JP2000058633A - 精密基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 容器本体の開口部から取り外した蓋体を再び
容器本体の開口部に装着する場合の蓋体のがたつきを防
止し、蓋体の施錠の容易化や汚染物発生の抑制防止が図
れる精密基板収納容器を提供する。 【解決手段】 ポッド１に複数枚のウェーハを整列収納
するものであって、ポッド１の開口正面をシール可能に
開閉する中空の蓋体９と、蓋体９の閉塞時にポッド１の
開口正面内に蓋体９を案内して位置決めするガイド手段
１４とを備える。そして、このガイド手段１４を、ポッ
ド１の開口正面の少なくとも下部に成形されて先端部に
向かうにしたがい外方に広がる第一の傾斜ガイド部１５
と、蓋体９の周面の少なくとも下部に成形されて蓋体９
の裏面側から表面側に向かうにしたがい外方に広がり、
蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に接触する第
二の傾斜ガイド部１６とから構成する。
容器本体の開口部に装着する場合の蓋体のがたつきを防
止し、蓋体の施錠の容易化や汚染物発生の抑制防止が図
れる精密基板収納容器を提供する。 【解決手段】 ポッド１に複数枚のウェーハを整列収納
するものであって、ポッド１の開口正面をシール可能に
開閉する中空の蓋体９と、蓋体９の閉塞時にポッド１の
開口正面内に蓋体９を案内して位置決めするガイド手段
１４とを備える。そして、このガイド手段１４を、ポッ
ド１の開口正面の少なくとも下部に成形されて先端部に
向かうにしたがい外方に広がる第一の傾斜ガイド部１５
と、蓋体９の周面の少なくとも下部に成形されて蓋体９
の裏面側から表面側に向かうにしたがい外方に広がり、
蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に接触する第
二の傾斜ガイド部１６とから構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アルミディスク、
半導体ウェーハ、若しくはマスクガラス等からなる精密
基板の収納、保管、工程内加工、又は輸送等に使用され
る精密基板収納容器に関し、より詳しくは、半導体ウェ
ーハの加工に使用される標準化された機械的インターフ
ェイスを有する装置に接続可能な精密基板収納容器の容
器本体、蓋体、及びロック機構の改良に関するものであ
る。
半導体ウェーハ、若しくはマスクガラス等からなる精密
基板の収納、保管、工程内加工、又は輸送等に使用され
る精密基板収納容器に関し、より詳しくは、半導体ウェ
ーハの加工に使用される標準化された機械的インターフ
ェイスを有する装置に接続可能な精密基板収納容器の容
器本体、蓋体、及びロック機構の改良に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の精密基板収納容器は、図示しない
が、複数枚の半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称す
る)等を整列収納するポッド(Pod)と、このポッドの開口
正面をシール可能に開閉する中空の蓋体と、この蓋体の
閉塞時にその閉塞状態を維持するロック手段とを備えて
いる。
が、複数枚の半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称す
る)等を整列収納するポッド(Pod)と、このポッドの開口
正面をシール可能に開閉する中空の蓋体と、この蓋体の
閉塞時にその閉塞状態を維持するロック手段とを備えて
いる。
【０００３】ロック手段は、インナロックタイプと、ア
ウターロックタイプとに分類される。インナロックタイ
プのロック手段は、ポッドの開口正面の内周面上下にそ
れぞれ凹設成形される複数のクランプ穴と、この複数の
クランプ穴に対応して蓋体の周面上下に穿孔成形される
複数の貫通孔と、蓋体の内部中央に軸支されて外部から
のアクセスで回転する回転カムと、この回転カムの表面
外周の連結ピンに運動方向変換用の案内溝を介して遊嵌
される上下一対のラッチプレートとから構成されてい
る。各ラッチプレートは、大きな剛性を確保することが
できるよう金属を用いて形成され、その先端部にはクラ
ンプ穴に貫通孔を介して係止する係止爪が突出形成され
ている。
ウターロックタイプとに分類される。インナロックタイ
プのロック手段は、ポッドの開口正面の内周面上下にそ
れぞれ凹設成形される複数のクランプ穴と、この複数の
クランプ穴に対応して蓋体の周面上下に穿孔成形される
複数の貫通孔と、蓋体の内部中央に軸支されて外部から
のアクセスで回転する回転カムと、この回転カムの表面
外周の連結ピンに運動方向変換用の案内溝を介して遊嵌
される上下一対のラッチプレートとから構成されてい
る。各ラッチプレートは、大きな剛性を確保することが
できるよう金属を用いて形成され、その先端部にはクラ
ンプ穴に貫通孔を介して係止する係止爪が突出形成され
ている。
【０００４】これに対してアウターロックタイプのロッ
ク手段は、ポッドの開口正面の外周部に揺動可能に成形
された複数の係止片と、蓋体の周面に突出成形された複
数の凸部とから構成されている。そして、これら複数の
係止片と凸部とは、蓋体の閉塞時に係止するよう機能す
る。
ク手段は、ポッドの開口正面の外周部に揺動可能に成形
された複数の係止片と、蓋体の周面に突出成形された複
数の凸部とから構成されている。そして、これら複数の
係止片と凸部とは、蓋体の閉塞時に係止するよう機能す
る。
【０００５】上記構成において、ウェーハを収納、保
管、又は輸送等したい場合には、先ず、ポッドに複数枚
のウェーハが順次収納され、ポッドの開口正面内に蓋体
がシール状態に嵌合され、その後、図示しない加工装置
のドア開閉装置により例えば回転カムが一方向に回転し
て施錠操作される。すると、各ラッチプレートが蓋体の
内部内方向から内部外方向に直線的に突出し、クランプ
穴に係止爪が係止し、蓋体の固定状態が維持される。
管、又は輸送等したい場合には、先ず、ポッドに複数枚
のウェーハが順次収納され、ポッドの開口正面内に蓋体
がシール状態に嵌合され、その後、図示しない加工装置
のドア開閉装置により例えば回転カムが一方向に回転し
て施錠操作される。すると、各ラッチプレートが蓋体の
内部内方向から内部外方向に直線的に突出し、クランプ
穴に係止爪が係止し、蓋体の固定状態が維持される。
【０００６】反対に、収納、保管、又は輸送等されたウ
ェーハを処理したい場合には、先ず、加工装置のドア開
閉装置により回転カムが他方向に回転して解錠操作され
る。すると、各ラッチプレートが蓋体の内部外方向から
内部内方向に直線的に復帰し、クランプ穴から係止爪が
外れ、蓋体が開放可能となる。こうして蓋体が開放可能
となったら、ポッドから蓋体が真空吸着等により取り外
された後、ポッドの下方から複数枚のウェーハが順次取
り出され、ウェーハに所定の処理が施される。
ェーハを処理したい場合には、先ず、加工装置のドア開
閉装置により回転カムが他方向に回転して解錠操作され
る。すると、各ラッチプレートが蓋体の内部外方向から
内部内方向に直線的に復帰し、クランプ穴から係止爪が
外れ、蓋体が開放可能となる。こうして蓋体が開放可能
となったら、ポッドから蓋体が真空吸着等により取り外
された後、ポッドの下方から複数枚のウェーハが順次取
り出され、ウェーハに所定の処理が施される。
【０００７】なお、この種の関連先行技術文献として、
特開平９−８８３９８号、８−３４００４３号、特表平
４−５０５２３４号、又は７−５０４５３６号公報等が
あげられる。
特開平９−８８３９８号、８−３４００４３号、特表平
４−５０５２３４号、又は７−５０４５３６号公報等が
あげられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の精密基板収納容
器は、以上のようにポッドの開口正面に蓋体を単に嵌合
したり、あるいは単に取り外すよう構成され、繰り返し
使用される蓋体のがたつきについてはなんら考慮されて
いなかった。また、蓋体の取り外し時に蓋体を保持する
加工装置の動作の繰り返し精度等のバラツキによる蓋体
とポッドとの位置ずれについても考慮されていなかっ
た。しかしながら、蓋体ががたついたり、蓋体の嵌合位
置が狂うと、蓋体の嵌合時にクランプ穴、貫通孔、及び
係止爪が位置ずれし、蓋体の施錠が困難化したり、ポッ
ドの開口正面と蓋体のエッジ部とが擦れてパーティクル
(particle：浮遊塵埃)等の汚染物を発生させることとな
る。
器は、以上のようにポッドの開口正面に蓋体を単に嵌合
したり、あるいは単に取り外すよう構成され、繰り返し
使用される蓋体のがたつきについてはなんら考慮されて
いなかった。また、蓋体の取り外し時に蓋体を保持する
加工装置の動作の繰り返し精度等のバラツキによる蓋体
とポッドとの位置ずれについても考慮されていなかっ
た。しかしながら、蓋体ががたついたり、蓋体の嵌合位
置が狂うと、蓋体の嵌合時にクランプ穴、貫通孔、及び
係止爪が位置ずれし、蓋体の施錠が困難化したり、ポッ
ドの開口正面と蓋体のエッジ部とが擦れてパーティクル
(particle：浮遊塵埃)等の汚染物を発生させることとな
る。
【０００９】また、近年、半導体集積回路の高密度化、
微細化、及び生産効率の向上等を図るため、ウェーハ等
の口径の大型化(３００mm)について合意がなされ、鋭意
研究や開発がなされているが、例えば３００mmウェーハ
を収納するため、ポッドを単に大型化すると、以下の問
題が生じる。先ず、ポッドが大型化すると、施錠操作時
に各ラッチプレートが撓み、ポッドの全開口正面を十
分、かつ均一にシールできないおそれがある。さらに、
従来においては、金属材料を使用して各ラッチプレート
が形成されているが、これでは、蓋体の洗浄に支障を来
し、ウェーハの汚染という重大な問題も生じる。
微細化、及び生産効率の向上等を図るため、ウェーハ等
の口径の大型化(３００mm)について合意がなされ、鋭意
研究や開発がなされているが、例えば３００mmウェーハ
を収納するため、ポッドを単に大型化すると、以下の問
