TWI699847B - 淨化裝置、淨化倉儲及淨化方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種能對應於容器之種類而適當地進行淨化之淨化裝置。本發明之淨化裝置(4A)具備有：種類檢測部(41)，其對淨化對象之容器(F)之種類進行檢測；及淨化控制部(42)，其根據種類檢測部之檢測結果來決定對容器之淨化條件。

Description

淨化裝置、淨化倉儲及淨化方法
本發明係關於淨化裝置、淨化倉儲及淨化方法。
淨化倉儲係對收容晶圓、光罩等各種物品之容器進行保管。該容器係前開式晶圓傳送盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)、標準機械化介面晶圓傳送盒(SMIF Pod，Standard Mechanical Inter Face Pod)、光罩傳送盒等。淨化倉儲係於保管時利用淨化裝置對容器內填充潔淨乾燥空氣或氮氣等之淨化氣體，而抑制收容物之污染或氧化等(例如，參照專利文獻1)。關於前述之容器，自過去雖存在標準化之規格，但由於對材質、密封構造、淨化氣體之導入口之位置等並未規定，因此會依容器之種類而不同。例如，對應於淨化裝置之種類而使用專用之容器。近年來，進一步進行容器與淨化裝置之介面(例如，淨化氣體之供給口之位置)之一部分之規格化，使得可利用1種淨化裝置對複數種類之容器進行淨化之情形增加。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2010-182747號公報
然而，存在有淨化特性會因容器之種類而不同，而難以適當地進行淨化之情形。例如，在複數種類之容器中最佳之氣體流量不同之情形時，若使淨化氣體之供給量配合最佳流量較小之容器，則對於最佳流量較大之容器，淨化氣體便會不足，而使淨化之效果變得不充分。此時，若使淨化氣體之供給量配合最佳流量較大之容器，則對於最佳流量較小之容器，淨化氣體便會過剩，而使淨化氣體之浪費增多。此外，存在有造成容器之密封性能劣化或導入口之過濾器等損傷之顧慮等的問題。
本發明係鑒於前述之情形而完成者，其目的在於提供可對應於容器之種類而適當地進行淨化之淨化裝置、淨化倉儲及淨化方法。
本發明之淨化裝置具備有：種類檢測部，其對淨化對象之容器之種類進行檢測；及淨化控制部，其根據種類檢測部之檢測結果來決定對容器之淨化條件。
又，淨化裝置亦可具備有檢測容器之淨化狀態之狀態檢測部，且種類檢測部根據狀態檢測部之檢測結果來檢測容器之種類。又，淨化裝置亦可具備有對被連接於容器之配管之淨化氣體之流量進行控制之流量控制裝置，且狀態檢測部檢測配管之淨化氣體之壓力，來作為淨化狀態，種類檢測部根據以狀態檢測部所檢測出之壓力為基礎所得到之容器之淨化特性，來檢測容器之種類。種類檢測部亦可為根據將壓力與容器之種類建立關聯所得到之特性資訊及狀態檢測部之檢測結果來判別容器之種類者。又，種類檢測部 亦可為根據檢測被設置於容器之識別碼之感測器之檢測結果、及將識別碼與容器之種類建立關聯所得到之識別碼資訊來判別容器之種類者。又，作為識別碼，亦可使用被分配給容器之固有之編碼。作為識別碼，亦可使用被設置於容器之底面之資訊板。又，淨化裝置亦可具備有對被供給至容器之淨化氣體之流量進行控制之流量控制裝置，且淨化控制部根據將容器之種類與淨化條件建立關聯所得到之條件資訊來決定淨化條件，並根據所決定之淨化條件來控制流量控制裝置。又，淨化條件亦可包含對容器所供給之淨化氣體之流量及供給時間。
本發明之淨化倉儲具備有：前述之淨化裝置、及保持藉由淨化裝置所淨化之容器之棚架。
本發明之淨化方法包含有如下之內容：對淨化對象之容器之種類進行檢測；及根據檢測之結果來決定對容器之淨化條件。
根據本發明，由於根據檢測淨化對象之容器之種類所得到之結果來決定對於容器之淨化條件，因此可以對應於容器之種類之淨化條件來進行淨化，而可適當地進行淨化。
又，在具備有對容器之淨化狀態進行檢測之狀態檢測部，且種類檢測部根據狀態檢測部之檢測結果來檢測容器之種類之淨化裝置中，可根據實際之淨化狀態來檢測容器之種類。又，在具備有對被連接於容器之配管之淨化氣體之流量進行控制之流量控制裝置，且狀態檢測部檢測配管之淨化氣體之壓力來作為淨化狀態，種類檢測部根據以狀態檢測部所檢測出之壓力為基礎所得到之 容器之淨化特性來檢測容器之種類之淨化裝置中，例如，由於氣體之導入口等之壓損會反映至淨化氣體之壓力，因此可高精度地檢測出容器之種類。又，在種類檢測部根據將壓力與容器之種類建立關聯所得到之特性資訊及狀態檢測部之檢測結果來判別容器之種類之淨化裝置中，由於可藉由將壓力之檢測結果與特性資訊進行比對來判別容器之種類，因此可容易地且高精度地檢測出容器之種類。