CN103193051A - 物品保管设备以及物品保管方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的物品保管设备具备：相对于收纳部运送运送容器的运送装置，向收纳在上述收纳部中的运送容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部，以及控制运送装置的动作和惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置。控制装置构成为，使与收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态为保管用供给状态，使与未收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态为供给停止状态，并且在将运送容器向收纳部收纳之际，在将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态之后，将运送容器向收纳部收纳。

Description

物品保管设备以及物品保管方法
技术领域
本发明涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置的动作和上述惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置。
背景技术
在上述这种物品保管设备中，为了防止运送容器内的基板的污损而具备有向收纳在收纳部中的运送容器内供给惰性气体的洁净功能。作为具体例子，例如具备收纳收容半导体晶片的FOUP等运送容器的多个收纳部的保管架作为带有洁净功能的物品保管架而构成。该物品保管架的收纳部的每一个具备有作为惰性气体供给部的供给喷嘴，向运送容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体。
在日本国特开2010-16199号公报（专利文献1）中公开了这种物品保管设备的一例，在该专利文献1中，记载了为了抑制设备的运行成本而尽量抑制惰性气体的消耗量的以下的技术。即，在运送容器收纳在收纳部中的情况和未收纳在收纳部中的情况下，能够变更从供给喷嘴排放的惰性气体的流量，使运送容器收纳在收纳部中的情况下的惰性气体的流量比运送容器未收纳在收纳部中的情况下的流量少。
具体地说，在上述专利文献1中，运送容器收纳在收纳部中的情况下的惰性气体的流量设定成为了向运送容器内供给充分的惰性气体所必须的流量（称为第1流量）。另一方面，运送容器未收纳在收纳部中的情况下的排放流量设定成比上述第1流量少的流量（称为第2流量），以防止颗粒或水蒸气等杂物粒子在上述惰性气体供给部上积蓄。这样一来，在运送容器未收纳在收纳部中的期间，能够防止在惰性气体供给部上滞留成为基板污损的原因的杂物粒子。这样，在运送容器收纳在收纳部中后，能够相对于该运送容器尽量供给纯粹的惰性气体，并谋求了设备运行成本的降低。
但是，在上述专利文献1中，在运送容器未收纳在收纳部中的情况下，平时从供给喷嘴向空间排放第2流量的惰性气体。因此，由于原本应向运送容器供给的惰性气体未向运送容器供给而向空间排放，所以存在大量浪费了惰性气体的问题。
发明内容
鉴于上述背景，希望实现能够抑制惰性气体的使用量并且能够防止运送容器内的基板污损的物品保管设备。
本发明所涉及的物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具有排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，其中，上述控制装置构成为，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，另外，上述控制装置构成为，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态之后，将上述运送容器向上述收纳部收纳。
根据上述结构，由于与收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部被切换成保管用供给状态，所以能够从惰性气体供给部相对于收纳在该收纳部中的运送容器供给惰性气体。而且，由于与未收纳有运送容器的收纳部相对应的惰性气体供给部被切换成供给停止状态，所以不从惰性气体供给部相对于未收纳有惰性气体的供给对象的运送容器的收纳部供给惰性气体，能够抑制不必要地使用惰性气体。
而且，在将运送容器向收纳部收纳之际，将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态，在从排放口排放出惰性气体后将运送容器向收纳部收纳，因此，即使在将惰性气体供给部向供给停止状态切换的期间在该惰性气体供给部中滞留有杂物粒子，也能够在将运送容器向收纳部收纳之前通过以收纳前供给状态供给的惰性气体对惰性气体供给部进行净化，能够防止其杂物粒子从惰性气体供给部进入运送容器内。因此，即使在平时不预先向未收纳有运送容器的收纳部排放惰性气体，也能够防止杂物粒子进入运送容器，防止运送容器内的基板的污损。
这样，根据上述结构，能够抑制惰性气体的使用量并防止运送容器内的基板的污损。
本发明所涉及的物品保管设备的技术特征也能够适用于物品保管方法，本发明也能够将这种方法作为权利的对象。在该物品保管方法中，也能够得到上述物品保管设备所涉及的作用和效果。
即，本发明所涉及的物品保管方法利用如下的物品保管设备，该物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具备排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，上述物品保管方法包括由上述控制装置执行的以下的工序：第1控制工序，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，第2控制工序，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态后，将上述运送容器向上述收纳部收纳。
以下，对本发明的优选实施方式的例子进行说明。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，在上述运送容器被运送到上述收纳部之前的期间的某一时刻实现的上述运送装置的动作状态是预先作为惰性气体供给开始状态设定的，上述控制装置构成为，以上述运送装置的动作状态成为了上述惰性气体供给开始状态为条件，控制上述流量调节装置的动作，将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态，之后，在经过设定时间之前维持上述收纳前供给状态。
根据上述结构，当运送装置的动作状态成为惰性气体供给开始状态时，与运送容器的收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部从供给停止状态切换成收纳前供给状态，之后，在经过规定时间之前惰性气体以收纳前供给状态从排放口排放。因此，由于在由运送装置将运送容器向收纳部收纳之际的恰当时期，惰性气体在整个设定时间内从排放口排放，所以能够与运送容器被收纳的时机相配合而恰当地对处于供给停止状态的惰性气体供给部进行净化。
