KR101418812B1 - 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 비히클을 안내하기 위해 천장에 설치되도록 형성되는 레일; 상기 천장에 설치되도록 형성되고, 웨이퍼를 내부에 수용하는 용기를 상기 비히클로부터 전달받아 보관하도록 형성되며, 상기 용기의 내부와 연통되도록 형성되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 보관계; 및 상기 공급 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용될 가스를 공급하는 공급 유닛과, 상기 회수 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용된 가스를 회수 탱크로 회수하는 회수 유닛을 구비하는 퍼지 어셈블리를 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치를 제공한다.

Description

웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치{APPARATUS FOR STOCKING AND PURGING WAFER AT CEILING}
본 발명은 반도체 제조 공정 중에 다음 단계에 사용될 웨이퍼를 보관하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼를 생산하고, 생산된 웨이퍼를 다음 단계로 이송하여 반도체 패키지를 제조하게 된다.
이때, 생산된 웨이퍼는 바로 다음 단계에 사용되지 못하고 일정 시간 대기한 후에 필요에 따라 순차적으로 다음 단계로 보내진다. 이러한 보관을 위한 설비가 필요하다.
위의 보관을 위한 설비는 반도체 공장의 지상에 설치되어, 많은 공간을 차지하는 문제가 있다.
또한, 위 보관 설비에 보관 중에는, 시간이 지남에 따라 웨이퍼가 손상되기도 한다.
본 발명의 목적은, 공간의 활용성을 높이면서도 웨이퍼의 보관 시간을 늘릴 수 있는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치를 제공하는 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예와 관련된 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치는, 비히클을 안내하기 위해 천장에 설치되도록 형성되는 레일; 상기 천장에 설치되도록 형성되고, 웨이퍼를 내부에 수용하는 용기를 상기 비히클로부터 전달받아 보관하도록 형성되며, 상기 용기의 내부와 연통되도록 형성되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 보관계; 및 상기 공급 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용될 가스를 공급하는 공급 유닛과, 상기 회수 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용된 가스를 회수 탱크로 회수하는 회수 유닛을 구비하는 퍼지 어셈블리를 포함하고, 상기 공급 유닛 및 상기 회수 유닛은 각각, 상기 가스가 유동하도록 형성되는 배관; 상기 공급 유닛의 배관 또는 상기 회수 유닛의 배관에 설치되어, 상기 배관을 개폐하도록 형성되는 공급 밸브 또는 회수 밸브; 및 상기 보관계를 향해 또는 상기 보관계를 벗어나 유동하는 상기 가스의 유량을 측정하도록 형성되는 공급 유량계 또는 회수 유량계를 포함하고, 상기 퍼지 어셈블리는, 상기 공급 유량계 및 상기 회수 유량계로부터의 정보에 기초하여, 상기 공급 밸브를 개방한 후에 상기 회수 밸브를 개방하도록 제어하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 보관계는, 본체; 상기 본체에 설치되며, 상기 용기를 지지하도록 형성되는 선반; 및 상기 본체에 설치되고, 상기 본체가 상기 천장에 체결되게 하도록 형성되는 체결 유닛을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 본체는, 상기 선반이 설치되는 바닥 프레임; 및 상기 바닥 프레임의 양단부에 결합되며, 각각의 자유단에는 상기 체결 유닛이 설치되는 한 쌍의 측벽 프레임을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 공급 노즐 및 상기 회수 노즐은 상기 선반에 설치되고, 상기 공급 유닛 및 상기 회수 유닛은 각각, 상기 레일을 따라 연장 형성되고, 상기 가스가 유동하도록 형성되는 메인 배관; 및 상기 메인 배관에 연통되고, 상기 공급 노즐 또는 상기 회수 노즐에 연결되는 서브 배관을 포함할 수 있다.
삭제
여기서, 상기 서브 배관은, 상기 메인 배관에 연통되는 제1 서브 배관; 및 상기 제1 서브 배관과, 상기 공급 노즐 또는 상기 회수 노즐을 연결하고, 상기 제1 서브 배관보다 작은 유동 단면적을 가지는 제2 서브 배관을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 공급 유닛은, 상기 공급 유량계와 상기 선반의 공급 노즐 사이에 위치하도록 상기 공급 유닛의 상기 제2 서브 배관에 설치되는 가스 필터를 더 포함할 수 있다.
