TW530021B - Lid for thin-plate supporting container, and thin-plate supporting container - Google Patents

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Chiaki Matsutori
Tadahiro Obayashi
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Description

530021 五、發明說明（1) 本發明係左 圓、記憶場1關亦可將用來收納叫呆管、輪送半導卜 送後製程d反ϊί;ϊ純等之薄板之容器本體用：輪 背景彳持谷為用盍體及薄板支持容器。' 一般咸知舊 晶圓等薄板涛板支持容器係用來收納、保管、輸送半導啤 此薄板支持A _ 部開口之蓋髀it盗主要由容器本體和閉塞此容器本體之上 晶圓等薄二 ，。於容器本體内部設有用來支持半導體 部之半導體d此；薄板支持容器為了防止收納於内 淨予以輪送。大/專板表面之污染等，須保持容器内部潔 容器本體，'宓口，，谷斋内部密封。亦即，將蓋體固定於 有很多種。在封容器内部，固定此蓋體於容器本體之構造 並且5於制；4 容器本體，二 牛導體晶圓等薄板之工廠，將薄板收納於 下，輸送盖，固定於容器本體，内部密封。於此狀態 來，將半體製造薇等。於半導體製造廠等，一般說 線。、V體晶圓等換置於製造線專用容器，載送於製造 而^如上述將半導體晶圓等移置於線上專用容器情形 ’“述薄板支持容器僅用於輸送，此後則不需要。因 ^ :缚板支持容器在輪送半導體晶圓後，保持騰空，退返 ^來工廠進行廢棄處理。不過，這會導致使用效率惡化， 貧源浪費，廢棄物增加。 曰
第6頁 530021 五、發明說明（2) — =此]本申請人前曾提議改良容器本體之蓋體支承部， ，、可對應種種蓋體，亦可將容器本體用於製造線 (特開20^0:289795號），不過，在異於此容器本體之其γ 點，之谷為本體情形下，仍然有無法使用於製造線之問題 士，，係有鑑於上述諸點而作成者，其目的在 使用於輪送後之製造線等之薄板支持容 态用盍體及薄板支持容器。 久又得谷 發明概要 ，1發明之薄板支持容器用蓋體係將收納 内部而搬送之容器本體閉塞者，特徵 彡數片薄板於 於對向各邊之中央部且備掣用:四角形狀， 根1則遠構造，由於在蓋體具備製造線用簡 裝在供輸送in;; “裝卸機構’將製造線用蓋體安 造線用本體。猎此’輸送用容器本體仍可供製 較佳地，前述製造線用簡易裝卸機構配置 緊固於容哭太辦+软门1 X具備伸出而 之送出構；。之緊固板’以及緊固於緊固板而出沒作動 精由以送出構件使緊固板出沒 卸製造線用蓋體。 y'么為'本體1 腕=較佳地，於前述送出構件之轉動方向端部具備緊固 藉此可在轉動送出構件後固定於設定位置。
\\312\2d-code\90-10\90118286.ptd 第7頁 mil 530021 五、發明說明（3) 又，較佳地，前述送出構 ' 持軌部。 〃、備控制緊固板之出入之支 確實固定蓋體於 同時可滑動支 移動，抵接容 藉此，以支持軌部控制緊固 容器本體，並確實解除此固定。出入， 持又，較佳地，前述緊固板可搖動支持， 藉此，緊固板滑動，朝容器本 器本體，將蓋體固定於容器本體。 側：壓Ϊ:::前述緊固板於其前端具備緊固於容器本體 藉此，壓緊爪部緊固於容 容器本體。 W 屋廹、固定蓋體於 第2發明之薄板支持容器係具備收 而將其輪送之容器本體，以 此硬數片薄板於内部 特徵在於，使用μ、+^ ^ + 此谷為本體之蓋體者， 茲a、+、使用上速薄板支持容器用蓋體作a —f芸鱗 耩則迷構造，可在使用薄板支持容器=為：J盘體。 用於工廠内等之製造線。 、輪迗之後，將其 1 形態 以下根據附圖說明本發明之實施 持容器係收納、保，、輸送半導體晶圓、ΪΠ;薄；支 玻璃基板等薄&，同時在輸送後仍可將容；=用V:晶 ，等之構件。I，舉收納半導體晶圓之薄;; 加以說明。 寸双又付合态為例 如圖卜2、3所示，本實施形態之薄板支持容^由以下
\\312\2d-code\90-10\90118286.ptd 第8頁
