JP2001338971A

JP2001338971A - ウェハー保管装置

Info

Publication number: JP2001338971A
Application number: JP2000158539A
Authority: JP
Inventors: Akira Fujiwara; 晃藤原; Teisui Okina; 禎穂翁
Original assignee: ZENKYO KASEI KOGYO KK
Current assignee: ZENKYO KASEI KOGYO KK
Priority date: 2000-05-29
Filing date: 2000-05-29
Publication date: 2001-12-07
Anticipated expiration: 2020-05-29
Also published as: JP4413376B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】多数枚のシリコンウェハーを窒素ガス雰囲気
で保管することが可能であるとともに、移送の際にもこ
の窒素ガス雰囲気を維持しながらシリコンウェハーの持
ち運びが可能なウェハー保管装置を提供すること。【解決手段】複数枚のウェハーを収納可能な収納容器
５と、複数個の前記収納容器５を取り出し自在に保管可
能な保管庫２により構成されるウェハー保管装置であっ
て、前記収納容器５は、容器本体と、ウェハーの出し入
れのための蓋と、前記容器本体内に窒素ガスを導入する
ためのガス導入孔と、前記容器本体内の空気を容器本体
の外部に排出するための空気排出孔とを備え、前記保管
庫２は、前記収納容器５を保管するための複数の保管部
８と、該保管部８に窒素ガスを供給するためのガス供給
配管と、該ガス供給配管が連結された、前記複数の保管
部８に保管された収納容器５内に窒素ガスを充填するた
めのガス供給部を備えることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェハー保管装置に
係り、より詳しくは、複数枚のウェハーを収納可能であ
るとともにその内部に窒素ガスを充填可能な収納容器
と、この収納容器を複数個保管可能であるとともに保管
した収納容器内に窒素ガスを供給可能な保管庫とにより
構成されるウェハー保管装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、半導体は多数の工程を経て生
産されている一方、各工程における能力が異なるため、
半導体の製造過程においては、ウェハーのストックが必
要不可欠となっている。

【０００３】即ち、例えば、後工程の洗浄機と前工程の
拡散炉とを比較すると、前工程の洗浄機よりも後工程の
拡散炉の能力が高いために、洗浄機の工程においてシリ
コンウェハーが溜まってしまう。

【０００４】一方、半導体の製造を行うクリーンルーム
内には様々な有機物等のいわゆるパーティクルが存在し
ているために、溜まってしまったウェハーをそのままの
状態で放置すると、パーティクルがウェハー表面に付着
したり、工程によっては、ウェハー表面が空気中の酸素
により酸化膜を形成し、ウェハーの歩留まりに影響を与
えることになる。

【０００５】そのために、このような事態を回避するた
めに、従来から、製造過程において溜まってしまったウ
ェハーを保管するために、搬送ボックスやデシケーター
が用いられている。

【０００６】即ち、このうちの搬送ボックスは、複数枚
のウェハーを収納可能な収納室を多数個備えるととも
に、この収納室には酸化膜の形成を防止するために窒素
ガスを充填可能としている。

【０００７】そして、この搬送ボックスを使用する場合
には、まず前工程の処理が終了したウェハーを複数枚ご
とに各収納室に収納し、その後に、このウェハーを収納
した収納室内を窒素ガス雰囲気にし、この状態におい
て、後工程に移送するまでウェハーを保管する。

【０００８】そうすると、収納室に充填させた窒素ガス
によりウェハー表面に酸化膜が形成されることを有効に
防止することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この搬
送ボックスでは、収納室内にウェハーを保管している状
態においてはウェハー表面に酸化膜が形成されることを
有効に防止することが可能だが、一方、ウェハーを後工
程に移送するために収納室から取り出した後は、このウ
ェハーを空気中の酸素やパーティクルから保護すること
ができず、その結果、特に、移送後、後工程の処理が行
われるまでの時間が長い場合等には、ウェハー表面への
酸化膜の形成やパーティクルの付着を有効に防止するこ
とができないという問題点がある。

【００１０】この点、窒素ガスを充填可能であるととも
に携帯も可能な収納ボックスも提供されてはいるが、こ
の収納ボックスでは収納可能な枚数が少なく、また、こ
れを用いる場合には収納ボックスごとにその内部に窒素
ガスを充填する作業が必要となり、大量のウェハーの保
管が必要な場合には作業が煩雑となってしまうという問
題点がある。

