KR101674107B1

KR101674107B1 - 기판용기 커버 개폐장치

Info

Publication number: KR101674107B1
Application number: KR1020140156547A
Authority: KR
Inventors: 조창현; 이경식
Original assignee: 주식회사 아이에스티이; 조창현
Priority date: 2014-11-12
Filing date: 2014-11-12
Publication date: 2016-11-22
Also published as: KR20160056510A; WO2016076476A1

Abstract

본 발명은 기판용기 커버개폐장치에 관한 것으로 보다 상세하게는, 커버이송장치를 전진 및 밀착하여 밀폐 시킨 후 커버개폐장치의 내부 구동부에 질소공급 및 진공배기를 하고, 커버이송장치를 후진시켜 FOUP의 커버 외측의 일면 전체를 커버밀폐오링에 밀착시켜 FOUP의 내부를 외부와 완전 차폐시킨후 질소공급 및 진공배기를 실시하여 분자성불순물을 제거하며, 불순물검사기와 습도계를 이용하여 불순물 측정과 습도 측정을 별도 또는 동시에 진행 할 수 있는 기판용기 커버개폐장치에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은, 커버개폐장치을 구성하기 위한 몸체, 즉, 커버개폐장치케이스가 상기 구동부에 설치되고, 프레임에 밀착하여 내부 밀폐를 하기위한 오링이 프레임에 마주하는 외곽 일면에 구비되며, 상기 커버개폐장치케이스의 내부 일면에도 FOUP의 커버 외측의 일면 전체를 밀폐 시킬 수 있는 실리콘 재질의 커버밀폐오링를 포함하여 커버이송장치의 구동으로 인한 불순물이 FOUP의 내부에 유입되는 것을 방지하는 것이다.

Description

기판용기 커버 개폐장치{Cover opening and closing device for substrate container}

본 발명은 기판용기 커버개폐장치에 관한 것으로 보다 상세하게는, 기판용기 및 기판의 세정 또는 기판의 공정 진행후 기판을 보관 및 이송시 기판용기의 내부에 수납하게 되는데 수납 전 또는 수납 후 기판용기의 본체와 커버를 분리 및 퍼지하여 결합함으로써, 기판이 기판용기에 저장 시 잔존 분자성 불순물과 수분을 충분히 제거 및 검사를 용이하게 할 수 있는 기판용기 커버개폐장치에 관한 것이다.

반도체를 제조하기 위해서는, 기판의 다양한 공정을 진행하게 되며, 기판들은 미세먼지 및 수분 함유량에 따라 공정에 악영향을 미치기 때문에 보관시 외부 환경으로부터 차폐시키기 위한 기판용기를 사용하고 있다.

반도체 공정에서 사용되는 기판용기는 크게 보관용도로 사용되는 전면개방용기(Front Opening Shipping Box: 이하 'FOSB')와 공정진행 용도로 사용되는 전면개방일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')가 있으며, 기판용기는 일반적으로 기판을 수납 할 수 있는 다수의 슬롯을 가지는 본체와 본체를 외부 환경으로부터 차폐시켜 본체 내부에 초청정한 환경을 제공하는 커버로 구성된다.

기판은 본체 내부에 설치된 다수의 슬롯에 저장하게 되는데, 기판용기를 반복적으로 장기간 사용하게 되면, 다수의 오염원에 노출되어 기판에 악영향을 미치기 때문에 기판용기를 주기적으로 교체 및 세정하여 기판을 저장하게 된다.

기판용기는 기판을 저장되었을때나, 기판이 저장되어있지 않을때나,외부로부터 미세먼지 및 수분유입을 막기위해 항상 기판용기의 본체를 커버로 차폐시켜 사용된다. 하지만, 공정 설비들의 내부로 유입되는 미세먼지 및 수분과 같은 오염물질이

기판용기 본체의 커버를 개폐시 유입되어 기판의 표면을 산화시키거나, 기판 표면에 붙어 반도체 생산에 악영향을 준다.

상기한 문제점들을 해결하기 위하여 대한민국 출원번호 제10-2011-0090299호 및 대한민국 출원번호 제10-1012-0026119에 종래기술이 제안되었다.

종래기술의 경우 상기 문제점들을 해결하기 위하여 질소가스등 불활성가스를 주입하여 불순물과 수분을 강제 배기 시키는것을 제안하고 있다.