又，在種類檢測部根據對被設置於容器之識別碼進行檢測之感測器之檢測結果、及將識別碼與容器之種類建立關聯所得到之識別碼資訊來判別容器之種類之淨化裝置中，由於可藉由將感測器所檢測出之識別碼與識別碼資訊進行比對來判別容器之種類，因此可容易地且高精度地檢測出容器之種類。又，在使用被分配給容器之固有之編碼來作為識別碼之淨化裝置中，例如，可利用容器之管理等所利用之編碼來檢測出容器之種類。又，在使用被設置於容器之底面之資訊板來作為識別碼之淨化裝置中，可利用被標準地設置於容器之資訊板來檢測出容器之種類。又，在具備有對被供給至容器之淨化氣體之流量進行控制之流量控制裝置，且淨化控制部根據將容器之種類與淨化條件建立關聯所得到之條件資訊來決定淨化條件，並根據所決定之淨化條件來控制流量控制裝置之淨化裝置中，由於將容器之種類與條件資訊進行比對來決定淨化條件，因此可容易地決定與容器之種類一致之淨化條件，且由於根據所決定之淨化條件來控制流量控制裝置，因此可高精度地控制容器內之淨化之狀態。又，在淨化條件包含有對容器所供給之淨化氣體之流量及供給時間之淨化裝置中，由於可控制淨化氣體之供給量之時間歷程，因此可高精度地控制容器內之淨化之狀態。
1‧‧‧淨化倉儲
2‧‧‧框體
2a‧‧‧內部空間
3‧‧‧保管棚架
4、4A、4B、4C、4D‧‧‧淨化裝置
5‧‧‧堆高式起重機
6‧‧‧倉儲控制裝置
10‧‧‧移行台車
11‧‧‧支撐柱
12‧‧‧支撐台
13‧‧‧移載裝置
14‧‧‧車輪
15‧‧‧軌道
20‧‧‧開口
21‧‧‧本體部
22‧‧‧蓋部
23‧‧‧凸緣部
24‧‧‧氣體導入埠
25‧‧‧氣體排出埠
31‧‧‧淨化噴嘴
32‧‧‧排氣噴嘴
33‧‧‧流量控制裝置
34‧‧‧狀態檢測部
35‧‧‧淨化控制裝置
36、38‧‧‧配管
37‧‧‧氣體源
39‧‧‧氣體排氣
41‧‧‧種類檢測部
42‧‧‧淨化控制部
43‧‧‧儲存部
44‧‧‧壓力計
45‧‧‧就位感測器
51、55‧‧‧識別碼
51a、51b、51c、51d‧‧‧資訊板
52、56‧‧‧感測器
57‧‧‧識別構件
A1、A2、...、An‧‧‧容器F之種類
D1‧‧‧特性資訊
D2‧‧‧條件資訊
F‧‧‧容器
Fa‧‧‧容器F之內部
G1‧‧‧淨化氣體
PS‧‧‧載置處
QA1、QA2、...、QAn‧‧‧初期淨化之流量
QB1、QB2、...、QBn‧‧‧維持淨化之流量
t1‧‧‧時間
TA1、TA2、...、Tan‧‧‧初期淨化之時間
X、Y‧‧‧水平方向
Z‧‧‧鉛垂方向
圖1(A)及(B)係表示第1實施形態之淨化倉儲及淨化裝置之圖。
圖2(A)及(B)係淨化特性及特性資訊之說明圖。
圖3(A)至(C)係淨化特性、條件資訊、及淨化條件之說明圖。
圖4(A)及(B)係表示實施形態之淨化方法之流程圖。
圖5(A)及(B)係表示第2實施形態之淨化裝置及容器之識別碼之圖。
圖6係表示第3實施形態之淨化裝置之圖。
圖7係表示第4實施形態之淨化裝置之圖。
以下，一面參照圖式一面對實施形態進行說明。於以下各圖中，使用XYZ座標系統說明圖中之方向。於該XYZ座標系統中，將鉛垂方向設為Z方向，並將水平方向設為X方向、Y方向。
[第1實施形態]
圖1(A)係表示本實施形態之淨化倉儲1之一例之圖，圖1(B)係表示容器F及淨化裝置4A之一例之圖。淨化倉儲1例如為對收容半導體元件之製造所使用之晶圓或者光罩等物品之容器F進行保管之自動倉庫。容器F例如為FOUP、SMIF Pod、光罩傳送盒等。光罩既可為用於浸漬曝光裝置者，亦可為用於極端紫外線(EUV，Extreme Ultraviolet)曝光裝置者。
如圖1(A)所示，淨化倉儲1具備有框體2、複數個保管棚架3、複數個淨化裝置4A、堆高式起重機(搬送裝置)5、及倉 儲控制裝置6。框體2具有可相對於外部隔離之內部空間2a。框體2具備有在框體2之外部與內部空間2a交接容器F之入出庫埠(未圖示)。複數個保管棚架3、複數個淨化裝置4A、及堆高式起重機5係配置於框體2之內部空間2a。倉儲控制裝置6亦可被配置於框體2之內部或外部之任一者。倉儲控制裝置6控制淨化裝置4A及堆高式起重機5。再者，控制淨化裝置4A之控制裝置與控制堆高式起重機5之控制裝置亦可個別地設置。
堆高式起重機5可於X方向、Y方向、及Z方向之各方向上搬送容器F，例如，可於入出庫埠與保管棚架3之間搬送容器F、及/或自保管棚架3將容器F搬送至其他之保管棚架3。堆高式起重機5例如具備有移行台車10、支撐柱11、支撐台12、及移載裝置13。移行台車10具有複數個車輪14，並沿著被設置於框體2之底面之軌道15而在水平方向(X方向)上移動。