另外，惰性气体供给开始状态既可以设定成运送装置为了接收运送对象的运送容器而动作时的动作状态，也可以设定成在接收了运送容器后的动作状态或接收后使运送容器实际移动时的动作状态。而且，惰性气体供给开始状态也可以设定成在时间或空间上具有一定的幅度。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，上述控制装置构成为，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置的动作，以在将该惰性气体供给部的状态从上述收纳前供给状态切换成上述供给停止状态后，以上述运送容器被运送到该收纳部为条件，从上述供给停止状态切换成上述保管用供给状态。
根据上述结构，在运送容器向收纳目的地的收纳部收纳之前，从收纳前供给状态下的惰性气体的供给开始后经过了设定时间的情况下，能够通过以收纳前供给状态排放惰性气体设定时间而充分地对与该收纳部相对应的惰性气体供给部进行净化，通过从经过设定时间后、到运送容器向收纳部收纳之前的期间不供给惰性气体，能够尽量抑制惰性气体的使用量。
而且，即使在从运送装置的动作状态成为惰性气体供给开始状态后、到运送容器被运送到收纳目的地的收纳部之前的运送时间因收纳部的不同而不同的情况下，也能够在多个收纳部之间统一收纳前供给状态下的惰性气体的供给时间，防止惰性气体供给部的净化度的参差不齐。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，上述控制装置构成为，执行运送牵制控制，该运送牵制控制是在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后、到经过上述设定时间之前，不使上述运送装置进行的上述运送容器向该收纳部的运送完成的控制。
根据上述结构，通过控制装置执行运送牵制控制，从将惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态后、到经过设定时间之前，运送容器不向收纳目的地的收纳部收纳。因此，由于能够在容器未收纳在收纳目的地的收纳部中的状态下以收纳前供给状态在整个设定时间内排放惰性气体，所以能够在整个设定时间内可靠地进行惰性气体供给部的净化。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，与上述运送装置的动作状态成为上述惰性气体供给开始状态时上述运送容器的位置相比，在上述运送装置的运送路径上靠近运送目的地的上述收纳部的位置设定了供给状态判别用位置，上述控制装置构成为，在上述运送容器被上述运送装置运送到上述供给状态判别用位置时，与该收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态处于上述收纳前供给状态的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，以使上述运送装置的运送动作停止，在该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给完成后，再次开始上述运送装置的运送动作。
根据上述结构，通过使运送装置的动作停止这种简单的控制，能够可靠地进行从将惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态后、到经过设定时间之前不将运送容器向收纳目的地的收纳部收纳。
而且，供给状态判别用位置是运送装置的运送路径上靠近收纳目的地的收纳部的位置。因此，能够在与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的收纳前供给状态下的惰性气体的供给完成后立即将运送对象的运送容器向收纳目的地的收纳部收纳，其结果，能够尽量迅速地将运送容器向收纳目的地的收纳部收纳。
在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，上述控制装置构成为，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，在上述运送容器被运送到该收纳部之前持续该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给。
根据上述结构，即使在将惰性气体供给部的状态切换成收纳前供给状态并经过了设定时间后，在运送容器被运送到该收纳部之前的期间，也能够防止尘埃、周围的水蒸气、氧进入该惰性气体供给部。这样一来，在收纳了运送容器后、开始了保管用供给状态下的惰性气体的供给的情况下，也能够防止尘埃、水蒸气、氧进入运送容器内。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地是，在上述运送容器运送到上述收纳部之前的期间的某一时刻实现的上述运送装置的动作状态是预先作为惰性气体供给开始状态设定的，在上述第2控制工序中，以上述运送装置的动作状态成为了上述惰性气体供给开始状态为条件，控制上述流量调节装置的动作，将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态，之后，在经过设定时间之前维持上述收纳前供给状态。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地是，在上述第2控制工序中，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态并经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置的动作，以在将该惰性气体供给部的状态从上述收纳前供给状态切换成上述供给停止状态后，以上述运送容器被运送到该收纳部为条件，从上述供给停止状态切换成上述保管用供给状态。
在本发明所涉及的的物品保管方法的实施方式中，优选地是，在上述第2控制工序中，执行运送牵制控制，该运送牵制控制是在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后、到经过上述设定时间之前，不使上述运送装置进行的上述运送容器向该收纳部的运送完成的控制。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地是，与上述运送装置的动作状态成为上述惰性气体供给开始状态时上述运送容器的位置相比，在上述运送装置的运送路径上靠近运送目的地的上述收纳部的位置设定了供给状态判别用位置，在上述第2控制工序中，在上述运送容器被上述运送装置运送到上述供给状态判别用位置时，与该收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态处于上述收纳前供给状态的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，以使上述运送装置的运送动作停止，在该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给完成后，再次开始上述运送装置的运送动作。