題が生じる。先ず、ポッドが大型化すると、施錠操作時
に各ラッチプレートが撓み、ポッドの全開口正面を十
分、かつ均一にシールできないおそれがある。さらに、
従来においては、金属材料を使用して各ラッチプレート
が形成されているが、これでは、蓋体の洗浄に支障を来
し、ウェーハの汚染という重大な問題も生じる。
【００１０】本発明は、上記問題に鑑みなされたもの
で、容器本体の開口部から取り外した蓋体を再び容器本
体の開口部に装着する場合の蓋体のがたつきを防止して
蓋体の施錠の容易化や汚染物発生の抑制防止を図ること
のできる精密基板収納容器を提供することを目的として
いる。また、例え容器本体を大型化しても、容器本体の
開口部を適切にシールでき、精密基板の汚染の抑制防止
を図ることのできる精密基板収納容器を提供することを
他の目的としている。
で、容器本体の開口部から取り外した蓋体を再び容器本
体の開口部に装着する場合の蓋体のがたつきを防止して
蓋体の施錠の容易化や汚染物発生の抑制防止を図ること
のできる精密基板収納容器を提供することを目的として
いる。また、例え容器本体を大型化しても、容器本体の
開口部を適切にシールでき、精密基板の汚染の抑制防止
を図ることのできる精密基板収納容器を提供することを
他の目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の第一の発
明においては、上記課題を達成するため、容器本体に精
密基板を収納するものであって、該容器本体の一端面に
形成された開口部と、この開口部をシール可能に開閉す
る蓋体と、この蓋体の閉塞時に該容器本体の開口部内に
該蓋体を案内して位置決めするガイド手段とを含んでな
ることを特徴としている。なお、上記ガイド手段を、上
記開口部の少なくとも下部に形成されて先端部に向かう
にしたがい外方に広がる第一の傾斜ガイド部と、上記蓋
体の周面の少なくとも下部に形成されて該蓋体の裏面側
から表面側に向かうにしたがい外方に広がり、該蓋体の
閉塞時に該第一の傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガ
イド部とから構成することができる。
明においては、上記課題を達成するため、容器本体に精
密基板を収納するものであって、該容器本体の一端面に
形成された開口部と、この開口部をシール可能に開閉す
る蓋体と、この蓋体の閉塞時に該容器本体の開口部内に
該蓋体を案内して位置決めするガイド手段とを含んでな
ることを特徴としている。なお、上記ガイド手段を、上
記開口部の少なくとも下部に形成されて先端部に向かう
にしたがい外方に広がる第一の傾斜ガイド部と、上記蓋
体の周面の少なくとも下部に形成されて該蓋体の裏面側
から表面側に向かうにしたがい外方に広がり、該蓋体の
閉塞時に該第一の傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガ
イド部とから構成することができる。
【００１２】また、上記ガイド手段を、上記開口部の少
なくとも下部と上記蓋体の周面の少なくとも下部のいず
れか一方に形成される嵌合凹部と、該開口部の少なくと
も下部と該蓋体の周面の少なくとも下部のいずれか他方
に形成されて該蓋体の閉塞時に該嵌合凹部に嵌まる嵌合
凸部とから構成し、これら嵌合凹部と嵌合凸部の接触面
をそれぞれ上記容器本体の他端面方向から該開口部方向
に向かうにしたがい外方に広がるよう傾斜させることが
できる。また、上記ガイド手段を、上記開口部の少なく
とも下部に形成されて先端部に向かうにしたがい外方に
広がる第一の傾斜ガイド部と、上記蓋体の周面の少なく
とも下部に形成されて該蓋体の裏面側から表面側に向か
うにしたがい外方に広がり、該蓋体の閉塞時に該第一の
傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガイド部と、これら
第一の傾斜ガイド部と第二の傾斜ガイド部のいずれか一
方に弾性支持され、上記蓋体の閉塞時に該第一の傾斜ガ
イド部と該第二の傾斜ガイド部のいずれか他方に圧力作
用状態で接触する摩擦低減部材とから構成することが可
能である。
なくとも下部と上記蓋体の周面の少なくとも下部のいず
れか一方に形成される嵌合凹部と、該開口部の少なくと
も下部と該蓋体の周面の少なくとも下部のいずれか他方
に形成されて該蓋体の閉塞時に該嵌合凹部に嵌まる嵌合
凸部とから構成し、これら嵌合凹部と嵌合凸部の接触面
をそれぞれ上記容器本体の他端面方向から該開口部方向
に向かうにしたがい外方に広がるよう傾斜させることが
できる。また、上記ガイド手段を、上記開口部の少なく
とも下部に形成されて先端部に向かうにしたがい外方に
広がる第一の傾斜ガイド部と、上記蓋体の周面の少なく
とも下部に形成されて該蓋体の裏面側から表面側に向か
うにしたがい外方に広がり、該蓋体の閉塞時に該第一の
傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガイド部と、これら
第一の傾斜ガイド部と第二の傾斜ガイド部のいずれか一
方に弾性支持され、上記蓋体の閉塞時に該第一の傾斜ガ
イド部と該第二の傾斜ガイド部のいずれか他方に圧力作
用状態で接触する摩擦低減部材とから構成することが可
能である。
【００１３】また、請求項５記載の第二の発明において
は、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器
本体と、この容器本体の開口一端面をシール可能に開閉
するほぼ中空の蓋体と、この蓋体を閉塞状態に固定する
ロック手段とを含んでなるものであって、該ロック手段
は、上記容器本体の開口一端面の内周面に形成されるク
ランプ穴と、上記蓋体の周面に設けられる貫通孔と、該
蓋体に内蔵されて外部からの操作で回転する回転体と、
この回転体の回転で該蓋体の内部内外方向に進退動する
動力伝達部材と、この動力伝達部材の進出時に上記貫通
孔から突出して上記クランプ穴に嵌まり、該動力伝達部
材の後退時には該貫通孔内に復帰するクランプ部材とを
含んでなることを特徴としている。
は、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器
本体と、この容器本体の開口一端面をシール可能に開閉
するほぼ中空の蓋体と、この蓋体を閉塞状態に固定する
ロック手段とを含んでなるものであって、該ロック手段
は、上記容器本体の開口一端面の内周面に形成されるク
ランプ穴と、上記蓋体の周面に設けられる貫通孔と、該
蓋体に内蔵されて外部からの操作で回転する回転体と、
この回転体の回転で該蓋体の内部内外方向に進退動する
動力伝達部材と、この動力伝達部材の進出時に上記貫通
孔から突出して上記クランプ穴に嵌まり、該動力伝達部
材の後退時には該貫通孔内に復帰するクランプ部材とを
含んでなることを特徴としている。
【００１４】なお、上記回転体に設けられて上記動力伝
達部材に連結され、該回転体の回転時に該動力伝達部材
に直線運動させる連結突部と、上記蓋体の内部に設けら
れる該動力伝達部材用のガイド部材とを含み、該動力伝
達部材と上記連結突部との接触部、及び又は該動力伝達
部材と該ガイド部材との接触部に回転可能な摩擦低減部
材を取り付けることが可能である。
達部材に連結され、該回転体の回転時に該動力伝達部材
に直線運動させる連結突部と、上記蓋体の内部に設けら
れる該動力伝達部材用のガイド部材とを含み、該動力伝
達部材と上記連結突部との接触部、及び又は該動力伝達
部材と該ガイド部材との接触部に回転可能な摩擦低減部
材を取り付けることが可能である。
【００１５】また、上記クランプ部材を、上記動力伝達
部材の先端部に回転可能に取り付けられる第一のアーム
と、この第一のアームの先端部に取り付けられる第二の
アームとをから構成し、この第二のアームを屈曲形成し
てその先端部を上記クランプ穴用の嵌入押さえ部とする
とともに、該第二のアームの末端部を上記貫通孔の内部
近傍に支持させ、該第二のアームを上記蓋体の内外方向
に回転可能とすることが好ましい。
部材の先端部に回転可能に取り付けられる第一のアーム
と、この第一のアームの先端部に取り付けられる第二の
アームとをから構成し、この第二のアームを屈曲形成し
てその先端部を上記クランプ穴用の嵌入押さえ部とする
とともに、該第二のアームの末端部を上記貫通孔の内部
近傍に支持させ、該第二のアームを上記蓋体の内外方向
に回転可能とすることが好ましい。
【００１６】ここで、特許請求の範囲における容器本体
や蓋体は、ポリカーボネイト、アクリルニトリル、ポリ
ブチレンテレフタレート、PEEK、PEI、PES、又はポリプロピ
レン等の樹脂を用いて成形することができる。また、必
要に応じて帯電防止処理や着色を施すこともできる。３
００mmウェーハキャリアとして使用される場合、容器本
体の外観は、ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１−００９７、及び
修正バロットにほぼ準拠して構成することが可能であ
る。また、精密基板には、少なくとも情報通信、電気、
電子、又は半導体等の製造分野で使用される単数複数
(例えば、１３枚又は２５枚)のアルミディスク、液晶セ
ル、石英ガラス、半導体ウェーハ(シリコンウェーハ
等)、又はマスク基板等が含まれる。精密基板が半導体
ウェーハの場合、大口径(例えば、２００mm〜３００mm
以上)の半導体ウェーハが含まれる。
や蓋体は、ポリカーボネイト、アクリルニトリル、ポリ
ブチレンテレフタレート、PEEK、PEI、PES、又はポリプロピ
レン等の樹脂を用いて成形することができる。また、必
要に応じて帯電防止処理や着色を施すこともできる。３
００mmウェーハキャリアとして使用される場合、容器本
体の外観は、ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１−００９７、及び
修正バロットにほぼ準拠して構成することが可能であ
る。また、精密基板には、少なくとも情報通信、電気、
電子、又は半導体等の製造分野で使用される単数複数
(例えば、１３枚又は２５枚)のアルミディスク、液晶セ
ル、石英ガラス、半導体ウェーハ(シリコンウェーハ
