JP2960540B2 - ラッチ機構を備えたシール可能且つ輸送可能な容器 - Google Patents
ラッチ機構を備えたシール可能且つ輸送可能な容器Info
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Description
【発明の詳細な説明】 関連出願についての引照 本願は、本願の譲受人に譲渡されている次の全ての出
願／特許に関連している。
願／特許に関連している。
・「シール形標準インターフェース装置（SEALED STAND
ARD I−NTERFACE APPARATUS）」、発明者:George Allen
Maney, Andrew William O'Sullivan,W.George Farac
o、出願番号第635,384号、出願日1984年７月30日、現在
米国特許第4,674,939号。
ARD I−NTERFACE APPARATUS）」、発明者:George Allen
Maney, Andrew William O'Sullivan,W.George Farac
o、出願番号第635,384号、出願日1984年７月30日、現在
米国特許第4,674,939号。
・「知能ウェーハキャリヤ（INTELLIGENT WAFER CARRIE
R）」、発明者:George Allen Maney,Anthony Charles B
onora,Mihir Parikh、出願番号第686,444号、出願日198
4年12月24日、現在米国特許第4,674,939号。
R）」、発明者:George Allen Maney,Anthony Charles B
onora,Mihir Parikh、出願番号第686,444号、出願日198
4年12月24日、現在米国特許第4,674,939号。
・「ドア作動形リテーナ（DOOR ACTIVATED RETAINE
R）」、発明者:George Allen Maney,W.George Faraco,M
ihir Parikh、出願番号第686,443号、出願日1984年12月
24日、現在米国特許第4,815,912号。
R）」、発明者:George Allen Maney,W.George Faraco,M
ihir Parikh、出願番号第686,443号、出願日1984年12月
24日、現在米国特許第4,815,912号。
・「標準機械式インターフェース装置用の長アームマニ
ピュレータ（LONG ARM MANIPULATOR FOR STANDARD MECH
ANICAL INTERFACE APPARATUS）」、発明者:Anthony Cha
rles Bonora,Andrew William O'Sullivar、出願番号第7
69,709号、出願日1985年８月26日、現在米国特許第4,67
6,709号。
ピュレータ（LONG ARM MANIPULATOR FOR STANDARD MECH
ANICAL INTERFACE APPARATUS）」、発明者:Anthony Cha
rles Bonora,Andrew William O'Sullivar、出願番号第7
69,709号、出願日1985年８月26日、現在米国特許第4,67
6,709号。
・［標準機械式インターフェース装置用の短アームマニ
ピュレータ（SHORT ARM MANIPULATOR FOR STANDARD MEC
HANICAL INTERFACE APPARATUS）」、発明者:Anthony Ch
arles Bonora、出願番号第796,850号、出願日1985年８
月26日、現在米国特許第4,674,936号。
ピュレータ（SHORT ARM MANIPULATOR FOR STANDARD MEC
HANICAL INTERFACE APPARATUS）」、発明者:Anthony Ch
arles Bonora、出願番号第796,850号、出願日1985年８
月26日、現在米国特許第4,674,936号。
・「ディスポーザブルライナを備えた容器（CONTAINER
HAVING DISPOSABLE LINERS）」、発明者:Mihir Parikh,
Anthony Charles Bonora,W.George Faraco,Barney H.Hu
ang、出願番号第829,447号、出願日1986年２月13日、現
在米国特許第4,739,882号。
HAVING DISPOSABLE LINERS）」、発明者:Mihir Parikh,
Anthony Charles Bonora,W.George Faraco,Barney H.Hu
ang、出願番号第829,447号、出願日1986年２月13日、現
在米国特許第4,739,882号。
・［粒子濾過システムを備えたシール可能且つ輸送可能
な容器（SEALABLE TRANSPORTABLE CONTAINER HAVING A
PARTICLE FILTERING SYSTEM）」、発明者:Mihir Parik
h,Anthony C.Bonora、出願番号第840,380号、出願日198
6年５月１日、現在米国特許第4,724,874号。
な容器（SEALABLE TRANSPORTABLE CONTAINER HAVING A
PARTICLE FILTERING SYSTEM）」、発明者:Mihir Parik
h,Anthony C.Bonora、出願番号第840,380号、出願日198
6年５月１日、現在米国特許第4,724,874号。
発明の背景 発明の分野 本発明は、粒子汚染を低減させる標準機械式インター
フェース（standardized mechanical interface、SMI
F）システムに関し、より詳しくは、輸送可能な容器で
あって該容器の内容物に外部ファクタの影響が及ばない
ようにシール可能な容器に関する。
フェース（standardized mechanical interface、SMI
F）システムに関し、より詳しくは、輸送可能な容器で
あって該容器の内容物に外部ファクタの影響が及ばない
ようにシール可能な容器に関する。
関連技術の説明 標準機械式インターフェース（SMIF）システムは、米
国特許第4,532,970号及び第4,534,389号に記載されてい
るように、ヒューレットパッカード社（Hewlett−Packa
rd Company）により提案されたものである。SMIFシステ
ムの目的は、ウェーハに作用する粒子束（particle flu
xes）を低減させることにある。この目的は、輸送時及
び保管時に、ウェーハを包囲するガス状媒体（空気又は
窒素）がウェーハに対し本質的に静止した状態を機械的
に達成すること、及び周囲の環境からの粒子が直接的な
ウェーハの環境に入らないようにすることにより、部分
的には達成される。SMIFの概念は、運動、空気の流れ方
