KR101674454B1 - 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼 - Google Patents

풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼 Download PDF

Info

Publication number
KR101674454B1
KR101674454B1 KR1020150088437A KR20150088437A KR101674454B1 KR 101674454 B1 KR101674454 B1 KR 101674454B1 KR 1020150088437 A KR1020150088437 A KR 1020150088437A KR 20150088437 A KR20150088437 A KR 20150088437A KR 101674454 B1 KR101674454 B1 KR 101674454B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
foup
nitrogen gas
valve
shelf
base plate
Prior art date
Application number
KR1020150088437A
Other languages
English (en)
Inventor
문인호
이철휴
최광열
송재연
Original Assignee
주식회사 신성에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 신성에프에이 filed Critical 주식회사 신성에프에이
Priority to KR1020150088437A priority Critical patent/KR101674454B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101674454B1 publication Critical patent/KR101674454B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Abstract

본 발명의 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼는, 풉이 저장되는 선반(Shelf); 상기 선반에 설치되어 풉의 공정가스를 배출시키는 퍼징모듈;로 구성되되, 상기 퍼징모듈은 선반에 풉이 저장되는 것을 감지하여 질소가스를 풉의 내부로 주입하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 사이드 트랙 버퍼에 저장된 풉의 내부로 질소가스를 공급하여 공정가스를 제거하는 효과가 있다.