等)、又はマスク基板等が含まれる。精密基板が半導体
ウェーハの場合、大口径(例えば、２００mm〜３００mm
以上)の半導体ウェーハが含まれる。
【００１７】第一の傾斜ガイド部は、最低限容器本体の
開口部の下部に形成すれば良く、容器本体の開口部の上
部、一側部、及び又は他側部に形成することも可能であ
る。また、第二の傾斜ガイド部は、最低限蓋体の下部に
形成すれば良く、蓋体の上部、一側部、及び又は他側部
に形成することができる。また、ロック手段を構成する
回転体、動力伝達部材、クランプ部材、及び又は摩擦低
減部材は、摺動性が良好で、しかも、十分な強度を有す
る樹脂材料を用いて構成することができる。例えば、ポ
リアセタール樹脂、PEEK、ポリカーボネイト、PPS、ポリ
ブチレンテレフタレート、PEI、又はフッ素樹脂等の使用
が考えられる。また、フッ素樹脂が含有されて摺動性の
改質された各種樹脂を用いることが可能である。さら
に、機械的強度を向上させるべく、上記樹脂にガラス繊
維、ガラスビーズ、又はタルク等の充填剤を加えること
もできるし、上記樹脂に金属部品をインサートして成形
することもできる。
開口部の下部に形成すれば良く、容器本体の開口部の上
部、一側部、及び又は他側部に形成することも可能であ
る。また、第二の傾斜ガイド部は、最低限蓋体の下部に
形成すれば良く、蓋体の上部、一側部、及び又は他側部
に形成することができる。また、ロック手段を構成する
回転体、動力伝達部材、クランプ部材、及び又は摩擦低
減部材は、摺動性が良好で、しかも、十分な強度を有す
る樹脂材料を用いて構成することができる。例えば、ポ
リアセタール樹脂、PEEK、ポリカーボネイト、PPS、ポリ
ブチレンテレフタレート、PEI、又はフッ素樹脂等の使用
が考えられる。また、フッ素樹脂が含有されて摺動性の
改質された各種樹脂を用いることが可能である。さら
に、機械的強度を向上させるべく、上記樹脂にガラス繊
維、ガラスビーズ、又はタルク等の充填剤を加えること
もできるし、上記樹脂に金属部品をインサートして成形
することもできる。
【００１８】請求項１記載の発明によれば、容器本体の
開口部に蓋体がシール状態に嵌め入れられる際、蓋体
は、容器本体や蓋体に設けられたガイド手段の案内作用
により、上下左右の位置がシール状態で精度良く定めら
れる。また、請求項４記載の発明によれば、容器本体の
第一の傾斜ガイド部に蓋体の第二の傾斜ガイド部が案内
されて蓋体がシール状態に嵌められていくと、第一、又
は第二の傾斜ガイド部に接触する摩擦低減部材が蓋体内
又は容器本体内に押し込まれて後退する。
開口部に蓋体がシール状態に嵌め入れられる際、蓋体
は、容器本体や蓋体に設けられたガイド手段の案内作用
により、上下左右の位置がシール状態で精度良く定めら
れる。また、請求項４記載の発明によれば、容器本体の
第一の傾斜ガイド部に蓋体の第二の傾斜ガイド部が案内
されて蓋体がシール状態に嵌められていくと、第一、又
は第二の傾斜ガイド部に接触する摩擦低減部材が蓋体内
又は容器本体内に押し込まれて後退する。
【００１９】また、請求項５記載の発明によれば、容器
本体の開口部を覆う蓋体のロック手段が施錠操作される
と、回転体が一方向に回転し、動力伝達部材が蓋体の内
部内方向から内部外方向に進出してクランプ部材を連動
させ、このクランプ部材が蓋体の内部外方向に回転して
クランプ穴に貫通孔を介して引っかかり、蓋体の固定状
態が維持される。また、請求項６記載の発明によれば、
動力伝達部材と連結突部との接触部、及び又は動力伝達
部材とガイド部材との接触部に位置する摩擦低減部材が
回転して擦れを抑制し、容器本体と蓋体の接触時の発塵
を抑制あるいは防止する。
本体の開口部を覆う蓋体のロック手段が施錠操作される
と、回転体が一方向に回転し、動力伝達部材が蓋体の内
部内方向から内部外方向に進出してクランプ部材を連動
させ、このクランプ部材が蓋体の内部外方向に回転して
クランプ穴に貫通孔を介して引っかかり、蓋体の固定状
態が維持される。また、請求項６記載の発明によれば、
動力伝達部材と連結突部との接触部、及び又は動力伝達
部材とガイド部材との接触部に位置する摩擦低減部材が
回転して擦れを抑制し、容器本体と蓋体の接触時の発塵
を抑制あるいは防止する。
【００２０】また、請求項７記載の発明によれば、ロッ
ク手段が施錠操作されると、回転体が一方向に回転し、
動力伝達部材が蓋体の内部内方向から内部外方向に進出
してクランプ部材の第一のアームを連動させ、クランプ
部材の第二のアームが蓋体の内部外方向に回転して貫通
孔から嵌入押さえ部を突出させ、この嵌入押さえ部がク
ランプ穴に引っかかって蓋体の固定状態を維持する。こ
の際、第二のアームの嵌入押さえ部は、動力伝達部材と
ほぼ一直線となった状態でクランプ穴に引っかかる。し
たがって、回転体に作用する外力がクランプ部材に良好
な状態で伝達される。
ク手段が施錠操作されると、回転体が一方向に回転し、
動力伝達部材が蓋体の内部内方向から内部外方向に進出
してクランプ部材の第一のアームを連動させ、クランプ
部材の第二のアームが蓋体の内部外方向に回転して貫通
孔から嵌入押さえ部を突出させ、この嵌入押さえ部がク
ランプ穴に引っかかって蓋体の固定状態を維持する。こ
の際、第二のアームの嵌入押さえ部は、動力伝達部材と
ほぼ一直線となった状態でクランプ穴に引っかかる。し
たがって、回転体に作用する外力がクランプ部材に良好
な状態で伝達される。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の第
一の発明の実施形態を説明するが、この第一の発明は以
下の実施形態になんら限定されるものではない。本実施
形態における精密基板収納容器は、図１や図２に示すよ
うに、図示しない複数枚(例えば２５枚)のウェーハを整
列収納するポッド１と、このポッド１の開口正面をシー
ル可能に開閉する中空の蓋体９と、この蓋体９の閉塞時
に容器本体の開口正面内に蓋体９を案内して位置決めす
るガイド手段１４と、蓋体９の閉塞時にその閉塞状態を
維持するインナロックタイプのロック手段１８とを備え
ている。
一の発明の実施形態を説明するが、この第一の発明は以
下の実施形態になんら限定されるものではない。本実施
形態における精密基板収納容器は、図１や図２に示すよ
うに、図示しない複数枚(例えば２５枚)のウェーハを整
列収納するポッド１と、このポッド１の開口正面をシー
ル可能に開閉する中空の蓋体９と、この蓋体９の閉塞時
に容器本体の開口正面内に蓋体９を案内して位置決めす
るガイド手段１４と、蓋体９の閉塞時にその閉塞状態を
維持するインナロックタイプのロック手段１８とを備え
ている。
【００２２】ポッド１は、図１に示すように、軽量性や
成形性等に優れるポリカーボネイト等の合成樹脂を用い
て透視可能な透明のフロントオープンボックスに成形さ
れている。このポッド１は、変形しないよう十分な強
度、剛性、及び寸法安定性が確保され、AGV(Auto Guide
d Vehicle)等の自動搬送装置の正常な作動を保障する。
ポッド１の天井の中央部にはロボティックフランジ２が
締結具を介して螺着され、このロボティックフランジ２
が図示しない天井搬送機に把持されることにより、ポッ
ド１が搬送される。
成形性等に優れるポリカーボネイト等の合成樹脂を用い
て透視可能な透明のフロントオープンボックスに成形さ
れている。このポッド１は、変形しないよう十分な強
度、剛性、及び寸法安定性が確保され、AGV(Auto Guide
d Vehicle)等の自動搬送装置の正常な作動を保障する。
ポッド１の天井の中央部にはロボティックフランジ２が
締結具を介して螺着され、このロボティックフランジ２
が図示しない天井搬送機に把持されることにより、ポッ
ド１が搬送される。
【００２３】ポッド１の底面には、図２に示すように、
円筒形を呈した複数の取付ボス３が所定の間隔をおいて
突出成形され、この複数の取付ボス３には平面ほぼＹ字
形のボトムプレート４が締結具(図示せず)を介し着脱自
在に装着されており、このボトムプレート４の前部両側
と後部にはキネマティックカップリングからなる位置決
め具５が締結具を介しそれぞれ着脱自在に装着されてい
る(図１参照)。また、ポッド１の両外側面には、マニュ
アル運搬用のサイドハンドル６がそれぞれ着脱自在に装
着される。
円筒形を呈した複数の取付ボス３が所定の間隔をおいて
突出成形され、この複数の取付ボス３には平面ほぼＹ字
形のボトムプレート４が締結具(図示せず)を介し着脱自
在に装着されており、このボトムプレート４の前部両側
と後部にはキネマティックカップリングからなる位置決
め具５が締結具を介しそれぞれ着脱自在に装着されてい
る(図１参照)。また、ポッド１の両外側面には、マニュ
アル運搬用のサイドハンドル６がそれぞれ着脱自在に装
着される。
【００２４】ポッド１の内部両側には図１に部分的に示
すように、相対向する一対のカラム７がそれぞれ着脱自
在に立設され、ポッド１の内部背面には図示しないリヤ
リテーナが着脱自在に立設固定されている。これら一対
のカラム７の対向面とリヤリテーナの表面には断面ほぼ
Ｕ字形又は断面ほぼＶ字形の支持スロット８が上下方向
に並べて複数成形され、各支持スロット８にウェーハの
周縁部が支持される。このような構成の一対のカラム７
とリヤリテーナとは、複数枚のウェーハを水平に支持し
た状態で上下方向に所定のピッチで整列させるととも
に、複数枚のウェーハの振動を有効に防止する。
すように、相対向する一対のカラム７がそれぞれ着脱自
在に立設され、ポッド１の内部背面には図示しないリヤ
リテーナが着脱自在に立設固定されている。これら一対
のカラム７の対向面とリヤリテーナの表面には断面ほぼ
Ｕ字形又は断面ほぼＶ字形の支持スロット８が上下方向
に並べて複数成形され、各支持スロット８にウェーハの
周縁部が支持される。このような構成の一対のカラム７
とリヤリテーナとは、複数枚のウェーハを水平に支持し
た状態で上下方向に所定のピッチで整列させるととも
に、複数枚のウェーハの振動を有効に防止する。
【００２５】蓋体９は、図１や図２に示すように、ポッ
ド１と同様の合成樹脂を用いて成形された表面プレート
１０と、表面が開口したほぼ箱形の裏面プレート１１と
