CN103193052B - 物品保管设备及物品保管方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种物品保管设备及物品保管方法，物品保管设备包括：控制惰性气体供给部的流量调节装置的动作的控制装置；以及将多个惰性气体供给部中的一部分或者全部选择为特定供给部的特定供给部选择部。控制装置构成为，在收纳有搬运容器的收纳部的惰性气体供给部中使流量调节装置按照容器保管模式动作，容器保管模式是以预先确定的供给方式对搬运容器供给惰性气体的模式，并且构成为，在由特定供给部选择部选择的特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制流量调节装置的动作，特定供给部用供给模式是从惰性气体供给部的排出口以特定供给部用供给方式供给惰性气体的模式。

Description

物品保管设备及物品保管方法
技术领域
本发明涉及物品保管设备以及使用了这样的物品保管设备的物品保管方法，所述物品保管设备包括：多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；惰性气体供给部，向收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部供给惰性气体；以及控制装置，控制所述搬运装置的动作和所述惰性气体供给部的流量调节装置的动作。
背景技术
作为上述的物品保管设备的一例，已知如下所述的带净化功能的包括物品保管架的物品保管设备。该物品保管架具有多个收纳部，该多个收纳部收纳用于容纳半导体晶片的FOUP等搬运容器，在各收纳部具有供给喷嘴，该供给喷嘴作为向搬运容器的内部供给例如氮气或氩气等惰性气体的惰性气体供给部。
在日本特开2010-16199号公报（专利文献1）中公开了这样的物品保管设备的一例，在该物品保管设备中，在搬运容器收纳于收纳部时和没有收纳于收纳部时，改变从供给喷嘴排出的惰性气体的流量。
具体来说，在上述专利文献1中构成为，搬运容器没有收纳于收纳部时的惰性气体的流量小于搬运容器收纳于收纳部时的流量。即，搬运容器收纳于收纳部时的惰性气体的流量设定为向搬运容器内供给足够的惰性气体所需要的必要流量（称为第一流量）。另一方面，搬运容器没有收纳于收纳部时的排出流量设定为比上述第一流量少的流量（称为第二流量），以便防止杂质微粒蓄积于上述供给喷嘴。由此，即使在搬运容器没有收纳于收纳部的情况下，与从供给喷嘴排出第一流量的惰性气体的情况相比，能够抑制净化所需要的惰性气体的消耗量从而降低成本。
但是，在上述专利文献1中，对于物品保管架的所有的收纳部，以在供给第一流量的惰性气体的状态和供给第二流量的惰性气体的状态之间切换这样一种供给方式来供给惰性气体。并且，没有收纳搬运容器时的惰性气体的流量设定为比较少量的第二流量。因此，在例如为了在更换了作为惰性气体供给部的供给喷嘴等后除去附着于该惰性气体供给部的杂质微粒而考虑进行惰性气体的通流的情况下，由于惰性气体的流量设定为第二流量，所以惰性气体的流量少，因此恐怕无法充分清扫惰性气体供给部，或者即使能够清扫，要充分地除去杂质微粒也需要很长的时间。
发明内容
鉴于上述背景，期望实现容易将需要流量的惰性气体供给到各收纳部的物品保管设备。
本发明的物品保管设备包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及
将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，
这里，所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式，并且所述控制装置构成为，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式。
根据上述结构，在多个惰性气体供给部中的由特定供给部选择部所选择的特定供给部中，能够以与容器保管模式下的供给方式不同的对于该特定供给部适合的供给方式供给惰性气体。
对此加以说明，在供给惰性气体时只能按照容器保管模式使惰性气体供给部动作的情况下，在需要比容器保管模式下的流量多或者少的流量的惰性气体的惰性气体供给部中，无法供给需要流量的惰性气体。
与此相对，根据上述结构，由于在特定供给部中能够以特定供给部用供给方式供给惰性气体，因此，通过设定在特定供给部中所需要的惰性气体的供给方式来作为特定供给部用供给方式，能够抑制如上所述的在特定供给部中无法供给需要流量的惰性气体的状况的发生。
即，根据上述结构，能够变更多个惰性气体供给部中的所选择的惰性气体供给部中的惰性气体的供给方式，其结果为能够提供容易将需要流量的惰性气体供给到各收纳部的物品保管设备。
本发明的物品保管设备的技术特征也能够应用于物品保管方法，本发明还能够以这样的方法为权利保护对象。在该物品保管方法中，也能够获得上述的物品保管设备的作用效果。
即，本发明的物品保管方法是使用了物品保管设备的方法，
所述物品保管设备包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及
将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，
所述物品保管方法包括由所述控制装置执行的以下工序：
第一供给工序，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式；以及
第二供给工序，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式。
下面，对本发明的优选的实施方式的示例进行说明。
在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，使所述惰性气体通流从而清扫所述惰性气体供给部的供给方式为清扫用供给方式，所述特定供给部选择部是通过人为操作指示清扫指令的清扫指示装置，所述清扫指令是以所述清扫用供给方式供给惰性气体的指令。
根据上述结构，在由清扫指示装置指示了清扫指令时，在作为清扫对象的惰性气体供给部即特定供给部中，能够使可适当地清扫除去对象物的流量的惰性气体通流，从而适当地清扫惰性气体供给部。
在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，所述控制装置构成为，能够在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的状态，并且所述控制装置构成为，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型。
根据上述结构，通过以搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成第一供给状态，从而在将搬运容器收纳于收纳部的初始阶段，将搬运容器内所存在的惰性气体以外的气体迅速置换为惰性气体，然后通过切换至第二供给状态，能够降低昂贵的惰性气体（例如氮气等）的使用量。
这样，根据上述结构，能够抑制惰性气体的使用量，同时能够适当地维持基板污损的风险小的状态。
在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，所述控制装置构成为能够存储多种所述节约供给模型，所述物品保管设备设置有模型选择部，该模型选择部用于在所述搬运容器的收纳状态下选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型，所述控制装置构成为，按照所述多种节约供给模型中的由所述模型选择部选择的节约供给模型来控制所述流量调节装置的动作。
根据上述结构，与控制装置仅存储单一的节约供给模型的情况相比，能够使用与搬运容量的种类和所容纳的基板的状态对应的适当的模型来供给惰性气体。