【００１１】そこで、本発明は、多数枚のシリコンウェ
ハーを窒素ガス雰囲気で保管することが可能であるとと
もに、移送の際にもこの窒素ガス雰囲気を維持しながら
シリコンウェハーの持ち運びが可能なウェハー保管装置
を提供することを課題としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明のウェハー保管装
置は、複数枚のウェハーを収納可能な収納容器と、複数
個の前記収納容器を取り出し自在に保管可能な保管庫に
より構成されるウェハー保管装置であって、前記収納容
器は、容器本体と、ウェハーの出し入れのための蓋と、
前記容器本体内に窒素ガスを導入するためのガス導入部
と、前記容器本体内の空気を容器本体の外部に排出する
ための空気排出部、とを備え、前記保管庫は、前記収納
容器を保管するための複数の保管部と、該保管部に窒素
ガスを供給するためのガス供給配管と、該ガス供給配管
が連結された、前記複数の保管部に保管された収納容器
内に窒素ガスを充填するためのガス供給部を備えること
を特徴としている。

【００１３】そして、このウェハー保管装置を用いてウ
ェハーを保管する場合には、まず、複数枚のウェハーを
収納したキャリアを収納容器内に入れるとともに、こ
の、複数枚のウェハーをキャリアごと収納した収納容器
を、保管庫における保管部に保管し、更に、保管部にお
いて、各収納容器内に窒素ガスを供給し、これにより各
収納容器内を窒素ガス雰囲気にする。

【００１４】そして、ウェハーを取り出す際には、収納
容器ごと保管庫より取り出し、窒素ガス雰囲気となって
いる収納容器内に入れた状態のまま、キャリアに収納さ
れたウェハーを他の工程へ移送し、その工程において
は、処理が行われるまでウェハーを収納容器内に保管し
ておく。

【００１５】このように、本発明のウェハー保管装置
は、複数枚のウェハーを収納可能な収納容器と、この収
納容器を保管するための保管部を複数備えた保管庫とに
より構成されるとともに、保管庫に備えたガス供給配管
及び各保管部内に備えたガス供給手段を介して、保管庫
に保管した各収納容器内を窒素ガス雰囲気にすることが
可能である。

【００１６】そのため、ウェハーを収納容器ごと保管庫
から取り出すことにより、窒素ガス雰囲気の状態でウェ
ハーを他工程へ移送することができ、これにより、移送
の途中や、移送後における後工程が行われるまでの間
に、ウェハーの表面が空気中の酸素により酸化され、酸
化膜を形成したり、パーティクルにさらされることを有
効に防止することが可能である。

【００１７】また、複数枚のウェハーを収納した収納容
器を多数個同時に保管可能であるとともに、収納容器を
保管するための保管部において、それぞれの収納容器を
窒素ガス雰囲気とすることが可能であるため、大量のウ
ェハーを同時に保管可能であるとともに、この保管して
いるウェハーを容易に窒素ガス雰囲気にすることが可能
である。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明のウェハー保管装置は、複
数枚のウェハーを収納可能な収納容器と、この収納容器
を取り出し自在に保管可能な保管部を複数箇所備えた保
管庫とにより構成されている。

【００１９】そして、前記収納容器は、容器本体と、こ
の容器本体に開閉自在の蓋を備えるとともに、容器本体
の任意の個所には、容器本体内に窒素ガスを導入するた
めの窒素ガス導入孔を備え、更に、収納容器の任意の箇
所には、容器本体内に窒素ガスを充填する際に容器本体
内の空気を排出するための空気排出孔を備えている。

【００２０】また、前記保管庫は、前記収納容器を保管
するための保管部を複数個所に備えているとともに、各
保管部に窒素ガスを供給するためのガス供給配管を備え
ており、このガス供給配管の先端部はそれぞれ、各保管
部に備えたガス供給部に連結されている。そしてこれに
より、各保管部内に保管した収納容器内に窒素ガスを充
填可能としている。

【００２１】ここで、前記収納容器を保管部に保管した
際に、収納容器がわずかに傾斜した状態になるように、
収納容器あるいは保管部を形成するとよく、これによっ
て、収納したウェハー鏡面側の表面がキャリアの凹部と
接触し、キャリアの摩耗発塵によってウェハー表面に付
着したり、ウェハー鏡面側表面を傷つけること等を有効
に防止することが可能である。

【００２２】また、収納容器は密閉可能にするとよく、
これにより収納容器内の窒素ガス雰囲気を維持すること
が可能である。

【００２３】更に、前記収納容器の材質はいずれでも良
いが、好ましくは、ガス透過性やアウトガス、金属含有
量の低い樹脂材料により収納容器を形成するとよく、こ
れにより、内部に充填した窒素ガスを長時間にわたり維
持できたり、材料から発生するパーティクル汚染を極減
することが可能である。

【００２４】更にまた、前記収納容器の蓋部を、紫外線
透過性の低い樹脂材料により形成するとよく、これによ
り、収納しているウェハー表面を紫外線から保護するこ
とが可能である。

【００２５】

【実施例】本発明のウェハー保管装置の実施例について
図面を参照して説明すると、図１は本実施例のウェハー
保管装置の正面を示す図であり、図において１が本実施
例のウェハー収納装置である。そして、本実施例のウェ
ハー保管装置１は、複数枚のウェハーを収納するための
収納容器５と、この収納容器を複数個保管可能な保管庫
２とにより構成されている。