Description

풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼{SIDE TRACK BUFFER FOR FOUP PURGING}
본 발명은 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 풉 내부에 잔류하는 공정가스를 제거하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼의 가공공정을 수행하기 위한 장치는 가공 모듈과 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 모듈로 구성되며, 이송 모듈은 스토커(Stocker), Over Head Shuttle(OHS), Overhead Hoist Transport(OHT), Automated Guided Vehicle(AGV), Rail Guided Vehicle(RGV) 등이 있다.
이러한 이송 모듈들은 모두 사용자들의 초기 투자비에 대한 부담을 줄여주고 가격 경쟁력 향상을 위한 운전비(Running cost)의 절감, 웨이퍼 이송 중의 오염 방지, 제품 수율 향상 등이 목적이다.
천장 물류 이송 시스템인 OHT는 클린룸 상부에 설치된 레일을 따라 이동하면서 웨이퍼 및 패키지를 저장하는 개구 통합형 포드(Front Opening Unified POD, FOUP, 이하, '풉')들을 이재, 적재하고 이송시키는 역할을 수행하는 장비이다.
사이드 트랙 버퍼(STB, Side Track Buffer)는 OHT 주행레일 측면에 위치한 저장공간으로 공정을 마친 풉을 저장하는 공간이다.
이러한 풉은 웨이퍼를 저장 및 이송하는 저장용기로 외부와의 공기 접촉을 차단하여 웨이퍼의 수율을 향상시키는 역할도 수행한다.
그러나, 웨이퍼 가공공정 중에 사용되는 공정가스가 웨이퍼의 표면에 잔류한 상태로 풉 내부에 적재되면 정밀가공이 어렵게 되고, 웨이퍼 간의 이차적 오염을 초래하게 되며, 웨이퍼 이송 모듈이 풉 내부에 잔류된 공정가스의 흄(Fume)에 의해 오염되어 장비의 성능저하를 초래하는 문제점이 있다.
이에 따라 풉 내부의 공정가스를 제거하기 위한 퍼지장치가 개발되었으며, 퍼지장치에 관한 대표적인 예가 하기 특허문헌 1(이하, '종래기술 1'이라 한다)에 개시되어 있다.
그러나, 종래기술 1의 퍼지장치는 풉 내부의 공정가스를 제거하기 위해 가동 모듈과 이송 모듈 사이에 별도로 추가된 구성으로서 공정이 추가되는 문제점이 있다.
특히, 다수회의 웨이퍼 가공 공정 중에 공정가스가 풉 내부에 잔류한다면 종래기술 1의 퍼지장치를 통해 공정가스를 계속적으로 제거하여야 하는 불편함이 따르게 된다. 더욱이 공정가스의 제거를 위한 공정이 추가됨에 따라 반도체 디바이스를 생성하기 위한 생산 시간은 증가된다.
이러한 문제점을 개선하기 위해 하기 특허문헌 2에는 사이드 트랙 버퍼에 장착된 풉으로 불활성 가스를 공급하는 반도체 웨이퍼 제조 시스템이 제안되었다.
그러나 종래기술 2는 풉 내부의 공정가스를 제거하거나 배출하는 구성이 개시된 바 없다.
따라서, 사이드 트랙 버퍼에 저장된 풉의 내부에 저장된 공정가스를 제거하는 개선된 형태의 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
한국공개특허 제2013-0106543호(2013.09.30. 특허공개) 한국공개특허 제2014-0055395호(2014.05.09. 특허공개)
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 사이드 트랙 버퍼에 저장된 풉의 내부로 질소가스를 공급하여 공정가스를 제거하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼는, 풉이 저장되는 선반(Shelf); 상기 선반에 설치되어 풉의 공정가스를 배출시키는 퍼징모듈;로 구성되되, 상기 퍼징모듈은 선반에 풉이 저장되는 것을 감지하여 질소가스를 풉의 내부로 주입하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 퍼징모듈은, 상기 선반에 설치된 베이스 플레이트와, 상기 풉으로 질소가스를 주입하도록 베이스 플레이트의 상면에 설치된 입력포트와, 상기 입력포트로의 유로를 개폐하는 ON/OFF 밸브와, 상기 입력포트로 공급되는 질소가스의 유량을 측정하는 디지털 유량 스위치 및 상기 풉 내부의 질소가스와 공정가스를 배출시키도록 베이스 플레이트의 상면에 설치된 배기포트로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 입력포트로의 유로에는 필터가 설치된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배기포트를 통해 배출되는 유량을 측정하도록 오리피스와 다이아프램 방식의 차압계로 구성된 유량계가 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스 플레이트의 상면에는 가이드 돌기가 둘 이상 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스 플레이트의 상면에는 감지센서가 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 퍼징모듈에는 제어부가 더 구비되며, 상기 제어부는 감지센서의 신호에 의해 ON/OFF 밸브를 개폐하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 유량계의 배출 측에는 메뉴얼 밸브와 진공펌프가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 ON/OFF 밸브의 전단으로 질소가스용기가 구비되며, 상기 질소가스용기와 ON/OFF 밸브의 사이에는 메뉴얼밸브, 레귤레이터, 압력센서가 더 구비된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼에 따르면, 사이드 트랙 버퍼에 저장된 풉의 내부로 질소가스를 공급하여 공정가스를 제거하는 효과가 있다.
