WO2005112107A1

WO2005112107A1 - 基板収納容器及びその位置決め方法

Info

Publication number: WO2005112107A1
Application number: PCT/JP2005/007434
Authority: WO
Inventors: Atsushi Sumi
Original assignee: Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.
Priority date: 2004-05-17
Filing date: 2005-04-19
Publication date: 2005-11-24
Also published as: EP1758161B1; EP1758161A1; KR20070030836A; US20070215516A1; US7669717B2; TW200603327A; JPWO2005112107A1; KR101129929B1; EP1758161A4; JP4668179B2; CN100419988C; TWI260729B; CN1954420A

Abstract

　容器本体の蓋体側が下方に傾いた状態で装置に搭載される場合でも適切に位置決めすることができ、その後の作業に支障を来たすことのない基板収納容器及びその位置決め方法を提供する。　複数枚の精密基板を整列収納する容器本体１と、容器本体１の開口した正面を開閉する蓋体と、容器本体１の底部に配列して設けられる複数の位置決め体４０とを備え、各位置決め体４０を、容器本体１の底面に形成された一対の平行リブ２と、ボトムプレート４に形成されたトラック６の湾曲部８の内面９とから凹部に形成する。トラック６の内面９を上方から下方に向かうにしたがい徐々に直線的に広がるよう傾斜させ、内面９の上端部を一対の平行リブ２の下端部間における対向領域２ａまで延長して形成する。

Description

明細書

基板収納容器及びその位置決め方法

技術分野

[0001] 本発明は、半導体ゥーハ等からなる基板を収納、輸送、搬送、保管する際に使用される基板収納容器及びその位置決め方法に関するものである。

背景技術

[0002] 近年、半導体部品の微細化や配線の狭ピッチ化が進んでいる力この点に鑑み、基板収納容器には、内部に収納した半導体ゥエーハからなる精密基板の汚染防止に資する高、密封性と取り扱、の自動化とが求められて、る。こうした業界のニーズに対応するため、容器本体を開閉する蓋体を自動的に取り付け、取り外しが可能な基板収納容器が提案されている (特許文献 1、 2参照)。

[0003] この種の基板収納容器は、図 10ないし図 12に示すように、例えば図示しない複数枚の精密基板を収納する容器本体 1と、この容器本体 1の底部に設置される複数の位置決め体 40Aと、容器本体 1の開口した正面を開閉する蓋体 20と、容器本体 1の正面に嵌合された蓋体 20を施錠、解錠する施錠機構とを備え、図示しない加工装置上に複数の位置決め体 40Aを介し位置決め搭載される。

[0004] 容器本体 1は、その天井に OHTと呼ばれる自動搬送機に保持されるロボティックフランジが装着され、このロボティックフランジが保持されることにより、吊り上げられて搬送される。また、複数の位置決め体 40Aは、容器本体 1の底部に所定の配列で配設されている。各位置決め体 40Aは、容器本体 1の底面に形成される一対の平行リブ 2 と、容器本体 1の底面を覆うボトムプレート 4に形成されて一対の平行リブ 2に下方から嵌合する中空のトラック 6Aとから形成されている。

[0005] 施錠機構は、図示しないが、蓋体に内蔵され、加工装置を構成する蓋体開閉装置の操作キーにより施錠操作、あるいは解錠操作される。また、加工装置は、基板収納容器を搭載する搭載面に、複数の位置決め体 40Aに嵌合する位置決めピン 50がそれぞれ立設（図 12参照)され、基板収納容器の有無を検出するセンサが設置されている。特許文献 1 :特開 2000- 58633号公報

特許文献 2：特開 2003- 174081号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0006] 従来の基板収納容器は、以上のように構成され、蓋体に施錠機構が内蔵されて重くなる関係上、重心が容器本体 1の中心部よりも正面側に偏るので、正面側が下方に傾きやすいという特徴がある。この特徴は、精密基板が最大枚数フルに収納される場合よりも、少ない枚数が収納される場合のほうが顕著に現れる。基板収納容器の正面側が下方に傾いた状態で加工装置に位置決め搭載されると、加工装置の位置決めピン 50が位置決め体 40Aに接触した際の摩擦抵抗により、基板収納容器が滑りにくぐ途中で停止して高精度に位置決めすることができないという大きな問題が生じる。