【００２６】即ち、図において２は保管庫であり、この
保管庫２には、複数枚のウェハーを収納したキャリアを
キャリアごと収納するための収納容器５を複数個、取り
出し自在に保管可能としている。

【００２７】そして、この保管庫２は、全体として箱型
形状であるとともに、棚部３が多段に亘って形成されて
おり、この棚部３のそれぞれには、収納容器５を保管す
るための保管部８が複数個所に設置されている。そし
て、この保管部８上に、前記収納容器５を設置可能とし
ている。

【００２８】また、図示しないが、前記保管庫２内に
は、各保管部８に窒素ガスを供給するためのガス供給配
管が備えられており、このガス供給配管の先端部は、各
保管部８内に備えた窒素ガス供給部に連結している。そ
してこれにより、各保管部８内に窒素ガスを供給可能と
している。

【００２９】なお、図において６は、収納容器５内への
窒素ガスの供給を開始した時点からの経過時間を図るた
めのタイマーであり、また、図において７は流量計、及
び１０は圧力計等を配置した圧力計パネルである。そし
て、本実施例においては、保管庫２内に１６個所の保管
部８を備えるとともに、それぞれの保管部８に対応し
て、１６個のタイマー６及び流量計７を備えている。但
し、この保管部８の数等に関しては特に限定はされず、
任意の数として良い。

【００３０】次に、図２は、前記ウェハーの収納容器５
を正面側から示した斜視図であり、また図３は、収納容
器５を背面側から示した斜視図である。そして、図にも
示されるように、本実施例におけるこの収納容器５は、
全体として箱型形状をしている。

【００３１】そして、図において５０１は容器本体であ
り、この容器本体５０１の正面側には開口５０２が形成
されるとともに、この開口５０２を塞ぐようにして、蝶
番等（図示せず）を介して蓋５０３が開閉自在に装着さ
れている。なお、図において５１４は収納容器５の保管
及び取り出し、持ち運び等の際の便宜のために形成して
いる把手である。

【００３２】次に、図において５０４および５０８は、
前記蓋５０３に備えられた鍵であり、５０４が雄型であ
り、５０８が雌型である。即ち、本実施例においては、
前記蓋５０３の端部に鍵の雄型５０４が備えられるとと
もに、容器本体５０１において、蓋５０３を閉じた際に
前記雄型５０４が位置する個所には、前記雄型５０４が
係合される雌型５０８が設置されている。

【００３３】なお、本実施例においてこの鍵５０４およ
び５０８としてはロールキャッチと言われる市販品を用
いている。具体的には、前記雄型５０４は、図５に示さ
れるように、顎部５０５を有する矢印形状であるととも
に、前記雌型５０８は、一対の円柱状の受け部５０６
を、容器本体５０１に装着した弾性体のアーム５０７に
より開閉自在に連結した構造になっている。従って、蓋
５０３を閉じた際には、雄型５０４の先端部が一対の受
け部５０６間を押し広げて受け部５０６間に入り込むと
ともに、顎部５０５が受け部５０６に係止され、一方、
蓋５０３を開く場合には、一対の受け部５０６間を広げ
た後に、蓋５０３ごと雄型５０４を引き出し、これによ
り雄型５０４の係止を解除可能としている。但し、必ず
しもこのような構造の鍵を用いる必要はなく、容器本体
５０１に蓋５０３を係止可能であればどのような構造の
鍵を用いても良い。

【００３４】次に、図３において、収納容器５の背面側
には、収納容器５内に窒素ガスを充填するための窒素ガ
ス導入孔５１０が形成されるとともに、この窒素ガス導
入孔には、押圧されることにより開放状態となる逆止弁
（図示せず）が先端部に備えられた受入側コネクタ５１
１が、逆止弁側（先端部）が容器本体５０１の外側に露
出するようにして装着されている。

【００３５】また、同様に、本実施例においては、前記
収納容器５の蓋５０３の任意の個所には、収納容器５内
に窒素ガスを充填する際に、収納容器５内の空気を排出
するための空気排出孔５１２が備えられている。

【００３６】そのため、本実施例における収納容器５で
は、前記窒素ガス受入コネクタ５１１及び窒素ガス導入
孔５１０を介して、その内部に窒素ガスを導入すること
により、空気排出孔５１２より収納容器５内の空気を排
出し、収納容器５の内部に窒素ガスを充満させることが
可能である。但し、この窒素ガス導入孔５１０及び空気
排出孔５１２の設置個所は特に限定はされず、任意の箇
所に設置して良い。

