JPH10321714A - 密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法 - Google Patents
密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法Info
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- JPH10321714A JPH10321714A JP9145922A JP14592297A JPH10321714A JP H10321714 A JPH10321714 A JP H10321714A JP 9145922 A JP9145922 A JP 9145922A JP 14592297 A JP14592297 A JP 14592297A JP H10321714 A JPH10321714 A JP H10321714A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 雰囲気を極めて短い時間で且つ完全に置換す
ることができる密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲
気置換装置及び雰囲気置換方法を提供する。 【解決手段】 可搬式密閉コンテナ１１の筐体１５の互
いに対向する内側面に沿って拡がる拡散板３１に小孔が
設けられているので、窒素供給管２５から窒素を供給す
ると共に排気管２７から雰囲気を排出すると、層流であ
る窒素の流れ２９が形成される。このため、可搬式密閉
コンテナ１１を満たしていた雰囲気と窒素とが混合しに
くく、雰囲気が窒素に押されて効率的に排出されると共
に、窒素が極めて短い時間で可搬式密閉コンテナ１１内
の隅々まで行き渡る。
ることができる密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲
気置換装置及び雰囲気置換方法を提供する。 【解決手段】 可搬式密閉コンテナ１１の筐体１５の互
いに対向する内側面に沿って拡がる拡散板３１に小孔が
設けられているので、窒素供給管２５から窒素を供給す
ると共に排気管２７から雰囲気を排出すると、層流であ
る窒素の流れ２９が形成される。このため、可搬式密閉
コンテナ１１を満たしていた雰囲気と窒素とが混合しに
くく、雰囲気が窒素に押されて効率的に排出されると共
に、窒素が極めて短い時間で可搬式密閉コンテナ１１内
の隅々まで行き渡る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願の発明は、密閉コンテナ
並びにこの密閉コンテナ内の雰囲気を置換するための密
閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法に関す
るものである。
並びにこの密閉コンテナ内の雰囲気を置換するための密
閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置や液晶装置や磁気ディスク等
の電子基板は塵埃のないクリーンルーム内で製造され、
クリーンルーム内での工程間における電子基板の搬送
は、有機物やホウ素やリン等の分子が電子基板に吸着す
ることによる汚染を防止するために、電子基板を収容し
たカセットを可搬式密閉コンテナ内に収容した状態で行
う。
の電子基板は塵埃のないクリーンルーム内で製造され、
クリーンルーム内での工程間における電子基板の搬送
は、有機物やホウ素やリン等の分子が電子基板に吸着す
ることによる汚染を防止するために、電子基板を収容し
たカセットを可搬式密閉コンテナ内に収容した状態で行
う。
【０００３】更に、近年では、有機物等の分子が電子基
板に吸着することによる汚染を防止するのみならず、電
子基板の表面に自然酸化膜が成長すること等をも防止す
るために、内部の雰囲気を窒素やアルゴン等の不活性ガ
スで置換して酸素濃度を低減させた可搬式密閉コンテナ
内にカセットを収容し、この状態で電子基板を搬送する
様にしている。
板に吸着することによる汚染を防止するのみならず、電
子基板の表面に自然酸化膜が成長すること等をも防止す
るために、内部の雰囲気を窒素やアルゴン等の不活性ガ
スで置換して酸素濃度を低減させた可搬式密閉コンテナ
内にカセットを収容し、この状態で電子基板を搬送する
様にしている。
【０００４】図５は、半導体装置の製造工程で用いられ
る半導体ウェハ用可搬式密閉コンテナと半導体ウェハの
洗浄装置とこの洗浄装置に搭載されている可搬式密閉コ
ンテナ用雰囲気置換装置とを示している。可搬式密閉コ
ンテナ１１では、半導体ウェハ１２を収容するカセット
１３が底板１４上に載置され、底板１４と筐体１５とが
嵌合することによって密閉空間が形成されている。
る半導体ウェハ用可搬式密閉コンテナと半導体ウェハの
洗浄装置とこの洗浄装置に搭載されている可搬式密閉コ
ンテナ用雰囲気置換装置とを示している。可搬式密閉コ
ンテナ１１では、半導体ウェハ１２を収容するカセット
１３が底板１４上に載置され、底板１４と筐体１５とが
嵌合することによって密閉空間が形成されている。
【０００５】雰囲気置換装置１６の上面には開口１７が
設けられており、この開口１７の周囲が可搬式密閉コン
テナ１１用の載置台１８になっている。載置台１８上に
可搬式密閉コンテナ１１が載置されると、エレベータ１
９で底板１４及びカセット１３を下降させて筐体１５の
みを開口１７上に残す。そして、カセット１３から半導
体ウェハ１２が一枚ずつ取り出され、これらの半導体ウ
ェハ１２が洗浄装置２１内へ搬送される。
設けられており、この開口１７の周囲が可搬式密閉コン
テナ１１用の載置台１８になっている。載置台１８上に
可搬式密閉コンテナ１１が載置されると、エレベータ１
９で底板１４及びカセット１３を下降させて筐体１５の
みを開口１７上に残す。そして、カセット１３から半導
体ウェハ１２が一枚ずつ取り出され、これらの半導体ウ
ェハ１２が洗浄装置２１内へ搬送される。
【０００６】洗浄装置２１内には洗浄カップ２２が設け
られており、洗浄チャック２３及び洗浄ノズル２４が洗
浄カップ２２内に設けられている。洗浄装置２１で洗浄
された半導体ウェハ１２は密閉空間内を搬送されて雰囲
気置換装置１６内のカセット１３に戻され、底板１４及
びカセット１３がエレベータ１９で上昇する。
られており、洗浄チャック２３及び洗浄ノズル２４が洗
浄カップ２２内に設けられている。洗浄装置２１で洗浄
された半導体ウェハ１２は密閉空間内を搬送されて雰囲
気置換装置１６内のカセット１３に戻され、底板１４及
