JP2608565B2 - 粒子濾過システムを有する可搬式コンテーナ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は粒子汚染を減少させるための標準機械式イン
ターフェイス（SMIF）システム、特に気密状に密封でき
る可搬式コンテーナ装置に関する。

（従来の技術とその問題点） 米国特許第第4,532,970号及び同第4,534,389号に開示
されているHewlett−Packard社により標準機械式インタ
ーフェイス（SMIF）が提案されてきた。SMIFシステムの
目的はウェーハの上への粒子流を減少させることであ
る。この目的はウェーハの搬送時、貯蔵中、および処理
作業中に、該ウェーハを取り囲んでいるガス媒体（例え
ば空気や窒素）を前記ウェーハに対して確実に静止させ
たり周囲の環境から来る粒子をすぐ近くのウェーハ環境
に入らせないようにすることにより達成される。

前記SMIFシステムは２つの部分、すなわち、（１）処
理機械のウェーハ取扱い機構を取り囲む清浄作業装置の
キャノピを含む制御された環境と、（２）処理機械から
処理機械へウェーハを運ぶための静かな内部環境を有す
る小型の清浄なボックスとからできている。

上記型式のシステムは0.1マイクロメータより小さい
ものから200マイクロメータより大きいものまで大きさ
の粒子に関係している。これらの大きさの粒子は半導体
装置の製作に小さな寸法が使用されるために、半導体の
処理では非常に有害となることがある。現在代表的な半
導体の製法は１マイクロメータまたはそれ以下の寸法を
使用している。0.1マイクロメータ以上の寸法を有する
望ましくない汚染粒子は１マイクロメータの大きさの半
導体装置に干渉する。半導体処理寸法は最近ではますま
す小さくなる傾向にあり、現在研究開発実験室では処理
法は0.1マイクロメータ以下に近づいている。将来、寸
法はますます小さくなり、このためますます小さな汚染
粒子が問題となるであろう。

典型的な処理環境では現在“クリーンルーム”が作ら
れ、この中で濾過方法やその他の技法を使用して0.03マ
イクロメータ以上の寸法の粒子を除くための試みがなさ
れている。しかしながら、処理環境を改善する必要があ
る。クリーンルームでは、ウェーハとその他の半導体処
理粒子はクリーンルームの環境全体にさらされている。
色々な人や色々な型式の装置の色々の種類の材料もまた
クリーンルーム環境の中にあるから、該クリーンルーム
を希望通り粒子のない状態に維持できない。クリーンル
ームを0.1マイクロメータ以下の粒子が存在しないよう
にすることは殆んど不可能である。

この理由によって、SMIFシステムのようなシステムが
考えられるようになった。しかしSMIFシステムは多くの
欠点を有する。SMIFボックスが汚染されると小さな汚染
粒子を除去することは非常に困難である。その理由は小
さな粒子の装置の表面への吸着力が非常の強いためであ
る。小さな粒子がSMIFボックスのような表面に付着する
と濾過法によってうまく除去することができない。ボッ
クスの中の空気又はその他のガスの循環は濾過によって
も表面に吸着している汚染粒子を容易に除去できない。
しかしながら、SMIFボックスのような物体が例えば衝撃
によってかき乱されると、多くの小形粒子が表面から分
離し且つボックスの中の半導体やその他の製品に汚染物
として付着する。小さな粒子を装置及び表面から除くた
めに擦過法や洗浄法が発展してきたが、これらの寸法は
厄介であり、更には必ずしも効果的であるわけではな
い。

磁気ディスクバッドアイのためのコンテーナを開示し
ている米国特許第4,434,891号に説明してあるような密
封可搬式コンテーナがある。このコンテーナはトップ部
分を備え、該トップ部分はねじを備え、そのためボック
スの内部空間から内容を除去するための手動装置が必要
である。

従来のSMIFの概念は、可搬式コンテーナから処理装置
へ、該処理装置の中でなるべく少量の空気をかき乱すこ
とによってウェーハを種々の装置を通して移動させると
いう原理を含んでいる。このように、従来のSMIF搬送コ
ンテーナでは、静かな空気の概念が拡まっていた。この
利点は空気が搬送作業中比較的静かであるので空気中の
粒子が半導体ウェーハを損傷しないであろうということ
である。この概念は妥当であるが、よどんだ空気もま
た、単に静的吸着作用だけで損傷を与えることがある多
くの粒子を含んでいることが判明した。よどんだ空気が
汚染と損傷を引き起こすという確認によって、SMIFボッ
クス及び半導体が露出されている環境を積極的な局部濾
過を行う必要性を生じさせた。この認識は積極的な濾過
装置を使用しない従来のSMIFの考え方と違っている。局
所において且つ特定の条件のもとで且つ必要な時期に積
極的濾過を行う必要性が本発明に課せられた。

以上の説明に基づいて、積極的濾過システムを使用し
て汚染を減少させることができ且つ標準化することがで
きる改良したシステムが必要となる。

（問題点を解決するための手段） 本発明は処理すべき粒子に対し清浄な環境を提供し且
つコンテーナと周囲の環境を容易に清浄化するため局所
に積極的な濾過システムを使用する可搬式コンテーナで
ある。このコンテーナは特に半導体処理装置と関連して
使用され、該半導体処理装置もまた清浄な環境を提供し
且つ同様に局部的に清浄化されることができる。前記コ
ンテーナはホルダー例えば半導体ウェーハのような１個
以上の製品を保持するためのウェーハカセットホルダー
を受入れるようになっている。

