JP4610188B2 - 薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構 - Google Patents
薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4610188B2 JP4610188B2 JP2003515435A JP2003515435A JP4610188B2 JP 4610188 B2 JP4610188 B2 JP 4610188B2 JP 2003515435 A JP2003515435 A JP 2003515435A JP 2003515435 A JP2003515435 A JP 2003515435A JP 4610188 B2 JP4610188 B2 JP 4610188B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- lid
- support
- plate
- thin plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 25
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 85
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 26
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 25
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 24
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 241000733322 Platea Species 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D43/00—Lids or covers for rigid or semi-rigid containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T292/00—Closure fasteners
- Y10T292/08—Bolts
- Y10T292/0886—Sliding and swinging
- Y10T292/0887—Operating means
- Y10T292/089—Lever
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T292/00—Closure fasteners
- Y10T292/08—Bolts
- Y10T292/096—Sliding
- Y10T292/1014—Operating means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T292/00—Closure fasteners
- Y10T292/08—Bolts
- Y10T292/096—Sliding
- Y10T292/1014—Operating means
- Y10T292/1022—Rigid
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T292/00—Closure fasteners
- Y10T292/42—Rigid engaging means
- Y10T292/432—Sliding catch
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して保管や輸送に使用される容器本体を、輸送後の製造工程にも使用できるようにした薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ等の薄板を収納して保管、輸送するための薄板支持容器は一般に知られている。
【０００３】
この薄板支持容器は主に、容器本体と、この容器本体の上部開口を塞ぐ蓋体とから構成されている。容器本体の内部には、半導体ウエハ等の薄板を支持するための部材が設けられている。このような薄板支持容器では、内部に収納した半導体ウエハ等の薄板の表面の汚染等を防止するために、容器内を清浄に保って輸送する必要がある。このため、容器内は密封されている。即ち、蓋体を容器本体に固定して、容器内を密封している。この蓋体を容器本体に固定する構造としては種々のものがある。
【０００４】
そして、半導体ウエハ等の薄板を製造する工場で、容器本体に薄板が収納され、蓋体が容器本体に固定されて内部が密封される。この状態で半導体製造工場等へ輸送される。半導体製造工場等では、半導体ウエハ等が製造ライン専用容器に移し替えられて製造ラインに載せられるのが一般的である。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２８９７９５号
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のように半導体ウエハ等をライン専用容器に移し替える場合、上記薄板支持容器は輸送にのみ使用されることになり、その後は不要となる。このため、薄板支持容器は、半導体ウエハの輸送後に、空のままもとの工場に戻したり、廃棄処分にしたりする。しかし、これでは、使用効率が悪く、資源の無駄、廃棄物の増加を招いてしまう。
【０００７】
このため、本出願人は、容器本体の蓋体受け部を種々の蓋体に対応できるように改良し、容器本体を製造ラインでも使用できるようにした発明（特許文献１）を先に提案したが、この容器本体と異なる他の構造の容器本体の場合は依然として製造ラインで使用することはできないという問題点がある。
【０００８】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、容器本体を輸送後の製造ライン等でそのまま使用できるようにした薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
第１の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される容器本体を塞ぐ蓋体であって、簡易着脱機構を備え、当該簡易着脱機構は、延出して容器本体に係止する係止板と、この係止板の基端側を係止して前記係止板を出没動させる繰り出し部材と、前記係止板の左右に突出して設けられた揺動支持ピンと、本体側に設けられて前記揺動支持ピンを出没動方向にスライド可能に支持する支持板部とを備え、前記係止板が、前記揺動支持ピンによって出没動方向に直交する上下方向に揺動可能に支持されると共に前記揺動支持ピンを支持する前記支持板部によって出没動方向にスライド可能に支持され、前記繰り出し部材が、回動可能に支持されると共に、その回動を前記係止板の出没動と揺動に変換する変換機構を備え、一方への前記繰り出し部材の回動で前記係止板を出動させてその先端側を上方向に揺動させ、他方への回動で前記係止板を没動させてその先端側を下方向に揺動させることを特徴とする。
【００１０】
前記構成により、蓋体に簡易着脱機構を備えたので、輸送用に供された容器本体に、簡易着脱機構を介して製造ライン用の蓋体を取り付けることができる。これにより、輸送用の容器本体を製造ライン用としてそのまま使用することができる。また、繰り出し部材で係止板を出没動させることで、製造ライン用蓋体を容器本体に着脱することができる。さらに、係止板は、スライドして容器本体側へ延出し、その先端側が上方向に揺動して容器本体に当接されて、簡易着脱機構で蓋体を容器本体に固定する。
【００１５】
また、前記繰り出し部材が、回動中心からの距離と高さとを変えて形成された支持レール部を備えることが望ましい。
【００１６】
これにより、支持レール部で係止板の出し入れが制御され、蓋体を容器本体に対して確実に固定し、確実に固定解除する。
【００１７】
また、前記繰り出し部材の回動方向端部に係止腕部を備えることが望ましい。
【００１８】
これにより、繰り出し部材を回動させた後、設定位置で固定することができる。
【００１９】
また、前記係止板が、その先端に容器本体側と係止する押さえ爪部を備えることが望ましい。
【００２０】
これにより、押さえ爪部が容器本体側と係止して、蓋体を押さえ、容器本体に固定する。
【００２１】
第２の発明に係る薄板支持容器は、内部に薄板を複数枚収納して輸送する容器本体と、この容器本体内を塞ぐ蓋体とを備えてなる薄板支持容器において、前記蓋体として、上記薄板支持容器用蓋体を用いたことを特徴とする。
【００２２】
前記構成により、薄板支持容器を輸送用として使用した後に、工場内等において製造ライン用として使用することができる。
【００２３】
また、前記繰り出し部材の回動方向端部に、回動により容器本体側に固定的に設けられた係止ピンに接したときに前記繰り出し部材の回動を止める係止腕部を備えることが望ましい。これにより、繰り出し部材を回動させた後、設定位置で固定することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板支持容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して、保管、輸送すると共に、輸送後に容器本体を製造ライン等でそのまま使用できるようにしたものである。なお、ここでは、半導体ウエハを収納する薄板支持容器を例に説明する。
【００２５】
本実施形態に係る薄板支持容器１は、図１，２，３に示すように、内部に半導体ウエハ（図示せず）を複数枚収納する容器本体２と、この容器本体２内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された半導体ウエハを両側から支持する２つの薄板支持部３と、容器本体２を塞ぐ輸送用蓋体４及び製造ライン用蓋体５と、工場内の搬送装置（図示せず）の腕部で把持されるトップフランジ６と、作業者が手で薄板支持容器１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハンドル７とから構成されている。
【００２６】
容器本体２は、図３〜５に示すように、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体２は縦置き状態（図３の状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄと底板部２Ｅとから構成され、その上部に開口２Ｆが設けられている。各側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄには、補強用の縦溝９が多数設けられている。この容器本体２は、半導体ウエハの製造ライン等においてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据え付けられるときには、横置きにされる。この横置き状態で底部となる側壁部２Ａの外側には、薄板支持容器１の位置決め手段１１が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部２Ｂの外側にはトップフランジ６が着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁部となる側壁部２Ｃ，２Ｄの外側には持ち運び用ハンドル７が着脱自在に取り付けられている。なお、持ち運び用ハンドル７は、棒状のものに限らず、丸い取っ手等の他の形状のものでもよい。