另外，作为选择使用多种节约供给模型中的某一个模型的结构，可以考虑由控制装置自动选择的结构和通过人为操作来选择的结构。
作为由控制装置自动选择的情况，可以考虑根据例如搬运容器的种类和所容纳的基板的状态，来选择性地变更为上述多个节约供给模型中的适当的节约供给模型。另外，作为通过人为操作进行选择的情况，可以考虑试验性地变更节约供给模型，以便设定为多个节约供给模型中的适于将搬运容器内的环境形成为污损风险小的内部环境的节约供给模型。
这样，根据上述结构，能够选择多种节约供给模型并进行切换，因此能够尽量抑制惰性气体的使用量，同时能够按照对容纳于搬运容器内部的基板有利的节约供给模型来供给惰性气体，能够以尽量不劣化的状态保管容纳在搬运容器内的基板。
在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，所述模型选择部构成为，能够人为地选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型。
根据上述结构，作业人员能够在所需的时机变更节约供给模型，从而容易进行研究节约供给模型与基板的污损之间的关系等试验。
在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，所述物品保管设备设置有设定输入装置，该设定输入装置能够变更设定从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给时间、以及从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给流量，将所述供给时间和所述供给流量作为将所述节约供给模型特定的模型特定参数，并人为地设定输入所述模型特定参数。
根据上述结构，与单纯地从多种节约供给模型中选择目标节约供给模型的情况相比，能够根据需要适当地变更模型特定参数来适当地设定节约供给模型。
在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，所述物品保管设备设置有所述惰性气体的供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，设定从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，所述控制装置构成为，在所述一组惰性气体供给部的所述惰性气体的目标流量的合计流量在所述最大容许流量以上的情况下，执行使所述一组惰性气体供给部的一部分或者所有的所述惰性气体的目标流量减少的流量抑制处理。
例如，在针对属于一组惰性气体供给部的惰性气体供给部的每一个而设定的目标流量的合计流量在从供给源对一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量以上的情况下，实际上一组惰性气体供给部分别能够供给的惰性气体的流量有可能成为低于所设定的目标流量的状态。
并且，例如在存在从供给源直至惰性气体供给部为止的配管阻力大的惰性气体供给部和配管阻力小的惰性气体供给部的情况下，从供给源供给的惰性气体优先通流到配管阻力小的惰性气体供给部，而配管阻力大的惰性气体供给部的流量有可能相对于目标流量不足。
根据上述的结构，在一组惰性气体供给部的惰性气体的目标流量的合计流量在最大容许流量以上的情况下，执行流量抑制处理，对一组惰性气体供给部的一部分或者所有的流量调节装置指示比以前的目标流量小的新的目标流量。由此，能够使从惰性气体供给部的一部分或者所有排出的惰性气体的排出流量减少，从而防止来自各惰性气体供给部的惰性气体的排出流量低于控制装置对排出流量调节装置所指示的目标流量的状况。
另外，有时为了供给由控制装置指示的目标流量的惰性气体而被控制的流量调节装置具备这样的功能：在陷入了实际供给的流量低于目标流量的状态持续了设定时间的状态（称为流量不足状态）的时候输出错误。即使在这样的情况下，根据上述结构，在陷入流量不足状态之前，控制装置指示流量调节装置以使一组惰性气体供给部的一部分或者所有的惰性气体的目标流量减少，由此能够抑制错误的发生从而使设备正常地运转。
即，在如上所述的流量调节装置中，即使装置本身没有产生障碍，也可能由于要求了超过供给源的供给能力的流量而引起流量不足状态，从而导致错误发生。根据上述的结构，通过控制使得按照针对一组惰性气体供给部的节约供给模型设定的惰性气体的目标流量的合计流量在从供给源对一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量以下，从而能够防止流量调节装置输出不必要的错误，从而顺畅地进行装置的运转。
另外也可以构成为，在按照针对一组惰性气体供给部的节约供给模型设定的惰性气体的目标流量的合计流量在从供给源对一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量以上而输出了错误的情况下，将该错误重置，并且控制装置指示流量调节装置以减少一组惰性气体供给部的一部分或者所有的目标流量。
在选择了多种节约供给模型并进行切换或者变更设定了节约供给模型的模型特定参数的情况下，有可能变更设定为针对属于一组惰性气体供给部的惰性气体供给部的每一个而设定的目标流量的合计流量大于切换前或变更前。在这样的时候，即使在切换前或变更前目标流量的合计流量在最大容许流量以下，在切换后或变更后目标流量的合计流量也可能在最大容许流量以上。鉴于这一点，如上述结构那样使一组惰性气体供给部的一部分或者所有的目标流量减少的结构特别有效。
在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，所述控制装置构成为，在所述流量抑制处理中，使针对所述一组惰性气体供给部的所有的所述目标流量以恒定的减少率减少。
根据上述结构，无需考虑惰性气体供给部的惰性气体的供给状态，能够以简单的结构防止来自各惰性气体供给部的惰性气体的排出流量低于控制装置对排出流量调节装置所指示的目标流量的状况。
在本发明的物品保管方法的实施方式中，优选的是，使所述惰性气体通流从而清扫所述惰性气体供给部的供给方式为清扫用供给方式，所述特定供给部选择部是通过人为操作指示清扫指令的清扫指示装置，所述清扫指令是以所述清扫用供给方式供给惰性气体的指令。
在本发明的物品保管方法的实施方式中，优选的是，使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的供给状态为第一供给状态，使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的供给状态为第二供给状态，在所述第一供给工序中，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型。
在本发明的物品保管方法的实施方式中，优选的是，所述控制装置构成为能够存储多种所述节约供给模型，在所述物品保管设备设置有模型选择部，该模型选择部用于在所述搬运容器的收纳状态下选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型，在所述第一供给工序中，按照所述多种节约供给模型中的由所述模型选择部选择的节约供给模型来控制所述流量调节装置的动作。
在本发明的物品保管方法的实施方式中，优选的是，所述模型选择部构成为，能够人为地选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型。