【００３７】なお、図６は、本実施例における前記収納
容器５を平坦な場所に置いた状態を示す図であり、本実
施例においては、収納容器５の開口５０２側近傍の外径
をその他の部分の外径よりも大きくし、収納容器５を平
坦な場所に置いた場合に、図６に示されるように、収納
容器５全体が後方側に傾斜する構造にしてある。そのた
めに、本実施例においては、ウェハーを多数枚収納した
キャリアを収納容器５内に収納した状態で収納容器を平
坦な場所に置いた場合には、ウェハーの鏡面側がキャリ
アの凹部と接触することを防止可能である。

【００３８】即ち、一般的にウェハーを収納するキャリ
アは、その内側底部と内側両側面に多数の凹部（ウェハ
ー載置部）が形成されており、ウェハーを収納する際に
は、この凹部内にウェハーの周縁部の一部を挿入させ、
これによりウェハーを固定している。そのため、収納容
器５を地表と平行に保管した場合には、外部からの衝撃
等により、ウェハーの表面側（鏡面側）が前記凹部に接
触することにより、ウェハー表面に傷等がつくおそれが
考えられる。

【００３９】しかしながら、本実施例においては、前述
したように、収納容器５を平坦な場所に置いた場合に収
納容器５全体が後方へ傾斜するように構成しているた
め、ウェハーの表面（鏡面側）が前方側（蓋５０３側）
にくるようにしてキャリアを収納容器５内に収納するこ
とにより、ウェハーは後方側へわずかに傾いた状態で保
管され、これにより、ウェハー表面と凹部とが接触する
ことを避けることができ、ウェハー表面に傷等が付くこ
とを有効に防止可能である。この状態を示した参考図が
図７であり、図において１１がウェハー、また１２がウ
ェハー１１を載置するための凹部であり、図において左
側がウェハー鏡面側である。

【００４０】次に、図４は前記収納容器５内における底
部を示した図であり、本実施例においては、収納容器５
内の底部にストッパー５１３を備えて、収納容器５内に
キャリアを収納した際に、キャリアと前記窒素ガス導入
孔５１０との間に一定の距離を保てるようにしていると
ともに、キャリアを収納容器５内に固定可能としてい
る。

【００４１】即ち、本実施例においては、収納容器５の
奥行き方向と平行に一定間隔をおいて一対の長尺状物５
１３Ａを配置するとともに、この一対の長尺状物５１３
Ａの先端部に、この一対の長尺状物と直角方向に同じく
長尺状物５１３Ｂを配置することによりストッパー５１
３を形成している。そのため、これにより、収納容器５
内におけるキャリアと前記窒素ガス導入孔５１０との間
に一定の距離を維持することが可能である。また、この
ストッパー５１３により収納容器５内でキャリアを固定
することができるため、収納容器５を移送するときに収
納容器５内でキャリアが横揺れを起こし材料同士の摩耗
により塵埃が発生しないようにすることが可能である。
更に、このストッパー５１３は、キャリアを収納容器５
に収納する際のガイドとしての機能も有する。

【００４２】このように、本実施例では収納容器５内の
底部にストッパー５１３を備えているため、キャリアを
収納した収納容器５内に窒素ガスを充填する際には、速
やかに収納容器５内を窒素ガス雰囲気にすることができ
る。但し、必ずしもこのようにしてストッパーを形成す
る必要は無く、収納容器５内に収納するキャリアと窒素
ガス導入孔５１２との間に一定の距離を保てるものであ
ればいずれの形状のストッパーとしても良く、また、必
ずしもこのストッパー５１３は不可欠なものでも無い。

【００４３】なお、本実施例においては、前記容器本体
５０１は、ガス透過性の低い材料、特に酸素や窒素ガス
の透過性の低い材料、より具体的にはアクリロニトリル
樹脂（三井東圧製の商品名「バレックス」）により形成
しており、これにより、収納容器５内の窒素ガス雰囲気
を長時間維持可能としている。

【００４４】更に、前記蓋５０３は、紫外線透過性の低
い透明タイプのアクリロニトリル樹脂により形成してお
り、これにより、収納しているウェハーが外部の紫外線
の影響を受けないようにしている。

【００４５】次に、図８は、前記収納容器５を保管する
ための、前記保管庫２の棚部３に備えた保管部８を示す
斜視図であり、図において８０１は、前記棚部３上に固
定されるメインプレートである。

【００４６】そして、このメインプレート８０１上に
は、一定の間隔を置いて、段差部８０３を有する一対の
ガイド８０２が備えられており、この段差部８０３上に
前記収納容器５の左右の下端部を載置することにより、
一対のガイド８０２間に収納容器５を設置可能としてい
る。

【００４７】また、このガイド８０２は、奥側に向かう
に従って、下側に傾斜するように構成されており、これ
により、このガイド８０２上に収納容器５を載置した際
には、収納容器５全体が、前記保管部８内において、奥
側に傾斜した状態で保管可能としている。