【００２７】
上記位置決め手段１１は主に３本の嵌合溝１２によって構成されている。各嵌合溝１２は、容器本体２の縦方向に整合する第１嵌合溝１２Ａと、容器本体２の縦方向に対して同じ角度（ほぼ６０度）だけ傾斜させた第２及び第３嵌合溝１２Ｂ，１２Ｃとから構成されている。これら３本の嵌合溝１２は規格に合わせて精密な寸法精度で仕上げされている。この位置決め手段１１の各嵌合溝１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃが載置台側の嵌合突起（図示せず）に嵌合することによって、薄板支持容器１が正確な位置に設置されて、ウエハ搬送用ロボットで半導体ウエハが出し入れされるようになっている。
【００２８】
底板部２Ｅには足部１３が設けられている。この足部１３は、底板部２Ｅの四隅近傍の４カ所を下方に四角形状に突出させて形成されている。容器本体２を縦置きにしたときに、この４カ所の足部１３によって容器本体２が安定して支持されるようになっている。
【００２９】
容器本体２の側壁部２Ｃ，２Ｄの内側には、着脱自在に取り付けられる薄板支持部３を支持する支持台１５が設けられている。この支持台１５は、下側台部１５Ａと上側台部１５Ｂとから構成されている。各支持台１５には支持用突起１６が設けられている。支持用突起１６は、薄板支持部３に嵌合して薄板支持部３を支持する。
【００３０】
容器本体２の上端部には、図６及び図７に示すように、蓋体４が嵌合するための蓋体受け部１７が設けられている。この蓋体受け部１７は容器本体２の上端部を、蓋体４の寸法まで広げて形成されている。これにより、蓋体４は、蓋体受け部１７の垂直板部１７Ａの内側に嵌合し、水平板部１７Ｂに当接することで、蓋体受け部１７に取り付けられるようになっている。さらに、水平板部１７Ｂには、その全周にシール溝１７Ｃが設けられ、蓋体４の下側面に取り付けられたガスケット１８が嵌合して薄板支持容器１の内部を密封するようになっている。垂直板部１７Ａの内側面には、後述する輸送用簡易着脱機構２３の蓋体係止爪２４が嵌合して蓋体４を容器本体２側に固定するための第１被嵌合部１９が設けられている。この第１被嵌合部１９は、垂直板部１７Ａを四角形状に窪ませて形成され、その内側上面に後述する蓋体係止爪２４が嵌合するようになっている。
【００３１】
さらに、各側壁部２Ｃ，２Ｄ側の垂直板部１７Ａの中央には、図３に示すように、第２被嵌合部２１が設けられている。この第２被嵌合部２１は、製造ラインで使用するためのものである。第２被嵌合部２１は、製造ライン用蓋体５の製造ライン用簡易着脱機構３２の係止板３４が嵌合して、製造ライン用蓋体５を容器本体２側に固定するようになっている。この第２被嵌合部２１は規格に合わせた位置、形状、大きさに設けられている。
【００３２】
輸送用蓋体４は、公知の蓋体で、図２、７、８に示すように構成されている。この輸送用蓋体４は、皿状に形成され、その中央部が、内部に収納される半導体ウエアの上部に接触しないように、円筒状に盛り上げて形成されている。さらに、蓋体４の上側面には、容器本体２の底部に設けられた足部１３が嵌合する足部受け部２２がそれぞれ４カ所に設けられている。
【００３３】
さらに、蓋体４の四隅には、輸送用蓋体４を容器本体２に対して着脱自在に固定する輸送用簡易着脱機構２３が設けられている。この輸送用簡易着脱機構２３は主に、輸送用蓋体４の周縁部から突出した状態で設けられた蓋体係止爪２４と、この蓋体係止爪２４が取り付けられた可撓性の支持板２５と、この支持板２５から水平方向に延ばして形成され作業者が指で押さえて蓋体係止爪２４を解除する解除板２６とから構成されている。
【００３４】
製造ライン用蓋体５は、輸送されてきた薄板支持容器１の容器本体２をそのまま工場内の製造ラインに使用できるようにするための蓋体である。この製造ライン用蓋体５は、上記薄板支持容器１とは独立した単体の製品として半導体製造工場等に置かれる。製造ライン用蓋体５は図１、図９〜１１に示すように構成されている。
【００３５】
製造ライン用蓋体５は、全体をほぼ四角形の浅い皿状に形成され、容器本体２の蓋体受け部１７に装着された状態で外部にはみ出さないようになっている。製造ライン用蓋体５の下部の周囲にはガスケット受け部３１が取り付けられている。このガスケット受け部３１には、ガスケット（図示せず）が設けられ、製造ライン用蓋体５が蓋体受け部１７に装着された状態で、シール溝１７Ｃに嵌合して容器本体２内をシールするようになっている。なお、ガスケットは、シール溝１７Ｃの形状に合わせて適宜形成される。シール溝１７Ｃは単純な溝形状でない場合もあるため、それぞれの形状に応じた形状に形成される。
【００３６】
製造ライン用蓋体５の長手方向両端縁部の中央位置の上側面には、製造ライン用蓋体５を容器本体２に対して着脱自在に固定する製造ライン用簡易着脱機構３２が設けられている。この製造ライン用簡易着脱機構３２の位置は規格に合わせて設定されている。製造ライン用簡易着脱機構３２は、本体凹部３３と、係止板３４と、繰り出し部材３５と、カバー３６とから構成されている。
【００３７】
製造ライン用蓋体５側の本体凹部３３は、図１、９、１２に示すように、製造ライン用蓋体５の長手方向両端部の中央に外方へ向けて半円状に窪ませて形成されている。この本体凹部３３は具体的には、作動溝部３８と、支持筒部３９と、係止ピン４０と、支持板部４１と、出し入れ溝部４２と、出し入れ穴部４３と、係止軸受け部４４と、支持板部４５とから構成されている。
【００３８】
作動溝部３８は、繰り出し部材３５を収納してその作動に伴う回転を許容するための溝である。この作動溝部３８は、長溝を半円状の曲げた状態で形成されている。
【００３９】
支持筒部３９は、繰り出し部材３５の作動に伴う回転を支持すると共に係止板３４の出没動を支持するための部材で、円形筒状に形成されている。この支持筒部３９は、半円状の作動溝部３８の中央に設けられている。
【００４０】
係止ピン４０は繰り出し部材３５を設定角度で固定するためのピンである。この係止ピン４０は、後述する繰り出し部材３５の係止腕部５７が係止することで、繰り出し部材３５を設定角度で固定する。
【００４１】
支持板部４１は、係止板３４の出没動を支持するための板材である。この支持板部４１は、係止板３４の幅でその係止板３４を挟むように対向して２枚設けられている。支持板部４１の上端部には係止板３４の揺動支持ピン５０を支持するピン支持凹部４１Ａが設けられている。ピン支持凹部４１Ａは、係止板３４の出没動に伴って前後に移動する揺動支持ピン５０の動きを許容できる長さに形成されている。この２つの支持板部４１によって出し入れ溝部４２が形成されている。係止板３４は、この出し入れ溝部４２に装着されて出没動作が案内、支持される。出し入れ溝部４２の先端には出し入れ穴部４３が設けられている。係止板３４はこの出し入れ穴部４３から外部に突出して容器本体２の第２被嵌合部２１に係止して製造ライン用蓋体５を容器本体２に固定するようになっている。
【００４２】
なお、上記作動溝部３８は、１枚板の製造ライン用蓋体５に凹凸を設けて形成され、製造ライン用蓋体５の表面と裏面が貫通されることはない。さらに、各部は全体をなだらかな曲線で形成して水はけのよい形状になっている。
【００４３】
係止軸受け部４４はカバー３６の一端を支持するための部材である。係止軸受け部４４は、カバー３６が取り付けられた状態の外側（図１２中の下側）の端部の両側（後述するカバー３６の係止軸６５に対向する位置）に２つ設けられている。係止軸受け部４４は、外側へ開放した切り欠きによって構成され、カバー３６の係止軸６５が外側から嵌合してカバー３６の一端が支持されるようになっている。
【００４４】
支持板部４５はカバー３６の他端を支持するための部材である。支持板部４５は、カバー３６が取り付けられた状態の内側（図１２中の上側）の端部に２つ設けられている。支持板部４５は、後述するカバー３６の係止棒６７が嵌合する係止穴４５Ａと、後述する抜け止め棒６８の係止片６８Ａが係止する被係止部４５Ｂとを備えて構成されている。
【００４５】
係止板３４は、製造ライン用蓋体５を容器本体２側に固定するための部材である。この係止板３４は、図１２〜１６に示すように、係合フック部４８と、出没動支持穴４９と、揺動支持ピン５０と、押さえ爪部５１とから構成されている。
【００４６】
係合フック部４８は、Ｃ字型に形成され、後述する繰り出し部材３５の支持レール部５６に嵌合して互いに連結されている。係合フック部４８の開口４８Ａの寸法はその内径よりも僅かに小さく設定され、断面形状がほぼ円形の支持レール部５６に嵌合することで、互いに抜け落ちないようにかつスライド可能に連結される。
【００４７】
出没動支持穴４９は、係止板３４の出没動作を支持するための穴で、係止板３４の中央部にほぼ楕円状に形成されている。この出没動支持穴４９は、上記本体凹部３３の支持筒部３９に嵌合して支持される。
【００４８】
揺動支持ピン５０は、係止板３４の左右に突出して設けられ、上記支持板部４１のピン支持凹部４１Ａに載置して支持される。この状態で、揺動支持ピン５０は、係止板３４の揺動と出没動を支持する。
【００４９】
押さえ爪部５１は、係止板３４が繰り出し部材３５によって繰り出された状態で、容器本体２の第２被嵌合部２１に嵌合して製造ライン用蓋体５を容器本体２側へ押さえて固定するための部材である。この押さえ爪部５１は、その先端部を上方へ折り返して形成され、その上端部が上記第２被嵌合部２１の上面に圧接して（図２５の状態）製造ライン用蓋体５を容器本体２側に押圧支持するようになっている。
【００５０】
繰り出し部材３５は、係止板３４を繰り出すと共に上下に揺動させて製造ライン用蓋体５を容器本体２に固定するための部材である。この繰り出し部材３５は、図１２、図１７〜２１に示すように、支持柱部５５と、支持レール部５６と、係止腕部５７とから構成されている。
【００５１】
支持柱部５５は、繰り出し部材３５の回転を支持するための部材である。この支持柱部５５は、上記本体凹部３３の支持筒部３９に嵌合して回転可能に支持される。支持柱部５５の上側面にはキー溝５９が設けられている。このキー溝５９はほぼ長方形穴状に形成され、工場内の搬送装置のＴ字型の取り外し用キー（図示せず）が嵌合するようになっている。なお、この取り外し用キーは、規格で統一されており、キー溝５９は、これに合わせて設定されている。
【００５２】