支撐柱11係自移行台車10之上表面朝鉛垂方向(Z方向)延伸而被設置。支撐台12係由支撐柱11所支撐，且沿著支撐柱11可朝Z方向滑動地被設置。移載裝置13例如具備有可伸縮之臂部、及可於上表面載置容器F之載置部。再者，於堆高式起重機5中，亦可取代支撐容器F之底面來進行搬送之移載裝置13，為例如把持容器F之上部之凸緣部23(參照圖1(B))而將容器F懸吊以進行搬送之移載裝置、或者把持容器F之側面以進行搬送之移載裝置。又，雖已於圖1中圖示有1台堆高式起重機5，但被配置於框體2內之堆高式起重機5亦可為2台以上。
保管棚架3係沿著高度方向(Z方向)排列配置有複數段，且沿著水平方向(X方向)排列配置有複數列。於複數個保管棚 架3分別可載置容器F。複數個保管棚架3分別為可保持藉由淨化裝置4A所淨化之容器F之棚架。再者，依據容器F之保管狀況，存在有於一部分保管棚架3未載置有容器F之情形。
於圖1(B)中作為容器F之一例而顯示有FOUP，容器F具備有於前面具有開口20之箱狀之本體部21、及封塞開口20之蓋部22。晶圓等物品係經由開口20而被收容於容器F之內部Fa(內部空間、收容空間)。於本體部21之上部設置有凸緣部23。本體部21係於其底面側具備有定位用之凹部(未圖示)。該凹部例如為自本體部21之底面之中心呈放射狀延伸之溝狀。於搬送容器F時，被設置於移載裝置13之載置台之定位用銷(未圖示)進入至該凹部，容器F便被定位於移載裝置13之載置台。
保管棚架3具有可供移載裝置13之載置台沿著鉛垂方向通行之切口(未圖示)。移載裝置13藉由使載置台自保管棚架3之上方通過切口部朝下方移動，而將容器F移載至保管棚架3之上表面。於保管棚架3之上表面設置有定位用銷(未圖示)。於將容器F載置於保管棚架3時，保管棚架3之上表面之銷進入至容器F之底面側之凹部，容器F便被定位於保管棚架3。容器F之本體部21係於底面側具備有氣體導入埠24及氣體排出埠25。
於氣體導入埠24，例如設置有導入口、過濾器及止回閥。導入口連通於本體部21之內部Fa與外部。導入口之內側為被供給至容器F之內部Fa之淨化氣體G1之流路，且過濾器係設置於該流路。過濾器例如為微粒過濾器，將通過導入口之氣體所包含之塵埃去除。氣體導入埠24之止回閥，抑制氣體自容器F之內部Fa經由導入口向外部流出。於氣體排出埠25，例如設置有排氣口、 止回閥及過濾器。排氣口連通於本體部21之內部Fa與外部。氣體排出埠25之止回閥，抑制氣體自容器F之外部經由排氣口向內部Fa流入。過濾器例如為微粒過濾器，將通過排氣口之氣體所包含之塵埃去除。通過排氣口之氣體，於淨化剛開始之後，淨化前之容器F之內部Fa之環境氣體之比率較高，而自淨化之開始隨著時間經過，淨化氣體G1之比率會變高。
淨化裝置4A具備有淨化噴嘴31、排氣噴嘴32、流量控制裝置33、狀態檢測部34、及淨化控制裝置35。淨化噴嘴31及排氣噴嘴32係設置於保管棚架3之上表面。淨化噴嘴31及排氣噴嘴32係於將容器F載置於保管棚架3時，分別以與導入口、排氣口連接之方式配置。容器F之導入口係於將容器F載置於保管棚架3時，經由淨化噴嘴31被連接於配管36，並進一步經由流量控制裝置33與氣體源37連接。排氣噴嘴32係經由配管38被連接於淨化氣體之排氣路徑(氣體排氣39)。
氣體源37供給淨化氣體G1。淨化氣體G1之種類係對應於被收容於容器F之收容物而選擇。例如，使用抑制收容物之氧化、抑制分子污染等之氣體、或使容器F內部之水分減少之氣體等。例如，於收容物為矽晶圓之情形時，使用氮氣等惰性氣體作為淨化氣體G1。藉由氮氣被供給至容器F之內部Fa，含有氧之環境氣體便自容器F之內部向外部被排出(去除)，從而抑制(防止)矽晶圓被氧化。又，於收容物為光罩之情形時，使用潔淨乾燥空氣(CDA，Clean Dry Air)等乾燥氣體作為淨化氣體G1。藉由潔淨乾燥空氣被供給至容器F之內部Fa，含有水分之環境氣體便自容器F之內部向外部被排出(去除)，從而抑制(防止)水分附著於光罩。氣 體源37既可為淨化倉儲1之一部分，亦可為淨化倉儲1外部之裝置，例如，亦可為設置淨化倉儲1之工廠之設備。
於淨化容器F時，來自氣體源37之淨化氣體G1便經由流量控制裝置33及配管36，自容器F之導入口被供給至內部Fa，而被填充至容器F之內部Fa。又，內部Fa之氣體便自排氣口被排出至容器F之外部，並經由配管38而藉由氣體排氣39被排出至外部。再者，氣體排氣39亦可設置藉由泵等抽吸氣體之裝置。又，容器F亦可不具備氣體排出埠25，於該情形時，淨化裝置4A亦可不具備排氣噴嘴32。例如，若容器F之內部Fa之壓力達到閾值以上，由於容器F之內部Fa之氣體便會自開口20與蓋部22之間隙等向外部洩漏，因此即便在沒有氣體排出埠25之情形時，亦可將容器F之內部Fa之氣體向外部排出。
