JP4512505B2 - 基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法 - Google Patents
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Description
かかる状況のもと、本発明が解決しようとする課題は、基板搬送容器内空間の汚染状態を簡便に評価する方法を提供することにある。
容器本体の内容積が30Lであり、容器本体の開口部が蓋体により閉塞された未洗浄の基板搬送容器の開口部に、内容積60Lのポリエチレン製袋体を装着した。装着は、該開口部の周縁のフランジ部分と袋体の開口端部とをあわせ、ステンレス製固定治具により、固定、密着させることにより行った。袋体の底部にはガス導入孔を設け、該ガス導入孔にポリテトラフルオロエチレン製の窒素導入管を接続し、マスフローコントローラーで窒素の流量を調整できるようにした。袋体の開口端部付近には、ガス排出口を設け、該ガス排出口にポリテトラフルオロエチレン製のガス導出管を介して2段連結のガラス製インピンジャー(吸収液として純水を使用。)を接続し、ダイヤフラム型ポンプにより排出ガスの流量を調整できるようにした。また、袋体内には、あらかじめ、蓋体を開錠するための治具を入れておいた。次に、袋体内の治具により蓋体を開錠して、容器本体内部空間と袋体内とを連通させ、マスフローコントローラーとダイヤフラム型ポンプにより、袋体に導入する窒素の流量と排出ガスの流量とを2L/分に調整した。排出ガスの総体積が90L(容器本体の内容積と袋体の内容積との合計の3倍)となったところで、窒素の導入と排出ガスの排出を停止し、インピンジャー内の吸収液をイオンクロマトグラフで分析した。分析結果を表1に示す。
蓋体を開錠しないかった以外は、実施例1と同様に行った。分析結果を表1に示す。
洗浄済みの基板搬送容器を用い、アンモニア濃度が300体積ppmの空気1mlを袋体に注入した以外は、実施例1と同様に行った。インピンジャー内の吸収液をイオンクロマトグラフで分析し、アンモニア量を測定した結果、230ngであった。
2:蓋体
3:空間ガス
4:袋体
5:固定治具
6:ガス導入孔
7:ガス導入管
8:ガス排出口
9:排出ガス導出管
10:排出ガス捕集装置
Claims (2)
- 容器本体と蓋体とを有し、該容器本体は一側面に開口部が形成され、また、該蓋体は該開口部を閉塞可能に、かつ該容器本体に開閉自在に取り付けられてなる基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法であって、該基板搬送容器に袋体を該開口部が該袋体で外気と遮断されるように装着した後、前記蓋体による該開口部の閉塞状態を解除して該容器本体内部空間と該袋体内部とを連通させ、該袋体に設けられたガス導入孔から不活性ガスを前記容器本体内に導入しながら、該袋体に設けられたガス排出口から排出される排出ガスを捕集し、該排出ガス中の汚染物質を分析することを特徴とする基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法。
- 袋体において、ガス排出口をガス導入孔の設置位置に比し、容器本体の開口部に近い位置に設置すると共に、容器本体の内容積と袋体により形成される内容積との合計の1〜3倍(体積/体積)の量の排出ガスを捕集することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法。
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