びカセット１３がエレベータ１９で上昇する。
【０００７】底板１４が開口１７を閉塞して底板１４と
筐体１５とで密閉空間を形成する直前にエレベータ１９
が一旦停止して、雰囲気置換装置１６が可搬式密閉コン
テナ１１内の雰囲気を窒素で置換する。可搬式密閉コン
テナ１１内の酸素濃度が所定の値、例えば１０ｐｐｍに
なると、エレベータ１９が再び上昇し底板１４と筐体１
５とが嵌合して密閉空間を形成する。
筐体１５とで密閉空間を形成する直前にエレベータ１９
が一旦停止して、雰囲気置換装置１６が可搬式密閉コン
テナ１１内の雰囲気を窒素で置換する。可搬式密閉コン
テナ１１内の酸素濃度が所定の値、例えば１０ｐｐｍに
なると、エレベータ１９が再び上昇し底板１４と筐体１
５とが嵌合して密閉空間を形成する。
【０００８】その後、可搬式密閉コンテナ１１は、雰囲
気置換装置１６から取り外され、酸化装置や膜形成装置
等の次工程の装置へ搬送される。この次工程の装置でも
密閉空間内で半導体ウェハ１２が処理され、また、各工
程間では、フィルタリングされて精製された清浄な窒素
で雰囲気が置換された可搬式密閉コンテナ１１に収容さ
れて半導体ウェハ１２が搬送される。
気置換装置１６から取り外され、酸化装置や膜形成装置
等の次工程の装置へ搬送される。この次工程の装置でも
密閉空間内で半導体ウェハ１２が処理され、また、各工
程間では、フィルタリングされて精製された清浄な窒素
で雰囲気が置換された可搬式密閉コンテナ１１に収容さ
れて半導体ウェハ１２が搬送される。
【０００９】図６は、一従来例の可搬式密閉コンテナ１
１と一従来例の雰囲気置換装置１６の要部とを示してい
る。この一従来例の雰囲気置換装置１６における開口１
７の周囲の一部に窒素供給管２５の一端部が位置してお
り、窒素供給管２５の他端部は給気弁２６を介して窒素
ガスラインに接続されている。開口１７の周囲のうちで
窒素供給管２５の一端部とは反対側には排気管２７の一
端部が位置しており、排気管２７の他端部は排気弁２８
を介して排気ダクトに接続されている。
１と一従来例の雰囲気置換装置１６の要部とを示してい
る。この一従来例の雰囲気置換装置１６における開口１
７の周囲の一部に窒素供給管２５の一端部が位置してお
り、窒素供給管２５の他端部は給気弁２６を介して窒素
ガスラインに接続されている。開口１７の周囲のうちで
窒素供給管２５の一端部とは反対側には排気管２７の一
端部が位置しており、排気管２７の他端部は排気弁２８
を介して排気ダクトに接続されている。
【００１０】可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素
で置換するために、上述の様に底板１４が開口１７を閉
塞して底板１４と筐体１５とで密閉空間を形成する直前
にエレベータ１９が停止すると、給気弁２６及び排気弁
２８が開けられる。この結果、窒素ガスラインから窒素
供給管２５を通って可搬式密閉コンテナ１１内へ窒素が
供給され、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気は排気管
２７を通って外部へ追い出されて、可搬式密閉コンテナ
１１内の雰囲気の酸素濃度が低下する。その後、給気弁
２６及び排気弁２８が閉じられる。
で置換するために、上述の様に底板１４が開口１７を閉
塞して底板１４と筐体１５とで密閉空間を形成する直前
にエレベータ１９が停止すると、給気弁２６及び排気弁
２８が開けられる。この結果、窒素ガスラインから窒素
供給管２５を通って可搬式密閉コンテナ１１内へ窒素が
供給され、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気は排気管
２７を通って外部へ追い出されて、可搬式密閉コンテナ
１１内の雰囲気の酸素濃度が低下する。その後、給気弁
２６及び排気弁２８が閉じられる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図６中に示
す様に、一従来例の可搬式密閉コンテナ１１及び雰囲気
置換装置１６では、可搬式密閉コンテナ１１内における
窒素の流れ２９が乱流であり、可搬式密閉コンテナ１１
を満たしていた雰囲気と窒素供給管２５から供給された
窒素とが混合していた。このため、可搬式密閉コンテナ
１１を満たしていた雰囲気が排気管２７から効率的には
排出されず、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素
で置換するために長時間を要し、しかも、可搬式密閉コ
ンテナ１１内の雰囲気を窒素で完全に置換することが困
難であった。
す様に、一従来例の可搬式密閉コンテナ１１及び雰囲気
置換装置１６では、可搬式密閉コンテナ１１内における
窒素の流れ２９が乱流であり、可搬式密閉コンテナ１１
を満たしていた雰囲気と窒素供給管２５から供給された
窒素とが混合していた。このため、可搬式密閉コンテナ
１１を満たしていた雰囲気が排気管２７から効率的には
排出されず、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素
で置換するために長時間を要し、しかも、可搬式密閉コ
ンテナ１１内の雰囲気を窒素で完全に置換することが困
難であった。
【００１２】可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気の置換
に長時間を要すると、半導体装置の製造時間が長くなる
のみならず、窒素供給管２５から供給すべき窒素の量も
多くなって、半導体装置の製造コストが高くなる。ま
た、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で完全に
置換することができないと、搬送中における有機物等の
吸着による汚染や自然酸化膜の成長等の可能性が高くな
り、半導体装置の電気的特性等の品質が低下することに
よる歩留りの低下によっても、半導体装置の製造コスト
が高くなる。
に長時間を要すると、半導体装置の製造時間が長くなる
のみならず、窒素供給管２５から供給すべき窒素の量も
多くなって、半導体装置の製造コストが高くなる。ま
た、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で完全に
置換することができないと、搬送中における有機物等の
吸着による汚染や自然酸化膜の成長等の可能性が高くな
り、半導体装置の電気的特性等の品質が低下することに
よる歩留りの低下によっても、半導体装置の製造コスト
が高くなる。
【００１３】従って、本願の発明は、雰囲気を極めて短