流量控制裝置33對被連接於容器F之配管36(容器F之導入口與氣體源37之間之流路)之淨化氣體G1之流量進行控制。流量控制裝置33例如為質量流量控制器(mass flow controller)，且於其內部具有供淨化氣體G1流動之流路。於流量控制裝置33之內部之流路，例如設置利用自發熱型電阻器之流量計、及電磁閥等流量控制閥。流量控制裝置33根據流量計之測定結果而對電磁閥進行反饋控制，使其內部之淨化氣體G1之流量接近目標值。藉由流量控制裝置33控制配管36之淨化氣體之流量，而控制自氣體源37向淨化噴嘴31所供給之淨化氣體G1之流量。流量控制裝置33與淨化控制裝置35可通信地連接，且根據自淨化控制裝置35所供給之控制信號，來控制淨化氣體G1之流量。
淨化裝置4A可變更淨化對象之容器F，而對複數個 容器F反覆進行淨化。例如，在每個保管棚架3分別設置有淨化裝置4A之情形時，在容器F自保管棚架3被搬出後，其他之容器F被搬入至保管棚架3，淨化裝置4A可對該容器F進行淨化。又，在淨化裝置4A例如被設置於入出庫埠等之情形時，淨化裝置4A可依序對搬運至入出庫埠之容器F進行淨化。作為淨化裝置4A淨化之對象之容器F，只要為氣體導入埠24等之介面之平面位置與淨化裝置4A對齊之容器F即可，亦可為淨化特性(於後述)不同之複數種類之容器F。例如，容器F之種類，存在有即便為相同製造商製造者亦對應於收容物等而不同之情形，並存在有因製造商之不同而不同之情形。種類不同之容器F則存在有淨化特性不同之情形，於本實施形態中，淨化裝置4A係以對應於容器F之種類之淨化條件來進行淨化。
淨化特性係表示淨化條件與淨化狀態之關係之資訊、即表示可對應於淨化條件(與淨化相關之容器F之特性)之資訊。淨化條件為淨化氣體之流量、供給時間、總供給量等。於流量隨時間產生變化之情形時，流量之時間歷程亦為淨化條件之一，該情形時之總供給量便成為流量之時間積分。淨化狀態例如為供給壓、容器F之內部之淨化氣體之量或比率、容器F之內部之壓力、藉由淨化所去除之對象之物質(以下稱為去除對象物質)之濃度等。
淨化特性，例如依存於下述(A)、(B)、(C)之項目所包含之容器F之重要條件。(A)之項目係內部之容積、內部之形狀、氣體導入口之數量、氣體排出口之有無、氣體排出口之數量、容器F之密閉構造(例如本體部21與蓋部22之密封構造)等。(B)之項目係氣體導入口之面積(流路面積、內徑)、氣體排出口之面積(流路面 積、內徑)、微粒過濾器之壓損、微粒過濾器之面積等。(C)之項目係容器F之內部(例如內壁之表面)之材質等。前述之(A)、(C)例如對去除對象物質之容器F之濃度之時間歷程等會造成影響。去除對象物質例如為氧、水分等。前述之(A)、(C)之項目不同之容器F，例如，以一定之流量供給淨化氣體之情形時去除對象物質之濃度之下降方式、淨化氣體之供給停止後之去除對象物質之上升程度等不同。前述之(B)對淨化氣體之供給壓等會造成影響。此處，於前述之(A)~(C)之項目中之至少1個不同之情形時，將容器F之種類設為不同。
以下，對決定對應於容器F之種類之淨化條件之構成進行說明。淨化控制裝置35具備有種類檢測部41、淨化控制部42、及儲存部43。種類檢測部41係檢測淨化對象之容器F之種類。於本實施形態中，淨化裝置4A具備有檢測容器F之淨化狀態之狀態檢測部34，且種類檢測部41根據狀態檢測部34之檢測結果來檢測容器F之種類。狀態檢測部34包含壓力計44，而檢測(測定)配管36之淨化氣體G1之壓力來作為淨化狀態。壓力計44係設置於流量控制裝置33與淨化噴嘴31之間之淨化氣體G1之流路。壓力計44係測定淨化氣體G1被供給至淨化噴嘴31時之壓力(以下稱為供給壓)。於容器F之氣體導入埠24之導入口連接有淨化噴嘴31之狀態下，淨化氣體G1之供給壓會受到氣體導入埠24之壓損(壓力損失)之影響。因此，淨化氣體G1之供給壓成為相應於氣體導入埠24之構造之值、即對應於容器F之種類之值，而可將壓力計44之檢測結果利用於容器F之種類之檢測上。種類檢測部41例如根據將壓力(供給壓)與容器F之種類建立關聯所得到之特性資訊、及狀 態檢測部34(壓力計44)之檢測結果，來判別(檢測、限定、判定)容器F之種類。
