JPH09246369A - 半導体ウエハ収納容器 - Google Patents
半導体ウエハ収納容器Info
- Publication number
- JPH09246369A JPH09246369A JP8462496A JP8462496A JPH09246369A JP H09246369 A JPH09246369 A JP H09246369A JP 8462496 A JP8462496 A JP 8462496A JP 8462496 A JP8462496 A JP 8462496A JP H09246369 A JPH09246369 A JP H09246369A
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- JP
- Japan
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- wafer
- diameter
- cylindrical portion
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハの径が異なっていても、同一の収納本
体部や蓋部を用いて、そのウエハの運搬や保管ができ、
かつ経済性にも優れたウエハ収納容器を提供することで
ある。 【解決手段】 径が大きなウエハを収納するための径大
ウエハ用円筒部１２が基台１１に立設して成る収納本体
部１と、径が小さなウエハを収納するための径小ウエハ
用筒部２２が底板材２１に立設し、該径小ウエハ用筒部
にはその上端にて開口する複数のスリット２６ａ〜２６
ｄが円筒軸方向に形成されて成り、前記径大用円筒部内
に設置・取り外し可能に納められるウエハホルダ２と、
前記収納本体部を上方から覆う蓋部３とから成る。
体部や蓋部を用いて、そのウエハの運搬や保管ができ、
かつ経済性にも優れたウエハ収納容器を提供することで
ある。 【解決手段】 径が大きなウエハを収納するための径大
ウエハ用円筒部１２が基台１１に立設して成る収納本体
部１と、径が小さなウエハを収納するための径小ウエハ
用筒部２２が底板材２１に立設し、該径小ウエハ用筒部
にはその上端にて開口する複数のスリット２６ａ〜２６
ｄが円筒軸方向に形成されて成り、前記径大用円筒部内
に設置・取り外し可能に納められるウエハホルダ２と、
前記収納本体部を上方から覆う蓋部３とから成る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ（本
明細書においては、単に「ウエハ」と称する）の径が異
なっていても、同一の収納本体部および蓋部を用いてそ
の運搬や保管ができ、かつ生産性にも優れた半導体ウエ
ハ収納容器（以下、単に「ウエハ収納容器」と称する）
に関する。
明細書においては、単に「ウエハ」と称する）の径が異
なっていても、同一の収納本体部および蓋部を用いてそ
の運搬や保管ができ、かつ生産性にも優れた半導体ウエ
ハ収納容器（以下、単に「ウエハ収納容器」と称する）
に関する。
【０００２】
【技術背景】従来、ウエハの運搬や保管に適したウエハ
収納容器として、本願発明者らの出願に係るウエハ収納
容器（特開平６−６９３２８号参照）が知られている。
この種の収納容器は、円筒部が基台から立設した収納本
体部と、この収納本体部の円筒部外周を覆う蓋部とで構
成される。ところで、ウエハの径は、２〜８インチ程度
とまちまちであり、従来、径が異なるウエハについての
運搬や保管には、それぞれ別々の仕様のウエハ収納容器
を使用しなければならない。
収納容器として、本願発明者らの出願に係るウエハ収納
容器（特開平６−６９３２８号参照）が知られている。
この種の収納容器は、円筒部が基台から立設した収納本
体部と、この収納本体部の円筒部外周を覆う蓋部とで構
成される。ところで、ウエハの径は、２〜８インチ程度
とまちまちであり、従来、径が異なるウエハについての
運搬や保管には、それぞれ別々の仕様のウエハ収納容器
を使用しなければならない。
【０００３】収納本体部および蓋部は、通常、金型を用
いて導電性樹脂材料により一体成形される。したがっ
て、ウエハの径の大きさに応じて、収納本体部用の金型
および蓋部用の金型をそれぞれ用意しなければならな
い。このため、金型製造にかかる費用が高騰し、その結
果、ウエハ収納容器自体の価格が高くなるという問題が
ある。
いて導電性樹脂材料により一体成形される。したがっ
て、ウエハの径の大きさに応じて、収納本体部用の金型
および蓋部用の金型をそれぞれ用意しなければならな
い。このため、金型製造にかかる費用が高騰し、その結
果、ウエハ収納容器自体の価格が高くなるという問題が
ある。
【０００４】一方、通常、ウエハの製造工程においては
ピックアップ装置を用いてウエハを収納本体部に収納
し、また半導体装置の製造工程においては同じくピック
アップアーム装置を用いてウエハを収納本体部から取り
出す。このようなウエハの収納や取出しは、ロボットを