在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地是，在上述第2控制工序中，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，在上述运送容器被运送到该收纳部之前持续该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给。
附图说明
图1是物品保管设备的纵剖侧视图；
图2是表示相同设备的一部分的纵剖主视图；
图3是收纳部的立体图；
图4是表示收纳部与运送容器的关系的示意结构图；
图5是控制装置的连接结构图；
图6是表示惰性气体的供给量的控制方式的说明图；
图7是塔式起重机的运送控制与氮气的供给控制的流程图；
图8是塔式起重机的运送控制与氮气的供给控制的流程图；
图9是塔式起重机的运送控制与氮气的供给控制的流程图。
附图标记说明：
F：惰性气体供给部，H：控制装置，W：基板，t1：设定时间，10S：收纳部，20：运送装置，10i：排放口，40：流量调节装置，50：运送容器。
具体实施方式
基于附图对将本发明适用于带洁净功能的物品保管设备上的情况下的实施方式进行说明。
（整体结构）
物品保管设备如图1以及图2所示，具备：保管以密闭状态收容基板的运送容器50（以下简称为容器50）的保管架10，作为运送装置的塔式起重机20，以及作为容器50的入出库部的入出库输送机CV。
保管架10以及塔式起重机20装配在外周部被壁体K包覆的设置空间内，入出库输送机CV以贯通壁体K的状态装配。
保管架10以沿上下方向以及左右方向排列有作为支撑容器50的支撑部的收纳部10S的状态具备多个，构成为向多个收纳部10S的每一个收纳容器50，其详细结构后述。
并且在本实施方式中，如图1所示，装备有升降式的运送车D，其沿着敷设在设置了物品保管设备的清洁室的天花板部的导轨G行驶，通过该升降式的运送车D，容器50相对于入出库输送机CV运入以及运出。
入出库输送机CV的两端部中位于设置空间之外一侧的端部作为运出运入口，位于设置空间之内一侧的端部作为入出库口，由运出运入口在入出库输送机CV与升降式运送车D之间进行容器50的交接（移载），由入出库口在入出库输送机CV与塔式起重机20之间进行容器50的交接（移载）。
（容器50的结构）
容器50是以半导体设备和材料协会（SEMI：Semiconductor Equipment and Materials Institute）规格为基准的合成树脂制的气密容器，用于收纳作为基板的半导体晶片（参照图4），被称为前开式标准容器（FOUP：Front Opening Unified Pod）。并且虽然省略了详细说明，但在容器50的前表面形成有被装卸自如的盖体开闭的基板出入用的开口，在容器50的上表面形成有被升降式的运送车D把持的上凸缘52。在容器50的底面上形成有定位销10b（参照图3）卡合的三个卡合槽（未图示）。
即，容器50如图4所示，具备壳体51和未图示的盖体，壳体51在内部具备能够沿上下方向载置多个半导体晶片W的基板支撑体53。容器50构成为在将盖体安装在壳体51上的状态下内部空间被密闭成气密状态，并且在收纳在收纳部10S中的状态下被定位销10b定位。
而且，如图4所示，在容器50的底部，如后所述设有用于注入作为惰性气体的氮气的供气口50i以及排气口50o。虽然省略了图示，但在供气口50i处设有注入侧开闭阀，在排气口50o处设有排出侧开闭阀。
注入侧开闭阀被弹簧等施力部件向关闭方向施力，若向供气口50i供给的氮气的排放压力为高出大气压设定值的设定开阀压力以上，则在其压力的作用下操作而打开。
而且，排出侧开闭阀被弹簧等施力部件向关闭方向施力，若容器50内部的压力为高出大气压设定值的设定开阀压力以上，则在其压力的作用下操作而打开。
（塔式起重机20的结构）
塔式起重机20具备：能够沿着设在保管架10的前面一侧的地面部上的行驶轨道E行驶移动的行驶台车21，立设在该行驶台车21上的立柱22，以及能够以被立柱22引导的状态升降移动的升降台24。
另外，虽然未图示，但设在立柱22的上端的上部框23构成为与设在外周部被壁体K包覆的设置空间的天花板一侧的上部导轨卡合而移动。
在升降台24上装备有相对于收纳部10S移载容器50的移载装置25。
移载装置25具备载置支撑容器50的板状的载置支撑体25A，能够进退到向收纳部10S的内部突出的突出位置和后退到升降台24一侧的后退位置。具备移载装置25的塔式起重机20构成为在载置支撑体25A的进退动作以及升降台24的升降动作的作用下进行将载置在载置支撑体25A上的容器50向收纳部10S下降的下降处理，以及取出收纳在收纳部10S中的容器50的上托处理。
即，容器50由运送车D载置在入出库输送机CV的运出运入口，在由该入出库输送机CV从壁体K外部的运出运入口运送到内部的入出库口后，由塔式起重机20向多个收纳部10S中空置状态的收纳部10S运送。
这样，在本实施方式中，作为相对于多个收纳部10S运送容器50的运送装置设有塔式起重机20。该塔式起重机20具备相对于收纳部10S移载容器50的移载装置25，和使移载装置25向与收纳部10S相对应地设定的移载用位置移动的作为移动装置的行驶台车21以及升降台24。并且起重机控制器H3构成为，在向收纳部10S运送容器50的情况下，将塔式起重机20的动作控制成在由行驶台车21以及升降台24将移载装置25移动到与移载对象的收纳部10S相对应的移载用位置后，由移载装置25移载容器50。
虽然未图示，但在塔式起重机20上装备有检测行驶路径上的行驶位置的行驶位置检测装置，以及检测升降台24的升降位置的升降位置检测装置。控制塔式起重机20的动作的起重机控制器H3构成为基于行驶位置检测装置以及升降位置检测装置的检测信息控制塔式起重机20的动作。而且，在移载装置25上设有检测载置支撑体25A的进退位置的作为进退位置检测装置的旋转编码器及检测容器50是否载置在载置支撑体25A上的容器检测传感器，起重机控制器H3构成为基于这些传感器类的检测信息控制移载装置25的动作。这样，起重机控制器H3控制行驶台车21，升降台24，移载装置25的动作状态。
并且起重机控制器H3构成为控制行驶台车21的行驶动作和升降台24的升降动作以及移载装置25上的载置支撑体25A的进退动作而运送容器50，以进行接收运入到入出库输送机CV的入出库口的容器50并向收纳部10S收纳的入库作业，以及从收纳部10S中取出收纳在收纳部10S中的容器50并向入出库输送机CV的入出库口交接的出库作业。
上述入库作业以及出库作业由储料控制器H2向起重机控制器H3发出指令。而且，起重机控制器H3向储料控制器H2发送行驶台车21的行驶动作完成信息、升降台24的升降完成信息、移载装置25的容器50的接收（上托）动作完成信息、以及交接（卸载）动作完成信息。
（收纳部10S的结构）
如图3以及图4所示，多个收纳部10S的每一个具备载置支撑容器50的板状的载置支撑部10a。
该载置支撑部10a形成为俯视形状为U字型，从而形成载置装置25的载置支撑体25A上下通过的空间，在其上表面以向上方突出的状态装备有上述定位销10b。