向及び外部汚染物質に関して制御された、粒子の存在し
ない少量の空気が、ウェーハにとって清浄な環境を与え
るという認識に基づいている。提案された一システムに
ついての更に詳細な説明が、「SMIF:VLSIの製造におけ
るウェーハカセットトランスファ技術（SMIF:A TECHNOL
OGY FOR WAFER CASSETTE TRANSFER IN VLSI MANUFACTUR
ING）」という表題の論文（Mihir Parikh及びUlrich Ka
emp著、雑誌「Solid State Technology」、1984年７
月、第111〜115頁）に記載されている。
国特許第4,532,970号及び第4,534,389号に記載されてい
るように、ヒューレットパッカード社（Hewlett−Packa
rd Company）により提案されたものである。SMIFシステ
ムの目的は、ウェーハに作用する粒子束（particle flu
xes）を低減させることにある。この目的は、輸送時及
び保管時に、ウェーハを包囲するガス状媒体（空気又は
窒素）がウェーハに対し本質的に静止した状態を機械的
に達成すること、及び周囲の環境からの粒子が直接的な
ウェーハの環境に入らないようにすることにより、部分
的には達成される。SMIFの概念は、運動、空気の流れ方
向及び外部汚染物質に関して制御された、粒子の存在し
ない少量の空気が、ウェーハにとって清浄な環境を与え
るという認識に基づいている。提案された一システムに
ついての更に詳細な説明が、「SMIF:VLSIの製造におけ
るウェーハカセットトランスファ技術（SMIF:A TECHNOL
OGY FOR WAFER CASSETTE TRANSFER IN VLSI MANUFACTUR
ING）」という表題の論文（Mihir Parikh及びUlrich Ka
emp著、雑誌「Solid State Technology」、1984年７
月、第111〜115頁）に記載されている。
上記形式のシステムは、0.1μｍ以下から200μｍ以上
の範囲の粒度に関係している。これらの粒度をもつ粒子
は、半導体の加工に大きな障害となる。なぜならば、半
導体デバイスの製造には微小の幾何学的形状が用いられ
るからである。今日、進歩した半導体加工には、１μｍ
以下の幾何学的形状が用いられている。0.05μｍ以上の
幾何学的寸法をもつ好ましくない汚染粒子は、実質的
に、１μｍの幾何学的寸法をもつ半導体デバイスに悪影
響を及ぼす。もちろん、最近の傾向では半導体加工の幾
何学的寸法がより小さくなりつつあり、研究開発過程で
は今日、0.5μｍ以下のものもある。将来においては半
導体の幾何学的寸法は一層小さくなるであろうし、従っ
てより小さな汚染粒子が対象となる。
の範囲の粒度に関係している。これらの粒度をもつ粒子
は、半導体の加工に大きな障害となる。なぜならば、半
導体デバイスの製造には微小の幾何学的形状が用いられ
るからである。今日、進歩した半導体加工には、１μｍ
以下の幾何学的形状が用いられている。0.05μｍ以上の
幾何学的寸法をもつ好ましくない汚染粒子は、実質的
に、１μｍの幾何学的寸法をもつ半導体デバイスに悪影
響を及ぼす。もちろん、最近の傾向では半導体加工の幾
何学的寸法がより小さくなりつつあり、研究開発過程で
は今日、0.5μｍ以下のものもある。将来においては半
導体の幾何学的寸法は一層小さくなるであろうし、従っ
てより小さな汚染粒子が対象となる。
SMIFシステムは３つの主要構成部品を有している。す
なわち、（１）ウェーハカセットの保管及び輸送に使用
する最小体積のシール形ポッド（容器）と、（２）ウェ
ーハカセットのポート及びウェーハ加工装置の加工領域
上に配置されるキャノピーであって、ポッド及びキャノ
ピー内部の環境（清浄空気源以降の環境）が小さな清浄
空間になっているキャノピーと、（３）ウェーハカセッ
ト内のウェーハが外部環境による汚染を受けないように
して、シール形ポッドからウェーハカセットをローディ
ング及びアンローディングする移送機構とである。
なわち、（１）ウェーハカセットの保管及び輸送に使用
する最小体積のシール形ポッド（容器）と、（２）ウェ
ーハカセットのポート及びウェーハ加工装置の加工領域
上に配置されるキャノピーであって、ポッド及びキャノ
ピー内部の環境（清浄空気源以降の環境）が小さな清浄
空間になっているキャノピーと、（３）ウェーハカセッ
ト内のウェーハが外部環境による汚染を受けないように
して、シール形ポッドからウェーハカセットをローディ
ング及びアンローディングする移送機構とである。
ウェーハは、ポッドに入れられて保管され且つ輸送さ
れ、またポッドから加工装置の一位置まで次のようにし
て移送される。最初に、ポッドは、キャノピーの頂部に
設けられたインターフェースポートに置かれる。各ポッ
ドは、ボックスと、加工装置のキャノピーのインターフ
ェースポートの扉と関連するように設計されたボックス
扉とを有している。次に、ボックス扉及びキャノピーの
インターフェースポートの扉のラッチが同時に開けら
れ、ボックス扉とインターフェースポートの扉とが同時
に開放される。これにより、扉の外面上に存在すること
がある粒子が、ボックスとインターフェースポートの扉
との間に捕捉（「サンドイッチ」）される。カセットが
キャノピーの頂部に置かれた状態で、両扉が、機械的エ
レベータにより、キャノピーで覆われた空間内に下降さ
れる。カセットは、マニピュレータによりピックアップ
されて、加工装置のカセットポート／エレベータ上に置
かれる。加工後は上記とは逆の作業が行われる。
れ、またポッドから加工装置の一位置まで次のようにし
て移送される。最初に、ポッドは、キャノピーの頂部に
設けられたインターフェースポートに置かれる。各ポッ
ドは、ボックスと、加工装置のキャノピーのインターフ
ェースポートの扉と関連するように設計されたボックス
扉とを有している。次に、ボックス扉及びキャノピーの
インターフェースポートの扉のラッチが同時に開けら
れ、ボックス扉とインターフェースポートの扉とが同時
に開放される。これにより、扉の外面上に存在すること
がある粒子が、ボックスとインターフェースポートの扉
との間に捕捉（「サンドイッチ」）される。カセットが
キャノピーの頂部に置かれた状態で、両扉が、機械的エ
レベータにより、キャノピーで覆われた空間内に下降さ
れる。カセットは、マニピュレータによりピックアップ
されて、加工装置のカセットポート／エレベータ上に置
かれる。加工後は上記とは逆の作業が行われる。
SMIFシステムは、クリーンルームの内部及び外部の両
方にプロトタイプのSMIF部品を用いた実験により、その
有効性が実証されている。SMIFシステムによれば、クリ
ーンルームの内部で開放カセットを取り扱う従来の方法
に比べ少なくとも10倍の改善が得られる。
方にプロトタイプのSMIF部品を用いた実験により、その