종래기술 대한민국 출원번호 제10-2011-0090299호에 따르면, 도 1에서 보는바와 같이 웨이퍼 캐리어(100;20) 즉 기판용기를 밀폐시킨 상태에서 가스공급부(200)으로부터 기판용기 상의 주입포트(110)의 가스공급노즐(220)를 통해 불활성가스를 주입하는 단계에 앞서, 미리 내부의 공기를 기판용기상의 배기포트(120)로 배출하여 감압하도록 구성되 진공 건조에 따라 수분을 증발시켜 제거할 수 있음은 물론, 내부에 잔존하는 수분을 신속하게 배출시킬 수 있으며, 웨이퍼 캐리어 즉 기판용기를 밀폐시킨 상태에서 불활성가스를 주입하도록 구성되어 불활성가스의 누설로 인한 남용을 미연에 방지할 수 있고, 주입되는 불활성가스의 분사 압력을 전면 방향으로 분산시키는 구조로 장치의 손상을 방지할 수 있다고 제안하고 있다.

또한, 웨이퍼 캐리어(100;20) 즉 기판용기의 주입포트(110) 상에는 두께가 얇은 박막이 존재하며, 질소가스 내에 잔류하는 불순물을 제거하는 기능을 담당하는데, 주입포트(110)를 통해 질소가스가 소정의 압력으로 주입될 경우, 박막이 찢어지거나 훼손되는 등의 손상이 발생될 우려가 있어 문제를 개선하고자, 가스공급노즐(220)은 주입포트(110)를 통해 질소가스의 압력을 어느 정도 약화시킬 수 있도록, 질소가스를 분산하여 주입할 수 있는 구조를 제안하고 있다.

또다른 종래기술 대한민국 출원번호 제10-1012-0026119에 따르면, 풉(20;FOUP) 즉 기판용기의 내부로 질소가스를 주입하는 국부 청정방법은 퍼징 타입이 길고 일부 오염 물질은 배출이 원활히 되지 않는 문제가 있으며, 풉(20;FOUP) 즉 기판용기의 규격마다 국부 청정방법이 달라서 공정이 지연되는 문제점이 있어 문제를 개선하고자 도2에서 보는바와 같이 외측도어(310)와 내측도어(340)로 구성된 도어유닛(300)에 의하여 풉(20;FOUP) 뚜껑 즉 기판용기의 커버를 개방할 때, 풉(20) 뚜껑을 이송하는 외측도어(310)와, 외측도어(310)의 일측에 설치되어 상기 풉(20)과 외측도어(310) 사이에 형성되는 공간부(311) 내의 공급노즐(320)을 통하여 질소가스를 주입하고, 외측도어(310)의 타측에 형성되어 공간부(311) 내의 배기노즐(330)을 통하여 표면에 자연산화막을 형성하는 산소를 비롯한 분자성 불순물을 배출 제거 하며, 도어유닛(300)의 구조에 의해 발생될 수 있는 이물질의 유입을 차단하여 기판용기에 의해 이송되는 웨이퍼의 품질이 저하되는 것을 방지 할 수 있는 풉 오프너를 제안하고 있다.

또한, 밀폐커버(360)를 주름관 타입의 PVC재질로 제작하여 도어 실린더의 작동에 방해가 되지 않으면서 전후진 작동시 밀폐커버(360)가 파손되지 않도록 제안하고 있다.

본 발명은 기판용기의 주입포트의 질소가스의 압력으로 인한 필터의 박막손상을 방지하고, 배출포트를 통하여 질소가스 와 분자성 불순물을 배출시 기판용기의 배출포트에 잔존하게되는 불순물을 방지 할 수 있는 기판용기 커버개폐장치를 제공하는데 있다.

또한, 기판용기의 내부 분자성 불순물을 배출시 구동부에서 발생 할 수 있는 불순물이 내부로 유입되지 않도록 기판용기 커버개폐장치를 제공하는데 있다.

그리고, 본 발명은 기판용기의 내부 분자성 불순물을 효과적으로 배출시키는 방법을 제공하는데 있다.