支持レール部５６は、係止板３４の係合フック部４８に嵌合して係止板３４を直接的に出没させるための部材である。この支持レール部５６は、上記支持柱部５５を中心にしてほぼ９０度の範囲で形成されて係合フック部４８に嵌合する円形棒６１と、この円形棒６１に一体的に設けられた支持板６２とから構成されている。円形棒６１は、支持柱部５５からの半径寸法及び高さを変えて形成されている。具体的には、円形棒６１は、その中央部Ｄを境にして、繰り出し機能部６１Ａと、押し上げ機能部６１Ｂとから構成されている。繰り出し機能部６１Ａは、支持柱部５５からの半径を、端部（図７中のＣ位置）から中央部Ｄに向けて徐々に小さくなるように設定され、係合フック部４８が中央部Ｄに位置するときに係止板３４を外方に繰り出し、端部Ｃに位置するときに係止板３４を内側へ引き戻すように構成されている。押し上げ機能部６１Ｂは、支持柱部５５からの半径をほぼ一定に保った状態で、円形棒６１を端部Ｅへ向けて下方へ湾曲させて高さを変えている。具体的には、係合フック部４８が円形棒６１の中央部Ｄに位置するときに、係止板３４の先端の押さえ爪部５１は下がった状態に保たれ、係合フック部４８が円形棒６１の端部Ｅに位置するときに係合フック部４８が押し下げられて押さえ爪部５１が押し上げられるように（図２５の状態）構成されている。これにより、係合フック部４８が円形棒６１の端部Ｃから中央Ｄに移動すると、係止板３４が出し入れ穴部４３から繰り出され、中央Ｄから端部Ｅに移動すると、出し入れ穴部４３から繰り出された状態の係止板３４の押さえ爪部５１が上方へ押し上げられて容器本体２の第２被嵌合部２１の上面に当接し、製造ライン用蓋体５が容器本体２に押圧固定されるようになっている。
【００５３】
係止腕部５７は、繰り出し部材３５を右端又は左端に回転した状態で固定するための部材である。この係止腕部５７は、支持レール部５６の左右両端部から外方へ延ばして形成された弾性を有する腕部５７Ａと、この腕部５７Ａの先端に形成されて上記係止ピン４０に係止する円弧状の係止爪部５７Ｂとから構成されている。
【００５４】
カバー３６は、係止板３４と繰り出し部材３５を覆う部材である。即ち、このカバー３６は、係止板３４と繰り出し部材３５が本体凹部３３に取り付けられた状態で、これらを覆って設けられる。カバー３６は、ほぼ半円形皿状に形成されている。このカバー３６の基端（図２２中の右端部）の上下両側端部には係止軸６５が設けられている。この係止軸６５は、支持板６６から内側へ向けて形成され、本体凹部３３の係止軸受け部４４に嵌合してカバー３６の基端を本体凹部３３に固定する。カバー３６の先端部には２本の係止棒６７が設けられ、本体凹部３３の支持板部４５の係止穴４５Ａに嵌合してカバー３６の先端を本体凹部３３に固定する。係止軸６５及び係止棒６７はカバー３６を内側方向（支持板部４５側方向）へ移動させることで係止軸受け部４４及び持板部４５に嵌合して固定されるようになっている。２本の係止棒６７の内側には、２本の抜け止め棒６８が設けられている。この２本の抜け止め棒６８は可撓性を有している。抜け止め棒６８は具体的には、互いに外側へ向けて形成され支持板部４５の被係止部４５Ｂに係止される係止片６８Ａと、手で摘んで係止片６８Ａを支持板部４５の被係止部４５Ｂから外す摘み板６８Ｂとを備えている。この抜け止め棒６８の係止片６８Ａが被係止部４５Ｂに係止することで、カバー３６を本体凹部３３に確実に固定し、係止片６８Ａが被係止部４５Ｂから外れることで、カバー３６を本体凹部３３から容易に取り外すことができるようになっている。
【００５５】
製造ライン用蓋体５の裏面には、図１に示すように、容器本体２内に収納された半導体ウエハを支持するウエハ押さえ部７１が設けられている。このウエハ押さえ部７１は、半導体ウエハの周縁に直接に接触して支持するＶ字押さえ片７２と、このＶ字押さえ片７２を弾性的に支持する支持腕部７３とを備えて構成されている。
【００５６】
以上のように構成された薄板支持容器１は、次のようにして使用される。
【００５７】
薄板支持容器１は、半導体ウエハ等が内部に収納して目的の工場等へ搬送される。この場合、容器本体２に半導体ウエハ等が収納された状態で、輸送用蓋体４が取り付けられる。輸送用蓋体４の輸送用簡易着脱機構２３の蓋体係止爪２４が蓋体受け部１７の第１被嵌合部１９に嵌合して、輸送用蓋体４が容器本体２の取り付けられる。これにより、容器本体２内が完全に密封され、目的の工場等へ搬送される。
【００５８】
工場等へ着いた後は、輸送用蓋体４の輸送用簡易着脱機構２３の解除板２６を指で押し下げて蓋体係止爪２４を第１被嵌合部１９から外し、輸送用蓋体４を容器本体２から取り外して、内部に半導体ウエハ等を工場内のライン等に供給する。
【００５９】
使用後の薄板支持容器１は再利用される。容器本体２は、輸送先の工場等において、洗浄後、予め用意された製造ライン用蓋体５に付け替えられる。即ち、製造ライン用蓋体５を容器本体２の蓋体受け部１７に取り付け、取り外し用キーをキー溝５９に挿入して回す。これにより、繰り出し部材３５が回され、係合フック部４８で支持レール部５６に係合した係止板３４が、繰り出し機能部６１Ａで繰り出され、図２４の状態から、出し入れ穴部４３通って延出して第２被嵌合部２１に挿入される。次いで、押し上げ機能部６１Ｂで係合フック部４８が押し下げられ、揺動支持ピン５０を中心にして、図２５のように、押さえ爪部５１が上方に押し上げられて、第２被嵌合部２１の上側面に当接し、押圧される。これにより、揺動支持ピン５０で支持板部４１が押し下げられて、製造ライン用蓋体５が容器本体２に固定される。
【００６０】
製造ライン用蓋体５を容器本体２から取り外す場合は、取り外し用キーをキー溝５９に挿入して、上述の場合と逆に回す。これにより、繰り出し部材３５が逆に回され、係合フック部４８が支持レール部５６を上述の場合と逆に辿る。即ち、係合フック部４８が引き上げられて押さえ爪部５１が下がり、カバー３６内に引き戻される。これにより、製造ライン用蓋体５の固定が解除され、容器本体２から取り外す。このようにして、容器本体２は、輸送用に容器から工場等の製造ライン用として再使用される。
【００６１】
輸送用蓋体４は、あまり嵩張らないため送り返し、再度、半導体ウエハ等の輸送に使用される。
【００６２】
前記実施形態では、半導体ウエハを例に説明したが、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の他の薄板を用いた場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００６３】
以上詳述したように、本発明の薄板支持容器によれば、次のような効果を奏する。
【００６４】
（１） 輸送用蓋体４と共に製造ライン用蓋体５を用いたので、容器本体２を輸送用の薄板支持容器１に使用することができると共に、製造ライン用の薄板支持容器１にも使用することができるようになる。
【００６５】
この結果、使用効率が向上し、資源の無駄を防止して、廃棄物の発生を防止することができる。
【００６６】
（２） 製造ライン用蓋体５に製造ライン用簡易着脱機構３２を備えたので、輸送用に供された容器本体２に、製造ライン用簡易着脱機構３２を介して製造ライン用蓋体５を取り付けることができるようになり、輸送に用いられた容器本体２を製造ラインにそのまま使用することができる。
【００６７】
（３） 製造ライン用簡易着脱機構３２を、容器本体２の第２被嵌合部２１に係止する係止板３４と、この係止板３４に係止して出没動させる繰り出し部材３５とを備えて構成したので、繰り出し部材３５で係止板３４を第２被嵌合部２１に対して出没動させて、製造ライン用蓋体５を容器本体２に容易に着脱することができるようになる。
【００６８】
（４） 繰り出し部材３５の回動方向端部に係止腕部５７を備えたので、繰り出し部材３５を回動させた後、設定位置で確実に固定することができる。
【００６９】
（５） 繰り出し部材３５が係止板３４の出し入れを制御する支持レール部５６を備えたので、この支持レール部５６で係止板３４の出し入れが制御されて、製造ライン用蓋体５を容器本体２に対して確実に固定し、確実に固定解除することができる。
【００７０】
（６） 係止板３４が、揺動可能に支持されると共にスライド可能に支持されるため、係止板３４をスライドさせて容器本体２へ延出し、揺動させて容器本体２に当接させ、製造ライン用蓋体５を容器本体２に確実に固定させることができる。
【００７１】
（７） 係止板３４が、その先端に容器本体２側と係止する押さえ爪部５１を備えたので、この押さえ爪部５１が容器本体２側の第２被嵌合部２１と係止して、製造ライン用蓋体５を押さえ、容器本体２に確実に固定させることができる。
【００７２】
（８） 薄板支持容器１の蓋体として製造ライン用蓋体５を用いたので、薄板支持容器１を輸送用として使用した後に、工場内等において製造ライン用として使用することができる。
【００７３】
以上のように、本発明に係る薄板支持容器１は、塵埃等の発生を絶対的に抑制する必要のある半導体ウエアや、ハードメモリーディスク（磁気ディスク）や、コンパクトディスク（ＣＤ）の基体等を搬送するキャリアに用いて有用である。また、これらの製造行程での移送用のキャリアに用いて有用である。
【００７４】
【発明の効果】
（１） 輸送用蓋体と共に製造ライン用蓋体を用いたので、容器本体を輸送用の薄板支持容器に使用することができると共に、製造ライン用の薄板支持容器にも使用することができるようになる。この結果、使用効率が向上し、資源の無駄を防止して、廃棄物の発生を防止することができる。
【００７５】
（２） 製造ライン用蓋体に製造ライン用簡易着脱機構を備えたので、輸送用に供された容器本体に、製造ライン用簡易着脱機構を介して製造ライン用蓋体を取り付けることができるようになり、輸送に用いられた容器本体を製造ラインにそのまま使用することができる。
【００７６】
（３） 製造ライン用簡易着脱機構を、容器本体の第２被嵌合部に係止する係止板と、この係止板に係止して出没動させる繰り出し部材とを備えて構成したので、繰り出し部材で係止板を第２被嵌合部に対して出没動させて、製造ライン用蓋体を容器本体に容易に着脱することができるようになる。
【００７７】
（４） 繰り出し部材の回動方向端部に係止腕部を備えたので、繰り出し部材を回動させた後、設定位置で確実に固定することができる。
【００７８】
（５） 繰り出し部材が係止板の出し入れを制御する支持レール部を備えたので、この支持レール部で係止板の出し入れが制御されて、製造ライン用蓋体を容器本体に対して確実に固定し、確実に固定解除することができる。
【００７９】
（６） 係止板が、揺動可能に支持されると共にスライド可能に支持されるため、係止板をスライドさせて容器本体へ延出し、揺動させて容器本体に当接させ、製造ライン用蓋体を容器本体に確実に固定させることができる。
【００８０】
（７） 係止板が、その先端に容器本体側と係止する押さえ爪部を備えたので、この押さえ爪部が容器本体側の第２被嵌合部と係止して、製造ライン用蓋体を押さえ、容器本体に確実に固定させることができる。
【００８１】
（８） 薄板支持容器の蓋体として製造ライン用蓋体を用いたので、薄板支持容器を輸送用として使用した後に、工場内等において製造ライン用として使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態に係る製造ライン用蓋体を示す平面図である。
【図２】 輸送用の薄板支持容器を示す斜視図である。
【図３】 薄板支持容器の容器本体を示す斜視図である。
【図４】 薄板支持容器の容器本体を示す底面図である。
【図５】 薄板支持容器の容器本体を示す断面図である。