삭제
여기서, 상기 보관계는, 상기 용기를 지지하고, 상기 공급 노즐 및 상기 회수 노즐이 설치되는 선반을 더 포함하며, 상기 선반은 상기 용기의 존재를 감지하는 용기 감지 센서를 포함하고, 상기 제어 유닛은, 상기 용기 감지 센서의 감지 결과에 근거하여, 상기 공급 밸브 또는 상기 회수 밸브를 개폐하도록 형성될 수 있다.
삭제
삭제
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본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치는, 천장에 설치되는 레일; 상기 레일을 따라 이동하도록 형성되고, 웨이퍼를 내부에 수용하는 용기를 적재하도록 형성되는 비히클; 상기 레일 옆에 위치하도록 상기 천장에 설치되고, 상기 비히클로부터 상기 용기를 전달받아 보관하도록 형성되며, 상기 용기의 내부와 연통되도록 형성되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 복수의 보관계; 및 상기 공급 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용될 가스를 공급하는 공급 유닛과, 상기 회수 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용된 가스를 회수 탱크로 회수하는 회수 유닛을 구비하는 퍼지 어셈블리를 포함하고,
상기 공급 유닛과 상기 회수 유닛은 각각, 상기 레일에 설치되어, 상기 레일의 연장 방향을 따라 연장되는 메인 배관; 상기 메인 배관에 연통되고, 상기 공급 노즐 또는 상기 회수 노즐에 연결되는 서브 배관; 상기 서브 배관에 설치되어, 상기 서브 배관을 개폐하도록 형성되는 공급 밸브 또는 회수 밸브; 및 상기 보관계를 향해 또는 상기 보관계를 벗어나 유동하는 상기 가스의 유량을 측정하도록 형성되는 공급 유량계 또는 회수 유량계를 포함하고, 상기 퍼지 어셈블리는, 상기 공급 유량계 및 상기 회수 유량계로부터의 정보에 기초하여, 상기 공급 밸브를 개방한 후에 상기 회수 밸브를 개방하도록 제어하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 보관계는, 바닥 프레임; 상기 바닥 프레임의 양단부에 결합되며, 상기 바닥 프레임과 상기 천장 사이에 위치하도록 형성되는 한 쌍의 측벽 프레임; 및 상기 용기를 지지하도록 상기 바닥 프레임에 설치되고, 상기 용기와 연통되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 선반을 포함할 수 있다.
삭제
상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치에 의하면, 반도체 공장의 바닥면 상의 공간의 활용성을 높이면서도 웨이퍼의 보관 시간을 늘릴 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치(1000)를 보인 사시도이다.
도 2는 도 1의 보관계(300) 및 퍼지 어셈블리(400)를 보인 사시도이다.
도 3은 도 3의 퍼지 어셈블리(400)에 의한 용기(S2)에 대한 퍼지 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 4는 도 2의 퍼지 어셈블리(400)의 제어적 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치(1000)를 보인 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치(1000)는, 레일(100)과, 비히클(200)과, 보관계(300)와, 퍼지 어셈블리(400)를 포함할 수 있다.
레일(100)은 이동 경로를 형성하도록 천장(C)에 설치되는 구성이다. 레일(100)은 두 개의 라인, 예를 들어 폐곡선형의 라인을 이루도록 형성될 수 있다.
비히클(200)은 상기 이동 경로를 따라 이동하도록 레일(100)에 설치되는 구성이다. 비히클(200)에는 웨이퍼를 수용하는 용기(S1)가 적재된다. 비히클(200)은 용기(S1)를 로딩하기 위한 수단과 용기(S1)를 언로딩하기 위한 수단을 구비한다.