圖2係淨化特性及特性資訊之說明圖，於圖2(A)中表示相對於淨化氣體之流量之供給壓之曲線圖，於圖2(B)中表示特性資訊D1之概念圖。圖2之符號A1、A2分別為容器F之種類，種類A1之容器F相較於種類A2之容器F，氣體導入埠24之壓損較大。例如，相較於種類A2之容器F，種類A1之容器F將流量設為Q1所需之供給壓較高。於圖2(B)中，特性資訊D1係以表資料之形式來表示。於特性資訊D1中，第1行係供給壓與流量之比率之範圍，第2行係對應於第1行之容器F之種類。例如，於特性資訊D1之第1列之P/Q在第1行之資料格之範圍內(k1a以上且k1b以下)之情形時，表示該容器F之種類為第2行之資料格之「A1」。第2列及其後亦同樣地，於供給壓與流量之比率在第1行之資料格之既定之範圍內之情形時，表示該容器F之種類為第2行之資料格之種類。如此之容器F之每一種類之特性，既可預先藉由試驗等做好調查，亦可根據標稱值(例如目錄值)來取得。特性資訊D1例如可藉由將容器F之每一種類之特性登錄於表資料等而製作。
返回至圖1之說明，種類檢測部41係取得壓力計44之檢測結果(供給壓P)。又，種類檢測部41例如取得供給至流量控制裝置33之流量之目標值，來作為流量Q。種類檢測部41算出所取得之P與Q之比率，並與特性資訊D1(參照圖2(B))進行比對，藉此判別容器F之種類。特性資訊D1係儲存於儲存部43，種類檢測部41係自儲存部43取得特性資訊D1，並將所算出之P與Q之比率與特性資訊D1進行比對，來判別容器F之種類。再者，特性 資訊D1亦可不被儲存於儲存部43，例如，種類檢測部41亦可經由網際網路線路等通信線路，而自外部之資料庫等取得特性資訊D1。又，圖2(B)所示之特性資訊D1之項目為一例，亦可為使用其他之參數者。
淨化控制部42根據種類檢測部41之檢測結果，來決定對於容器F之淨化條件。淨化條件包含被供給至容器F之淨化氣體G1之流量及供給時間。淨化控制部42根據將容器F之種類與淨化條件建立關聯所得到之條件資訊來決定淨化條件。淨化控制部42根據所決定之淨化條件控制流量控制裝置33。
圖3係淨化特性、條件資訊、及淨化條件之說明圖。圖3之符號A3、A4分別為容器F之種類。於圖3(A)中，概念性地顯示去除對象物質之濃度之時間歷程。於圖3(A)中，橫軸為開始供給淨化氣體後之時間，縱軸為容器F之內部之去除對象物質之濃度。於開始淨化氣體之供給經過時間t1後之時點，停止淨化氣體之供給。淨化氣體之流量，於種類A3、A4之任一者時均相同。於淨化氣體之供給開始至經過時間t1為止之期間，種類A3之容器F之去除對象物質，濃度之減少較種類A4之容器F顯著。例如，於種類A3之容器F之容積較種類A4之容器F小之情形時，種類A3之容器F，由於淨化氣體占容積之比例之增加較種類A4之容器F顯著，因此成為如此之淨化特性。又，於開始供給淨化氣體經過時間t1後之期間內，種類A3之容器F去除對象物質之濃度，會隨著時間經過而緩慢地增加，而種類A4之容器F去除對象物質之濃度之增加(斜率)，較種類A3更急遽。如此之淨化特性之不同，係於例如種類A3之容器F與種類A4之容器F材質不同之情形時所產 生。例如，在去除對象物質為水分，且種類A4之容器F相較於種類A3之容器F，內壁之水分之吸附量、吸收量較多之情形時，於淨化氣體之供給停止後自內壁被排出之水分之量會變多，而使去除對象物質之濃度之增加(斜率)加劇。
於圖3(B)中，條件資訊D2係以表資料之形式所表示。此處，以既定之流量供給淨化氣體而進行初期淨化，直至去除對象物質之濃度成為既定值以下為止，接著，以將去除對象物質之濃度維持在既定值以下之方式，變更淨化氣體之流量而進行維持淨化。於條件資訊D2中，第1行為容器F之種類(A1、A2、...、An)，第2行為初期淨化之流量(QA1、QA2、...、QAn)，第3行為初期淨化之時間(TA1、TA2、...、TAn)，第4行為維持淨化之流量(QB1、QB2、...、QBn)。例如，條件資訊D2之第3列表示在淨化對象之容器F之種類為A3之情形時，將初期淨化之淨化氣體之流量設定為QA3，將初期淨化之時間(持續時間)設定為TA3，並將維持淨化之淨化氣體之流量設定為QB3。關於第4列亦同樣地，表示在淨化對象之容器F之種類為A4之情形時，將初期淨化之流量設定為QA4，將初期淨化之時間設定為TA4，並將維持淨化之流量設定為QB4。