から構成され、この裏面プレート１１の開口表面に表面
プレート１０が締結具を介して覆着されている。裏面プ
レート１１の中央部にはリヤリテーナと相対向する同構
成のフロントリテーナ１２が着脱自在に装着固定され、
裏面プレート１１の外周には枠形のシールガスケット１
３が突起や溝等を介し着脱自在に嵌合されている。
ド１と同様の合成樹脂を用いて成形された表面プレート
１０と、表面が開口したほぼ箱形の裏面プレート１１と
から構成され、この裏面プレート１１の開口表面に表面
プレート１０が締結具を介して覆着されている。裏面プ
レート１１の中央部にはリヤリテーナと相対向する同構
成のフロントリテーナ１２が着脱自在に装着固定され、
裏面プレート１１の外周には枠形のシールガスケット１
３が突起や溝等を介し着脱自在に嵌合されている。
【００２６】シールガスケット１３は、ポリオレフィン
系やポリエスエル系の各種熱可塑性エラストマ、あるい
はフッ素ゴムやシリコーンゴム等を用いてガスケットと
して成形される。また、好ましくは、ウェーハを汚染す
る有機成分の発生が少なく、JISに定められたK6301Aの
測定方法による硬度が８０°以下の成形材料を使用して
成形される。
系やポリエスエル系の各種熱可塑性エラストマ、あるい
はフッ素ゴムやシリコーンゴム等を用いてガスケットと
して成形される。また、好ましくは、ウェーハを汚染す
る有機成分の発生が少なく、JISに定められたK6301Aの
測定方法による硬度が８０°以下の成形材料を使用して
成形される。
【００２７】ガイド手段１４は、図１や図２に示すよう
に、ポッド１の開口正面の上下左右にそれぞれ傾斜成形
されて末端部(図２の左側)から先端部(図２の右側)に向
かうにしたがい徐々にポッド１の内部内方から外方に広
がる第一の傾斜ガイド部１５と、蓋体９の全周面に傾斜
成形されて蓋体９の裏面プレート１１側から表面プレー
ト１０側に向かうにしたがい徐々に蓋体９の内部内方か
ら外方に広がる第二の傾斜ガイド部１６とから構成さ
れ、蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に第二の
傾斜ガイド部１６が接触して位置決めするよう機能す
る。第一の傾斜ガイド部１５の末端部はシール面１７と
され、このシール面１７にシールガスケット１３が蓋体
９の閉塞時に圧接されて変形し、強固な高シール状態が
確保される。
に、ポッド１の開口正面の上下左右にそれぞれ傾斜成形
されて末端部(図２の左側)から先端部(図２の右側)に向
かうにしたがい徐々にポッド１の内部内方から外方に広
がる第一の傾斜ガイド部１５と、蓋体９の全周面に傾斜
成形されて蓋体９の裏面プレート１１側から表面プレー
ト１０側に向かうにしたがい徐々に蓋体９の内部内方か
ら外方に広がる第二の傾斜ガイド部１６とから構成さ
れ、蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に第二の
傾斜ガイド部１６が接触して位置決めするよう機能す
る。第一の傾斜ガイド部１５の末端部はシール面１７と
され、このシール面１７にシールガスケット１３が蓋体
９の閉塞時に圧接されて変形し、強固な高シール状態が
確保される。
【００２８】さらに、ロック手段１８は、図１に示すよ
うに、例えば、ポッド１の開口正面の上下における第一
の傾斜ガイド部１５にそれぞれ凹設成形される複数のク
ランプ穴１９と、この複数のクランプ穴１９に対応して
蓋体９の上下における第二の傾斜ガイド部１６にそれぞ
れ穿孔成形される複数の貫通孔２０と、蓋体９の内部両
側に軸支されて外部から表面プレート１０の鍵孔２１を
介したアクセスで回転する一対の回転カムと、各回転カ
ムの表面外周の連結ピンに運動方向変換用の案内溝を介
して遊嵌される上下一対のラッチプレートとから構成さ
れている。各ラッチプレートは、各種の金属や合成樹脂
を用いて矩形に成形され、その先端部にはクランプ穴１
９に貫通孔２０を介して係止する係止爪が突出成形され
ている。
うに、例えば、ポッド１の開口正面の上下における第一
の傾斜ガイド部１５にそれぞれ凹設成形される複数のク
ランプ穴１９と、この複数のクランプ穴１９に対応して
蓋体９の上下における第二の傾斜ガイド部１６にそれぞ
れ穿孔成形される複数の貫通孔２０と、蓋体９の内部両
側に軸支されて外部から表面プレート１０の鍵孔２１を
介したアクセスで回転する一対の回転カムと、各回転カ
ムの表面外周の連結ピンに運動方向変換用の案内溝を介
して遊嵌される上下一対のラッチプレートとから構成さ
れている。各ラッチプレートは、各種の金属や合成樹脂
を用いて矩形に成形され、その先端部にはクランプ穴１
９に貫通孔２０を介して係止する係止爪が突出成形され
ている。
【００２９】上記構成において、ウェーハを収納する場
合には、先ず、ポッド１にスライスされた複数枚のウェ
ーハがリヤリテーナ、及び一対のカラム７を介し整列収
納され、ポッド１の開口正面に蓋体９がシールガスケッ
ト１３を介して嵌合されるとともに、複数枚のウェーハ
にフロントリテーナ１２がそれぞれ圧接され、ロック手
段１８が図示しない加工装置のドア開閉装置(開閉機構)
に施錠操作される。この際、蓋体９は、上下左右の第
一、第二の傾斜ガイド部１５、１６の案内誘導作用によ
り、上下前後左右の位置がシール状態で高精度に定めら
れ、がたつきや位置ずれを生じることがない。
合には、先ず、ポッド１にスライスされた複数枚のウェ
ーハがリヤリテーナ、及び一対のカラム７を介し整列収
納され、ポッド１の開口正面に蓋体９がシールガスケッ
ト１３を介して嵌合されるとともに、複数枚のウェーハ
にフロントリテーナ１２がそれぞれ圧接され、ロック手
段１８が図示しない加工装置のドア開閉装置(開閉機構)
に施錠操作される。この際、蓋体９は、上下左右の第
一、第二の傾斜ガイド部１５、１６の案内誘導作用によ
り、上下前後左右の位置がシール状態で高精度に定めら
れ、がたつきや位置ずれを生じることがない。
【００３０】ロック手段１８が施錠操作されると、各回
転カムが回転して各ラッチプレートを蓋体９の内部内方
向から内部外方向に突出させ、各ラッチプレートの係止
爪が貫通孔２０から突出して各係止穴に嵌合係止し、ポ
ッド１の開口正面に蓋体９が気密状態で安定、かつ強固
に嵌合覆着される。
転カムが回転して各ラッチプレートを蓋体９の内部内方
向から内部外方向に突出させ、各ラッチプレートの係止
爪が貫通孔２０から突出して各係止穴に嵌合係止し、ポ
ッド１の開口正面に蓋体９が気密状態で安定、かつ強固
に嵌合覆着される。
【００３１】上記構成によれば、第一、第二の傾斜ガイ
ド部１５、１６が案内誘導作用を発揮するので、繰り返
し使用される蓋体９のがたつきや位置ずれを簡易な構成
で有効に防止することができる。したがって、蓋体９の
嵌合時にクランプ穴１９、貫通孔２０、及び係止爪が位
置ずれしたり、蓋体９の施錠が困難となることがない。
さらに、ポッド１の開口正面と蓋体９のエッジ部とが擦
れてパーティクル等の汚染物が発生するのをきわめて有
効に抑制防止することが可能となる。
ド部１５、１６が案内誘導作用を発揮するので、繰り返
し使用される蓋体９のがたつきや位置ずれを簡易な構成
で有効に防止することができる。したがって、蓋体９の
嵌合時にクランプ穴１９、貫通孔２０、及び係止爪が位
置ずれしたり、蓋体９の施錠が困難となることがない。
さらに、ポッド１の開口正面と蓋体９のエッジ部とが擦
れてパーティクル等の汚染物が発生するのをきわめて有
効に抑制防止することが可能となる。
【００３２】次に、図３ないし図５は第一の発明の第２
の実施形態を示すもので、この場合には、ガイド手段１
４を、ポッド１の開口正面における上下左右の中央部に
それぞれ凹設成形される断面ほぼＵ字形の嵌合凹部２２
と、蓋体９の周面における上下左右の中央部にそれぞれ
突出成形される嵌合リブ２３とから構成し、これら複数
の嵌合凹部２２と嵌合リブ２３とを蓋体９の閉塞時に相
互に嵌合させるようにしている。
の実施形態を示すもので、この場合には、ガイド手段１
４を、ポッド１の開口正面における上下左右の中央部に
それぞれ凹設成形される断面ほぼＵ字形の嵌合凹部２２
と、蓋体９の周面における上下左右の中央部にそれぞれ
突出成形される嵌合リブ２３とから構成し、これら複数
の嵌合凹部２２と嵌合リブ２３とを蓋体９の閉塞時に相
互に嵌合させるようにしている。
【００３３】各嵌合凹部２２と各嵌合リブ２３とは、そ
れぞれほぼ台形に成形され、その接触面がポッド１の背
面側方向(図２の左側)から開口正面方向に向かうにした
がい徐々にポッド１の内部内方から外方に広がるよう傾
斜成形されている(図３及び図４参照)。各嵌合リブ２３
は、その高さが０．１mm〜１０mm、好ましくは０．３mm
〜２．０mmに設定され、幅が３mm〜１００mm、好ましく
は１０mm〜５０mmに設定されている。そして、これら数
値に対応して各嵌合凹部２２が成形されている。その他
の部分については、上記第１の実施形態と同様であるの
で説明を省略する。
れぞれほぼ台形に成形され、その接触面がポッド１の背
面側方向(図２の左側)から開口正面方向に向かうにした
がい徐々にポッド１の内部内方から外方に広がるよう傾
斜成形されている(図３及び図４参照)。各嵌合リブ２３
は、その高さが０．１mm〜１０mm、好ましくは０．３mm
〜２．０mmに設定され、幅が３mm〜１００mm、好ましく
は１０mm〜５０mmに設定されている。そして、これら数
値に対応して各嵌合凹部２２が成形されている。その他
の部分については、上記第１の実施形態と同様であるの
で説明を省略する。
【００３４】本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、蓋体９の閉塞時に嵌合
凹部２２と嵌合リブ２３とが嵌合して位置合わせするの
で、蓋体９の上下前後左右の位置がシール状態でさらに
高精度に定められることは明らかである。
の作用効果が期待でき、しかも、蓋体９の閉塞時に嵌合
凹部２２と嵌合リブ２３とが嵌合して位置合わせするの
で、蓋体９の上下前後左右の位置がシール状態でさらに
高精度に定められることは明らかである。
【００３５】なお、本実施形態では嵌合凹部２２を断面