有効性が実証されている。SMIFシステムによれば、クリ
ーンルームの内部で開放カセットを取り扱う従来の方法
に比べ少なくとも10倍の改善が得られる。
従来のSMIFポッドは、ラッチ表面に対するラッチ機構
の物理的な「こすれ」による粒子を発生する潜在性があ
る。各ラッチ作業時には殆ど粒子は発生しないけれど
も、ウェーハの数百回に及ぶ加工工程の間には、SMIFポ
ッドのラッチ及び／又はアンラッチの度毎に発生する粒
子が多量に蓄積することになる。
の物理的な「こすれ」による粒子を発生する潜在性があ
る。各ラッチ作業時には殆ど粒子は発生しないけれど
も、ウェーハの数百回に及ぶ加工工程の間には、SMIFポ
ッドのラッチ及び／又はアンラッチの度毎に発生する粒
子が多量に蓄積することになる。
従来のラッチシステムを用いたSMIFポッドでは、ラッ
チ部材及びラッチ面（ラッチ面の一方又は両方は傾斜面
である）が、非係合位置から完全に係合した位置に移動
するときにこすれが生じる。ボックス及びボックス扉の
シール面は、これらのシール面を互いに押しつける圧力
が加えられるとシールするように設計されている。従っ
て、ラッチシステムは、（ａ）ボックスに対するボック
ス扉の移動を防止し、且つ（ｂ）シール面を互いに押し
つけるクランプ力を発生するものでなくてはならない。
クランプ力は、傾斜したラッチ部材に沿ってラッチ面を
摺動させること（又はこの逆）により発生される。
チ部材及びラッチ面（ラッチ面の一方又は両方は傾斜面
である）が、非係合位置から完全に係合した位置に移動
するときにこすれが生じる。ボックス及びボックス扉の
シール面は、これらのシール面を互いに押しつける圧力
が加えられるとシールするように設計されている。従っ
て、ラッチシステムは、（ａ）ボックスに対するボック
ス扉の移動を防止し、且つ（ｂ）シール面を互いに押し
つけるクランプ力を発生するものでなくてはならない。
クランプ力は、傾斜したラッチ部材に沿ってラッチ面を
摺動させること（又はこの逆）により発生される。
従来のSMIFポッドのラッチ機構は、通常ボックス上に
設けられていて、ラッチ機構を、ボックスに対するボッ
クス扉のクランプ又は加工ステーションのポートプレー
トに対するボックスのクランプに交互に使用できるよう
になっている。この両機能を達成するには、ボックスの
底部の周囲にノッチ又は開口を設けて、ラッチ機構がボ
ックス扉又はポートプレートのいずれかと係合すべく移
動できるようにする必要がある。ところが、これらの開
口は、汚染粒子が清浄な環境に入ることを許容するアク
セスポイントとなっている。
設けられていて、ラッチ機構を、ボックスに対するボッ
クス扉のクランプ又は加工ステーションのポートプレー
トに対するボックスのクランプに交互に使用できるよう
になっている。この両機能を達成するには、ボックスの
底部の周囲にノッチ又は開口を設けて、ラッチ機構がボ
ックス扉又はポートプレートのいずれかと係合すべく移
動できるようにする必要がある。ところが、これらの開
口は、汚染粒子が清浄な環境に入ることを許容するアク
セスポイントとなっている。
従来のSMIFポッドにおいては、ラッチ機構がボックス
扉の縁部を支持しており、このため、ボックス扉は、シ
ール力に加えてボックス扉上に載置されるウェーハの重
量を受け、変形（撓みすなわち曲がり）する可能性があ
り、従ってボックスとボックス扉との間のシールに漏洩
を生じさせる潜在性を有している。また、SMIFポッド用
の従来のラッチ機構はいたずらが可能であるため、権限
のない者が容器の内容物にアクセスすることができる。
扉の縁部を支持しており、このため、ボックス扉は、シ
ール力に加えてボックス扉上に載置されるウェーハの重
量を受け、変形（撓みすなわち曲がり）する可能性があ
り、従ってボックスとボックス扉との間のシールに漏洩
を生じさせる潜在性を有している。また、SMIFポッド用
の従来のラッチ機構はいたずらが可能であるため、権限
のない者が容器の内容物にアクセスすることができる。
発明の要約 従って本発明の目的は、ラッチ機構を備えたシール可
能且つ輸送可能な容器であって、ラッチ機構が全くこす
れ接触すなわち摩擦接触することがなく且つ容器のいか
なる部分もラッチ機構と接触しないように構成された容
器を提供することにある。
能且つ輸送可能な容器であって、ラッチ機構が全くこす
れ接触すなわち摩擦接触することがなく且つ容器のいか
なる部分もラッチ機構と接触しないように構成された容
器を提供することにある。
本発明の他の目的は、ボックス扉の変形（すなわち撓
み）が最小になる位置でボックス扉を支持するラッチ機
構を提供することにある。
み）が最小になる位置でボックス扉を支持するラッチ機
構を提供することにある。
本発明の他の目的は、無用な操作が困難で、権限のな
い者が容器の内容物にアクセスできないように構成され
たラッチ機構を備えた輸送可能な容器を提供することに
ある。
い者が容器の内容物にアクセスできないように構成され
たラッチ機構を備えた輸送可能な容器を提供することに
ある。
本発明の他の目的は、中央操作可能なラッチ機構を備
えたSMIFポッドを提供することにある。
えたSMIFポッドを提供することにある。
本発明の上記及び他の目的は、２方向の運動をなし且
つボックスの清浄な内部領域中でボックス又はボックス
扉とこすれ接触すなわち摩擦接触することなく両方向に
移動できるラッチ機構により達成される。第１の運動方
向では、ラッチ機構は、ボックス及びボックス扉が互い
に自由に移動してポッドを開閉できる第１引っ込み位置
（すなわちバイパス位置）から、ラッチ機構がボックス
に対するボックス扉の移動を防止する第２位置（すなわ
ち突出位置）まで移動される。ボックス及びボックス扉
のシール面は、ボックス扉がシール方向に移動して、ボ
ックス扉のシール面がボックスのシール面の方向に移動
し且つ該シール面と接触するとき互いにシール接触す
る。ラッチ機構の第２移動方向は、ラッチ機構が、ボッ
クス扉をボックスに対してシール方向に移動させる方向
である。また、ラッチ機構は、ボックス扉の周囲から間
隔を隔てた位置でボックス扉を支持する。
つボックスの清浄な内部領域中でボックス又はボックス
扉とこすれ接触すなわち摩擦接触することなく両方向に
移動できるラッチ機構により達成される。第１の運動方
向では、ラッチ機構は、ボックス及びボックス扉が互い
に自由に移動してポッドを開閉できる第１引っ込み位置
（すなわちバイパス位置）から、ラッチ機構がボックス
に対するボックス扉の移動を防止する第２位置（すなわ
ち突出位置）まで移動される。ボックス及びボックス扉
のシール面は、ボックス扉がシール方向に移動して、ボ
ックス扉のシール面がボックスのシール面の方向に移動
し且つ該シール面と接触するとき互いにシール接触す
る。ラッチ機構の第２移動方向は、ラッチ機構が、ボッ
クス扉をボックスに対してシール方向に移動させる方向