而且，在载置支撑部10a上设有检测是否恰当地载置了容器50的两个重载传感器10z，这些传感器的检测信息向管理后述的作为流量调节装置的质量流控制器40的运行的洁净控制器H1输入。
在载置支撑部10a上设有向容器50的内部供给作为惰性气体的氮气的作为排放口的排放喷嘴10i，和使从容器50的内部排出的气体流通的排出用透气体10o。在各收纳部10S的里侧、并且沿左右方向排列的收纳部10S之间的位置装备有控制氮气的供给的质量流控制器40（参照图1～图3）。各收纳部10S的里侧是与容器50出入的开口（出入口）对向的端部一侧。
质量流控制器40装配在俯视时不存在保管架10的收纳部10S以及对其进行支撑的柱材等的部位、并且在收纳容器50时也不存在容器50的部位。即，在质量流控制器40所装配的部位形成有沿保管架10的上下方向连通的空间。因此，因质量流控制器40发出的热而产生的气流不会被障碍物阻碍地从保管架10的下端流动到上端，能够抑制质量流控制器40发散的热滞留，抑制质量流控制器40因热而误动作等障碍。
并且在排放喷嘴10i上连接有使来自质量流控制器40的氮气流动的供给配管Li，在排出用透气体10o上连接有端部开口的排出管Lo。
若容器50载置支撑在载置支撑部10a上，则排放喷嘴10i以嵌合状态与容器50的供气口50i相连，并且排出用透气体10o以嵌合状态与容器50的排气口50o相连。
并且在容器50载置支撑在载置支撑部10a上的状态下，通过从排放喷嘴10i排放压力比大气压高出设定值以上的氮气，能够以使容器内的气体从容器50的排气口50o向外部排出的状态从容器50的供气口50i向容器50的内部注入氮气。
在本实施方式中，主要由质量流控制器40，供给配管Li，以及排放喷嘴10i构成惰性气体供给部F。
即，惰性气体供给部F具备排放惰性气体的排放喷嘴10i，和能够调节从该排放喷嘴10i排放的惰性气体的流量的质量流控制器40，向收纳在收纳部10S中的容器50的内部供给惰性气体。并且惰性气体供给部F是针对多个收纳部10S的每一个设置的。
另外，如图3所示，在供给配管Li上装备有手动操作式的开闭阀Vi，能够在质量流控制器40发生故障的紧急时等切换成停止氮气的供给的状态。
（质量流控制器40的结构）
如图3以及图4所示，质量流控制器40具备流入侧端口40i和排出侧端口40o。在排出侧端口40o上连接有上述的供给配管Li，在流入侧端口40i上连接有引导来自氮气供给源的氮气的供给配管Ls。
另外，在氮气供给源上装备有将氮气的供给压力调整成比大气压高出设定值以上的设定压力的调节器、断续氮气的供给的手动操作式的开闭阀等。
在质量流控制器40上装备有变更调节在从流入侧端口40i朝向排出侧端口40o的内部流路中流动的氮气的流量的流量调节阀，计量在内部流路中流动的氮气的流量的流量传感器，以及控制流量调节阀的动作的内部控制部。
并且内部控制部构成为基于流量传感器的检测信息控制流量调节阀，以将朝向容器50的供给流量调整成由上述洁净控制器H1指令的目标流量。即，洁净控制器H1控制质量流控制器40的动作。
（控制装置H的结构）
如图5所示，控制装置H具备控制质量流控制器40的洁净控制器H1，对保管架10上的容器50的在库状态等进行管理的储料控制器H2，以及控制塔式起重机20的动作的起重机控制器H3。洁净控制器H1，储料控制器H2，以及起重机控制器H3由例如以积分程序方式处理信息的计算机构成，相互之间通过LAN等网络C1连接。而且，可编程逻辑控制器P以及IO扩展模块A能够与上述控制装置H通信地与网络C1相连。
在可编程逻辑控制器P上，经由控制总线C2连接有12台质量流控制器40。而且，在IO扩展模块A上，通过信号线C3连接有上述12台质量流控制器40所具备的与收纳部10S的每一个相对应的一对重载传感器10z。
当基于来自上位管理计算机（未图示）的入库要求，运送车D将容器50载置在入出库输送机CV的运出运入口上时，从储料控制器H2向输送机控制器（未图示）发出入库用的运送指令，输送机控制器基于入库用的运送指令控制入出库输送机CV的动作，将容器50运送到入出库输送机CV的入出库口。通过储料控制器H2向起重机控制器H3发出入库指令，起重机控制器H3控制塔式起重机20的运送动作，上托位于入出库口的容器50，使移载装置25向与收纳目的地的收纳部10S相对应的移载用位置移动，将收纳对象的容器50收纳在该收纳部中。
储料控制器H2构成为基于塔式起重机20所进行的入出库作业履历对多个收纳部10S的每一个进行是否收纳有容器50的管理。收纳容器50的收纳部10S通过储料控制器H2执行的保留处理（收纳部选择处理）而被选择出。
即，储料控制器H2针对所有收纳部10S存储着入库运送时间表，该入库运送时间表记录了通过塔式起重机20将容器50从入出库输送机CV的入出库口进行入库所需要的入库运送时间。在收纳部选择处理中，参照该入库运送时间表，空置状态的收纳部10S中入库运送时间最短的收纳部被选作收纳目的地的收纳部10S。
容器50向收纳部10S收纳时，相对于该容器50供给氮气。氮气相对于容器50的供给由洁净控制器H1控制。洁净控制器H1经由可编程逻辑控制器P相对于与多个收纳部10S的每一个相对应地设置的质量流控制器40发出目标流量指令。另外，在洁净控制器H1上装备有用于输入各种信息的操作台HS。
作为洁净控制器H1指令的目标流量，在容器50收纳在收纳部10S中的状态下是应向容器50的内部注入氮气的、相对于质量流控制器40指令的保管用的目标流量，在容器50即将收纳在收纳部10S中之前是为了将排放喷嘴10i清洁化而指令的喷嘴净化用的目标流量，而在设置保管架10时等是为了将排放喷嘴10i及供给配管Li等清洁化而指令的清洁用的目标流量。
即，洁净控制器H1如图6所示，作为确定目标流量和供给时间的多个洁净方案，存储了喷嘴洁净方案P1，清洁方案P2，以及保管用洁净方案P3。
另外，喷嘴洁净方案P1，清洁方案P2以及保管用洁净方案P3中的目标流量和供给时间预先设定成基准值，能够由作为设定输入装置的操作台HS进行变更设定。
喷嘴洁净方案P1是在容器50即将收纳在收纳部10S中之前设定的设定时间t1的期间从收纳目的地的收纳部10S的排放喷嘴10i排放氮气的供给方案。即，当洁净控制器H1从储料控制器H2接收表示塔式起重机20在入出库口接收了入库对象的容器50的上托完成信息后，洁净控制器H1相对于质量流控制器40发出由喷嘴洁净方案P1所赋予的喷嘴净化用的目标流量的指令。
如图7所示，喷嘴洁净方案P1是在从接收到上托完成信息的时刻到作为收纳前供给时间设定的设定时间t1的期间，以作为喷嘴净化用的目标流量设定的目标流量L1供给氮气的方案确定的。
设定时间t1例如设定成5秒，目标流量L1例如设定成30升/分钟。
清洁方案P2是在设置保管架10时或更换特定的收纳部10S的惰性气体供给部F的全部或者一部分等情况下使用的供给方案，是从指定的收纳部10S的排放喷嘴10i排放氮气的供给方案。即，当由操作台HS发出相对于某一个收纳部10S的清洁开始指令后，洁净控制器H1根据清洁方案P2相对于质量流控制器40发出目标流量指令。此时，目标流量设定成清洁用的流量，供给时间设定成清洁用的时间。