い時間で且つ完全に置換することができる密閉コンテナ
並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方
法を提供することを目的としている。
い時間で且つ完全に置換することができる密閉コンテナ
並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方
法を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る密閉コン
テナは、互いに対向する第１及び第２の内面を有する筐
体部と、前記第１及び第２の内面に垂直に板状体を保持
すると共に前記筐体部と嵌合して密閉空間を形成する基
部とを具備する密閉コンテナにおいて、前記第１及び第
２の内面に沿って夫々広がる第１及び第２の壁部と、前
記第１及び第２の壁部に設けられており前記第１及び第
２の内面に沿って夫々分布する複数の通気孔とを具備す
ることを特徴としている。
テナは、互いに対向する第１及び第２の内面を有する筐
体部と、前記第１及び第２の内面に垂直に板状体を保持
すると共に前記筐体部と嵌合して密閉空間を形成する基
部とを具備する密閉コンテナにおいて、前記第１及び第
２の内面に沿って夫々広がる第１及び第２の壁部と、前
記第１及び第２の壁部に設けられており前記第１及び第
２の内面に沿って夫々分布する複数の通気孔とを具備す
ることを特徴としている。
【００１５】この様に、請求項１に係る密閉コンテナで
は、筐体部の互いに対向する第１及び第２の内面に沿っ
て第１及び第２の壁部が夫々広がっており、第１及び第
２の内面に沿って夫々分布する複数の通気孔が第１及び
第２の壁部に設けられているので、第１の内面と第１の
壁部との間に雰囲気を供給すると共に第２の内面と第２
の壁部との間から雰囲気を排出すると、基部に保持され
ている板状体に平行に第１の内面から第２の内面へ向か
う雰囲気の層流が形成される。
は、筐体部の互いに対向する第１及び第２の内面に沿っ
て第１及び第２の壁部が夫々広がっており、第１及び第
２の内面に沿って夫々分布する複数の通気孔が第１及び
第２の壁部に設けられているので、第１の内面と第１の
壁部との間に雰囲気を供給すると共に第２の内面と第２
の壁部との間から雰囲気を排出すると、基部に保持され
ている板状体に平行に第１の内面から第２の内面へ向か
う雰囲気の層流が形成される。
【００１６】このため、密閉コンテナを満たしていた雰
囲気と新たに供給された雰囲気とが混合しにくく、密閉
コンテナを満たしていた雰囲気が新たに供給された雰囲
気に押されて効率的に排出されると共に、新たに供給さ
れた雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅々ま
で行き渡る。
囲気と新たに供給された雰囲気とが混合しにくく、密閉
コンテナを満たしていた雰囲気が新たに供給された雰囲
気に押されて効率的に排出されると共に、新たに供給さ
れた雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅々ま
で行き渡る。
【００１７】請求項２に係る密閉コンテナは、請求項１
に係る密閉コンテナにおいて、前記嵌合状態で前記第１
及び第２の壁部に夫々対向する第３及び第４の壁部が前
記基部に設けられていることを特徴としている。
に係る密閉コンテナにおいて、前記嵌合状態で前記第１
及び第２の壁部に夫々対向する第３及び第４の壁部が前
記基部に設けられていることを特徴としている。
【００１８】この様に、請求項２に係る密閉コンテナで
は、嵌合状態で筐体部の第１及び第２の壁部に夫々対向
する第３及び第４の壁部が基部に設けられているので、
雰囲気の供給及び排出のために基部と筐体部とを離間さ
せても、第１及び第２の壁部と基部との間を第３及び第
４の壁部で閉塞することができて、第１の内面と第１の
壁部との間のみに雰囲気を供給すると共に第２の内面と
第２の壁部との間のみから雰囲気を排出することができ
る。
は、嵌合状態で筐体部の第１及び第２の壁部に夫々対向
する第３及び第４の壁部が基部に設けられているので、
雰囲気の供給及び排出のために基部と筐体部とを離間さ
せても、第１及び第２の壁部と基部との間を第３及び第
４の壁部で閉塞することができて、第１の内面と第１の
壁部との間のみに雰囲気を供給すると共に第２の内面と
第２の壁部との間のみから雰囲気を排出することができ
る。
【００１９】このため、密閉コンテナを満たしていた雰
囲気と新たに供給された雰囲気とが更に混合しにくく、
密閉コンテナを満たしていた雰囲気が新たに供給された
雰囲気に押されて更に効率的に排出されると共に、新た
に供給された雰囲気が更に極めて短い時間で密閉コンテ
ナ内の隅々まで行き渡る。
囲気と新たに供給された雰囲気とが更に混合しにくく、
密閉コンテナを満たしていた雰囲気が新たに供給された
雰囲気に押されて更に効率的に排出されると共に、新た
に供給された雰囲気が更に極めて短い時間で密閉コンテ
ナ内の隅々まで行き渡る。
【００２０】請求項３に係る密閉コンテナ用雰囲気置換
装置は、基部と筐体部とが嵌合して密閉空間を形成する
密閉コンテナ内の雰囲気を置換するための密閉コンテナ
用雰囲気置換装置において、前記基部が通過可能であり
前記筐体部に覆われる開口と、前記開口に臨む給気口及
び真空排気口とを具備することを特徴としている。
装置は、基部と筐体部とが嵌合して密閉空間を形成する
密閉コンテナ内の雰囲気を置換するための密閉コンテナ
用雰囲気置換装置において、前記基部が通過可能であり
前記筐体部に覆われる開口と、前記開口に臨む給気口及
び真空排気口とを具備することを特徴としている。
【００２１】この様に、請求項３に係る密閉コンテナ用
雰囲気置換装置では、密閉コンテナの基部が通過可能で
筐体部に覆われる開口を具備しているので、開口を介し
て基部と筐体部とを離間させることができる。しかも、
開口に臨む給気口及び真空排気口を具備しているので、
密閉コンテナ内を真空にしてから雰囲気を供給すること
ができる。このため、密閉コンテナを満たしていた雰囲
気と給気口から供給された雰囲気とが全く混合せず、給
気口から供給された雰囲気が極めて短い時間で密閉コン
テナ内の隅々まで行き渡る。
雰囲気置換装置では、密閉コンテナの基部が通過可能で
筐体部に覆われる開口を具備しているので、開口を介し
て基部と筐体部とを離間させることができる。しかも、
開口に臨む給気口及び真空排気口を具備しているので、
密閉コンテナ内を真空にしてから雰囲気を供給すること
ができる。このため、密閉コンテナを満たしていた雰囲