用いて行うことが多い。このため、上記ウエハのピック
アップに際しては、ロボットに対するウエハ収納容器の
向きを特定しなけばならない。しかし、従来、ウエハの
径が異なれば容器の大きさも異なり、収納容器の向きを
特定できない等、画一的な取り扱いができないと言った
問題がある。
ピックアップ装置を用いてウエハを収納本体部に収納
し、また半導体装置の製造工程においては同じくピック
アップアーム装置を用いてウエハを収納本体部から取り
出す。このようなウエハの収納や取出しは、ロボットを
用いて行うことが多い。このため、上記ウエハのピック
アップに際しては、ロボットに対するウエハ収納容器の
向きを特定しなけばならない。しかし、従来、ウエハの
径が異なれば容器の大きさも異なり、収納容器の向きを
特定できない等、画一的な取り扱いができないと言った
問題がある。
【０００５】
【発明の目的】本発明の目的は、上記のような問題を解
決するために提案されたものであって、ウエハの径が異
なっていても、同一の収納本体部や蓋部を用いて、その
ウエハの運搬や保管ができ、かつ経済性にも優れたウエ
ハ収納容器を提供することである。
決するために提案されたものであって、ウエハの径が異
なっていても、同一の収納本体部や蓋部を用いて、その
ウエハの運搬や保管ができ、かつ経済性にも優れたウエ
ハ収納容器を提供することである。
【０００６】また、本発明の他の目的は、ウエハの収納
や取出しをピックアップアームを用いて行う際に、いか
なる径のウエハが収納されたウエハ収納容器であって
も、該ウエハ収納容器を画一的に取り扱うことができる
ウエハ収納容器を提供することである。
や取出しをピックアップアームを用いて行う際に、いか
なる径のウエハが収納されたウエハ収納容器であって
も、該ウエハ収納容器を画一的に取り扱うことができる
ウエハ収納容器を提供することである。
【０００７】
【発明の概要】本発明のウエハ収納容器は、収納本体部
と、ウエハホルダと、蓋部とから成る。これらの収納本
体部、ウエハホルダおよび蓋部は、それぞれ導電性フィ
ラーを添加した導電性プラスチックス素材、あるいはポ
リマーアロイ処理した導電性プラスチックス素材により
金型を用いて一体成形される。
と、ウエハホルダと、蓋部とから成る。これらの収納本
体部、ウエハホルダおよび蓋部は、それぞれ導電性フィ
ラーを添加した導電性プラスチックス素材、あるいはポ
リマーアロイ処理した導電性プラスチックス素材により
金型を用いて一体成形される。
【０００８】収納本体部は、基台に径大ウエハ用円筒部
が立設して構成される。該径大用ウエハ円筒部にはその
上端にて開口する複数のスリットが円筒軸方向に形成さ
れていることが好ましい。このスリットの数は、通常４
つ、もちろんこれには限定されず１つ以上形成すること
ができる。スリットの幅は、ウエハの積み重ね状態を目
視することを考慮し、あるいはピックアップアームが入
り込めること等を考慮して決められる。
が立設して構成される。該径大用ウエハ円筒部にはその
上端にて開口する複数のスリットが円筒軸方向に形成さ
れていることが好ましい。このスリットの数は、通常４
つ、もちろんこれには限定されず１つ以上形成すること
ができる。スリットの幅は、ウエハの積み重ね状態を目
視することを考慮し、あるいはピックアップアームが入
り込めること等を考慮して決められる。
【０００９】基台は平面視が円形を成していてもよい
し、矩形状を成していてもよい。ただし、ウエハの収納
や取出しを、上記スリットを介してロボットのピックア
ームが行う場合を想定すると、コンベア等の搬送機構を
考慮して基台には方向性を持たせることが好ましく、こ
のために基台は平面視正方形状に構成することが好まし
い。
し、矩形状を成していてもよい。ただし、ウエハの収納
や取出しを、上記スリットを介してロボットのピックア
ームが行う場合を想定すると、コンベア等の搬送機構を
考慮して基台には方向性を持たせることが好ましく、こ
のために基台は平面視正方形状に構成することが好まし
い。
【００１０】ウエハホルダは、底板材に径小ウエハ用筒
部が立設して構成され、該径小ウエハ用筒部にはロボッ
トのピックアップアームが入り込める複数のスリット
が、その上端にて開口して円筒軸方向に形成されてい
る。このウエハホルダは、前記径大ウエハ用円筒部内に
設置・取り外し可能に納められることができる。この径
小ウエハ用筒部に形成されるスリットの数は限定されな
い。また、径小ウエハ用筒部に形成されるスリットの幅
も、径大ウエハ用円筒部に形成されるスリットと同様、
ウエハの積み重ね状態を目視できることを考慮し、ある
いはピックアップアームが入り込めること等を考慮して
決められる。
部が立設して構成され、該径小ウエハ用筒部にはロボッ
トのピックアップアームが入り込める複数のスリット
が、その上端にて開口して円筒軸方向に形成されてい
る。このウエハホルダは、前記径大ウエハ用円筒部内に
設置・取り外し可能に納められることができる。この径