ほぼＵ字形としたが、なんらこれに限定されるものでは
なく、嵌合凹部２２を断面ほぼＣ字形、コ字形、又は半
円筒形等とし、これらの形状に対応させて嵌合リブ２３
を成形しても良い。また、第１の実施形態における第一
の傾斜部に嵌合凹部２２を、第二の傾斜部に嵌合リブ２
３をそれぞれ成形しても良い。さらに、ポッド１の開口
正面に嵌合凹部２２を、蓋体９の周面に嵌合リブ２３を
それぞれ成形したものを示したが、ポッド１の開口正面
に嵌合リブ２３を、蓋体９の周面に嵌合凹部２２をそれ
ぞれ成形することも可能である。
ほぼＵ字形としたが、なんらこれに限定されるものでは
なく、嵌合凹部２２を断面ほぼＣ字形、コ字形、又は半
円筒形等とし、これらの形状に対応させて嵌合リブ２３
を成形しても良い。また、第１の実施形態における第一
の傾斜部に嵌合凹部２２を、第二の傾斜部に嵌合リブ２
３をそれぞれ成形しても良い。さらに、ポッド１の開口
正面に嵌合凹部２２を、蓋体９の周面に嵌合リブ２３を
それぞれ成形したものを示したが、ポッド１の開口正面
に嵌合リブ２３を、蓋体９の周面に嵌合凹部２２をそれ
ぞれ成形することも可能である。
【００３６】次に、図６及び図７は第一の発明の第３の
実施形態を示すもので、この場合には、ガイド手段１４
を、第一の傾斜ガイド部１５、第二の傾斜ガイド部１
６、及び複数のプランジャ部材２４から構成し、この複
数のプランジャ部材２４を蓋体９の第二の傾斜ガイド部
１６に埋設して蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１
５に圧接するようにしている。
実施形態を示すもので、この場合には、ガイド手段１４
を、第一の傾斜ガイド部１５、第二の傾斜ガイド部１
６、及び複数のプランジャ部材２４から構成し、この複
数のプランジャ部材２４を蓋体９の第二の傾斜ガイド部
１６に埋設して蓋体９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１
５に圧接するようにしている。
【００３７】各プランジャ部材２４は、蓋体９の内部外
周に埋設される有底筒形のケース２５を備え、このケー
スの開口部には表面が滑らかに湾曲したプランジャ２６
がコイルスプリング２７を介して進退動可能に弾発支持
されている。各プランジャ２６は、蓋体９の非閉塞時に
第二の傾斜ガイド部１６から０．１mm〜１０mm程度露出
するようコイルスプリング２７に支持されている。その
他の部分については、上記第１の実施形態と同様である
ので説明を省略する。
周に埋設される有底筒形のケース２５を備え、このケー
スの開口部には表面が滑らかに湾曲したプランジャ２６
がコイルスプリング２７を介して進退動可能に弾発支持
されている。各プランジャ２６は、蓋体９の非閉塞時に
第二の傾斜ガイド部１６から０．１mm〜１０mm程度露出
するようコイルスプリング２７に支持されている。その
他の部分については、上記第１の実施形態と同様である
ので説明を省略する。
【００３８】上記構成において、ポッド１の開口正面に
蓋体９をシールガスケット１３を介して密嵌する場合、
第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が案
内されて嵌合していくと、第一の傾斜ガイド部１５に接
触するプランジャ部材２４のプランジャ２６が徐々にケ
ース２５内に押し込まれて埋没する。
蓋体９をシールガスケット１３を介して密嵌する場合、
第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が案
内されて嵌合していくと、第一の傾斜ガイド部１５に接
触するプランジャ部材２４のプランジャ２６が徐々にケ
ース２５内に押し込まれて埋没する。
【００３９】本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、第一の傾斜ガイド部１
５にプランジャ２６が接触するので、位置決め時の摺動
が向上し、発塵が大幅に減少してパーティクル等の汚染
物が発生するのをきわめて有効に抑制防止することが可
能になるのは明白である。
の作用効果が期待でき、しかも、第一の傾斜ガイド部１
５にプランジャ２６が接触するので、位置決め時の摺動
が向上し、発塵が大幅に減少してパーティクル等の汚染
物が発生するのをきわめて有効に抑制防止することが可
能になるのは明白である。
【００４０】次に、図８は第一の発明の第４の実施形態
を示すもので、この場合には、ガイド手段１４を、第一
の傾斜ガイド部１５、第二の傾斜ガイド部１６、及び複
数のローラ部材２８から構成し、この複数のローラ部材
２８を蓋体９の第二の傾斜ガイド部１６に埋設して蓋体
９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に圧接するように
している。
を示すもので、この場合には、ガイド手段１４を、第一
の傾斜ガイド部１５、第二の傾斜ガイド部１６、及び複
数のローラ部材２８から構成し、この複数のローラ部材
２８を蓋体９の第二の傾斜ガイド部１６に埋設して蓋体
９の閉塞時に第一の傾斜ガイド部１５に圧接するように
している。
【００４１】各ローラ部材２８は、蓋体９の内部外周に
埋設される有底筒形のケース２９を備え、このケース２
９の内部にはコイルスプリング３０が内蔵されるととも
に、このコイルスプリング３０の先端部には回転ローラ
３１がガイドピン３２を介して進退動可能に弾発支持さ
れている。各回転ローラ３１は、蓋体９の非閉塞時に第
二の傾斜ガイド部１６から０．１mm〜１０mm程度露出す
るようコイルスプリング３０に支持されている。その他
の部分については、上記第３の実施形態と同様であるの
で説明を省略する。
埋設される有底筒形のケース２９を備え、このケース２
９の内部にはコイルスプリング３０が内蔵されるととも
に、このコイルスプリング３０の先端部には回転ローラ
３１がガイドピン３２を介して進退動可能に弾発支持さ
れている。各回転ローラ３１は、蓋体９の非閉塞時に第
二の傾斜ガイド部１６から０．１mm〜１０mm程度露出す
るようコイルスプリング３０に支持されている。その他
の部分については、上記第３の実施形態と同様であるの
で説明を省略する。
【００４２】上記構成において、ポッド１の開口正面に
蓋体９をシールガスケット１３を介して密嵌する場合、
第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が案
内されて嵌合していくと、第一の傾斜ガイド部１５に摺
接するローラ部材２８の回転ローラ３１が徐々にケース
２９内に押し込まれて埋没する。
蓋体９をシールガスケット１３を介して密嵌する場合、
第一の傾斜ガイド部１５に第二の傾斜ガイド部１６が案
内されて嵌合していくと、第一の傾斜ガイド部１５に摺
接するローラ部材２８の回転ローラ３１が徐々にケース
２９内に押し込まれて埋没する。
【００４３】本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、第一の傾斜ガイド部１
５に回転ローラ３１が接触するので、位置決め時の摺動
が著しく向上し、摩擦抵抗が大幅に減少してパーティク
ル等の汚染物の発生を著しく抑制防止することが可能に
なる。
の作用効果が期待でき、しかも、第一の傾斜ガイド部１
５に回転ローラ３１が接触するので、位置決め時の摺動
が著しく向上し、摩擦抵抗が大幅に減少してパーティク
ル等の汚染物の発生を著しく抑制防止することが可能に
なる。
【００４４】なお、上記実施形態ではプランジャ２６や
回転ローラ３１を使用したものを示したが、なんらこれ
に限定されるものではなく、同様の作用効果が期待でき
るものであれば、プランジャ２６や回転ローラ３１以外
のものを使用しても良い。また、コイルスプリング２
７、３０を使用したが、板ばね等の各種のばね、ゴム弾
性体、又はフレキシブルなプラスチック部材等を使用す
ることができる。さらに、プランジャ部材２４やローラ
部材２８を蓋体９の内部外周に埋設したものを示した
が、ポッド１の第一の傾斜ガイド部１５に埋設しても良
い。
回転ローラ３１を使用したものを示したが、なんらこれ
に限定されるものではなく、同様の作用効果が期待でき
るものであれば、プランジャ２６や回転ローラ３１以外
のものを使用しても良い。また、コイルスプリング２
７、３０を使用したが、板ばね等の各種のばね、ゴム弾
性体、又はフレキシブルなプラスチック部材等を使用す
ることができる。さらに、プランジャ部材２４やローラ
部材２８を蓋体９の内部外周に埋設したものを示した
が、ポッド１の第一の傾斜ガイド部１５に埋設しても良
い。
【００４５】また、上記諸実施形態では回転カムの表面
外周の連結ピンに一対のラッチプレートを案内溝を介し
て遊嵌したものを示したが、回転カムの代わりにカム部
を有しない回転プレートを使用し、この回転プレートの
表面外周の連結ピンに一対のラッチプレートを揺動ピン
を介して連結しても良い。また、ロック手段１８を後述
する第二の発明のロック手段１８Ａとすることも可能で
ある。さらに、上記諸実施形態ではインナロックタイプ
のロック手段１８を示したが、なんらこれに限定される
ものではなく、各種のアウターロックタイプのロック手
段を採用しても良い。例えば、従来同様、ポッド１の開
口正面の外周部に揺動可能に複数の係止片を、蓋体９の
周面には複数の凸部をそれぞれ成形することも可能であ
る。
外周の連結ピンに一対のラッチプレートを案内溝を介し
て遊嵌したものを示したが、回転カムの代わりにカム部
を有しない回転プレートを使用し、この回転プレートの
表面外周の連結ピンに一対のラッチプレートを揺動ピン
を介して連結しても良い。また、ロック手段１８を後述
する第二の発明のロック手段１８Ａとすることも可能で
ある。さらに、上記諸実施形態ではインナロックタイプ
のロック手段１８を示したが、なんらこれに限定される
ものではなく、各種のアウターロックタイプのロック手
段を採用しても良い。例えば、従来同様、ポッド１の開
口正面の外周部に揺動可能に複数の係止片を、蓋体９の
周面には複数の凸部をそれぞれ成形することも可能であ
る。