【図６】 薄板支持容器の容器本体を示す要部斜視図である。
【図７】 輸送用蓋体と容器本体との当接部分を示す要部断面図である。
【図８】 輸送用蓋体の輸送用簡易着脱機構を示す斜視図である。
【図９】 製造ライン用蓋体を示す裏面図である。
【図１０】 製造ライン用蓋体を示す正面図である。
【図１１】 製造ライン用蓋体を示す側面図である。
【図１２】 製造ライン用簡易着脱機構を示す平面図である。
【図１３】 係止板を示す平面図である。
【図１４】 係止板を示す正面図である。
【図１５】 係止板を示す断面図である。
【図１６】 係止板を示す側面図である。
【図１７】 繰り出し部材を示す平面図である。
【図１８】 繰り出し部材を示す側面図である。
【図１９】 繰り出し部材を示す正面図である。
【図２０】 繰り出し部材を示す側面断面図である。
【図２１】 繰り出し部材を示す正面断面図である。
【図２２】 カバーを示す平面図である。
【図２３】 カバーを示す断面図である。
【図２４】 製造ライン用簡易着脱機構の動作状態を示す要部断面図である。
【図２５】 製造ライン用簡易着脱機構の動作状態を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１：薄板支持容器、２：容器本体、２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ：側壁部、２Ｅ：底板部、２Ｆ：開口、３：薄板支持部、４：輸送用蓋体、５：製造ライン用蓋体、６：トップフランジ、７：持ち運び用ハンドル、９：縦溝、１１：位置決め手段、１２：嵌合溝、１２Ａ：第１嵌合溝、１２Ｂ：第２嵌合溝、１２Ｃ：第３嵌合溝、１３：足部、１５：支持台、１５Ａ下側台部、１５Ｂ：上側台部、１６：支持用突起、１７：蓋体受け部、１７Ａ：垂直板部、１７Ｂ：水平板部、１７Ｃ：シール溝、１８：ガスケット、１９：第１被嵌合部、２１：第２被嵌合部、２３：輸送用簡易着脱機構、２４：蓋体係止爪、２５：支持板、２６：解除板、３１：ガスケット受け部、３２：製造ライン用簡易着脱機構、３３：本体凹部、３４：係止板、３５：繰り出し部材、３６：カバー、３８：作動溝部、３９：支持筒部、４０：係止ピン、４１：支持板部、４２：出し入れ溝部、４３：出し入れ穴部、４４：係止軸受け部、４５：支持板部、５０：揺動支持ピン、５１：押さえ爪部、５５：支持柱部、５６：支持レール部、５７：係止腕部。
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して保管や輸送に使用される容器本体を、輸送後の製造工程にも使用できるようにした薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ等の薄板を収納して保管、輸送するための薄板支持容器は一般に知られている。
【０００３】
この薄板支持容器は主に、容器本体と、この容器本体の上部開口を塞ぐ蓋体とから構成されている。容器本体の内部には、半導体ウエハ等の薄板を支持するための部材が設けられている。このような薄板支持容器では、内部に収納した半導体ウエハ等の薄板の表面の汚染等を防止するために、容器内を清浄に保って輸送する必要がある。このため、容器内は密封されている。即ち、蓋体を容器本体に固定して、容器内を密封している。この蓋体を容器本体に固定する構造としては種々のものがある。
【０００４】
そして、半導体ウエハ等の薄板を製造する工場で、容器本体に薄板が収納され、蓋体が容器本体に固定されて内部が密封される。この状態で半導体製造工場等へ輸送される。半導体製造工場等では、半導体ウエハ等が製造ライン専用容器に移し替えられて製造ラインに載せられるのが一般的である。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２８９７９５号
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のように半導体ウエハ等をライン専用容器に移し替える場合、上記薄板支持容器は輸送にのみ使用されることになり、その後は不要となる。このため、薄板支持容器は、半導体ウエハの輸送後に、空のままもとの工場に戻したり、廃棄処分にしたりする。しかし、これでは、使用効率が悪く、資源の無駄、廃棄物の増加を招いてしまう。
【０００７】
このため、本出願人は、容器本体の蓋体受け部を種々の蓋体に対応できるように改良し、容器本体を製造ラインでも使用できるようにした発明（特許文献１）を先に提案したが、この容器本体と異なる他の構造の容器本体の場合は依然として製造ラインで使用することはできないという問題点がある。
【０００８】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、容器本体を輸送後の製造ライン等でそのまま使用できるようにした薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
第１の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される容器本体を塞ぐ蓋体であって、簡易着脱機構を備え、当該簡易着脱機構は、延出して容器本体に係止する係止板と、この係止板の基端側を係止して前記係止板を出没動させる繰り出し部材と、前記係止板の左右に突出して設けられた揺動支持ピンと、本体側に設けられて前記揺動支持ピンを出没動方向にスライド可能に支持する支持板部とを備え、前記係止板が、前記揺動支持ピンによって出没動方向に直交する上下方向に揺動可能に支持されると共に前記揺動支持ピンを支持する前記支持板部によって出没動方向にスライド可能に支持され、前記繰り出し部材が、回動可能に支持されると共に、その回動を前記係止板の出没動と揺動に変換する変換機構を備え、一方への前記繰り出し部材の回動で前記係止板を出動させてその先端側を上方向に揺動させ、他方への回動で前記係止板を没動させてその先端側を下方向に揺動させることを特徴とする。
【００１０】
前記構成により、蓋体に簡易着脱機構を備えたので、輸送用に供された容器本体に、簡易着脱機構を介して製造ライン用の蓋体を取り付けることができる。これにより、輸送用の容器本体を製造ライン用としてそのまま使用することができる。また、繰り出し部材で係止板を出没動させることで、製造ライン用蓋体を容器本体に着脱することができる。さらに、係止板は、スライドして容器本体側へ延出し、その先端側が上方向に揺動して容器本体に当接されて、簡易着脱機構で蓋体を容器本体に固定する。
【００１５】
また、前記繰り出し部材が、回動中心からの距離と高さとを変えて形成された支持レール部を備えることが望ましい。
【００１６】
これにより、支持レール部で係止板の出し入れが制御され、蓋体を容器本体に対して確実に固定し、確実に固定解除する。
【００１７】
また、前記繰り出し部材の回動方向端部に係止腕部を備えることが望ましい。
【００１８】
これにより、繰り出し部材を回動させた後、設定位置で固定することができる。
【００１９】
また、前記係止板が、その先端に容器本体側と係止する押さえ爪部を備えることが望ましい。
【００２０】
これにより、押さえ爪部が容器本体側と係止して、蓋体を押さえ、容器本体に固定する。
【００２１】
第２の発明に係る薄板支持容器は、内部に薄板を複数枚収納して輸送する容器本体と、この容器本体内を塞ぐ蓋体とを備えてなる薄板支持容器において、前記蓋体として、上記薄板支持容器用蓋体を用いたことを特徴とする。
【００２２】
前記構成により、薄板支持容器を輸送用として使用した後に、工場内等において製造ライン用として使用することができる。
【００２３】
また、前記繰り出し部材の回動方向端部に、回動により容器本体側に固定的に設けられた係止ピンに接したときに前記繰り出し部材の回動を止める係止腕部を備えることが望ましい。これにより、繰り出し部材を回動させた後、設定位置で固定することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板支持容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して、保管、輸送すると共に、輸送後に容器本体を製造ライン等でそのまま使用できるようにしたものである。なお、ここでは、半導体ウエハを収納する薄板支持容器を例に説明する。
【００２５】
本実施形態に係る薄板支持容器１は、図１，２，３に示すように、内部に半導体ウエハ（図示せず）を複数枚収納する容器本体２と、この容器本体２内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された半導体ウエハを両側から支持する２つの薄板支持部３と、容器本体２を塞ぐ輸送用蓋体４及び製造ライン用蓋体５と、工場内の搬送装置（図示せず）の腕部で把持されるトップフランジ６と、作業者が手で薄板支持容器１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハンドル７とから構成されている。
【００２６】
容器本体２は、図３〜５に示すように、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体２は縦置き状態（図３の状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄと底板部２Ｅとから構成され、その上部に開口２Ｆが設けられている。各側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄには、補強用の縦溝９が多数設けられている。この容器本体２は、半導体ウエハの製造ライン等においてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据え付けられるときには、横置きにされる。この横置き状態で底部となる側壁部２Ａの外側には、薄板支持容器１の位置決め手段１１が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部２Ｂの外側にはトップフランジ６が着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁部となる側壁部２Ｃ，２Ｄの外側には持ち運び用ハンドル７が着脱自在に取り付けられている。なお、持ち運び用ハンドル７は、棒状のものに限らず、丸い取っ手等の他の形状のものでもよい。
【００２７】
上記位置決め手段１１は主に３本の嵌合溝１２によって構成されている。各嵌合溝１２は、容器本体２の縦方向に整合する第１嵌合溝１２Ａと、容器本体２の縦方向に対して同じ角度（ほぼ６０度）だけ傾斜させた第２及び第３嵌合溝１２Ｂ，１２Ｃとから構成されている。これら３本の嵌合溝１２は規格に合わせて精密な寸法精度で仕上げされている。この位置決め手段１１の各嵌合溝１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃが載置台側の嵌合突起（図示せず）に嵌合することによって、薄板支持容器１が正確な位置に設置されて、ウエハ搬送用ロボットで半導体ウエハが出し入れされるようになっている。
【００２８】