【００４８】なお、本実施例においては、前記ガイド８
０２のそれぞれに複数の段差部８０３を備えており、こ
れにより、収納容器５のサイズが異なる場合でも、その
サイズに対応して、ガイド８０２間に収納容器５を載置
可能としている。但し、必ずしもこのようにする必要は
無く、段差部を一つのみとしても良い。

【００４９】次に、図において９は、前記メインプレー
ト８０１上に装着された、前記収納容器５内に窒素ガス
を供給するためのガス供給部であり、本実施例において
は、このガス供給部９に前記収納容器５を装着すること
により、収納容器５の背面側に備えた受入側コネクタ５
１１を介して、収納容器５内に窒素ガスを充填可能とし
ている。

【００５０】即ち、前記メインプレート８０１上には長
板状の一対の支柱９０１が一定の間隔を置いて装着され
るとともに、この一対の支柱９０１間の手前側には、板
状の固定プレート９０２が装着されている。そして、こ
の固定プレート９０２を貫通するような状態において、
前記保管庫２内に備えたガス供給配管（図示せず）に連
結されたガス供給管９０３が、前記支柱９０１間に固定
されている。

【００５１】また、このガス供給管９０３の先端部に
は、前記収納容器５に装着した受入側コネクタ５１１の
先端部が挿入固定される供給側コネクタ９０４が装着さ
れるとともに、この供給側コネクタ９０４の先端部近傍
の側壁には、複数のベアリング９０５が、供給側コネク
タ９０４の円周に沿って一定間隔を置き、供給側コネク
タ９０４の外周側及び内周側へ移動自在に配置されてい
る。そして更に、この供給側コネクタ９０４の先端部近
傍の外周には、リング状のベアリング固定リング９０６
が、供給側コネクタ９０４の前後方向へ移動自在に備え
られている。

【００５２】一方、前記一対の支柱９０１の上端間に
は、長板状の支持プレート９０７が掛け渡してあるとと
もに、この支持プレート９０７の略中央部分には、アー
ム支持部９０８が装着されている。そして、このアーム
支持部９０８の先端部には、軸９１０を介して、一対の
アーム９０９が回動自在に連結されるとともに、この一
対のアーム９０９間の略中央部分近傍に、前記ベアリン
グ固定リング９０６が、わずかに上下動自在に連結され
ている。そしてこれにより、アーム９０９の回動にとも
なって、ベアリング固定リング９０６が、前記供給側コ
ネクタ９０４の外周上を前後に移動する構造としてい
る。

【００５３】また、前記一対のアーム９０９間の下端部
近傍には軸９１１が連結されるとともに、前記メインプ
レート８０１には、この軸９１１を狭持するための狭持
部８０５を備えた丸棒状のレバー８０４が、前記メイン
プレート８０１の前後方向と平行に、その長手方向に移
動自在に装着されている。そしてこれにより、レバー８
０４を前後方向に移動することにより前記一対のアーム
９０９が回動し、それに伴って、ベアリング固定具９０
６が供給側コネクタ９０４の外周上を前後に移動可能と
している。

【００５４】なお、図示していないが、前記ガス供給管
９０３内には、通常は閉じており、押圧されると開く構
造の逆止弁が備えられている。

【００５５】次に、図１０は、前記レバー８０４の移動
の機構を説明するための図であり、本実施例において
は、前記レバー８０４の後端部は、前記メインプレート
８０１に備えたレバー支持部８０６を貫通している。ま
た、レバー８０４における前記レバー支持部８０６の手
前側にはスプリング受け８０７が備えられるとともに、
このスプリング受け８０７と前記レバー支持部８０６間
には、スプリング８０８が介在され、これにより、レバ
ー８０４は、常に手前側（レバーの先端部側）に押圧さ
れるようにしている。

【００５６】一方、前記レバー８０４の先端部には、レ
バー８０４の長手方向と直角方向に連結されたハンドル
８０９が備えられており、このハンドル８０９は、前記
メインプレート８０１の手前側に備えられたレバー位置
確定部８１０に係止されている。

【００５７】ここで、前記レバー位置確定部８１０は、
平面視野において、先端部にいくに従って、前記メイン
プレート８０１における奥側へ傾斜するガイド部８１１
を備えているとともに、前記ハンドル８０９を直立させ
ている場合にはハンドル８０９の根本部分が前記ガイド
部８１１の後端部分に位置するような配置において、前
記メインプレート８０１に備えられている。

【００５８】そして、これにより、前記ハンドル８０９
を、直立の位置から横側に倒し、ハンドル８０９の先端
部分を前記ガイド部８１１の先端部より突出させること
により、図１０に示すように、レバー８０４はメインプ
レート８０１における後方側へ距離Ｌ分だけ移動するこ
ととなる。

