JPWO2017033546A1 - パージ装置、パージストッカ、及びパージ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パージ装置(4A)は、パージ対象の容器(F)の種類を検出する種類検出部(41)と、種類検出部の検出結果に基づいて、容器に対するパージ条件を決定するパージ制御部(42)と、を備える。
Description
図1(A)は、本実施形態に係るパージストッカ1の一例を示す図、図1(B)は容器Fおよびパージ装置4Aの一例を示す図である。パージストッカ1は、例えば、半導体素子の製造に用いられるウェハあるいはレチクルなどの物品を収容する容器Fを保管する自動倉庫である。容器Fは、例えば、FOUP、SMIF Pod、レチクルPodなどである。レチクルは、液浸露光装置に用いられるものでもよいし、EUV露光装置に用いられるものでもよい。
第2実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、適宜、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図5(A)は、本実施形態に係るパージ装置4Bを示す図であり、図5(B)は、容器Fの識別子51を示す図である。パージ装置4Bは、容器Fに設けられる識別子51(図5(B)参照)を検出するセンサ52を備える。ここでは、識別子51として、容器Fの底面に設けられるインフォパッド51a〜51dの少なくとも1つを用いる。インフォパッド51a〜51dのそれぞれの位置は規格で規定されており、容器の種類に依らない。インフォパッド51a〜51dは、それぞれ、開口形状が円形の凹部にキャップが嵌め込まれるか否か、すなわちインフォパッド51a〜51dの各平面位置での底面の高さで容器Fの情報(スペック、諸元などの情報)を表す。インフォパッド51aは、キャリア容量(例、収容可能なウエハの数)を表す。インフォパッド51bは、キャリアタイプ(例、カセット、ボックス)を表す。インフォパッド51c、51dは、キャリアが前工程(FEOL)専用であるか、後工程(BEOL)専用であるかを択一的に表す。前工程は、金属汚染が発生しうる工程よりも前の工程であり、後工程は、金属汚染が発生しうる工程よりも後の工程である。
第3実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、適宜、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図6は、本実施形態に係るパージ装置4Cを示す図である。パージ装置4Cは、容器Fに設けられる識別子55を検出するセンサ56を備える。第2実施形態では識別子51としてパッド(インフォパッド51a〜51d)を用いるが、本実施形態では、識別子55として、容器Fに割り付けられた固有のコードを用いる。このコードは、例えば、「015・・・・」、「A27・・・・」などのように所定数の数字、英文字、記号、あるいはこれらの組み合わせなどで表され、複数の容器Fで重複しないように割り付けられる。このコードは、容器Fに設けられる識別部材57に収められ、センサ56は識別部材57からコードを取得する。例えば、識別部材57は、RFIDタグ、バーコード、QRコード(登録商標)であり、センサ56はリーダである。センサ56は、例えば、容器Fとパージ装置4Aとがパージ可能に接続された状態において、識別部材57からコードを読み取り可能な位置に設けられる。図6において、センサ56は、保管棚3においてパージが行われる位置の近傍に配置される。
第4実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、適宜、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図7は、本実施形態に係るパージ装置4Dを示す図である。第3実施形態では、センサ56が保管棚3に設けられるが、本実施形態において、センサ56は、保管棚3と別の場所に設けられる。図7において、センサ56は、容器Fを載置可能な載置場所PSに配置される。載置場所PSは、パージストッカ1の入出庫ポートでもよいし、天井搬送装置の仮置き場(例、オーバヘッドバッファ;OHB、サイドトラックストレージ;STS、アンダートラックストレージ;UTS)、容器Fの収容物を処理する(用いる)処理装置の仮置き場(ツールバッファ)、容器Fの収容物を入れ替えるチェンジャ等のいすれでもよい。センサ56は、パージ制御装置35と通信可能に接続され、その検出結果(識別子55のコード)をパージ制御装置35に供給する。種類検出部41は、取得したコードに基づいて、容器Fの種類を検出する。パージ制御部42は、種類検出部41が判別した容器Fの種類に基づいて、パージ条件を決定する。また、パージ制御部42は、決定したパージ条件により流量制御装置33を制御し、パージを実行する。
3 保管棚
4A、4B、4C、4D パージ装置
F 容器
33 流量制御装置
34 状態検出部
36 配管
41 種類検出部
42 パージ制御部
51、55識別子
51a、51b、51c、51d インフォパッド
52、56センサ
D1 特性情報
D2 条件情報
G1 パージガス
Claims (11)
- パージ対象の容器の種類を検出する種類検出部と、
前記種類検出部の検出結果に基づいて、前記容器に対するパージ条件を決定するパージ制御部と、を備えるパージ装置。 - 前記容器のパージ状態を検出する状態検出部を備え、
前記種類検出部は、前記状態検出部の検出結果に基づいて、前記容器の種類を検出する、請求項1に記載のパージ装置。 - 前記容器に接続される配管におけるパージガスの流量を制御する流量制御装置を備え、
前記状態検出部は、前記パージ状態として、前記配管におけるパージガスの圧力を検出し、
前記種類検出部は、前記状態検出部が検出した圧力をもとに得られる前記容器のパージ特性に基づいて、前記容器の種類を検出する、請求項2に記載のパージ装置。 - 前記種類検出部は、前記圧力と前記容器の種類とを関連付けた特性情報、及び前記状態検出部の検出結果に基づいて、前記容器の種類を判別する、請求項3に記載のパージ装置。
- 前記種類検出部は、前記容器に設けられる識別子を検出するセンサの検出結果、及び前記識別子と前記容器の種類とを関連付けた識別子情報に基づいて、前記容器の種類を判別する、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のパージ装置。
- 前記識別子として、前記容器に割り付けられた固有のコードを用いる、請求項5に記載のパージ装置。
- 前記識別子として、前記容器の底面に設けられるインフォパッドを用いる、請求項5に記載のパージ装置。
- 前記容器に供給されるパージガスの流量を制御する流量制御装置を備え、
前記パージ制御部は、前記容器の種類と前記パージ条件とを関連付けた条件情報に基づいて前記パージ条件を決定し、決定した前記パージ条件に基づいて前記流量制御装置を制御する、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のパージ装置。 - 前記パージ条件は、前記容器に供給されるパージガスの流量および供給時間を含む、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のパージ装置。
- 請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載のパージ装置と、
前記パージ装置によりパージされた前記容器を保持する棚と、を備えるパージストッカ。 - パージ対象の容器の種類を検出することと、
前記検出の結果に基づいて、前記容器に対するパージ条件を決定することと、を含むパージ方法。
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