JP2005210118A - ミニエンバイロンメントの制御およびパージを行うためのステーション - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SMIF型ミニエンバイロンメント1をパージステーション2に接続できる。パージステーションは、その上面が、ミニエンバイロンメントポッド1の底面1bに面する閉鎖可能移送路2cを含むリークタイトパージ室2bを備える。エレベータ4は、ミニエンバイロンメントポッド1の底壁1bに結合されると、それを垂直方向に変位させ、それと同時に、底壁1cによって担持される基板ウェハの積層体3を、まとめてリークタイトパージ室2bに導入するために移動させるのに適する。基板ウェハの積層体3をパージステーション2のリークタイトパージ室2bの内部でパージすると同時に、ミニエンバイロンメントポッド1をパージする。これにより、はるかに効果的ではるかに高速のパージが提供される。
【選択図】 図1
Description
分離基板ウェハの積層体を受け入れ、収容するように寸法設定されたリークタイトパージ室と、
閉鎖可能移送路、およびミニエンバイロンメントポッドの閉鎖可能進入路と閉鎖可能移送路を選択的にリークタイト結合させる手段と、
ミニエンバイロンメントパッドとリークタイトパージ室の間で基板ウェハの積層体を移動させる搬送手段と、
その主面に平行な積層体のウェハの縁に向かって横方向にパージガスを拡散させるように構成された拡散手段と、
積層体のウェハの間を通過した後に拡散手段から離れたパージガスの拡散流を回収するように配置された回収手段とを備えることを特徴とするデバイスを提供する。
パージガスが積層体のウェハの間を流れた後にパージガスを受け入れるために回収デバイスに接続し、
底部予備容積に閉じ込められたガスを受け入れるために底部予備容積に接続し、かつ
閉鎖可能移送路の近傍のリークタイトパージ室の上部領域に接続することによって良好な結果が得られる。
1a リークプルーフ周壁
1b 閉鎖可能進入路
1c 底壁
2 パージステーション
2b リークタイトパージ室
2c 閉鎖可能移送路
2e リークタイト結合手段
2f 底部予備容積
3 基板ウェハの積層体
4 搬送手段
5 分配手段
6 回収手段
7 パージガス処理デバイス
8 ポンプ手段
8a 第1のポンプ
8b 第2のポンプ
8d 排出管
9 底部開口
10 分岐接続管
10a ポンプ輸送ガスを分析する手段
11 クリーンルーム
11a 吸引管
11b 導入口
11c 導入口回収器
52 長方形の垂直格子
Claims (13)
- ミニエンバイロンメントポッド(1)に配置された分離基板ウェハの積層体(3)の汚染を抑制、低減する、基板ウェハの積層体(3)を導入したり、引き出したりする閉鎖可能進入路(1b)が設けられたリークプルーフ周壁(1a)を有する前記ミニエンバイロンメントポッド(1)を備えたデバイスであって、前記ポッドと併用されるパージステーション(2)をさらに備え、前記パージステーションは、
分離基板ウェハの積層体(3)を受け入れ、収容するように寸法設定されたリークタイトパージ室(2b)と、
閉鎖可能移送路(2c)、およびミニエンバイロンメントポッド(1)の閉鎖可能進入路(1b)と閉鎖可能移送路(2c)を選択的にリークタイト結合させる手段(2e)と、
ミニエンバイロンメントポッド(1)とリークタイトパージ室(2b)の間で基板ウェハの積層体(3)を移動させる搬送手段(4)と、
その主面に平行な積層体(3)のウェハの縁に向かって横方向にパージガスを拡散させるように構成された拡散手段(5)と、
積層体(3)のウェハの間を通過した後に拡散手段(5)から離れたパージガスの拡散流を回収するように配置された回収手段(6)とを備えることを特徴とするデバイス。 - 拡散手段(5)は、パージガスを放射状に流すのに適する幅の連続的な縦溝をそれぞれ有する1つまたは複数の分配カラムを備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 拡散手段(5)は、分配カラムの生成ラインに沿って配設された一連の穴をそれぞれ有する1つまたは複数の分配カラムを備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- 拡散手段(5)は、基板ウェハの積層体(3)に面して横方向に配置された長方形の垂直格子(52)を備えることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- リークタイトパージ室(2b)は、パージが行われている間は分離基板ウェハの積層体(3)の下の空間を占領する底部予備容積(2f)を含むことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
- ミニエンバイロンメントポッド(1)は、閉鎖可能進入路(1b)を閉鎖し、分離基板ウェハの積層体(3)を支持しながら垂直移動可能な底壁(1c)を含む標準化された機械的インターフェース(SMIF)を有するポッドであって、
パージステーション(2)は、閉鎖可能移送路(2c)が設けられ、さらにミニエンバイロンメントポッド(1)の底壁(1c)が分離基板ウェハの積層体(3)とともにリークタイトパージ室(2b)の内部へ垂直移動することを可能にするように、進入路(2c)の周囲に結合するリークタイト結合手段(2e)がさらに設けられた上面(2d)を有し、
搬送手段(4)は、リークタイトパージ室(2b)に収容され、分離基板ウェハをミニエンバイロンメントポッド(1)とリークタイトパージ室(2b)の間で移動させるために、分離基板ウェハの積層体(3)とともに、ミニエンバイロンメントポッド(1)の底壁(1c)を支持するように構成されるエレベータを有することを特徴とする請求項1に記載のデバイス。 - パージステーション(2)は、パージガスを回収するために、リークタイトパージ室(2b)の内部空間に接続されたパージガス処理デバイス(7)をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載のデバイス。
- パージガス処理デバイス(7)は、
パージガスが積層体(3)のウェハの間を流れた後にパージガスを受け入れるように回収デバイス(6)に接続され、
底部予備容積(2f)に閉じ込められたガスを受け入れるように底部予備容積(2f)に接続され、かつ
閉鎖可能移送路(2c)の近傍のリークタイトパージ室(2b)の上部領域に接続されることを特徴とする請求項7に記載のデバイス。 - リークタイトパージ室(2b)からパージガスを吸い出し、それを排出管(8d)に送るポンプ手段を含むことを特徴とする請求項7または請求項8に記載のデバイス。
- 排出管(8d)は、クリーンルーム(11)の吸引管(11a)に接続されることを特徴とする請求項9に記載のデバイス。
- 排出管(8d)は、排出口回収器(11c)の導入口(11b)へ非密封的につながり、前記導入口(11b)自体はクリーンルーム(11)に対して広く開口され、排出口回収器(11c)からの排出口は、クリーンルーム(11)の吸引管(11a)に接続されることを特徴とする請求項9に記載のデバイス。
- ポンプ輸送ガスを分析する手段(10a)を含むことを特徴とする請求項9に記載のデバイス。
- ポンプ輸送ガスを分析する手段(10a)は、イオン移動度分光計(IMS)を備えることを特徴とする請求項12に記載のデバイス。
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