本発明の一般的目的は内部環境を希望通りに積極的に
濾過する密封可搬式コンテーナを提供することである。

本発明の別の目的は濾過装置を通じてコンテーナを交
互に加圧と排気を行うことによって浄化する密封可搬式
コンテーナを提供することである。

本発明の別の目的はコンテーナを開かずに該コンテー
ナの内部全体に空気を循環させことができる可搬式コン
テーナを提供することである。

本発明の別の目的は適当な時期に加圧又は排気するよ
うに作動することができる局部的情報を持った注入器／
抽出器を有するポートプレートを提供することである。

本発明の別の目的はコンテーナの内部空間の性質と圧
力を検知する装置を含む上述の密封可搬式コンテーナを
提供することである。

本発明の別の目的はウェーハを或る位置から別の位置
へ搬送するとき環境に調和させることによってSMIFの静
かな空気の概念を高める上述の可搬式コンテーナを提供
することである。

本発明の第１実施例において、可搬式コンテーナはポ
ートプレートと該ポートプレートに密封状に係合するポ
ートドアーとを有する処理装置と共に使用され、前記コ
ンテーナは例えば半導体ウェーハのような製品を収容す
るための内部空間を構成するボツクスを有する。前記ボ
ックスは前記内部空間とボックスの外の環境とを連通す
る導管を有する。前記導管はこれを通って流れる流体か
ら粒子を濾過するためのフィルターを有する。前記ボッ
クスは第１と第２ボックストップ密封表面を有するボッ
クストップと、第１シールを作るため第１ボックストッ
プ密封表面に密封状に係合する第１ボックスドアー密封
表面を有するボックスドアーとを備えている。前記ポー
トプレートは第２シールを作るため第２ボックストップ
密封表面に密封状に係合する第１と第２のポートプレー
ト密封表面を有する。前記ポートドアーは第３シールを
作るため第２ポートプレート密封表面に密封状に係合す
るための第１ポートドアー密封表面を有する。前記ボッ
クスドアーをボックストップにラッチするためのボック
スドアーラッチ装置を備え、該ボックスドアーラッチ装
置の作動によって前記第１シールが作られたり解かれた
りする。前記ポートドアーはボックスドアーラッチ装置
を作動させるための装置を有する。前記導管はフィルタ
ーを通じて流体をボックスに入れたり出したりするため
の構造体に連結されている。したがって、流体を移動さ
せるための構造体を作動させると内部空間は交互に排気
と加圧を行うことによって清浄化される。

好ましい実施例では、前記ボックスは気密にすること
ができ且つ内部空間内に空気を循環させるための起動式
循環装置をボックストップ内に有している。前記ボック
ストップは更に内部空間内を循環する空気を濾過するた
めの濾過装置を備え、したがって前記循環装置の起動時
に前記濾過装置は内部空間の中の粒子を捕捉して該内部
空間を清浄にする。

本発明による可搬式コンテーナの好ましい実施例は内
部空間とポートプレートを連通させる導管装置を備えた
ボックストップを有する。前記ポートプレートはボック
ストップ導管装置に連通させ且つ注入器／抽出器に密封
状に係合させるための導管装置を備え、前記注入器／抽
出器はボックストップ導管装置のフィルターを通じて前
記内部スペースを交互に加圧または排気するように作動
され、かくしてその加圧または排気時に内部空間を清浄
にする。

別の好適な実施例では、ボックスドアーは内部空間と
ポートドアーを連通させる導管装置を備え、また前記ボ
ックスドアー導管装置に連通するための導管装置を備
え、更に注入器／抽出器を密封可能に連結するための装
置を備えている。前記ボックスドアー導管装置は濾過装
置を備え、かくして注入器／抽出器の起動すると内部ス
ペースを濾過装置を通じて排気または加圧することがで
き、かくして内部空間の粒子を捕捉して該空間を清浄に
する。

したがって、本発明の利点は可搬式コンテーナの内部
空間に物品を入れておいて清浄化できることである。

本発明の別の利点は処理装置の環境の圧力に調和させ
るため内部空間を加圧できることである。

本発明の別の利点は物品の処理中にコンテーナの内部
空間を動的に清浄化するため加圧または排気作動装置を
起動することができることである。

本発明のこれら及びその他の目的と効果は、図面と関
連して本発明の好ましい実施例を詳細に提示している次
の説明からなお一層明らかになるであろう。

（実施例） 数葉の図面を通じて同じ参照番号が類似の部品又は対
応する部品を示している図面を参照し、更に特に第１図
を参照すると、処理装置12のウェーハ取扱い機構を覆う
取外し可能なシールドであるキャノピ10が示されてい
る。装置12はフォトレジストアプリケータ、マスクアラ
イナー、検査ステーション、または任意の類似の処理装
置である。キャノピ10はその中での検査及び／又は保守
を容易ならしめるためアクリルやレクサンのような透明
なプラスチックで作られている。キャノピ10は処理装置
12の取扱い機構と、ホルダー14例えばウェーハ16を保持
するウェーハカセットとを有している。処理装置の中の
環境は別々に保たれ且つ別々に清浄化され、したがって
装置12はクリーンルームの中に据付ける必要がない。