である。また、ラッチ機構は、ボックス扉の周囲から間
隔を隔てた位置でボックス扉を支持する。
本発明によるシール可能且つ輸送可能な容器は、第１
シール面を備えたボックスと、第２シール面を備えたボ
ックス扉とを有しており、第２シール面は、ボックス扉
がシール方向に移動されると第１シール面と係合するよ
うになっており、ラッチ手段を有しており、該ラッチ手
段が、内部領域内のラッチ手段とボックス又はボックス
扉との間にこすれ接触を生じさせることなく、ボックス
に対してボックス扉が移動できるようにする第１位置と
ボックスに対するボックス扉の移動を制限する第２位置
との間で第１方向に移動でき、且つ第２位置と第３位置
との間で第２方向に移動してボックス扉をシール方向に
移動させ、内部領域内のラッチ手段とボックス又はボッ
クス扉との間にこすれ接触を生じさせることなく第１及
び第２シール面を接触させるように構成されている。
シール面を備えたボックスと、第２シール面を備えたボ
ックス扉とを有しており、第２シール面は、ボックス扉
がシール方向に移動されると第１シール面と係合するよ
うになっており、ラッチ手段を有しており、該ラッチ手
段が、内部領域内のラッチ手段とボックス又はボックス
扉との間にこすれ接触を生じさせることなく、ボックス
に対してボックス扉が移動できるようにする第１位置と
ボックスに対するボックス扉の移動を制限する第２位置
との間で第１方向に移動でき、且つ第２位置と第３位置
との間で第２方向に移動してボックス扉をシール方向に
移動させ、内部領域内のラッチ手段とボックス又はボッ
クス扉との間にこすれ接触を生じさせることなく第１及
び第２シール面を接触させるように構成されている。
本発明による標準機械式インターフェース（SMIF）ポ
ッドは、内部領域、第１シール面、及び少なくとも２つ
のラッチ係合面を備えたボックスと、第２シール面を備
えたボックス扉とを有しており、第２シール面は、内部
領域を周囲の圧力条件から隔絶すべくボックス扉がボッ
クスに対してシール方向に移動するとき第１シール面と
シール係合し、ボックス扉に設けられたラッチ部材を有
しており、各ラッチ部材が少なくとも２つのボックス係
合部分を備えており且つ非係合位置（disengaged posit
ion）と、係合する位置（engaging position）と、係合
した位置（engaged position）との間で移動でき、ラッ
チ部材が、ボックスと接触することなく前記非係合位置
から前記係合した位置へと移動でき、前記係合する位置
から前記係合した位置への前記ラッチ部材の移動によ
り、該ラッチ部材がラッチ係合面に対してこすれること
なくラッチ部材のボックス係合部分とラッチ係合面とが
接触され且つボックス扉がシール方向に移動され、２段
カム手段を更に有しており、該２段カム手段が、第１独
立作動段において前記ラッチ部材を前記非係合位置から
前記係合する位置に移動させ、且つ第２独立作動段にお
いて前記ラッチプレート（ラッチ部材）を前記係合する
位置から前記係合した位置に移動させるように構成され
ている。
ッドは、内部領域、第１シール面、及び少なくとも２つ
のラッチ係合面を備えたボックスと、第２シール面を備
えたボックス扉とを有しており、第２シール面は、内部
領域を周囲の圧力条件から隔絶すべくボックス扉がボッ
クスに対してシール方向に移動するとき第１シール面と
シール係合し、ボックス扉に設けられたラッチ部材を有
しており、各ラッチ部材が少なくとも２つのボックス係
合部分を備えており且つ非係合位置（disengaged posit
ion）と、係合する位置（engaging position）と、係合
した位置（engaged position）との間で移動でき、ラッ
チ部材が、ボックスと接触することなく前記非係合位置
から前記係合した位置へと移動でき、前記係合する位置
から前記係合した位置への前記ラッチ部材の移動によ
り、該ラッチ部材がラッチ係合面に対してこすれること
なくラッチ部材のボックス係合部分とラッチ係合面とが
接触され且つボックス扉がシール方向に移動され、２段
カム手段を更に有しており、該２段カム手段が、第１独
立作動段において前記ラッチ部材を前記非係合位置から
前記係合する位置に移動させ、且つ第２独立作動段にお
いて前記ラッチプレート（ラッチ部材）を前記係合する
位置から前記係合した位置に移動させるように構成され
ている。
本発明の上記及び他の目的及び利点は、添付図面に関
連して本発明の好ましい実施例を詳細に説明する以下の
記載により一層明瞭になるであろう。
連して本発明の好ましい実施例を詳細に説明する以下の
記載により一層明瞭になるであろう。
図面の簡単な説明 第1A図は、SMIFポッドを受け入れるキャノピーを備え
た加工ステーションを示す斜視図である。
た加工ステーションを示す斜視図である。
第1B図は、第1A図の加工ステーションを断面した側面
図である。
図である。
第2A図は、SMIFポッドと、該SMIFポッドを受け入れる
ポート組立体の部分とを示す斜視図である。
ポート組立体の部分とを示す斜視図である。
第2B図は、第2A図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
第３図は、本発明によるSMIFポッドの分解斜視図であ
る。
る。
第４図及び第５図は、本発明によるラッチ機構がそれ
ぞれ第１位置及び第２位置にあるところを示す平面図で
ある。
ぞれ第１位置及び第２位置にあるところを示す平面図で
ある。
第６図及び第７図は、本発明によるラッチ機構の２段
ロータリカムがそれぞれ第１位置及び第２位置にあると
ころを示す平面図である。
ロータリカムがそれぞれ第１位置及び第２位置にあると
ころを示す平面図である。
第8A図は、本発明のラッチ機構と協働するSMIFポッド
のボックスのインターフェース部分を示す平面図であ
る。
のボックスのインターフェース部分を示す平面図であ
る。
第8B図は、第8A図の8B−8B線に沿う断面図である。
第8C図は、第8A図の8C−8C線に沿う断面図である。
第９図は、第8A図に示したインターフェース部分の一
部を断面した側面図である。
部を断面した側面図である。
第10図及び第11図は、本発明のラッチ機構がそれぞれ
第２位置及び第３位置にあるところを示す側面図であ
る。
第２位置及び第３位置にあるところを示す側面図であ
る。
第12図は、２段ロータリカムの平面図である。
第13図は、２段ロータリカムの側面図である。
第14A図及び第14B図は、ボックス扉の異なる撓みパタ
ーンを示す概略的斜視図である。
ーンを示す概略的斜視図である。
第15A図及び第15B図は、ボックス扉の異なる撓みパタ
ーンを示す概略的側面図である。
ーンを示す概略的側面図である。
好ましい実施例の説明 以下、本発明を、ウェーハ及び／又はレチクルの保管
及び輸送を行うSMIFシステムに関連して説明するけれど