清洁方案P2是作为在由操作桌HS发出清洁开始指令后、到作为设置初期供给时间设定的供给时间t2的期间，以作为清洁用的目标流量设定的目标流量L2供给氮气的方案确定的。
供给时间t2例如设定成1800秒，目标流量L2例如设定成20升/分钟。
保管用洁净方案P3是在将容器50收纳在收纳部10S中后从该收纳部10S的排放喷嘴10i排放氮气的情况下使用的供给方案。即，当由容器50的收纳目的地的收纳部10S的一对重载传感器10z检测出已恰当地收纳了容器50时，洁净控制器H1相对于质量流控制器40发出由保管用洁净方案P
所赋予的保管用的目标流量。
保管用洁净方案P3作为保管用的目标流量设定了初期目标流量值Lα，和比该初期目标流量值Lα少的定常目标流量值Lβ。
初期目标流量Lα例如设定成50升/分钟，定常目标流量值Lβ例如设定成5升/分钟。如上所述，初期目标流量值Lα及定常目标流量值Lβ由使用者变更设定。保管用洁净方案P3是作为下述的方案确定的，即、将容器50向收纳部10S中的收纳完成后的容器收纳完成时刻为始点，在容器收纳完成时刻后设定供给时间t3（例如5分钟）的期间，以作为初期目标流量值Lα的供给流量L31供给氮气，之后在一对重载传感器10z检测容器50的存在的期间，继续以作为定常目标流量值Lβ的供给流量L32供给氮气。
洁净控制器H1执行第1控制工序。在此，第1控制工序是如下的控制工序：在容器50收纳在收纳部10S中的情况下，控制质量流控制器40的动作，以使与该收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态为从排放喷嘴10i按照保管用洁净方案P3排放氮气的保管用供给状态，并且在容器50未收纳在收纳部10S中的情况下，控制质量流控制器40的动作，以使与该收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态为不从排放喷嘴10i排放氮气的供给停止状态。
并且具有洁净控制器H1的控制装置H执行第2控制工序。在此，第2控制工序是如下的控制工序：在由塔式起重机20将容器50向收纳部10S中收纳之际，控制运送装置的动作以及流量调节装置的动作，将与收纳目的地的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态从供给停止状态切换成从排放喷嘴10i按照喷嘴洁净方案P1排放惰性气体的收纳前供给状态，之后将容器50向收纳部10S收纳。
洁净控制器H1在收纳前供给状态下根据喷嘴洁净方案P1相对于质量流控制器40发出喷嘴净化用的目标流量的指令。因此，当塔式起重机20在入出库口接收容器50时，洁净控制器H1将与收纳该运送对象的容器50的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态从供给停止状态切换成以由喷嘴洁净方案P1所赋予的喷嘴净化用的目标流量供给氮气的收纳前供给状态。之后洁净控制器H1控制质量流控制器40的动作，在经过设定时间t1之前维持收纳前供给状态。
在本实施方式中，在塔式起重机20将容器50向收纳部10S运送之前的时间的某一时刻实现的塔式起重机20的动作状态是预先作为惰性气体供给开始状态设定的。具体地说，在入出库口容器50的接收完成的时刻的塔式起重机20的动作状态是作为惰性气体供给开始状态设定的。
以下，基于图7～图9所示的流程图对洁净控制器H1进行的氮气相对于容器50的供给控制，和储料控制器H2以及起重机控制器H3进行的容器50的运送控制进行说明。
首先，储料控制器H2在从上位管理计算机接收了容器50的入库要求时（步骤＃S1：“是”）执行收纳部选择处理（步骤＃S2），决定收纳该容器50的收纳部10S，在步骤＃S3相对于起重机控制器H3发出入库指令。
起重机控制器H3在接收了入库指令后，在步骤＃R1～＃R3控制行驶台车21以及升降台24的动作，使移载装置25移动到与入出库输送机CV的入出库口相对应的移载用位置，当朝向入出库口的移动完成时向储料控制器H2发送移动完成信息。
并且起重机控制器H3接着在步骤＃R4～＃R6进行由移载装置25接收位于入出库口的入库对象的容器50的上托移载动作。具体地说，顺序（即连续地）进行使移载装置25所具备的载置支撑体25A从升降台24一侧的后退位置突出到入出库口一侧的突出位置，在仅上升移载用的设定量后向升降台24一侧的后退位置后退这一系列的动作。当上托处理完成后，起重机控制器H3向储料控制器H2发送上托完成信息。
当储料控制器H2从起重机控制器H3接收了上托完成信息后，向洁净控制器H1发送针对收纳目的地的收纳部10S的喷嘴净化要求（步骤＃S4）。该喷嘴净化要求包含收纳目的地的收纳部10S的位置信息和表示相对于入出库口的上托处理完成的信息。
当洁净控制器H1接收了来自储料控制器H2的喷嘴净化要求后，在步骤＃N1～＃N3向与收纳目的地的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F所具备的质量流控制器40发出由喷嘴洁净方案P1所赋予的喷嘴净化用的目标流量的指令。即，如图6的（P1）所示，在设定时间t1的期间发出目标流量L1的指令，在经过了设定时间t1后使目标流量为零。这样，在塔式起重机20进行的入库对象的容器50的上托处理完成前的期间处于供给停止状态的惰性气体供给部F在入库对象的容器50的上托处理完成的时刻被切换成收纳前供给状态。
起重机控制器H3在步骤＃R6发送了上托完成信息后控制行驶台车21的行驶动作以及升降台24的升降动作，使针对运送对象的容器50的运送动作继续。即，在步骤＃R7～＃R9开始行驶动作以及升降动作，使移载装置25位于与收纳目的地的收纳部10S相对应的移载用位置，向储料控制器H2发送移动完成信息。另外，因入出库口与收纳目的地的收纳部10S的位置关系而使移载装置25位于与收纳目的地的收纳部10S相对应的移载用位置所必须的动作也存在仅是行驶动作以及升降动作中的某一种的情况。
与塔式起重机20使移载装置25移动并行，洁净控制器H1如上所述仅进行设定时间t1的目标流量L1的氮气供给，当经过了设定时间t1后，在步骤＃N4向储料控制器H2发送喷嘴洁净结束信息。
储料控制器H2在步骤＃S4发送了喷嘴洁净要求后，在步骤＃S5，基于有无从起重机控制器H3发送的移动完成信息而确认塔式起重机20的移动动作是否完成。当塔式起重机20的移动动作完成后，在步骤＃S6确认是否已接收到来自洁净控制器H1的喷嘴洁净结束信息，若未接收到信息则待机至接收到信息，若已接收到信息或待机后接收到信息，则在步骤＃S7向起重机控制器H3发送移载指令。
这样，在塔式起重机20使移载装置25向与收纳目的地的收纳部10S相对应的移载用位置移动，并且该收纳目的地的收纳部10S的喷嘴洁净已完成的情况下，储料控制器H2向起重机控制器H3发出移载指令。这样一来，相对于收纳目的地的收纳部10S确保了设定时间t1的喷嘴洁净。
由于移载装置25至收纳目的地的收纳部10S的移动距离，存在针对该收纳部10S的喷嘴洁净完成前塔式起重机20的移动动作完成，移载装置25位于（到达）与该收纳部10S相对应的移载用位置的情况。在这种情况下，从喷嘴洁净开始、经过设定时间t1之前，移载装置25的移载动作保留。