在本发明的物品保管方法的实施方式中，优选的是，在所述物品保管设备设置有设定输入装置，该设定输入装置能够变更设定从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给时间、以及从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给流量，将所述供给时间和所述供给流量作为将所述节约供给模型特定的模型特定参数，并人为地设定输入所述模型特定参数。
在本发明的物品保管方法的实施方式中，优选的是，在所述物品保管设备设置有所述惰性气体的供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，设定从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，在所述第一工序中，在所述一组惰性气体供给部的所述惰性气体的目标流量的合计流量在所述最大容许流量以上的情况下，执行使所述一组惰性气体供给部的一部分或者所有的所述惰性气体的目标流量减少的流量抑制处理。
在本发明的物品保管方法的实施方式中，优选的是，所述流量抑制处理是使针对所述一组惰性气体供给部的所有的所述目标流量以恒定的减少率减少的处理。
附图说明
图1是物品保管设备的纵剖侧视图，
图2是表示上述设备的一部分的纵剖正视图，
图3是收纳部的立体图，
图4是表示收纳部与搬运容器的关系的概要结构图，
图5是表示惰性气体向多个收纳部的供给方式的图，
图6是控制装置的连接结构图，
图7是表示惰性气体的供给量的控制方式的说明图，
图8是表示净化模型设定处理的流程图，
图9是表示设备的运转处理的流程图。
附图标记说明
10S收纳部；10i排出喷嘴；20塔式起重机；40质量流量控制器；50搬运容器；F惰性气体供给部；H控制装置；HS模型选择部、清扫指示装置；Lα第一目标流量值；Lβ第二目标流量值；Lmax最大容许流量；Lb1、Lb2供给源；P3~P6节约供给模型。
具体实施方式
根据附图对将本发明应用于带净化功能的物品保管设备的情况下的实施方式进行说明。
（整体结构）
如图1和图2所示，物品保管设备包括：保管架10，用于保管以密闭状态容纳基板的搬运容器50（以下简称为容器50）；作为搬运装置的塔式起重机20；以及作为容器50的入库出库部的入库出库输送机CV。
保管架10和塔式起重机20配设在外周部被墙体K覆盖的设置空间内，入库出库输送机CV以贯穿墙体K的状态配设。
保管架10构成为，以沿上下方向和左右方向排列的状态具有多个收纳部10S，收纳部10S作为支承容器50的支承部，在多个收纳部10S中分别收纳容器50，其详细情况将在后文叙述。
而且，如图1所示，在本实施方式中构成为，在设置有物品保管设备的无尘室的天花板部，装配有沿着铺设的导轨G行进的升降机式的搬运车D，利用该升降机式的搬运车D，相对于入库出库输送机CV搬入和搬出容器50。
（容器50的结构）
容器50是遵照SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInstitute）标准的合成树脂制的气密容器，用于收纳作为基板的半导体晶片W（参照图4），被称为FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。并且省略其详细的说明，但是在容器50的正面形成有通过拆装自如的盖体而开闭的基板出入用的开口，在容器50的顶面形成有由升降机式的搬运车D把持的顶部凸缘52。在容器50的底面形成有与定位销10b（参照图3）卡合的三个卡合槽（未图示）。
即，如图4所示，容器50包括：壳体51，在内部具有能够沿上下方向载置多个半导体晶片W的基板支承体53；以及未图示的盖体。容器50构成为，在盖体装配于壳体51的状态下，内部空间被密闭成气密状态，并且构成为，在收纳于收纳部10S的状态下，利用定位销10b进行定位。
此外，如图4所示，为了如后所述注入作为惰性气体的氮气，在容器50的底部设置有供气口50i和排气口50o。虽然省略了图示，但是在供气口50i设置有注入侧开闭阀，在排气口50o设置有排出侧开闭阀。
注入侧开闭阀构成为，被弹簧等施力部件向关闭方向施力，当供给到供气口50i的氮气的排出压力成为比大气压高设定值的设定开阀压力以上时，该注入侧开闭阀由于所述压力而被进行打开操作。
而且，排出侧关闭阀构成为，被弹簧等施力部件向关闭方向施力，当容器50内部的压力成为比大气压高设定值的设定开阀压力以上时，该排出侧开闭阀由于所述压力而被进行打开操作。
（塔式起重机20的结构）
塔式起重机20包括：行进台车21，能够沿着设置于保管架10的正面侧的底板部的行进轨道E行进移动；桅杆22，立设于所述行进台车21；以及升降台24，能够在由桅杆22引导的状态下进行升降移动。
另外，虽然未图示，但构成为，设置于桅杆22的上端的上部框23与上部导轨卡合着移动，所述上部导轨设置于外周部被墙体K覆盖的设置空间的天花板侧。
在升降台24装配有相对于收纳部10S移载容器50的移载装置25。
移载装置25具有载置支承容器50的板状的载置支承体25A，该载置支承体25A能够在突出到收纳部10S的内部的突出位置和退避到升降台24侧的退避位置之间突出退避。具有移载装置25的塔式起重机20构成为，通过载置支承体25A的突出退避动作以及升降台24的升降动作，来进行将载置于载置支承体25A的容器50下降到收纳部10S的下降处理、以及将收纳于收纳部10S的容器50取出的捞取处理。
即，容器50通过搬运车D被载置于入库出库输送机CV上，在利用该入库出库输送机CV从墙体K的外部搬运到内部后，利用塔式起重机20搬运到多个收纳部10S中的某一个。
即，作为搬运装置的塔式起重机20构成为相对于多个收纳部10S搬运容器50。
虽未图示，但是在塔式起重机20装备有检测行进路径上的行进位置的行进位置检测装置、以及检测升降台24的升降位置的升降位置检测装置。作为控制塔式起重机20的动作的控制装置H的起重机控制器H3构成为，根据行进位置检测装置和升降位置检测装置的检测信息来控制塔式起重机20的动作。
即，起重机控制器H3构成为，控制行进台车21的行进动作和升降台24的升降动作以及移载装置25的载置支承体25A的突出退避动作，以进行将搬入到入库出库输送机CV的容器50收纳到收纳部10S的入库作业、以及将收纳于收纳部10S的容器50取出到入库出库输送机CV的出库作业。
（收纳部10S的结构）
如图3和图4所示，多个收纳部10S分别具有载置支承容器50的板状的载置支承部10a。
该载置支承部10a形成为俯视形状为U字状，以形成供移载装置25的载置支承体25A上下通过的空间，在载置支承部10a的顶面以向上方突出的状态装备有上述的定位销10b。
另外，在载置支承部10a设置有两个存货传感器10z，该存货传感器10z用于检测是否载置有容器50（即，容器50是否收纳于收纳部10S），并且构成为，所述两个存货传感器10z的检测信息被输入到作为控制装置H的净化控制器H1（参照图6），净化控制器H1对后述的作为流量调节装置的质量流量控制器40的运转进行管理。
在载置支承部10a设置有作为将作为惰性气体的氮气供给到容器50内部的排出口的排出喷嘴10i；以及用于使从容器50的内部排出的气体通流的排出用通气体10o。并且，在排出喷嘴10i连接有使来自质量流量控制器40的氮气流动的供给配管Li，在排出用通气体10o连接有端部开口的排出管Lo。
另外，如图1和图2所示，在俯视观察的各收纳部10S的里侧并且是架左右方向上处于容器50的端部附近的位置，装备有控制氮气的供给的质量流量控制器40。俯视观察的各收纳部10S的里侧是与供容器50出入的开口（出入口）对置的端部侧。
收纳部10S以分为沿上下方向排列的多个层的方式配置于保管架10，质量流量控制器40设置于在俯视观察时与设置于其它层的某一收纳部10S的质量流量控制器40重叠的位置。质量流量控制器40的配设部位是俯视观察时不存在载置支承部10a以及支承载置支承部10a的柱件等的部位，并且即使在容器50的收纳时，也是不存在容器50的部位。因此，在质量流量控制器40的附近，形成有从保管架10的下端连通到上端从而空气可沿上下方向通流的空间。