[0007] また、基板収納容器がロボティックフランジに吊り上げられる関係上、基板収納容器を安定した状態で支持することが容易とはいえないので、加工装置の複数の位置決めピン 50に容器本体 1の位置決め体 40Aをそれぞれ均等に接触嵌合させることができないおそれがある。この結果、加工装置上に基板収納容器がずれ傾いて停止したり、センサの検出に支障を来たし、その後の作業が中断してしまうという問題が生じる。

[0008] 本発明は上記に鑑みなされたもので、容器本体の蓋体側が下方に傾いた状態で装置に搭載される場合でも、適切に位置決めすることができ、その後の作業に支障を来たすことのなヽ基板収納容器及びその位置決め方法を提供することを目的としている。

課題を解決するための手段

[0009] 本発明におヽては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体と、容器本体の底部に設けられる複数の位置決め体とを備えたものであって、

各位置決め体は、間隔をおいて相対向する複数の長片と、この複数の長片の間のうち、少なくとも複数の長片の端部間の下方に位置する複数の短片とを含み、これら複数の長片と短片のうち、少なくとも各短片の内面を容器本体の底部力下方向に向力うにしたがい徐々に広がるよう傾斜させるとともに、内面の上部を複数の長片間まで延長したことを特徴として、る。

[0010] なお、容器本体の底部を、容器本体の底面と、この容器本体の底面に取り付けられるプレートとから構成し、

容器本体の底面に、間隔をお、て相対向する一対の平行リブを複数配列して各対の平行リブを位置決め体の複数の長片とし、プレートに、一対の平行リブを囲む中空のトラックを複数配列して各トラックの湾曲部を位置決め体の複数の短片とすることができる。

[0011] また、蓋体に内蔵され、容器本体の正面を覆う蓋体を施錠する施錠機構を備え、この施錠機構を、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転体と、この回転体の回転に基づいて蓋体の内外方向に進退動する複数の進退動体と、各進退動体に設けられ、進退動体の進退動により蓋体の周囲から出没して容器本体の正面内周の凹部に挿入される係止部とから構成することができる。

[0012] また、容器本体のプレートを、カーボン繊維、ガラス繊維、カーボンパウダー、フラ一レン、カーボンナノチューブ、合成繊維、金属繊維、フッ素榭脂、シリコーン、タルク、マイ力からなる一群の添加剤を少なくとも一種類含有するポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリアセタール、液晶ポリマーの一群力選択される少なくとも一種類の熱可塑性榭脂を用いて形成することができる。

[0013] また、各位置決め体には、複数の長片をその長手方向に分割し、容器本体の底部力も下方向に向力にしたが、細くなる区画ブロックを含ませることができる。

また、各位置決め体の区画ブロックを中空の円錐形に形成することができる。

[0014] また、本発明にお、ては上記課題を解決するため、加工装置の複数の位置決めピンに複数の位置決め体を介して搭載されるものであって、

各位置決め体に、その長手方向と短手方向とでそれぞれ向き合う一対の内面を形成し、加工装置の複数の位置決めピンに位置決め体をそれぞれ嵌め合わせる場合に、各位置決め体の四つの内面のうち、少なくとも三つの内面を位置決めピンに接虫させるようにしたことを特徴として、る。

なお、各位置決め体の長手方向で向き合う一対の内面を、一対の平行リブの内面とすることができる。

[0015] さらに、本発明においては上記課題を解決するため、加工装置の複数の位置決めピンに複数の位置決め体を介して搭載されるものの位置決め方法であって、各位置決め体に、その長手方向と短手方向とでそれぞれ向き合う一対の内面を形成し、加工装置の複数の位置決めピンに位置決め体をそれぞれ嵌め合わせる際に、各位置決め体の四つの内面のうち、少なくとも三つの内面を位置決めピンに接触させることを特徴としている。

[0016] ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも各種の精密基板、具体的には口径 300mm、 400mm, 450mmの半導体ゥエーノヽ、マスクガラス、液晶ガラス、記憶ディスク等が含まれる。容器本体は、 FOUPと呼ばれるフロントオープンボックスでも良いし、 FOSBと呼ばれるフロントオープンボックスでも良い。この容器本体は、透明、半透明、不透明のいずれでも良ぐ背面壁、側壁、天井等に透視窓を適宜設けることができる。また、蓋体は、単数複数のプレートを使用して透明、半透明、不透明に構成することができる。