这样，控制装置H构成为，在从将与收纳目的地的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态后、经过设定时间t1之前，执行不使塔式起重机20进行的容器50朝向该收纳部10S的运送完成的控制（运送牵制控制）。
并且当在步骤＃S7起重机控制器H3接收了储料控制器H2发出的移载指令后，在步骤＃R10开始移载装置25的移载动作。
这样，在容器50被塔式起重机20运送到与收纳目的地的收纳部10S相对应的移载用位置后，针对该收纳部10S的惰性气体供给部F处于收纳前供给状态的情况下，即正在进行喷嘴洁净的情况下，控制装置H使塔式起重机20的运送动作停止。并且在与该收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的收纳前供给状态下的氮气的供给完成后，控制装置H使塔式起重机20的运送动作再次开始。
在本实施方式中，供给状态判别用位置设定在移载装置25位于与收纳目的地的收纳部10S相对应的移载用位置时容器50的位置。即，供给状态判别用位置针对多个收纳部10S的每一个设定在不同的位置。而且，针对多个收纳部10S的每一个的供给状态判别用位置均设定在与塔式起重机20的动作状态为惰性气体供给开始状态（在本例中是在入出库口完成了容器50的接收的时刻的塔式起重机20的动作状态）的情况下的容器50的位置相比、在塔式起重机20的运送路径上靠近收纳目的地的收纳部10S的位置。
由于至收纳目的地的收纳部10S的移动距离不同，存在针对该收纳部10S的喷嘴洁净完成后移载装置25位于（到达）与该收纳部10S相对应的移载用位置的情况。在这种情况下，从喷嘴洁净完成后、移载装置25的移载动作完成前，洁净控制器H1不向质量流控制器40发出目标流量的指令，与该收纳部10S相对应的惰性气体供给部F被维持在供给停止状态。之后，当移载装置25的移载动作完成，收纳部10S的一对重载传感器10z检测出收纳状态的容器50时，洁净控制器H1将惰性气体供给部F从供给停止状态切换成保管用供给状态。
这样，在将与收纳目的地的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态切换成按照喷嘴洁净方案P1排放氮气的收纳前供给状态后经过了设定时间t1的时刻，容器50未运送到该收纳部10S的情况下，控制装置H将该惰性气体供给部F的状态从收纳前供给状态切换成供给停止状态。之后，以容器50已运送到该收纳部10S为条件，控制装置H将与该收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态从供给停止状态切换成保管用供给状态。
当移载装置25的移载动作完成后（步骤＃R11：“是”），起重机控制器H3向步骤＃R12转移，向储料达控制器H2发送移载完成信息。当储料控制器H2从起重机控制器H3接收了移载完成信息后，在步骤＃S8更新收纳部信息中的容器存在数据。即，针对步骤＃S2的收纳部选择处理中作为收纳对象的收纳部10S选择的收纳部10S的容器存在数据更新为“有容器”。储料控制器H2在步骤＃S9向洁净控制器H1发送更新后的收纳部信息。
洁净控制器H1实时监视是否处于能够与储料控制器H2通信的状态。在处于能够通信的状态的情况（例如物品保管设备以自动模式运行的情况）和处于不能够通信的状态的情况（例如物品保管设备以手动模式运行的情况）下，向保管用供给状态的切换条件是不同的（步骤＃N5）。
具体地说，在洁净控制器H1处于能够与储料控制器H2通信的状态的情况下（步骤＃N5：“是”），基于从储料控制器H2发送的收纳部信息判别是否有新近收纳了容器50的收纳部10S、即新近更新成“有容器”的收纳部10S（步骤＃N6）。在产生了新近收纳了容器50的收纳部10S的情况下，确认装备在该收纳部10S上的一对重载传感器10z的检测信息（步骤＃N7）。若一对重载传感器10z双方检测出容器50，则作为容器50正常地收纳在收纳部10S中，向步骤＃N10转移，进行向保管用供给状态的切换。即使一对重载传感器10z的一方未检测出容器50，也作为容器50未正常地收纳在收纳部10S，向步骤＃N8转移，执行通报处理等异常发生处理。
在洁净控制器H1不处于能够与储料控制器H2通信的状态的情况下（步骤＃N5：“否”），则确认一对重载传感器10z的检测信息（步骤＃N7）。若一对重载传感器10z双方检测出容器50，则作为容器50已收纳在收纳部10S中，向步骤＃N10转移，进行向保管用供给状态的切换。另外，在洁净控制器H1不处于能够与储料控制器H2通信的状态的情况下，作业者将容器50向收纳部10S收纳。
当基于重载传感器10z的检测信息向步骤＃N10转移时，洁净控制器H1向与收纳目的地的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F所具备的质量流控制器40发出由保管用洁净方案P3所赋予的保管用的目标流量的指令。即，如图6的（P3）所示，在设定供给时间t3（例如5分钟）的期间，以作为初期目标流量值Lα的供给流量L31供给氮气（第1供给状态），之后，在一对重载传感器10z检测到容器50的存在的期间，持续以作为定常目标流量值Lβ的供给流量L32供给氮气（第2供给状态）。
洁净控制器H1在步骤＃N11被判别为从向保管用供给状态切换后最初的第1供给状态已完成时向步骤＃N12转移，向储料控制器H2发送出库许可信息。接收到出库许可信息的储料控制器H2在步骤＃S10对收纳部信息中针对该收纳部10S的出库许可标志信息进行更新，并向上位管理计算机报告。
当从上位管理计算机有出库要求，储料控制器H2从步骤＃S11向步骤＃S12转移，参照收纳部信息，确认针对收纳了出库对象的容器50的收纳部10S的出库许可标志是否为许可状态。在存在相对于未成为许可状态的收纳部10S的出库要求的情况下，在步骤＃S13向上位管理计算机发送表示氮气针对该出库对象的容器50的供给不充分的洁净未完成信息，并在步骤＃S14向起重机控制部H3发送出库指令。在存在相对于已成为许可状态的收纳部10S的出库要求的情况下，从步骤＃S12向步骤＃S14转移，向起重机控制部H3原样发送出库指令。
起重机控制器H3在从储料控制器H2接收了出库指令时，在步骤＃R13执行出库控制。这样一来，出库对象的容器50被塔式起重机20从出库起始地的收纳部10S向入出库输送机CV的入出库口运送，另外，交接到入出库口的容器50由入出库输送机CV运送到运出运入口，被运送车D运出。
当通过塔式起重机20的出库作业，容器50从出库起始地的收纳部10S取出时，从该收纳部10S的一对重载传感器10z检测出容器的状态向检测不出容器的状态过渡。这样一来，洁净控制器H1在步骤＃N13以及步骤＃N14停止朝向质量流控制器40的目标流量的指令。
在塔式起重机20将出库对象的容器50运送到入出库输送机CV，出库作业完成后（步骤＃R14：“是”），起重机控制器H3向储料控制器H2发送出库完成信息（步骤＃R15）。接收到该信息的储料控制器H2在步骤＃S15将收纳部信息中针对出库起始地的收纳部10S的容器存在数据更新成“没有容器”。在步骤＃R16向洁净控制器H1发送更新后的收纳部信息。接收到该信息的洁净控制器H1在步骤＃N15与自身所存储的各收纳部10S的管理信息对比，如果不一致，则使更新后的收纳部信息的内容反映在管理信息中。