も、本発明によるシール可能且つ輸送可能な容器は、他
の非生物並びに実験動物のような生物の保管及び輸送に
も使用できることを理解すべきである。
及び輸送を行うSMIFシステムに関連して説明するけれど
も、本発明によるシール可能且つ輸送可能な容器は、他
の非生物並びに実験動物のような生物の保管及び輸送に
も使用できることを理解すべきである。
SMIFポッド及び該SMIFポッドと加工装置との組合せの
全体的構成は、本願が参考とした米国特許第4,724,874
号に記載されている。しかしながら、説明の完全性を期
して、該米国特許明細書の概略的説明をここに記載す
る。
全体的構成は、本願が参考とした米国特許第4,724,874
号に記載されている。しかしながら、説明の完全性を期
して、該米国特許明細書の概略的説明をここに記載す
る。
第１図（第1A図、第1B図）及び第２図（第2A図、第2B
図）には加工ステーション８が示されており、該加工ス
テーション８は、加工装置12のウェーハ取扱い機構を覆
う容易に取外し可能な遮蔽体であるキャノピー10を有し
ている。加工装置12は、例えば、ホトレジストアプリケ
ータ、マスクアライナ、検査ステーション又は任意の同
様な加工装置である。キャノピー10は、この内部の視覚
検査及び／又はメインテナンスを容易に行い得るように
アクリル又はレキサン（Lexan）等の透明プラスチック
で作られており、加工装置12の取扱い機構及びウェーハ
16を保持するウェーハカセットのようなホルダ14を包囲
している。加工装置12内の環境は別々に維持され且つ別
々に浄化されるため、加工装置12をクリーンルーム内に
配置する必要はない。
図）には加工ステーション８が示されており、該加工ス
テーション８は、加工装置12のウェーハ取扱い機構を覆
う容易に取外し可能な遮蔽体であるキャノピー10を有し
ている。加工装置12は、例えば、ホトレジストアプリケ
ータ、マスクアライナ、検査ステーション又は任意の同
様な加工装置である。キャノピー10は、この内部の視覚
検査及び／又はメインテナンスを容易に行い得るように
アクリル又はレキサン（Lexan）等の透明プラスチック
で作られており、加工装置12の取扱い機構及びウェーハ
16を保持するウェーハカセットのようなホルダ14を包囲
している。加工装置12内の環境は別々に維持され且つ別
々に浄化されるため、加工装置12をクリーンルーム内に
配置する必要はない。
シール可能且つ輸送可能な容器（ポッド）18は、ポー
ト組立体24によりキャノピー10の水平表面22上に取り付
けられている。また、容器18は、ボックス（又はボック
ストップ）20を有しており、該ボックス20は内部領域21
及びボックス扉32を備えている。ポート組立体24は、ポ
ートプレート26と、ポート扉28と、エレベータ機構30と
を有している。エレベータ機構30は、集積回路のウェー
ハ16を入れるカセットホルダ14を、ボックス20の内部領
域21からキャノピー10の下の領域内に移送する。第1B図
において、ポート扉28及びボックス扉32は、それらの閉
鎖位置が破線で示されている。ムーバ組立体34は、プラ
ットホーム36と、軸係合装置38と、駆動モータ40とを有
している。プラットホーム36はエレベータ機構30から延
びており、ポート扉28と、ボックス扉32とホルダ14とを
垂直方向に支持する。プラットホーム36は、軸係合装置
38を介して、エレベータ機構30の垂直ガイド42に取り付
けられている。
ト組立体24によりキャノピー10の水平表面22上に取り付
けられている。また、容器18は、ボックス（又はボック
ストップ）20を有しており、該ボックス20は内部領域21
及びボックス扉32を備えている。ポート組立体24は、ポ
ートプレート26と、ポート扉28と、エレベータ機構30と
を有している。エレベータ機構30は、集積回路のウェー
ハ16を入れるカセットホルダ14を、ボックス20の内部領
域21からキャノピー10の下の領域内に移送する。第1B図
において、ポート扉28及びボックス扉32は、それらの閉
鎖位置が破線で示されている。ムーバ組立体34は、プラ
ットホーム36と、軸係合装置38と、駆動モータ40とを有
している。プラットホーム36はエレベータ機構30から延
びており、ポート扉28と、ボックス扉32とホルダ14とを
垂直方向に支持する。プラットホーム36は、軸係合装置
38を介して、エレベータ機構30の垂直ガイド42に取り付
けられている。
一般に、ガイド（垂直ガイド）42は親ねじ（図示せ
ず）を有しており、該親ねじと係合してプラットホーム
36を上下に駆動するギア（図示せず）を駆動モータ40が
駆動する。プラットホーム36が閉鎖位置に駆動される
と、ポート扉28がキャノピー10のポート開口を閉鎖す
る。
ず）を有しており、該親ねじと係合してプラットホーム
36を上下に駆動するギア（図示せず）を駆動モータ40が
駆動する。プラットホーム36が閉鎖位置に駆動される
と、ポート扉28がキャノピー10のポート開口を閉鎖す
る。
同様に、垂直ガイド42と係合する係合手段48を備えた
プラットホーム46には、全体を番号44で示すマニピュレ
ータ組立体が固定されている。マニピュレータ組立体44
は、マニピュレータアーム50と、ホルダ14と係合できる
係合ヘッド52とを備えている。両プラットホーム36、46
の垂直方向操作及びマニピュレータ組立体44の操作によ
り、ホルダ14は、そのボックス扉32上の位置から、破線
で示すような準備ステーション13上の位置に移動され
る。
プラットホーム46には、全体を番号44で示すマニピュレ
ータ組立体が固定されている。マニピュレータ組立体44
は、マニピュレータアーム50と、ホルダ14と係合できる
係合ヘッド52とを備えている。両プラットホーム36、46
の垂直方向操作及びマニピュレータ組立体44の操作によ
り、ホルダ14は、そのボックス扉32上の位置から、破線
で示すような準備ステーション13上の位置に移動され
る。
第2A図は、容器18及びポート組立体24の分解図であ
る。容器18は、ボックス20とボックス扉32とを一体にシ
ールしてボックス20の内部領域21を周囲の条件から隔絶
するときに、交互に加圧又は減圧される。ポートプレー
ト26は、ガス供給弁52（第2B図）の同心状のインジェク
タ／エクストラクタ50に連結できるようになっている。
る。容器18は、ボックス20とボックス扉32とを一体にシ
ールしてボックス20の内部領域21を周囲の条件から隔絶
するときに、交互に加圧又は減圧される。ポートプレー
ト26は、ガス供給弁52（第2B図）の同心状のインジェク
タ／エクストラクタ50に連結できるようになっている。
第2B図には、加工装置12のポート組立体24に連結され
た容器18が示されている。容器18はシール関係をなして
ポート組立体24に連結できるように設計されており、こ