보관계(300)는 천장(C)에 설치되어 용기(S2)를 보관하는 구성이다. 여기서, 용기(S2)는 비히클(200)에 적재된 용기(S1)와 동일한 것이나, 설명의 필요상 서로 구분한다. 구체적으로, 용기(S1)은 비히클(200)에 적재되는 것이고, 용기(S2)는 비히클(200)에서 보관계(300)에 언로딩되어 보관계(300)에 보관되는 것이다. 보관계(300)는 레일(100)의 옆에 위치하도록 배치될 수 있다. 또한, 보관계(300)는 복수 개로 형성되어, 하나의 레일(100)에 수 개에서 수십 개의 보관계(300)가 연관될 수 있다.
퍼지 어셈블리(400)는 보관계(300)에 보관된 용기(S2) 내에 퍼지를 위한 가스를 공급하기 위한 구성이다. 이를 위해, 퍼지 어셈블리(400)는 보관계(300)를 통해 용기(S2)에 연통될 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 비히클(200)은 전 단계에서 생산된 웨이퍼가 수용된 용기(S1)를 적재하여 레일(100)을 따라 이동하게 된다. 비히클(200)은 이동 중에, 지정된 보관계(300)에 대응하여 멈춘다. 비히클(200)은 용기(S1)를 언로딩하여, 지정된 보관계(300)에 용기(S2)가 보관되게 한다. 보관된 용기(S2)는 퍼지 어셈블리(400)의 영향을 받게 되어, 용기(S2) 내의 웨이퍼는 퍼지된다.
그에 의해, 용기(S2)에 수용된 웨이퍼는 상기 가스로 퍼지되어, 보다 오래도록 보관될 수 있다. 또한, 보관계(300) 및 퍼지 어셈블리(400)에 의한 용기(S2)의 보다 긴 시간의 보관이 천장(C) 측에서 이루어지므로, 바닥면 부근 공간의 활용이 가능해진다.
이상의 보관계(300) 및 퍼지 어셈블리(400)에 대해 도 2를 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 2는 도 1의 보관계(300) 및 퍼지 어셈블리(400)를 보인 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 먼저 보관계(300)는, 본체(310)와, 선반(330)과, 체결 유닛(350)을 포함할 수 있다.
본체(310)는 보관계(300)의 뼈대를 이루는 부분이다. 본체(310)는, 구체적으로, 바닥 프레임(311)과, 측벽 프레임(313)을 구성될 수 있다. 바닥 프레임(311)은 천장(C)에 대체로 수평하도록 배치된다. 측벽 프레임(313)은 바닥 프레임(311)의 양단부에서 천장(C)을 향해 연장하는 한 쌍으로 형성된다.
선반(330)은 본체(310)에 설치되어 용기(S2, 도 1)를 지지하도록 형성된다. 구체적으로, 선반(330)은 본체(310)의 바닥 프레임(311)에 설치되고, 천장(C)가 대략 평행하게 배열된다. 하나의 바닥 프레임(311)에 대해, 선반(330)은 하나 이상으로 구비될 수 있다. 본 실시예에서는, 하나의 바닥 프레임(311)에 세 개의 선반(330)이 설치된 것을 예시하고 있다. 선반(330)에는 용기(S2, 도 1)의 내부에 연통되도록 형성되는 공급 노즐(331) 및 회수 노즐(333)이 구비된다.
체결 유닛(350)은 본체(310), 구체적으로 측벽 프레임(313)에 설치되어, 본체(310)가 천장(C)에 체결되게 한다. 이러한 체결 유닛(350)은 레일(100)을 천장(C)에 체결하는 구성과 동일한 것일 수 있다.
다음으로, 퍼지 어셈블리(400)는, 공급 유닛(410)과, 회수 유닛(430)을 포함할 수 있다. 공급 유닛(410)은 용기(S2, 도 1)의 내부에 상기 가스를 공급하도록 형성된다. 이와 반대로 회수 유닛(430)은 용기(S2, 도 1)의 내부에 충전된 상기 가스를 회수하도록 형성된다.
여기서, 공급 유닛(410)과 회수 유닛(430) 각각은 메인 배관(411 및 431)과 서브 배관(413 및 433)을 포함할 수 있다. 메인 배관(411 및 431)과 서브 배관(413 및 433)은 각각의 배관(411 및 413, 413 및 433)으로 통칭될 수도 있다.