気と給気口から供給された雰囲気とが全く混合せず、給
気口から供給された雰囲気が極めて短い時間で密閉コン
テナ内の隅々まで行き渡る。
【００２２】請求項４に係る密閉コンテナ用雰囲気置換
方法は、基部と筐体部とが嵌合して形成する密閉空間内
に板状体を保持する密閉コンテナ内の雰囲気を置換する
ための密閉コンテナ用雰囲気置換方法において、前記基
部と前記筐体部との非嵌合状態で前記板状体に平行な前
記雰囲気の気流を形成することを特徴としている。
方法は、基部と筐体部とが嵌合して形成する密閉空間内
に板状体を保持する密閉コンテナ内の雰囲気を置換する
ための密閉コンテナ用雰囲気置換方法において、前記基
部と前記筐体部との非嵌合状態で前記板状体に平行な前
記雰囲気の気流を形成することを特徴としている。
【００２３】この様に、請求項４に係る密閉コンテナ用
雰囲気置換方法では、密閉コンテナの基部と筐体部との
非嵌合状態で、密閉コンテナ内に保持されている板状体
に平行な雰囲気の気流を形成しているので、新たな雰囲
気が板状体の一方側から密閉コンテナ内に供給されると
共に密閉コンテナを満たしていた雰囲気が板状体の他方
側から密閉コンテナ外へ排出される。
雰囲気置換方法では、密閉コンテナの基部と筐体部との
非嵌合状態で、密閉コンテナ内に保持されている板状体
に平行な雰囲気の気流を形成しているので、新たな雰囲
気が板状体の一方側から密閉コンテナ内に供給されると
共に密閉コンテナを満たしていた雰囲気が板状体の他方
側から密閉コンテナ外へ排出される。
【００２４】しかも、雰囲気の気流が板状体に平行であ
るので、雰囲気の層流が形成されて、密閉コンテナを満
たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲気とが混合し
にくく、密閉コンテナを満たしていた雰囲気が新たに供
給された雰囲気に押されて密閉コンテナ外へ効率的に排
出されると共に、新たに供給された雰囲気が極めて短い
時間で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。
るので、雰囲気の層流が形成されて、密閉コンテナを満
たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲気とが混合し
にくく、密閉コンテナを満たしていた雰囲気が新たに供
給された雰囲気に押されて密閉コンテナ外へ効率的に排
出されると共に、新たに供給された雰囲気が極めて短い
時間で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。
【００２５】請求項５に係る密閉コンテナ用雰囲気置換
方法は、密閉コンテナ内の雰囲気を置換するための密閉
コンテナ用雰囲気置換方法において、前記密閉コンテナ
内を真空状態にした後にこの密閉コンテナ内に前記雰囲
気を供給することを特徴としている。
方法は、密閉コンテナ内の雰囲気を置換するための密閉
コンテナ用雰囲気置換方法において、前記密閉コンテナ
内を真空状態にした後にこの密閉コンテナ内に前記雰囲
気を供給することを特徴としている。
【００２６】この様に、請求項５に係る密閉コンテナ用
雰囲気置換方法では、密閉コンテナ内を真空状態にした
後にこの密閉コンテナ内に雰囲気を供給しているので、
密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された
雰囲気とが全く混合せず、新たに供給された雰囲気が極
めて短い時間で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。
雰囲気置換方法では、密閉コンテナ内を真空状態にした
後にこの密閉コンテナ内に雰囲気を供給しているので、
密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された
雰囲気とが全く混合せず、新たに供給された雰囲気が極
めて短い時間で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、図５に示した半導体ウェハ
１２用可搬式密閉コンテナ１１と半導体ウェハ１２の洗
浄装置２１に搭載されている可搬式密閉コンテナ１１用
雰囲気置換装置１６と可搬式密閉コンテナ１１用雰囲気
置換方法とに適用した本願の発明の第１及び第２実施形
態を、図１〜４を参照しながら説明する。
１２用可搬式密閉コンテナ１１と半導体ウェハ１２の洗
浄装置２１に搭載されている可搬式密閉コンテナ１１用
雰囲気置換装置１６と可搬式密閉コンテナ１１用雰囲気
置換方法とに適用した本願の発明の第１及び第２実施形
態を、図１〜４を参照しながら説明する。
【００２８】図１、２が、可搬式密閉コンテナ１１に適
用した第１実施形態を示している。図１に示す様に、こ
の第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１では、筐体１
５の互いに対向する二つの内側面に沿って夫々広がる一
対の拡散板３１が筐体１５に取り付けられており、図２
に示す様に、拡散板３１には無数の小孔３２が設けられ
ている。
用した第１実施形態を示している。図１に示す様に、こ
の第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１では、筐体１
５の互いに対向する二つの内側面に沿って夫々広がる一
対の拡散板３１が筐体１５に取り付けられており、図２
に示す様に、拡散板３１には無数の小孔３２が設けられ
ている。
【００２９】また、底板１４と筐体１５との嵌合状態で
拡散板３１に対向すると共に底板１４と筐体１５との非
嵌合状態で底板１４と拡散板３１との間の隙間を遮蔽す
る遮蔽板３３が底板１４上に設けられている。以上の点
を除いて、この第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１
も、図６に示した一従来例の可搬式密閉コンテナ１１と
実質的に同様の構成を有している。
拡散板３１に対向すると共に底板１４と筐体１５との非
嵌合状態で底板１４と拡散板３１との間の隙間を遮蔽す
る遮蔽板３３が底板１４上に設けられている。以上の点
を除いて、この第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１
も、図６に示した一従来例の可搬式密閉コンテナ１１と
実質的に同様の構成を有している。
【００３０】図５に示した洗浄装置２１で半導体ウェハ
１２を洗浄した後に雰囲気置換装置１６でこの第１実施
形態の可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で置換