第２図は第１図の装置の詳細を示す。本発明に係るコ
ンテーナ18はポート組立体24特にポートプレート26によ
ってキャノピ10の水平面22に取付けられたボックス20を
有する。ポート24は更にポートドアー28と、集積回路ウ
ェーハ16を入れたカセットホルダー14をボックス20から
キャノピ10の下の領域に運ぶエレベータ機構30とを備え
ている。第２図において、ポートドアー28とボックスド
アー32は点線で閉鎖状態にあることが示されている。移
動組立体34はプラットフォーム36と軸係合装置38と駆動
モータ40とを有する。エレベータ組立体30から延びたプ
ラットフォーム36がポートドアー28とボックスドアー32
とホルダー14とを垂直方向に備えている。前記プラット
フォーム36は係合装置38によってエレベータ組立体30の
垂直ガイド42に取付けられている。

ガイド42が親ねじ（図示せず）を備え且つ駆動モータ
40が、プラットフォーム36を上下動させるため前記親ね
じに係合する歯車（図示せず）を駆動する。プラットフ
ォーム36を閉鎖位置に移動させるとき、ポートドアー28
がキャノピ10にあけたポートを閉じる。

同じようにして、マニピュレータ組立体44が垂直ガイ
ド42に係合する係合装置48を有するプラットフォーム46
に固定されている。マニピュレータ組立体44はマニピュ
レータアーム50と、ホルダー14に係合する係合ヘッド52
とを有する。プラットフォーム36、46の垂直方向の作動
とマニピュレータ44の作動によって、ホルダー14はボッ
クスドアー32の上の位置から処理装置ステーション13
（点線で示す）上の位置へ移動させられる。

第３図に本発明によるコンテーナおよびポートドアー
80の組立体の第１実施例の分解図を示す。コンテーナ60
は気密可能なボックス62を備えている。ボックス62はあ
とで詳しく説明するように交互に加圧したり排気したり
することができる。ボックス62はボックストップ64とボ
ックスドアー66を有する。ポート組立体80はポートプレ
ート82とポートドアー84を有する。ポートプレート82は
ガス搬送バルブ68によって同軸の注入器／抽出器100に
連結できる。

ボックスドアー66はボックスドアーラッチ装置70を有
する。ポートドアー84はボックスドアー錠装置70を作動
させ、したがってウェーハ16を入れたボックスドアー66
を解放するためのピン86を有する。このようにして、ウ
ェーハ16はエレベータ機構30と移動組立体34によって、
人間の手をわずらわすことなく処理するための前記処理
装置12の適当な位置に移動させられる。

第４図において、コンテーナ60は処理装置12に関連し
て図示されている。コンテーナ60はポート組立体80に密
封状に係合できるよう設計されている。ボックストップ
64はそれぞれ第１と第２のトップ密封表面72、74を有す
る。ボックスドアー66は第１ボックストップ密封表面に
密封状に係合して第１シール73を作るための第１ボック
スドアー密封表面76を有する。

ポートプレート82は第１と第２のポートプレート密封
表面88、90を有する。第１ポートプレート密封表面88が
第２ボックストップ密封表面74に密封状に係合して第２
シール75を作る。

ポートドアー84は第２ポートプレート密封表面90に密
封係合して第３シール77を作る第１ポートドアー密封表
面92を有する。ボックストップ64は更に、バルブ68とボ
ックス62の内部スペース61との間に流路78を形成する導
管装置を含む。前記流路78の一方の端は貫流する流体を
濾過するための濾過装置79を有する。該濾過装置79は特
に小さな粒子を捕捉できる膜フィルターを含んでいる。

３つのシール73、75、77がすべて作られるとボックス
20の内部スペース61は該ボックス20を交互に排気して空
にしたりまた加圧したりすることによって清浄化され
る。内部空間61を排気するために注入器／抽出器100を
作動させて内部空間61から流体を排出する。排出された
流体は膜フィルター79を通り、流路78を通り更に注入器
／抽出器100の同軸バルブを通る。内部空間61に真空が
できると作業が終了する。本発明のコンテーナを使用し
て90〜99％の真空が可能なことが分った。流体が内部空
間61の中で清浄化されてのち再びフィルター79を通って
内部空間に戻される。膜フィルター79が粒子をその中に
加圧時にも保持する。

コンテーナ60の加圧時並びに排気時に、ウェーハの後
部に空気を自由に流動させ最少量の空気をウェーハ16の
上に流すのが好ましい。

第４図では、第１シール73、第２シール75および第３
シール77はすべてＯリングを使用して作られる。更に第
４図では、注入器／抽出器100がＯリング136の使用によ
ってポートプレート82の中に密封状態に挿入されてい
る。価格を最小限にするため、ボックス62をドーム状に
作り且つ15PSI（1.05kg/cm²）の差圧に耐えることがで
きる強力なプラスチック材料で作るべきである。前記注
入器／抽出器100はポート組立体80に設けた作動装置104
によって作動される。