淨化控制部42(參照圖1)，例如在種類檢測部41所檢測出之容器F之種類為A3之情形時，按照條件資訊D2之第3列所表示之淨化條件來控制流量控制裝置33。例如，於容器F之種類為A3(參照圖3)之情形時，淨化控制部42將QA3作為淨化氣體之流量之目標值指定給流量控制裝置33，而開始初期淨化。又，於自初期淨化開始後之經過時間成為TA3之時間點，淨化控制部42便 將QB3作為淨化氣體之流量之目標值指定給流量控制裝置33，而開始維持淨化。又，於容器F之種類為A4(參照圖3)之情況下，淨化控制部42將QA4作為淨化氣體之流量之目標值指定給流量控制裝置33，而開始初期淨化。此處，QA4雖與QA3為大致相同之值，但亦可為與QA3不同之值。又，於自初期淨化開始後之經過時間成為TA4之時間點，淨化控制部42便將QB4作為淨化氣體之流量之目標值指定給流量控制裝置33，而開始維持淨化。於圖3(A)中，種類A4之容器F相較於種類A3之容器F，去除對象物質之濃度減少之斜率較小，且對於種類A4之容器F之初期淨化之時間TA4，係設定為較對於種類A3之容器F之初期淨化之時間TA3長之值。又，於圖3(A)中，種類A4之容器F相較於種類A3之容器F，淨化氣體之供給停止後之去除對象物質之濃度增加之斜率較大，且對於種類A4之容器F之維持淨化之流量QB4係設定為較對於種類A3之容器F之維持淨化之流量QB3多之值。
返回至圖1之說明，淨化控制部42取得種類檢測部41所檢測出之容器F之種類，並取得條件資訊D2(參照圖3(B))。條件資訊D2係儲存於儲存部43，淨化控制部42自儲存部43取得條件資訊D2，並將容器F之種類與條件資訊D2進行比對來決定淨化條件。再者，條件資訊D2亦可不儲存於儲存部43，例如，種類檢測部41亦可經由網際網路線路等通信線路，而自外部之資料庫等取得條件資訊D2。又，圖3(B)所示之條件資訊之項目為一例，亦可包含對應於供給壓之條件。例如，亦可根據容器F之種類，將考量過氣體導入埠24所容許之供給壓之流量之上限值規定為條件資訊。
倉儲控制裝置6係藉由對淨化控制裝置35供給控制指令，而控制淨化裝置4A。倉儲控制裝置6控制堆高式起重機5，使其將淨化對象之容器F搬送至淨化裝置4A，並控制該淨化裝置4A，使其執行對容器F之淨化。於保管棚架3設置有用以檢測載置有容器F之情形之就位感測器45，淨化控制裝置35係根據就位感測器45之檢測結果而開始進行淨化。就位感測器45係按鈕感測器等之接觸型感測器，藉由被容器F之底面按下，而檢測容器F被載置於保管棚架3之情形。就位感測器45係與淨化控制裝置35可通信地被連接，並將其檢測結果供給至淨化控制裝置35。
於倉儲控制裝置6連接有輸入部及顯示部。該輸入部例如為操作面板、觸控面板、鍵盤、滑鼠、軌跡球等。輸入部檢測來自操作員之輸入，並將所輸入之資訊供給至倉儲控制裝置。又，前述之顯示部例如為液晶顯示器等，顯示自倉儲控制裝置6所供給之圖像。例如，倉儲控制裝置6係使表示淨化倉儲1之動作狀況、各種設定、淨化之狀態之圖像等顯示於顯示部。
其次，根據前述之淨化裝置4A之動作，對實施形態之淨化方法進行說明。圖4(A)係表示實施形態之淨化方法之流程圖，圖4(B)係表示圖4(A)之步驟S1之處理之一例的流程圖。於步驟S1中，種類檢測部41檢測淨化對象之容器F之種類。如圖4(B)所示，於步驟S1中之步驟S11，淨化控制部42控制流量控制裝置33，而將淨化氣體之流量設定為既定值。於步驟S12中，狀態檢測部34(壓力計44)係於淨化氣體之流量被設定為既定值之狀態下，檢測淨化氣體之壓力(供給壓)。於步驟S13中，種類檢測部41將壓力之檢測結果與特性資訊D1進行比對，而判別容器F之種類。再者， 種類檢測部41亦可利用其他方法來檢測容器F之種類，關於其他方法，將於第2實施形態及其後進行說明。返回至圖4(A)之說明，於步驟S2中，淨化控制部42根據容器F之種類來決定淨化條件。例如，淨化控制部42藉由將種類檢測部41所檢測出之容器F之種類與條件資訊D2進行比對，來決定對應於容器F之種類之淨化條件。於步驟S3中，淨化控制部42根據在步驟S2所決定之淨化條件，來控制流量控制裝置33而執行淨化。
[第2實施形態]
對第2實施形態進行說明。於本實施形態中，對於與前述之實施形態相同之構成，適當地標示相同之符號並省略或簡化其說明。圖5(A)係表示本實施形態之淨化裝置4B之圖，圖5(B)係表示容器F之識別碼51之圖。淨化裝置4B具備有對被設置於容器F之識別碼51(參照圖5(B))進行檢測之感測器52。此處，作為識別碼51，使用被設置於容器F之底面之資訊板51a~51d中之至少1個。資訊板51a~51d各自之位置係由規格所規定，並不取決於容器之種類。資訊板51a~51d分別以蓋是否被嵌入至開口形狀為圓形之凹部、即以在資訊板51a~51d之各平面位置之底面之高度，來表示容器F之資訊(規格、規範等資訊)。資訊板51a表示載體容量(例如可收容之晶圓之數量)。資訊板51b表示載體類型(例如匣、盒)。資訊板51c、51d擇一地表示載體為前段製程(FEOL；Front-End-Of-Line)專用或後段製程(BEOL；Back-End-Of-Line)專用。前段製程為較可能發生金屬污染之步驟以前之步驟，後段製程為較可能發生金屬污染之步驟以後之步驟。