底板部２Ｅには足部１３が設けられている。この足部１３は、底板部２Ｅの四隅近傍の４カ所を下方に四角形状に突出させて形成されている。容器本体２を縦置きにしたときに、この４カ所の足部１３によって容器本体２が安定して支持されるようになっている。
【００２９】
容器本体２の側壁部２Ｃ，２Ｄの内側には、着脱自在に取り付けられる薄板支持部３を支持する支持台１５が設けられている。この支持台１５は、下側台部１５Ａと上側台部１５Ｂとから構成されている。各支持台１５には支持用突起１６が設けられている。支持用突起１６は、薄板支持部３に嵌合して薄板支持部３を支持する。
【００３０】
容器本体２の上端部には、図６及び図７に示すように、蓋体４が嵌合するための蓋体受け部１７が設けられている。この蓋体受け部１７は容器本体２の上端部を、蓋体４の寸法まで広げて形成されている。これにより、蓋体４は、蓋体受け部１７の垂直板部１７Ａの内側に嵌合し、水平板部１７Ｂに当接することで、蓋体受け部１７に取り付けられるようになっている。さらに、水平板部１７Ｂには、その全周にシール溝１７Ｃが設けられ、蓋体４の下側面に取り付けられたガスケット１８が嵌合して薄板支持容器１の内部を密封するようになっている。垂直板部１７Ａの内側面には、後述する輸送用簡易着脱機構２３の蓋体係止爪２４が嵌合して蓋体４を容器本体２側に固定するための第１被嵌合部１９が設けられている。この第１被嵌合部１９は、垂直板部１７Ａを四角形状に窪ませて形成され、その内側上面に後述する蓋体係止爪２４が嵌合するようになっている。
【００３１】
さらに、各側壁部２Ｃ，２Ｄ側の垂直板部１７Ａの中央には、図３に示すように、第２被嵌合部２１が設けられている。この第２被嵌合部２１は、製造ラインで使用するためのものである。第２被嵌合部２１は、製造ライン用蓋体５の製造ライン用簡易着脱機構３２の係止板３４が嵌合して、製造ライン用蓋体５を容器本体２側に固定するようになっている。この第２被嵌合部２１は規格に合わせた位置、形状、大きさに設けられている。
【００３２】
輸送用蓋体４は、公知の蓋体で、図２、７、８に示すように構成されている。この輸送用蓋体４は、皿状に形成され、その中央部が、内部に収納される半導体ウエアの上部に接触しないように、円筒状に盛り上げて形成されている。さらに、蓋体４の上側面には、容器本体２の底部に設けられた足部１３が嵌合する足部受け部２２がそれぞれ４カ所に設けられている。
【００３３】
さらに、蓋体４の四隅には、輸送用蓋体４を容器本体２に対して着脱自在に固定する輸送用簡易着脱機構２３が設けられている。この輸送用簡易着脱機構２３は主に、輸送用蓋体４の周縁部から突出した状態で設けられた蓋体係止爪２４と、この蓋体係止爪２４が取り付けられた可撓性の支持板２５と、この支持板２５から水平方向に延ばして形成され作業者が指で押さえて蓋体係止爪２４を解除する解除板２６とから構成されている。
【００３４】
製造ライン用蓋体５は、輸送されてきた薄板支持容器１の容器本体２をそのまま工場内の製造ラインに使用できるようにするための蓋体である。この製造ライン用蓋体５は、上記薄板支持容器１とは独立した単体の製品として半導体製造工場等に置かれる。製造ライン用蓋体５は図１、図９〜１１に示すように構成されている。
【００３５】
製造ライン用蓋体５は、全体をほぼ四角形の浅い皿状に形成され、容器本体２の蓋体受け部１７に装着された状態で外部にはみ出さないようになっている。製造ライン用蓋体５の下部の周囲にはガスケット受け部３１が取り付けられている。このガスケット受け部３１には、ガスケット（図示せず）が設けられ、製造ライン用蓋体５が蓋体受け部１７に装着された状態で、シール溝１７Ｃに嵌合して容器本体２内をシールするようになっている。なお、ガスケットは、シール溝１７Ｃの形状に合わせて適宜形成される。シール溝１７Ｃは単純な溝形状でない場合もあるため、それぞれの形状に応じた形状に形成される。
【００３６】
製造ライン用蓋体５の長手方向両端縁部の中央位置の上側面には、製造ライン用蓋体５を容器本体２に対して着脱自在に固定する製造ライン用簡易着脱機構３２が設けられている。この製造ライン用簡易着脱機構３２の位置は規格に合わせて設定されている。製造ライン用簡易着脱機構３２は、本体凹部３３と、係止板３４と、繰り出し部材３５と、カバー３６とから構成されている。
【００３７】
製造ライン用蓋体５側の本体凹部３３は、図１、９、１２に示すように、製造ライン用蓋体５の長手方向両端部の中央に外方へ向けて半円状に窪ませて形成されている。この本体凹部３３は具体的には、作動溝部３８と、支持筒部３９と、係止ピン４０と、支持板部４１と、出し入れ溝部４２と、出し入れ穴部４３と、係止軸受け部４４と、支持板部４５とから構成されている。
【００３８】
作動溝部３８は、繰り出し部材３５を収納してその作動に伴う回転を許容するための溝である。この作動溝部３８は、長溝を半円状の曲げた状態で形成されている。
【００３９】
支持筒部３９は、繰り出し部材３５の作動に伴う回転を支持すると共に係止板３４の出没動を支持するための部材で、円形筒状に形成されている。この支持筒部３９は、半円状の作動溝部３８の中央に設けられている。
【００４０】
係止ピン４０は繰り出し部材３５を設定角度で固定するためのピンである。この係止ピン４０は、後述する繰り出し部材３５の係止腕部５７が係止することで、繰り出し部材３５を設定角度で固定する。
【００４１】
支持板部４１は、係止板３４の出没動を支持するための板材である。この支持板部４１は、係止板３４の幅でその係止板３４を挟むように対向して２枚設けられている。支持板部４１の上端部には係止板３４の揺動支持ピン５０を支持するピン支持凹部４１Ａが設けられている。ピン支持凹部４１Ａは、係止板３４の出没動に伴って前後に移動する揺動支持ピン５０の動きを許容できる長さに形成されている。この２つの支持板部４１によって出し入れ溝部４２が形成されている。係止板３４は、この出し入れ溝部４２に装着されて出没動作が案内、支持される。出し入れ溝部４２の先端には出し入れ穴部４３が設けられている。係止板３４はこの出し入れ穴部４３から外部に突出して容器本体２の第２被嵌合部２１に係止して製造ライン用蓋体５を容器本体２に固定するようになっている。
【００４２】
なお、上記作動溝部３８は、１枚板の製造ライン用蓋体５に凹凸を設けて形成され、製造ライン用蓋体５の表面と裏面が貫通されることはない。さらに、各部は全体をなだらかな曲線で形成して水はけのよい形状になっている。
【００４３】
係止軸受け部４４はカバー３６の一端を支持するための部材である。係止軸受け部４４は、カバー３６が取り付けられた状態の外側（図１２中の下側）の端部の両側（後述するカバー３６の係止軸６５に対向する位置）に２つ設けられている。係止軸受け部４４は、外側へ開放した切り欠きによって構成され、カバー３６の係止軸６５が外側から嵌合してカバー３６の一端が支持されるようになっている。
【００４４】
支持板部４５はカバー３６の他端を支持するための部材である。支持板部４５は、カバー３６が取り付けられた状態の内側（図１２中の上側）の端部に２つ設けられている。支持板部４５は、後述するカバー３６の係止棒６７が嵌合する係止穴４５Ａと、後述する抜け止め棒６８の係止片６８Ａが係止する被係止部４５Ｂとを備えて構成されている。
【００４５】
係止板３４は、製造ライン用蓋体５を容器本体２側に固定するための部材である。この係止板３４は、図１２〜１６に示すように、係合フック部４８と、出没動支持穴４９と、揺動支持ピン５０と、押さえ爪部５１とから構成されている。
【００４６】
係合フック部４８は、Ｃ字型に形成され、後述する繰り出し部材３５の支持レール部５６に嵌合して互いに連結されている。係合フック部４８の開口４８Ａの寸法はその内径よりも僅かに小さく設定され、断面形状がほぼ円形の支持レール部５６に嵌合することで、互いに抜け落ちないようにかつスライド可能に連結される。
【００４７】
出没動支持穴４９は、係止板３４の出没動作を支持するための穴で、係止板３４の中央部にほぼ楕円状に形成されている。この出没動支持穴４９は、上記本体凹部３３の支持筒部３９に嵌合して支持される。
【００４８】
揺動支持ピン５０は、係止板３４の左右に突出して設けられ、上記支持板部４１のピン支持凹部４１Ａに載置して支持される。この状態で、揺動支持ピン５０は、係止板３４の揺動と出没動を支持する。
【００４９】
押さえ爪部５１は、係止板３４が繰り出し部材３５によって繰り出された状態で、容器本体２の第２被嵌合部２１に嵌合して製造ライン用蓋体５を容器本体２側へ押さえて固定するための部材である。この押さえ爪部５１は、その先端部を上方へ折り返して形成され、その上端部が上記第２被嵌合部２１の上面に圧接して（図２５の状態）製造ライン用蓋体５を容器本体２側に押圧支持するようになっている。
【００５０】
繰り出し部材３５は、係止板３４を繰り出すと共に上下に揺動させて製造ライン用蓋体５を容器本体２に固定するための部材である。この繰り出し部材３５は、図１２、図１７〜２１に示すように、支持柱部５５と、支持レール部５６と、係止腕部５７とから構成されている。
【００５１】
支持柱部５５は、繰り出し部材３５の回転を支持するための部材である。この支持柱部５５は、上記本体凹部３３の支持筒部３９に嵌合して回転可能に支持される。支持柱部５５の上側面にはキー溝５９が設けられている。このキー溝５９はほぼ長方形穴状に形成され、工場内の搬送装置のＴ字型の取り外し用キー（図示せず）が嵌合するようになっている。なお、この取り外し用キーは、規格で統一されており、キー溝５９は、これに合わせて設定されている。
【００５２】
支持レール部５６は、係止板３４の係合フック部４８に嵌合して係止板３４を直接的に出没させるための部材である。この支持レール部５６は、上記支持柱部５５を中心にしてほぼ９０度の範囲で形成されて係合フック部４８に嵌合する円形棒６１と、この円形棒６１に一体的に設けられた支持板６２とから構成されている。円形棒６１は、支持柱部５５からの半径寸法及び高さを変えて形成されている。具体的には、円形棒６１は、その中央部Ｄを境にして、繰り出し機能部６１Ａと、押し上げ機能部６１Ｂとから構成されている。繰り出し機能部６１Ａは、支持柱部５５からの半径を、端部（図７中のＣ位置）から中央部Ｄに向けて徐々に小さくなるように設定され、係合フック部４８が中央部Ｄに位置するときに係止板３４を外方に繰り出し、端部Ｃに位置するときに係止板３４を内側へ引き戻すように構成されている。押し上げ機能部６１Ｂは、支持柱部５５からの半径をほぼ一定に保った状態で、円形棒６１を端部Ｅへ向けて下方へ湾曲させて高さを変えている。具体的には、係合フック部４８が円形棒６１の中央部Ｄに位置するときに、係止板３４の先端の押さえ爪部５１は下がった状態に保たれ、係合フック部４８が円形棒６１の端部Ｅに位置するときに係合フック部４８が押し下げられて押さえ爪部５１が押し上げられるように（図２５の状態）構成されている。これにより、係合フック部４８が円形棒６１の端部Ｃから中央Ｄに移動すると、係止板３４が出し入れ穴部４３から繰り出され、中央Ｄから端部Ｅに移動すると、出し入れ穴部４３から繰り出された状態の係止板３４の押さえ爪部５１が上方へ押し上げられて容器本体２の第２被嵌合部２１の上面に当接し、製造ライン用蓋体５が容器本体２に押圧固定されるようになっている。