[0017] 蓋体には施錠機構が設置されるが、この施錠機構については、蓋体に支持されて蓋体の外部力の操作で回転する回転体と、蓋体にスライド可能に支持されて回転体に回転可能に接続され、この回転体の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動バーと、蓋体周囲の開口付近に回転可能に支持されて各進退動体の先端部に回転可能に連結され、進退動バーの進退動作に基づいて蓋体周囲の開口力も出没する係止ローラとから構成することが可能である。

[0018] また、施錠機構を、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する回転体と、蓋体に軸受を介しスライド可能に支持されて回転体に回転可能に直接間接に接続され、この回転体の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動シャフトと、各進退動シャフトに回転可能に支持され、進退動シャフトの進退動作に基づいて蓋体周囲の開口力出没するローラとから構成することが可能である。回転体と進退動シャフトとを間接的に接続する場合、例えば回転体と進退動シャフトとをクランク係止部等で連結することが可能である。

[0019] また、施錠機構を、塵埃の発生抑制を条件に、蓋体に支持されて蓋体の外部からの操作で回転する歯車と、蓋体にスライド可能に支持されて歯車に他の歯車を介して接続され、歯車の回転に基づいて蓋体の内部方向から外部方向に進退動する複数の進退動バーと、各進退動バーの先端部に形成され、進退動バーの進退動作に基づいて蓋体周囲の開口力も出没する係止爪とから構成し、進退動バーの端部を他の歯車の中心部から偏位した箇所に回転可能に支持させることもできる。

[0020] 容器本体の底部は、容器本体の底面と、この容器本体の底面に取り付けられるプレートとから主に構成される力容器本体の底面のみ力もなるものでも良いし、容器本体に取り付けられるプレートのみとすることもできる。プレートは、容器本体の底面よりも大きくても小さくても良ぐ矩形、多角形、略 U字形、 Y字形等に変更することができる。

[0021] 各位置決め体を構成する複数の長片は、断面略 M字形のブロックの相対向する対向壁力なるものでも良いし、平面略長方形のブロックの相対向する対向長壁からなるものでも良い。この複数の長片は、容器本体の底部から下方に向かうにしたがい徐々に広がるよう傾斜しても良いし、そうでなくても良い。

[0022] 各位置決め体については、上記の他、容器本体の底面に設けられる一対の平行リブと、容器本体の底面に設けられて一対の平行リブを囲む中空のトラックとから構成し、トラックの湾曲部を一対の平行リブの間に下方から位置させることもできる。また、各位置決め体を、プレートに設けられる一対の平行リブと、プレートに設けられて一対の平行リブを囲む中空のトラックとから構成し、トラックの湾曲部を一対の平行リブの間に下方力介在させることもできる。

[0023] 中空のトラックについては、平面略小判形に形成されて一対の平行リブの周囲を取り囲む環状の周壁と、この周壁の内面に形成される傾斜面とから構成し、周壁に取り囲まれる中央部を吹き抜けの中空に形成することができる。この場合、一対の平行リブを前後二つの一対の平行リブに分割し、この前後二つの一対の平行リブをトラックでそれぞれ囲み、この一対のトラックの間に区画ブロックを設けることが可能である。さらに、区画ブロックは、円錐形、略半楕球形、円錐台形に形成されるのが好ましい。発明の効果

[0024] 本発明によれば、例え容器本体の蓋体側が下方に傾!ヽた状態で装置に搭載される場合でも、基板収納容器を適切に位置決めすることができるという効果がある。また、位置決め後の作業に支障を来たすのを有効に防ぐことができる。

