠体に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のうち、何れか一項記載のウエハ搬送容器の位置決め構造。
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