感測器52例如為按鈕感測器等之接觸式感測器，被配置於資訊板51a~51d各自之平面位置。例如，於蓋被嵌入表示載體容量之資訊板51a之凹部之情形時，感測器52被蓋所按下，而於蓋未被嵌入凹部之情形時，感測器52因進入至凹部內而未被按下。如此，可藉由感測器是否被按下，而檢測出可收容於容器F之晶圓之片數為13片或25片。感測器52係與淨化控制裝置35可通信地被連接，並將其檢測結果供給至淨化控制裝置35。再者，感測器52亦可為光學感測器或靜電電容感測器等之非接觸感測器。
於本實施形態中，種類檢測部41係根據對被設置於容器F之識別碼51進行檢測之感測器52之檢測結果、及將識別碼51與容器F之種類建立關聯所得到之識別碼資訊，來判別容器F之種類。識別碼資訊例如為將資訊板51a~51d之狀態與容器F之種類建立關聯所得到之表資料。此處，以「1」來表示蓋被嵌入之狀態，而以「0」來表示蓋未被嵌入之狀態。資訊板51a~51d之狀態係使用前述之「0」、「1」，而以(1、0、0、1)等4位元之資料來表示。於識別碼資訊中，例如將資訊板51a~51d之狀態(例如(1、0、0、1))與該容器F之種類(例如圖3(B)之種類A3)建立關聯。如此之識別碼資訊係儲存於儲存部43。種類檢測部41自儲存部43取得識別碼資訊，並將感測器52之檢測結果(資訊板51a~51d之狀態)與識別碼資訊進行比對，藉此判別容器F之種類。淨化控制部42係根據種類檢測部41所判別出之容器F之種類，來決定淨化條件。又，淨化控制部42係根據所決定之淨化條件來控制流量控制裝置33，而執行淨化。
[第3實施形態]
對第3實施形態進行說明。於本實施形態中，對於與前述之實施形態相同之構成，適當地標示相同之符號並省略或簡化其說明。圖6係表示本實施形態之淨化裝置4C之圖。淨化裝置4C具備有對被設置於容器F之識別碼55進行檢測之感測器56。於第2實施形態中，雖使用平板(資訊板51a~51d)作為識別碼51，但於本實施形態中，作為識別碼55，使用被分配給容器F之固有之編碼。該編碼例如為「015...」、「A27...」等以既定數之數字、英文、符號、或該等之組合等來表示，且以數個容器F不重複之方式所分配。該編碼係收容於被設置在容器F之識別構件57，感測器56係自識別構件57取得編碼。例如，識別構件57為射頻識別(RFID；Radio Frequency Identification)標籤、條碼、快速回應(QR；Quick Response)碼(註冊商標)，感測器56係讀取器。感測器56例如在可對容器F與淨化裝置4A進行淨化地加以連接之狀態下，被設置於可自識別構件57讀取編碼之位置。於圖6中，感測器56係配置於保管棚架3中進行淨化之位置之附近。
感測器56係與倉儲控制裝置6可通信地被連接，並將其檢測結果(識別碼55之編碼)供給至倉儲控制裝置6。倉儲控制裝置6將自感測器56所取得之編碼，利用於容器F之管理。例如，倉儲控制裝置6根據該編碼，來管理容器F之搬入來源、搬入目的地、收容物等資訊。又，感測器56係與淨化控制裝置35可通信地被連接，並將其檢測結果(識別碼55之編碼)供給至淨化控制裝置35。種類檢測部41根據所取得之編碼，來檢測容器F之種類。例如，容器F之編碼，在其開頭為「0」之情形時容器F之種類為A3(參 照圖3(B))，而於編碼之開頭為「A」之情形時容器F之種類為A4般，係以既定位數之數字、文字、符號等來表示容器F之種類之方式被預先設定。種類檢測部41根據既定位數之數字、文字、符號中之任一者、或該等之組合，來判別容器F之種類。淨化控制部42根據種類檢測部41所判別出之容器F之種類，來決定淨化條件。又，淨化控制部42根據所決定之淨化條件來控制流量控制裝置33，而執行淨化。再者，感測器56既可不與倉儲控制裝置6連接，亦可不將其檢測結果供給至倉儲控制裝置6。
[第4實施形態]
對第4實施形態進行說明。於本實施形態中，對於與前述之實施形態相同之構成，適當地標示相同之符號並省略或簡化其說明。圖7係表示本實施形態之淨化裝置4D之圖。於第3實施形態中，感測器56雖被設置於保管棚架3，但於本實施形態中，感測器56係設置於與保管棚架3不同之位置。於圖7中，感測器56係配置於可載置容器F之載置處PS。載置處PS既可為淨化倉儲1之入出庫埠，亦可為高架搬送裝置之臨時放置處(例如，高架緩衝區(OHB)、軌側倉儲(STS)、軌下倉儲(UTS))、處理(使用)容器F之收容物之處理裝置之臨時放置處(工具緩衝區)、更換容器F之收容物之變換器等中之任一者。感測器56係與淨化控制裝置35可通信地被連接，並將其檢測結果(識別碼55之碼)供給至淨化控制裝置35。種類檢測部41根據所取得之編碼，來檢測容器F之種類。淨化控制部42根據種類檢測部41所判別出之容器F之種類，來決定淨化條件。又，淨化控制部42藉由所決定之淨化條件來控制流量控制 裝置33，而執行淨化。