図面の簡単な説明

[0025] [図 1]本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す模式全体斜視図である。

[図 2]本発明に係る基板収納容器及びその位置決め方法の実施形態を示す底面図である。

[図 3]本発明に係る基板収納容器及びその位置決め方法の実施形態における位置決め体を示す底面図である。

[図 4]図 3の IV— IV線断面図である。

[図 5]本発明に係る基板収納容器及びその位置決め方法の第 2の実施形態を示す底面図である。

[図 6]本発明に係る基板収納容器及びその位置決め方法の第 2の実施形態における位置決め体を示す底面図である。

[図 7]図 6の VII— VII線断面図である。

[図 8]本発明に係る基板収納容器及びその位置決め方法の実施例におけるボトムプレート用の測定治具を示す説明図である。

[図 9]本発明に係る基板収納容器及びその位置決め方法の実施例におけるボトムプレート用の測定治具に容器本体が搭載される状態を示す説明図である。

[図 10]従来の基板収納容器を示す底面図である。

[図 11]従来の基板収納容器の位置決め体を示す底面図である。

[図 12]図 11の XII— XII線断面図である。

符号の説明

[0026] 1 容器本体

2 一対の平行リブ (長片、内面）

2A 前部一対の平行リブ

2a 対向領域 2B 後部一対の平行リブ

3 補強リブ

4 ボトムプレート（プレート)

6 卜ラック

7 直線部

8 湾曲部 (短片）

9 内面

12 リム部（開口した正面）

13 係止穴（凹部）

20 蓋体

21 嵌合プレート

22 カバープレート

23 貫通操作孔

30 施錠機構

40 位置決め体

41 区画ブロック

42 外周面

50 位置決めピン

発明を実施するための最良の形態

[0027] 以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、薄板用収納 ·保管容器あるいは輸送容器とも呼ばれ、図 1 ないし図 4に示すように、例えば 12インチの半導体ゥエーノ、からなる複数枚 (例えば 2 5枚、 26枚)の精密基板を収納する容器本体 1と、この容器本体 1の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体 20と、容器本体 1の正面を嵌合閉鎖する蓋体 20を加工装置の蓋体開閉装置からの外部操作に基づいて施錠、解錠する左右一対の施錠機構 30と、容器本体 1の底部に配列して設けられる複数の位置決め体 40とを備えている

[0028] 容器本体 1は、図 1に示すように、所定の榭脂を使用して透明のフロントオープンボックスタイプに成形され、両側壁の後部が内方向にそれぞれ部分的に傾斜して背面壁の面積を横長の正面の面積よりも小さく設定しており、薄く丸い複数枚の精密基板 (図示せず)を上下方向に並べて整列収納するよう機能する。

[0029] 容器本体 1の内部両側には図示しないが、平面略く字形あるいは略半円弧形の支持板がそれぞれ一体的、着脱自在に配設され、この左右一対の支持板の対向面には、平面略く字形あるいは略半円弧形のティースが上下方向に所定のピッチでそれぞれ一体的に並設されており、この左右一対のティースが精密基板を略水平に支持する。

[0030] 各ティースは、図示しないが、精密基板の周縁部に沿うよう平面略く字形あるいは略半円弧形に形成される平板と、この平板の湾曲形成された前部内側上に形成される前部中肉領域と、平板の前部外側上に形成されて前部中肉領域の外側、換言すれば、支持板寄りに位置する前部厚肉領域と、平板の後部に形成される後部中肉領域と、平板の後部上に形成されて後部中肉領域の前方に位置し、かつ支持板寄りに位置する後部厚肉領域とから形成され、前部中肉領域と前部厚肉領域との間に精密基板接触用の段差が形成されており、平坦な前部中肉領域と後部中肉領域とに精密基板が略水平に支持される。

[0031] 容器本体 1の底面の前部両側と後部中央とには図 2に示すように、相対向する一対の平行リブ 2がそれぞれ配列して形成され、容器本体 1の底面には、薄板のボトムプレート 4が着脱自在に装着されており、このボトムプレート 4の後部に着脱自在に嵌められた複数の識別体 5が加工装置に識別されることにより、基板収納容器のタイプや精密基板の枚数等が把握される。

[0032] 一対の平行リブ 2は、図 2や図 3に示すように、その略中央部間にバー形の補強リブ 3がー体的に架設され、全体で底面視略 H字形に形成される。各平行リブ 2は、凹凸のない滑らかな直線の板形に形成され、容器本体 1の底面から下方に突出する（図 4 参照)。

[0033] ボトムプレート 4は、図 2に示すように、容器本体 1の底面の大きさに対応する平面略多角形等に形成され、底面視で略 Y字を描くよう複数 (本実施形態では 3個）の貫通孔が略小判形に穿孔して配列されており、各貫通孔の周縁部には、一対の平行リブ 2の下部に下方力も嵌合して包囲する中空のトラック 6がー体形成される。