由此，由于质量流量控制器40发出的热而产生的气流不被障碍物阻碍地从保管架10的下端流动至上端，能够抑制从质量流量控制器40放出的热滞留，从而能够抑制由于质量流量控制器40的热所导致的误动作等障碍。
另外，在例如保管架10通过惰性气体或者洁净空气的下降流而保持为洁净的情况下，上述的气流能够通流的空间能够使所述下降流以阻力小的状态通流。在该情况下，质量流量控制器40也被下降流适当地冷却。
构成为当容器50载置支承于载置支承部10a时，排出喷嘴10i与容器50的供气口50i以嵌合状态连接，而且排出用通气体10o与容器50的排气口50o以嵌合状态连接。
并且构成为，在容器50载置支承于载置支承部10a的状态下，通过从排出喷嘴10i排出比大气压高设定值以上的压力的氮气，能够在使容器内的气体从容器50的排气口50o排出到外部的状态下，自容器50的供气口50i向容器50的内部注入氮气。
在本实施方式中，主要由质量流量控制器40、供给配管Li以及排出喷嘴10i构成了惰性气体供给部F。
即，惰性气体供给部F构成为包括：排出惰性气体的排出喷嘴10i；以及能够调节从所述排出喷嘴10i排出的惰性气体的流量的质量流量控制器40，惰性气体供给部F向收纳于收纳部10S的容器50的内部供给惰性气体。并且，惰性气体供给部F针对多个收纳部10S的每一个分别设置。
另外，如图3所示，在供给配管Li装备有手动操作式的开闭阀Vi，构成为在质量流量控制器40发生故障的紧急时等，能够切换至停止氮气的供给的状态。
（氮气的供给结构）
如图5所示，作为用于向保管架10中的各个惰性气体供给部F供给氮气的氮气的供给源，设置有原气体供给配管Lm。以从该原气体配管Lm分出两条支路的状态设置有第一分支供给配管Lb1和第二分支供给配管Lb2。在原气体供给配管Lm设置有原气体开闭阀V1，能够以保管架10为单位来切换氮气的供给和停止供给。
第一分支供给配管Lb1和第二分支供给配管Lb2分别进一步分支成12根供给配管Ls，这些供给配管Ls分别与质量流量控制器40的流入侧端口40i连接。下文中，将被从第一分支供给配管Lb1供给氮气的一组惰性气体供给部F称为第一通道（CH1），将被从第二分支供给配管Lb2供给氮气的一组惰性气体供给部F称为第二通道（CH2）。
在第一分支供给配管Lb1上设置有第一电磁开闭阀V21，在第二分支供给配管Lb2上设置有第二电磁开闭阀V22。并且，所述第一电磁开闭阀V21和第二电磁开闭阀V22经由后述的IO扩展模块A与后述的净化控制器H1电连接，净化控制器H1构成为控制第一电磁开闭阀V21和第二电磁开闭阀V22的开闭。
此外，第一分支供给配管Lb1和第二分支供给配管Lb2彼此在第一电磁开闭阀V21和第二电磁开闭阀V22的下游侧通过旁路配管Lbp相互连接，在旁路配管Lbp上设置有可手动进行开闭操作的旁路阀Vb。因此，当打开旁路阀Vb时，第一通道CH1和第二通道CH2以能够相互供给氮气的方式连接。
在本实施方式中，通道CH1和CH2分别相当于与多个收纳部中的一组收纳部对应的一组惰性气体供给部F，第一分支供给配管Lb1和第二分支供给配管Lb2分别相当于对一组惰性气体供给部F供给氮气的供给源。
（质量流量控制器40的结构）
如图3和图4所示，质量流量控制器40具有流入侧端口40i和排出侧端口40o。在排出侧端口40o连接有上述的供给配管Li，在流入侧端口40i连接有供给配管Ls，供给配管Ls引导来自作为氮气的供给源的第一分支供给配管Lb1或第二分支供给配管Lb2的氮气。
另外，在氮气供给源装备有：将氮气的供给压力调整至比大气压高设定值以上的设定压力的调节器；以及使氮气的供给间断的手动操作式的开闭阀等。
在质量流量控制器40装备有：流量调节阀，对在从流入侧端口40i朝向排出侧端口40o的内部流路中流动的氮气的流量进行变更调节；流量传感器，对在内部流路中流动的氮气的流量进行计测；以及内部控制部，对流量调节阀的动作进行控制。
并且，内部控制部构成为，根据流量传感器的检测信息控制流量调节阀，以将对容器50的供给流量调整为从上述的净化控制器H1指示的目标流量。即，净化控制器H1构成为控制质量流量控制器40的动作。
（控制装置H的结构）
如图6所示，控制装置H包括：控制质量流量控制器40的净化控制器H1；管理保管架10中的容器50的库存状态等的库存控制器H2；以及控制塔式起重机20的动作的起重机控制器H3。净化控制器H1、库存控制器H2和起重机控制器H3例如由以存储程序方式处理信息的计算机构成，并且相互由LAN等网络C1连接。另外，可编程逻辑控制器P和IO扩展模块A以能够与上述控制装置H进行通信的方式连接于网络C1。
在可编程逻辑控制器P经由控制总线C2连接有12台质量流量控制器40。另外，具有上述12台质量流量控制器40的与收纳部10S对应的存货传感器10z分别经由信号线C3连接于IO扩展模块A。
净化控制器H1经由可编程逻辑控制器P对与多个收纳部10S分别对应地设置的质量流量控制器40指示目标流量。
此外，在净化控制器H1装备有用于输入各种信息的控制台HS。
作为净化控制器H1所指示的目标流量，有在容器50收纳在收纳部10S中的状态下，为了向容器50的内部注入氮气而对质量流量控制器40指示的保管用的目标流量；还有在容器50即将收纳到收纳部10S中之前，为了清洁排出喷嘴10i而指示的喷嘴净化用的目标流量；以及在保管架10的设置时等，为了清洁排出喷嘴10i和供给配管Li等而指示的清洁用的目标流量。
即，如图7所示，作为确定了目标流量和供给时间的多个净化模型，净化控制器H1存储有喷嘴净化模型P1、清洁模型P2以及四个保管用净化模型P3~P6。
并且，在保管架10的设置时等，当通过控制台HS指示了清洁开始指令时，净化控制器H1按照清洁模型P2控制质量流量控制器40的动作。此时，氮气的供给方式为清扫用供给方式，即，使氮气通流来清扫惰性气体供给部F的供给方式，目标流量设定为清洁用的清扫用流量，并且供给时间设定为清洁用的清扫用时间。
另外，控制台HS构成为能够选择需要清扫的惰性气体供给部F，并构成为对所选择的惰性气体供给部F指示清洁开始指令。
即，控制台HS作为清扫指示装置发挥作用，该清扫指示装置通过人为操作指示使氮气通流来清扫惰性气体供给部F的清扫指令。即，控制台HS构成为，根据人为操作将多个惰性气体供给部F中的一部分或者所有选择为特定供给部，并对所选择的特定供给部指示清洁开始指令。即，在本实施方式中，控制台HS相当于特定供给部选择部。
即，在本实施方式中，净化控制器H1构成为，在通过控制台HS指示了清扫指令时，在容器50没有收纳于收纳部10S的状态下，在惰性气体供给部F中使清扫用流量的惰性气体通流清扫用时间。
另外，控制装置H构成为，当容器50搬入到入库出库输送机CV时，与喷嘴净化模型P1对应地指示喷嘴净化用的目标流量。
在本实施方式中，控制装置H构成为，通过从控制升降机式的搬运车D的运转的搬运车控制器（未图示）通知收纳指令来判别容器50被搬入到入库出库输送机CV的时刻。
即，搬运车控制器构成为，在搬运车D将容器50搬入了入库出库输送机CV时，对控制装置H指示收纳指令。
另外，控制装置H构成为，在两个存货传感器10z检测容器50时，根据作为节约供给模型的四个保管用净化模型P3~P6中的由控制台HS预先选择的一个模型，来指示保管用的目标流量（供给流量）。
顺便说一下，喷嘴净化模型P1和清洁模型P2中的目标流量和供给时间被预先设定为基准状态，而四个保管用净化模型P3~P6各自的目标流量和供给时间是在设备的设置时由使用者来设定的。另外，上述基准状态构成为可从作为设定输入装置的控制台HS进行变更设定。