再者，感測器56既可被設置於容器F之搬送路徑之任一位置，亦可取代自被載置於載置處PS之容器F之識別碼55讀取編碼，而自搬送中之容器F之識別碼55讀取編碼。又，感測器56之數量亦可為任意，並於搬送路徑上設置複數個感測器56。感測器56既可由淨化裝置4A所具備，亦可由淨化裝置4A之其他裝置(例如倉儲控制裝置6、搬送裝置)所具備。又，感測器56亦可如第3實施形態般與倉儲控制裝置6連接，並將其檢測結果供給至倉儲控制裝置6。又，亦可併用如本實施形態般使用識別碼者與如第1實施形態般使用所檢測出之淨化特性者。
於前述之實施形態中，淨化控制裝置35例如包含電腦系統。淨化控制裝置35係讀出被儲存於儲存部43之程式，並按照該程式執行各種處理。該程式例如使電腦執行檢測淨化對象之容器F之種類、及根據檢測結果來決定對容器F之淨化條件。該程式亦可以被記錄於電腦可讀取之儲存媒體之狀態被提供。又，於法令所容許之範圍內，可援用日本專利申請案之日本專利特願2015-165521及前述之實施形態等所引用之所有文獻之內容，來作為本文之記載之一部分。
1‧‧‧淨化倉儲
2‧‧‧框體
2a‧‧‧內部空間
3‧‧‧棚架
4‧‧‧淨化裝置
4A‧‧‧淨化裝置
5‧‧‧堆高式起重機
6‧‧‧倉儲控制裝置
10‧‧‧移行台車
11‧‧‧支撐柱
12‧‧‧支撐台
13‧‧‧移載裝置
14‧‧‧車輪
15‧‧‧軌道
20‧‧‧開口
21‧‧‧本體部
22‧‧‧蓋部
23‧‧‧凸緣部
24‧‧‧氣體導入埠
25‧‧‧氣體排出埠
31‧‧‧淨化噴嘴
32‧‧‧排氣噴嘴
33‧‧‧流量控制裝置
34‧‧‧狀態檢測部
35‧‧‧淨化控制裝置
36‧‧‧配管
37‧‧‧氣體源
38‧‧‧配管
39‧‧‧氣體排氣
41‧‧‧種類檢測部
42‧‧‧淨化控制部
43‧‧‧儲存部
44‧‧‧壓力計
45‧‧‧就位感測器
F‧‧‧容器
Fa‧‧‧容器F之內部
G1‧‧‧淨化氣體

Claims (9)

  1. 一種淨化裝置，其具備有：種類檢測部，其檢測淨化對象之容器之種類；淨化控制部，其根據上述種類檢測部之檢測結果，決定對上述容器之淨化條件；狀態檢測部，其檢測上述容器之淨化狀態；及流量控制裝置，其對被連接於上述容器之配管之淨化氣體之流量進行控制；且上述狀態檢測部檢測上述配管之淨化氣體之壓力，來作為上述淨化狀態，上述種類檢測部根據以上述狀態檢測部所檢測出之壓力為基礎所得到之上述容器之淨化特性，來檢測上述容器之種類。
  2. 如請求項1之淨化裝置，其中，上述種類檢測部根據將上述壓力與上述容器之種類建立關聯所得到之特性資訊、及上述狀態檢測部之檢測結果，來判別上述容器之種類。
  3. 如請求項1或2之淨化裝置，其中，上述種類檢測部根據檢測被設置於上述容器之識別碼之感測器之檢測結果、及將上述識別碼與上述容器之種類建立關聯所得到之識別碼資訊，來判別上述容器之種類。
  4. 如請求項3之淨化裝置，其中，使用被分配給上述容器之固有之編碼，作為上述識別碼。
  5. 如請求項3之淨化裝置，其中，使用被設置於上述容器之底面之資訊板，作為上述識別碼。
  6. 如請求項1或2之淨化裝置，其中，其具備有對被供給至上述 容器之淨化氣體之流量進行控制的流量控制裝置，且上述淨化控制部根據將上述容器之種類與上述淨化條件建立關聯所得到之條件資訊來決定上述淨化條件，並根據所決定之上述淨化條件來控制上述流量控制裝置。
  7. 如請求項1或2之淨化裝置，其中，上述淨化條件包含對上述容器所供給之淨化氣體之流量及供給時間。
  8. 一種淨化倉儲，其具備有：請求項1或2所記載之淨化裝置；及棚架，其保持藉由上述淨化裝置所淨化之上述容器。
  9. 一種淨化方法，其包含如下：對淨化對象之容器之種類進行檢測；根據上述檢測之結果，來決定對上述容器之淨化條件；對上述容器之淨化狀態進行檢測；及對被連接於上述容器之配管之淨化氣體之流量進行控制；且檢測上述配管之淨化氣體之壓力，來作為上述容器之淨化狀態，根據以上述所檢測出之壓力為基礎所得到之上述容器之淨化特性，來檢測上述容器之種類。
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