小ウエハ用筒部に形成されるスリットの数は限定されな
い。また、径小ウエハ用筒部に形成されるスリットの幅
も、径大ウエハ用円筒部に形成されるスリットと同様、
ウエハの積み重ね状態を目視できることを考慮し、ある
いはピックアップアームが入り込めること等を考慮して
決められる。
【００１１】さらに、蓋部は、前記収納本体部を上方か
ら覆うことができるように構成される。蓋部の形状は天
面を有する円筒状を成していてもよいし、天面を有する
多角筒状を成していてもよい。蓋部は、横倒しした際の
ウエハ収納容器の転がりを防ぐ等のため、四角筒状が好
ましい。
ら覆うことができるように構成される。蓋部の形状は天
面を有する円筒状を成していてもよいし、天面を有する
多角筒状を成していてもよい。蓋部は、横倒しした際の
ウエハ収納容器の転がりを防ぐ等のため、四角筒状が好
ましい。
【００１２】径が大きなウエハを収納する場合には、上
記ウエハホルダは径大ウエハ用円筒部内から取り除かれ
る。径が小さな複数のウエハは、該径小ウエハ用円筒部
内に適宜の介在シート等を介して積み重ねられる。
記ウエハホルダは径大ウエハ用円筒部内から取り除かれ
る。径が小さな複数のウエハは、該径小ウエハ用円筒部
内に適宜の介在シート等を介して積み重ねられる。
【００１３】ウエハ収納容器に径が小さなウエハを収納
している場合、ウエハホルダが、径大ウエハ用円筒部内
においてガタつくことは、ウエハの損傷等を招く結果と
なるため好ましくはない。このガタつきを防止するた
め、あるいはこのガタつきを無視できるほど小さくする
ための手段は種々考えられる。例えば、ウエハホルダの
底板材の、収納本体部との当接部位に凹部または凸部を
設けると共に、収納本体部の前記当接部位に相当する部
位に凸部または凹部を設けることもできる。また、前記
ウエハホルダの底板材の周囲に突起片を形成し、該突起
片を前記径大ウエハ用円筒部に形成されたスリットの下
部において該スリットに入り込ませることで、前記ウエ
ハホルダを前記収納本体部に位置決めするように構成す
ることもできる。
している場合、ウエハホルダが、径大ウエハ用円筒部内
においてガタつくことは、ウエハの損傷等を招く結果と
なるため好ましくはない。このガタつきを防止するた
め、あるいはこのガタつきを無視できるほど小さくする
ための手段は種々考えられる。例えば、ウエハホルダの
底板材の、収納本体部との当接部位に凹部または凸部を
設けると共に、収納本体部の前記当接部位に相当する部
位に凸部または凹部を設けることもできる。また、前記
ウエハホルダの底板材の周囲に突起片を形成し、該突起
片を前記径大ウエハ用円筒部に形成されたスリットの下
部において該スリットに入り込ませることで、前記ウエ
ハホルダを前記収納本体部に位置決めするように構成す
ることもできる。
【００１４】なお、径が小さな複数のウエハを収納する
場合、まず収納本体部の径大ウエハ用円筒部内にウエハ
ホルダを設置するが、ウエハホルダにウエハを収納した
後、ウエハ収納容器の収納本体部に設置してもよい。ま
た、該容器からウエハを取り出す場合も、ウエハが収納
された状態のウエハホルダごと取り出すこともできる。
ウエハ収納容器にウエハホルダを設置した状態でロボッ
トのピックアップアームによりウエハの収納や取出しを
行うことを考慮すると、径大ウエハ用円筒部に形成され
たスリットと、径小ウエハ用円筒部に形成されたスリッ
トとが、同一の円筒径方向に配置されるようにすること
が好ましい。ウエハホルダを設置しない状態で、ウエハ
の収納や取出しを行う場合は、容器の収納本体部の筒部
にスリットを設ける必要はない。
場合、まず収納本体部の径大ウエハ用円筒部内にウエハ
ホルダを設置するが、ウエハホルダにウエハを収納した
後、ウエハ収納容器の収納本体部に設置してもよい。ま
た、該容器からウエハを取り出す場合も、ウエハが収納
された状態のウエハホルダごと取り出すこともできる。
ウエハ収納容器にウエハホルダを設置した状態でロボッ
トのピックアップアームによりウエハの収納や取出しを
行うことを考慮すると、径大ウエハ用円筒部に形成され
たスリットと、径小ウエハ用円筒部に形成されたスリッ
トとが、同一の円筒径方向に配置されるようにすること
が好ましい。ウエハホルダを設置しない状態で、ウエハ
の収納や取出しを行う場合は、容器の収納本体部の筒部
にスリットを設ける必要はない。
【００１５】本発明のウエハ収納容器では、ウエハの径
によらず、ウエハ収納容器を画一的に取り扱うことがで
きる。また、本発明のウエハ収納容器では、径小ウエハ
用円筒部の径が異なるウエハホルダであっても、同一の
収納本体部の径大ウエハ用円筒部に納めることができる
ように、ウエハホルダを設計できる。したがって、ウエ
ハの径の大きさによらず、同一の収納本体部および蓋部
が使用されるので、収納本体部用の金型および蓋部用の
金型をウエハの径の大きさに応じて用意しておく必要は
ない。特に、ウエハホルダは通常、形状が単純であるの