第５図では、ボックスドアーラッチ装置70が詳細に示
されている。前記ラッチ装置70は、ここに参考のため記
載する米国特許出願第633,384号に関して前に説明した
方法と同じ方法でポートドアーのピン86によって作動さ
れる。

本発明によるコンテーナは環境に調和させることがで
きる効果を有する。第２図に示すように内部空間61は第
１環境110を形成する。第２環境112は処理装置12の内部
によって形成される。第３環境114はコンテーナ60と処
理装置12の外側の空間によって形成される。ボックスド
アー66を開く前に第１環境110を上述のように圧力と清
浄の両方に関し調節するのがよい。第２環境112を、第
２注入器／抽出器102を処理装置12に連結するときに同
じように調節するのがよい。このようにして第１環境11
0と第２環境112が清浄と圧力の両方について調整され
る。またボックスドアー66を開いてウェーハ16を第２環
境112に露出したとき、処理装置12内のウェーハ16の静
かな空気搬送を促進するように第１および第２の環境そ
れぞれを圧力と清浄について調整するのがよい。かくし
て、米国特許第4,532,970号及び第4,534,389号に示され
る静かな空気のウェーハの概念が本発明によって高めら
れる。

ウェーハ16を処理した後、該ウェーハを環境110の中
に再び挿入する。次いでコンテーナ60が密封性であるの
で汚染のおそれなく、該ウェーハを第３環境114を通じ
て該コンテーナ60の中に運ぶことができる。このように
して、第３環境114が多くの粒子で汚染されることがあ
っても、第１環境110したがってウェーハ16に悪影響を
及ぼすことはない。

ボックスドアー66の開放をコンテーナ60の排気または
加圧に同期化するのがよい。例えばボックスドアーの開
放前に第１と第２の環境を15PSI（1.05kg/cm²）に加圧
することが望ましい。上述のように前記環境の圧力を本
発明を使用して調整するのがよい。

処理装置の圧力を零にしてすなわち真空にしてその中
でウェーハ16を移動させることが望ましい。再び、環境
110、112を調整して静かな空気の搬送を容易にする。

前記ボックストップ64は環境110の性質と環境110の圧
力との両方を検知するセンサー120を備えている。同様
に処理装置12は第２巻強112の中の圧力と環境の種類を
検知するセンサー122を備えている。環境110を検知する
原理を更に説明するため第13図を参照する。

第13図において、ボックス62は濾過作用と解析作用の
ため閉じた系160を備え、該系は入口164と出口166を備
えている。きれいな空気または遊離したN2がポンプＰに
よって内部空間61の中に注入され、導管168を循環して
出口から排出される。内部空間61の中の粒子を捕捉する
ため出口166にはフィルター170が設けられている。また
入口にもフィルターが設けられている。入口164と出口1
66はそれぞれ１方向弁であり、したがって希望しない流
体は第１環境110に入ることができない。閉じた系160は
センサー172、174を有する。またセンサー172、174は窒
素を閉じた系160から排出したいとき乾燥窒素源に接続
する装置を備えている。前記センサーは内部スペース61
の中のガスまたは流体を定性的に及び定量的に解析す
る。かくして、本発明によるコンテーナを使用して環境
の圧力と含有物の種類を測定することができる。

第12図では、コンテーナ60は、出願番号がまだわから
ない前に出願された特許出願について説明したコンテー
ナに類似のライナー180を有するものとして図示されて
いる。ライナー180が内部空間61の中に在る。空間61の
中の空気は運動状態におかれているので、ライナー180
とボックストップ64との間の空間によって作られた流路
182を通って流れる。空気は注入時に矢印で示す全般的
通路に沿って流れる。勿論加圧時に矢印の反対方向が全
般的な流れを示すことになろう。空気がライナー180の
上部に設けた膜フィルター184を通って流れる。フィル
ター184が小さな粒子さえも濾過する。フィルター184が
ライナー180の頂部に取付けられているが、該フィルタ
ー184とボックストップ64との間に空間を作り、この空
間を空気が流れるようになっている。

第２図と第６図乃至第９図に、本発明による別の実施
例である可搬式コンテーナ60′が図示されている。該コ
ンテーナ60′は第８図に分解図で示されている。本発明
のこの実施例は以下説明する以外は上述の第３図乃至第
５図の実施例と同一である。

コンテーナ60′はウェーハ16を入れるための内部スペ
ース61を形成するボックス62を有する。前記ボックスは
僅かにドーム状の形状をしたボックストップ64を有し且
つこのトップは15PSI（1.05kg/cm²）の差圧に耐え得る
壁を有する。また、該ボックス62は内部空間とポートド
アー84とのを連通する導管装置78を備えたボックスドア
ー66を有する。導管装置78が流路を形成する。

ボックストップ64が第１と第２の表面72、74を有す
る。ボックスドアー66は第１シール73を作るボックスト
ップ密封表面72に密封状に係合する第１ボックスドアー
密封表面76を有する。

ポートプレート82が第１ポートプレート密封表面88と
第２ポートプレート密封表面90を有する。第１ポートプ
レート密封表面88が第２シール75を形成するために第２
ボックストップ密封表面74に密封状に係合するポートド
アー84が第３シール77を作るために第２ポートプレート
密封表面90に密封状に係合する第１ポートドアー密封表
面92を有する。更に前記ポートドアー84はボックスドア
ー66と第２環境112とを連通するための流路94を形成す
る導管装置を有する。ボックスドアー66はポートドアー
84とボックスドアー66との間の空間97とを連通させるた
めの導管装置95を有する。導管装置95を使用して空間97
を環境110、112について交互に排気又は加圧させること
ができる。