즉, 공정을 마친 풉의 내부에는 공정에서 발생하는 공정가스가 존재하며, 풉을 사이드 트랙 버퍼에 안착하면 풉 하부에 위치한 입력포트와 배기포트를 통해 질소가스를 공급하고 배출하여 공정가스를 퍼지 시켜준다.
이때, 배출되는 가스는 질소가스뿐만 아니라 풉의 내부에 있던 많은 공정가스도 함께 배출되어 웨이퍼의 수율을 향상시킨다.
도 1은 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 퍼지모듈을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 저면 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 퍼지모듈의 구성도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 퍼지모듈을 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 저면 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 퍼지모듈의 구성도이다.
도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼(A)는, 풉(F)이 저장되는 선반(100)과, 상기 선반(100)에 설치되어 풉(F)의 공정가스를 배출시키는 퍼징모듈(200)로 구성된다.
또한, 상기 선반(100)은 사이드 트랙 버퍼(A)를 형성하는 구성으로서 반도체 웨이퍼를 수용하는 다수개의 풉(F)을 반도체 제조 공정간에 이동시키거나 저장하는 구성 요소이다.
그리고, 상기 선반(100)은 한 쌍으로서, 그 사이로 OHT 주행레일(R)이 가로질러 설치되어 있어 OHT에 의해 공정을 마친 풉(F)이 저장된다.
한편, 도 1의 도시와 같이 선반(100)에는 8개의 포트(110)가 구비되며, 8개의 포트(110)에 퍼징모듈(200)이 각각 설치된다.
또한, 상기 퍼징모듈(200)은 선반(100)에 풉(F)이 저장되는 것을 감지하여 질소가스를 풉(F)의 내부로 주입한다.
구체적으로, 상기 퍼징모듈(200)은 상기 선반(100)에 설치된 베이스 플레이트(210)와, 상기 풉(F)으로 질소가스를 주입하도록 베이스 플레이트(210)의 상면에 설치된 입력포트(220)와, 상기 입력포트(220)로의 유로를 개폐하는 ON/OFF 밸브(230)와, 상기 입력포트(220)로 공급되는 질소가스의 유량을 측정하는 디지털 유량 스위치(240) 및 상기 풉(F) 내부의 질소가스와 공정가스를 배출시키도록 베이스 플레이트(210)의 상면에 설치된 배기포트(250)로 구성된다.
그리고, 상기 입력포트(220)로의 유로에는 질소가스에 포함된 이물질을 여과하는 필터(260)가 설치된다.
한편, 상기 배기포트(250)를 통해 배출되는 유량을 측정하는 유량계(270)가 더 구비된다.
이에 따라, 디지털 유량 스위치(240)와 유량계(270)에 의해 풉(F)에 공급된 질소가스의 유량을 철저하게 관리하게 된다.
여기서 깨끗한 질소가스만을 공급하는 입력포트(220) 측의 디지털 유량 스위치(240)와는 달리, 공정가스를 수반하여 배출되는 배기포트(250) 측 유량계(270)는 공정가스의 영향을 받게 된다.
즉, 부식성 물질 등으로 인해 유량계의 수명이 급속히 짧아지거나 측정오류가 발생하게 된다.
이를 해결하기 위해 상기 유랑계(270)는 오리피스(271)와 다이아프램 방식의 차압계(272)로 구성된다.
즉, 다이아프램 방식의 차압계(272)는 차압계에 흐르는 유량은 없고, 양쪽의 차압변화에 따른 다이아프램 형상의 변화를 검출하여 유량을 측정한다. 즉 오리피스와 차압계는 질소가스 및 공정가스가 통과하고 지나감에 따라 공정가스가 미치는 영향은 미비하며, 장시간 사용을 보장할 수 있다.
또한, 배기포트(250)에 오리피스(271)를 연결하면 오리피스(271)의 전단과 후단에 차압이 발생하며, 이런 차압은 유량의 변화에 따라 변화하게 되고 이를 계측하면 배기포트(250)를 통해 배출된 질소가스와 공정가스의 유량을 측정할 수 있게 된다. 여기서 미리 보정한 차압 대비 유량 데이터를 비교하여 유량을 산출할 수 있다.
더욱이, 오리피스(271)와 다이아프램 방식의 차압계(272)의 사이로 공정가스를 여과하는 필터(273)가 더 구비된다.
그리고, 상기 베이스 플레이트(210)의 상면에는 가이드 돌기(211)가 둘 이상 구비되어 풉(F)이 베이스 플레이트(210)에 안착시에 결합위치를 안내하게 된다.
한편, 상기 베이스 플레이트(210)의 상면에는 감지센서(280)가 구비되어 풉(F)이 선반(100) 내에 저장된 것을 감지하게 된다.
더욱이, 상기 퍼징모듈(200)에는 제어부(290)가 더 구비되며, 상기 제어부(290)는 감지센서(280)의 신호에 의해 ON/OFF 밸브(230)를 개폐하게 된다. 즉, 풉(F)이 선반(100)에 저장되면 질소가스를 공급하게 된다.
또한, 상기 유량계(270)의 배출 측에는 메뉴얼 밸브(201)와 진공펌프(202)가 더 구비된다.
마지막으로, 상기 ON/OFF 밸브(230)의 전단으로 질소가스용기(203)가 구비되며, 상기 질소가스용기(203)와 ON/OFF 밸브(230)의 사이에는 메뉴얼밸브(204), 레귤레이터(205), 압력센서(206)가 더 구비된다.
본 발명에 따르면, 사이드 트랙 버퍼(A)에 저장된 풉(F)의 내부로 질소가스를 공급하여 공정가스를 제거하게 된다.
즉, 공정을 마친 풉(F)의 내부에는 공정에서 발생하는 공정가스가 존재하며, 풉을 사이드 트랙 버퍼(A)에 저장하면 풉 하부에 위치한 입력포트(220)와 배기포트(250)를 통해 질소가스를 공급하고 배출하여 공정가스를 퍼지 시켜준다.
이때, 배출되는 가스는 질소가스뿐만 아니라 풉의 내부에 있던 많은 공정가스도 함께 배출되어 웨이퍼의 수율을 향상시킨다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
A - 사이드 트랙 버퍼 F - 풉
100 - 선반 110 - 포트
200 - 퍼징모듈 210 - 베이스 플레이트

