KR20060123520A - 웨이퍼 반송 용기의 세정 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예는 표준화 기계 인터페이스(SMIF) 포드 등의 이송 용기를 세정하는 방법 및 시스템에 관한 것이다. 특히, 정화된 세정 가스가 전방 작동 통합 포드(FOUP) 및 다른 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기를 정화할 수 있으며, 그 결과 용기는 유기물 및 다른 유해 오염물로 밀봉 챔버의 환경을 불리하게 오염시키지 않고도 밀봉 챔버(예컨대, 반도체 가공 장비)와 인터페이스될 수 있다. 이 방법 및 시스템은 전자 재료 제조 및 가공 동안에 웨이퍼, 반도체 부품 그리고 극히 청정한 환경에 대한 노출을 요구하는 다른 재료 등의 물체를 이송하는 데 사용될 수 있다.
정화 방법, 이송 용기, 오염물, 농도, 가스

Description

웨이퍼 반송 용기의 세정 {PURGING OF A WAFER CONVEYANCE CONTAINER}
본 출원은 2004년 2월 5일자로 출원된 미국 가출원 제60/542,032호의 이익을 향유하며, 그 내용은 온전히 참조로 여기에 일체화되어 있다.
본 발명은 오염을 제거하기 위한 고청정도 환경(high purity environment)의 세정에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 그 내의 환경의 품질을 보증하기 위해 표준화 기계 인터페이스 포드를 세정하는 방법을 제공한다. 본 발명은 특히 반도체 소자, 웨이퍼, 평판 디스플레이 그리고 용기가 공정 장비 또는 다른 밀봉 챔버와 인터페이스하는 동안에 고청정도 환경을 요구하는 다른 제품을 위한 용기의 세정에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조에서, 실리콘 웨이퍼는 소자를 위해 필요한 재료의 층을 구축하기 위해 다수의 공정 단계를 겪는다. 각각의 공정 단계는 작업을 수행하기 위해 별도의 장비를 요구하며 웨이퍼는 공정 장비들 사이에서 운반되어야 한다. 웨이퍼 상의 특징부 치수의 감소는 각각의 공정 단계 동안에 웨이퍼와 접촉하는 가스, 화학 약품 및 환경의 지속적으로 증가하는 청정도를 강요하였다. 클린룸 환경은 웨이퍼의 표면보다 상당히 덜 청정하므로, 운반 동안의 클린룸 공기에 대한 웨이퍼의 노출은 공정에 불리하고, 그에 의해 결함 및 웨이퍼 손실이라는 결과를 초 래한다. 표준화 기계 인터페이스(SMIF: standardized mechanical interface) 시스템은 개방된 클린룸 내에서의 웨이퍼의 운반에 대한 해결책을 제공하였다.
불순물 허용 수준이 공정마다 변동하지만, 대부분의 공정 장비에서, 사용 지점 정화(point of use purification)의 장점은 명확하다. 공정 가스가 종종 제조 시설을 통해 장거리의 파이프에 걸쳐 장비로 운반되며, 이동된 거리가 클수록 오염물이 스트림 내에 동반되기 쉬울 것이다. 나아가, 공급자가 제조 시설에 충분한 고청정도의 가스를 제공하는 것은 종종 적절하지 않다. 충분한 청정도의 가스의 생산이 실용적인 경우에도, 운반 및 설치 동안의 오염의 가능성은 종종 이러한 가스의 직접적인 사용을 가로막는다. 그러므로, 다수의 발명이 공정 장비에서 사용되는 거의 모든 가스의 사용 지점 정화를 위해 종래 기술에서 존재한다. 공정 장비로의 이들 방법 및 장치의 일체화는 당업계에서 표준 관례가 되었다.
청정도를 보증하기 위해 그리고 운반의 용이성을 위해, 웨이퍼는 전형적으로 상이한 공정 장비로 이동할 때 표준화 용기 내에 수납된다. 이들 용기 중 2개의 가장 흔한 형태는 표준 기계 인터페이스(SMIF) 포드 및 전방 개방 통합 포드(FOUP: front opening unified pod)이다. SMIF 시스템은 입자상 물질 오염으로부터 웨이퍼를 보호하고 표준화 및 자동화 인터페이스에 공정 장비의 청정 환경을 제공함으로써 웨이퍼 오염을 감소시킨다. SMIF 시스템에서, 웨이퍼, 또는 평판 디스플레이 등의 다른 민감한 장치는 폴리카보네이트 플라스틱으로 구성되는 포드 내에 수납된다. 전형적인 FOUP는 개별 선반 상에 고정되는 10 내지 25매 웨이퍼의 용량을 갖는다. FOUP는 인터페이스 장치, 또는 어시스트 테크놀로지즈로부터 입수 가능한 등록 상표 아이소포트(Isoport) 등의 "포트"를 통해 공정 장비에 연결된다. 아이소포트는 장비와 FOUP를 정렬하기 위한 동적 커플링 기구 그리고 웨이퍼로의 접근을 위해 FOUP를 개방 및 폐쇄하기 위한 자동화 도어를 제공한다. 개방되면, FOUP 환경은 장비 환경과 접촉하며 인터페이스는 공정 장비로부터의 순방향 유동에 의해 대체로 세정된다.
FOUP와 공정 장비 사이의 인터페이스의 세정에도 불구하고, FOUP 환경은 여전히 다수의 발생원으로부터의 불순물 즉 입자상 물질 및 공기 중의 분자 오염물(AMC: airborne molecular contaminant)의 양쪽 모두에 민감하다. FOUP는 알루미늄 기부에 밀봉되는 폴리카보네이트 플라스틱 본체로 제조된다. FOUP에서 사용되는 밀봉물 및 수지는 오염물 특히 FOUP가 세척되는 습식 린스 공정 동안에 흡수되는 오염물로부터 가스를 제거할 수 있다. 공정 단계 동안에, 웨이퍼는 FOUP에 대해 연속적으로 제거 및 복귀된다. 장비 내에서 일어나는 공정에 따라, 다양한 오염물이 웨이퍼의 표면 상에 보유될 수 있다. 웨이퍼가 FOUP 내에 놓여 있을 때, 특히 이들이 장기간 동안 저장되면, 이들 오염물은 FOUP 환경 내로 해제될 수 있고 추가의 웨이퍼 또는 웨이퍼의 일부를 오염시킬 수 있다. 또한, 웨이퍼가 FOUP 내에 놓여 있을 때, 외부측 공기가 FOUP 환경 내로 새어 들어와 FOUP 환경을 오염시킨다. 안전 및 취급의 이유 때문에, FOUP는 기밀 밀봉되도록 구성되지 않는다.
실험 증거는 FOUP의 세정이 웨이퍼에 불리하다는 견해를 뒷받침하지 못했기 때문에, 특히 FOUP를 위한 별도의 세정이 아이소포트 스테이션의 설계로 일체화되지 않았다. 베일레롯, 등["웨이퍼 저장 및 운반 용기 내에서의 세정 가스의 사용 시험(Testing the use of purge gas in wafer storage and transport containers)", [온라인] 1997-2003; 인터넷 상에서 <URL: http://www.micromagazine.com/archive/03/08/verllerot.html]은 < 2 ppb(parts per billion)의 탄화수소 오염물을 함유하는 청정한 건조 공기 그리고 300 ppt(parts per trillion)의 탄화수소 오염물을 함유하는 질소로 세정한 SMIF 포드의 효과를 검사하는 연구를 수행하였다. 세정 유무로 나뉘어 저장된 웨이퍼에 대한 전기 측정을 기초로 하여, 이들은 정적 환경이 세정된 용기보다 양호하다는 결론을 내렸다. 이와 같이, 이러한 청정도 수준으로의 가스로의 FOUP의 세정은 명확하게 바람직하지 않다.
어시스트 테크놀로지즈에게 허여된 특허에서, 아이소포트의 스테이지 상에 존재할 때 FOUP로의 세정 가스 유동을 일체화시키는 다수개의 밸브 배열체, 센서 및 작동기가 개시되었다. 이들 발명의 초점은 세정 조건의 제어를 고려하지 않은 아이소포트로의 세정의 도입이다. 세정 가스를 투여하는 조건은 이 방법의 성공에 중대하다. 어떤 청정도 수준에 있지 않은 가스로부터 일어나는 문제점에 추가하여, 세정 가스 유동의 시작 및 정지는 FOUP 내에서의 가스의 난류 유동으로부터 일어나는 새로운 문제점을 도입시킨다. 가스가 압력차를 가로질러 즉시 유동하게 될 때마다 일어나는 이러한 난류 유동은 FOUP의 저부 상에 정착한 입자상 물질이 스트림 내에 동반되게 하고 후속적으로 웨이퍼의 표면 상에 정착하게 한다. 세정의 결과로서, 웨이퍼는 오염되고, 그에 의해 결함 및 웨이퍼 손실이라는 결과를 초래한다. 어시스트 특허는 명확하게 FOUP와 세정 가스 유동을 인터페이스하는 신규한 수단이지만, 세정 조건의 적절한 제어가 없으면 실용적이지 않다.
IBM 코포레이션에게 허여된 미국 특허 제5,346,518호에서, 흡착제 및 필터의 정교한 시스템이 개시되어 있으며 그에 의해 오염물 특히 탄화수소가 SMIF 포드 내의 환경으로부터 제거된다. 이 발명은 대체예의 흡착제 배열체가 상이한 공정 및 SMIF 포드에서 직면될 수 있는 변수를 보상하는 다수의 실시예를 포함한다. 이 발명은 FOUP 환경을 보호하는 신규한 수단을 제공하지만, 이러한 방법을 사용할 때 일부의 주요 결점이 존재한다. 이러한 발명에 기재된 증기 제거 요소 또는 흡착제는 정적 조건 하에서의 이들로의 오염물의 확산 운반에 의존한다. 그러므로, FOUP 내에서의 오염물의 체류 시간은 길 수 있으며 웨이퍼 표면에 비가역적으로 속박되는 어떤 오염물이 효율적으로 제거되지 않을 것이다. 오염물이 웨이퍼 표면에 가역적으로 속박되더라도, 웨이퍼 표면은 여전히 순수하게 확산 공정만 사용하여 제거하기 어려운 오염물의 준-정상 상태 수준에 도달할 수 있다. 흡착제 자체는 전형적으로 FOUP 환경으로부터 오염물을 제거하기 위해 가역 평형 흡착에 의존한다. 그러므로, 오염물이 흡착제 상에 집중됨에 따라, 이들은 FOUP 환경 내로 해제될 수 있다. 이러한 문제점은 흡착제를 주기적으로 교체함으로써 방지되고, 그에 의해 새로운 공정 단계를 생성시킨다. 추가로, 교체가 오염물 농도보다 오히려 시간에 의존하므로, 이 방법은 공정 불규칙성의 영향에 민감하다. 예컨대, 시스템 전복이 공정 장비 세정 가스로부터와 같이 FOUP 내로 진입하는 대량의 불순물 가스라는 결과를 초래할 수 있다. 이러한 가스 내의 불순물은 FOUP 내의 흡착제를 포화시킬 수 있고 그 예정된 교체 전에 그 작동 불능이라는 결과를 초래할 수 있다. FOUP는 습식 린스 공정에서 정상적으로 세척되므로, 흡착제는 이러한 공정 전에 제거되거나 보호되어야 한다. 이와 같이, 이러한 오염 제어의 방법은 적절한 조건 하에서의 FOUP의 세정에 비교될 때 상당한 단점을 갖지만, 2개의 방법은 상호 배타적이지 않다.
본 발명의 일 실시예에서, 이송 용기를 정화하는 방법이 기술된다. 이 방법은 약 100 ppt, 10 ppt 또는 1 ppt 이하의 오염물의 농도 수준을 갖는 가스로 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기를 세정하는 단계를 포함한다. 이송 용기는 플라스틱을 포함할 수 있으며, 또한 표준화 기계 인터페이스 포드 또는 전방 개방 통합 포드일 수 있다. 이송 용기를 세정하는 데 사용되는 가스 내의 오염물은 유기 오염물, 탄화수소, 아민, 유기 인산염, 실록산, 무기산, 암모니아 또는 전술된 성분 중 임의의 성분의 조합일 수 있다. 이송 용기를 세정하는 데 사용되는 가스는 공기, 산소, 질소, 물 및 희유 가스 중 1개 이상을 포함할 수 있다. 가스는 약 300 slm(standard liters per minute) 미만의 이송 용기를 통한 유속을 가질 수 있거나, 유속은 약 5 slm 내지 약 200 slm 사이에 있을 수 있다. 가스는 약 0 slm으로부터 시작하여 유속을 증가시킴으로써 이송 용기 내로 유입될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기로부터 밀봉 챔버로 물체를 이송하는 방법이 기술된다. 이 방법은 가스로 이송 용기를 세정하는 단계, 밀봉 챔버에 이송 용기를 노출시키는 단계 그리고 이송 용기와 밀봉 챔버 사이에서 물체를 이송하는 단계를 포함한다. 이송 용기를 세정하는 데 사용되는 가스는 약 100 ppt 이하의 오염물 농도를 갖는다. 이 방법은 이송 용기로부터 세정되는 가스의 오염물 농도를 검출하는 단계를 추가로 포함하며, 이송 용기는 검출된 오염물 농도가 임계 오염물 농도 이하일 때에만 밀봉 챔버에 노출된다. 이송될 물체는 반도체 소자 또는 웨이퍼일 수 있다. 이송 용기는 이송될 물체를 보유하는 이송 용기 내에 적어도 1개의 기밀 밀봉되지 않은 용기를 가질 수 있다. 이송 용기를 세정하는 데 사용되는 가스는 약 100 slm 내지 약 10000 slm 사이의 유속을 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기로부터 밀봉 챔버로 물체를 이송하는 또 방법에 관한 것이다. 이 방법은 가스로 이송 용기를 세정하는 단계, 밀봉 챔버에 이송 용기를 노출시키는 단계 그리고 이송 용기와 밀봉 챔버 사이에서 물체를 이송하는 단계를 포함한다. 이송 용기를 세정하는 데 사용되는 가스는 2 ppb 미만의 오염물 농도를 갖는다. 오염물 농도는 또한 밀봉 챔버가 이송 용기가 가스로 세정되지 않은 경우보다 이송 용기에 노출될 때 더 낮은 농도의 오염물을 가질 정도로 충분히 낮다.
본 발명의 또 다른 실시예는 2개의 환경 사이에서 물체를 이송하는 시스템에 관한 것이다. 이 시스템은 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기 그리고 밀봉 챔버를 포함한다. 이송 용기는 약 100 ppt 이하의 오염물의 농도를 갖는 가스로 세정되는 환경을 포함한다. 밀봉 챔버는 이송 용기에 연결된다. 폐쇄 가능한 도어가 폐쇄될 때 밀봉 챔버의 환경으로부터 이송 용기의 환경을 분리한다. 검출기가 선택적으로 포함되고 이송 용기로부터 세정되는 가스의 오염물 농도를 식별하도록 구성된다. 검출기는 또한 세정된 가스의 오염물 농도가 임계 오염물 농도 이하일 때 폐쇄 가능한 도어를 개방하는 신호를 제어기에 보내도록 구성된다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 장점은 동일한 도면 부호가 상이한 도면 전체에 걸쳐 동일한 부품을 나타내는 첨부 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 양호한 실시예의 다음의 더 구체적인 설명으로부터 명확할 것이다. 도면은 반드시 일정한 비율일 필요가 없고, 그 대신에 본 발명의 원리를 설명하는 것에 중점을 두고 있다.
도1은 본 발명의 폭넓은 실시예에서의 공정 흐름을 도시하는 블록도이다.
도2는 센서로부터의 피드백을 일체화한 본 발명의 양호한 실시예에서의 공정 흐름을 도시하는 블록도이다.
도3a는 FOUP가 본 발명의 실시예에 따른 방법에 의해 세정될 수 있는 공정 장비에 연결된 아이소포트의 스테이지 상의 FOUP를 도시하고 있다.
도3b는 SMIF 포드가 본 발명의 실시예에 따른 방법에 의해 세정될 수 있는 공정 장비에 연결된 아이소포트의 스테이지 상의 SMIF 포드를 도시하고 있다.
도4는 FOUP 내의 오염 수준을 시험하는 데 사용되는 실험 장치의 개략도이며, 측정 중 일부가 본 발명의 실시예에 따른 방법을 이용하고 있다.
도5는 2개의 상이한 시험 조건 동안의 FOUP 내의 오염물 농도의 결과의 그래프이며, 1개의 조건이 본 발명의 실시예에 따른 방법을 이용하고 있다.
도6은 FOUP가 아이소포트에 연결되는 시스템의 다양한 위치에서의 오염 수준 을 시험하는 데 사용되는 실험 장치의 개략도이며, 측정 중 일부가 본 발명의 실시예에 따른 방법을 이용하고 있다.
도7은 상이한 시스템 구성 및 환경 조건이 적용된 웨이퍼 챔버 내의 총 오염 수준을 검사하는 데 사용되는 실험 장치의 개략도이며, 측정 중 일부가 본 발명의 실시예에 따른 방법을 이용하고 있다.
도8a는 본 발명의 실시예와 일관된 스토커의 외관도이다.
도8b는 본 발명의 실시예와 일관된 스토커의 단면도이다.
본 발명의 양호한 실시예의 설명이 뒤따른다.
제조 시설 내에서의 저장 및 운반 동안에 민감한 장치의 미시 환경을 제어하기 위한 표준화 기계 인터페이스(SMIF) 시스템의 사용은 공정 제어를 크게 개선시켰고 소자 오염을 감소시켰다. 이들 개선은 소자의 높은 수율을 낳았고 소자가 클린룸 환경과 접촉한 상태로 유지되었다면 성취될 수 없었던 기술적 개선을 가능케 하였다. SMIF 시스템은 130 ㎚의 집적 회로 그리고 300 ㎜의 ULSI 웨이퍼를 가능케 하는 오염 제어에서 특히 중요한 역할을 하였다. 공정 개선이 이들 기술 노드의 더 앞선 실시 그리고 미래의 서브-마이크론 기술 노드를 향한 추진과 함께 계속됨에 따라, 오염 제어가 반도체 제조의 공정에 더 중대해지고 있다. 그러므로, 기술적 진보를 가능케 하고 웨이퍼 수율을 증가시키는 SMIF 시스템의 향상이 필수적이다.
SMIF 시스템 구체적으로 SMIF 포드 및 전방 개방 통합 포트(FOUP)의 세정이 이전에 개시되었지만, 그 적용은 본 발명 이전에는 비실용적이었다. 세정에 대한 대체예가 또한 개시되었지만, 이들 수동 시스템에서의 제어의 부족이 이들을 오염 제어에 대해 덜 바람직하게 한다. 추가로, 이들 방법은 FOUP를 능동적으로 세정하는 것과 양립 가능하고 상호 보완적이다.
본 발명의 실시예는 FOUP를 세척하는 것과 관련된 문제점을 해결하고 미래의 기술적 발전을 가능케 할 SMIF 시스템에 대한 향상을 제공한다. 본 발명의 실시예는 총 유기물 오염이 ≤100 ppt 그리고 바람직하게는 ≤10 ppt인 극히 청정한 세정 가스를 이용한다. 이러한 청정도 수준은 대부분의 종래 기술의 방법에서 용이하게 달성 가능하지 않았다. 그러나, 본 발명의 출원인에 의한 가스 정화 기술의 혁신이 이러한 청정도의 가스의 이용 가능성을 용이하게 하였다. 본 발명의 다른 실시예는 FOUP 내로의 즉각적이지 않은 방식으로의 세정 가스 유동을 도입한다. 이들 실시예의 개시 내용은 종래 기술에 기재된 바와 같은 세정의 적용과 양립하지 않는다는 것을 주목하는 것과 관련된다.
본 발명의 일 실시예에서, 세정 가스(4)는 세정 가스(6)의 오염물 농도가 ≤100 ppt 총 유기물 오염(TOC: total organic contamination) 그리고 바람직하게는 ≤10 ppt이도록 정화기(5)를 통해 유동하게 된다. 유동 제어 장치(3)는 난류 유동 및 결과적인 입자상 물질 동반이 충분히 제거되도록 된 비율로 세정 가스 유동(2)이 영(0) 유동 상태로부터 원하는 유속(4)으로 증가하게 한다. 세정 가스는 그 다음에 SMIF 시스템(1)의 일부인 SMIF 포드(7)를 통해 유동하게 된다. 이와 같이, 가장 폭넓은 실시예에서, 본 발명의 방법은 매우 낮은 오염물 수준에 민감한 소자 예컨대 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 기판의 가공을 위한 반송 장치의 세정에 대한 주요 장애물을 극복한다.
본 발명의 양호한 실시예는 도2에 도시된 바와 같은 다음의 단계를 포함한다. SMIF 포드 바람직하게는 FOUP는 SMIF 시스템 또는 그 부품 바람직하게는 아이소포트 또는 그와 유사한 장치 또는 FOUP 저장 래크(9)에 연결된다. 이러한 연결은 FOUP의 적절한 배치를 보증하기 위해 다중 지점 접촉 기구(multipoint contact mechanism)의 동적 정렬을 포함한다(10). FOUP가 적절하게 정렬되지 않으면(11), 에러 메시지가 결과로서 표시되며 정렬은 재시도되어야 한다. FOUP가 적절하게 정렬되면, 디지털 신호가 그 작동 파라미터가 미리 한정된 유동 제어 장치에 전달되며(12), 바람직하게는 이러한 장치는 디지털 압력 보상 질량 유동 제어기(MFC: mass flow controller)이다. 가스는 그 다음에 그 청정도가 전술된 범위 내에 있다는 것을 보증하기 위해 정화기를 통해 유동한다(13). 정화기로부터 유출되는 청정 가스는 FOUP와 SMIF 시스템 사이의 밸브를 통해 FOUP 내로 유동한다. 밸브의 개방은 또한 예컨대 어시스트 테크놀로지즈에 의해 이전에 개시된 장치에서와 같이 FOUP의 적절한 정렬에 의해 능동 또는 수동 중 하나의 방식으로 제어되는 것이 양호하다(미국 특허 제6,164,664호 및 그 내의 참고 문헌을 참조). 세정 가스는 입구 밸브와 유사한 밸브를 통해 FOUP로부터 유출되며, 그 오염물 농도는 이러한 개구의 하류의 적절한 분석 장치에 의해 감시된다(14). 유출물의 오염물 농도가 소정의 수준에 도달할 때, 분석 장치는 SMIF 시스템에 디지털 신호를 전달한다(15). 이러한 신호는 적용 분야에 따라 다양한 방식으로 시스템에 의해 사용될 수 있다. 일부의 실시예에서, 신호는 추가의 공정 제어를 제공하도록 저장될 수 있다(16). 양호한 아이소포트 또는 그와 유사한 장치에서, 신호는 아이소포트(9)에 의한 FOUP-공정 장치 도어의 개방이라는 결과를 가져온다. 이러한 신호는 또한 또 다른 소정의 설정점으로 FOUP를 통한 세정 가스 유동을 조정하기 위해 이러한 디지털 MFC(12)에 의해 사용될 수 있다. 웨이퍼가 FOUP에 대해 정상적으로 계속적으로 제거 및 복귀되므로, 연속적인 세정 가스 감시(14)는 초기의 제품의 환경에 대한 지속적인 정보를 제공한다. 모든 웨이퍼가 FOUP로 복귀된 때, 아이소포트(9)는 FOUP-공정 장비 도어를 폐쇄한다. 이 때, 선택적인 디지털 신호가 소정의 설정점으로 세정 가스 유동을 조정하기 위해 디지털 MFC(12)로 전달될 수 있다. 세정 가스 내의 오염물 농도는 종료점에 도달할 때까지 다시 감시되며(14), 이 때 디지털 신호는 FOUP가 이제 운반 및/또는 저장을 위해 준비되어 있다는 통지를 제공한다(17).
도3a에서, 공정 장비(300)는 FOUP(320)가 로드 포트의 스테이지 상에 존재하는 그 아이소포트가 1개의 종류인 로드 포트(310)가 부착된 상태로 도시되어 있다. 본 발명의 실시예에서, FOUP는 공정 장비와의 접촉의 성립 전에, 동안에 및/또는 후에 로드 포트의 스테이지 상의 포트를 통해 세정된다. 이 방법에 따르면, 세정 가스 유동은 세정 가스 스트림 내의 난류 유동 및 결과적인 입자상 물질 동반을 충분히 제거하는 방식으로 총 오염물 농도가 <100 ppt 그리고 바람직하게는 <10 ppt인 상태로 FOUP로 유입된다. 추가로, 도3b에서, 대체예의 공정 장비(305)는 SMIF 포드(325)가 로드 포트 상에 존재하는 로드 포트(315)가 부착된 상태로 도시되어 있다.
본 발명은 특정한 세정 가스로 제한되지 않는다. 사용되는 가스의 성질은 제조 공정의 요건에 따라 변동할 수 있고 공정 또는 장비에 독점적일 수 있다. SMIF 포드 세정이 본 발명 이전에 가능하지 않았으므로, 최적의 세정 가스는 당업자에게 공지되어 있지 않을 수 있다. 그러나, 유사한 환경을 세정하는 데 사용되는 가스에 대해 최적인 것으로 공지되어 있는 성질이 FOUP의 세정에 적용 가능할 것으로 예측된다. 다른 초고청정도 환경에서 사용되는 공통적인 세정 가스는 질소, 아르곤, 산소, 공기 및 그 혼합물이다. 최근에, 본 발명의 출원인은 초고청정도 가스 분배 라인 및 부품의 세정을 위한 종래 기술의 관례보다 상당한 장점을 갖는 것으로 밝혀진 신규한 세정 가스를 개시하였다. 나아가, 이러한 사용의 방법은 공지되어 있지 않지만, 본 발명에서의 이러한 가스의 사용은 예측되었다. 그러므로, 본 발명에서 사용하는 양호한 가스는 미국 특허 출원 제10/683,903호, 미국 특허 출원 제10/683,904호 및 국제 출원 제PCT/US2004/017251호에서 한정된 바와 같은 극히 청정한 건조 공기(XCDA: extremely clean dry air)이며, 그 모두는 참조로 여기에 일체화되어 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 세정 가스는 웨이퍼 또는 다른 오염에 민감한 장치가 이러한 세정 가스에 의해 오염되지 않도록 정화된다. 이것의 폭넓은 정의에 따르면, 세정 가스는 SMIF 포드 환경의 주위 가스보다 청정하다. 본 발명의 실시예는 SMIF 포드의 환경으로부터 오염물을 효과적으로 제거하는 세정 가스(예컨대, 총 유기 오염물이 ≤100 ppt 그리고 더욱 바람직하게는 ≤10 ppt인 세 정 가스)로 제한된다.
본 발명의 출원인에 의해 이전에 개시된 바와 같이, 세정 가스로의 어떤 산소를 함유한 종의 첨가는 세정 가스의 효과를 개선시킨다. 구체적으로, 산소가 없는 또는 건조 세정 가스로의 순수한 산소 또는 물의 첨가는 세정된 환경으로부터의 유출 가스의 원하는 청정도 수준에 도달하는 데 요구되는 시간을 감소시킨다. O2 및/또는 H2O의 물리적 및 화학적 성질이 불순한 표면으로부터의 유기 및 다른 오염물의 탈착을 돕는 것으로 추측된다. 추가로, 이들 산소를 함유한 종은 포토리지스트 중합체의 적절한 경화 등의 어떤 공정에서 필요한 화합물인 것으로 당업자에게 공지되어 있다. 그러므로, 본 발명의 어떤 실시예에서, 물 및/또는 산소가 정화 후의 세정 가스에 첨가될 수 있다. 이들 실시예에서, 이들 종의 첨가는 언급된 한계 내에서의 세정 가스의 감소된 청정도라는 결과를 초래하지 않을 것이다.
본 발명의 이전에 기재된 실시예는 FOUP 및 다른 SMIF 포드 등의 웨이퍼 이송 용기를 세정하는 것에 관한 것이지만, 본 발명은 더 폭넓게 실시될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 예컨대, 본 발명의 실시예에 의해 기재된 방법은 웨이퍼 그리고 SMIF 포드의 환경을 정화하는 것으로 제한되지 않는다. 이 방법은 기밀 밀봉되지 않은 임의의 이송 용기에서 실시될 수 있다. 게다가, 이송 용기 내에서 이송 또는 세척되는 물체는 임의의 반도체 소자, 전자 제조 부품, 평판 디스플레이 부품 또는 정화된 밀봉 챔버(예컨대, 고진공 시스템의 부품)로 이송될 필요가 있는 다른 물체일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 하나의 방법은 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기를 정화하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은 약 100 ppt 이하의 오염물 농도를 갖는 가스로 이송 용기를 세정하는 단계를 포함한다.
본 발명의 또 다른 실시예는 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기로부터 밀봉 챔버로 물체를 이송하는 방법에 관한 것이다. 이 방법은 100 ppt 이하의 오염물 농도를 갖는 가스로 이송 용기를 세정하는 단계를 포함하다. 다음에, 이송 용기는 (예컨대, 이송 용기 및 밀봉 챔버의 환경이 유체 연통되게 하기 위해 커넥터와 포트를 인터페이스함으로써) 밀봉 챔버에 노출된다. 마지막으로, 물체는 이송 용기와 밀봉 챔버 사이에서 이송되고; 물체는 양쪽의 방향으로 이송될 수 있다. 선택적으로, 이 방법은 이송 용기로부터 세정된 가스의 오염물 농도를 검출하는 단계를 포함한다. 이송 용기의 환경은 세정된 가스 오염물 농도가 임계 오염물 농도 이하일 때까지 밀봉 챔버의 환경에 노출되지 않는다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 전술된 이송 방법과 유사하게, 이송 용기는 가스로 세정된다. 가스 내의 오염물 농도는 2 ppb 미만이다. 오염물 농도는 또한 밀봉 챔버가 이송 용기에 노출된 후의 밀봉 챔버 내의 오염물 노출 농도가 이송 용기가 세정되지 않으면 예측되는 농도 미만일 정도로 충분히 낮다.
본 발명의 또 다른 실시예는 반도체 소자를 이송하는 시스템에 관한 것이다. 이 시스템은 약 100 ppt 이하의 오염물의 농도를 갖는 가스로 세정된 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기를 포함한다. 이 시스템은 또한 반도체 소자가 밀봉 챔버와 이송 용기 사이에서 이송되게 하기 위해 이송 용기와 연통되는 밀봉 챔버를 포함한 다. 이러한 실시예는 또한 넓혀진 관계에서 실시될 수 있으며, 여기에서 이송 용기와 밀봉 챔버 사이에서 이송될 물체는 반드시 반도체 소자로 제한될 필요가 없다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 2개의 환경 사이에서 물체를 이송하는 시스템은 이송 용기 및 밀봉 챔버를 포함한다. 이송 용기는 약 100 ppt 이하의 오염물의 농도를 갖는 가스로 세정되는 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기이다. 밀봉 챔버는 이송 용기와 연결된다. 폐쇄 가능한 도어가 폐쇄될 때 이송 용기의 환경으로부터 밀봉 챔버의 환경을 분리한다. 검출기가 선택적으로 포함된다. 검출기는 이송 용기로부터 세정되는 가스의 오염물 농도를 식별하도록 구성된다. 오염물 농도가 임계 수준 이하일 때, 검출기는 폐쇄 가능한 도어를 개방하는 신호를 제어기에 보내도록 구성된다. 후속적으로, 웨이퍼 또는 다른 반도체 소자 등의 물체가 이송 용기와 밀봉 챔버 사이에서 지나갈 수 있다.
전술된 실시예에서 사용되는 밀봉 챔버는 외부 환경으로부터 기밀 밀봉되는 내부 환경을 갖는 챔버를 포함한다. 이러한 챔버는 가스 불투과성인 벽(예컨대, 스테인리스강)으로 구성된다. 이와 같이, 챔버 내로의 오염물의 누출은 포트가 또 다른 환경에 연결되는 곳으로 제한된다. 밀봉 챔버는 반도체 공정 장비(예컨대, 사진 장비) 및 다른 오염물 용기를 포함하며, 이들은 진공 또는 개방된 주위 공기로부터 분리된 다른 조건을 유지할 수 있다.
본 발명의 실시예에서 사용되는 이송 용기는 FOUP 또는 다른 형태의 SMIF 포드로 제한되지 않는다. 이송 용기는 플라스틱(예컨대, 폴리카보네이트 또는 폴리 프로필렌) 등의 재료로 구성될 수 있다. 이송 용기는 기밀 밀봉되지 않으므로, 오염물이 이송 용기에 의해 포위된 환경 내로 달라붙을 수 있다. 게다가, 플라스틱이 이용될 때, 플라스틱의 가스-제거가 이송 용기 내의 환경을 추가로 오염시킬 수 있다. 또 다른 오염의 발생원이 용기에 의해 이송된 물체이다. 예컨대, 웨이퍼가 이송되고 있는 동안에 웨이퍼가 가스-제거되고 이송 용기 환경에 상당량의 오염물이 흡착시킬 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 실시예는 이러한 이송 용기의 환경 그리고 그 내용물의 정화를 가능케 할 수 있다.
본 발명의 실시예에서 사용되는 세정 가스로부터 제거될 오염물은 탄화수소 등의 유기물로 제한되지 않고, 고청정도 가공 환경에서 중요한 범위의 오염물을 포함한다. 다른 예는 아민, 유기 인산염, 실록산, 무기산 및 암모니아를 포함한다. 이들 오염물 중 임의의 오염물 또는 그 혼합물이 세정 가스로부터 제거될 것이 필요할 수 있다. 게다가, 이러한 오염물은 이송 용기의 세정 동안에 제거될 수 있다.
전술된 실시예에서 이송 용기를 세정하는 데 사용되는 가스는 SMIF 및 FOUP 정화 실시예에서 초기에 언급된 가스 중 임의의 가스를 포함한다. 여러 종류의 세정 가스는 공기(예컨대, XCDA), 산소, 질소, 물, 희유 가스(예컨대, 아르곤) 및 이러한 가스의 혼합물을 포함한다.
세정 가스 내의 오염물의 농도 수준은 밀봉 챔버의 환경을 불리하게 오염시키지 않고도 밀봉 챔버에 대한 노출을 가능케 할 정도로 충분히 이송 용기를 정화하기 위한 본 발명의 실시예의 능력에 영향을 준다. 본 발명의 실시예는 오염물 농도 수준이 약 100 ppt 이하인 세정 가스를 이용한다. 본 발명의 일부의 실시예에서, 오염물 농도는 약 10 ppt 이하이며; 또 다른 실시예에서는 약 1 ppt 이하이며; 또 다른 특정 실시예에서는 약 500 ppq(parts per quadrillion) 이하이다.
이송 용기 내로 유동하는 세정 가스의 유속은 또한 이송 용기의 환경의 청정도 그리고 후속적으로 이송 용기의 내용물에 노출된 후의 밀봉 챔버의 청정도에 영향을 준다. 본 발명의 실시예는 약 300 slm 미만의 세정 가스 유속을 이용하며, 특정한 실시예에서는 약 3 slm 내지 약 200 slm 사이의 가스 유속을 이용한다.
본 발명의 관련된 실시예에서, 이송 용기가 세정될 때, 세정 가스의 유동은 이송 용기 그리고 후속적으로 노출된 밀봉 챔버 내의 입자상 물질 오염을 억제하기 위해 특정한 방식으로 유입될 수 있다. 세정 가스의 유동은 단계적으로 또는 실질적으로 즉각적인 방식으로 유입되는 것과 반대로 실질적으로 어떠한 유동도 없는 상태로부터 원하는 유속까지 증가된다. 이러한 유동은 압력 보상 질량 유동 제어기(MFC), 또는 가스 유입을 위한 보정된 오리피스와 연계하는 압력 제어기, 또는 당업자에 의해 이해되는 바와 같은 고청정도 챔버 내의 가스 유속을 제어하는 임의의 다른 기구를 이용함으로써 성취될 수 있다. 이러한 세정 가스의 유입 제어는 입자상 물질 운반 그리고 이와 같이 이송 용기 내의 입자상 물질 오염을 증가시킬 수 있는 난류 가스 유동 및 소용돌이의 성장의 억제를 돕는다.
본 발명의 대체 실시예는 1개 이상의 기밀 밀봉된 이송 용기를 보유하는 이송 용기를 이용할 수 있다. 예컨대, 이송 용기는 도8a 및 도8b에 도시된 바와 같은 1개 이상의 FOUP 또는 다른 형태의 SMIF 포드를 포함하는 스토커(800)일 수 있 다. 스토커는 밀봉 챔버 내로의 FOUP 내용물의 후속적인 분배를 위한 장비의 환경 내로 삽입될 25개의 FOUP를 보유할 수 있다. 이러한 경우에, 이러한 이송 용기에서 이용되는 세정 가스의 유속은 약 100 slm 내지 약 10,000 slm의 범위 내에 있을 수 있다. 이러한 실시예는 FOUP의 내용물이 세정된 스토커를 필요로 하지 않는 FOUP에 대해 장기간 동안에 오염으로부터 보호된 상태로 유지되게 한다. 예컨대, Cu 증착 공정의 부품은 오염이 이러한 부품을 열화시키기 전에 단지 약 16 시간 동안 공기에 노출될 수 있다. 스토커 내에 놓인 FOUP 내에 위치될 때, 동일한 열화가 일어나기 전에 약 2 일이 경과될 수 있다.
예
다음의 예는 본 발명의 일부의 실시예의 특정한 태양을 설명하고자 한다. 이들 예는 이용되는 본 발명의 임의의 특정한 실시예의 범주를 제한하고자 하지 않는다.
예 1: FOUP 주위 공기 시험
FOUP(450)의 주위 공기는 정적 조건 하에서 그리고 XCDA 세정 상태에서 탄화수소 오염물에 대해 검사된다. FOUP 오염 시험을 위한 실험 장치는 도4에 도시되어 있다. 질량 유동 제어기(410)가 5 slm으로 세정 가스의 유속을 유지하는 데 사용된다. 청정한 건조 공기(CDA) 가스는 1 ppt 미만의 오염물 농도를 갖는 세정 가스를 발생시키기 위해 에어로넥스 CE500KFO4R 가스 정화기(미국 매사추세츠주 빌러리카에 소재한 미크롤리스 코포레이션)(420)로 정화된다. 진공 펌프(430)가 샘플 수집을 위해 냉각 포집기(cold trap)(440)의 하류에서 사용된다. 압력차 및 유속 은 오염물의 농도가 벤젠, 톨루엔, 에틸벤젠 및 크실렌(BTEX)의 조합된 오염물에 대한 보정 곡선으로 계산될 때 그 계산에 넣어진다.
FOUP 실험으로부터의 결과는 도5에 도시되어 있다. 정적 조건 하에서, 조합된 비메탄계 탄화수소(NMHC: non methane hydrocarbon) 농도는 XCDA 세정이 시작되기 전에 FOUP 내에서 71 ppb이다. 상 평형이 FOUP 내에서 도달되면, 평균 조합된 총 탄화수소(THC: total hydrocarbon) 농도는 세정 가스 하에서 357 ppt이다.
예 2: 로드 포트 및 FOUP 시험
도6에 도시된 실험 시스템은 또 다른 시험 런에서 사용된다. 탄화수소 오염의 농도의 4회의 측정은 (ⅰ) 로드 포트 분배 시스템의 출구에서, 샘플이 테플론 튜브에 대한 견고한 배관에 의해 취해지며(도6의 위치 610 참조); (ⅱ) FOUP의 신속한 연결을 통해 로드 포트의 출구에서(도6의 위치 620 참조); (ⅲ) 세정 입구 필터에서의 FOUP에 대해 내부에서(도6의 위치 630 참조); (ⅳ) 세정하지 않은 상태로 소정 체적 배경부를 측정하기 위해 FOUP에 대해 내부에서(도6의 위치 640 참조) 행해진다.
MFC가 도6의 위치 610, 위치 620, 위치 630에 대해 25 slm으로 세정 가스의 유속을 유지하는 데 사용된다. CDA 가스는 1 ppt 미만의 오염물 농도를 갖는 정화된 세정 가스를 발생시키기 위해 에어로넥스 CE500KFO4R 가스 정화기(미국 매사추세츠주 빌러리카에 소재한 미크롤리스 코포레이션)(420)로 정화된다. 가스는 로드 포트 가스 출구 중 단지 1개의 가스 출구를 통해 유동하게 된다. 가스 유동이 종료되며 그 동안에 정적 조건 하에서의 FOUP의 THC 농도 수준이 (위치 640에서) 측 정된다. 이 농도 방법은 ppt 농도 수준으로 탄화수소를 측정하는 데 사용된다.
측정 (ⅰ)을 위해, 테플론 튜브는 GC/FID에 직접적으로 연결된다. 배압 조절기가 이러한 시험 동안에 30 psig의 압력을 유지하는 데 사용되며 MFC가 0.75 slm의 샘플 유속을 유지하는 데 사용된다.
견고한-배관 연결이 도6의 위치 620, 위치 630, 위치 640에서 행해질 수 없으므로, 주문형 스테인리스강 시라우드가 이들 위치에서의 샘플링을 가능케 하도록 구성된다. 샘플링 시라우드는 샘플이 GC/FID로 보내질 수 있도록 FOUP 및 로드 포트로의 연결을 가능케 한다. 펌프가 위치 620, 위치 630, 위치 640에 대한 샘플을 수집하기 위해 GC/FID의 하류에서 사용되어야 한다. 그러므로, 압력차 및 유속은 농도가 BTEX 보정 곡선을 사용하여 계산될 때 그 계산에 넣어져야 한다.
로드 포트 및 FOUP 시험으로부터의 결과는 다양한 위치에서 측정된 오염물 탄화수소의 평균 농도(CHCs)의 관점에서 표1에 요약되어 있다. 표에 도시된 바와 같이, 위치 610은 오염물의 중요한 발생원이 아니다.
로드 포트 및 FOUP 시험 결과의 요약
측정 분석 지점 평균CHCs(ppt)
(ⅰ) 테플론 6
(ⅱ) 테플론 & 로드포트 236
(ⅲ) 테플론 & 로드포트 + FOUP 248
(ⅳ) FOUP(정적 조건) 224010
예 3: 웨이퍼 저장 실험
도7은 정적 및 다양한 세정 가스 조건 하에서 FOUP 환경에 대한 노출로 인한 웨이퍼 오염을 측정하는 데 사용되는 실험 장치의 개략도이다. 이러한 장치의 주 목적은 탄화수소의 흡착 전에 주위 환경에 대한 웨이퍼의 노출을 제거하는 것이며; 그러므로, 웨이퍼 상의 모든 오염은 FOUP 환경으로부터 직접적으로 기인할 것이다.
MFC(710, 711, 712)가 실험 동안에 공기의 유속을 유지하는 데 사용된다. 공기는 1 ppt 미만의 오염물 농도를 갖는 XCDA 가스 스트림을 제공하기 위해 에어로넥스 CE500KFO4R 가스 정화기로 정화된다. 기구에 대한 그리고 샘플 측정을 위한 가스 스트림은 배압 조절기(730)로 30 psig까지 가압된다. FOUP(740)는 기밀 밀봉되지 않으므로, FOUP로의 가스 스트림은 대기압 하에 있다. 웨이퍼 챔버(750)는 스테인리스강으로 구성된다. 로터미터(rotameter)(760)가 FOUP(740)로부터 웨이퍼 챔버(750)로의 유량을 결정하는 데 사용된다. 웨이퍼 챔버의 작동 온도는 환경 챔버(770)와 함께 유지된다. GC/FID(780)는 가스 샘플 내의 탄화수소를 측정하는 데 사용된다. 냉각 포집기가 ppt 농도 수준으로 탄화수소를 측정하는 데 사용된다. 냉각 포집 방법에 대한 검출 하한(LDL: lower detection limit)은 1 ppt이다. MFC(712)가 0.75 slm으로 GC/FID(780)를 통한 샘플 유속을 유지하는 데 사용된다. FOUP, GC/FID 및 밸브 V1 내지 V5 사이의 튜브에는 설파이너트(Sulfinert)가 코팅된다.
웨이퍼 오염의 측정은 3개의 상이한 조건 하에서 행해진다:
1. 7일 동안의 정적 조건 하에서의 FOUP.
2. XCDA를 사용한 7일 동안의 세정 조건 하에서의 FOUP.
3. UHP XCDA를 사용한 7일 동안의 세정 조건 하에서의 FOUP.
모든 3개의 측정 동안에, 밸브 V5는 XCDA 가스가 밸브 V4의 튜브 하류를 세정하게 하도록 개방 상태로 유지된다. 측정 1을 위해, FOUP로의 입구는 캡으로 씌워진다. 밸브 V1은 개방되며 밸브 V2, V3 및 V4는 FOUP 환경에 웨이퍼 챔버를 노출시키도록 폐쇄된다. 측정 2 및 3을 위해, 밸브 V1 및 V3은 개방되며 밸브 V2 및 V4는 세정 가스가 FOUP를 통해 5 slm으로 유동하게 하도록 폐쇄된다. 웨이퍼 챔버를 통한 배기구로의 세정 가스 유속은 약 3.0 내지 약 3.5 slm이다. 로터미터는 FOUP를 통해 웨이퍼 챔버로 실제로 유동하는 가스의 양을 결정하는 데 사용된다. 3회의 측정의 각각의 측정에 대한 7일 간의 시험 기간 후, 웨이퍼 챔버는 고립되고 150℃까지 가열된다. 이러한 온도에 도달하면, 샘플이 밸브 V5를 폐쇄하고 밸브 V2 및 V4를 개방함으로써 수집된다. 샘플 수집 사이에, 웨이퍼 챔버는 해제된 모든 탄화수소가 측정을 위해 포획될 수 있도록 고립된다.
모든 3회의 측정으로부터의 결과는 웨이퍼로부터 수집된 비메탄계 탄화수소(NMHC)의 총 체적의 관점에서 표2에 요약되어 있다.
웨이퍼 저장 실험의 요약
실험 조건 웨이퍼 오염(nl)
정적 조건 421.817
XCDA 세정 가스 70.241
UHP CDA 세정 가스 1096.621
이 결과는 XCDA 세정 가스 조건이 정적 및 UHP CDA 세정 가스 조건보다 웨이퍼의 표면으로부터 탄화수소를 제한 및 제거하는 데 효율적이라는 것을 나타낸다. UHP CDA 세정 가스 내의 탄화수소의 존재로 인해, 많은 탄화수소가 정적 조건보다 이러한 방법 하에서 웨이퍼 상으로 실려진다. UHP CDA 세정 조건을 수행하기 전, UHP CDA 내의 탄화수소 농도는 15 ppt로 측정된다. 그러므로, 정화되지 않은 가스로의 세정은 웨이퍼에 탄화수소 오염을 추가할 것이고 탄화수소 오염을 방지하지 못할 것이다.
본 발명은 그 양호한 실시예를 참조하여 구체적으로 도시 및 기술되었지만, 형태 및 세부의 다양한 변화가 첨부된 청구의 범위에 의해 포함되는 본 발명의 범주로부터 벗어나지 않고도 그 내에서 행해질 수 있다는 것이 당업자에 의해 이해될 것이다.

Claims (21)

  1. 이송 용기를 정화하는 방법에 있어서,
    약 100 ppt 이하의 오염물 농도를 갖는 가스로 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기를 세정하는 단계
    를 포함하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 이송 용기는 플라스틱을 포함하며, 플라스틱은 이송 용기를 세정할 때 가스와 접촉하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 오염물은 적어도 1개의 유기 오염물을 포함하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 오염물은 탄화수소, 아민, 유기 인산염, 실록산, 무기산 및 암모니아 중 적어도 1개를 포함하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 세정 단계는 약 300 slm 미만의 유속으로 이송 용기를 통해 가스를 유동시키는 단계를 포함하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 유속은 약 5 slm 내지 약 200 slm 사이에 있는 방법.
  7. 제5항에 있어서, 유동 가스는 약 0 slm으로부터 시작하여 유속을 증가시킴으로써 이송 용기로 유입되는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 가스 내의 오염물의 농도는 약 10 ppt 이하인 방법.
  9. 제8항에 있어서, 가스 내의 오염물의 농도는 약 1 ppt 이하인 방법.
  10. 제1항에 있어서, 이송 용기는 전방 개방 통합 포드인 방법.
  11. 제1항에 있어서, 이송 용기는 표준화 기계 인터페이스 포드인 방법.
  12. 제1항에 있어서, 가스는 공기, 산소, 질소, 물 및 희유 가스 중 적어도 1개를 포함하는 방법.
  13. 이송 용기로부터 밀봉 챔버로 물체를 이송하는 방법에 있어서,
    약 100 ppt 이하의 오염물의 농도를 갖는 가스로 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기를 세정하는 단계와;
    밀봉 챔버에 이송 용기를 노출시키는 단계와;
    이송 용기와 밀봉 챔버 사이에서 물체를 이송하는 단계
    를 포함하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 물체는 반도체 소자인 방법.
  15. 제14항에 있어서, 반도체 소자는 웨이퍼인 방법.
  16. 제13항에 있어서, 이송 용기는 물체를 갖는 적어도 1개의 기밀 밀봉되지 않은 용기를 포함하는 방법.
  17. 제16항에 있어서, 세정 단계는 약 100 slm 내지 약 10,000 slm 사이의 유속으로 이송 용기 내로 가스를 유동시키는 단계를 포함하는 방법.
  18. 제13항에 있어서, 이송 용기를 세정하는 동안에 이송 용기로부터 유출되는 가스의 오염물 농도를 검출하는 단계를 추가로 포함하며, 밀봉 챔버에 이송 용기를 노출시키는 단계는 유출 가스의 오염물 농도가 임계 오염물 농도 이하인 것에 후속하여 일어나는 방법.
  19. 이송 용기로부터 밀봉 챔버로 물체를 이송하는 방법에 있어서,
    (a) 가스로 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기를 세정하는 단계와;
    (b) 밀봉 챔버에 이송 용기를 노출시키는 단계와;
    (c) 이송 용기와 밀봉 챔버 사이에서 물체를 이송하는 단계를 포함하며,
    그에 의해 가스는 2 ppb 미만의 오염물의 농도를 가지며, 가스 내의 오염물의 농도는 밀봉 챔버가 단지 단계 b) 및 c)가 수행되는 경우보다 밀봉 챔버에 이송 용기를 노출시킨 후 더 낮은 오염물 노출 농도를 가질 정도로 충분히 낮은 방법.
  20. 2개의 환경 사이에서 물체를 이송하는 시스템에 있어서,
    약 100 ppt 이하의 오염물의 농도를 갖는 가스로 세정되는 환경을 갖는 기밀 밀봉되지 않은 이송 용기와;
    이송 용기와 연결된 밀봉 챔버와;
    폐쇄될 때 이송 용기의 환경으로부터 밀봉 챔버의 환경을 분리하도록 구성된 폐쇄 가능한 도어
    를 포함하는 시스템.
  21. 제20항에 있어서, 이송 용기로부터 세정된 가스의 오염물 농도를 식별하는 검출기를 추가로 포함하며, 검출기는 오염물 농도가 임계 오염물 농도 이하일 때 폐쇄 가능한 도어를 개방하는 신호를 제어기에 보내도록 구성되는 시스템.
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