[0034] 各トラック 6は、図 3や図 4に示すように、間隔をおいて相対向し、各平行リブ 2に外側から重なる一対の直線部 7と、この一対の直線部 7の両端間に一体的に短く架設されて相互に対向する一対の湾曲部 8とから底面視で略小判形に形成され、ボトムプレート 4から容器本体 1の底面方向（上方向）に突出する。

[0035] 各湾曲部 8は、その外周面が略半円弧形に湾曲形成され、凸凹のない滑らかな内面 9がー対の平行リブ 2の間の間隔よりも狭く形成されており、この内面 9が容器本体 1の底部であるボトムプレート 4から下方向に向力うにしたがヽ徐々に直線的に広がるよう傾斜する（図 4参照)。この内面 9は、一対の平行リブ 2の下端部間における対向領域 2aから一対の平行リブ 2の両端部間の下方に達するよう傾斜する。

[0036] 加工装置は、基板収納容器を搭載する搭載面に、複数のトラック 6内にそれぞれ嵌合する 3本の位置決めピン 50が平面略 Y字を描くよう立設され、基板収納容器の有無を検出するセンサが設置される。各位置決めピン 50の先端部は略楕球形に湾曲形成される。

[0037] 容器本体 1の底面両側には図 1に示すように、前後方向に伸びる断面略 L字形のガイドレール 10がそれぞれ張り出し形成され、この左右一対のガイドレール 10が基板収納容器の搬送時の便宜を図る。容器本体 1の天井中央部には、平面略矩形のロボティックフランジ 11がー体的あるいは着脱自在に装着され、このロボティックフランジ 11が OHTと呼ばれる自動搬送機に吊持されることにより、基板収納容器が工程内を搬送される。

[0038] 容器本体 1の開口正面の周縁部は、断面略倒 L字形に形成されることにより、外方向に張り出されてリム部 12を形成し、このリム部 12の内周面上下には、矩形を呈した蓋体 20施錠用の係止穴 13がそれぞれ複数凹み形成される。容器本体 1の両側壁には、肉厚の円板形又は倒 U字形の搬送ハンドルがそれぞれ選択的に装着され、この搬送ノヽンドルが把持されることにより基板収納容器が搬送される。

[0039] なお、容器本体 1、支持板、ティース、ボトムプレート 4、ガイドレール 10、ロボティックフランジ 11、及び搬送ノヽンドルは、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエ一テルエーテルケトン、又は環状ォレフィン榭脂等を用いて成形される。これらの材料には、導電性付与剤等が適宜添加される。

[0040] 蓋体 20は、図 1に示すように、容器本体 1のリム部 12内に着脱自在に嵌合される断面略皿形の嵌合プレート 21と、この嵌合プレート 21の開口した表面を覆うカバープレート 22とを備えて構成され、容器本体 1の内部背面に設置されたリャリテーナ（図示せず)との間に精密基板を弾性のフロントリテーナ（図示せず)を介して保持する。

[0041] 嵌合プレート 21は、その四隅部が丸く面取りされた横長の正面略矩形に形成され、周壁が断面略 L字形、略 H字形、又は略 Z字形に形成されて剛性が確保されており、この周壁に嵌合されたエンドレスのシールガスケットが容器本体 1のリム部 12内に変形密嵌されることによりシール性が確保される。

[0042] このシールガスケットは、図示しないが、例えば中空枠形の基材と、この基材から傾斜しながら突出して基材の周方向外側に伸びる先細りの屈曲片と、基材から突出して嵌合プレート 21の周壁に形成された嵌合保持溝に圧力作用状態で強く嵌め入れられる単数複数の嵌合リブとから形成され、蓋体 20により密封された基板収納容器の内外に圧力差が生じた場合には、基板収納容器の外部力内部に塵埃を含む気体が流入するのを規制し、基板収納容器の内部から外部に気体を流出させる一方向性シールとして機能する。

[0043] このようなシールガスケットは、例えばシリコーンゴム、フッ素ゴム、熱可塑性ポリエステル系エラストマ一、熱可塑性ポリオレフイン系エラストマ一等を使用して弾性変形可能に成形される。