【００５９】次に、このように構成される本実施例のウ
ェハー保管装置１を用いてウェハーの保管を行う場合に
ついて説明すると、まず、キャリア等に収納した複数枚
のウェハーを、キャリアごと前記収納容器５内に収納す
る。なおこのとき、ウェハーの鏡面側が収納容器５の蓋
側になるようにして、キャリアを収納容器５内に収納す
る。

【００６０】そして次に、ハンドル８０９を横に倒した
状態において、この複数枚のウェハーをキャリアごと収
納した収納容器５を、保管部２内の一対のガイド８０２
上に載置する。

【００６１】なお、このとき、前述した機構により、ハ
ンドル８０９を倒した状態であるため、レバー８０４が
後方側（奥側）へ移動しており、それにともなって、ア
ーム９０９を介してベアリング固定リング９０６は、供
給側コネクタ９０４の外周上において、ガス供給管９０
３側へ移動している。そして、それにより、供給側コネ
クタ９０４の先端部に備えられたベアリング９０５はフ
リーの状態にある。

【００６２】次に、一対のガイド８０２上に載置した収
納容器５をそのまま前方側へ押し込んでいき、収納容器
５の背面に装着した受入側コネクタ５１１を、供給側コ
ネクタ９０４内に挿入する。

【００６３】ここで、図９は前記受入側コネクタ５１１
及び供給コネクタ９０４との連結の関係を説明するため
の図であり、図に示すように、本実施例においては、受
入側コネクタ５１１の先端部には係止溝５１７を形成し
ており、一方、前述したように供給側コネクタ９０４の
先端部には、受入側コネクタ９０４の内周側及び外周側
に移動自在にベアリング９０５が備えられている。そし
てこれにより、受入側コネクタ５１１を供給側コネクタ
９０４内に挿入した際には、供給側コネクタ９０４の先
端部に装着したベアリング９０５が係止溝５１７内に係
止されるようにしている。

【００６４】次に、このように、収納容器５を前方側へ
押し込み、収納容器５の背面に装着した受入側コネクタ
５１１を、供給側コネクタ９０４内に挿入し、供給側コ
ネクタ９０４の先端部に装着したベアリング９０５が係
止溝５１７内に係止された状態にした後に、ハンドル８
０９を直立にする。

【００６５】そうすると、前述した機構によりレバー８
０４が手前側に移動するとともに、狭持部８０５の移動
によって、軸９１１を介してアーム９０９が回動する。
そして、それに伴って、ベアリング固定リング９０６が
手前側へ移動してベアリング９０５を供給側コネクタ９
０４の外周側から押さえつけ、これにより、受入側コネ
クタ５１１と供給側コネクタ９０４との連結を完了す
る。

【００６６】そして、このとき、前述したように、受入
側コネクタ５１１及び供給側コネクタ９０４が接続され
たガス供給管９０３の内部には、押圧されることにより
開放状態となる逆止弁が備えられているため、それぞれ
の逆止弁を、受入側コネクタ５１１と供給側コネクタ９
０４の連結が完了した状態においてそれぞれに備えた逆
止弁が互いに押圧される位置に配置することにより、受
入側コネクタ５１１と供給側コネクタ９０４の連結が完
了するとともに、逆止弁が開放状態となり収納容器５内
に窒素ガスが供給される。

【００６７】そして、窒素ガスの供給に伴って、収納容
器５内の酸素等の空気は空気排出孔５１２から排出さ
れ、収納容器５内を窒素ガス雰囲気とすることができ、
窒素ガス雰囲気において多数枚のウェハーを同時に保管
することができるとともに、多数枚のウェハーを収納し
た収納容器を複数個同時に窒素ガス雰囲気において保管
することができる。

【００６８】またこのとき、前述したように、本実施例
においては、収納容器５を載置するためのガイド８０２
を、奥側に向かうに従って、下側に傾斜するように構成
し、ガイド８０２上に収納容器５を載置した際には、収
納容器５全体が、前記保管部８内において、奥側に傾斜
した状態で保管可能としているため、収納容器５内にお
いてウェハー表面に傷等がつくことを有効に防止でき
る。

【００６９】即ち、前述したように、一般的にウェハー
を収納するキャリアは、その内側底部と内側両側面に多
数の凹部（ウェハー載置部）が形成されており、ウェハ
ーを収納する際には、この凹部内にウェハーの周縁部の
一部を挿入させ、これによりウェハーを固定している。
そのため、収納容器５を地表と平行に保管した場合に
は、外部からの衝撃等により、ウェハーの表面側が前記
凹部に接触することにより、ウェハー表面に傷等がつく
おそれが考えられる。

【００７０】しかしながら、本実施例においては、前述
したように、収納容器５を、保管部８内において奥側に
傾斜した状態で保管可能としているため、ウェハーを保
管する場合に、ウェハーの表面（鏡面側）が前方側（蓋
５０３側）にくるようにしてキャリアを収納容器５内に
収納することにより、ウェハーは後方側へわずかに傾い
た状態で保管され、これにより、ウェハー表面と凹部と
が接触することを避けることができ、ウェハー表面に傷
等が付くことを有効に防止可能である。