공급 유닛(410)의 메인 배관(411)은 상기 가스를 공급하기 위한 탱크(공급 탱크)에 연통되고, 회수 유닛(430)의 메인 배관(431)은 상기 가스를 회수하기 위한 탱크(회수 탱크)에 연통된다. 메인 배관(411 및 431)은 레일(100)의 측면에 설치되어 레일(100)을 따라 연장하도록 형성될 수 있다(도 1 참조).
서브 배관(413 및 433)은 메인 배관(411 및 431)과 선반(330)[공급 노즐(331) 및 회수 노즐(333)]을 연결한다. 메인 배관(411 및 431)이 하나의 레일(100, 도 2)에 대해 하나로 구비된다면, 서브 배관(413 및 433)은 각 보관계(300)에 대응하여 메인 배관(411 및 431)에서 분기되어 복수 개로 구비될 수 있다. 공급 유닛(410)의 서브 배관(413)은 메인 배관(411)에 연결되는 제1 서브 배관(414)과, 제1 서브 배관(414)과 공급 노즐(331)을 연결하는 제2 서브 배관(415)을 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 회수 유닛(430)의 서브 배관(433)은 메인 배관(431)에 연결되는 제1 서브 배관(434)과, 제1 서브 배관(434)과 공급 노즐(333)을 연결하는 제2 서브 배관(435)을 포함할 수 있다. 여기서, 제1 서브 배관(414 및 434)에 비하여, 제2 서브 배관(415 및 435)은 유동 단면적이 작은 것일 수 있다.
다음으로, 퍼지 어셈블리(400)의 퍼지 동작에 대해 도 3을 참조하여 설명한다.
도 3은 도 2의 퍼지 어셈블리(400)에 의한 용기(S2)에 대한 퍼지 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
본 도면을 참조하면, 공급 유닛(410)은, 앞서 설명한 메인 배관(411) 및 서브 배관(413)에 더하여, 공급 밸브(417)와, 공급 유량계(419), 그리고 가스 필터(421)를 더 포함할 수 있다. 공급 밸브(417)와, 공급 유량계(419), 그리고 가스 필터(421)는 모두 제2 서브 배관(415)에 연통되도록 설치된다. 공급 밸브(417)는 제2 서브 배관(415)에서 상기 가스의 유동을 위한 유로를 개폐하도록 형성된다. 공급 밸브(417)는 전기식 밸브로서, 전기적인 신호에 의해 개폐를 위한 동작을 하도록 형성된다. 공급 유량계(419)는 공급 밸브(417)와 공급 노즐(331) 사이에 배치되어, 상기 공급 노즐(331)을 향한 상기 가스의 유량을 측정하게 된다. 가스 필터(421)는 공급 유량계(419)와 공급 노즐(331) 사이에 설치되어, 공급 노즐(331)을 통해 용기(S2) 내로 공급되는 상기 가스 중의 이물질을 필터링하게 된다.
회수 유닛(430)은, 앞서 설명한 메인 배관(431) 및 서브 배관(433)에 더하여, 회수 밸브(437)와, 회수 유량계(439)를 더 포함할 수 있다. 회수 밸브(437)와, 회수 유량계(439)는 모두 제2 서브 배관(435)에 연통 되도록 설치된다. 회수 밸브(437)는 제2 서브 배관(435)에서 상기 가스의 유동을 위한 유로를 개폐하도록 형성된다. 회수 밸브(437)는 전기식 밸브로서, 전기적인 신호에 의해 개폐를 위한 동작을 하도록 형성된다. 회수 유량계(439)는 회수 밸브(437)와 회수 노즐(333) 사이에 배치되어, 상기 회수 노즐(333)을 통해 용기(S2)의 외부로 회수되는 상기 가스의 유량을 측정하게 된다.