[0044] 嵌合プレート 21の周壁には、洗浄時に使用される複数の水切り孔が所定の間隔をおいて穿孔され、周壁の上下には、左右一対の開口が所定の間隔をおいて形成されており、各開口が蓋体 20の嵌合時に容器本体 1の係止穴 13に対向する。嵌合プレート 21の左右両側の周壁内には、カバープレート 22用の取付穴が所定の間隔をおいて複数穿孔される。

[0045] カバープレート 22は、図 1に示すように、板形に形成され、左右両側の中央部付近に、施錠機構 30用の貫通操作孔 23がそれぞれ正面矩形に穿孔されており、各貫通操作孔 23が加工装置を構成する蓋体開閉装置の操作キーに貫通される。

[0046] なお、蓋体 20は、例えばポリカーボネート、フッ素含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、又はポリアセタール等を用いて成形される。

[0047] 各施錠機構 30は、詳細は省略するが、嵌合プレート 21内の円筒リブに嵌合支持されて外部力の操作キーの回転操作で回転する回転体である回転リールと、嵌合プレート 21とカバープレート 22のカム間にスライド可能に挟持され、回転リールの回転に基づ!/、て蓋体 20の内外方向に直線的にスライドする複数の進退動体である進退動バーと、各進退動バーの先端部に形成され、進退動バーの進退動に伴い蓋体周囲の開口から出没してリム部 12の係止穴 13に嵌合係止する係止部である係止爪とから構成される。

[0048] なお、蓋体開閉装置の接続位置や寸法は、 SEMI規格で容器のサイズ毎に規定されている。例えば、 12インチ（300mm)の半導体ゥエーハを整列収納する工程容器の蓋体 20を自動開閉するための装置インターフェイスの仕様に関しては、 SEMI規格の E62で標準化された蓋体開閉装置に対応可能に定められている。

[0049] 施錠機構 30は、例えばポリカーボネート、フッ素含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテノレエーテノレケトン、ポリエーテルイミド、又はポリアセタール等を用いて成形される。

[0050] 各位置決め体 40は、図 3や図 4に示すように、容器本体 1の底面に形成された一対の平行リブ 2と、ボトムプレート 4に形成されたトラック 6の一対の湾曲部 8とから凹んだ凹部に形成され、平行リブ 2が湾曲部 8よりも長く形成される。トラック 6の短手方向における湾曲部 8の内面 9は、図 4に示すように、上方から下方に向力うにしたがい徐々に直線的に広がるよう傾斜し、上端部が一対の平行リブ 2の下端部間における対向領域 2aまで延長される。

[0051] 上記構成によれば、基板収納容器の重!、正面側が下方に傾!、た状態で加工装置に位置決め搭載される際、各位置決め体 40を構成する一対の平行リブ 2の内面とトラック 6の一対の内面 9の四面のうち、少なくとも三面に位置決めピン 50が接触するので、基板収納容器を正規の位置までがたつかせることなく確実に滑らせることができる。これにより高精度な位置決めが大いに期待でき、し力も、振動等があっても基板収納容器が正規の位置力ずれることがな、。 [0052] また、加工装置の複数の位置決めピン 50に位置決め体 40をそれぞれ均等に接触嵌合させることができるので、加工装置上に基板収納容器がずれ傾、て停止してしまうことがない。したがって、基板収納容器が傾いて停止するのに伴い、センサの検出に支障を来たすことが全くないので、その後の作業が中断するのを抑制防止することができる。

[0053] さらに、トラック 6の凹凸のない滑らかな内面 9の上端部が一対の平行リブ 2の下端部間における対向領域 2aまで延長され、一対の平行リブ 2の内面とトラック 6の内面 9 とが略連続するので、位置決めの際のがたつきが実に少なぐ基板収納容器が正規の位置力ずれることがな！、。

以上のように、複数の位置決めピン 50を備えたカ卩ェ装置に、複数の位置決め体 40 を有する基板収納容器を位置決めするに当たり、位置決め体 40の四面のうち、少なくとも三面が位置決めピン 50に接触するので、寸法精度の良い基板収納容器の位置決めが可能になる。