するためには、図１に示す様に、可搬式密閉コンテナ１
１の底板１４が雰囲気置換装置１６の開口１７を閉塞し
て底板１４と筐体１５とで密閉空間を形成する直前にエ
レベータ１９が停止した状態で、給気弁２６及び排気弁
２８を開ける。
１２を洗浄した後に雰囲気置換装置１６でこの第１実施
形態の可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で置換
するためには、図１に示す様に、可搬式密閉コンテナ１
１の底板１４が雰囲気置換装置１６の開口１７を閉塞し
て底板１４と筐体１５とで密閉空間を形成する直前にエ
レベータ１９が停止した状態で、給気弁２６及び排気弁
２８を開ける。
【００３１】この結果、窒素供給管２５から窒素が供給
されるが、この窒素は、遮蔽板３３で遮蔽されるので直
ちには筐体１５内に拡がらず、主に筐体１５の内側面と
窒素供給管２５側の拡散板３１との間を筐体１５の上面
に向かって進む。その後、拡散板３１の小孔３２から出
た窒素は、排気管２７側の拡散板３１に向かって進んで
この拡散板３１の小孔３２を通過し、筐体１５の内側面
と拡散板３１との間を排気管２７に向かって進んで、排
気管２７から排出される。
されるが、この窒素は、遮蔽板３３で遮蔽されるので直
ちには筐体１５内に拡がらず、主に筐体１５の内側面と
窒素供給管２５側の拡散板３１との間を筐体１５の上面
に向かって進む。その後、拡散板３１の小孔３２から出
た窒素は、排気管２７側の拡散板３１に向かって進んで
この拡散板３１の小孔３２を通過し、筐体１５の内側面
と拡散板３１との間を排気管２７に向かって進んで、排
気管２７から排出される。
【００３２】図１中に示す様に、この第１実施形態の可
搬式密閉コンテナ１１では、可搬式密閉コンテナ１１内
における窒素の流れ２９が窒素供給管２５側の拡散板３
１から排気管２７側の拡散板３１へ向かう層流であり、
窒素はカセット１３内の半導体ウェハ１２と平行に流れ
る。
搬式密閉コンテナ１１では、可搬式密閉コンテナ１１内
における窒素の流れ２９が窒素供給管２５側の拡散板３
１から排気管２７側の拡散板３１へ向かう層流であり、
窒素はカセット１３内の半導体ウェハ１２と平行に流れ
る。
【００３３】このため、可搬式密閉コンテナ１１を満た
していた雰囲気と窒素とが混合しにくく、可搬式密閉コ
ンテナ１１を満たしていた雰囲気が窒素供給管２５側の
拡散板３１から排気管２７側の拡散板３１へ向かって窒
素に押されて排気管２７から効率的に排出されると共
に、窒素が極めて短い時間で可搬式密閉コンテナ１１内
の隅々まで行き渡る。
していた雰囲気と窒素とが混合しにくく、可搬式密閉コ
ンテナ１１を満たしていた雰囲気が窒素供給管２５側の
拡散板３１から排気管２７側の拡散板３１へ向かって窒
素に押されて排気管２７から効率的に排出されると共
に、窒素が極めて短い時間で可搬式密閉コンテナ１１内
の隅々まで行き渡る。
【００３４】図３は、給気弁２６及び排気弁２８を開け
てからの窒素置換時間と可搬式密閉コンテナ１１内の酸
素濃度との関係を示すグラフであり、図６に示した一従
来例の可搬式密閉コンテナ１１における関係ａと、図１
に示した第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１におけ
る関係ｂとを示している。この図３から、第１実施形態
の可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気が極めて短い時間
で且つ完全に窒素で置換されていることが分かる。
てからの窒素置換時間と可搬式密閉コンテナ１１内の酸
素濃度との関係を示すグラフであり、図６に示した一従
来例の可搬式密閉コンテナ１１における関係ａと、図１
に示した第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１におけ
る関係ｂとを示している。この図３から、第１実施形態
の可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気が極めて短い時間
で且つ完全に窒素で置換されていることが分かる。
【００３５】図４が、雰囲気置換装置１６に適用した第
２実施形態を示している。この第２実施形態の雰囲気置
換装置１６も、排気管２７及び排気弁２８の代わりに真
空排気管３４及び真空排気弁３５が設けられており、真
空排気管３４が真空排気弁３５を介して真空ポンプ３６
に接続されていることを除いて、図６に示した一従来例
の雰囲気置換装置１６と実質的に同様の構成を有してい
る。
２実施形態を示している。この第２実施形態の雰囲気置
換装置１６も、排気管２７及び排気弁２８の代わりに真
空排気管３４及び真空排気弁３５が設けられており、真
空排気管３４が真空排気弁３５を介して真空ポンプ３６
に接続されていることを除いて、図６に示した一従来例
の雰囲気置換装置１６と実質的に同様の構成を有してい
る。
【００３６】図５に示した洗浄装置２１で半導体ウェハ
１２を洗浄した後にこの第２実施形態の雰囲気置換装置
１６で可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で置換
するためには、図４に示す様に、可搬式密閉コンテナ１
１の底板１４が雰囲気置換装置１６の開口１７を閉塞し
て底板１４と筐体１５とで密閉空間を形成する直前にエ
レベータ１９が停止した状態で、真空排気弁３５を開け
て真空ポンプ３６及び真空排気管３４で可搬式密閉コン
テナ１１内を真空にした後、真空排気弁３５を閉じると
共に給気弁２６を開ける。
１２を洗浄した後にこの第２実施形態の雰囲気置換装置
１６で可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で置換
するためには、図４に示す様に、可搬式密閉コンテナ１
１の底板１４が雰囲気置換装置１６の開口１７を閉塞し
て底板１４と筐体１５とで密閉空間を形成する直前にエ
レベータ１９が停止した状態で、真空排気弁３５を開け
て真空ポンプ３６及び真空排気管３４で可搬式密閉コン
テナ１１内を真空にした後、真空排気弁３５を閉じると
共に給気弁２６を開ける。
【００３７】この結果、可搬式密閉コンテナ１１を満た
していた雰囲気と窒素とが全く混合せず、窒素のみが可
搬式密閉コンテナ１１内の隅々まで行き渡る。従って、
少量の窒素を供給するだけで、可搬式密閉コンテナ１１
内の雰囲気が極めて短い時間で且つ完全に窒素で置換さ
れる。
していた雰囲気と窒素とが全く混合せず、窒素のみが可
搬式密閉コンテナ１１内の隅々まで行き渡る。従って、