【００４６】次に、図面を参照して本発明の第二の発明
の実施形態を説明するが、この第二の発明は以下の実施
形態になんら限定されるものではない。本実施形態にお
ける精密基板収納容器は、図９ないし図１９に示すよう
に、インナロックタイプのロック手段１８Ａを、ポッド
１の開口一端面の内周面上下に成形される複数のクラン
プ穴１９と、蓋体９の周面上下に成形されて複数のクラ
ンプ穴１９に対向する複数の貫通孔２０と、蓋体９の内
部両側の中央に軸支されて外部からのアクセス操作で回
転する一対の回転プレート３４と、各回転プレート３４
の回転で蓋体９の内外方向に直線的にスライドする複数
の動力伝達プレート３８と、各動力伝達プレート３８の
スライドを案内するガイド部材４６と、各動力伝達プレ
ート３８の突出時に各貫通孔２０から突出して各クラン
プ穴１９に嵌入し、各動力伝達プレート３８の復帰時に
は各貫通孔２０内に復帰する合成樹脂製のクランプ部材
５１とから構成するようにしている。
の実施形態を説明するが、この第二の発明は以下の実施
形態になんら限定されるものではない。本実施形態にお
ける精密基板収納容器は、図９ないし図１９に示すよう
に、インナロックタイプのロック手段１８Ａを、ポッド
１の開口一端面の内周面上下に成形される複数のクラン
プ穴１９と、蓋体９の周面上下に成形されて複数のクラ
ンプ穴１９に対向する複数の貫通孔２０と、蓋体９の内
部両側の中央に軸支されて外部からのアクセス操作で回
転する一対の回転プレート３４と、各回転プレート３４
の回転で蓋体９の内外方向に直線的にスライドする複数
の動力伝達プレート３８と、各動力伝達プレート３８の
スライドを案内するガイド部材４６と、各動力伝達プレ
ート３８の突出時に各貫通孔２０から突出して各クラン
プ穴１９に嵌入し、各動力伝達プレート３８の復帰時に
は各貫通孔２０内に復帰する合成樹脂製のクランプ部材
５１とから構成するようにしている。
【００４７】ポッド１、ガイド手段１４、及び複数のク
ランプ穴１９については、第一の発明の実施形態と同様
であるので説明を省略する。蓋体９は、図１１や図１３
に示すように、ポッド１と同様の合成樹脂を用いて成形
された表面プレート１０と、表面が開口したほぼ箱形の
裏面プレート１１とから構成され、この裏面プレート１
１の開口表面に表面プレート１０が締結具を介して覆着
されている。表面プレート１０の両側には鍵孔２１がそ
れぞれ穿孔成形され、各鍵孔２１に加工装置のドア開閉
装置のアタッチメント３３が挿通される。また、裏面プ
レート１１の中央部にはフロントリテーナ１２が着脱自
在に装着固定され、裏面プレート１１の外周には枠形の
シールガスケット１３が突起や溝等を介し着脱自在に嵌
合されている。
ランプ穴１９については、第一の発明の実施形態と同様
であるので説明を省略する。蓋体９は、図１１や図１３
に示すように、ポッド１と同様の合成樹脂を用いて成形
された表面プレート１０と、表面が開口したほぼ箱形の
裏面プレート１１とから構成され、この裏面プレート１
１の開口表面に表面プレート１０が締結具を介して覆着
されている。表面プレート１０の両側には鍵孔２１がそ
れぞれ穿孔成形され、各鍵孔２１に加工装置のドア開閉
装置のアタッチメント３３が挿通される。また、裏面プ
レート１１の中央部にはフロントリテーナ１２が着脱自
在に装着固定され、裏面プレート１１の外周には枠形の
シールガスケット１３が突起や溝等を介し着脱自在に嵌
合されている。
【００４８】各回転プレート３４は、図１４や図１５に
示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて円板形に成
形され、その表面の中心部には有底円筒形の操作突部３
５が突出成形されており、この操作突部３５内に鍵孔２
１を貫通したアタッチメント３３が着脱自在に嵌挿され
る(図１６参照)。各回転プレート３４の表面外周には円
柱形を呈した一対の連結ピン３６が突出成形され、各連
結ピン３６には摩擦低減部材である円筒形の回転ローラ
３７が必要に応じ回転可能に嵌入される。
示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて円板形に成
形され、その表面の中心部には有底円筒形の操作突部３
５が突出成形されており、この操作突部３５内に鍵孔２
１を貫通したアタッチメント３３が着脱自在に嵌挿され
る(図１６参照)。各回転プレート３４の表面外周には円
柱形を呈した一対の連結ピン３６が突出成形され、各連
結ピン３６には摩擦低減部材である円筒形の回転ローラ
３７が必要に応じ回転可能に嵌入される。
【００４９】なお、ドア開閉装置と各回転プレート３４
との接続位置や寸法はSEMI規格でポッド１のサイズ毎に
定められている。例えば、３００mmウェーハ用の蓋体９
の規格は、SEMI規格のE６２に対応して定められてい
る。
との接続位置や寸法はSEMI規格でポッド１のサイズ毎に
定められている。例えば、３００mmウェーハ用の蓋体９
の規格は、SEMI規格のE６２に対応して定められてい
る。
【００５０】複数の動力伝達プレート３８は、図９ない
し図１３に示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて
基本的には長方形の板形に成形され、長手方向の中心軸
が回転プレート３４の中心を通るよう、蓋体９の内部両
側の上下にそれぞれスライド可能に配置されている。各
動力伝達プレート３８の末端部は側方に向けほぼ半円弧
形に湾曲成形されて回転プレート３４の表面外周の一部
を被覆し、連結ピン３６又は回転ローラ３７に嵌入され
る案内溝３９が穿孔成形されている。
し図１３に示すように、ポリアセタール樹脂等を用いて
基本的には長方形の板形に成形され、長手方向の中心軸
が回転プレート３４の中心を通るよう、蓋体９の内部両
側の上下にそれぞれスライド可能に配置されている。各
動力伝達プレート３８の末端部は側方に向けほぼ半円弧
形に湾曲成形されて回転プレート３４の表面外周の一部
を被覆し、連結ピン３６又は回転ローラ３７に嵌入され
る案内溝３９が穿孔成形されている。
【００５１】案内溝３９は、連結ピン３６の軌跡とほぼ
等しい曲率の第一の案内溝４０と、連結ピン３６の軌跡
よりも大きな曲率の第二の案内溝４１と、これら第一、
第二の案内溝４０、４１を接続する変曲部４２とから構
成されている。このように成形された各第一の案内溝４
０は、蓋体９の内外方向(図９の上下方向)に各動力伝達
プレート３８を直線運動させるよう機能する。また、各
第二の案内溝４１は、各動力伝達プレート３８が立体的
な経路で直線運動するよう案内する。
等しい曲率の第一の案内溝４０と、連結ピン３６の軌跡
よりも大きな曲率の第二の案内溝４１と、これら第一、
第二の案内溝４０、４１を接続する変曲部４２とから構
成されている。このように成形された各第一の案内溝４
０は、蓋体９の内外方向(図９の上下方向)に各動力伝達
プレート３８を直線運動させるよう機能する。また、各
第二の案内溝４１は、各動力伝達プレート３８が立体的
な経路で直線運動するよう案内する。
【００５２】各動力伝達プレート３８の中央付近には小
判形を呈した複数のガイド長孔４３が長手方向に所定の
間隔をおいて穿孔成形されている。また、各動力伝達プ
レート３８の左右両側部にはガイドピン４４がそれぞれ
突出成形され、各ガイドピン４４には摩擦低減部材であ
る円筒形の回転ローラ４５が必要に応じ回転可能に嵌入
される(図１８参照)。
判形を呈した複数のガイド長孔４３が長手方向に所定の
間隔をおいて穿孔成形されている。また、各動力伝達プ
レート３８の左右両側部にはガイドピン４４がそれぞれ
突出成形され、各ガイドピン４４には摩擦低減部材であ
る円筒形の回転ローラ４５が必要に応じ回転可能に嵌入
される(図１８参照)。
【００５３】ガイド部材４６は、裏面プレート１１の内
面に突出成形されて複数のガイド長孔４３にそれぞれ遊
嵌する第一のガイド４７と、第二のガイド４９とから構
成されている。第一のガイド４７は、円柱形に成形さ
れ、摩擦低減部材である回転ローラ４８が必要に応じ回
転可能に嵌入される。また、第二のガイド４９は、表面
プレート１０と裏面プレート１１の内部対向面にそれぞ
れ突出成形される複数対の対向ガイド５０を備えてい
る。各一対の対向ガイド５０の対向湾曲面は、各ガイド
ピン４４又は各回転ローラ４５を挟んで直線運動する動
力伝達プレート３８が蓋体９の表裏方向(図１８の左右
方向)に立体的に運動する際のガイドとして機能する。
面に突出成形されて複数のガイド長孔４３にそれぞれ遊
嵌する第一のガイド４７と、第二のガイド４９とから構
成されている。第一のガイド４７は、円柱形に成形さ
れ、摩擦低減部材である回転ローラ４８が必要に応じ回
転可能に嵌入される。また、第二のガイド４９は、表面
プレート１０と裏面プレート１１の内部対向面にそれぞ
れ突出成形される複数対の対向ガイド５０を備えてい
る。各一対の対向ガイド５０の対向湾曲面は、各ガイド
ピン４４又は各回転ローラ４５を挟んで直線運動する動
力伝達プレート３８が蓋体９の表裏方向(図１８の左右
方向)に立体的に運動する際のガイドとして機能する。
【００５４】さらに、クランプ部材５１は、図１７ない
し図１９(a)、(b)に示すように、動力伝達プレート３８
の先端部にピンを介して軸支される回転可能な第一のア
ーム５２と、この第一のアーム５２の先端部と末端部が
一体化した第二のアーム５３とから構成されている。第
二のアーム５３は、ほぼＬ字形に屈曲成形されてその先
端部が第一のアーム５２とほぼ直角方向に指向し、この
先端部がクランプ穴１９用の嵌入押さえ部５４とされて
おり、この嵌入押さえ部５４にはクランプ穴１９内に摺
接する円筒形の回転ローラ５５(摩擦低減部材)がピンを
介して軸支されている。第二のアーム５３の末端部は、
蓋体９の内部外周における貫通孔２０の近傍にピンを介
して軸支され、第二のアーム５３、換言すれば、クラン
プ部材５１を蓋体９の内外方向に回転させる。その他の
部分については、上記第一の発明の実施形態と同様であ
るので説明を省略する。
し図１９(a)、(b)に示すように、動力伝達プレート３８
の先端部にピンを介して軸支される回転可能な第一のア