で、金型製造にかかる費用は極めて安価であり、経済性
にも優れる。
によらず、ウエハ収納容器を画一的に取り扱うことがで
きる。また、本発明のウエハ収納容器では、径小ウエハ
用円筒部の径が異なるウエハホルダであっても、同一の
収納本体部の径大ウエハ用円筒部に納めることができる
ように、ウエハホルダを設計できる。したがって、ウエ
ハの径の大きさによらず、同一の収納本体部および蓋部
が使用されるので、収納本体部用の金型および蓋部用の
金型をウエハの径の大きさに応じて用意しておく必要は
ない。特に、ウエハホルダは通常、形状が単純であるの
で、金型製造にかかる費用は極めて安価であり、経済性
にも優れる。
【００１６】
【実施例】図１は、本発明のウエハ収納容器の一実施例
を示す、収納本体部、ウエハホルダ、蓋部を分離して示
す説明図、図２はこれらを一体化した状態を示す平面部
分断面図、図３は図２におけるＡ−Ａ′線の断面図であ
る。また、図４はウエハホルダの部分平面図、図５は図
４におけるＢ−Ｂ′線の断面図、図６（Ａ）はウエハホ
ルダの円筒部分片を外側から見た図、（Ｂ）は同図
（Ａ）におけるＣ−Ｃ′線の断面図である。
を示す、収納本体部、ウエハホルダ、蓋部を分離して示
す説明図、図２はこれらを一体化した状態を示す平面部
分断面図、図３は図２におけるＡ−Ａ′線の断面図であ
る。また、図４はウエハホルダの部分平面図、図５は図
４におけるＢ−Ｂ′線の断面図、図６（Ａ）はウエハホ
ルダの円筒部分片を外側から見た図、（Ｂ）は同図
（Ａ）におけるＣ−Ｃ′線の断面図である。
【００１７】図１に示すように、ウエハ収納容器は収納
本体部１と、ウエハホルダ２と、蓋部３とから構成され
ている。図１〜図３に示すように、収納本体部１は平面
視が、四角形状の所定高さを持つ基台１１に、収納対象
となるウエハの径より僅かに大きい径の径大ウエハ用円
筒部１２が立設して構成されている。基台１１および径
大ウエハ用円筒部１２は、所定肉厚を持つ材料により形
成されている。基台１１の上下面は、図３を参照すると
明らかなように同心状の凹凸状に形成されている。本実
施例では、四角形状の基台１１の一辺は約１５０ｍｍと
し、高さ約２５ｍｍとしてある。また、径大ウエハ用円
筒部１２の径は約１３０ｍｍとし、基台１１および径大
ウエハ用円筒部１２の肉厚は約２ｍｍとしてある。
本体部１と、ウエハホルダ２と、蓋部３とから構成され
ている。図１〜図３に示すように、収納本体部１は平面
視が、四角形状の所定高さを持つ基台１１に、収納対象
となるウエハの径より僅かに大きい径の径大ウエハ用円
筒部１２が立設して構成されている。基台１１および径
大ウエハ用円筒部１２は、所定肉厚を持つ材料により形
成されている。基台１１の上下面は、図３を参照すると
明らかなように同心状の凹凸状に形成されている。本実
施例では、四角形状の基台１１の一辺は約１５０ｍｍと
し、高さ約２５ｍｍとしてある。また、径大ウエハ用円
筒部１２の径は約１３０ｍｍとし、基台１１および径大
ウエハ用円筒部１２の肉厚は約２ｍｍとしてある。
【００１８】基台１１の底面には、表面にローレット１
３Ｒが施され、かつ内側に向けて補強リブ１３Ｌを持つ
円形の凸状部１３が形成され、該凸状部１３の外側に
は、円形状に凹部１４が形成され、さらに凹部１４の外
側には円形状に凸部１５が形成されている。本実施例で
は、凸状部１３の径は約６５ｍｍ、凹部１４の幅は約１
５ｍｍ、凸部１５の幅は約１５ｍｍとしてある。
３Ｒが施され、かつ内側に向けて補強リブ１３Ｌを持つ
円形の凸状部１３が形成され、該凸状部１３の外側に
は、円形状に凹部１４が形成され、さらに凹部１４の外
側には円形状に凸部１５が形成されている。本実施例で
は、凸状部１３の径は約６５ｍｍ、凹部１４の幅は約１
５ｍｍ、凸部１５の幅は約１５ｍｍとしてある。
【００１９】径大ウエハ用円筒部１２は、４等配の位置
（本実施例では、基台１１の四隅の位置）に形成された
平面視弧状を成す円筒部分片１２ａ〜１２ｄから構成さ
れ、隣接する円筒部分片間にスリット１６ａ〜１６ｄが
形成されている。各円筒部分片の外面の上部中央には、
水平からやや傾斜した、所定長さ、所定幅、所定厚さの
傾斜突起１７が形成されており、またその外面の横側端
近傍には基台１１から立ち上がる補強リブ１８ａ，１８
ｂがそれぞれ形成されている。本実施例では、円筒部分
片１２ａ〜１２ｄの幅は、円筒中心角で約６０°として
ある。また、傾斜突起１７の傾斜角は約６．５°、水平
方向長さは約２０ｍｍ、幅は約２ｍｍ、厚さは約２ｍｍ
とし、補強リブ１８ａ，１８ｂの奥行きは約５ｍｍ、厚
さは約２ｍｍとしてある。
（本実施例では、基台１１の四隅の位置）に形成された
平面視弧状を成す円筒部分片１２ａ〜１２ｄから構成さ
れ、隣接する円筒部分片間にスリット１６ａ〜１６ｄが
形成されている。各円筒部分片の外面の上部中央には、
水平からやや傾斜した、所定長さ、所定幅、所定厚さの
傾斜突起１７が形成されており、またその外面の横側端