即，使用者针对四个保管用净化模型P3~P6中的每一个，作为模型特定参数，一边利用控制台HS变更设定从惰性气体供给部F向容器50供给惰性气体的目标流量以及从惰性气体供给部F向容器50供给惰性气体的供给时间，一边试验性地使用四个保管用净化模型P3~P6中的各个模型。然后，使用者设定针对四个保管用净化模型P3~P6中的合适的模型的目标流量和供给时间，并且选择其合适的模型。即，在本实施方式中，控制台HS相当于人为地设定输入模型特定参数的设定输入装置。
（净化模型）
下面，根据图7分别对喷嘴净化模型P1、清洁模型P2以及四个保管用净化模型P3~P6进行说明。
喷嘴净化模型P1被确定为这样的模型：从指示了上述的收纳指令的时刻起，在作为收纳前供给时间设定的供给时间t1的期间内，以作为喷嘴净化用的目标流量设定的目标流量L1供给氮气。
供给时间t1例如设定为5秒，目标流量L1例如设定为30升/分钟。
清洁模型P2被确定为这样的模型：从通过控制台HS指示了清洁开始指令起，在作为设置初始供给时间设定的供给时间t2的期间内，以作为清洁用的目标流量设定的目标流量L2供给氮气。
供给时间t2例如设定为1800秒，目标流量L2例如设定为20升/分钟。
对于四个保管用净化模型P3~P6的每一个，作为保管用的目标流量，设定有初始目标流量值Lα和比该初始目标流量值Lα小的恒定目标流量值Lβ。
初始目标流量值Lα例如设定为50升/分钟，恒定目标流量值Lβ例如设定为5升/分钟。如上所述，初始目标流量值Lα和恒定目标流量值Lβ由使用者进行变更设定。
并且，对于四个保管用净化模型P3~P6的每一个，在向容器50供给氮气时，首先将目标流量值设定为初始目标流量值Lα，然后将目标流量值变更设定为恒定目标流量值Lβ，这一点是共通的，但是四个保管用净化模型P3~P6分别被确定为互不相同的模型。
下面，将四个保管用净化模型P3~P6分别记载为第一保管用净化模型P3、第二保管用净化模型P4、第三保管用净化模型P5以及第四保管用净化模型P6，对各模型加以说明。
第一保管用净化模型P3被确定为这样的模型：以完成将容器50收纳到收纳部10S的容器收纳完成时刻为起点，从容器收纳完成时刻起在设定供给时间t3的期间内，以作为初始目标流量值Lα的供给流量L31供给氮气，然后，在一对存货传感器10z检测到容器50的存在期间，以作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L32继续供给氮气。
另外，设定供给时间t3作为初始值例如设定为5分钟。如上所述，设定供给时间t3由使用者变更设定。
第二保管用净化模型P4被确定为这样的模型：从容器收纳完成时刻起，在设定供给时间t4的期间内，以作为初始目标流量值Lα的供给流量L41供给氮气，然后，在一对存货传感器10z检测到容器50的存在期间，以作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L42继续间歇地供给氮气。
即，第二保管用净化模型P4被确定为这样的模型：将目标流量从作为初始目标流量值Lα的供给流量L41变更为作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L42之后，反复进行当经过了设定供给时间t43时使氮气的供给在设定休止时间期间停止的过程。
即，在将目标流量从作为初始目标流量值Lα的供给流量L41变更为作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L42之后，在反复周期t42中的设定供给时间t43期间，以供给流量L42供给氮气，在设定休止时间t42-t43期间停止氮气的供给，该过程在由一对存货传感器10z检测到容器50期间反复执行。
另外，设定供给时间t41作为初始值例如设定为5分钟，反复周期t42作为初始值例如设定为10分钟，设定供给时间t43作为初始值例如设定为5分钟。如上所述，设定供给时间t41、反复周期t42以及设定供给时间t43由使用者进行变更设定。
第三保管用净化模型P5被确定为这样的模型：在一对存货传感器10z检测到容器50的存在期间反复进行基本模型，该基本模型为，从容器收纳完成时刻起，在设定供给时间t51的期间内，以作为初始目标流量值Lα的供给流量L51供给氮气，接着在设定供给时间t52的期间内，以作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L52供给氮气。
另外，设定供给时间t51作为初始值例如设定为5分钟，设定供给时间t52作为初始值例如设定为5分钟。如上所述，设定供给时间t51和设定供给时间t52由使用者进行变更设定。
第四保管用净化模型P6被确定为这样的模型：在一对存货传感器10z检测到容器50的存在期间持续进行基本模型，该基本模型为，从容器收纳完成时刻起，在设定供给时间t61的期间内，以作为初始目标流量值Lα的供给流量L61供给氮气，接着在设定供给时间t64-t61的期间内，以作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L62间歇地供给氮气。
即，在第四保管用净化模型P6，设定了反复以作为初始目标流量值Lα的供给流量L61供给氮气的周期即第一反复周期t64、以及反复以作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L62间隙地供给氮气的周期即第二反复周期t62。
并且，在容器收纳完成时刻和第一反复周期t64的开始时刻，交替地反复执行以下两个动作：在设定供给时间t61的期间内，以作为初始目标流量值Lα的供给流量L61供给氮气，在以作为初始目标流量值Lα的供给流量L61进行的氮气的供给结束后，在设定供给时间t63的期间内，以作为恒定目标流量值Lβ的供给流量L62供给氮气；以及在设定休止时间t62-t63的期间内停止氮气的供给。
另外，设定供给时间t61作为初始值例如设定为5分钟，第一反复周期作为初始值例如设定为30分钟，第二反复周期t62作为初始值例如设定为5分钟。
在该第四保管用净化模型P6中，第一反复周期t64和第二反复周期t62都由使用者进行变更设定。
在本实施方式中，按照保管用净化模型P3~P6中的某一净化模型执行净化的方式相当于以预先确定的供给方式对容器50供给惰性气体的模式即容器保管模式。
即，净化控制器H1构成为，在收纳有容器50的收纳部10S的惰性气体供给部F中，执行按照容器保管模式使质量流量控制器40的动作的第一供给工序。
在本实施方式中，由作为清扫指示装置的控制台HS选择的清扫对象的惰性气体供给部F相当于特定供给部。另外，按照清洁模型P2执行净化的方式相当于从排出喷嘴10i以特定供给部用供给方式供给惰性气体的模式即特定供给部用供给模式。
即，净化控制器H1构成为，在由控制台HS选择的特定供给部中，执行按照特定供给部用供给模式控制质量流量控制器40的动作的第二供给工序。
另外，在本实施方式中，初始目标流量值Lα相当于第一目标流量值，恒定目标流量值Lβ相当于第二目标流量值。
即，控制装置H构成为，以在第一供给状态和第二供给状态之间切换的方式控制质量流量控制器40的动作，所述第一供给状态是使质量流量控制器40动作以便将针对收纳于收纳部10S的容器50的惰性气体的供给流量调整为初始目标流量值Lα的状态，所述第二供给状态是使质量流量控制器40动作以便将所述供给流量调整为比初始目标流量值Lα小的恒定目标流量值Lβ的状态。
并且，控制装置H构成为，在容器50被搬运到收纳部10S时，在该收纳部10S的惰性气体供给部F中，按照节约供给模型控制质量流量控制器40的动作，所述节约供给模型是以容器50收纳至收纳部10S的时刻为起点形成第一供给状态并且然后切换至第二供给状态的模型。
（控制装置H对净化模型的选择）