ーム５２と、この第一のアーム５２の先端部と末端部が
一体化した第二のアーム５３とから構成されている。第
二のアーム５３は、ほぼＬ字形に屈曲成形されてその先
端部が第一のアーム５２とほぼ直角方向に指向し、この
先端部がクランプ穴１９用の嵌入押さえ部５４とされて
おり、この嵌入押さえ部５４にはクランプ穴１９内に摺
接する円筒形の回転ローラ５５(摩擦低減部材)がピンを
介して軸支されている。第二のアーム５３の末端部は、
蓋体９の内部外周における貫通孔２０の近傍にピンを介
して軸支され、第二のアーム５３、換言すれば、クラン
プ部材５１を蓋体９の内外方向に回転させる。その他の
部分については、上記第一の発明の実施形態と同様であ
るので説明を省略する。
【００５５】上記構成において、ウェーハを収納する場
合には、先ず、ポッド１にスライスされた複数枚のウェ
ーハがリヤリテーナ、及び一対のカラム７を介し整列収
納され、ポッド１の開口正面に蓋体９がシールガスケッ
ト１３を介して嵌合されるとともに、複数枚のウェーハ
にフロントリテーナ１２がそれぞれ圧接され、ロック手
段１８Ａが加工装置のドア開閉装置に施錠操作される。
合には、先ず、ポッド１にスライスされた複数枚のウェ
ーハがリヤリテーナ、及び一対のカラム７を介し整列収
納され、ポッド１の開口正面に蓋体９がシールガスケッ
ト１３を介して嵌合されるとともに、複数枚のウェーハ
にフロントリテーナ１２がそれぞれ圧接され、ロック手
段１８Ａが加工装置のドア開閉装置に施錠操作される。
【００５６】すると、回転プレート３４の操作突部３５
にアタッチメント３３が挿入されて回転プレート３４を
時計方向に９０°回転させ、各動力伝達プレート３８が
ガイド部材４６に案内されつつ蓋体９の内部内方向から
内部外方向に直線立体的に突出して第一のアーム５２を
揺動させ、末端部を中心として第二のアーム５３が蓋体
９の内部外方向に揺動して貫通孔２０から嵌入押さえ部
５４を露出させ、この嵌入押さえ部５４の回転ローラ３
７がクランプ穴１９に嵌合係止して蓋体９の固定状態を
強固に維持する(図１２、図１３、及び図１７参照)。
にアタッチメント３３が挿入されて回転プレート３４を
時計方向に９０°回転させ、各動力伝達プレート３８が
ガイド部材４６に案内されつつ蓋体９の内部内方向から
内部外方向に直線立体的に突出して第一のアーム５２を
揺動させ、末端部を中心として第二のアーム５３が蓋体
９の内部外方向に揺動して貫通孔２０から嵌入押さえ部
５４を露出させ、この嵌入押さえ部５４の回転ローラ３
７がクランプ穴１９に嵌合係止して蓋体９の固定状態を
強固に維持する(図１２、図１３、及び図１７参照)。
【００５７】この際、各第二のアーム５３の嵌入押さえ
部５４は、梁の機能を発揮する各動力伝達プレート３８
とほぼ一直線となった状態でクランプ穴１９に嵌合係止
する(図１３参照)。したがって、回転プレート３４に加
わった動力がクランプ部材５１に一直線、かつ円滑に伝
達される。また、嵌入押さえ部５４は、円運動して貫通
孔２０に接触することなく露出する。
部５４は、梁の機能を発揮する各動力伝達プレート３８
とほぼ一直線となった状態でクランプ穴１９に嵌合係止
する(図１３参照)。したがって、回転プレート３４に加
わった動力がクランプ部材５１に一直線、かつ円滑に伝
達される。また、嵌入押さえ部５４は、円運動して貫通
孔２０に接触することなく露出する。
【００５８】次いで、収納、保管、又は輸送されたウェ
ーハを処理したい場合、先ず、ロック手段１８Ａが加工
装置のドア開閉装置に解錠操作され、回転プレート３４
の操作突部３５にアタッチメント３３が挿入されて回転
プレート３４を反時計方向に９０°回転させ、各動力伝
達プレート３８がガイド部材４６に案内されつつ蓋体９
の内部外方向から内部内方向に直線立体的に復帰して第
一のアーム５２を復帰揺動させる。この第一のアーム５
２の復帰揺動により、第二のアーム５３が蓋体９の内部
内方向に揺動して貫通孔２０内に嵌入押さえ部５４を復
帰させ、蓋体９が取り外し可能な状態となる(図１０及
び図１１参照)。この際、嵌入押さえ部５４は貫通孔２
０に接触することなく円運動して復帰する。
ーハを処理したい場合、先ず、ロック手段１８Ａが加工
装置のドア開閉装置に解錠操作され、回転プレート３４
の操作突部３５にアタッチメント３３が挿入されて回転
プレート３４を反時計方向に９０°回転させ、各動力伝
達プレート３８がガイド部材４６に案内されつつ蓋体９
の内部外方向から内部内方向に直線立体的に復帰して第
一のアーム５２を復帰揺動させる。この第一のアーム５
２の復帰揺動により、第二のアーム５３が蓋体９の内部
内方向に揺動して貫通孔２０内に嵌入押さえ部５４を復
帰させ、蓋体９が取り外し可能な状態となる(図１０及
び図１１参照)。この際、嵌入押さえ部５４は貫通孔２
０に接触することなく円運動して復帰する。
【００５９】こうして蓋体９が開放可能となったら、ポ
ッド１から蓋体９が真空吸着により取り外され、その
後、ポッド１の下方から複数枚のウェーハが順次取り出
され、ウェーハに所定の処理が施される。
ッド１から蓋体９が真空吸着により取り外され、その
後、ポッド１の下方から複数枚のウェーハが順次取り出
され、ウェーハに所定の処理が施される。
【００６０】上記構成によれば、施錠操作時に第二のア
ーム５３の嵌入押さえ部５４が動力伝達プレート３８と
ほぼ一直線の状態で蓋体９を固定するので、従来に比べ
安定した大きな係止力で蓋体９を固定することができ
る。したがって、各動力伝達プレート３８に動力が局部
的に作用して撓んだり、この撓みに伴う係止力の減少を
実に有効に防止することができ、ポッド１の全開口正面
を長期にわたり十分、かつ均一にシールすることが可能
になる。また、高剛性の合成樹脂を使用して各動力伝達
プレート３８を成形することができるので、金属部品を
軽減、あるいは省略することができ、洗浄時等の金属イ
オン発生によるウェーハの汚染の抑制防止も期待でき
る。
ーム５３の嵌入押さえ部５４が動力伝達プレート３８と
ほぼ一直線の状態で蓋体９を固定するので、従来に比べ
安定した大きな係止力で蓋体９を固定することができ
る。したがって、各動力伝達プレート３８に動力が局部
的に作用して撓んだり、この撓みに伴う係止力の減少を
実に有効に防止することができ、ポッド１の全開口正面
を長期にわたり十分、かつ均一にシールすることが可能
になる。また、高剛性の合成樹脂を使用して各動力伝達
プレート３８を成形することができるので、金属部品を
軽減、あるいは省略することができ、洗浄時等の金属イ
オン発生によるウェーハの汚染の抑制防止も期待でき
る。
【００６１】また、接触部分に回転ローラ３７、４５、
４８、５５がそれぞれ軸支されているので、摩擦抵抗が
著しく減少し、樹脂粉の発生を抑制防止することができ
る。さらに、第二のアーム５３が貫通孔２０の近傍に軸
支されているので、蓋体９の厚さを必要最小限に薄くす
ることが可能になる。
４８、５５がそれぞれ軸支されているので、摩擦抵抗が
著しく減少し、樹脂粉の発生を抑制防止することができ
る。さらに、第二のアーム５３が貫通孔２０の近傍に軸
支されているので、蓋体９の厚さを必要最小限に薄くす
ることが可能になる。
【００６２】なお、上記実施形態のロック手段１８Ａの
構成要素は適宜増減変更することができる。また、上記
実施形態では一対の連結ピン３６を備えた回転プレート
３４を示したが、なんらこれに限定されるものではな
く、例えばカム機構、ねじ機構、ラック・ピニオン機
構、又はリンク機構等を使用して各動力伝達プレート３
８をスライドさせるものでも良い。また、各動力伝達プ
レート３８の左右両側部にガイドピン４４をそれぞれ突
出成形したが、各動力伝達プレート３８の左右両側部に
カムフロアをそれぞれ設けることもできる。また、第二
のアーム５３をほぼＬ字形に屈曲成形したが、同様の作
用効果が期待できるものであれば、Ｊ字形等に適宜屈曲
成形することが可能である。
構成要素は適宜増減変更することができる。また、上記
実施形態では一対の連結ピン３６を備えた回転プレート
３４を示したが、なんらこれに限定されるものではな
く、例えばカム機構、ねじ機構、ラック・ピニオン機
構、又はリンク機構等を使用して各動力伝達プレート３
８をスライドさせるものでも良い。また、各動力伝達プ
レート３８の左右両側部にガイドピン４４をそれぞれ突
出成形したが、各動力伝達プレート３８の左右両側部に
カムフロアをそれぞれ設けることもできる。また、第二
のアーム５３をほぼＬ字形に屈曲成形したが、同様の作
用効果が期待できるものであれば、Ｊ字形等に適宜屈曲
成形することが可能である。
【００６３】また、第一のアーム５２の先端部と第二の
アーム５３の末端部とを一体化したが、同様の作用効果
が期待できるものであれば、第二のアーム５３に第一の
アーム５２の先端部を回転可能に取り付けることもでき
る。さらに、上記実施形態では第二のアーム５３の嵌入
押さえ部５４に回転ローラ５５を軸支させたものを示し
たが、なんらこれに限定されるものではない。例えば、
回転ローラ５５の先端部をばね等の弾性部材で保持し、
外力作用時に蓋体９の内部に後退するよう構成する。そ
して、蓋体９の周面から回転ローラ５５を０．１mm〜１
０mm、好ましくは０．３mm〜２mm程度突出させ、ポッド
１の開口正面に蓋体９を嵌合する際、回転ローラ５５を
ガイドとして使用することも可能である。
アーム５３の末端部とを一体化したが、同様の作用効果
が期待できるものであれば、第二のアーム５３に第一の
アーム５２の先端部を回転可能に取り付けることもでき
る。さらに、上記実施形態では第二のアーム５３の嵌入
押さえ部５４に回転ローラ５５を軸支させたものを示し
たが、なんらこれに限定されるものではない。例えば、
回転ローラ５５の先端部をばね等の弾性部材で保持し、
外力作用時に蓋体９の内部に後退するよう構成する。そ
して、蓋体９の周面から回転ローラ５５を０．１mm〜１
０mm、好ましくは０．３mm〜２mm程度突出させ、ポッド
１の開口正面に蓋体９を嵌合する際、回転ローラ５５を
ガイドとして使用することも可能である。
【００６４】
【発明の効果】以上のように請求項１ないし４記載の発