【００７１】なお、前述したように本実施例において
は、受入側コネクタ５１１、ベアリング９０５を備えた
供給側コネクタ９０４、及びベアリング固定リング９０
６を用いて、収納容器５の着脱、及び収納容器５内への
窒素ガスの供給を可能としているが、この方法に際して
は、市販されているいわゆるワンタッチコネクタを用い
た。

【００７２】次に、ウェハーを所望する個所へ持ち運ぶ
際には、ハンドル８０９を横に倒してベアリング固定リ
ング９０６を後方側へ移動させてベアリング９０５をフ
リーにした後に、収納容器５を手前側に引き出す。そう
すると、受入側コネクタ５１１と供給側コネクタ９０４
との連結が解かれるとともに、ガス供給管９０３及び受
入側コネクタ５１１の弁がそれぞれ閉鎖状態になる。

【００７３】そしてその後は、前記収納容器５を保管庫
２より取り出して、ウェハーを収納しているキャリアを
その内部に入れた状態のままで、収納容器５自体を所望
する個所へ持ち運ぶ。

【００７４】そしてこのとき、収納容器５内は窒素ガス
雰囲気となっているため、移送している過程、及び移送
後、後工程が行われるまでの間は、ウェハーを窒素ガス
雰囲気の状態内に保管することができるため、ウェハー
表面に酸化膜が形成されることを有効に防止することが
できる。

【００７５】このように、本実施例のウェハー保管装置
では、保管庫に保管した各収納容器内を窒素ガス雰囲気
にすることが可能であるとともに、この収納容器を保管
庫より取り出し自在にすることにより、ウェハーを収納
した収納容器内を窒素ガス雰囲気にした状態のままで、
収納容器ごとウェハーを所望する個所へ移送することを
可能としている。

【００７６】そのため、本実施例によれば、ウェハーの
移送の途中や、移送後における後工程が行われるまでの
間に、ウェハーがパーティクルにさらされることを有効
に防止することが可能である。

【００７７】また、収納容器を保管するための保管部を
複数個所に備えているため、ウェハーを収納した収納容
器を同時に大量に保管することが可能である。

【００７８】なお、本発明は、ウェハーを収納するため
の収納容器と、複数の前記収納容器を取り出し自在に保
管可能である保管庫により構成されるとともに、前記保
管した収納容器内に窒素ガスを供給可能にした点に特徴
があり、収納容器を保管庫に保管するための機構、収納
容器内に窒素ガスを供給するための構造等は、必ずしも
前述した方法には限られない。

【００７９】また、本実施例においては、収納容器５に
おける空気排出孔５１２を開放状態として、収納容器５
を保管庫２に保管している間は窒素ガスを供給し続ける
ようにしたが、必ずしもこのようにする必要は無い。

【００８０】例えば、窒素ガスの供給開始から収納容器
５内が窒素ガス雰囲気になるまでの時間をタイマー等の
経過時間監視手段（以下単に「タイマー等」という。）
に設定しておくとともに、収納容器５における空気排出
孔５１２に蓋を備えて収納容器５を密閉可能にし、収納
容器５内が窒素ガス雰囲気になった時点で窒素ガスの供
給を止めるとともに収納容器５の前記蓋を閉じて収納容
器５内を密閉状態にするようにしても良い。

【００８１】そしてその際は、設定時間に達した時点で
それを報知する手段をタイマー等に備えても良く、更
に、タイマー等に連動して作動する弁をガス供給管９０
３の任意の個所に備えて、設定時間に達した時点で窒素
ガスの供給を自動的に停止するように構成しても良く、
更にまた、設定時間に達した時点で窒素ガスの供給を自
動的に停止するように構成した場合には、タイマー等に
連動して前記空気排出孔５１２を閉鎖する弁を備えて、
設定時間に達した時点で窒素ガスの供給を自動的に停止
するとともに、収納容器５の空気排出孔５１２を閉鎖す
るように構成しても良い。

【００８２】なお、ここで図１１は、収納容器５に備え
た空気排出孔５１２を閉鎖可能として収納容器５を密閉
可能にした場合の構造を示す図であり、図において、前
記空気排出孔５１２には開閉弁５１５を備えている。そ
して、収納容器５の外側において、この開閉弁５１５の
先端部と収納容器５との間にはスプリング５１６を備
え、これにより、通常においては、スプリング５１６の
弾性力により開閉弁５１５が収納容器５の外側に押圧さ
れるように構成している。そのためこの構造によれば、
通常は、スプリング５１６の弾性力により開閉弁５１５
の下端部によって空気排出孔５１２は閉鎖され、一方、
開閉弁５１５を収納容器５の外側から押し込むことによ
り、開閉弁５１５の下端部が収納容器５内に入り込むと
ともに開閉弁５１５の下端部と空気排出孔５１２との間
に空間が形成され空気の排出が可能となる。従って、前
記開閉弁５１５の作動を手動あるいは自動で行うように
構成し、収納容器５内が窒素ガス雰囲気に達した時点で
窒素ガスの供給を停止するとともに空気排出孔５１２を
閉鎖することにより、窒素ガス供給に伴うコストを低減
することができる。