과제를 해결하기 위하여 본 발명은 기판용기를 고정시키는 프레임, 상기 프레임의 전면 또는 일면에 연결된 로딩장치, 상기 프레임의 뒷면에 배치되어 상하 또는 좌우로 이동가능한 커버개폐장치, 상기 커버개폐장치 외곽 윗면에 질소공급장치와 연결된 흡입노즐, 상기 커버개폐장치 외곽의 아랫면에 불순물 검사기와 진공배기시스템이 연결된 제1의 배기노즐과 상기 커버개폐장치 뒷면에 진공배기시스템과 연결된 제2의 배기노즐들을 포함 한다.

상기 커버개폐장치 내부 일단부에 슬라이드 부시가 고정되고, 슬라이드 부시에 연결된 샤프트가 커버이송장치의 뒷면에 고정된다,

상기 커버이송장치는 커버 흡착용 진공 핀과 패드가 구비되고, 상기 커버이송장치는 커버를 개폐시킬 수 있는 레치를 포함한다.

상기와 같은 과제의 해결 수단에 의하여 기판용기의 일부를 손상시키지 않으면서 기판용기 내의 불순물을 제거하는 효과가 있다.

그리고, 기판용기와 커버를 분리하기전 구동부의 불순물을 먼저 배출시킨 후 기판용기와 커버를 밀폐된 공간안에서 분리하기 때문에 구동부의 불순물이 기판용기 내로 유입되는것을 방지하는 효과가 있다.

또한, 기판용기의 본체와 커버를 분리시 커버가 직접 구동부의 일측 실링부에 밀착되기 때문에 기판용기 내의 불순물과 수분 함유량을 정확히 측정 할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 적용되는 사례인 FOUP을 나타내는 사시도.
도 2는 종래 웨이퍼 캐리어의 내부 정화 장치를 개략도.
도 3은 종래 풉 오프너를 도시한 사시도.
도 4는 도 3의 도어유닛의 구성을 도시한 사시도.
도 5는 본 발명에 의한 기판용기 커버개폐장치의 구성을 도시한 측면도.
도 6은 도 5의 커버개폐장치만을 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명의 커버개폐장치 내 질소공급 및 진공배기를 도시한 개략도.
도 8은 본 발명의 기판용기 내 질소공급 및 진공배기를 도시한 개략도
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 기판용기 내 퍼지 과정을 설명하기 위한 블록도.
도 10은 본 발명에 의한 기판용기 개폐장치를 구비한 로드포트를 나타낸 사시도.
도 11는 본 발명에 의한 기판용기 개폐장치를 구비한 로드포트를 포함한 웨이퍼 핸들링 시스템(EFEM:Equipment Front End Module)을 나타내는 사시도.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.

다음에서 설명되는 실시 예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술되는 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시 예는 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다.

본 발명의 실시 예는 기판용기의 본체와 커버를 분리 및 퍼지하여 결합함으로써, 기판이 기판용기에 저장 시 잔존 분자성 불순물과 수분을 충분히 제거하고 측정하여 기판의 고집적화 및 생산율을 가지는 기판용기 커버개폐장치를 제시한다. 여기서, 퍼지란 질소공급장치와 진공배기시스템을 통하여 분자성 불순물과 수분을 제거하기 위한 배출과 질소 충진 까지 포함한 것이다. 이를 위해, 기판용기의 본체와 커버를 분리 및 퍼지 하여 결합하는 기판용기 커버개폐장치를 설명하고, 상기 장치를 통하여 기판용기의 퍼지 하는 방법을 상세하게 살펴보기로 한다.

한편, 기판용기는 기판이나 미세전자소자를 운반, 보관뿐만 아니라 공정진행 용도로 사용되는 전면개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod: 이하 'FOUP')를 예로 들겠으나, 본 발명의 범주 내에서 다른 형태의 기판용기도 가능하다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 적용되는 사례인 FOUP를 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, FOUP은 기판을 약 25매 단위로 저장하는 기판용기로서, 기판을 가공할 때 기판을 꺼내거나 저장하는 데 사용된다. FOUP 본체(21) 내부에 기판이 수납될 수 있는 다수의 슬롯(23)이 설치되어 있다. 가공을 위하여 FOUP 커버(22)를 열어 기판을 커내고, 공정이 완료되면 기판을 슬롯(23)에 수납한 후에 커버(22)를 닫아서 저장한다.

또한, 상기 FOUP 본체의 일면에 배기포트(110)와 주입포트(120)을 구비하고 있어 종래에는 퍼지를 실시했다.