[0054] 次に、図 5ないし図 7は本発明の第 2の実施形態を示すもので、この場合には、一対の平行リブ 2を前部一対の平行リブ 2Aと後部一対の平行リブ 2Bとに分割し、これら前部一対の平行リブ 2Aと後部一対の平行リブ 2Bとをトラック 6でそれぞれ囲むとともに、この一対のトラック 6の間に、前部一対の平行リブ 2Aと後部一対の平行リブ 2B とを前後長手方向に二分する区画ブロック 41を介在して形成するようにして、る。

[0055] 区画ブロック 41は、図 7に示すように、ボトムプレート 4から下方に向力うにした力^、徐々に細くなる中空の円錐形に形成され、外周面 42が凸凹のない滑らかな面に形成されており、この外周面 42に位置決めピン 50がスライド可能に接触して所定の位置に案内される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

[0056] 本実施例においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、し力も、前部一対の平行リブ 2Aと後部一対の平行リブ 2Bとの間に、位置決めピン 50を案内する区画ブロック 41が介在し、一対の平行リブ 2の内面、トラック 6の内面 9、及び区画ブロック 41の外周面 42が形成する四面に位置決めピン 50が接触するので、位置決めピン 50のがたつき範囲が少なくなる。したがって、高精度な位置決めが期待でき、し力も、振動等により基板収納容器が正規の位置力もずれるのを抑制防止することができるのは明らかである。

[0057] なお、上記実施形態では水平方向のみに開口するフロントオープンボックスタイプの容器本体 1を示したが、蓋体 20の取り外し時や精密基板の出し入れ時に容器本体 1を上方に向けることもできる。また、支持板の代わりに支持枠を用意し、この支持枠に複数のティースを縦リブを介し上下方向に並設することもできる。また、支持枠の後部に、隣接するティース間に位置する断面略倒 U字形、略倒 V字形の保持溝を形成し、この保持溝に精密基板の両側部後方の周縁を支持させることもできる。

[0058] また、各ティースを、精密基板の周縁部に沿うよう平面略く字形に形成される平板と、この平板の屈曲形成された前部内側上に形成される前部中肉リブと、平板の前部外側上に形成されて前部中肉リブの外側、換言すれば、支持枠寄りに位置する前部厚肉領域と、平板の後部に形成される後部中肉領域とから形成し、前部中肉リブと前部厚肉領域との間に段差を形成し、略平坦な前部中肉リブと後部中肉領域とに精密基板を略水平に支持させても良い。

[0059] また、容器本体 1の底面ではなぐボトムプレート 4に複数の位置決め体 40をそれぞれ設けても良い。また、ボトムプレート 4を拡大形成してその両側部に容器本体 1の両側壁に対向する対向壁を立て設け、各対向壁に把持用の搬送ハンドルを取り付けても良い。また、ボトムプレート 4の後部に、容器本体 1の背面側に位置する壁を立て設け、この壁に識別コードや ICタグ等を貼着、嵌合、又は支持させても良い。

[0060] また、容器本体 1の開口正面の周縁部を断面略倒 L字形に形成してその先端部を断面略 U字形に形成し、これらの凹んだ内部空間を係止穴 13として使用することも可能である。また、嵌合プレート 21の裏面周縁部にエンドレスの第一のシールガスケットを取り付けるとともに、嵌合プレート 21の周壁にエンドレスの第二のシールガスケットを取り付け、第一のシールガスケットの幅方向外側に第二のシールガスケットを位置させることち可會である。

[0061] さらに、ボトムプレート 4と位置決め体 40については、カーボン繊維、ガラス繊維、力一ボンパウダー、フラーレン、カーボンナノチューブ、合成繊維、金属繊維、フッ素榭脂、シリコーン、タルク、マイ力からなる一群の添加剤のうち、少なくとも一種を適量含有するポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリアセタール、液晶ポリマ——群から選択される少なくとも一種類の熱可塑性榭脂を用いて成形することができる。さらにまた、位置決め体 40は、容器本体 1に一体形成しても良いし、容器本体 1とは別の材料を使用して形成し、インサート成形等の方法で一体ィ匕することもできる。

実施例

[0062] 以下、本発明に係る基板収納容器及びその位置決め方法の実施例を比較例と共に説明する。

実施例 1

先ず、図 8に示すように、 SEMI規格に基づく寸法で製作されたボトムプレート用の測定治具を用意し、この測定治具上に、第 1の実施形態で示した位置決め体付きの基板収納容器を空の状態で搭載し、正規の位置から図 9に示す位置に移動させて手を離した場合に元の位置に復帰するか否かを試験サンプル 10個で確認し、表 1にまとめた。