少量の窒素を供給するだけで、可搬式密閉コンテナ１１
内の雰囲気が極めて短い時間で且つ完全に窒素で置換さ
れる。
【００３８】以上の様に、第１実施形態の可搬式密閉コ
ンテナ１１及び第２実施形態の雰囲気置換装置１６で
は、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気の置換に短時間
しか要しないので、半導体装置の製造時間が短いのみな
らず、窒素供給管２５から供給すべき窒素の量も少なく
て、半導体装置の製造コストが低い。
ンテナ１１及び第２実施形態の雰囲気置換装置１６で
は、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気の置換に短時間
しか要しないので、半導体装置の製造時間が短いのみな
らず、窒素供給管２５から供給すべき窒素の量も少なく
て、半導体装置の製造コストが低い。
【００３９】また、可搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気
を窒素で完全に置換することができるので、搬送中にお
ける有機物等の吸着による汚染や自然酸化膜の成長等の
可能性が低く、半導体装置の電気的特性等の品質が向上
することによる歩留りの向上によっても、半導体装置の
製造コストが低い。
を窒素で完全に置換することができるので、搬送中にお
ける有機物等の吸着による汚染や自然酸化膜の成長等の
可能性が低く、半導体装置の電気的特性等の品質が向上
することによる歩留りの向上によっても、半導体装置の
製造コストが低い。
【００４０】なお、図１では第１実施形態の可搬式密閉
コンテナ１１が一従来例の雰囲気置換装置１６と共に用
いられており、図４では第２実施形態の雰囲気置換装置
１６が一従来例の可搬式密閉コンテナ１１と共に用いら
れているが、第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１と
第２実施形態の雰囲気置換装置１６とが同時に用いられ
てもよい。
コンテナ１１が一従来例の雰囲気置換装置１６と共に用
いられており、図４では第２実施形態の雰囲気置換装置
１６が一従来例の可搬式密閉コンテナ１１と共に用いら
れているが、第１実施形態の可搬式密閉コンテナ１１と
第２実施形態の雰囲気置換装置１６とが同時に用いられ
てもよい。
【００４１】また、以上の第１及び第２実施形態では可
搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で置換している
が、窒素以外の不活性ガスで置換してもよく、不活性ガ
ス以外の雰囲気による置換にも本願の発明を適用するこ
とができる。
搬式密閉コンテナ１１内の雰囲気を窒素で置換している
が、窒素以外の不活性ガスで置換してもよく、不活性ガ
ス以外の雰囲気による置換にも本願の発明を適用するこ
とができる。
【００４２】また、以上の第１及び第２実施形態は、半
導体ウェハ１２用可搬式密閉コンテナ１１と半導体ウェ
ハ１２の洗浄装置２１に搭載されている可搬式密閉コン
テナ１１用雰囲気置換装置１６と可搬式密閉コンテナ１
１用雰囲気置換方法とに本願の発明を適用したものであ
るが、半導体ウェハ１２以外の板状体用の可搬式密閉コ
ンテナや、非可搬式密閉コンテナや、半導体製造装置以
外の装置と共に用いられる雰囲気置換装置等にも、本願
の発明を適用することができる。
導体ウェハ１２用可搬式密閉コンテナ１１と半導体ウェ
ハ１２の洗浄装置２１に搭載されている可搬式密閉コン
テナ１１用雰囲気置換装置１６と可搬式密閉コンテナ１
１用雰囲気置換方法とに本願の発明を適用したものであ
るが、半導体ウェハ１２以外の板状体用の可搬式密閉コ
ンテナや、非可搬式密閉コンテナや、半導体製造装置以
外の装置と共に用いられる雰囲気置換装置等にも、本願
の発明を適用することができる。
【００４３】
【発明の効果】請求項１に係る密閉コンテナでは、密閉
コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲
気とが混合しにくく、密閉コンテナを満たしていた雰囲
気が新たに供給された雰囲気に押されて効率的に排出さ
れると共に、新たに供給された雰囲気が極めて短い時間
で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。このため、密閉
コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲
気との置換が阻害されにくく、密閉コンテナ内の雰囲気
を極めて短い時間で且つ完全に置換することができる。
コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲
気とが混合しにくく、密閉コンテナを満たしていた雰囲
気が新たに供給された雰囲気に押されて効率的に排出さ
れると共に、新たに供給された雰囲気が極めて短い時間
で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。このため、密閉
コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲
気との置換が阻害されにくく、密閉コンテナ内の雰囲気
を極めて短い時間で且つ完全に置換することができる。
【００４４】請求項２に係る密閉コンテナでは、密閉コ
ンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲気
とが更に混合しにくく、密閉コンテナを満たしていた雰
囲気が新たに供給された雰囲気に押されて更に効率的に
排出されると共に、新たに供給された雰囲気が更に極め
て短い時間で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。この
ため、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給
された雰囲気との置換が更に阻害されにくく、密閉コン
テナ内の雰囲気を更に極めて短い時間で且つ完全に置換
することができる。
ンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給された雰囲気
とが更に混合しにくく、密閉コンテナを満たしていた雰
囲気が新たに供給された雰囲気に押されて更に効率的に
排出されると共に、新たに供給された雰囲気が更に極め
て短い時間で密閉コンテナ内の隅々まで行き渡る。この
ため、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに供給