第２図と第６図乃至第９図に示す実施例において、処
理装置12はボックスドアー66を通じて連結できる注入器
／抽出器100を有する。注入器／抽出器100はアンビリカ
ルコード106によってポート流路94に連結されている。
アンビルカルコード106は可撓性であり且つマニピュレ
ータ組立体50の中でからむことなくエレベータ組立体30
の垂直移動によって移動する第３図及び第４図ついて説
明した先の実施例と同じようにこの実施例もまた排気と
加圧を同じようにして行うことができる。この実施例で
は、コンテーナ60′の圧力及び、注入器／抽出器100と
アンビリカルコード106とポート流路94との接続との協
働により、ポンプＰ（第２図）が“オン”位置に在ると
きバルブ68を作動させる。したがってこの実施例は、第
４図及び第５図を参照して説明した実施例と比較して積
極的な排出及び加圧システムを構成し、この実施例では
加圧作用／排出作用が作動装置104を積極的に作動させ
ることによって生ずる。

コンテーナ60′をポートプレート82に対し密封するた
めの別の密封構造が第６図及び第７図に示されている。
ポートプレート82はその内周全体に内側溝83を有する。
該溝83の中に膨張シール130が嵌まっている。該膨張シ
ール130は導管132を通じてポンプ（図示せず）に接続さ
れている。コンテーナ60′を処理装置12に載せてのち、
ポンプが作動され且つシールが膨らまされる。コンテー
ナ60′を除去するための前記シールを収縮させてコンテ
ーナ60′を解放する。

第10図に可搬式コンテーナ60の別の実施例を示す。こ
の実施例では、コンテーナ60の中に空気の循環を起こ
し、内部スペースの粒子収集エレメントの中に粒子を捕
捉することによって粒子を減少させる。コンテーナ60は
ウェーハ16を収容するための内部空間141を形成する気
密性ボックス140を含む。該ボックス140は第１ボックス
トップ密封表面144と第２ボックストップ密封表面146を
有するボックストップ142を有する。更に、前記ボック
ストップは内部空間の中で流体を循環させる作動装置で
ある吸収プレート148を含んでいる。更に前記ボックス
トップ142は、吸収プレート148によって作動される流体
を濾過するための粒子収集エレメント150を有する。点
線で示すように、追加のまたは別の粒子収集エレメント
をボックス140のトップに設けても良い。粒子の収集を
一層効果的に行うため粒子収集エレメント150をボック
ストップの側部に設けるのが好ましい。ボックスドアー
152を含み、該ボックスドアー152は第１のボックスドア
ー密封表面を有し、該第１のボックスドアー密封表面は
第１シール156を作るために第１のボックストップ密封
表面144と係合する。

コンテーナ60はポート組立体80に関連して作動するよ
うになっている限りにおいて、前述の可搬式コンテーナ
の実施例に類似である。前述の実施例と同様にポートプ
レート82は第１ポートプレート密封表面88と第２ポート
プレート密封表面90を有する。第１ポートプレート密封
表面88は第２シール75を形成するために第２ボックスト
ップ密封表面146と密封状に係合する。ポートドアー84
は第３シール77を形成するために第２ポートプレート密
封表面90と密封状に係合する第１ポートドアー密封表面
92を有する。作動中、前記ボックスドアーは第３図乃至
第９図の実施例で説明したように開閉する。

吸収プレート148は赤外線エネルギー源158によって供
給される直射赤外線エネルギーによって加熱される。前
記赤外線エネルギー源は吸収プレート148に熱を供給す
る熱源である。つぎに吸収プレート148がそれに接近し
ている内部スペース141の部分を加熱する。吸収プレー
ト148はボックスプレート142の中のボックスドアー152
の近くに配置されている。かくして、内部スペース141
の中の空気が底部で加熱されると対流が発生して空気を
ボックストップフィルター150を通して循環させる。こ
の局所的な循環流を発生させるため吸収プレート148を
周囲より僅か数度だけ加熱すれば良いことが判明した。
暖まった空気が上昇すると、その空気はボックストップ
によって冷却され、かくして連続的な循環を続ける。内
部空間141の温度を周囲より数度以上高くならないよう
にして毎分数回の割合で循環を行うことができることが
期待される。空気が循環するにつれて内部空間内の粒子
がフィルター150に捕捉される。

第11図では、粒子収集エレメント184が詳細に示され
ている。エレメント184は空気がボックス140の中で循環
するとき粒子を集めるフィン186を備えている。このフ
ィン186は気流に激しく干渉しないように配置されてい
る。

本発明を特に好適な実施例について図示し且つ説明し
てきたが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく
型式と細部について前記変更並びにその他の変更を行う
ことができることが当業者によって理解されるであろ
う。