五、發明說明（4) 元件構成：容器本體2，其 ' 略）；二薄板支持部3，其$部收納複數片半導體晶圓（圖 側壁，自兩側支持收納^义別設在此容器本體2内對向之 4及製造線用蓋體5，其閉$ 之半導體晶圓；輸送用蓋體 薇内搬送裝置（圖略）之腕:容器本體2 ;上凸緣6，其為工 7，其於搬運薄板支持容器^ ^持；以及握持搬運用手柄 如圖3〜5所示’容ϋ本體H作業M以手握持。 此容器本體2成縱置狀態（:王體大致形成立方體形狀。 側壁部2A、2B、2C、2lTj;圖3之狀態），由構成周壁之四片 開口 2F。於各側壁部2A ^ ^底板部2E構成，於其上部設置 9。此容器本體2於對向1 n^2C、2D設置多數補強用縱槽 導體晶圓之製造線等時^ ;用^器人t圖略）安裳於半 側壁部2A外侧設置薄板支持容哭此橫置狀態下構成底部之 狀^T構成頂棚部之側壁柳外側缘 V-Λ置//下構成橫壁部之側壁部2C、… :女：握持搬運用手柄7。且，握持搬運 狀，亦可為圓把手等苴他形狀。 於棒 二=置U主要由三個嵌合槽12構成。各 谷盜本體2之縱向整合之第！嵌合槽12Α，以及僅2 之縱向成相同角度（大約60度）傾斜之第2及第 3—甘欠合槽12B、12C構成。此三個嵌合槽12符合規格，以/ 二尺丄之精度精加工。藉由此定位裝置11之各嵌合槽θ ± ^ ^ 12C與載置台側之嵌合突起（圖略）嵌合，將簿 板支持谷器1設置於正確位置，以晶圓搬送用機器人取噚
530021 五、發明說明（8) __ 支持銷5〇作動之長度，此搖動支 沒動作前後移動。藉此二支持板部’：固板34之出 2。緊固板34安裝於此出入槽二取=入槽部 於出入槽部42之前端設置出入孔部“固出：： 出入孔部43突出外部，緊固於六即 ” Q板34自此 21，將製造線用蓋體5固緊定於於二 且，上述作動槽部38於一片 1 凹凸，製造線用蓋體5之表面盥内面衣"V 盍體5上形成 全^形成平滑曲線，作成排水良内好面形不狀貫。通。復且，各部 44於蓋36安裳狀態之外側（夸圖固轴承部 =後述蓋3 6之緊固軸6 5之位置）設置—1编邛之二側（對 藉由朝外側開放切出構成，卩心—固。緊固軸承部44 合，支持蓋36之-端。 盖36之緊固軸65自外側嵌
支持板部4 5係用來支持苗q R 於蓋36安裝狀態之内側（^ 6/之7；=構件。支持板部45 板部45配置成具備供後：中之上，f有二個。支持 45Λ，以及供後述鬆 腎门牛67嵌合之緊固孔 部45B。 防止棒68之緊固片68A緊固之被緊固 :固板34係用來將製造線用蓋體5 構件。如圖1 2〜1 6所示， 疋於合态本體2側之 動作支持孔49、搖動支持緊。二吉合鉤部48、出沒 結合鉤部48形成C字型'’山 ^ 丨、部51構成。 轨部56而與其相互連結。^人&於1述送出構件35之支持
ίϋί 峨 4ι·Ι ^3l2\2d-code\9〇.l〇\9〇ii8286.ptd …a鉤邻48之開口 48Α之尺寸設 第13頁 530021 五、發明說明（ίο) 支持執部56係用來嵌合於緊固板3 入 使緊固板34出沒之構件。此支持 ^鉤糾’直接 55為中心大致90度之範圍，盥έ士:以上述支持柱部 61，以及-體設於此圓二6;:;=嵌合之圓形棒 變化距離支持柱部55 f;J62構成。圓形棒61 圓來裱甘山丄 寸及间度形成。具體而言， 炉呷6^構/中部D為界，由送出功能部61 A以及推舉功 部61A 將距離 2 I:二圖7中之C位置〕朝中央部D徐徐變小，配置 ί : Ϊ:二鉤部48位於中央部D時，將緊固板34送出外 _在距離支接部’將緊固板34拉回内側。推舉功能部 來棟fi1差 寺柱邛55之半徑大致保持恆定狀態下，使圓 ^ +朝糕部E向下彎曲，改變高度。具體而古，配置 ί端ίίί?部48位於圓形棒61之中央部D時：緊固板34 部51保持於向下狀態，在結合鉤部心位於圓 往：推（二二t i )將結合，部48往下壓’將塵緊爪部51 端邻c銘# $ f狀悲）。赭 結合鉤部48一自圓形棒61之 央D，緊固板34 一自出入孔部43送出，自中 之壓緊爪上端部E，自出入孔部43送出狀態下之緊固板34 而 即往上推，抵接容器本體2之第2被嵌合部21 將製造線用蓋體5壓緊固定於容器本體2。 下將I = ΐ57係用來於送出構件35旋轉至右端或左端狀態 二诚二ΐ疋之構件。此緊固腕部57由自支持執部56之左右 /#向，外伸出形成之彈性腕部57Α，以及形成於此腕部 而緊固於上述緊固銷4 0之圓弧形緊固爪部5 7 B構
