JP4986632B2 - ウェハ輸送コンテナのパージング - Google Patents
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Description
静的条件の下でXCDAパージを使用して、FOUP450の大気の炭化水素汚染物質が調査された。図4は、FOUP汚染試験のための実験セットアップを示したものである。パージガスの流量は、質量流量コントローラ410を使用して5slmに維持された。Aeronex CE500KFO4Rガス浄化器(Mykrolis Corporation、Massachusetts州Billerica所在)420を使用して、乾燥した清浄な空気(CDA)のガスが浄化され、汚染物質の濃度が1ppt未満のパージガスが生成された。真空ポンプ430を冷却トラップ440の下流側に使用してサンプルが収集された。ベンゼン、トルエン、エチルベンゼンおよびキシレンの複合汚染物質セット(BTEX)の較正曲線を使用して汚染物質の濃度が計算される場合に、圧力および流量の差が考慮された。
図6に示す実験システムは、もう1つの試験を実行するために使用されたものである。次の4つの位置で炭化水素汚染の濃度が測定された。(i)ロードポート引渡しシステムの出口、サンプルはテフロン(登録商標)配管までのハード配管によって取得された(図6の位置610参照)。(ii)FOUPクイックコネクトを介したロードポートの出口(図6の位置620参照)。(iii)パージ入口フィルタ部分のFOUPの内側(図6の位置630参照)。(iv)パージのないバルクバックグラウンドを測定するためのFOUPの内側(図6の位置640参照)。
図7は、静的条件および様々なパージガス条件の下でのFOUP環境への露出によるウェハの汚染を測定するために使用された実験セットアップを略図で示したものである。このセットアップの主な目的は、炭化水素の脱着に先立つ周囲環境へのウェハの露出を除去することであり、したがってウェハに対するすべての汚染がFOUP環境から直接導かれることになる。
1.7日間静的状態におかれたFOUP
2.XCDAを使用して7日間パージングされた状態のFOUP
3.UHP CDAを使用して7日間パージングされた状態のFOUP
Claims (22)
- 汚染された気密封止されていない搬送コンテナを浄化する方法であって、
搬送コンテナ内の対象上の微粒子の流入を起こさない能動的流量で搬送コンテナを通して、汚染物質の濃度が100パートパートリリオン(ppt)以下のパージガスを流し、それにより搬送コンテナから汚染物質をパージングするステップを含み、
パージガスが、空気、酸素又は水のうちの少なくとも1つを含む、方法。 - 搬送コンテナがプラスチックからなり、搬送コンテナをパージングする際にプラスチックとガスが接触する、請求項1に記載の方法。
- 汚染物質が少なくとも1つの有機汚染物質を含む、請求項1に記載の方法。
- 汚染物質が、炭化水素、アミン、有機リン酸塩、シロキサン、無機酸およびアンモニアのうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- パージングするステップが、毎分300標準リットル(slm)未満の流量でガスを搬送コンテナを通して流すステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 流量が5slmと200slmの間である、請求項5に記載の方法。
- 流量を0slmから徐々に増加させることによって搬送コンテナに流れるガスが導入される、請求項5に記載の方法。
- ガス中の汚染物質の濃度が10ppt以下である、請求項1に記載の方法。
- ガス中の汚染物質の濃度が1ppt以下である、請求項8に記載の方法。
- 搬送コンテナが前面開放統一ポッドである、請求項1に記載の方法。
- 搬送コンテナが標準化機械インタフェースポッドである、請求項1に記載の方法。
- ガスが、空気、酸素、窒素、水および希ガスのうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 搬送コンテナから密閉チャンバへ対象を搬送する方法であって、
搬送コンテナ内の対象上の微粒子の流入を起こさない能動的流量で搬送コンテナを通して、汚染物質の濃度が100パートパートリリオン(ppt)以下のパージガスを流し、それにより、密閉チャンバと接触する前に搬送コンテナから汚染物質をパージングするステップと、
汚染物質がパージされた搬送コンテナを密閉チャンバに露出させるステップと、
搬送コンテナと密閉チャンバの間で対象を搬送するステップとを含む、方法。 - 対象が半導体デバイスである、請求項13に記載の方法。
- 半導体デバイスがウェハである、請求項14に記載の方法。
- 搬送コンテナが、対象を有する少なくとも1つの非気密封止コンテナを備えた、請求項13に記載の方法。
- パージングするステップが、100slmと10,000slmの間の流量でガスを搬送コンテナに流すステップを含む、請求項16に記載の方法。
- 搬送コンテナをパージングしている間、搬送コンテナから流出する汚染されたガスの汚染物質濃度を検出するさらなるステップをさらに含み、
汚染されたガスの汚染物質濃度が閾値汚染物質濃度以下になると、搬送コンテナを密閉チャンバに露出させるステップが実行される、請求項13に記載の方法。 - ガスの汚染物質の濃度が2パートパービリオン未満であり、また、ガス中の汚染物質の濃度が十分に小さく、したがって、搬送コンテナが密閉チャンバに露出された後、密閉チャンバが、露出させるステップおよび搬送するステップのみが実行される場合より小さい汚染物質露出濃度を有する、請求項13に記載の方法。
- 2つの環境の間で対象を搬送するためのシステムであって、
汚染物質の濃度が100パートパートリリオン以下のガスを使用してパージングされる環境を有する非気密封止搬送コンテナと流体連結したパージガス供給器を備え、前記搬送コンテナは、搬送コンテナから汚染物質をパージングする開口を有し、更に、
搬送コンテナ内の対象上の微粒子の流入を起こさない能動的流量で搬送コンテナを通して、パージガスを流す、質量流量コントローラまたは圧力コントローラと、
非気密封止搬送コンテナに接続された密閉チャンバと、
閉じると、密閉チャンバの環境と非気密封止搬送コンテナの環境を分離するようになされた密閉可能ドアとを備えた、システム。 - 非気密封止搬送コンテナから排出されるガスの汚染物質濃度を識別するための、汚染物質濃度が閾値汚染物質濃度以下の場合に、密閉可能ドアを開けるための信号をコントローラに送信するようになされた検出器をさらに備えた、請求項20に記載のシステム。
- 前記ガスが、極めて清浄な乾燥した空気である、請求項1に記載の方法。
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