在存在洁净控制器H1的容器存在数据和储料控制器H2的管理信息不一致的收纳部10S的情况下，洁净控制器H1设置禁止该收纳部10S的使用的标志，并将这一内容向储料控制器H2发送。这样一来，在其后有入库要求的情况下执行的收纳部选择处理（步骤＃S2）中，能够避免该收纳部10S被选作收纳目的地的收纳部10S。
[其它实施方式]
（1）在上述实施方式中，作为收纳运送容器的收纳部例示了保管架10的收纳部10S，但作为收纳部，例如也可以考虑设在升降式的运送车D的导轨G的横向旁侧的垂吊式的收纳部等各种收纳部。
（2）在上述实施方式中，作为惰性气体例示了使用氮气的情况，但也可以使用氮气以外的氩气等相对于所收容的基板的反应性低的各种气体作为惰性气体。本发明中的惰性气体必须是含氧量低、绝对湿度低的气体。
（3）在上述实施方式中，例示了将具备排放喷嘴10i以及内部控制部的质量流控制器40作为主要部分构成惰性气体供给部F的情况下，但本发明的实施方式并不仅限于此。例如，也可以在氮气的供给路径中设置变更调节氮气向容器50的供给流量的的流量调节阀，以及计量氮气向容器50的供给流量的流量传感器，以控制装置H基于流量传感器的检测信息控制流量调节阀的动作的方式实施。
在这种情况下，将排放喷嘴10i以及流量调节阀作为主要部分构成惰性气体供给部F。
（4）在上述实施方式中，例示了控制装置H以下述的方式控制质量流控制器40的动作的结构，即、在从将与收纳目的地的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态从不从排放喷嘴10i排放氮气的供给停止状态切换成从排放喷嘴10i按照喷嘴洁净方案P1排放氮气的收纳前供给状态并经过了规定时间t1后、到容器50被运送到该收纳部10S之前，停止该惰性气体供给部F进行的氮气的供给。
控制装置H也可以代之为以下述的方式控制质量流控制器40的动作，即、在从将与收纳目的地的收纳部10S相对应的惰性气体供给部F的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态后经过了设定时间t1的时刻，容器50未运送到该收纳部10S的情况下，使从排放喷嘴10i按照喷嘴结洁净方案P1排放氮气（即收纳前供给状态下的氮气的供给）持续到容器50被运送到该收纳部10S。
在这种情况下，在从将惰性气体供给部F的状态切换成收纳前供给状态并经过了设定时间t1后、到容器50被运送到该收纳部10S前的期间，能够防止尘埃、周围的水蒸气、氧进入排放喷嘴10i内。这样一来，在容器50被收纳，按照保管用洁净方案P3开始了氮气的供给的情况下，能够防止尘埃、水蒸气、氧进入容器50内。
另外，也可以在经过了设定时间t1后相对于质量流控制器40发出目标流量的指令，以比喷嘴洁净方案P1中的喷嘴净化用的目标流量少的容器待机用的目标流量（例如15升/分钟）排放氮气。
（5）在上述实施方式中，例示了运送容器为FOUP，收容在其中的基板为半导体晶片，将氮气作为惰性气体向FOUP内供给的结构，但本发明的实施方式并不仅限于这种结构，例如，收容在运送容器中的基板也可以是标线片，运送容器为标线片容器。
（6）在上述实施方式中，例示了维持收纳前供给状态的设定时间t1是能够变更设定的结构，但设定时间t1也可以是固定的。
（7）在上述实施方式中，构成为将在保管用供给状态下相对于容器50供给的氮气的目标流量设定成第1目标流量值（初期目标流量值Lα）和比该第1目标流量值少的第2目标流量值（定常目标流量值Lβ）的两阶段，但本发明的实施方式并不仅限于这种结构。例如，也可以构成为将氮气的目标流量分三阶段或三阶段以上的阶段设定，以在第1目标流量值之后依次对第2目标流量值、第3目标流量值（后者其以上的目标流量值）进行切换的状态使质量流控制器40动作。而且，还可以是断续地进行各目标流量值的氮气供给的供给方式。
（8）在上述实施方式中，例示了在收纳前供给状态和保管用供给状态下以不同的方式供给惰性气体的结构，但也可以在收纳前供给状态和保管用供给状态下以相同的方式供给惰性气体。
（9）在上述实施方式中，作为运送牵制控制例示了中断运送容器相对于收纳目的地的收纳部的移载动作的结构，但也可以代之为对运送装置的运送动作速度进行减速的结构。例如，在上述实施方式那样运送装置由塔式起重机20构成的情况下，只要使行驶台车21的行驶速度，升降台24的升降速度，移载装置25的进退速度中的某一种或者多种动作速度减速即可。
（10）在上述实施方式中，例示了执行运送牵制控制的结构，但也可以代之为在从将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态后未经过设定时间的情况下，容许使运送装置进行的运送容器向该收纳部的运送完成。在这种情况下，也可以在将惰性气体供给部的状态切换成收纳前供给状态后、经过设定时间之前，将该惰性气体供给部的状态切换成保管用供给状态的结构。
（11）在上述实施方式中，例示了运送装置由塔式起重机构成，惰性气体供给开始状态为塔式起重机的上托动作完成的时刻的塔式起重机的动作状态的结构。但也可以代之为由多个运送装置构成运送运送容器的装置，将针对多个运送装置中的某一个的特定的动作状态设定成惰性气体供给开始状态。例如，在上述实施方式中，可以是由入出库输送机CV和塔式起重机20构成运送装置，将入出库输送机CV完成了容器50向入出库口的运送的时刻的入出库输送机CV的动作状态设定成惰性气体供给开始状态。
而且，可以将塔式起重机20为了接收运送对象的容器50而动作时的特定的动作状态、或者在接收了容器50后使容器50实际移动时的特定的动作状态设成惰性气体供给开始状态。这种特定的动作状态例如由行驶台车21的行驶位置或升降台24的升降位置特定出。
（12）在上述实施方式中，例示了以运送装置的动作状态成为了惰性气体供给开始状态为条件，将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态切换成收纳前供给状态的结构，但本发明的实施方式并不仅限于此。即，将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态向收纳前供给状态切换的时机能够适当变更。例如，在上述实施方式中，也可以是以储料控制器H2向起重机控制部H3发出了入库指令为条件，将与收纳目的地的收纳部相对应的惰性气体供给部的状态从供给停止状态向收纳前供给状态切换的结构。

Claims (12)

1.一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，针对上述多个收纳部的每一个设置、具有排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，以及控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，其特征在于，
上述控制装置构成为，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，