のため、ボックス20は、それぞれ第１ボックストップシ
ール面54及び第２ボックストップシール面56を有してい
る。ボックス扉32は、第１ボックストップシール面54と
シール係合する第１ボックス扉シール面58を有してお
り、両シール面54、58の間のガスケット55によりシール
が形成される。ポートプレート26は、それぞれ第１ポー
トプレートシール面60及び第２ポートプレートシール面
62を有している。第１ポートプレートシール面60は第２
ボックストップシール面56とシール係合し、両面56、60
の間で第２シールとしてのガスケット57が圧縮される。
た容器18が示されている。容器18はシール関係をなして
ポート組立体24に連結できるように設計されており、こ
のため、ボックス20は、それぞれ第１ボックストップシ
ール面54及び第２ボックストップシール面56を有してい
る。ボックス扉32は、第１ボックストップシール面54と
シール係合する第１ボックス扉シール面58を有してお
り、両シール面54、58の間のガスケット55によりシール
が形成される。ポートプレート26は、それぞれ第１ポー
トプレートシール面60及び第２ポートプレートシール面
62を有している。第１ポートプレートシール面60は第２
ボックストップシール面56とシール係合し、両面56、60
の間で第２シールとしてのガスケット57が圧縮される。
ポート扉28は、第２ポートプレートシール面62とシー
ル係合する第１ポート扉シール面64を有しており、これ
らの両面の間にはガスケット59が設けられている。ボッ
クストップ（ボックス）20には、弁52とボックス20の内
部空間（内部領域）21との間のチャンネルを形成する導
管63を設けることができる。チャンネル（導管）63の一
端には、該チャンネルを通る流体（例えばガス）用のフ
ィルタ69が設けられている。
ル係合する第１ポート扉シール面64を有しており、これ
らの両面の間にはガスケット59が設けられている。ボッ
クストップ（ボックス）20には、弁52とボックス20の内
部空間（内部領域）21との間のチャンネルを形成する導
管63を設けることができる。チャンネル（導管）63の一
端には、該チャンネルを通る流体（例えばガス）用のフ
ィルタ69が設けられている。
第１、第２及び第３のシールが形成されたならば、ボ
ックス20の内部空間21を交互に減圧／加圧することによ
り、内部空間21が浄化される。内部空間21を減圧するた
め、インジェクタ／エクストラクタ50が付勢され、内部
空間21から流体が排出される。流体が排出されるとき、
流体は、フィルタ69、チャンネル63及びインジェクタ／
エクストラクタ50の同心状の弁（図示せず）を通る。
ックス20の内部空間21を交互に減圧／加圧することによ
り、内部空間21が浄化される。内部空間21を減圧するた
め、インジェクタ／エクストラクタ50が付勢され、内部
空間21から流体が排出される。流体が排出されるとき、
流体は、フィルタ69、チャンネル63及びインジェクタ／
エクストラクタ50の同心状の弁（図示せず）を通る。
ポート扉28はラッチ作動機構66を有しており、該ラッ
チ作動機構66は、ボックス扉ラッチ機構80を作動させ、
これによりボックス20からボックス扉32を解放させるピ
ン70を備えている。ウェーハ16はエレベータ機構30及び
ムーバ組立体34により加工装置12内の適正位置に移動さ
れ、人手を要することなく加工される。
チ作動機構66は、ボックス扉ラッチ機構80を作動させ、
これによりボックス20からボックス扉32を解放させるピ
ン70を備えている。ウェーハ16はエレベータ機構30及び
ムーバ組立体34により加工装置12内の適正位置に移動さ
れ、人手を要することなく加工される。
次に、第３図〜第13図に関連して、本発明によるSMIF
ポッド用のラッチ機構を説明する。好ましい実施例にお
いては、ラッチ機構はボックス扉32に設けられていて、
中央操作により、単一ラッチ作動機構が、ボックス20か
らボックス扉32を解放することを可能にしている。別の
構成として、本発明のラッチ機構をボックス20に設ける
こともできる。
ポッド用のラッチ機構を説明する。好ましい実施例にお
いては、ラッチ機構はボックス扉32に設けられていて、
中央操作により、単一ラッチ作動機構が、ボックス20か
らボックス扉32を解放することを可能にしている。別の
構成として、本発明のラッチ機構をボックス20に設ける
こともできる。
第３図に示すように、ボックス20はドーム形ハウジン
グ90及びリング状の係合部分92を有している。ハウジン
グ90及び係合部分92は、例えば射出成形により一体成形
することができ、或いはボックス20を形成すべく組み立
てられる別個の部品として形成することもできる。ボッ
クス扉32のガスケット保持スロット122内にはガスケッ
ト120が配置されて、ボックス20とボックス扉32との間
のシールを形成する。好ましい実施例においては、ボッ
クス扉32にライナ（図示せず）が設けられ、ガスケット
120が該ライナに接触するようになっている。このライ
ナは、本願が参考とした米国特許第4,739,882号におい
て説明されているように、例えばガス抜けがなく又は粒
子を導入しないプラスチック材料で作られた取り外し可
能なエレメントである。また、このライナは、静電気を
放電させるかその帯電を防止できる材料で作ることもで
きる。ラッチ機構80は、ベース（ボックス扉）32内に収
容されており且つボックス扉32の窓94から突出してい
て、ボックス20のラッチ係合面1121-8（第８図、第９
図）と係合できるようになっている。
グ90及びリング状の係合部分92を有している。ハウジン
グ90及び係合部分92は、例えば射出成形により一体成形
することができ、或いはボックス20を形成すべく組み立
てられる別個の部品として形成することもできる。ボッ
クス扉32のガスケット保持スロット122内にはガスケッ
ト120が配置されて、ボックス20とボックス扉32との間
のシールを形成する。好ましい実施例においては、ボッ
クス扉32にライナ（図示せず）が設けられ、ガスケット
120が該ライナに接触するようになっている。このライ
ナは、本願が参考とした米国特許第4,739,882号におい
て説明されているように、例えばガス抜けがなく又は粒
子を導入しないプラスチック材料で作られた取り外し可
能なエレメントである。また、このライナは、静電気を
放電させるかその帯電を防止できる材料で作ることもで
きる。ラッチ機構80は、ベース（ボックス扉）32内に収
容されており且つボックス扉32の窓94から突出してい
て、ボックス20のラッチ係合面1121-8（第８図、第９
図）と係合できるようになっている。
本発明の２段ロータリカムラッチ機構80は、第１及び
第２のラッチプレート1011-2、ボックス扉32に枢着され