530021 發明說明（12) 廠目的地等。此時， 態下，安裝輸送用罢轉1 ^體晶圓等收納於容器本體2狀 機構23之蓋體緊固;24 i^輸送用蓋體4之輸送用簡易裝卸 嵌合，將輸送用蓋體4安壯盖體支承部17之第1被嵌合部19 器本體内部，搬逆^ 衣於容器本體2。藉此完全密封容 到達工廠等之；的地等。 易裝卸機構23之解除麼輸送用蓋體4之輸送用簡 固爪24，自容器本雕 ，自第1被嵌合部19解除蓋體緊 體晶圓等供至I & =卸下輸送用蓋體4，將内部所裝半導 u予仏主工廠内之製造 守 將使用後之薄板支持 、、良寺 等洗淨容H本體2，再利用。於先前輸送之工薇 即，將製造線用蓋體^ t继準備之製造線用蓋體5。亦 將卸除用扳手插入，链女4於容器本體2之蓋體支承部π， 件35，藉結合釣部48U扳手槽59。藉此，轉動送出構 功能部61 A送出，自圖^持軌部56結合之緊固板34藉送出 插入第2被嵌合部21 :直士狀態，通過出入孔部43伸出， 48往下壓，以搖動支拄、、乂，以推舉功能部6 1 B將結合鉤部 爪部51往上推壓，核技銷㈧為中心，如圖25所示，將壓緊 在自容器本體2卸下制1昼緊於+第2嵌合部21之上側面。 手插入扳手槽59内，相衣=、"用盍體5情形下，將卸除用扳 出構件35，結合鉤部:：f述情形反轉。藉此’反轉送 反方向前進。亦即姓=者支持軌部56，沿與上述情形相 拉回蓋36内。藉此解；：：：48上升’壓緊爪部51下降， 體2卸下。如此，^^除^衣&線用蓋體5之固定，由容器本 °。體2由輸送用容器再使用於工礙等
530021 五、發明說明（13) 製造線。 輸送用蓋體4由於體積不太大，4 體晶圓等之輸送。 又适返’再度用於半導 前述實施形態固然舉半導體晶圓 使用記憶磁碟、液晶玻璃基板等其:，加以說明，惟，在 到與前述實施形態相同之作用、敦果/專板情形下，亦可達 如以上詳述，根據本發明之薄柄 果。 支持容器，達到如次效 (1 )由於使用輸送用蓋體4和製造綠田一 容器本體2輸送用薄板支持容器！，：用4體5，故可用於 薄板支持容器1。 冋捋亦可用於製造線用 生結果，可提高使用效率，防止資源浪費，防止廢棄物產 (2) 由於在製造線用蓋體5具備製造線用 安Λ?由製，線用簡易裝卸機構3 2，將ί ί:用蓋體 :造線 器本體2，輸送用容器本體2仍可使用於 （3) 由於製造線用簡易裝卸機構32配置成具備緊固於容 體2之第2被嵌合部21之緊固板34 ’以及緊固於此緊固 板34而出沒作動之送出構件” ’故可藉送出構件π使緊固 板34相對於第2被嵌合部21出沒作動，彳容易裝卸製造線 用蓋體5於容器本體2。 U)由於在送出構件35之轉動方向端部具備緊固腕部 57，故可在轉動送出構件託後，確實固定於設定位置。
第18頁 W312\2d-code\9〇.l〇\90118286.ptd 530021 五、發明說明（14) 5β(5)Λ於/Λ構件35具備控制緊固板34出入之支持執部 56 ’故可精此支持軌部56控制緊固板34之出人ΛΛΙΐ 定製造線用蓋體5於容哭太矽？ ^ _ 叮確只固 ^、士认移门1 本體2 ’並可確實解除其固定。 (6由於二緊固板34可搖動支持並可滑動支持，故 ，板34朝谷：本體2伸出，搖動而抵接容器本體2 : 定製造線用盍體5於容器本體2。 錢口 (7)由於緊固板34於其前端具備緊固於容器 θ 緊爪部51，&可使此Μ緊爪部51緊固於容哭° 2々之昼 被嵌合部2卜麼緊製造線用蓋體5，確實固；於體容 (8)由於使用製造線用蓋體5作為薄板支持办。 體，故在薄板支持容器用於輸送之德，研+λ谷态1之蓋 於製造線❶ 了於工廠内等，用 產業上可利用性 如以上，本發明薄板支持容器1，適用 制塵埃等發生之半導體製品、記情辟嫌搬送須絕對抑 丨心、又系（磁 之基體等之載具。後且，適用於其製程 系）、光碟（CD) 元件編號之說明 之移送用載具。 1 薄板支持容器 2 容器本體 2A、2B、2C、2D 側壁部 2E 底板部 3 薄板支持部 4 輸送用蓋體