另外，上述控制装置构成为，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态之后，将上述运送容器向上述收纳部收纳。
2.如权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，
在上述运送容器被运送到上述收纳部之前的期间的某一时刻实现的上述运送装置的动作状态是预先作为惰性气体供给开始状态设定的，
上述控制装置构成为，以上述运送装置的动作状态成为了上述惰性气体供给开始状态为条件，控制上述流量调节装置的动作，将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态，之后，在经过设定时间之前维持上述收纳前供给状态。
3.如权利要求2所述的物品保管设备，其特征在于，
上述控制装置构成为，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置的动作，以在将该惰性气体供给部的状态从上述收纳前供给状态切换成上述供给停止状态后，以上述运送容器被运送到该收纳部为条件，从上述供给停止状态切换成上述保管用供给状态。
4.如权利要求2所述的物品保管设备，其特征在于，
上述控制装置构成为，执行运送牵制控制，该运送牵制控制是在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后、到经过上述设定时间之前，不使上述运送装置进行的上述运送容器向该收纳部的运送完成的控制。
5.如权利要求4所述的物品保管设备，其特征在于，
与上述运送装置的动作状态成为上述惰性气体供给开始状态时上述运送容器的位置相比，在上述运送装置的运送路径上靠近运送目的地的上述收纳部的位置设定了供给状态判别用位置，
上述控制装置构成为，在上述运送容器被上述运送装置运送到上述供给状态判别用位置时，与该收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态处于上述收纳前供给状态的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，以使上述运送装置的运送动作停止，在该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给完成后，再次开始上述运送装置的运送动作。
6.如权利要求2所述的物品保管设备，其特征在于，
上述控制装置构成为，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，在上述运送容器被运送到该收纳部之前持续该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给。
7.一种利用物品保管设备的物品保管方法，
上述物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，
相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，
针对上述多个收纳部的每一个设置、具备排放惰性气体的排放口和能够调节从上述排放口排放的上述惰性气体的流量的流量调节装置、并且向收纳在上述收纳部中的上述运送容器的内部供给上述惰性气体的惰性气体供给部，
控制上述运送装置和上述流量调节装置的动作的控制装置，
上述物品保管方法包括由上述控制装置执行的以下的工序：
第1控制工序，针对上述多个收纳部的每一个进行是否收纳有上述运送容器的管理，控制多个上述惰性气体供给部各自的上述流量调节装置的动作，以使与收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为从上述排放口排放上述惰性气体的保管用供给状态，同时使与未收纳有上述运送容器的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态为不从上述排放口排放上述惰性气体的供给停止状态，
第2控制工序，在由上述运送装置将上述运送容器向上述收纳部收纳之际，控制上述运送装置的动作以及上述流量调节装置的动作，以在将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成从上述排放口排放上述惰性气体的收纳前供给状态后，将上述运送容器向上述收纳部收纳。
8.如权利要求7所述的物品保管方法，其特征在于，
在上述运送容器运送到上述收纳部之前的期间的某一时刻实现的上述运送装置的动作状态是预先作为惰性气体供给开始状态设定的，
在上述第2控制工序中，以上述运送装置的动作状态成为了上述惰性气体供给开始状态为条件，控制上述流量调节装置的动作，将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态，之后，在经过设定时间之前维持上述收纳前供给状态。
9.如权利要求8所述的物品保管方法，其特征在于，
在上述第2控制工序中，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置的动作，以在将该惰性气体供给部的状态从上述收纳前供给状态切换成上述供给停止状态后，以上述运送容器被运送到该收纳部为条件，从上述供给停止状态切换成上述保管用供给状态。
10.如权利要求8所述的物品保管方法，其特征在于，
在上述第2控制工序中，执行运送牵制控制，该运送牵制控制是在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态后、到经过上述设定时间之前，不使上述运送装置进行的上述运送容器向该收纳部的运送完成的控制。
11.如权利要求10所述的物品保管方法，其特征在于，
与上述运送装置的动作状态成为上述惰性气体供给开始状态时上述运送容器的位置相比，在上述运送装置的运送路径上靠近运送目的地的上述收纳部的位置设定了供给状态判别用位置，
在上述第2控制工序中，在上述运送容器被上述运送装置运送到上述供给状态判别用位置时，与该收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态处于上述收纳前供给状态的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，以使上述运送装置的运送动作停止，在该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给完成后，再次开始上述运送装置的运送动作。
12.如权利要求8所述的物品保管方法，其特征在于，
在上述第2控制工序中，在从将与收纳目的地的上述收纳部相对应的上述惰性气体供给部的状态从上述供给停止状态切换成上述收纳前供给状态并经过了上述设定时间的时刻，上述运送容器未运送到该收纳部的情况下，控制上述流量调节装置以及上述运送装置的动作，在上述运送容器被运送到该收纳部之前持续该惰性气体供给部的上述收纳前供给状态下的上述惰性气体的供给。
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