された雰囲気との置換が更に阻害されにくく、密閉コン
テナ内の雰囲気を更に極めて短い時間で且つ完全に置換
することができる。
【００４５】請求項３に係る密閉コンテナ用雰囲気置換
装置では、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と給気口
から供給された雰囲気とが全く混合せず、給気口から供
給された雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅
々まで行き渡る。このため、密閉コンテナを満たしてい
た雰囲気と給気口から供給された雰囲気との置換が全く
阻害されず、密閉コンテナ内の雰囲気を極めて短い時間
で且つ完全に置換することができる。
装置では、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と給気口
から供給された雰囲気とが全く混合せず、給気口から供
給された雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅
々まで行き渡る。このため、密閉コンテナを満たしてい
た雰囲気と給気口から供給された雰囲気との置換が全く
阻害されず、密閉コンテナ内の雰囲気を極めて短い時間
で且つ完全に置換することができる。
【００４６】請求項４に係る密閉コンテナ用雰囲気置換
方法では、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに
供給された雰囲気とが混合しにくく、密閉コンテナを満
たしていた雰囲気が新たに供給された雰囲気に押されて
密閉コンテナ外へ効率的に排出されると共に、新たに供
給された雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅
々まで行き渡る。このため、密閉コンテナを満たしてい
た雰囲気と新たに供給された雰囲気との置換が阻害され
にくく、密閉コンテナ内の雰囲気を極めて短い時間で且
つ完全に置換することができる。
方法では、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに
供給された雰囲気とが混合しにくく、密閉コンテナを満
たしていた雰囲気が新たに供給された雰囲気に押されて
密閉コンテナ外へ効率的に排出されると共に、新たに供
給された雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅
々まで行き渡る。このため、密閉コンテナを満たしてい
た雰囲気と新たに供給された雰囲気との置換が阻害され
にくく、密閉コンテナ内の雰囲気を極めて短い時間で且
つ完全に置換することができる。
【００４７】請求項５に係る密閉コンテナ用雰囲気置換
方法では、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに
供給された雰囲気とが全く混合せず、新たに供給された
雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅々まで行
き渡る。このため、密閉コンテナを満たしていた雰囲気
と新たに供給された雰囲気との置換が全く阻害されず、
密閉コンテナ内の雰囲気を極めて短い時間で且つ完全に
置換することができる。
方法では、密閉コンテナを満たしていた雰囲気と新たに
供給された雰囲気とが全く混合せず、新たに供給された
雰囲気が極めて短い時間で密閉コンテナ内の隅々まで行
き渡る。このため、密閉コンテナを満たしていた雰囲気
と新たに供給された雰囲気との置換が全く阻害されず、
密閉コンテナ内の雰囲気を極めて短い時間で且つ完全に
置換することができる。
【図１】本願の発明の第１実施形態の要部の側断面図で
ある。
ある。
【図２】第１実施形態で用いられている拡散板の斜視図
である。
である。
【図３】窒素置換時間と酸素濃度との関係を示すグラフ
であり、ａ、ｂは夫々一従来例及び第１実施形態におけ
る関係を示している。
であり、ａ、ｂは夫々一従来例及び第１実施形態におけ
る関係を示している。
【図４】本願の発明の第２実施形態の要部の側断面図で
ある。
ある。
【図５】本願の発明が適用され得る半導体ウェハ用可搬
式密閉コンテナと半導体ウェハの洗浄装置とこの洗浄装
置に搭載されている可搬式密閉コンテナ用雰囲気置換装
置との側断面図である。
式密閉コンテナと半導体ウェハの洗浄装置とこの洗浄装
置に搭載されている可搬式密閉コンテナ用雰囲気置換装
置との側断面図である。
【図６】本願の発明の一従来例の要部の側断面図であ
る。
る。
１１…可搬式密閉コンテナ（密閉コンテナ）、１２…半
導体ウェハ（板状体）、１４…底板（基部）、１５…筐
体（筐体部）、１７…開口、２５…窒素供給管（給気
口）、３１…拡散板（第１及び第２の壁部）、３２…小
孔（通気孔）、３３…遮蔽板（第３及び第４の壁部）、
３４…真空排気管（真空排気口）
導体ウェハ（板状体）、１４…底板（基部）、１５…筐
体（筐体部）、１７…開口、２５…窒素供給管（給気
口）、３１…拡散板（第１及び第２の壁部）、３２…小
孔（通気孔）、３３…遮蔽板（第３及び第４の壁部）、
３４…真空排気管（真空排気口）
Claims (5)
- 【請求項１】 互いに対向する第１及び第２の内面を有
する筐体部と、前記第１及び第２の内面に垂直に板状体
を保持すると共に前記筐体部と嵌合して密閉空間を形成
する基部とを具備する密閉コンテナにおいて、 前記第１及び第２の内面に沿って夫々広がる第１及び第
２の壁部と、 前記第１及び第２の壁部に設けられており前記第１及び
第２の内面に沿って夫々分布する複数の通気孔とを具備
することを特徴とする密閉コンテナ。 - 【請求項２】 前記嵌合状態で前記第１及び第２の壁部
に夫々対向する第３及び第４の壁部が前記基部に設けら
れていることを特徴とする請求項１記載の密閉コンテ
ナ。 - 【請求項３】 基部と筐体部とが嵌合して密閉空間を形
成する密閉コンテナ内の雰囲気を置換するための密閉コ
ンテナ用雰囲気置換装置において、 前記基部が通過可能で前記筐体部に覆われる開口と、 前記開口に臨む給気口及び真空排気口とを具備すること
を特徴とする密閉コンテナ用雰囲気置換装置。 - 【請求項４】 基部と筐体部とが嵌合して形成する密閉
空間内に板状体を保持する密閉コンテナ内の雰囲気を置
換するための密閉コンテナ用雰囲気置換方法において、 前記基部と前記筐体部との非嵌合状態で前記板状体に平
行な前記雰囲気の気流を形成することを特徴とする密閉
コンテナ用雰囲気置換方法。 - 【請求項５】 密閉コンテナ内の雰囲気を置換するため