도 2는 종래 웨이퍼 캐리어(FOUP)의 내부 정화 장치의 개략도 이며, 도 3은 종래의 풉 오프너를 도시한 사시도이다. 또한, 도 4는 도 3의 도어유닛의 구성을 도시한 사시도이다.

도 5는 본 발명의 실시 예에 의한 기판용기 개폐장치의 구성을 도시한 측면도이며, 도 6은 도 5의 커버개폐장치를 나타낸 단면도이다. 이때 기판용기는 도 1의 FOUP을 사례로 들어 설명하기로 한다.

도 7은 본 발명의 커버박스 내 질소공급 및 진공배기를 도시한 개략도이며, 도 8은 본 발명의 기판용기 내 질소공급 및 진공배기를 도시한 개략도이다.

도 5와 도 6을 상세히 설명하면서 도 7과 도 8의 실시를 설명하기로 한다.

도 5에 따르면, 본 발명의 기판용기 커버개폐장치는 기판용기를 고정시키는 프레임(60), 상기 프레임의 전면 또는 일면에 연결된 로딩장치(30), 상기 프레임(60)의 뒷면에 배치되어 상하 또는 좌우로 이동가능한 커버개폐장치(40)로 구성된다. 상기 프레임은 FOUP(20)의 내부 슬롯(23)에 저장된 기판을 입출 할 수 있는 여러형태의 개구부(61)를 포함하고 있으며, 개구부(61)는 테프론 계열의 재질로 되어 있어 FOUP의 내부 퍼지시 분자성 불순물의 발생이 없도록 하고 있다. 또한, 개구부(61)는 오링을 구비하고 있어 FOUP(20)의 본체(21)가 밀착되어 밀폐가 용이하도록 되어 있다. 이때, 도 5와 같이 프레임(60)을 수직으로 설치 하는 것을 기본으로 하지만, 프레임(60)이 수평으로 설치 될 수도 있다.

상기 로딩장치(30)는 FOUP(20)이 프레임(60)의 개구부(61)에 구비된 오링에 밀착 되도록 전진과 후진을 할 수 있도록 하는 슬라이더(31)를 포함하고, 슬라이더의 아래 일면에 실린더(32)를 구비하여 슬라이더(31)를 동작 시킨다. 또한, 상기 슬라이더(31)의 일면에 FOUP(20)을 안착시킬 수 있는 풉스테이지(33)을 포함한다.이때, 상기 로딩장치(30)은 상기 커버개폐장치(40)의 구비 위치에 따라 위치 변경 및 없을 수 있다.

상기 본 발명에 따른 커버개폐장치(40)는 상기 프레임(60)의 뒷면에 배치되어 도 5에는 나타내진 않았지만 상하 또는 좌우로 이동 가능한 구동부를 포함한다.상기 커버개폐장치(40)는 커버개폐장치(40)을 구성하기 위한 몸체, 즉, 커버개폐장치케이스(41)가 상기 구동부에 설치된다. 이때, 커버개폐장치케이스(41)는 도 5와 도 6에 도시한 바와 같이 적용 방법에 따라 상하 또는 좌우로 이동 가능한 구동부를 포함하지 않을 수 있지만, 통상적인 실시예로 설명하기로 한다.

상기 커버개폐장치케이스(41)는 프레임(60)에 밀착하여 내부 밀폐를 하기위한 오링(41c)s이 프레임(60)에 마주하는 외곽 일면에 구비되며, 상기 커버개폐장치케이스(41)의 내부 일면에도 FOUP(20)의 커버(22) 외측의 일면 전체를 밀폐 시킬 수 있는 실리콘 재질의 커버밀폐오링(41a)를 포함하고 있다.

이때, 커버밀폐오링(41a)은 여러 형상으로 구비 될 수 있다. 또한, 실리콘 외의 다른 재질로 커버밀폐오링(41a)이 구비 될 수도 있다.

상기 커버개폐장치케이스(41)의 내부 일단부에 슬라이드 부시(44)가 고정되고, 슬라이드부시(44)에 연결된 슬라이드샤프트(45)가 커버이송장치(42)의 뒷면에 고정된다.

또한, 커버이송장치(42)는 커버흡착용 진공핀(42a)과 진공패드(42b)가 구비되고, 상기 커버이송장치(42)는 커버를 개폐시킬 수 있는 레치(43)를 포함하며, 이때 레치(43)는 실린더(43a)에 의해 구동한다.