【図面の簡単な説明】

第１図は処理装置と共に使用するよう配置されたSMIFシ
ステムの斜視図、第２図は第１図の処理装置と共に示す
本発明によるSMIFコンテーナの概略図、第３図は本発明
による注入器／抽出器装置を有するポートプレートを備
えた気密性コンテーナの斜視図、第４図は第３図の線４
−４における気密性コンテーナの断面図、第５図はボッ
クスラッチ装置を示す第４図のコンテーナの正面図、第
６図及び第７図は第３図の線４−４におけるコンテーナ
の断面図、第８図は本発明によるコンテーナの別の実施
例の分解図、第９図は第８図の線９−９における断面
図、第10図は本発明による密封性コンテーナの別の実施
例の正面図、第11図は第10図の線11−11における部分断
面図、第12図はライナーを有する本発明のコンテーナの
別の実施例の正面図、第13図は別々入口と出口、および
クローズ濾過システムを有する本発明のコンテーナの別
の実施例の正面図である。 10……キャノピ 12……処理装置 14……ホルダー 18……コンテーナ 20……ボックス 22……水平表面 24……ポート組立体 28……ポートドアー 30……エレベータ機構 32……ボックスドアー 36……プラットホーム 40……駆動モータ 42……ガイド 44……マニピュレータ組立体 46……プラットホーム 48……係合装置 50……マニピュレータアーム 52……係合ヘッド 60……コンテーナ 62……ボックス 64……ボックストップ 66……ボックスドアー 68……ガス搬送バルブ 78……流路 79……濾過装置 80……ポート組立体 82……ポートプレート 84……ポートドアー 110,112……環境 120,122……センサー 164……入口 166……出口 170……フィルター 172,174……センサー 180……ライナー 182……流路