【００５３】
係止腕部５７は、繰り出し部材３５を右端又は左端に回転した状態で固定するための部材である。この係止腕部５７は、支持レール部５６の左右両端部から外方へ延ばして形成された弾性を有する腕部５７Ａと、この腕部５７Ａの先端に形成されて上記係止ピン４０に係止する円弧状の係止爪部５７Ｂとから構成されている。
【００５４】
カバー３６は、係止板３４と繰り出し部材３５を覆う部材である。即ち、このカバー３６は、係止板３４と繰り出し部材３５が本体凹部３３に取り付けられた状態で、これらを覆って設けられる。カバー３６は、ほぼ半円形皿状に形成されている。このカバー３６の基端（図２２中の右端部）の上下両側端部には係止軸６５が設けられている。この係止軸６５は、支持板６６から内側へ向けて形成され、本体凹部３３の係止軸受け部４４に嵌合してカバー３６の基端を本体凹部３３に固定する。カバー３６の先端部には２本の係止棒６７が設けられ、本体凹部３３の支持板部４５の係止穴４５Ａに嵌合してカバー３６の先端を本体凹部３３に固定する。係止軸６５及び係止棒６７はカバー３６を内側方向（支持板部４５側方向）へ移動させることで係止軸受け部４４及び持板部４５に嵌合して固定されるようになっている。２本の係止棒６７の内側には、２本の抜け止め棒６８が設けられている。この２本の抜け止め棒６８は可撓性を有している。抜け止め棒６８は具体的には、互いに外側へ向けて形成され支持板部４５の被係止部４５Ｂに係止される係止片６８Ａと、手で摘んで係止片６８Ａを支持板部４５の被係止部４５Ｂから外す摘み板６８Ｂとを備えている。この抜け止め棒６８の係止片６８Ａが被係止部４５Ｂに係止することで、カバー３６を本体凹部３３に確実に固定し、係止片６８Ａが被係止部４５Ｂから外れることで、カバー３６を本体凹部３３から容易に取り外すことができるようになっている。
【００５５】
製造ライン用蓋体５の裏面には、図１に示すように、容器本体２内に収納された半導体ウエハを支持するウエハ押さえ部７１が設けられている。このウエハ押さえ部７１は、半導体ウエハの周縁に直接に接触して支持するＶ字押さえ片７２と、このＶ字押さえ片７２を弾性的に支持する支持腕部７３とを備えて構成されている。
【００５６】
以上のように構成された薄板支持容器１は、次のようにして使用される。
【００５７】
薄板支持容器１は、半導体ウエハ等が内部に収納して目的の工場等へ搬送される。この場合、容器本体２に半導体ウエハ等が収納された状態で、輸送用蓋体４が取り付けられる。輸送用蓋体４の輸送用簡易着脱機構２３の蓋体係止爪２４が蓋体受け部１７の第１被嵌合部１９に嵌合して、輸送用蓋体４が容器本体２の取り付けられる。これにより、容器本体２内が完全に密封され、目的の工場等へ搬送される。
【００５８】
工場等へ着いた後は、輸送用蓋体４の輸送用簡易着脱機構２３の解除板２６を指で押し下げて蓋体係止爪２４を第１被嵌合部１９から外し、輸送用蓋体４を容器本体２から取り外して、内部に半導体ウエハ等を工場内のライン等に供給する。
【００５９】
使用後の薄板支持容器１は再利用される。容器本体２は、輸送先の工場等において、洗浄後、予め用意された製造ライン用蓋体５に付け替えられる。即ち、製造ライン用蓋体５を容器本体２の蓋体受け部１７に取り付け、取り外し用キーをキー溝５９に挿入して回す。これにより、繰り出し部材３５が回され、係合フック部４８で支持レール部５６に係合した係止板３４が、繰り出し機能部６１Ａで繰り出され、図２４の状態から、出し入れ穴部４３通って延出して第２被嵌合部２１に挿入される。次いで、押し上げ機能部６１Ｂで係合フック部４８が押し下げられ、揺動支持ピン５０を中心にして、図２５のように、押さえ爪部５１が上方に押し上げられて、第２被嵌合部２１の上側面に当接し、押圧される。これにより、揺動支持ピン５０で支持板部４１が押し下げられて、製造ライン用蓋体５が容器本体２に固定される。
【００６０】
製造ライン用蓋体５を容器本体２から取り外す場合は、取り外し用キーをキー溝５９に挿入して、上述の場合と逆に回す。これにより、繰り出し部材３５が逆に回され、係合フック部４８が支持レール部５６を上述の場合と逆に辿る。即ち、係合フック部４８が引き上げられて押さえ爪部５１が下がり、カバー３６内に引き戻される。これにより、製造ライン用蓋体５の固定が解除され、容器本体２から取り外す。このようにして、容器本体２は、輸送用に容器から工場等の製造ライン用として再使用される。
【００６１】
輸送用蓋体４は、あまり嵩張らないため送り返し、再度、半導体ウエハ等の輸送に使用される。
【００６２】
前記実施形態では、半導体ウエハを例に説明したが、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の他の薄板を用いた場合も、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００６３】
以上詳述したように、本発明の薄板支持容器によれば、次のような効果を奏する。
【００６４】
（１） 輸送用蓋体４と共に製造ライン用蓋体５を用いたので、容器本体２を輸送用の薄板支持容器１に使用することができると共に、製造ライン用の薄板支持容器１にも使用することができるようになる。
【００６５】
この結果、使用効率が向上し、資源の無駄を防止して、廃棄物の発生を防止することができる。
【００６６】
（２） 製造ライン用蓋体５に製造ライン用簡易着脱機構３２を備えたので、輸送用に供された容器本体２に、製造ライン用簡易着脱機構３２を介して製造ライン用蓋体５を取り付けることができるようになり、輸送に用いられた容器本体２を製造ラインにそのまま使用することができる。
【００６７】
（３） 製造ライン用簡易着脱機構３２を、容器本体２の第２被嵌合部２１に係止する係止板３４と、この係止板３４に係止して出没動させる繰り出し部材３５とを備えて構成したので、繰り出し部材３５で係止板３４を第２被嵌合部２１に対して出没動させて、製造ライン用蓋体５を容器本体２に容易に着脱することができるようになる。
【００６８】
（４） 繰り出し部材３５の回動方向端部に係止腕部５７を備えたので、繰り出し部材３５を回動させた後、設定位置で確実に固定することができる。
【００６９】
（５） 繰り出し部材３５が係止板３４の出し入れを制御する支持レール部５６を備えたので、この支持レール部５６で係止板３４の出し入れが制御されて、製造ライン用蓋体５を容器本体２に対して確実に固定し、確実に固定解除することができる。
【００７０】
（６） 係止板３４が、揺動可能に支持されると共にスライド可能に支持されるため、係止板３４をスライドさせて容器本体２へ延出し、揺動させて容器本体２に当接させ、製造ライン用蓋体５を容器本体２に確実に固定させることができる。
【００７１】
（７） 係止板３４が、その先端に容器本体２側と係止する押さえ爪部５１を備えたので、この押さえ爪部５１が容器本体２側の第２被嵌合部２１と係止して、製造ライン用蓋体５を押さえ、容器本体２に確実に固定させることができる。
【００７２】
（８） 薄板支持容器１の蓋体として製造ライン用蓋体５を用いたので、薄板支持容器１を輸送用として使用した後に、工場内等において製造ライン用として使用することができる。
【００７３】
以上のように、本発明に係る薄板支持容器１は、塵埃等の発生を絶対的に抑制する必要のある半導体ウエアや、ハードメモリーディスク（磁気ディスク）や、コンパクトディスク（ＣＤ）の基体等を搬送するキャリアに用いて有用である。また、これらの製造行程での移送用のキャリアに用いて有用である。
【００７４】
【発明の効果】
（１） 輸送用蓋体と共に製造ライン用蓋体を用いたので、容器本体を輸送用の薄板支持容器に使用することができると共に、製造ライン用の薄板支持容器にも使用することができるようになる。この結果、使用効率が向上し、資源の無駄を防止して、廃棄物の発生を防止することができる。
【００７５】
（２） 製造ライン用蓋体に製造ライン用簡易着脱機構を備えたので、輸送用に供された容器本体に、製造ライン用簡易着脱機構を介して製造ライン用蓋体を取り付けることができるようになり、輸送に用いられた容器本体を製造ラインにそのまま使用することができる。
【００７６】
（３） 製造ライン用簡易着脱機構を、容器本体の第２被嵌合部に係止する係止板と、この係止板に係止して出没動させる繰り出し部材とを備えて構成したので、繰り出し部材で係止板を第２被嵌合部に対して出没動させて、製造ライン用蓋体を容器本体に容易に着脱することができるようになる。
【００７７】
（４） 繰り出し部材の回動方向端部に係止腕部を備えたので、繰り出し部材を回動させた後、設定位置で確実に固定することができる。
【００７８】
（５） 繰り出し部材が係止板の出し入れを制御する支持レール部を備えたので、この支持レール部で係止板の出し入れが制御されて、製造ライン用蓋体を容器本体に対して確実に固定し、確実に固定解除することができる。
【００７９】
（６） 係止板が、揺動可能に支持されると共にスライド可能に支持されるため、係止板をスライドさせて容器本体へ延出し、揺動させて容器本体に当接させ、製造ライン用蓋体を容器本体に確実に固定させることができる。
【００８０】
（７） 係止板が、その先端に容器本体側と係止する押さえ爪部を備えたので、この押さえ爪部が容器本体側の第２被嵌合部と係止して、製造ライン用蓋体を押さえ、容器本体に確実に固定させることができる。
【００８１】
（８） 薄板支持容器の蓋体として製造ライン用蓋体を用いたので、薄板支持容器を輸送用として使用した後に、工場内等において製造ライン用として使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態に係る製造ライン用蓋体を示す平面図である。
【図２】 輸送用の薄板支持容器を示す斜視図である。
【図３】 薄板支持容器の容器本体を示す斜視図である。
【図４】 薄板支持容器の容器本体を示す底面図である。
【図５】 薄板支持容器の容器本体を示す断面図である。
【図６】 薄板支持容器の容器本体を示す要部斜視図である。
【図７】 輸送用蓋体と容器本体との当接部分を示す要部断面図である。
【図８】 輸送用蓋体の輸送用簡易着脱機構を示す斜視図である。
【図９】 製造ライン用蓋体を示す裏面図である。
【図１０】 製造ライン用蓋体を示す正面図である。
【図１１】 製造ライン用蓋体を示す側面図である。
【図１２】 製造ライン用簡易着脱機構を示す平面図である。
【図１３】 係止板を示す平面図である。
【図１４】 係止板を示す正面図である。
【図１５】 係止板を示す断面図である。
【図１６】 係止板を示す側面図である。
【図１７】 繰り出し部材を示す平面図である。
【図１８】 繰り出し部材を示す側面図である。
【図１９】 繰り出し部材を示す正面図である。
【図２０】 繰り出し部材を示す側面断面図である。
【図２１】 繰り出し部材を示す正面断面図である。
【図２２】 カバーを示す平面図である。
【図２３】 カバーを示す断面図である。
【図２４】 製造ライン用簡易着脱機構の動作状態を示す要部断面図である。