상기 커버개폐장치케이스(41)의 외곽 윗면에 질소공급장치(500)와 Ø6mm테프론 공급배관(520)과 연결된 0.1~0.2mm 구멍을 여러개 가지는 흡입노즐(41b)이 구비되고, 상기 흡입노즐(41b)의 전에 질소 공급 시기를 조절하는 공급조절밸브(520)를 별도로 포함한다.

그리고, 상기 커버개폐장치케이스(41)의 외곽 아래면에는 진공배기시스템(800)과 Ø8mm 제1의 테프론 배기배관(813)과 연결된 2~4mm 구멍을 여러개 가지는 제1의배기노즐(41d)을 구비하고 있다. 여기서, Ø8mm제1의 테프론 배기배관(813)에는 Ø8mm 제2의 테프론 배기배관(711)로 분리되는 피팅을 포함하고 있다.

상기 Ø8mm 제1의 테프론 배기배관(711)의 후단에 별도의 불순물검사기(700)와 수분함유량을 측정 할 수 있는 습도계(600)가 Ø6mm테프론배관(611)으로 분리 연결되어 구비되며, 제1의 테프론 배기배관(711)에 검출시기를 조절할 수 있는 제1의 배기조절밸브(710)를 별도로 포함한다.

또한, 상기 커버개폐장치케이스(41)의 뒷면의 일부에 제2의 배기노즐(41e)이 Ø8mm의 제3의 테프론 배기배관(811)과 Ø8mm 제4의 테프론 배기배관(811)을 통하여 Ø10mm의 제5의 테프론 배기배관(814)에 합쳐져 진공배기시스템(800)과 연결된다. 그리고, 상기 제1의 테프론배기배관(813)과 제5의 테프론 배기배관(814)은 배기시기를 조절 할 수 있는 제2의 배기조절밸브(810)과 제3의 배기조절밸브(820)을 별도로 포함하고 있다.

본 발명에 따라 도 7과 도 8을 상세히 설명하면,

도 7은 상기 도 6의 커버개폐장치(40)의 단면도에서 보는바와 같이 상기 커버이송장치(42)가 FOUP(20)의 본체(21)와 커버(22)를 분리시키기 위하여 상기 커버이송장치(42)를 전진 및 밀착하여 밀폐 시킨 후 커버개폐장치(40)의 내부 구동부에 질소공급 및 진공배기를 도시한 개략도이다.

여기서, 질소공급장치(500)의 질소는 공급조절밸브(520)가 열려 질소가 공급되며, Ø6mm테프론 공급배관(520)과 연결된 0.1~0.2mm 구멍을 여러개 가지는 흡입노즐(41b)을 통하여 커버개폐장치(40)의 내부 구동부에 공급된다.

이와 동시에, 진공배기시스템(800)이 동작하고 제2의 배기조절밸브(810)과 제3의 배기조절밸브(820)가 열리면, 상기 커버개폐장치케이스(41)의 외곽 아래면에 Ø8mm 제1의 테프론 배기배관(813)과 연결된 2~4mm 구멍을 여러개 가지는 제1의배기노즐(41d)과 상기 커버개폐장치케이스(41)의 뒷면의 일부에 제2의 배기노즐(41e)을 통하여 분자성불순물을 우선적으로 제거하고, 도 8의 본 발명의 실시 예에 따라 FOUP(20)의 내부에 질소공급 및 진공배기를 하기 위하여, 도 6의 커버개폐장치(40)의 커버이송장치(42)를 후진시켜 FOUP(20)의 커버(22) 외측의 일면 전체를 밀폐 시킬 수 있는 실리콘 재질의 커버밀폐오링(41a)에 밀착시켜 FOUP(20)의 내부를 외부와 완전 차폐시킨다. 여기서, 공급조절밸브(520)와 제3의 배기조절밸브(820)는 계속 열린상태를 유지하고, 제2의 배기조절밸브(810)는 닫힌다.

상기, 제3의 배기조절밸브(820)는 어느 정도 분자성불순물이 제거되면, 닫히고, 테프론 배기배관(711)에 검출시기를 조절할 수 있는 제1의 배기조절밸브(710)을 열어 불순물검사기(700)과 습도계(600)를 이용하여 불순물 측정과 습도 측정을 별도 또는 동시에 진행 할 수 있다.