이상의 퍼지 어셈블리(400)의 작동 방식에 대해 도 4를 추가로 참조하여 설명한다. 여기서, 도 4는 도 3의 퍼지 어셈블리(400)의 제어적 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 선반(330)은 용기 감지 센서(335)를 더 포함할 수 있다. 용기 감지 센서(335)는 선반(330)의 상면 측에 설치되어, 선반(330)에 용기(S2)가 놓여진 상태인지를 파악하도록 형성된다.
퍼지 어셈블리(400)는, 앞서 설명한 공급 유닛(410)과 회수 유닛(430)의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛(450)을 더 포함할 수 있다. 제어 유닛(450)은 공급 유량계(419)와 회수 유량계(439), 그리고 용기 감지 센서(335)로부터 각종 정보를 입력받아, 공급 밸브(417)와 회수 밸브(437)의 동작을 제어할 수 있다.
예를 들어, 제어 유닛(450)는 공급 유량계(419)에서 측정된 공급 유량과 회수 유량계(439)에서 측정된 회수 유량의 차이에 근거하여, 공급 밸브(417)와 회수 밸브(437)의 개폐를 제어할 수 있다. 구체적으로, 상기 공급 유량에서 상기 회수 유량을 빼면, 용기(S2) 내에 충전된 상기 가스의 양이 산출된다. 상기 충전된 가스의 양이 기준에 미달하면, 공급 밸브(417)는 개방한 상태에서 회수 밸브(437)는 폐쇄할 수 있다. 반대로, 상기 충전된 가스의 양이 기준을 초과하면, 공급 밸브(417)는 폐쇄한 상태에서 회수 밸브(437)는 개방할 수 있다.
또한, 제어 유닛(450)은 용기 감지 센서(335)의 감지 결과에 근거하여, 공급 밸브(417) 및/또는 회수 밸브(437)의 개폐를 제어할 수 있다. 구체적으로, 용기 감지 센서(335)가 용기(S2)가 선반(330) 상에 존재하는 것으로 감지한 경우에, 공급 밸브(417)를 개방할 수 있다. 제어 유닛(450)은 공급 밸브(417)의 개방을 제어한 후에 일정 시간이 지나 용기(S2) 내에 상기 가스가 일정량 충전되면, 회수 밸브(437)의 개방을 제어할 수 있다.
상기와 같은 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 레일 200: 비히클
300: 보관계 310: 본체
330: 선반 331: 공급 노즐
333: 회수 노즐 400: 퍼지 어셈블리
410: 공급 유닛 411: 메인 배관
413: 서브 배관 417: 공급 밸브
419: 공급 유량계 430: 회수 유닛
431: 메인 배관 433: 서브 배관
437: 회수 밸브 439: 회수 유량계
450: 제어 유닛

Claims (15)

  1. 비히클을 안내하기 위해 천장에 설치되도록 형성되는 레일;
    상기 천장에 설치되도록 형성되고, 웨이퍼를 내부에 수용하는 용기를 상기 비히클로부터 전달받아 보관하도록 형성되며, 상기 용기의 내부와 연통되도록 형성되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 보관계; 및
    상기 공급 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용될 가스를 공급하는 공급 유닛과, 상기 회수 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용된 가스를 회수 탱크로 회수하는 회수 유닛을 구비하는 퍼지 어셈블리를 포함하고,
    상기 공급 유닛 및 상기 회수 유닛은 각각,
    상기 가스가 유동하도록 형성되는 배관;
    상기 공급 유닛의 배관 또는 상기 회수 유닛의 배관에 설치되어, 상기 배관을 개폐하도록 형성되는 공급 밸브 또는 회수 밸브; 및
    상기 보관계를 향해 또는 상기 보관계를 벗어나 유동하는 상기 가스의 유량을 측정하도록 형성되는 공급 유량계 또는 회수 유량계를 포함하고,
    상기 퍼지 어셈블리는,
    상기 공급 유량계 및 상기 회수 유량계로부터의 정보에 기초하여, 상기 공급 밸브를 개방한 후에 상기 회수 밸브를 개방하도록 제어하는 제어 유닛을 더 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보관계는,
    본체;
    상기 본체에 설치되며, 상기 용기를 지지하도록 형성되는 선반; 및