[0063] 実施例 2

上記測定治具上に、第 2の実施形態で示した位置決め体付きの基板収納容器を空の状態で搭載し、正規の位置力図 9に示す位置に移動させて手を離した場合に元の位置に復帰するカゝ否かを試験サンプル 10個で確認し、表 1にまとめた。

[0064] 比較例

上記測定治具上に、図 10ないし図 12に示す従来の位置決め体付きの基板収納容器を空の状態で搭載し、正規の位置力図 9に示す位置に移動させて手を離した場合に元の位置に復帰するか否かを試験サンプル 10個で確認し、表 1にまとめた。

[0065] [表 1] 位置決めピンに対する乗り上げの有無の確認

位置決めピンに対する乗り上げの有無実施例 1 無（0 / 1 0 )

実施例 2 無（0 / 1 0 )

比較例有（9ノ1 0 )

Claims

請求の範囲

[1] 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体と、容器本体の底部に設けられる複数の位置決め体とを備えた基板収納容器であって、各位置決め体は、間隔をおいて相対向する複数の長片と、この複数の長片の間のうち、少なくとも複数の長片の端部間の下方に位置する複数の短片とを含み、これら複数の長片と短片のうち、少なくとも各短片の内面を容器本体の底部力下方向に向力うにしたがい徐々に広がるよう傾斜させるとともに、内面の上部を複数の長片間まで延長したことを特徴とする基板収納容器。

[2] 容器本体の底部を、容器本体の底面と、この容器本体の底面に取り付けられるプレートとから構成し、

容器本体の底面に、間隔をお、て相対向する一対の平行リブを複数配列して各対の平行リブを位置決め体の複数の長片とし、プレートに、一対の平行リブを囲む中空のトラックを複数配列して各トラックの湾曲部を位置決め体の複数の短片とした請求項 1記載の基板収納容器。

[3] 蓋体に内蔵され、容器本体の正面を覆う蓋体を施錠する施錠機構を備え、この施錠機構は、蓋体に支持されて外部からの操作で回転する回転体と、この回転体の回転に基づいて蓋体の内外方向に進退動する複数の進退動体と、各進退動体に設けられ、進退動体の進退動により蓋体の周囲から出没して容器本体の正面内周の凹部に挿入される係止部とを含んでなる請求項 1記載の基板収納容器。

[4] 容器本体のプレートを、カーボン繊維、ガラス繊維、カーボンパウダー、フラーレン、カーボンナノチューブ、合成繊維、金属繊維、フッ素榭脂、シリコーン、タルク、マイ力からなる一群の添加剤を少なくとも一種類含有するポリカーボネート、ポリプチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフオン、ポリアセタール、液晶ポリマーの一群力も選択される少なくとも一種類の熱可塑性榭脂を用いて形成した請求項 2記載の基板収納容器。

[5] 各位置決め体は、複数の長片をその長手方向に分割し、容器本体の底部から下方向に向かうにしたが!、細くなる区画ブロックを含んでなる請求項 2記載の基板収納谷器。

[6] 各位置決め体の区画ブロックを中空の円錐形に形成した請求項 5記載の基板収納谷器。

[7] 加工装置の複数の位置決めピンに複数の位置決め体を介して搭載される基板収納容器であって、

各位置決め体に、その長手方向と短手方向とでそれぞれ向き合う一対の内面を形成し、加工装置の複数の位置決めピンに位置決め体をそれぞれ嵌め合わせる場合に、各位置決め体の四つの内面のうち、少なくとも三つの内面を位置決めピンに接触させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。

[8] 各位置決め体の長手方向で向き合う一対の内面を、一対の平行リブの内面とした請求項 7記載の基板収納容器。

[9] 加工装置の複数の位置決めピンに複数の位置決め体を介して搭載される基板収納容器の位置決め方法であって、

各位置決め体に、その長手方向と短手方向とでそれぞれ向き合う一対の内面を形成し、加工装置の複数の位置決めピンに位置決め体をそれぞれ嵌め合わせる際に、各位置決め体の四つの内面のうち、少なくとも三つの内面を位置決めピンに接触させることを特徴とする基板収納容器の位置決め方法。