の密閉コンテナ用雰囲気置換方法において、 前記密閉コンテナ内を真空状態にした後にこの密閉コン
テナ内に前記雰囲気を供給することを特徴とする密閉コ
ンテナ用雰囲気置換方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9145922A JPH10321714A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法 |
| US09/080,919 US6044874A (en) | 1997-05-20 | 1998-05-19 | Sealed container and sealed container ambient gas substitution apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9145922A JPH10321714A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321714A true JPH10321714A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15396193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9145922A Pending JPH10321714A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6044874A (ja) |
| JP (1) | JPH10321714A (ja) |
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| JP2011181561A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Tdk Corp | 基板収納ポッドおよびその蓋部材並びに基板の処理装置 |
| JP2012165030A (ja) * | 2012-06-06 | 2012-08-30 | Tdk Corp | 基板収納ポッドおよびその蓋部材並びに基板の処理装置 |
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| CN104354903A (zh) * | 2014-10-30 | 2015-02-18 | 北京金星鸭业有限公司 | 双层码放真空包装封口装置及其方法 |
| CN109891568A (zh) * | 2016-08-30 | 2019-06-14 | 布鲁克斯自动化(德国)有限公司 | 掩模室和扩散板 |
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| JP3955724B2 (ja) * | 2000-10-12 | 2007-08-08 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置の製造方法 |
| EP1555689B1 (en) * | 2002-10-25 | 2010-05-19 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
| JP4027837B2 (ja) * | 2003-04-28 | 2007-12-26 | Ｔｄｋ株式会社 | パージ装置およびパージ方法 |
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| WO2006030849A1 (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-23 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
| JP4012190B2 (ja) * | 2004-10-26 | 2007-11-21 | Ｔｄｋ株式会社 | 密閉容器の蓋開閉システム及び開閉方法 |
| US9105673B2 (en) | 2007-05-09 | 2015-08-11 | Brooks Automation, Inc. | Side opening unified pod |
| JP2009088437A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の導入ポート機構及び処理システム |
| JP5741946B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2015-07-01 | 株式会社ダイフク | 清浄気送風ユニット |
| KR101444241B1 (ko) * | 2013-01-14 | 2014-09-26 | 우범제 | 웨이퍼 처리장치의 배기시스템 |
| JP6260109B2 (ja) * | 2013-05-16 | 2018-01-17 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート装置 |
| JP5874691B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-03-02 | 株式会社ダイフク | 不活性気体供給設備 |
| TWI563586B (en) * | 2015-07-14 | 2016-12-21 | Motech Ind Inc | Substrate-separating apparatus and substrate-separating method |
| WO2017033546A1 (ja) * | 2015-08-25 | 2017-03-02 | 村田機械株式会社 | パージ装置、パージストッカ、及びパージ方法 |
| CN108609290A (zh) * | 2018-04-24 | 2018-10-02 | 惠州市华星光电技术有限公司 | 液晶面板的包装结构及液晶显示装置 |
| CN112455781A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-03-09 | 无锡迪渊特科技有限公司 | 晶圆运输盒的节拍式包装方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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