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ポートプレートと該ポートプレートに密封
   自在に係合するポートドアーとを有する処理装置と共に
   使用され且つ清浄化処理する製品を保持するための可搬
   式コンテーナにおいて： 前記製品を収容するための内部空間を形成するボックス
   を有し、前記ボックスが前記内部空間と前記ボックスの
   外部の環境とを連通する導管装置を含み、前記導管装置
   がここを通過する流体を濾過するための装置を含み； 前記ボックスが第１と第２のボックストップ密封表面を
   有するボックストップと、第１シールを作るため第１ボ
   ックストップ密封表面に密封自在に係合する第１ボック
   スドアー密封表面を有するボックスドアーとを含み； 前記ポートプレートが第１と第２のポートプレート密封
   表面を有し、該第１ポートプレート密封表面が第２シー
   ルを作るため前記第２ボックストップ密封表面に密封自
   在に係合し； 前記ポートプレートが第３シールを作るため第２ポート
   プレート密封表面に密封自在に係合するための第１ポー
   トドアー密封表面を有し； 前記ボックスドアーを前記ボックストップにラッチする
   ためのボックスドアーラッチ装置を備え、該ボックスド
   アーラッチ装置の作動によって前記第１シールが作られ
   且つ解放され； 前記ポートドアーが前記ボックスドアーラッチ装置を作
   動させる装置を有し； 前記導管装置が前記濾過装置を通じて前記ボックスの内
   外に流体を移動させる装置に連結され、前記流体移動装
   置の作動によって前記内部スペースが交互に排気または
   加圧される； ことを特徴とする可搬式コンテーナ。
2. 【請求項２】ポートプレートと該ポートプレートに密封
   自在に係合するポートドアーとを有する処理装置と共に
   使用され、清浄化する製品を収容するためのコンテーナ
   において； 前記製品を収容するための内部空間を形成する密封可能
   なボックスを備え； 前記ボックスがボックストップとボックスドアーを有
   し、前記ボックストップが第１との第２のボックストッ
   プ密封表面と前記内部空間内に空気を循環させるための
   作動式循環装置と前記内部空間内の空気を濾過するため
   の濾過装置とを備え、前記ボックスドアーが第１シール
   を作るため前記第１ボックストップ密封表面に密封自在
   に係合する第１ボックスドアー密封表面を備え； 前記トッププレートが第１と第２のポートプレート密封
   表面を有し、前記第１ポートプレート密封表面が第２シ
   ールを作るため前記第２ボックストップ密封表面に密封
   自在に係合し； 前記ポートドアーが第３シールを作るため前記第２ポー
   トプレート密封表面に密封自在に係合する第１ポートド
   アー密封表面を有し； 前記第１シールを作るため前記ボックスドアーを前記ボ
   ックストップにラッチするためのボックスドアーラッチ
   装置を備え； 前記ポートドアーが前記ボックスドアーラッチ装置を作
   動させる装置を含み、それによって前記循環装置の作動
   時に流体が前記内部空間と前記濾過装置の中に循環して
   前記内部空間の中の粒子を捕捉する； ことを特徴とするコンテーナ。
3. 【請求項３】ポートプレートと、該ポートプレートに係
   合するポートドアーとを有する処理装置と共に使用さ
   れ、清浄化する製品を収容するためのコンテーナにおい
   て； 前記製品を収容するための内部空間を有するボックスを
   含み、前記ボックスが作動式循環装置と流体及び前記内
   部空間の中の粒子を捕捉する装置を備えたボックストッ
   プと該ボックスを開閉するためのボックスドアーとを含
   み、前記ボックスドアーが前記ボックスドアーをボック
   ストップにラッチするためのボックスドアーラッチ装置
   を含み； 前記ポートプレートが前記ボックスを受入れるようにな
   っており； 前記ポートドアーが前記ボックスドアーラッチ装置を作
   動させるための装置を含み； それによって前記循環装置の作動により流体が前記濾過
   装置を通って内部空間に移動し、前記内部空間から粒子
   を捕捉する； ことを特徴とするコンテーナ。
4. 【請求項４】ポートプレートと該ポートプレートに密封
   自在に係合するポートドアーとを有する処理装置と共に
   使用され、清浄化する製品を収容するコンテーナにおい
   て； 前記製品を収容するための内部空間を形成するボックス
   を含み、該ボックスがボックストップとボックスドアー
   を備え、 前記ボックストップが内部空間とポートプレートを連通
   するための導管装置を有し、該導管装置が前記スペース
   の内外に流動させる流体を濾過する装置を含み、且つ前
   記ボックストップが第１と第２のボックストップ密封表
   面を有し、 前記ボックスドアーが第１シールを形成するため第１ボ
   ックストップ密封表面に密封自在に係合する第１ボック
   スドアー密封表面を有し； 前記ポートプレートが第１と第２のポートプレート密封
   表面を有し、前記第１密封表面が第２シールを作るため
   第２ボックストップ密封表面に密封自在に係合し、前記
   ポートプレートが流体を前記ボックスの内外に移動させ
   るための装置を入れるようになっており、前記流体移動
   装置が前記ポートプレートの中で前記導管装置に係合し
   且つ選択的に作動でき； 前記ポートドアーが第３シールを作るため前記第２ポー
   トプレート密封表面に密封状に係合できる第１ポートド
   アー密封表面を有し； 前記第１シールを作るため前記ボックスドアーをボック
   ストップにラッチするためのボックスドアーラッチ装置
   を含み； 前記ポートドアーが前記ポートドアーラッチ装置を作動
   させるための装置を含み、よって前記流体移動装置の作
   動によって前記内部空間が前記ポートプレートを通じて
   交互に加圧または排気される； ことを特徴とするコンテーナ。
5. 【請求項５】ポートプレートと、該ポートプレートに密
   封自在に係合するポートドアーとを有する処理装置と共
   に使用され、清浄化する製品を収容するためのコンテー
   ナにおいて； 前記製品を収容するための内部空間を形成するボックス
   を含み、該ボックスがボックストップとボックスドアー
   とを備え、 前記ボックストップが第１と第２のボックストップ密封
   表面を有し、 前記ボックスドアーが第１シールを作るため前記第１ボ
   ックストップ密封表面に密封自在に係合するための第１
   ボックスドアー密封表面と前記内部空間とポートドアー
   とを連通する第１導管装置とを備え、前記第１導管装置
   がここを通過する流体を濾過するための装置を有し； 前記ポートプレートが第１と第２の密封表面を有し、該
   第１密封表面が第２シールを作るために第２ボックスト
   ップ密封表面に密封自在に係合し； 前記ポートドアーが第３シールを作るため第２ポートプ
   レート密封表面に密封自在に係合する第１ポートドアー
   密封表面と、前記第１導管装置に連通するための第２導
   管装置を備え； 第１シールを作るための前記ボックスドアーをボックス
   トップにラッチするためのボックスドアーラッチ装置を
   有し； 前記ポートドアーが前記ボックスドアーラッチ装置を作