【図２５】 製造ライン用簡易着脱機構の動作状態を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１：薄板支持容器、２：容器本体、２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ：側壁部、２Ｅ：底板部、２Ｆ：開口、３：薄板支持部、４：輸送用蓋体、５：製造ライン用蓋体、６：トップフランジ、７：持ち運び用ハンドル、９：縦溝、１１：位置決め手段、１２：嵌合溝、１２Ａ：第１嵌合溝、１２Ｂ：第２嵌合溝、１２Ｃ：第３嵌合溝、１３：足部、１５：支持台、１５Ａ下側台部、１５Ｂ：上側台部、１６：支持用突起、１７：蓋体受け部、１７Ａ：垂直板部、１７Ｂ：水平板部、１７Ｃ：シール溝、１８：ガスケット、１９：第１被嵌合部、２１：第２被嵌合部、２３：輸送用簡易着脱機構、２４：蓋体係止爪、２５：支持板、２６：解除板、３１：ガスケット受け部、３２：製造ライン用簡易着脱機構、３３：本体凹部、３４：係止板、３５：繰り出し部材、３６：カバー、３８：作動溝部、３９：支持筒部、４０：係止ピン、４１：支持板部、４２：出し入れ溝部、４３：出し入れ穴部、４４：係止軸受け部、４５：支持板部、５０：揺動支持ピン、５１：押さえ爪部、５５：支持柱部、５６：支持レール部、５７：係止腕部。
Claims (5)
- 内部に薄板を複数枚収納して搬送される容器本体を塞ぐ蓋体であって、
簡易着脱機構を備え、
当該簡易着脱機構は、延出して容器本体に係止する係止板と、この係止板の基端側を係止して前記係止板を出没動させる繰り出し部材と、前記係止板の左右に突出して設けられた揺動支持ピンと、本体側に設けられて前記揺動支持ピンを出没動方向にスライド可能に支持する支持板部とを備え、
前記係止板が、前記揺動支持ピンによって出没動方向に直交する上下方向に揺動可能に支持されると共に前記揺動支持ピンを支持する前記支持板部によって出没動方向にスライド可能に支持され、
前記繰り出し部材が、回動可能に支持されると共に、その回動を前記係止板の出没動と揺動に変換する変換機構を備え、一方への前記繰り出し部材の回動で前記係止板を出動させてその先端側を上方向に揺動させ、他方への回動で前記係止板を没動させてその先端側を下方向に揺動させることを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項１に記載の薄板支持容器用蓋体において、
前記繰り出し部材が、回動中心からの距離と高さとを変えて形成された支持レール部を備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項１又は２に記載の薄板支持容器用蓋体において、
前記繰り出し部材の回動方向端部に、回動により容器本体側に固定的に設けられた係止ピンに接したときに前記繰り出し部材の回動を止める係止腕部を備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の薄板支持容器用蓋体において、
前記係止板が、揺動可能に支持されると共にスライド可能に支持され、その先端に容器本体側と係止する押さえ爪部を備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。 - 内部に薄板を複数枚収納して輸送する容器本体と、この容器本体内を塞ぐ蓋体とを備えてなる薄板支持容器において、
前記蓋体として、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の薄板支持容器用蓋体を用いたことを特徴とする薄板支持容器。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2001/006347 WO2003010069A1 (fr) | 2001-07-23 | 2001-07-23 | Couvercle pour contenant de feuilles et contenant de feuilles |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2003010069A1 JPWO2003010069A1 (ja) | 2004-11-11 |
| JP4610188B2 true JP4610188B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=11737576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003515435A Expired - Fee Related JP4610188B2 (ja) | 2001-07-23 | 2001-07-23 | 薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7048127B2 (ja) |
| EP (1) | EP1411006B1 (ja) |
| JP (1) | JP4610188B2 (ja) |
| KR (1) | KR100567507B1 (ja) |
| TW (1) | TW530021B (ja) |
| WO (1) | WO2003010069A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8083272B1 (en) * | 1998-06-29 | 2011-12-27 | Industrial Technology Research Institute | Mechanically actuated air tight device for wafer carrier |
| KR100567507B1 (ko) * | 2001-07-23 | 2006-04-03 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 박판 지지 용기용 덮개, 박판 지지 용기 및 간이 착탈 기구 |
| JP2004210421A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造システム、並びに処理装置の操作方法 |
| US7077270B2 (en) | 2004-03-10 | 2006-07-18 | Miraial Co., Ltd. | Thin plate storage container with seal and cover fixing means |
| JP2006173331A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Miraial Kk | 収納容器 |
| JP4647417B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-03-09 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の蓋体開閉方法 |
| TWI562940B (en) | 2008-01-13 | 2016-12-21 | Entegris Inc | Wafer container and method of manufacture |
| US8276758B2 (en) * | 2008-08-14 | 2012-10-02 | Gudeng Precision Industrial Co, Ltd | Wafer container with at least one oval latch |
| TWI341816B (en) * | 2008-08-14 | 2011-05-11 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container having the latch and inflatable seal element |
| TWI358379B (en) * | 2008-08-14 | 2012-02-21 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container with at least one latch |
| US7909166B2 (en) * | 2008-08-14 | 2011-03-22 | Gudeng Precision Industrial Co, Ltd | Front opening unified pod with latch structure |
| TW201010916A (en) * | 2008-09-12 | 2010-03-16 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | Wafer container with roller |
| TWI485796B (zh) * | 2008-11-21 | 2015-05-21 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 容置薄板之容器 |
| TW201138002A (en) | 2010-04-29 | 2011-11-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | A wafer container with oval latch |
| TWI394695B (zh) | 2010-04-29 | 2013-05-01 | Gudeng Prec Industral Co Ltd | 一種具有橢圓門閂結構之前開式晶圓盒 |
| CN103299412B (zh) * | 2010-10-19 | 2016-09-28 | 诚实公司 | 具有自动凸缘的前部开口晶片容器 |
| USD668865S1 (en) * | 2010-10-19 | 2012-10-16 | Entegris, Inc. | Substrate container |
| USD740031S1 (en) * | 2010-10-19 | 2015-10-06 | Entegris, Inc. | Substrate container |
| JP5715898B2 (ja) * | 2011-07-06 | 2015-05-13 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
| CN109515944B (zh) * | 2018-11-23 | 2020-02-18 | 安徽鸿森塑业有限公司 | 一种用于物流运输的塑料包装箱 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4674939A (en) * | 1984-07-30 | 1987-06-23 | Asyst Technologies | Sealed standard interface apparatus |
| US5711427A (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-27 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier with door |