【００８３】

【発明の効果】本発明のウェハー保管装置は、以上説明
したような形態で実施され、以下に記載するような効果
を奏する。

【００８４】本発明のウェハー保管装置によれば、ウェ
ハーを収納した収納容器内を窒素ガス雰囲気にして保管
することが可能であるとともに、ウェハーを、内部を窒
素ガス雰囲気にした収納容器ごと他の場所へ移送するこ
とができる。そのため、ウェハーの移送の途中や、移送
後における後工程が行われるまでの間に、ウェハーがパ
ーティクルにさらされてパーティクルがウェハー表面に
付着したり、ウェハー表面が空気中の酸素により酸化膜
を形成し、ウェハーの歩留まりに影響を与えることを有
効に防止することが可能である。

【００８５】また、収納容器を多数個同時に保管可能で
あるとともに、収納容器を保管するための保管部内にお
いて、それぞれの収納容器を窒素ガス雰囲気とすること
が可能であるため、大量のウェハーを同時に、窒素ガス
雰囲気において保管可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェハー保管装置の実施例の正面を示
す図である。

【図２】本発明のウェハー保管装置の実施例における収
納容器を説明するための図である。

【図３】本発明のウェハー保管装置の実施例における収
納容器を説明するための図である。

【図４】本発明のウェハー保管装置の実施例における収
納容器のストッパーを説明するための図である。

【図５】本発明のウェハー保管装置の実施例における収
納容器の鍵を説明するための図である。

【図６】本発明のウェハー保管装置の実施例における収
納容器を説明するための図である。

【図７】本発明のウェハー保管装置の実施例における収
納容器を説明するための図である。

【図８】本発明のウェハー保管装置の実施例における保
管部を説明するための図である。

【図９】受入側コネクタと供給側コネクタの連結の構造
を説明するための図である。

【図１０】レバーの作用を説明するための図である。

【図１１】収納容器の他の形態を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１保管装置２保管庫３棚部５収納容器５０１容器本体５０２開口５０３蓋５０４、５０８鍵５１０窒素ガス導入孔５１１受入側コネクタ５１２空気排出孔５１３ストッパー５１４把手５１５開閉弁５１６スプリング６タイマー７流量計８保管部８０１メインプレート８０２ガイド８０４レバー８０５狭持部８０６レバー指示部８０７スプリング受け８０８スプリング８０９ハンドル８１０レバー位置確定部９ガス供給部９０３ガス供給管９０４供給側コネクタ９０５ベアリング９０６ベアリング固定リング９０９アーム１０圧力計パネル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3E096 AA03 BA16 BB04 CA01 CB03 DA30 FA01 FA03 GA01 3F022 AA08 BB08 BB10 CC02 EE05 FF01 5F031 CA02 DA01 DA08 DA17 EA02 EA14 FA01 FA11 NA04 NA10 PA20 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数枚のウェハーを収納可能な収納容器
（５）と、複数個の前記収納容器（５）を取り出し自在
に保管可能な保管庫（２）により構成されるウェハー保
管装置であって、前記収納容器（５）は、容器本体（５０１）と、ウェハ
ーの出し入れのための蓋（５０３）と、前記容器本体
（５０１）内に窒素ガスを導入するためのガス導入孔
（５１０）と、前記容器本体（５０１）内の空気を容器
本体（５０１）の外部に排出するための空気排出孔（５
１２）と、を備え、前記保管庫（２）は、前記収納容器（５）を保管するた
めの複数の保管部（８）と、該保管部（８）に窒素ガス
を供給するためのガス供給配管と、該ガス供給配管が連
結された、前記複数の保管部（８）に保管された収納容
器（５）内に窒素ガスを充填するためのガス供給部
（９）を備えることを特徴とするウェハー保管装置。
【請求項２】前記収納容器（５）を、前記保管部（８）
において傾斜した状態で保管可能としたことを特徴とす
る請求項１に記載のウェハー保管装置。
【請求項３】前記収納容器（５）を密閉可能にしたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェハー保
管装置。
【請求項４】前記収納容器（５）を、ガス透過性の低い
樹脂材料により形成したことを特徴とする請求項１又は
請求項３に記載のウェハー保管装置。
【請求項５】前記収納容器（５）における前記蓋（５０
３）を、紫外線透過性の低い樹脂材料により形成したこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
のウェハー保管装置。