たカム機構103、及びラッチプレート支持体1051-6を有
している。ラッチ機構80は、第４図〜第７図及び第10図
〜第11図に示す２段作動を行う。第１作動段において
は、カム機構103がラッチプレート1011-2を直線的に摺
動させ、第２作動段においては、カム機構103が、ラッ
チプレート支持体1051-6上でラッチプレート1011-2を枢
動させる。
第２のラッチプレート1011-2、ボックス扉32に枢着され
たカム機構103、及びラッチプレート支持体1051-6を有
している。ラッチ機構80は、第４図〜第７図及び第10図
〜第11図に示す２段作動を行う。第１作動段において
は、カム機構103がラッチプレート1011-2を直線的に摺
動させ、第２作動段においては、カム機構103が、ラッ
チプレート支持体1051-6上でラッチプレート1011-2を枢
動させる。
各ラッチプレート1011-2は少なくとも１つのボックス
係合部分を有しており、好ましい実施例においては、ボ
ックス係合部分は、ポッド内に使用されて200mmウェー
ハの保管及び輸送が行えるように設計されている。各ラ
ッチプレート1011-2は、それぞれ２つのラッチアーム10
81-2及び1083-4を備えている。各ラッチアーム1081-4は
２つのラッチフィンガ1101-8を有しており、該ラッチフ
ィンガ1101-8はボックス20のラッチ係合面1121-8（第8A
図）の各１つと係合する。
係合部分を有しており、好ましい実施例においては、ボ
ックス係合部分は、ポッド内に使用されて200mmウェー
ハの保管及び輸送が行えるように設計されている。各ラ
ッチプレート1011-2は、それぞれ２つのラッチアーム10
81-2及び1083-4を備えている。各ラッチアーム1081-4は
２つのラッチフィンガ1101-8を有しており、該ラッチフ
ィンガ1101-8はボックス20のラッチ係合面1121-8（第8A
図）の各１つと係合する。
ラッチの第１作動段は、ラッチプレート1011-2を、ラ
ッチプレート1011-2がボックス扉32内に完全に収容され
る引っ込み位置（すなわち非係合位置）から、ラッチフ
ィンガ1101-8がボックス扉32から突出してボックス20の
ラッチ係合面1121-8に隣接する突出位置（係合位置）ま
で移動させる作動である。第１作動段において、ラッチ
プレート1011-2がボックス扉32の平面に平行な平面内で
引っ込み位置から突出位置まで移動するとき、ラッチフ
ィンガ1101-8がラッチ係合面1121-8と接触することはな
い。従って、ラッチ係合面1121-8に対するラッチフィン
ガ1101-8のこすれすなわち摩擦により粒子が形成される
ことは全くない。
ッチプレート1011-2がボックス扉32内に完全に収容され
る引っ込み位置（すなわち非係合位置）から、ラッチフ
ィンガ1101-8がボックス扉32から突出してボックス20の
ラッチ係合面1121-8に隣接する突出位置（係合位置）ま
で移動させる作動である。第１作動段において、ラッチ
プレート1011-2がボックス扉32の平面に平行な平面内で
引っ込み位置から突出位置まで移動するとき、ラッチフ
ィンガ1101-8がラッチ係合面1121-8と接触することはな
い。従って、ラッチ係合面1121-8に対するラッチフィン
ガ1101-8のこすれすなわち摩擦により粒子が形成される
ことは全くない。
ラッチの第２作動段は、ラッチフィンガ1101-8の実質
的な垂直運動である。ここで、「垂直運動」とは、ラッ
チの第１作動段中における、ボックス扉32の平面及びラ
ッチプレート1011-2の運動平面に対して垂直な方向をい
う。第２作動段中のラッチフィンガ1101-8の運動によ
り、ラッチフィンガ1101-8がラッチ係合面1121-8の各１
つと係合して、ボックス20の第１シール面と第２シール
面とをシール係合させるラッチ力及び／又はクランプ力
を発生する。第１シール面はボックス20のナイフエッジ
118を備えており、第２シール面はボックス扉32のガス
ケット保持スロット122を備えている。ガスケット120は
ガスケット保持スロット122内に配置されて、ボックス2
0とボックス扉32との間のシールを形成する。ガスケッ
ト120は、ナイフエッジ118が接触して該ナイフエッジ11
8により押さえつけられたときに粒子を放散することが
ない弾力性のある圧縮性材料で作るのが好ましい。第8A
図はボックス20の係合部分92を示す平面図であり、第8B
図及び第8C図はナイフエッジ118を示す断面図である。
前述のように、ボックス扉32とガスケット120との間に
ライナを設けることができる。
的な垂直運動である。ここで、「垂直運動」とは、ラッ
チの第１作動段中における、ボックス扉32の平面及びラ
ッチプレート1011-2の運動平面に対して垂直な方向をい
う。第２作動段中のラッチフィンガ1101-8の運動によ
り、ラッチフィンガ1101-8がラッチ係合面1121-8の各１
つと係合して、ボックス20の第１シール面と第２シール
面とをシール係合させるラッチ力及び／又はクランプ力
を発生する。第１シール面はボックス20のナイフエッジ
118を備えており、第２シール面はボックス扉32のガス
ケット保持スロット122を備えている。ガスケット120は
ガスケット保持スロット122内に配置されて、ボックス2
0とボックス扉32との間のシールを形成する。ガスケッ
ト120は、ナイフエッジ118が接触して該ナイフエッジ11
8により押さえつけられたときに粒子を放散することが
ない弾力性のある圧縮性材料で作るのが好ましい。第8A
図はボックス20の係合部分92を示す平面図であり、第8B
図及び第8C図はナイフエッジ118を示す断面図である。
前述のように、ボックス扉32とガスケット120との間に
ライナを設けることができる。
ラッチ機構80は、ボックス扉32のキャビティ124（第1
1図）内に配置される。カム機構103とラッチプレート10
11-2との相互作用及び／又はラッチプレート1011-2とラ
ッチプレート支持体1051-6との相互作用により発生する
あらゆる粒子は、キャビティ124内に収容される。ま
た、キャビティ124から空気を抜き取るためのポートを
ボックス扉32に設け、キャビティ124内で形成されたあ
らゆる粒子を除去できるようにしてもよい。
1図）内に配置される。カム機構103とラッチプレート10
11-2との相互作用及び／又はラッチプレート1011-2とラ
ッチプレート支持体1051-6との相互作用により発生する
あらゆる粒子は、キャビティ124内に収容される。ま
た、キャビティ124から空気を抜き取るためのポートを
ボックス扉32に設け、キャビティ124内で形成されたあ
らゆる粒子を除去できるようにしてもよい。
次に、第６図、第７図、第11図、第12図及び第13図に
関連して、カム機構103の構造及び作動を詳細に説明す
る。カム機構103は、枢軸130（第10図、第11図）に取り