도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 기판용기 내 퍼지 과정을 설명하기 위한 블록도이다. 이때, 기판용기 커버개폐장치는 도 5, 도 6의 설명을 참조하기로 하고, 도 10의 본 발명에 의한 기판용기 커버개폐장치를 구비한 로드포트를 나타낸 사시도와 도 11의 본 발명에 의한 기판용기 커버개폐장치를 구비한 로드포트를 포함한 웨이퍼 핸들링 시스템(EFEM:Equipment Front End Module)을 나타내는 사시도를 참조하여 설명하기로 하며, 기판용기는 도 1의 FOUP을 사례로 들어 설명하기로 한다.

도 9에 의하면, 먼저 로딩장치(30)에 의해 FOUP을 로딩한다(P10). 커버개폐장치(40)를 전진 및 밀폐한다(P20). 상기 도 7을 설명한 바와 같이 커버개폐장치(40) 내 질소공급 및 진공배기를 한다(P30). 이어서, 기판용기의 본체(21)와 커버(22)를 분리시킨다(P40). 이때, 도 11의 본 발명에 의한 기판용기 커버개폐장치를 구비한 로드포트를 포함한 웨이퍼 핸들링 시스템일 경우에는 기판용기(20) 내의 슬롯(23)에 기판이 저장되기 때문에 기판용기 내 기판 수량을 측정 한다(P50). 기판용기 커버개폐장치를 후진 및 개방한다(P60). 로봇과 같은 기판 로딩장치를 이용하여 기판을 공정 장비로 로딩한다(P70). 기판을 공정 및 세정을 한다(P80). 기판을 기판 로딩장치를 이용하여 기판용기(20)의 본체(21)의 내부 슬롯(23)에 언로딩한다(P90). 기판용기 커버개폐장치(40)를 전진 및 밀폐시킨다(P100). 그리고, 상기 도 8을 설명한 바와 같이 기판용기(20)의 내부에 질소공급 및 진공배기를 한다(P110). 기판용기(20)의 내부 잔존 불순물 측정을 한다(P120). 기판용기(20)의 내부 습도를 측정한다(P130). 기판용기개폐장치(40)을 이용하여 기판용기의 본체(21)와 커버(22)를 결합시킨다(P140). 기판용기(20)을 언로딩한다(P150).

이상, 본 발명은 바람직한 실시 예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

기판용기 본체의 커버를 개폐시 내부로 유입되는 미세먼지 및 수분과 같은 오염물질이 기판의 표면을 산화시키거나, 기판 표면에 붙어 반도체 생산에 악영향을 주기때문에 상기 발명으로 미세먼지 및 수분과 같은 오염물질이 완전 제거가 된다면 반도체 생산성이 더욱 높아질 것이다.

20 : 기판용기 21 : 본체 22 : 커버
23 : 슬롯 30 : 로딩장치 31 : 슬라이드
32 : 실린더 33 : 스테이지 40 : 커버개폐장치
41 : 커버개폐장치케이스 41a : 커버밀폐오링 41b : 흡입노즐
41c : 커버개폐장치밀폐오링 41d : 제1의배기노즐
41e : 제2의배기노즐 42 : 커버이송장치 42a : 진공핀
42b : 진공패드 42c : 피팅 43 : 레치
43a : 실린더 44 : 슬라이드부시 45 : 슬라이드샤프트
46 : 실린더 100 : 웨이퍼캐리어 110 : 주입포트
120 : 배기포트 200 : 가스공급부 220 : 가스공급노즐
300 : 도어유닛 310 : 외측도어 311 : 공간부
320 : 공급노즐 330 : 배기노즐 340 : 내측도어
360 : 밀폐커버