| US5915562A (en) * | 1996-07-12 | 1999-06-29 | Fluoroware, Inc. | Transport module with latching door |
| US5931512A (en) * | 1997-07-23 | 1999-08-03 | Industrial Technology Research Institute | Latch mechanism for wafer container |
| US5957292A (en) * | 1997-08-01 | 1999-09-28 | Fluoroware, Inc. | Wafer enclosure with door |
| WO1999028952A2 (en) * | 1997-11-28 | 1999-06-10 | Fortrend Engineering Corporation | Wafer-mapping load port interface |
| JP4357013B2 (ja) * | 1998-07-23 | 2009-11-04 | 信越ポリマー株式会社 | 収納容器の蓋開閉ラッチ機構 |
| JP3556480B2 (ja) * | 1998-08-17 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
| JP2000289795A (ja) | 1999-04-06 | 2000-10-17 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板収納・輸送容器 |
| DE60043699D1 (de) * | 1999-07-14 | 2010-03-04 | Tokyo Electron Ltd | Auf/zu-vorrichtung für auf/zu-deckel eines lagerbehälters für unbehandelte dinge und behandlungssystem für unbehandelte dinge |
| JP2001158499A (ja) | 1999-11-30 | 2001-06-12 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器の構成部品及び精密基板収納容器の構成部品のリユース回数確認方法 |
| TW433258U (en) * | 2000-06-23 | 2001-05-01 | Ind Tech Res Inst | Improved door body structure for a pod |
| AU2002227395A1 (en) * | 2000-12-13 | 2002-06-24 | Entergris Cayman Ltd. | System for preventing improper insertion of foup door into foup |
| KR100567507B1 (ko) * | 2001-07-23 | 2006-04-03 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 박판 지지 용기용 덮개, 박판 지지 용기 및 간이 착탈 기구 |
| US6880718B2 (en) * | 2002-01-15 | 2005-04-19 | Entegris, Inc. | Wafer carrier door and spring biased latching mechanism |
| TW534165U (en) * | 2002-09-04 | 2003-05-21 | Ind Tech Res Inst | Latch locking mechanism used in doors of wafer boxes |
| US7455181B2 (en) * | 2003-05-19 | 2008-11-25 | Miraial Co., Ltd. | Lid unit for thin plate supporting container |
| US7182203B2 (en) * | 2003-11-07 | 2007-02-27 | Entegris, Inc. | Wafer container and door with vibration dampening latching mechanism |
| US7077270B2 (en) * | 2004-03-10 | 2006-07-18 | Miraial Co., Ltd. | Thin plate storage container with seal and cover fixing means |
-
2001
- 2001-07-23 KR KR1020037002547A patent/KR100567507B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-07-23 WO PCT/JP2001/006347 patent/WO2003010069A1/ja active IP Right Grant
- 2001-07-23 EP EP01950039A patent/EP1411006B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-23 US US10/432,771 patent/US7048127B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-07-23 JP JP2003515435A patent/JP4610188B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-07-26 TW TW090118286A patent/TW530021B/zh not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-04-13 US US11/104,620 patent/US7722095B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1411006A4 (en) | 2007-04-11 |
| KR20030031170A (ko) | 2003-04-18 |
| EP1411006B1 (en) | 2011-07-20 |
| WO2003010069A1 (fr) | 2003-02-06 |
| US7722095B2 (en) | 2010-05-25 |
| US7048127B2 (en) | 2006-05-23 |
| EP1411006A1 (en) | 2004-04-21 |
| TW530021B (en) | 2003-05-01 |
| KR100567507B1 (ko) | 2006-04-03 |
| US20040020930A1 (en) | 2004-02-05 |
| US20050173296A1 (en) | 2005-08-11 |
| JPWO2003010069A1 (ja) | 2004-11-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4610188B2 (ja) | 薄板支持容器用蓋体及び薄板支持容器並びに簡易着脱機構 | |
| EP1152455B1 (en) | Transportation container and method for opening and closing lid thereof | |
| EP1993125B1 (en) | Lid unit for thin plate supporting container | |
| TW200538367A (en) | Lid unit for thin plate supporting container | |
| JP2005353898A (ja) | 基板収納容器 | |
| KR20040016977A (ko) | 수평 카세트 | |
| JP2004014785A (ja) | 被処理体の収納容器体及びこれを用いた処理システム | |
| US7784640B2 (en) | Lid attaching mechanism with camming unit for thin-plate supporting container | |
| JP2007019328A (ja) | 基板収納容器の蓋体開閉方法 | |
| JP2006332278A (ja) | 枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材 | |
| JP4073206B2 (ja) | 収納容器の蓋体 | |
| JP4764001B2 (ja) | 薄板支持容器用蓋体 | |
| JP6767297B2 (ja) | ウェーハ収容容器 | |
| JP4175939B2 (ja) | 精密基板収納容器 | |
| JP4150578B2 (ja) | 薄板収納容器 | |
| US20060138143A1 (en) | Lid unit for thin-plate supporting container and method for attaching lid unit | |
| JP2009170726A (ja) | ロードポートおよびカセット位置調整方法 | |
| JPH02174244A (ja) | ウェハキャリア用治具枠およびウェハ移換装置 | |
| JP2003303869A (ja) | 基板搬送装置における蓋部材開閉装置 | |
| JP3917138B2 (ja) | ポッドオープナのポッドクランプユニット、当該ポッドクランプユニットを用いたポッドクランプ機構及びクランプ方法 | |
| JP2005101518A (ja) | 薄板支持容器用蓋体 | |
| JP2006032687A (ja) | 被加工物搬送装置 | |
| KR20110061937A (ko) | 웨이퍼 컨테이너 | |
| JPH10107019A (ja) | ボート支持受け及びボート搬送装置 | |
| WO2014054115A1 (ja) | 基板収納容器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070605 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100729 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100902 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101005 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101012 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |