JPH09101244A - プロセス流体のサンプリング装置 - Google Patents
プロセス流体のサンプリング装置Info
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- JPH09101244A JPH09101244A JP26005995A JP26005995A JPH09101244A JP H09101244 A JPH09101244 A JP H09101244A JP 26005995 A JP26005995 A JP 26005995A JP 26005995 A JP26005995 A JP 26005995A JP H09101244 A JPH09101244 A JP H09101244A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プロセス流体のサンプルを汚染することなく
容器にサンプリングできるプロセス流体のサンプリング
装置を提供する。 【解決手段】 下記（Ａ）〜（Ｃ）を具備するプロセス
流体のサンプリング装置。 （Ａ）：壁面の少なくとも一部が透明であり、内部に容
器を収納して箱体外部の雰囲気をと遮断し得る箱体であ
って、密閉し得る容器出し入れ扉及び箱体の壁面にあっ
て箱体外部から箱体内部を手操作し得るグローブを有す
る箱体 （Ｂ）：プロセス流体を箱体内部に供給する手段 （Ｃ）：清浄空気を箱体内部に供給する手段
容器にサンプリングできるプロセス流体のサンプリング
装置を提供する。 【解決手段】 下記（Ａ）〜（Ｃ）を具備するプロセス
流体のサンプリング装置。 （Ａ）：壁面の少なくとも一部が透明であり、内部に容
器を収納して箱体外部の雰囲気をと遮断し得る箱体であ
って、密閉し得る容器出し入れ扉及び箱体の壁面にあっ
て箱体外部から箱体内部を手操作し得るグローブを有す
る箱体 （Ｂ）：プロセス流体を箱体内部に供給する手段 （Ｃ）：清浄空気を箱体内部に供給する手段
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロセス流体のサ
ンプリング装置に関するものである。更に詳しくは、本
発明は、サンプリングすべきプロセス流体を汚染するこ
となく容器にサンプリングできるプロセス流体のサンプ
リング装置に関するものである。
ンプリング装置に関するものである。更に詳しくは、本
発明は、サンプリングすべきプロセス流体を汚染するこ
となく容器にサンプリングできるプロセス流体のサンプ
リング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、半導体工場において用いられ
る電子工業薬品などには、極めて高い純度が要求されて
いる。かかる要求に応じて製造される薬品は、その製造
工程において適宜サンプリングされ、その純度等か管理
される。ところで、製造工程からプロセス流体をサンプ
リングする際、サンプリング地点の外部雰囲気に存在す
る微細な浮遊粒子、微小の金属不純物等がサンプル中に
混入し、プロセス流体のサンプルを汚染するという問題
があった。
る電子工業薬品などには、極めて高い純度が要求されて
いる。かかる要求に応じて製造される薬品は、その製造
工程において適宜サンプリングされ、その純度等か管理
される。ところで、製造工程からプロセス流体をサンプ
リングする際、サンプリング地点の外部雰囲気に存在す
る微細な浮遊粒子、微小の金属不純物等がサンプル中に
混入し、プロセス流体のサンプルを汚染するという問題
があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかる現状に鑑み、本
発明が解決しようとする課題は、プロセス流体のサンプ
ルを汚染することなく容器にサンプリングできるプロセ
ス流体のサンプリング装置を提供する点に存する。
発明が解決しようとする課題は、プロセス流体のサンプ
ルを汚染することなく容器にサンプリングできるプロセ
ス流体のサンプリング装置を提供する点に存する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、下
記（Ａ）〜（Ｃ）を具備するプロセス流体のサンプリン
グ装置に係るものである。 （Ａ）：壁面の少なくとも一部が透明であり、内部に容
器を収納して箱体外部の雰囲気を遮断し得る箱体であっ
て、密閉し得る容器出し入れ扉及び箱体の壁面にあって
箱体外部から箱体内部を手操作し得るグローブを有する
箱体 （Ｂ）：プロセス流体を箱体内部に供給する手段 （Ｃ）：清浄空気を箱体内部に供給する手段
記（Ａ）〜（Ｃ）を具備するプロセス流体のサンプリン
グ装置に係るものである。 （Ａ）：壁面の少なくとも一部が透明であり、内部に容
器を収納して箱体外部の雰囲気を遮断し得る箱体であっ
て、密閉し得る容器出し入れ扉及び箱体の壁面にあって
箱体外部から箱体内部を手操作し得るグローブを有する
箱体 （Ｂ）：プロセス流体を箱体内部に供給する手段 （Ｃ）：清浄空気を箱体内部に供給する手段
【０００５】
【発明の実施の形態】（Ａ）は、壁面の少なくとも一部
が透明であり、内部に容器を収納して箱体外部の雰囲気
を遮断し得る箱体であって、密閉し得る容器出し入れ扉
及び箱体の壁面にあって箱体外部から箱体内部を手操作
し得るグローブを有する箱体である。壁面の少なくとも
一部が透明であるので、箱体の外部からその内部を観察
しながらサンプリング操作を行うことができる。箱体の
大きさは内部に容器を収納し、サンプリング操作が可能
な程度であればよく、通常、縦２０〜１００ｃｍ、横２
０〜１００ｃｍ、高さ４０〜１００ｃｍ程度の直法体で
ある。箱体を構成する材料は、耐薬品性の観点を考慮
し、透明の塩化ビニル樹脂が好ましい。箱体は、密閉し
得る容器出し入れ扉を有する必要がある。該密閉し得る
扉により外部の雰囲気を遮断するのである。扉の構造と
しては、上下スライド式の扉をあげることができる。箱
体は、箱体の壁面にあって箱体外部から箱体内部を手操
作し得るグローブを有する必要がある。すなわち、本発
明の箱体は、いわゆるグローブボックスの一形態であ
る。箱体の外部に位置する操作者がグローブに手を入
れ、該グローブを介して箱体の内部に収納された容器等
を操作して目的のサンプリングを行うのである。グロー
ブを形成する素材としては、耐薬品性の観点から、フッ
素ゴム、エチレン−プロピレン系ゴム（ＥＰゴム）等が
好ましい。箱体は、内部に容器を収納して箱体外部の雰
囲気を遮断し得るものであり、このことにより外雰囲気
によるサンプルの汚染を防止できる。このため、箱体の
壁面へのグローブの取付け部分及び後記の各配管の箱体
の壁面の貫通部分は隙間のない構造とする必要がある。
が透明であり、内部に容器を収納して箱体外部の雰囲気
を遮断し得る箱体であって、密閉し得る容器出し入れ扉
及び箱体の壁面にあって箱体外部から箱体内部を手操作
し得るグローブを有する箱体である。壁面の少なくとも
一部が透明であるので、箱体の外部からその内部を観察
しながらサンプリング操作を行うことができる。箱体の
大きさは内部に容器を収納し、サンプリング操作が可能
な程度であればよく、通常、縦２０〜１００ｃｍ、横２
０〜１００ｃｍ、高さ４０〜１００ｃｍ程度の直法体で
ある。箱体を構成する材料は、耐薬品性の観点を考慮
し、透明の塩化ビニル樹脂が好ましい。箱体は、密閉し
得る容器出し入れ扉を有する必要がある。該密閉し得る
扉により外部の雰囲気を遮断するのである。扉の構造と
しては、上下スライド式の扉をあげることができる。箱
体は、箱体の壁面にあって箱体外部から箱体内部を手操
作し得るグローブを有する必要がある。すなわち、本発
明の箱体は、いわゆるグローブボックスの一形態であ
る。箱体の外部に位置する操作者がグローブに手を入
れ、該グローブを介して箱体の内部に収納された容器等
を操作して目的のサンプリングを行うのである。グロー
ブを形成する素材としては、耐薬品性の観点から、フッ
素ゴム、エチレン−プロピレン系ゴム（ＥＰゴム）等が
好ましい。箱体は、内部に容器を収納して箱体外部の雰
囲気を遮断し得るものであり、このことにより外雰囲気
によるサンプルの汚染を防止できる。このため、箱体の
壁面へのグローブの取付け部分及び後記の各配管の箱体
の壁面の貫通部分は隙間のない構造とする必要がある。
【０００６】（Ｂ）は、プロセス流体を箱体内部に供給
する手段であり、具体的には箱体外部のプロセス流体を
箱体内部に導く通常の配管である。なお、配管には、箱
体の内部及び外部に、プロセス流体の流量を調節し、ま
た供給を開始・終了するための弁を設けるべきである。
（Ｂ）は、プロセスラインと箱体の間における循環ライ
ンを形成し得るものであることが好ましい。このことに
より、ラインのいわゆるデッド部分（滞留部分）による
汚染を防止し得る。
する手段であり、具体的には箱体外部のプロセス流体を
箱体内部に導く通常の配管である。なお、配管には、箱
体の内部及び外部に、プロセス流体の流量を調節し、ま
た供給を開始・終了するための弁を設けるべきである。
（Ｂ）は、プロセスラインと箱体の間における循環ライ
ンを形成し得るものであることが好ましい。このことに
より、ラインのいわゆるデッド部分（滞留部分）による
汚染を防止し得る。
【０００７】（Ｃ）は、清浄空気を箱体内部に供給する
手段であり、具体的には小型の押し込みファンと精密フ
ィルターからなる装置をあげることができる。
手段であり、具体的には小型の押し込みファンと精密フ
ィルターからなる装置をあげることができる。
【０００８】本発明のサンプリング装置は、上記の
（Ａ）〜（Ｃ）を具備するものであるが、更に（Ｄ）超
純水を箱体内部に供給し、箱体内部を洗浄する手段を有
することが好ましい。このことにより、箱体の内部を清
浄に維持でき、サンプリング液の汚染を防止する観点か
ら好都合である。（Ｄ）の具体例としては、箱体外部の
超純水源から超純水を箱体内部に導く通常の配管及びそ
の配管の箱体内の先端に設けられた散水ノズルをあげる
ことができる。なお、配管には、箱体の内部及び外部
に、超純水の流量を調節し、また供給を開始・終了する
ための弁を設けるべきである。
（Ａ）〜（Ｃ）を具備するものであるが、更に（Ｄ）超
純水を箱体内部に供給し、箱体内部を洗浄する手段を有
することが好ましい。このことにより、箱体の内部を清
浄に維持でき、サンプリング液の汚染を防止する観点か
ら好都合である。（Ｄ）の具体例としては、箱体外部の
超純水源から超純水を箱体内部に導く通常の配管及びそ
の配管の箱体内の先端に設けられた散水ノズルをあげる
ことができる。なお、配管には、箱体の内部及び外部
に、超純水の流量を調節し、また供給を開始・終了する
ための弁を設けるべきである。
【０００９】本発明のサンプリング装置は、更に（Ｅ）
箱体内部の雰囲気を箱体外部に排出する手段を有するこ
とが好ましい。このことにより、揮発性の流体をサンプ
リングする際に発生して箱体内に滞留するガスを箱体外
部に排出することがき、サンプルの汚染を防止する観点
及び操作者の衛生面の観点から好都合である。（Ｅ）の
具体例としては、箱体の内部と外部に通じる配管をあげ
ることがきる。配管の途中には弁を設けるべきであり、
箱体の外部の配管の先端は適当な吸引排気装置に接続す
べきである。
箱体内部の雰囲気を箱体外部に排出する手段を有するこ
とが好ましい。このことにより、揮発性の流体をサンプ
リングする際に発生して箱体内に滞留するガスを箱体外
部に排出することがき、サンプルの汚染を防止する観点
及び操作者の衛生面の観点から好都合である。（Ｅ）の
具体例としては、箱体の内部と外部に通じる配管をあげ
ることがきる。配管の途中には弁を設けるべきであり、
箱体の外部の配管の先端は適当な吸引排気装置に接続す
べきである。
【００１０】本発明のサンプリング装置は、箱体が台車
に搭載されたものであることが好ましい。このことによ
り、複数のサンプリング地点へ装置を簡便に移動するこ
とができ、好都合である。なお、台車は、箱体内部の廃
液を箱体外部に導き、該導かれた廃液を貯蔵する手段を
有するものであることが好ましい。該手段の具体例とし
ては、箱体の内部から外部に通じる配管及び該配管の箱
体の外部の先端に設置された廃液貯留容器をあげること
ができる。
に搭載されたものであることが好ましい。このことによ
り、複数のサンプリング地点へ装置を簡便に移動するこ
とができ、好都合である。なお、台車は、箱体内部の廃
液を箱体外部に導き、該導かれた廃液を貯蔵する手段を
有するものであることが好ましい。該手段の具体例とし
ては、箱体の内部から外部に通じる配管及び該配管の箱
体の外部の先端に設置された廃液貯留容器をあげること
ができる。
【００１１】本発明のサンプリング装置を用いることが
できるプロセス流体としては、特に制限はないが、液体
又はスラリー状のものに好適に適用でき、特にサンプル
の汚染を厳しく排除すべきである液体の電子工業用薬品
に最適に使用できる。
できるプロセス流体としては、特に制限はないが、液体
又はスラリー状のものに好適に適用でき、特にサンプル
の汚染を厳しく排除すべきである液体の電子工業用薬品
に最適に使用できる。
【００１２】
【実施例】次に、本発明を実施例によって説明する。 実施例１ 図１及び図２に示す次の装置を用いた。すなわち、縦４
０ｃｍ、横４０ｃｍ、高さ６０ｃｍの直法体（透明の塩
化ビニル樹脂製）の箱体（１）であって、箱体外部の雰
囲気を遮断し得る構造をなし、（３）密閉し得る容器出
し入れ扉（上下スライド式）、（４）箱体の壁面にあっ
て箱体外部から箱体内部を手操作し得るグローブ（フッ
素ゴム）、（５）プロセス流体を箱体内部に供給する手
段としての配管（内径１０．７ｍｍ、ＰＦＡ製、箱体の
内部及び外部に、プロセス流体の流量を調節し、また供
給を開始・終了するための弁を設けてあり、かつプロセ
スラインと箱体の間における循環ラインを形成し得るも
のとした。）、（６）清浄空気を箱体内部に供給する手
段としての小型の押し込みファンと精密フィルターから
なる装置、（８）超純水を箱体内部に供給し、箱体内部
を洗浄する手段として、箱体外部の超純水源から超純水
を箱体内部に導く配管（内径１５．８ｍｍ、ＰＦＡ製、
箱体の内部及び外部に超純水の流量を調節し、また供給
を開始・終了するための弁を設けた。）及びその配管の
箱体内の先端に設けられた散水ノズル、（９）箱体内部
の雰囲気を箱体外部に排出する手段として、箱体の内部
と外部に通じる配管（内径４０ｍｍ、硬質塩ビ製、配管
の途中には弁を設け、箱体の外部の配管の先端は吸引排
気装置に接続した。）を有する装置を用いた。該箱体は
（１０）台車に搭載され、該台車には箱体内部の廃液を
箱体外部に導き、該導かれた廃液を貯蔵するポリタンク
を有するものとした。
０ｃｍ、横４０ｃｍ、高さ６０ｃｍの直法体（透明の塩
化ビニル樹脂製）の箱体（１）であって、箱体外部の雰
囲気を遮断し得る構造をなし、（３）密閉し得る容器出
し入れ扉（上下スライド式）、（４）箱体の壁面にあっ
て箱体外部から箱体内部を手操作し得るグローブ（フッ
素ゴム）、（５）プロセス流体を箱体内部に供給する手
段としての配管（内径１０．７ｍｍ、ＰＦＡ製、箱体の
内部及び外部に、プロセス流体の流量を調節し、また供
給を開始・終了するための弁を設けてあり、かつプロセ
スラインと箱体の間における循環ラインを形成し得るも
のとした。）、（６）清浄空気を箱体内部に供給する手
段としての小型の押し込みファンと精密フィルターから
なる装置、（８）超純水を箱体内部に供給し、箱体内部
を洗浄する手段として、箱体外部の超純水源から超純水
を箱体内部に導く配管（内径１５．８ｍｍ、ＰＦＡ製、
箱体の内部及び外部に超純水の流量を調節し、また供給
を開始・終了するための弁を設けた。）及びその配管の
箱体内の先端に設けられた散水ノズル、（９）箱体内部
の雰囲気を箱体外部に排出する手段として、箱体の内部
と外部に通じる配管（内径４０ｍｍ、硬質塩ビ製、配管
の途中には弁を設け、箱体の外部の配管の先端は吸引排
気装置に接続した。）を有する装置を用いた。該箱体は
（１０）台車に搭載され、該台車には箱体内部の廃液を
箱体外部に導き、該導かれた廃液を貯蔵するポリタンク
を有するものとした。
【００１３】上記のサンプリング装置を用い、電子工業
薬品として製造されてタンクに貯蔵された高純度アンモ
ニア水をサンプリングした。なお、サンプリング容器と
しては、内容積１リッターのＰＦＡ製の容器を用い、約
１０００ｍｌをサンプリングした。サンプリング液につ
いて、金属イオン及び粒子濃度を分析した。結果を表１
に示した。
薬品として製造されてタンクに貯蔵された高純度アンモ
ニア水をサンプリングした。なお、サンプリング容器と
しては、内容積１リッターのＰＦＡ製の容器を用い、約
１０００ｍｌをサンプリングした。サンプリング液につ
いて、金属イオン及び粒子濃度を分析した。結果を表１
に示した。
【００１４】比較例１ 実施例１のサンプリング装置を用いることなく、プロセ
ス配管のサンプリングノズルから直接サンプリング容器
にサンプリングした。結果を表１に示した。
ス配管のサンプリングノズルから直接サンプリング容器
にサンプリングした。結果を表１に示した。
【００１５】実施例１の結果に比べ、比較例１のサンプ
リング液中には、カルシウム、鉄、ナトリウム、ニッケ
ルなどのが多く検出されており、また粒子数が多い。す
なわち、外気の浮遊粒子等によるサンプリング液の汚染
が生じていることがわかる。そして、実施例１において
は、かかる汚染は観測されておらず、本発明の目的が十
分に達成されていることがわかる。
リング液中には、カルシウム、鉄、ナトリウム、ニッケ
ルなどのが多く検出されており、また粒子数が多い。す
なわち、外気の浮遊粒子等によるサンプリング液の汚染
が生じていることがわかる。そして、実施例１において
は、かかる汚染は観測されておらず、本発明の目的が十
分に達成されていることがわかる。
【００１６】
【表１】
【００１７】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明により、プ
ロセス流体のサンプルを汚染することなく容器にサンプ
リングできるプロセス流体のサンプリング装置を提供す
ることができた。
ロセス流体のサンプルを汚染することなく容器にサンプ
リングできるプロセス流体のサンプリング装置を提供す
ることができた。
【図１】本発明のサンプリング装置の正面図の例であ
る。
る。
【図２】本発明のサンプリング装置の外観図の例であ
る。
る。
１ 箱体 ２ 容器 ３ 容器出し入れ扉 ４ グローブ ５ プロセス流体を箱体内部に供給する配管 ６ 清浄空気を箱体内部に供給する押し込みファン及び
フィルター ７ プロセス流体の循環ライン ８ 超純水を箱体内部に供給する配管 ９ 箱体内部の雰囲気を箱体外部に排出する配管 10 台車
フィルター ７ プロセス流体の循環ライン ８ 超純水を箱体内部に供給する配管 ９ 箱体内部の雰囲気を箱体外部に排出する配管 10 台車
Claims (7)
- 【請求項１】 下記（Ａ）〜（Ｃ）を具備するプロセス
流体のサンプリング装置。 （Ａ）：壁面の少なくとも一部が透明であり、内部に容
器を収納して箱体外部の雰囲気をと遮断し得る箱体であ
って、密閉し得る容器出し入れ扉及び箱体の壁面にあっ
て箱体外部から箱体内部を手操作し得るグローブを有す
る箱体 （Ｂ）：プロセス流体を箱体内部に供給する手段 （Ｃ）：清浄空気を箱体内部に供給する手段 - 【請求項２】 （Ｂ）プロセス流体を箱体内部に供給す
る手段が、プロセスラインと箱体の間における循環ライ
ンを形成し得る請求項１記載のサンプリング装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の（Ａ）〜（Ｃ）に加え、
下記（Ｄ）を具備する請求項１記載のサンプリング装
置。 （Ｄ）：超純水を箱体内部に供給し、箱体内部を洗浄す
る手段 - 【請求項４】 請求項１記載の（Ａ）〜（Ｃ）に加え、
下記（Ｅ）を具備する請求項１記載のサンプリング装
置。 （Ｅ）：箱体内部の雰囲気を箱体外部に排出する手段 - 【請求項５】 箱体が台車に搭載された請求項１記載の
サンプリング装置。 - 【請求項６】 箱体内部の廃液を箱体外部に導き、該導
かれた廃液を貯蔵する手段を有する台車を用いる請求項
５記載のサンプリング装置。 - 【請求項７】 プロセス流体が液体の電子工業用薬品で
ある請求項１記載のサンプリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26005995A JPH09101244A (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | プロセス流体のサンプリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26005995A JPH09101244A (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | プロセス流体のサンプリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09101244A true JPH09101244A (ja) | 1997-04-15 |
Family
ID=17342740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26005995A Pending JPH09101244A (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | プロセス流体のサンプリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09101244A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100836276B1 (ko) * | 2007-12-28 | 2008-06-10 | 한국바이오시스템(주) | 자동 채수기 |
| JP2012171862A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Mitsubishi Chemicals Corp | 窒化物結晶の製造方法 |
| CN112629934A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-09 | 富士胶片电子材料（苏州）有限公司 | 一种百级洁净度取样柜 |
| CN112945629A (zh) * | 2021-01-28 | 2021-06-11 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 电子级化学品采样系统和方法 |
| KR20230071635A (ko) * | 2021-11-16 | 2023-05-23 | 삼성엔지니어링 주식회사 | 폐수 자동 채수 장치 및 방법 |
-
1995
- 1995-10-06 JP JP26005995A patent/JPH09101244A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100836276B1 (ko) * | 2007-12-28 | 2008-06-10 | 한국바이오시스템(주) | 자동 채수기 |
| JP2012171862A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Mitsubishi Chemicals Corp | 窒化物結晶の製造方法 |
| CN112629934A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-09 | 富士胶片电子材料（苏州）有限公司 | 一种百级洁净度取样柜 |
| CN112945629A (zh) * | 2021-01-28 | 2021-06-11 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 电子级化学品采样系统和方法 |
| KR20230071635A (ko) * | 2021-11-16 | 2023-05-23 | 삼성엔지니어링 주식회사 | 폐수 자동 채수 장치 및 방법 |
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