在本实施方式中，作为控制装置H的净化控制器H1构成为，能够存储包括作为节约供给模型的保管用净化模型P3~P6的多个净化模型（P1~P6）。
控制台HS构成为，在将容器50收纳于收纳部10S的收纳状态下，显示与保管用净化模型P3~P6相关的信息，并能够利用未图示的输入装置（鼠标、键盘等）人为地选择使用某一个保管用净化模型。即，作为人为地选择使用保管用净化模型P3~P6中的某一个的模型选择部，设置有控制台HS,净化控制器H1构成为，按照多个保管用净化模型P3~P6中的由控制台HS预先选择的节约供给模型控制质量流量控制器40的动作，向容器50内供给惰性气体。
接下来，根据图8和图9对控制装置H所执行的控制进行说明。
当设置了物品保管设备并且启动了系统时，净化控制器H1首先为了由使用者进行净化模型的选择和设定而执行净化模型设定处理。
如图8所示，该净化模型设定处理首先向使用者确认“是否需要对喷嘴净化模型P1进行模型特定参数的设定输入”（步骤#11）。当在步骤#11中选择了是时，净化控制器H1对控制台HS指示显示指令以显示输入画面，该输入画面提醒输入目标流量（供给流量）和供给时间来作为针对喷嘴净化模型P1的模型特定参数，使用者在所显示的输入画面中设定输入目标流量（供给流量）和供给时间（步骤#12）。
当在步骤#11中选择了否的情况下，或者在步骤#12的设定输入完成之后，净化控制器H1向使用者确认“是否需要对清洁模型P2进行模型特定参数的设定输入”（步骤#13）。当在步骤#13中选择了“是”时，净化控制器H1对控制台HS指示显示指令以显示输入画面，该输入画面提醒输入目标流量（供给流量）和供给时间来作为针对清洁模型P2的模型特定参数，使用者在所显示的输入画面中设定输入目标流量（供给流量）和供给时间（步骤#14）。
当在步骤#13中选择了否的情况下，或者在步骤#14的设定输入完成之后，净化控制器H1执行选择确认处理，在该选择确认处理中，针对保管用净化模型确认是否选择了使用P3~P6中的某一个（步骤#15）。当在步骤#15中判别为没有选择使用P3~P6中的某一个时，净化控制器H1对控制台HS指示显示指令以显示选择输入画面，该选择输入画面提醒选择使用保管用净化模型P3~P6中的某一个，使用者在所显示的选择输入画面中选择输入保管用净化模型P3~P6中的使用的净化模型（步骤#16）。
当在步骤#15中判别为是的情况下，或者在步骤#16的设定输入完成之后，净化控制器H1向使用者确认“是否需要对所选择的保管用净化模型进行模型特定参数的设定输入”（步骤#17）。当在步骤#17中选择了是时，净化控制器H1对控制台HS指示显示指令以显示输入画面，该输入画面提醒输入目标流量（供给流量）和供给时间来作为针对所选择的净化模型（P3~P6中的某一个）的模型特定参数，使用者在所显示的输入画面中设定输入目标流量（供给流量）和供给时间（步骤#18）。
另外，上述的净化模型设定处理除了在设置了物品保管设备并启动了系统时执行之外，还通过使用者的更新设定指令来执行。
接下来，根据图9的流程图，对物品保管设备设置后的表示设备的运转的处理的流程进行说明。
首先，净化控制器H1判别是否由清扫指示装置（在本示例中为控制台HS）指示了清扫开始（步骤#21）。当在步骤#21中判别为没有指示清扫开始时，接着判别是否指示了收纳容器50的收纳指令（步骤#22）。当在步骤#22中判别为指示了收纳指令时，净化控制器H1按照作为喷嘴净化模型P1设定的模型来控制质量流量控制器40，从而清洁排出喷嘴10i（步骤#23）。基于喷嘴净化模型P1的净化在作为收纳前用设定时间的供给时间t1的期间内持续进行（步骤#24）。然后，当判别为经过了供给时间t1时，净化控制器H1对质量流量控制器40指示结束净化的净化结束指令，并将净化完成信号输出到库存控制器H2（步骤#25）。
接着，净化控制器H1按照在步骤#16中（参照图8）选择的净化模型，来控制与收纳有容器50的收纳部10S对应的质量流量控制器40，对该容器50供给氮气（步骤#26）。在步骤#26中指示的净化在容器50存在于收纳部10S的期间内持续进行（步骤#27）。在步骤#27中，当判别为是在收纳部10S中不存在容器50的状态时，净化控制器H1对与该收纳部10S对应的质量流量控制器40指示结束净化的净化结束指令，并将净化完成信号输出到库存控制器H2（步骤#28）。
另外，在步骤#21中，当判别为指示了清扫开始时，按照作为清洁模型P2设定的模型来控制质量流量控制器40，从而对排出喷嘴10i和供给配管Li等进行清洁（步骤#29）。
在步骤#28的处理完成或者步骤#29的处理完成之后，或者在步骤#22中判别为没有指示收纳指令的情况下，完成上述流程并返回。
（关于流量抑制处理）
在本实施方式中，净化控制器H1构成为，存储对属于第一通道CH1的所有的惰性气体供给部F能够供给的最大容许流量Lmax。
并且，在按照针对一组惰性气体供给部F（在本示例中为属于第一通道CH1的所有的惰性气体供给部F）的节约供给模型设定的氮气的目标流量的合计流量Ltotal为最大容许流量Lmax以上的情况下，净化控制器H1执行流量抑制处理。在本实施方式中，流量抑制处理是减少针对该一组惰性气体供给部F的所有的目标流量的处理，具体来说是按照下面的式子（1）来更新目标流量。
目标流量=目标流量×（最大容许流量Lmax）/（目标流量的合计流量Ltotal）···（1）
即，净化控制器H1构成为，例如在针对一组惰性气体供给部F按照节约供给模型设定的氮气的目标流量的合计流量在最大容许流量以上的情况下，或者在存在从第一分支供给配管Lb1直至惰性气体供给部F为止的配管阻力大的惰性气体供给部F和配管阻力小的惰性气体供给部F，从第一分支供给配管Lb1供给的惰性气体优先通流到配管阻力小的惰性气体供给部F从而导致配管阻力大的惰性气体供给部F的流量相对于目标流量不足的情况下，执行流量抑制处理，使针对一组惰性气体供给部F的所有的惰性气体的目标流量以恒定的减少率减少。
在本实施方式的情况下，上述减少率设定成使得一组惰性气体供给部F的所有的目标流量的合计流量为最大容许流量Lmax。
另外，在上述说明中说明了以第一通道CH1为对象的情况，而对于第二通道CH2也是同样的。
（其它实施方式）
（1）在上述实施方式中例示了这样的结构：使搬运容器50为FOUP，使所容纳的基板为半导体晶片W并且作为惰性气体向搬运容器供给氮气，但是本发明的实施方式不限定于这样的结构。例如，也可以使所容纳的基板为中间掩模（reticule），使搬运容器50为中间掩模容器。另外，作为供给至搬运容器的惰性气体，除了氮气以外，可以使用氩气等相对于所容纳的基板反应性低的各种气体。
（2）在上述实施方式中，例示了将流量检测装置以内置于质量流量控制器40的状态设置的结构，但是本发明的实施方式不限定于这样的结构。例如，可以构成为使流量检测装置装备于供给配管Li。
（3）在上述实施方式中，例示了特定供给部选择部为通过人为操作指示清扫指令的清扫指示装置的结构，但是作为特定供给部选择部，可以采用清扫指示装置以外的各种选择装置。例如，可以考虑特定供给部选择部为将试验惰性气体的通流状态时的试验对象的惰性气体供给部选择为特定供给部的试验用供给部选择装置的结构等各种结构。
（4）在上述实施方式中，例示了使用作为模型选择部的控制台HS来人为地选择使用保管用净化模型P3~P6中的某一个模型的结构，但是本发明的实施方式不限于这样的结构。例如也可以构成为，净化控制器H1根据所收纳的容器50的种类或容纳于所收纳的容器50中的基板的状态来判别使用保管用净化模型P3~P6中的某一个，按照该判别结果来选择使用保管用净化模型P3~P6中的某一个。在该情况下，模型选择部作为程序模块装备于净化控制器H1。
