JP2007273697A - 基板搬送容器および基板搬送容器内空間のガス置換方法 - Google Patents
基板搬送容器および基板搬送容器内空間のガス置換方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】一側面に開口部3が設けられ且つ複数枚の基板を夫々独立に収容できる基板支持手段4を有する容器本体1と、容器本体1に3開口部を閉塞可能にかつ開閉自在に取り付けられる蓋体2とを有する基板搬送容器であって、蓋体2には、容器外部から不活性ガスを導入するためのガス導入口11と、ガス導入口11から導入された不活性ガスを容器内に収容される基板間の空間に噴出可能に設けられてなるガス供給ノズルと、容器内のガスを容器外に排出するためのガス排出口12とが設けられている。
【選択図】図2
Description
かかる状況のもと、本発明が解決しようとする課題は、基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行うことができる基板搬送容器、および基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行い得る方法を提供することにある。
ガス導入口とガス排出口とが、図2に示すような蓋体のロック機構を構成する2つの係止板の間で、該蓋体の中心点に関して互いに対象となる係止片9に近傍する位置になるように、1つのガス導入口と1つのガス排出口とを、基板25枚収容用の基板搬送容器の蓋体に設け、該ガス導入口の容器内面側には、口径が0.5mmの27個のガス噴出口を有するガス供給ノズルを設置し、容器本体の開口部を蓋体で閉塞した際に、ガス噴出口の向きが容器本体の奥行方向から基板の中心方向に略0°となり、且つ、最上段に収容された基板と基板搬送容器内部上面との間の空間、最下段に収容された基板と基板搬送容器内部底面との間の空間、および、収容された夫々の基板間の空間に向かってガスが噴出されるようにした。
蓋体にガス供給ノズルを設けず、基板搬送容器内に基板を収容しなかった以外は、実施例と同様に行った。分析結果を表1に示す。
2:蓋体
3:開口部
4:基板支持手段
5:基板
6:ロック機構
7:円板状カム
8:カギ溝
9:係止片
10:係止穴
11:ガス導入口
12:ガス排出口
13:ガス供給ノズル
14:ガス導入管
15:ガス噴出口
16:奥側面
Claims (2)
- 一側面に開口部が設けられ且つ複数枚の基板を夫々独立に収容できる基板支持手段を有する容器本体と、該容器本体に該開口部を閉塞可能にかつ開閉自在に取り付けられる蓋体とを有する基板搬送容器であって、該蓋体には、前記容器外部から不活性ガスを導入するためのガス導入口と、該ガス導入口から導入された不活性ガスを該容器内に収容される基板間の空間に噴出可能に設けられてなるガス供給ノズルと、前記容器内のガスを該容器外に排出するためのガス排出口とが設けられていることを特徴とする基板搬送容器。
- 容器本体と蓋体とを有し、該容器本体は一側面に開口部が設けられ且つ複数枚の基板を夫々独立に収容できる基板支持手段を有し、該蓋体は、該開口部を閉塞可能にかつ開閉自在に該容器本体に取り付けられてなる基板搬送容器内空間のガス置換方法であって、該蓋体に設けられたガス導入口を通して前記容器外部から不活性ガスを導入し、該ガス導入口に連通し、該容器内に収容される基板間の空間に噴出可能に設けられたガス供給ノズルから該容器内に該不活性ガスを噴出させ、該蓋体に設けられたガス排出口から該容器内空間のガスを該容器外に排出することを特徴とする基板搬送容器内空間のガス置換方法。
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