近傍には基台１１から立ち上がる補強リブ１８ａ，１８
ｂがそれぞれ形成されている。本実施例では、円筒部分
片１２ａ〜１２ｄの幅は、円筒中心角で約６０°として
ある。また、傾斜突起１７の傾斜角は約６．５°、水平
方向長さは約２０ｍｍ、幅は約２ｍｍ、厚さは約２ｍｍ
とし、補強リブ１８ａ，１８ｂの奥行きは約５ｍｍ、厚
さは約２ｍｍとしてある。
【００２０】図１〜図３に示すように、蓋部３は、天面
３１を有する四角筒形状に形成され、その天面３１は基
台１１の底面の形状と略対称に形成されている。すなわ
ち、天面３１には、表面にローレット３２Ｒが施され、
かつ内側に向けて補強リブ３２Ｌを持つ、円形の凸状部
３２が形成され、該凸状部３２の外側には、円形状に凹
部３３が形成されている。さらに凹部３３の外側には内
側に向けて補強リブ３４Ｌを持つ、円形状の凸部３４が
形成されている。本実施例では、蓋部３の平面視四角形
の一辺は約１５０ｍｍ、高さは約８０ｍｍとし、蓋部３
の各部の肉厚は約２ｍｍ程度としてある。また、凸状部
３２の径は約６５ｍｍ、凹部３３の幅は約１５ｍｍ、凸
部３４の幅は約２５ｍｍとしてある。
３１を有する四角筒形状に形成され、その天面３１は基
台１１の底面の形状と略対称に形成されている。すなわ
ち、天面３１には、表面にローレット３２Ｒが施され、
かつ内側に向けて補強リブ３２Ｌを持つ、円形の凸状部
３２が形成され、該凸状部３２の外側には、円形状に凹
部３３が形成されている。さらに凹部３３の外側には内
側に向けて補強リブ３４Ｌを持つ、円形状の凸部３４が
形成されている。本実施例では、蓋部３の平面視四角形
の一辺は約１５０ｍｍ、高さは約８０ｍｍとし、蓋部３
の各部の肉厚は約２ｍｍ程度としてある。また、凸状部
３２の径は約６５ｍｍ、凹部３３の幅は約１５ｍｍ、凸
部３４の幅は約２５ｍｍとしてある。
【００２１】蓋部３の側部は、基台１１の上面１９に達
しており、次に述べる部分ねじにより、収納本体部１と
一体化して外観視が直方体形状となる。蓋部３の、前記
傾斜突起１７に対応する部位には、傾斜状段部３７が形
成されている。傾斜突起１７と傾斜状段部３７とは、部
分ねじを構成する。本実施例では、傾斜状段部３７の傾
斜角は傾斜突起１７の傾斜角と同じ約６．５°、水平方
向長さは約３５ｍｍ、幅は約２．５ｍｍとしてある。
しており、次に述べる部分ねじにより、収納本体部１と
一体化して外観視が直方体形状となる。蓋部３の、前記
傾斜突起１７に対応する部位には、傾斜状段部３７が形
成されている。傾斜突起１７と傾斜状段部３７とは、部
分ねじを構成する。本実施例では、傾斜状段部３７の傾
斜角は傾斜突起１７の傾斜角と同じ約６．５°、水平方
向長さは約３５ｍｍ、幅は約２．５ｍｍとしてある。
【００２２】図７に示すように、傾斜状段部３７には開
口部３７ａに垂直下側から傾斜突起１７が入り込み、収
納本体部１と蓋部３との相対的な回転により、傾斜突起
１７が案内溝部３７ｂに入り込む。この回転角は、傾斜
突起１７と傾斜状段部３７との相対位置関係や、それぞ
れの長さ等により決まり、通常、１５〜４５°程度であ
る。これにより、ウエハ収納容器は収納本体部１と蓋部
３との着脱が容易に行われる。
口部３７ａに垂直下側から傾斜突起１７が入り込み、収
納本体部１と蓋部３との相対的な回転により、傾斜突起
１７が案内溝部３７ｂに入り込む。この回転角は、傾斜
突起１７と傾斜状段部３７との相対位置関係や、それぞ
れの長さ等により決まり、通常、１５〜４５°程度であ
る。これにより、ウエハ収納容器は収納本体部１と蓋部
３との着脱が容易に行われる。
【００２３】図１〜図６に示すように、ウエハホルダ２
は、底板材２１と、これに立設する径小ウエハ用円筒部
２２により構成されている。底板材２１は略円板状を成
し、円筒部分片１２ａ〜１２ｄに内接すると共に、スリ
ット１６ａ〜１６ｄに対応する部分には突起片２１ａ〜
２２ｄが形成されている。なお、底板材２１の裏面には
補強リブ２３ａ，２３ｂが円形状に形成されている。突
起片２１ａ〜２１ｄは、スリット１６ａ〜１６ｄに入り
込んで、ウエハホルダ２が径大ウエハ用円筒部１２内に
設置・取り外し可能に納められる。この場合、突起片２
１ａ〜２１ｄは、スリット１６ａ〜１６ｄに必ずしも強
固に嵌合する必要はない。
は、底板材２１と、これに立設する径小ウエハ用円筒部
２２により構成されている。底板材２１は略円板状を成
し、円筒部分片１２ａ〜１２ｄに内接すると共に、スリ
ット１６ａ〜１６ｄに対応する部分には突起片２１ａ〜
２２ｄが形成されている。なお、底板材２１の裏面には
補強リブ２３ａ，２３ｂが円形状に形成されている。突
起片２１ａ〜２１ｄは、スリット１６ａ〜１６ｄに入り
込んで、ウエハホルダ２が径大ウエハ用円筒部１２内に
設置・取り外し可能に納められる。この場合、突起片２
１ａ〜２１ｄは、スリット１６ａ〜１６ｄに必ずしも強
固に嵌合する必要はない。
【００２４】径小ウエハ用円筒部２２は、４等配の位置
（それぞれ、径大ウエハ用円筒部１２に立設した円筒部