Claims (9)

  1. OHT 주행레일이 가로질러 설치되도록 한 쌍으로 구비되며, 복수의 포트가 구비되어 풉이 저장되는 선반; 및
    상기 선반의 포트에 설치되어 풉의 공정가스를 배출시키는 퍼징모듈;로 구성되되,
    상기 퍼징모듈은,
    상기 선반에 설치된 베이스 플레이트와, 상기 풉으로 질소가스를 주입하도록 베이스 플레이트의 상면에 설치된 입력포트와, 상기 입력포트로의 유로를 개폐하도록 상기 선반에 설치된 ON/OFF 밸브와, 상기 입력포트로 공급되는 질소가스의 유량을 측정하도록 상기 선반에 설치된 디지털 유량 스위치 및 상기 풉 내부의 질소가스와 공정가스를 배출시키도록 베이스 플레이트의 상면에 설치된 배기포트로 구성되며,
    상기 배기포트를 통해 배출되는 유량을 측정하도록 오리피스와 다이아프램 방식의 차압계로 구성된 유량계가 구비되며, 상기 오리피스와 다이아프램 방식의 차압계의 사이에는 필터가 더 구비된 것을 특징으로 하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 입력포트로의 유로에는 필터가 설치된 것을 특징으로 하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트의 상면에는 가이드 돌기가 둘 이상 구비된 것을 특징으로 하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트의 상면에는 감지센서가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 퍼징모듈에는 제어부가 더 구비되며, 상기 제어부는 감지센서의 신호에 의해 ON/OFF 밸브를 개폐하는 것을 특징으로 하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 유량계의 배출 측에는 메뉴얼 밸브와 진공펌프가 더 구비된 것을 특징으로 하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 ON/OFF 밸브의 전단으로 질소가스용기가 구비되며, 상기 질소가스용기와 ON/OFF 밸브의 사이에는 메뉴얼밸브, 레귤레이터, 압력센서가 더 구비된 것을 특징으로 하는 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼.
KR1020150088437A 2015-06-22 2015-06-22 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼 KR101674454B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150088437A KR101674454B1 (ko) 2015-06-22 2015-06-22 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150088437A KR101674454B1 (ko) 2015-06-22 2015-06-22 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101674454B1 true KR101674454B1 (ko) 2016-11-09

Family

ID=57529068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150088437A KR101674454B1 (ko) 2015-06-22 2015-06-22 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101674454B1 (ko)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102195523B1 (ko) * 2019-10-10 2020-12-28 주식회사 아셀 Stb 인라인 기능검사 방법
KR20210001429A (ko) 2019-06-28 2021-01-06 세메스 주식회사 선반 유닛 및 이를 포함하는 스토커
KR102361173B1 (ko) 2021-01-22 2022-02-14 주식회사 에이치씨씨 반도체 제조에 사용되는 풉 저장장치
KR102360920B1 (ko) 2021-02-22 2022-02-14 주식회사 에이치씨씨 반도체 생산라인에서 사용되는 풉 저장 장치
KR102506296B1 (ko) 2022-10-20 2023-03-03 백찬호 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그
KR20230131625A (ko) 2022-03-07 2023-09-14 아메스산업(주) 리더기를 갖는 끼움부재의 결합 구조
KR102641036B1 (ko) * 2023-09-07 2024-02-28 주식회사 인시스템스 질소 퍼지 기능을 가지는 사이드 트랙 버퍼