   動させるための装置を備え； 前記処理装置が液体を前記濾過装置を通じて前記内部空
   間の内外に移動させるための装置と前記内部空間の連通
   を容易ならしめるため前記第２導管装置に連通させて第
   ３導管装置を含む； ことを特徴とするコンテーナ。
6. 【請求項６】清浄化する物品を入れるための可搬式コン
   テーナにおいて； 前記物品を入れるための内部空間を形成するボックスを
   含み、前記ボックスが前記内部空間と該ボックスの外部
   の環境とを連通させるための導管装置を備え、前記導管
   装置がここを通過する流体を濾過する装置を備え； 第１と第２のボックストップ密封表面を有するボックス
   トップと、第１シールを作るため第１ボックストップ密
   封表面に密封自在に係合する第１ボックスドアー密封表
   面を有するボックスドアーとを備えたボックスを含み； 第１と第２のポートプレート密封表面を有するポートプ
   レートを含み、前記第１ポートプレート密封表面が第２
   シールを作るため前記第２ボックストップ密封表面に密
   封自在に係合し； 前記ポートドアーが第３シールを作るために第２ポート
   プレート密封表面に密封自在に係合するための第１ポー
   トドアー密封表面を備え； 前記ボックスドアーを前記ボックストップにラッチする
   ためのボックスドアーラッチ装置を含み、よって該ボッ
   クスドアーラッチ装置の作動によって前記第１シールが
   作られ且つ解放され； 前記ポートドアーが前記ボックスドアーラッチ装置を作
   動させる装置を含み； 前記導管装置が前記濾過装置を通って流体を前記ボック
   スの内外に移動させるための装置に連結され、それによ
   って前記流体移動装置の作動によって前記内部空間が交
   互に排気または加圧される； ことを特徴とするコンテーナ。
7. 【請求項７】清浄化される製品を収容するためのコンテ
   ーナにおいて； 前記製品を収容するための内部空間を形成する密封自在
   のボックスを含み、前記ボックスがボックストップとボ
   ックスドアーを備え； 前記ボックストップが第１と第２のボックストップ密封
   表面と前記内部空間内に空気を循環させるための作動式
   循環装置と、前記内部空間内の空気を濾過するための濾
   過装置を備え； 前記ボックスドアーが第１シールを作るため前記第１ボ
   ックストップ密封表面に密封自在に係合する第１ボック
   スドアー密封表面を備え； 第１と第２のポートプレート密封表面を有するポートプ
   レートを含み、該第１ポートプレート密封表面が第２シ
   ールを作るため前記第２ボックストップ密封表面に密封
   自在に係合し； 第３シールを作るため前記第２ポートプレート密封表面
   に密封自在に係合する第１ポートドアー密封表面を有す
   るポートドアーを含み； 前記第１シールを作るため前記ボックスドアーを前記ボ
   ックストップにラッチするためのボックスドアーラッチ
   装置を含み； 前記ポートドアーが前記ボックスドアーラッチ装置を作
   動させるための装置を備え、よって前記循環装置の作動
   によって流体を前記内部空間に循環させ且つ前濾過装置
   を通じて内部空間内の粒子を捕捉する； ことを特徴とするコンテーナ。
8. 【請求項８】清浄化する製品を収容するためのコンテー
   ナであって； 前記物品を収容するための内部空間を形成するボックス
   を含み、前記ボックスが作動式循環装置と、流体と前記
   内部空間の中の粒子を捕捉するための装置と前記ボック
   スを開閉するためのボックスドアーを有し、前記ボック
   スドアーがこれをボックストップにラッチするためのボ
   ックスドアーラッチ装置を有し； 前記ボックスを受入れるようになったポートプレートを
   含み； 前記ボックスドアーラッチ装置を作動させるための装置
   を含み、 それによって前記循環装置の作動により流体が濾過装置
   を通って前記内部空間の中に移動してそこから粒子を捕
   捉する； ことを特徴とするコンテーナ。
9. 【請求項９】清浄化する製品を収容するためのコンテー
   ナにおいて； 前記製品を収容するための内部空間を形成するボックス
   を含み、該ボックスがボックストップとボックスドアー
   を備え、前記ボックストップが前記内部空間とポートプ
   レートを連通させるための導管装置を有し、前記導管装
   置が前記内部空間の内外に流動する液体を濾過するため
   の装置と第１及び第２のきボックストップ密封表面を備
   え； 第１シールを作るため前記第１ボックストップ密封表面
   に密封自在に係合する第１ボックスドアー密封表面を有
   するボックスドアーを含み； 第１と第２のポートプレート密封表面を有するポートプ
   レートを含み、前記第１密封表面が第２シールを作るた
   め前記第２ボックストップ密封表面に密封自在に係合
   し、前記ポートプレートが前記ボックス内外に流体を移
   動させる装置を受入れるようになり、前記流体移動装置
   が前記ポートプレート内で前記導管装置に係合し且つ選
   択的に作動でき； 第３シールを作るため前記第２ポートプレート密封表面
   に密封自在に係合する第１ポートドアー密封表面を有す
   るポートドアーを含み； 前記第１シールを作るために前記ボックスドアーを前記
   ボックストップにラッチするためのボックスドアーラッ
   チ装置を含み； 前記ポートドアーが前記ポートドアーラッチ装置を作動
   させる装置を含み、それによって前記流体移動装置の作
   動により前記内部空間が前記ポートプレートを通じて交
   互に加圧または排気される； ことを特徴とするコンテーナ。
10. 【請求項１０】処理装置と共に使用するための清浄化す
    る製品を収容するコンテーナにおいて； 前記物品を収容するための内部空間を形成するボックス
    を含み、該ボックスはボックストップとボックスドアー
    を含み、前記ボックストップが第１と第２のボックスト
    ップ密封表面を備え、前記ボックスドアーが第１シール
    を作るため前記第１ボックストプ表面に密封自在に係合
    するための第１ボックスドアー密封表面と、前記内部空
    間と前記ポートドアーとを連通させるための第１導管装
    置を備え、前記第１導管装置がここを通過する液体を濾
    過するための装置を含み； 第１と第２のポートプレート密封表面を有するポートプ
    レートを含み、前記第１密封表面が第２シールを作るた
    め前記第２ボックストップ密封表面に密封自在に係合
    し； 第３シールを作るため前記第２ポートプレート密封表面
    に密封自在に係合する第１ポートドアー密封表面と、前
    記第１導管装置に連通するための第２導管装置を有する
    ポートドアーを含み； 前記第１シールを作るため前記ボックスドアーを前記ボ
    ックストップにラッチするためのボックスドアーラッチ
    装置を含み； 前記ポートドアーが前記ボックスドアーラッチ装置を作
    動させるための装置を備え； 前記処理装置が前記濾過装置を通じて前記内部空間の内
    外に流体を移動させるための装置と前記内部空間との連
    通を容易ならしめるため前記第２導管装置に連通して第
    ３導管装置を備え、それによって前記流体移動装置の作
    動により前記内部空間が前記ポートドアーを通じて交互
    に加圧または排気される； ことを特徴とするコンテーナ。