（5）在上述实施方式中构成为，对于保管用净化模型P3~P6，作为模型特定参数，可以变更设定从惰性气体供给部F向容器50供给惰性气体的供给时间以及从惰性气体供给部F向容器50供给惰性气体的供给流量，但是也可以构成为，除了上述保管用净化模型P3~P6以外，对于喷嘴净化模型P1以及清洁模型P2，也能够变更设定作为模型特定参数的供给时间和供给流量。
（6）在上述实施方式中构成为，净化控制器H1在流量抑制处理中使针对一组惰性气体供给部F的所有的目标流量以恒定的减少率减少，但是本发明的实施方式不限定于这样的结构。例如可以构成为，仅针对设定了初始目标流量值Lα作为供给流量值的惰性气体供给部F使目标流量减少，或者可以管理容纳于容器50的半导体晶片W的状态，选择收纳有即使减少惰性气体的供给量半导体晶片W的污损或劣化也不太可能发生的容器50的收纳部10S所对应的惰性气体供给部F，使目标流量减少等，对于使目标流量减少的惰性气体供给部F的选择方法，只要对容纳于容器50的半导体晶片W的影响在容许限度内，则可以设定各种各样的方法。
（7）在上述实施方式中构成为，作为流量抑制处理根据式子（1）来更新目标流量，但是本发明的实施方式并不限定于这样的结构。例如可以构成为，将减少率固定为恒定值（例如15%），在按照针对一组惰性气体供给部F的节约供给模型设定的氮气的目标流量的合计流量Ltotal在最大容许流量Lmax以上的情况下，使针对一组惰性气体供给部F的所有的目标流量以上述恒定值减少。
（8）在上述实施方式中构成为，将对容器50供给的惰性气体的目标流量设定为第一目标流量值和低于该第一目标流量值的第二目标流量值两个等级，但是本发明的实施方式不限定于这样的结构。例如，可以构成为将惰性气体的目标流量分开设定为三个等级或其以上的等级，使质量流量控制器40以在第一目标流量值之后依次切换为第二目标流量值、第三目标流量值（或其以上的目标流量值）的状态来动作。
（9）在上述实施方式中构成为，在按照针对一组惰性气体供给部F的节约供给模型设定的氮气的目标流量的合计流量Ltotal在最大容许流量Lmax以上的情况下，净化控制器H1执行使针对一组惰性气体供给部F的所有的目标流量减少的流量抑制处理，但是本发明的实施方式并不限定于这样的结构。例如可以构成为，在不变更目标流量的状态下供给氮气，当质量流量控制器40在流量不足状态下输出了错误的情况下，使该错误重置，并且由净化控制器H1指示质量流量控制器40，以减少一组惰性气体供给部F的一部分或者所有的惰性气体的目标流量。
（10）在上述实施方式中构成为，在将被从第一分支供给配管Lb1供给氮气的12个惰性气体供给部F作为第一通道CH1并将被从第二分支供给配管Lb2供给氮气的12个惰性气体供给部F作为第二通道CH2的状态下，净化控制器H1在以这些第一通道CH1或第二通道CH2为对象，按照节约供给模型设定的氮气的目标流量的合计流量Ltotal在最大容许流量Lmax以上的情况下，执行使针对一组惰性气体供给部F的所有的目标流量减少的流量抑制处理，但是本发明的实施方式不限定于这样的结构。例如，可以将一组惰性气体供给部F设定成包括被从第一分支供给配管Lb1供给氮气的12个惰性气体供给部F和被从第二分支供给配管Lb2供给氮气的12个惰性气体供给部F双方。另外，在上述实施方式中，说明了具有两个通道的结构，但是也可以构成为具有单一或者三个以上的通道。此外，在为仅具有一个通道的结构的情况下，可以构成为从原气体供给配管Lm分支出供给配管Ls。
（11）在上述实施方式中，作为收纳容器50的收纳部，例示了保管架10的收纳部10S，但是作为收纳部，例如也可以是设置于升降机式的搬运车D的导轨G的横侧附近的收纳部。
（12）在上述实施方式中，例示了四个保管用净化模型P3~P6，但是作为保管用净化模型，例如可以使用间歇地以初始目标流量值Lα供给惰性气体的模型等各种模型。

Claims (14)

1.一种物品保管设备，包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，
其特征在于，
所述物品保管设备包括将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，
所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式，
并且所述控制装置构成为，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式，
使所述惰性气体通流从而清扫所述惰性气体供给部的供给方式为清扫用供给方式，
所述特定供给部选择部是通过人为操作指示清扫指令的清扫指示装置，所述清扫指令是以所述清扫用供给方式供给惰性气体的指令。
2.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，
所述控制装置构成为，能够在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的状态，
并且所述控制装置构成为，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型。
3.一种物品保管设备，包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，
其特征在于，
所述物品保管设备包括将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，
所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式，
并且所述控制装置构成为，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式，
所述控制装置构成为，能够在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的状态，
并且所述控制装置构成为，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型，
所述控制装置构成为能够存储多种所述节约供给模型，
所述物品保管设备设置有模型选择部，该模型选择部用于在所述搬运容器的收纳状态下选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型，
所述控制装置构成为，按照所述多种节约供给模型中的由所述模型选择部选择的节约供给模型来控制所述流量调节装置的动作。
4.根据权利要求3所述的物品保管设备，其特征在于，
所述模型选择部构成为，能够人为地选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型。
5.根据权利要求3所述的物品保管设备，其特征在于，
所述物品保管设备设置有设定输入装置，该设定输入装置能够变更设定从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给时间、以及从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给流量，将所述供给时间和所述供给流量作为将所述节约供给模型特定的模型特定参数，并人为地设定输入所述模型特定参数。
6.一种物品保管设备，包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，
其特征在于，
所述物品保管设备包括将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，
所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式，
并且所述控制装置构成为，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式，