明によれば、容器本体の開口部から取り外した蓋体を再
度容器本体の開口部に装着する場合の蓋体のがたつきを
防止し、このがたつきに伴う蓋体の施錠の困難化や汚染
物の発生を抑制防止することができるという効果があ
る。また、請求項５又は７記載の発明によれば、例え容
器本体を大型化しても、容器本体の開口部を適切にシー
ルすることができる。さらに、精密基板の汚染の抑制防
止を有効に図ることが可能になるという効果がある。
明によれば、容器本体の開口部から取り外した蓋体を再
度容器本体の開口部に装着する場合の蓋体のがたつきを
防止し、このがたつきに伴う蓋体の施錠の困難化や汚染
物の発生を抑制防止することができるという効果があ
る。また、請求項５又は７記載の発明によれば、例え容
器本体を大型化しても、容器本体の開口部を適切にシー
ルすることができる。さらに、精密基板の汚染の抑制防
止を有効に図ることが可能になるという効果がある。
【図１】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の
実施形態を示す斜視説明図である。
実施形態を示す斜視説明図である。
【図２】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の
実施形態を示す断面側面図である。
実施形態を示す断面側面図である。
【図３】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の
第２の実施形態を示す正面説明図である。
第２の実施形態を示す正面説明図である。
【図４】第２の実施形態の断面説明図である。
【図５】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の
第２の実施形態を示す斜視説明図である。
第２の実施形態を示す斜視説明図である。
【図６】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の
第３の実施形態を示す断面側面図である。
第３の実施形態を示す断面側面図である。
【図７】図６の要部拡大断面図である。
【図８】本発明の第一の発明に係る精密基板収納容器の
第４の実施形態を示す断面説明図である。
第４の実施形態を示す断面説明図である。
【図９】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器の
実施形態を示す正面図である。
実施形態を示す正面図である。
【図１０】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器
の実施形態における蓋体の開放状態を示す説明図であ
る。
の実施形態における蓋体の開放状態を示す説明図であ
る。
【図１１】図１０のXI-XI線断面説明図である。
【図１２】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器
の実施形態における蓋体の閉塞状態を示す説明図であ
る。
の実施形態における蓋体の閉塞状態を示す説明図であ
る。
【図１３】図１２のXIII-XIII線断面説明図である。
【図１４】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器
の実施形態における回転プレートを示す図で、(a)図は
平面図、(b)図は(a)図の断面図である。
の実施形態における回転プレートを示す図で、(a)図は
平面図、(b)図は(a)図の断面図である。
【図１５】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器
の実施形態における他の回転プレートを示す図で、(a)
図は平面図、(b)図は(a)図の断面図である。
の実施形態における他の回転プレートを示す図で、(a)
図は平面図、(b)図は(a)図の断面図である。
【図１６】回転プレートに加工装置の開閉機構が挿入さ
れた状態を示す断面説明図である。
れた状態を示す断面説明図である。
【図１７】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器
の実施形態における閉塞時のクランプ部材を示す要部拡
大断面図である。
の実施形態における閉塞時のクランプ部材を示す要部拡
大断面図である。
【図１８】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器
の実施形態における蓋体、回転プレート、動力伝達プレ
ート、ガイド部材、及びクランプ部材を示す要部拡大断
面図である。
の実施形態における蓋体、回転プレート、動力伝達プレ
ート、ガイド部材、及びクランプ部材を示す要部拡大断
面図である。
【図１９】本発明の第二の発明に係る精密基板収納容器
の実施形態におけるクランプ部材を示す図で、(a)図は
平面図、(b)図は(a)図の側面図である。
の実施形態におけるクランプ部材を示す図で、(a)図は
平面図、(b)図は(a)図の側面図である。
１ ポッド（容器本体） ９ 蓋体 １０ 表面プレート １１ 裏面プレート １３ シールガスケット １４ ガイド手段 １５ 第一の傾斜ガイド部 １６ 第二の傾斜ガイド部 １８ ロック手段 １８Ａ ロック手段 １９ クランプ穴 ２０ 貫通孔 ２２ 嵌合凹部 ２３ 嵌合リブ（嵌合凸部） ２４ プランジャ部材（摩擦低減部材） ２８ ローラ部材（摩擦低減部材） ３４ 回転プレート（回転体） ３６ 連結ピン（連結突部） ３７ 回転ローラ（摩擦低減部材） ３８ 動力伝達プレート（動力伝達部材） ３９ 案内溝 ４４ ガイドピン ４５ 回転ローラ（摩擦低減部材） ４６ ガイド部材 ４７ 第一のガイド部材 ４８ 回転ローラ（摩擦低減部材） ４９ 第二のガイド部材 ５１ クランプ部材 ５２ 第一のアーム ５３ 第二のアーム ５４ 嵌入押さえ部 ５５ 回転ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鎌田 俊行 埼玉県大宮市吉野町１−406−１ 信越ポ リマー株式会社東京工場内 Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA16 BA17 CB03 DA17 DA18 DA23 DA30 DC02 EA02X EA02Y FA03 FA09 GA07 GA20 5F031 BB04 BC03
Claims (7)
- 【請求項１】 容器本体に精密基板を収納する精密基板
収納容器であって、 該容器本体の一端面に形成された開口部と、この開口部
をシール可能に開閉する蓋体と、この蓋体の閉塞時に該
容器本体の開口部内に該蓋体を案内して位置決めするガ
イド手段とを含んでなることを特徴とする精密基板収納
容器。 - 【請求項２】 上記ガイド手段は、上記開口部の少なく
とも下部に形成されて先端部に向かうにしたがい外方に
広がる第一の傾斜ガイド部と、上記蓋体の周面の少なく
とも下部に形成されて該蓋体の裏面側から表面側に向か
うにしたがい外方に広がり、該蓋体の閉塞時に該第一の
傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガイド部とを含んで
なる請求項１記載の精密基板収納容器。 - 【請求項３】 上記ガイド手段は、上記開口部の少なく
とも下部と上記蓋体の周面の少なくとも下部のいずれか
一方に形成される嵌合凹部と、該開口部の少なくとも下
部と該蓋体の周面の少なくとも下部のいずれか他方に形
成されて該蓋体の閉塞時に該嵌合凹部に嵌まる嵌合凸部
とを含み、これら嵌合凹部と嵌合凸部の接触面をそれぞ
れ上記容器本体の他端面方向から該開口部方向に向かう
にしたがい外方に広がるよう傾斜させた請求項１記載の
精密基板収納容器。 - 【請求項４】 上記ガイド手段は、上記開口部の少なく
とも下部に形成されて先端部に向かうにしたがい外方に
広がる第一の傾斜ガイド部と、上記蓋体の周面の少なく
とも下部に形成されて該蓋体の裏面側から表面側に向か
うにしたがい外方に広がり、該蓋体の閉塞時に該第一の
傾斜ガイド部に接触する第二の傾斜ガイド部と、これら
第一の傾斜ガイド部と第二の傾斜ガイド部のいずれか一
方に弾性支持され、上記蓋体の閉塞時に該第一の傾斜ガ
イド部と該第二の傾斜ガイド部のいずれか他方に圧力作
用状態で接触する摩擦低減部材とを含んでなる請求項１
記載の精密基板収納容器。 - 【請求項５】 精密基板を収納する容器本体と、この容
器本体の開口一端面をシール可能に開閉するほぼ中空の
蓋体と、この蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを
含んでなる精密基板収納容器であって、 該ロック手段は、上記容器本体の開口一端面の内周面に
形成されるクランプ穴と、上記蓋体の周面に設けられる
貫通孔と、該蓋体に内蔵されて外部からの操作で回転す
る回転体と、この回転体の回転で該蓋体の内部内外方向
に進退動する動力伝達部材と、この動力伝達部材の進出
時に上記貫通孔から突出して上記クランプ穴に嵌まり、
該動力伝達部材の後退時には該貫通孔内に復帰するクラ
ンプ部材とを含んでなることを特徴とする精密基板収納
容器。 - 【請求項６】 上記回転体に設けられて上記動力伝達部
材に連結され、該回転体の回転時に該動力伝達部材に直
線運動させる連結突部と、上記蓋体の内部に設けられる
該動力伝達部材用のガイド部材とを含み、該動力伝達部
材と上記連結突部との接触部、及び又は該動力伝達部材
と該ガイド部材との接触部に回転可能な摩擦低減部材を
取り付けるようにした請求項５記載の精密基板収納容
器。 - 【請求項７】 上記クランプ部材は、上記動力伝達部材
の先端部に回転可能に取り付けられる第一のアームと、
この第一のアームの先端部に取り付けられる第二のアー
ムとを含み、この第二のアームを屈曲形成してその先端
部を上記クランプ穴用の嵌入押さえ部とするとともに、
該第二のアームの末端部を上記貫通孔の内部近傍に支持
させ、該第二のアームを上記蓋体の内外方向に回転可能
とした請求項５又は６記載の精密基板収納容器。
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