分片１５ａ〜１５ｄに対応する位置）に形成された円筒
部分片２２ａ〜２２ｄから構成され、隣接する円筒部分
片間にスリット２６ａ〜２６ｄが形成されている。各円
筒部分片の外面の横側端近傍には底板材２１から立ち上
がる補強リブ２８ａ，２８ｂがそれぞれ形成されてい
る。円筒部分片の先端は、収納本体部と蓋部３とを一体
化した際に、蓋部３の凸部３４の内側面に当接する長さ
とすることが望ましいが、もちろんこの長さよりも短く
てもよい。本実施例では、ウエハホルダ２は肉厚約２ｍ
ｍ程度の材料により構成してあり、円筒部分片２２ａ〜
２２ｄの中心角は、円筒中心角で約４５°としてある。
また、径小ウエハ用円筒部２２の径は約１００ｍｍと
し、補強リブ２８ａ，２８ｂの奥行きは約５ｍｍ、厚さ
は約２ｍｍとしてある。
（それぞれ、径大ウエハ用円筒部１２に立設した円筒部
分片１５ａ〜１５ｄに対応する位置）に形成された円筒
部分片２２ａ〜２２ｄから構成され、隣接する円筒部分
片間にスリット２６ａ〜２６ｄが形成されている。各円
筒部分片の外面の横側端近傍には底板材２１から立ち上
がる補強リブ２８ａ，２８ｂがそれぞれ形成されてい
る。円筒部分片の先端は、収納本体部と蓋部３とを一体
化した際に、蓋部３の凸部３４の内側面に当接する長さ
とすることが望ましいが、もちろんこの長さよりも短く
てもよい。本実施例では、ウエハホルダ２は肉厚約２ｍ
ｍ程度の材料により構成してあり、円筒部分片２２ａ〜
２２ｄの中心角は、円筒中心角で約４５°としてある。
また、径小ウエハ用円筒部２２の径は約１００ｍｍと
し、補強リブ２８ａ，２８ｂの奥行きは約５ｍｍ、厚さ
は約２ｍｍとしてある。
【００２５】以上説明したウエハ収納容器では、５イン
チウエハ（径が大きなウエハ）を収納する場合には、ウ
エハホルダ２は径大ウエハ用円筒部１２内から取り除か
れる。５インチウエハは、径大ウエハ用円筒部１２内に
適宜の介在シート等を介して積み重ねられる。４インチ
ウエハ（径が小さなウエハ）を収納する場合には、ウエ
ハホルダ２は径大ウエハ用円筒部１２内に設置される。
４インチウエハは、ウエハホルダ２の径大ウエハ用円筒
部２２内に適宜の介在シート等を介して積み重ねられ
る。
チウエハ（径が大きなウエハ）を収納する場合には、ウ
エハホルダ２は径大ウエハ用円筒部１２内から取り除か
れる。５インチウエハは、径大ウエハ用円筒部１２内に
適宜の介在シート等を介して積み重ねられる。４インチ
ウエハ（径が小さなウエハ）を収納する場合には、ウエ
ハホルダ２は径大ウエハ用円筒部１２内に設置される。
４インチウエハは、ウエハホルダ２の径大ウエハ用円筒
部２２内に適宜の介在シート等を介して積み重ねられ
る。
【００２６】なお、前述したように、本実施例では、ウ
エハ収納容器に部分ねじを設けている。収納本体部１の
円筒部分片１５ａ〜１５ｄには傾斜突起１７が、蓋部３
には傾斜状段部３７が設けられる。このため、収納本体
部１や蓋部３の金型として機構が複雑なもの（例えば、
スライド金型）を用いなければならない。これに対して
ウエハホルダ２は、通常の金型によって容易に製造でき
る。したがって、ウエハの径の大きさに応じてウエハ収
納容器を製造しなければならない従来技術と比べて、格
段に製造費用が低減する。
エハ収納容器に部分ねじを設けている。収納本体部１の
円筒部分片１５ａ〜１５ｄには傾斜突起１７が、蓋部３
には傾斜状段部３７が設けられる。このため、収納本体
部１や蓋部３の金型として機構が複雑なもの（例えば、
スライド金型）を用いなければならない。これに対して
ウエハホルダ２は、通常の金型によって容易に製造でき
る。したがって、ウエハの径の大きさに応じてウエハ収
納容器を製造しなければならない従来技術と比べて、格
段に製造費用が低減する。
【００２７】本発明のウエハ収納容器では、同一仕様の
収納本体部１と蓋部３とを使用する限り、いかなる径の
ウエハが収納された容器であってもその外観形状は全く
同一である。したがって、ウエハの製造工場において、
上記のウエハ収納容器にウエハを収納する場合や、半導
体装置の製造工場において上記のウエハ収納容器からウ
エハを取り出す場合において、ウエハ収納容器の搬送装
置（コンベア等）を該ウエハ収納容器の外観にあわせて
変更する必要は生じない。また、ウエハ収納容器を運
搬、保管等する場合においても、常に同一条件（例え
ば、１つのコンテナに縦横配置できる個数等の条件）の
積み重ねができる。
収納本体部１と蓋部３とを使用する限り、いかなる径の
ウエハが収納された容器であってもその外観形状は全く
同一である。したがって、ウエハの製造工場において、
上記のウエハ収納容器にウエハを収納する場合や、半導
体装置の製造工場において上記のウエハ収納容器からウ
エハを取り出す場合において、ウエハ収納容器の搬送装
置（コンベア等）を該ウエハ収納容器の外観にあわせて
変更する必要は生じない。また、ウエハ収納容器を運
搬、保管等する場合においても、常に同一条件（例え
ば、１つのコンテナに縦横配置できる個数等の条件）の