所述控制装置构成为，能够在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的状态，
并且所述控制装置构成为，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型，
所述物品保管设备设置有所述惰性气体的供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，
设定从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，
所述控制装置构成为，在所述一组惰性气体供给部的所述惰性气体的目标流量的合计流量在所述最大容许流量以上的情况下，执行使所述一组惰性气体供给部的一部分或者所有的所述惰性气体的目标流量减少的流量抑制处理。
7.根据权利要求6所述的物品保管设备，其特征在于，
所述控制装置构成为，在所述流量抑制处理中，使针对所述一组惰性气体供给部的所有的所述目标流量以恒定的减少率减少。
8.一种使用了物品保管设备的物品保管方法，
所述物品保管设备包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，该惰性气体供给部包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及
特定供给部选择部，将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部，
所述物品保管方法包括由所述控制装置执行的以下工序：
第一供给工序，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式；以及
第二供给工序，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式，
使所述惰性气体通流从而清扫所述惰性气体供给部的供给方式为清扫用供给方式，
所述特定供给部选择部是通过人为操作指示清扫指令的清扫指示装置，所述清扫指令是以所述清扫用供给方式供给惰性气体的指令。
9.根据权利要求8所述的物品保管方法，其特征在于，
使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的供给状态为第一供给状态，使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的供给状态为第二供给状态，
在所述第一供给工序中，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型。
10.一种使用了物品保管设备的物品保管方法，
所述物品保管设备包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，该惰性气体供给部包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及
特定供给部选择部，将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部，
所述物品保管方法包括由所述控制装置执行的以下工序：
第一供给工序，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式；以及
第二供给工序，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式，
使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的供给状态为第一供给状态，使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的供给状态为第二供给状态，
在所述第一供给工序中，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型，
所述控制装置构成为能够存储多种所述节约供给模型，
在所述物品保管设备设置有模型选择部，该模型选择部用于在所述搬运容器的收纳状态下选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型，
在所述第一供给工序中，按照所述多种节约供给模型中的由所述模型选择部选择的节约供给模型来控制所述流量调节装置的动作。
11.根据权利要求10所述的物品保管方法，其特征在于，
所述模型选择部构成为，能够人为地选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型。
12.根据权利要求10所述的物品保管方法，其特征在于，
在所述物品保管设备设置有设定输入装置，该设定输入装置能够变更设定从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给时间、以及从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给流量，将所述供给时间和所述供给流量作为将所述节约供给模型特定的模型特定参数，并人为地设定输入所述模型特定参数。
13.一种使用了物品保管设备的物品保管方法，
所述物品保管设备包括：
多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；
搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；
惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，该惰性气体供给部包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；
控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作；以及
特定供给部选择部，将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部，
所述物品保管方法包括由所述控制装置执行的以下工序：
第一供给工序，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式；以及
第二供给工序，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式，
使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的供给状态为第一供给状态，使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的供给状态为第二供给状态，
在所述第一供给工序中，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型，
在所述物品保管设备设置有所述惰性气体的供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，
设定从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，
在所述第一工序中，在所述一组惰性气体供给部的所述惰性气体的目标流量的合计流量在所述最大容许流量以上的情况下，执行使所述一组惰性气体供给部的一部分或者所有的所述惰性气体的目标流量减少的流量抑制处理。
14.根据权利要求13所述的物品保管方法，其特征在于，
所述流量抑制处理是使针对所述一组惰性气体供给部的所有的所述目标流量以恒定的减少率减少的处理。
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