530021 £、發明說明（15) 5 製造線用蓋體 6 上凸緣 7 握持搬運用手柄 9 縱槽 11 定位裝置 12C12A、：12B、12C) 嵌合槽 13 足部 15 支持台 15A 下側台部 15B 上侧台部 16 支持用突起 17 蓋體支承部 17A 垂直板部 17B 水平板部 17C 密封槽 19 第1被嵌合部 21 第2被嵌合部 22 足部支承部 23 輸送用簡易裝卸機構 24 蓋體緊固爪 25 支持板 26 解除部 31 墊圈支承部 32 製造線用簡易裝卸機構 ❿ ❿
\\312\2d-code\90-10\90118286.ptd 第20頁 530021 五、發明說明（16) 33 本體凹部 34 緊固板 35 送出構件 36 蓋 38 作動槽部 39 支持筒部 40 緊固銷 41 支持板部 41 A 銷支持凹部 42 出入槽部 43 出入孔部 44 緊固軸承部 45 支持板部 45A 緊固孔 45B 被緊固部 48 結合鉤部 48A 開口 49 出沒動作支持孔 50 搖動支持銷 51 壓緊爪部 55 支持柱部 56 支持軌部 57 緊固腕部 57A 腕部
\\312\2d-code\90-10\90118286.ptd 第21頁 530021
五、發明說明（17) 57B 緊固爪部 59 板手槽 61 圓形棒 61A 送出功能部 61B 推舉功能部 65 緊固軸 66 支持板 67 緊固棒 68 鬆脫防止棒 68A 緊固片 68B 卸除板 71 晶圓壓緊部 72 V字形壓緊片 73 支持腕部 \\312\2d-code\90-10\90118286.ptd 第 22 頁 圖式簡單說明 圖1係1員示本發明杂 圖2係1員吊輪送二施形態之製造線用蓋體 圖3係顯示薄板支支持容器之斜視圖。面圖。 ，:係’示薄板支持Ϊ器之容器本體之斜視圖。 圖係顯示“i:!:?之容器本體之底視Ξ。 圖6係_示薄板主拄t益之容器本體之剖視圖。 圖7係^輪U Ϊ :器之容器本體之要部斜視圖。 圖。 用皿肢與容器本體抵接部份之要Ξ剖視 圖8係|員示、，^ 圖。 、雨适用蓋體之輸送用簡易裝卸機構之斜視 圖9係顯$ 圖1 0係ΙΜ、一衣造線用蓋體内面之圖式。 圖11係_ T f，線用蓋體之正視圖。 圖1 2係顯Γ二造線用蓋體之側視圖。 圖1 3俜Is不衣造線用簡易裝卸機構之平面圖。 板之平面圖。 H 1 q 1 T緊固板之正視圖。 二1 β ‘ ΐ員不緊固板之剖視圖。 二y碩不緊固板之側視圖。 圖係顯示送出構件之平面圖。 Φ 圖18係顯示送出構件之側視圖。 圖19係顯示送出構件之正視圖。 圖2〇係顯示送出構件之側 圖21係顯示送出構件之正面剖視^。 圖2 2係顯示蓋之平面圖。
530021 圖式簡單說明 圖2 3係顯示蓋之剖視圖。 圖2 4係顯示製造線用簡易裝卸機構之動作狀態之要部剖 視圖。 圖2 5係顯示製造線用簡易裝卸機構之動作狀態之要部剖 視圖。 讀
C:\2D-CODE\90-10\90118286.ptd 第24頁

Claims (1)

  1. 530021 - _案號90118286_年月日 修正 鉍L 9. 2〇 六、申請專利範圍 申請專利範圍： 1. 一種薄板支持容器用蓋體，為將收納複數片薄板於内 部而搬送之容器本體閉塞之蓋體，其特徵為： 於其形成為四角形狀且相對向之各邊的中央部上具備有 製造線用簡易裝卸機構，該製造線用簡易裝卸機構具備伸 出而緊固於容器本體之緊固板和緊固於該緊固板而出沒作 動之送出構件， 前述緊固板係可搖動支持且可滑動支持，同時，於緊固 板之前端具備緊固於容器本體側的壓緊爪部和滑動可能地 連結於前述送出構件之支持軌部的結合鉤部。 2. 如申請專利範圍第1項之薄板支持容器用蓋體，其 中，送出構件之轉動方向端部上具備緊固腕部。 3. —種薄板支持容器，其為由具備將收納複數片薄板於 内部而搬送之容器本體，和將該容器本體閉塞之蓋體所構 成，其特徵為：蓋體係使用申請專利範圍第1或2項之薄板 支持容器用蓋體。
    90118286.ptc 第25頁
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