積み重ねができる。
【００２８】本発明において使用されるウエハホルダ２
を収納本体部１から取り出し、単独でウエハ収納容器の
搬送装置にセットすることもできる。本実施例における
ウエハホルダ２は、方向性を有するので、ロボット（ピ
ックアップアーム）によるウエハの収納や取出しには好
適である。また、ウエハの中には、円形ウエハの一部を
直線で切り欠いたものがある。このようなウエハを収納
するために、円筒部分片２５ａ〜２５ｄの１つを平板状
に形成することでウエハに方向を持たせて収納すること
ができる。
を収納本体部１から取り出し、単独でウエハ収納容器の
搬送装置にセットすることもできる。本実施例における
ウエハホルダ２は、方向性を有するので、ロボット（ピ
ックアップアーム）によるウエハの収納や取出しには好
適である。また、ウエハの中には、円形ウエハの一部を
直線で切り欠いたものがある。このようなウエハを収納
するために、円筒部分片２５ａ〜２５ｄの１つを平板状
に形成することでウエハに方向を持たせて収納すること
ができる。
【００２９】
【発明の効果】ウエハの径が異なっていても、同一の収
納本体部や蓋部を用いて、ウエハの運搬や保管ができ、
かつ経済性にも優れたウエハ収納容器を提供することが
できる。また、ウエハの収納や取出しをピックアップア
ームを用いて行う際に、いかなる径のウエハが収納され
たウエハ収納容器であっても、ウエハの径によらず、ウ
エハ収納容器を画一的に取り扱うことができる。
納本体部や蓋部を用いて、ウエハの運搬や保管ができ、
かつ経済性にも優れたウエハ収納容器を提供することが
できる。また、ウエハの収納や取出しをピックアップア
ームを用いて行う際に、いかなる径のウエハが収納され
たウエハ収納容器であっても、ウエハの径によらず、ウ
エハ収納容器を画一的に取り扱うことができる。
【図１】本発明のウエハ収納容器の一実施例を示すもの
で、収納本体部、ウエハホルダ、蓋部を分離して示す説
明図である。
で、収納本体部、ウエハホルダ、蓋部を分離して示す説
明図である。
【図２】図１の収納本体部、ウエハホルダ、蓋部を一体
化した状態を示す平面部分断面図である。
化した状態を示す平面部分断面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ′線の断面図である。
【図４】ウエハホルダの部分平面図である。
【図５】図４におけるＢ−Ｂ′線の断面図である。
【図６】（Ａ）はウエハホルダの円筒部分片を外側から
見た図、（Ｂ）は（Ａ）におけるＣ−Ｃ′線の断面図で
ある。
見た図、（Ｂ）は（Ａ）におけるＣ−Ｃ′線の断面図で
ある。
【図７】傾斜状段部と傾斜突起とにより構成される部分
ねじの説明図である。
ねじの説明図である。
１ 収納本体部 ２ ウエハホルダ ３ 蓋部 １１ 基台 １２ 径大ウエハ用円筒部 １２ａ〜１２ｄ 円筒部分片 １３ 凸状部 １３Ｒ ローレット １３Ｌ 補強リブ １４ 凹部 １５ 凸部 １６ａ〜１６ｄ スリット １７ 傾斜突起 １８ａ，１８ｂ 補強リブ １９ 基台の上面 ２１ 底板材 ２１ａ〜２１ｄ 突起片 ２２ 径小ウエハ用円筒部 ２２ａ〜２２ｄ 円筒部分片 ２３ａ，２３ｂ 補強リブ ２６ａ〜２６ｄ スリット ２８ａ，２８ｂ 補強リブ ３１ 蓋部の天面 ３２ 凸状部 ３２Ｒ ローレット ３２Ｌ 補強リブ ３３ 凹部 ３４ 凸部 ３７ 傾斜状段部 ３７ａ 開口部 ３７ｂ 案内溝部
Claims (3)
- 【請求項１】 径が大きなウエハを収納するための径大
ウエハ用円筒部が基台に立設して成る収納本体部と、 径が小さなウエハを収納するための径小ウエハ用筒部が
底板材に立設し、該径小ウエハ用筒部にはその上端にて
開口する複数のスリットが円筒軸方向に形成されて成
り、前記径大用円筒部内に設置・取り外し可能に納めら
れるウエハホルダと、 前記収納本体部を上方から覆う蓋部と、から成る半導体
ウエハ収納容器。 - 【請求項２】 前記径大用ウエハ円筒部にはその上端に
て開口する複数のスリットが円筒軸方向に形成されて成
り、前記ウエハホルダの底板材の周囲に形成された突起
片が前記径大ウエハ用円筒部に形成されたスリットの下
部において該スリットに入り込むことで、前記前記ウエ
ハホルダが前記収納本体部に位置決めされることを特徴
とする請求項１に記載の半導体ウエハ収納容器。 - 【請求項３】 前記ウエハホルダが前記収納本体部に設
置された際に、前記径大ウエハ用円筒部に形成されたス
リットと、前記径小ウエハ用円筒部に形成されたスリッ
トとが、同一の円筒径方向に配置されることを特徴とす