    상기 본체에 설치되고, 상기 본체가 상기 천장에 체결되게 하도록 형성되는 체결 유닛을 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 본체는,
    상기 선반이 설치되는 바닥 프레임; 및
    상기 바닥 프레임의 양단부에 결합되며, 각각의 자유단에는 상기 체결 유닛이 설치되는 한 쌍의 측벽 프레임을 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  4. 삭제
  5. 제2항에 있어서,
    상기 공급 노즐 및 회수 노즐은 상기 선반에 설치되고,
    상기 공급 유닛 및 상기 회수 유닛은 각각,
    상기 레일을 따라 연장 형성되고, 상기 가스가 유동하도록 형성되는 메인 배관; 및
    상기 메인 배관에 연통되고, 상기 공급 노즐 또는 상기 회수 노즐에 연결되는 서브 배관을 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 서브 배관은,
    상기 메인 배관에 연통되는 제1 서브 배관; 및
    상기 제1 서브 배관과, 상기 공급 노즐 또는 상기 회수 노즐을 연결하고, 상기 제1 서브 배관보다 작은 유동 단면적을 가지는 제2 서브 배관을 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  7. 삭제
  8. 제6항에 있어서,
    상기 공급 유닛은,
    상기 공급 유량계와 상기 선반의 공급 노즐 사이에 위치하도록 상기 공급 유닛의 상기 제2 서브 배관에 설치되는 가스 필터를 더 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제1항에 있어서,
    상기 보관계는, 상기 용기를 지지하고, 상기 공급 노즐 및 상기 회수 노즐이 설치되는 선반을 더 포함하며,
    상기 선반은, 상기 용기의 존재를 감지하는 용기 감지 센서를 포함하고,
    상기 제어 유닛은, 상기 용기 감지 센서의 감지 결과에 근거하여, 상기 공급 밸브 또는 상기 회수 밸브를 개폐하도록 형성되는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  13. 천장에 설치되는 레일;
    상기 레일을 따라 이동하도록 형성되고, 웨이퍼를 내부에 수용하는 용기를 적재하도록 형성되는 비히클;
    상기 레일 옆에 위치하도록 상기 천장에 설치되고, 상기 비히클로부터 상기 용기를 전달받아 보관하도록 형성되며, 상기 용기의 내부와 연통되도록 형성되는 공급 노즐 및 회수 노즐을 구비하는 복수의 보관계; 및
    상기 공급 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용될 가스를 공급하는 공급 유닛과, 상기 회수 노즐을 통해 상기 용기와 연통되며 상기 웨이퍼의 퍼지에 사용된 가스를 회수 탱크로 회수하는 회수 유닛을 구비하는 퍼지 어셈블리를 포함하고,
    상기 공급 유닛과 상기 회수 유닛은 각각,
    상기 레일에 설치되어, 상기 레일의 연장 방향을 따라 연장되는 메인 배관;
    상기 메인 배관에 연통되고, 상기 공급 노즐 또는 상기 회수 노즐에 연결되는 서브 배관;
    상기 서브 배관에 설치되어, 상기 서브 배관을 개폐하도록 형성되는 공급 밸브 또는 회수 밸브; 및
    상기 보관계를 향해 또는 상기 보관계를 벗어나 유동하는 상기 가스의 유량을 측정하도록 형성되는 공급 유량계 또는 회수 유량계를 포함하고,
    상기 퍼지 어셈블리는,
    상기 공급 유량계 및 상기 회수 유량계로부터의 정보에 기초하여, 상기 공급 밸브를 개방한 후에 상기 회수 밸브를 개방하도록 제어하는 제어 유닛을 더 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 보관계는,
    바닥 프레임;
    상기 바닥 프레임의 양단부에 결합되며, 상기 바닥 프레임과 상기 천장 사이에 위치하도록 형성되는 한 쌍의 측벽 프레임; 및
    상기 용기를 지지하도록 상기 바닥 프레임에 설치되고, 상기 공급 노즐 및 회수 노즐이 설치되는 선반을 포함하는, 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치.
  15. 삭제
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