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130106543A (ko) 2012-03-20 2013-09-30 (주)드림솔 웨이퍼용 개구통합형 포드의 퍼지장치
KR20130138660A (ko) * 2012-06-11 2013-12-19 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 퍼지 노즐 유닛, 퍼지 장치, 로드 포트
KR20140055395A (ko) 2012-10-31 2014-05-09 크린팩토메이션 주식회사 반도체 웨이퍼 제조 시스템에서 에스티비에 불활성 가스를 공급하는 방법 및 이를 이용한 반도체 웨이퍼 제조 시스템
KR101398440B1 (ko) * 2012-11-21 2014-06-19 주식회사 케이씨텍 풉 퍼지장치 및 이를 포함하는 기판처리장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130106543A (ko) 2012-03-20 2013-09-30 (주)드림솔 웨이퍼용 개구통합형 포드의 퍼지장치
KR20130138660A (ko) * 2012-06-11 2013-12-19 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 퍼지 노즐 유닛, 퍼지 장치, 로드 포트
KR20140055395A (ko) 2012-10-31 2014-05-09 크린팩토메이션 주식회사 반도체 웨이퍼 제조 시스템에서 에스티비에 불활성 가스를 공급하는 방법 및 이를 이용한 반도체 웨이퍼 제조 시스템
KR101398440B1 (ko) * 2012-11-21 2014-06-19 주식회사 케이씨텍 풉 퍼지장치 및 이를 포함하는 기판처리장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210001429A (ko) 2019-06-28 2021-01-06 세메스 주식회사 선반 유닛 및 이를 포함하는 스토커
KR102195523B1 (ko) * 2019-10-10 2020-12-28 주식회사 아셀 Stb 인라인 기능검사 방법
KR102361173B1 (ko) 2021-01-22 2022-02-14 주식회사 에이치씨씨 반도체 제조에 사용되는 풉 저장장치
KR102360920B1 (ko) 2021-02-22 2022-02-14 주식회사 에이치씨씨 반도체 생산라인에서 사용되는 풉 저장 장치
KR20230131625A (ko) 2022-03-07 2023-09-14 아메스산업(주) 리더기를 갖는 끼움부재의 결합 구조
KR102506296B1 (ko) 2022-10-20 2023-03-03 백찬호 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그
KR102641036B1 (ko) * 2023-09-07 2024-02-28 주식회사 인시스템스 질소 퍼지 기능을 가지는 사이드 트랙 버퍼

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101674454B1 (ko) 풉 퍼징용 사이드 트랙 버퍼
US10707108B2 (en) Wafer carrier purge apparatuses, automated mechanical handling systems including the same, and methods of handling a wafer carrier during integrated circuit fabrication
EP3104401B1 (en) Purge device and purge method
TWI689029B (zh) 淨化裝置、淨化倉儲及淨化方法
JP6108643B2 (ja) 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及び異常処理プログラム
US20190131152A1 (en) Substrate carrier
TWI699847B (zh) 淨化裝置、淨化倉儲及淨化方法
JP5361847B2 (ja) 基板処理方法、この基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板処理装置
US20150235884A1 (en) Ceiling storage device capable of wafer purging
JP6468358B2 (ja) パージストッカ、及びパージストッカにおけるパージガスの供給方法
US11367642B2 (en) Substrate processing apparatus and purging method
JP6409579B2 (ja) パージストッカ、及びパージストッカの稼働方法
US10354897B2 (en) Container storage facility
JP6700000B2 (ja) フープロードポート装置
US10006894B2 (en) Flow measuring device and flow measuring system
JP6217281B2 (ja) 自動倉庫、及びガス供給方法
TW201711935A (zh) 保管裝置及保管方法
WO2016129170A1 (ja) パージ装置、パージストッカ、及びパージ異常検出方法
KR101708806B1 (ko) 풉 퍼징 모듈용 유량계
CN111868909B (zh) Efem
US20230022345A1 (en) Unified pod and material conveying system
KR20190081553A (ko) 웨이퍼 가스 공급장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191021

Year of fee payment: 4