る請求項２に記載の半導体ウエハ収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8462496A JP3813658B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 半導体ウエハ収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8462496A JP3813658B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 半導体ウエハ収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09246369A true JPH09246369A (ja) | 1997-09-19 |
| JP3813658B2 JP3813658B2 (ja) | 2006-08-23 |
Family
ID=13835839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8462496A Expired - Fee Related JP3813658B2 (ja) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | 半導体ウエハ収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3813658B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6119865A (en) * | 1998-11-12 | 2000-09-19 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Accommodation container and accommodating method |
| EP1197990A2 (en) * | 2000-09-27 | 2002-04-17 | Asm International N.V. | Wafer handling system |
| US6499602B2 (en) | 2000-04-17 | 2002-12-31 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Support device for a wafer shipping container |
| WO2003105218A1 (ja) * | 2002-06-06 | 2003-12-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の収納容器体 |
| KR20040011995A (ko) * | 2002-07-31 | 2004-02-11 | 삼성전자주식회사 | 200 ㎜ 및 300 ㎜ 웨이퍼 겸용 웨이퍼 캐리어 |
-
1996
- 1996-03-13 JP JP8462496A patent/JP3813658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6119865A (en) * | 1998-11-12 | 2000-09-19 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Accommodation container and accommodating method |
| US6499602B2 (en) | 2000-04-17 | 2002-12-31 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Support device for a wafer shipping container |
| EP1197990A2 (en) * | 2000-09-27 | 2002-04-17 | Asm International N.V. | Wafer handling system |
| WO2003105218A1 (ja) * | 2002-06-06 | 2003-12-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の収納容器体 |
| US7073999B2 (en) | 2002-06-06 | 2006-07-11 | Tokyo Electron Limited | Receiving container body for object to be processed |
| CN1320626C (zh) * | 2002-06-06 | 2007-06-06 | 东京毅力科创株式会社 | 被处理体的收存容器体 |
| KR20040011995A (ko) * | 2002-07-31 | 2004-02-11 | 삼성전자주식회사 | 200 ㎜ 및 300 ㎜ 웨이퍼 겸용 웨이퍼 캐리어 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3813658B2 (ja) | 2006-08-23 |
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