Claims

복수개의 기판을 보관하는 기판용기를 고정시키는 프레임;
상기 프레임의 적어도 일면에 연결된 로딩장치;
상기 프레임에 결합되어, 상기 프레임을 상하 또는 좌우로 이동시키는 구동부; 및
상기 구동부와 연결된 커버개폐장치 케이스를 포함하는 커버 개폐장치에 있어서,
상기 프레임은 상기 기판용기의 내부에 보관된 상기 기판이 출입할 수 있는 개구부를 포함하고, 상기 개구부는 고분자 재질로 이루어진 커버개폐장치 밀폐오링이 장착되어 있으며,
상기 커버개폐장치 케이스는 상기 프레임에 밀착시켜 밀폐하는 고분자 재질로 이루어진 커버 밀폐오링이 설치되고,
상기 커버개폐장치 케이스의 내부의 일단에는 슬라이드 부시가 고정되고, 상기 슬라이드 부시에 연결된 슬라이드 샤프트가 커버 이송장치에 고정되며, 상기 커버 이송장치는 커버흡착용 진공핀 및 진공패드가 구비되고, 상기 커버 이송장치는 커버를 개폐시킬 수 있는 레치를 포함하며, 상기 레치는 실린더에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 기판용기 커버개폐장치.
제1항에 있어서, 상기 프레임은 상기 기판용기에 대하여 수직 또는 수평으로 설치되고, 상기 로딩장치는 상기 기판용기가 상기 커버개폐장치 밀폐오링에 밀착되도록 전진 및 후진을 하는 슬라이더를 포함하고, 상기 슬라이더의 아래 일면에 실린더를 구비하여 상기 슬라이더를 동작시키고, 상기 슬라이더의 일면에는 상기 기판용기를 안착시키는 풉스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용기 커버개폐장치.
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제1항에 있어서, 상기 커버 밀폐오링은 상기 프레임에 밀착이 용이하게 하는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 기판용기 커버개폐장치.
제1항에 있어서, 상기 커버 밀폐오링은 실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판용기 커버개폐장치.
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제1항에 있어서, 상기 커버개폐장치 케이스의 외곽 윗면에 질소 공급장치와 테프론 공급배관과 연결된 0.1~0.2mm 크기의 다수개의 구멍을 가지는 흡입노즐이 구비되고, 상기 흡입노즐의 전에 질소 공급 시기를 조절하는 공급조절밸브를 별도로 포함하며, 상기 커버개폐장치 케이스의 외곽 아래면에는 진공배기시스템과 제1 테프론 배기배관과 연결된 2~4mm 크기의 다수개의 구멍을 가지는 제1 배기노즐을 구비하고, 제1 테프론 배기배관에는 제2 테프론 배기배관로 분리되는 피팅을 포함하며, 상기 제1 테프론 배기배관의 후단에 별도의 불순물검사기와 수분함유량을 측정할 수 있는 습도계가 테프론배관으로 분리 연결되어 구비되고, 제1 테프론 배기배관에 검출시기를 조절할 수 있는 제1 배기조절밸브를 별도로 포함하며, 상기 커버 이송장치가 상기 기판용기의 본체와 커버를 분리시키기 위하여 상기 커버 이송장치를 전진 및 밀착하여 밀폐시킨 후 커버 개폐장치의 내부 구동부에 질소공급 및 진공배기 실시하며, 상기 질소 공급장치의 질소는 상기 공급조절밸브가 열려 질소가 공급되고, 상기 흡입노즐을 통하여 상기 커버 개폐장치의 내부 구동부에 공급되며, 동시에 진공배기시스템이 동작하고 제2 배기조절밸브과 제3 배기조절밸브가 열리면, 상기 커버 개폐장치케이스의 외곽 아래면에 상기 배기배관과 연결된 상기 제1 배기노즐과 상기 커버 개폐장치케이스의 뒷면의 일부에 제2 배기노즐을 통하여 분자성불순물을 우선적으로 제거하고, 상기 기판용기의 내부에 질소공급 및 진공배기를 하기 위하여, 상기 커버 이송장치를 후진시켜 상기 기판용기의 커버 외측의 일면 전체를 밀폐시킬 수 있는 상기 커버 밀폐오링에 밀착시켜 상기 기판용기의 내부를 외부와 완전 차폐시키고, 상기 공급조절밸브와 상기 제3 배기조절밸브는 열린 상태를 유지하고, 상기 제2 배기조절밸브는 닫고, 상기 제3 배기조절밸브는 상기 분자성불순물이 제거되면 닫고, 상기 배기배관에 검출시기를 조절할 수 있는 상기 제1 배기조절밸브을 열어 상기 불순물검사기과 상기 습도계를 이용하여 불순물 측정과 습도 측정을 진행할 수 있는 것을 특징으로 하는 기판용기 커버개폐장치.
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제7항에 있어서, 상기 기판용기 커버개폐장치는 로드포트를 구성하는 것을 특징으로 하는 기판용기 커버개폐장치.
제9항에 있어서, 상기 로드포트는 퍼지과정을 포함하여 상기 기판을 핸들링하는 것을 특징으로 하는 기판용기 커버개폐장치.