付けられた２段カムであり、枢軸130はボックス扉32の
上面32aに取り付けられている。カム機構103の第１及び
第２の孔1321-2が、ラッチ作動機構66のピン70と係合す
る。ボックス扉32の底壁32bには第１及び第２のスロッ
ト1341-2が設けられていて、ピン70がカム孔1321-2と係
合できるようにしている。
関連して、カム機構103の構造及び作動を詳細に説明す
る。カム機構103は、枢軸130（第10図、第11図）に取り
付けられた２段カムであり、枢軸130はボックス扉32の
上面32aに取り付けられている。カム機構103の第１及び
第２の孔1321-2が、ラッチ作動機構66のピン70と係合す
る。ボックス扉32の底壁32bには第１及び第２のスロッ
ト1341-2が設けられていて、ピン70がカム孔1321-2と係
合できるようにしている。
カム機構103及びラッチプレート1011-2の２つの作動
段は、次のようにして行われる。ラッチ作動の第１フェ
ーズにおいては、カムローブ1361-2が、ラッチプレート
1011-2のそれぞれのカム面1381-2と係合する（第６図、
第７図）。カム機構103がアンラッチ位置から中間位置
まで約40゜の角度にわたって回転すると、カムローブ13
61-2は、ラッチプレート1011-2を引っ込み位置から突出
位置に移動させる。ラッチの第１作動段の摺動作動中
に、ラッチプレート1011-2をボックス扉32の平面に平行
な平面内に維持するため、ラッチプレート1011-2の各１
つにはラッチプレートばね1401-2（第10図、第11図）が
取り付けられており、該ばね1401-2は、それぞれのラッ
チプレート1011-2のカムアーム1091-2をカム機構103の
方向に押圧している。ばね1401-2により付与される押圧
力により、それぞれのラッチプレート1011-2のローラ14
21-2が、カム機構103のローラ面144に接触させられる。
段は、次のようにして行われる。ラッチ作動の第１フェ
ーズにおいては、カムローブ1361-2が、ラッチプレート
1011-2のそれぞれのカム面1381-2と係合する（第６図、
第７図）。カム機構103がアンラッチ位置から中間位置
まで約40゜の角度にわたって回転すると、カムローブ13
61-2は、ラッチプレート1011-2を引っ込み位置から突出
位置に移動させる。ラッチの第１作動段の摺動作動中
に、ラッチプレート1011-2をボックス扉32の平面に平行
な平面内に維持するため、ラッチプレート1011-2の各１
つにはラッチプレートばね1401-2（第10図、第11図）が
取り付けられており、該ばね1401-2は、それぞれのラッ
チプレート1011-2のカムアーム1091-2をカム機構103の
方向に押圧している。ばね1401-2により付与される押圧
力により、それぞれのラッチプレート1011-2のローラ14
21-2が、カム機構103のローラ面144に接触させられる。
カム機構103のローラ面144にはライザ（押上げ面）14
61-2（第10図〜第13図）が設けられている。カム機構10
3が、中間位置からラッチ位置までの運動の最初の40゜
を超えて回転すると、ラッチプレート1011-2のライナの
運動が停止し、ローラ1421-2がそれぞれのライザ1461-2
に載り始める。ローラ1421-2がライザ1461-2に載り上が
ると、ラッチプレート1011-2が、ラッチプレート支持体
1051-3及びラッチプレート1012とからなる第１群と、ラ
ッチプレート支持体1054-6からなる第２群との接触点に
より形成される軸線の回りで枢動する。ラッチプレート
1011-2のこの枢動により、ラッチフィンガ1101-8が、こ
れらのラッチフィンガ110とラッチ係合面112とのこすり
運動を行うことなく、ほぼ垂直に移動される。本発明の
ラッチ機構80の場合、ラッチプレート1011-2が中間位置
にあるとき、ラッチプレート支持体1051-6はフィンガ11
0から約２−1/4インチ（約57.2mm）の距離にあり、且つ
中間位置からラッチ位置まで約0.054インチ（約1.37m
m）だけ垂直方向に移動する。ラッチフィンガ110は僅か
に約0.001インチ（約0.025mm）の水平方向移動を受ける
に過ぎないことが経験的な結果により実証されている。
この最小量の水平方向移動により、こすりによる粒子の
発生が防止される。
61-2（第10図〜第13図）が設けられている。カム機構10
3が、中間位置からラッチ位置までの運動の最初の40゜
を超えて回転すると、ラッチプレート1011-2のライナの
運動が停止し、ローラ1421-2がそれぞれのライザ1461-2
に載り始める。ローラ1421-2がライザ1461-2に載り上が
ると、ラッチプレート1011-2が、ラッチプレート支持体
1051-3及びラッチプレート1012とからなる第１群と、ラ
ッチプレート支持体1054-6からなる第２群との接触点に
より形成される軸線の回りで枢動する。ラッチプレート
1011-2のこの枢動により、ラッチフィンガ1101-8が、こ
れらのラッチフィンガ110とラッチ係合面112とのこすり
運動を行うことなく、ほぼ垂直に移動される。本発明の
ラッチ機構80の場合、ラッチプレート1011-2が中間位置
にあるとき、ラッチプレート支持体1051-6はフィンガ11
0から約２−1/4インチ（約57.2mm）の距離にあり、且つ
中間位置からラッチ位置まで約0.054インチ（約1.37m
m）だけ垂直方向に移動する。ラッチフィンガ110は僅か
に約0.001インチ（約0.025mm）の水平方向移動を受ける
に過ぎないことが経験的な結果により実証されている。
この最小量の水平方向移動により、こすりによる粒子の
発生が防止される。
アンラッチ作動においては、カム機構103が反対方向
に回転すると、ローラ1421-2がライザ1461-2を下り降り
る。ばね1401-2の押圧力により、ローラ1421-2はライザ
1461-2と接触した状態に維持される。ローラ142がロー
ラ面144と接触するようになった後は、カムローブ136
1-2が、ラッチプレート1011-2のカム面1381-2と係合
し、ラッチプレート1011-2を突出位置から引っ込み位置
に移動させる。
に回転すると、ローラ1421-2がライザ1461-2を下り降り
る。ばね1401-2の押圧力により、ローラ1421-2はライザ
1461-2と接触した状態に維持される。ローラ142がロー
ラ面144と接触するようになった後は、カムローブ136
1-2が、ラッチプレート1011-2のカム面1381-2と係合
し、ラッチプレート1011-2を突出位置から引っ込み位置
に移動させる。
ラッチプレート1011-2及びカム機構103がラッチ位置
にあるとき、カムローブ1361-2はカム機構103の回転軸
線と整合した状態にある。従って、ラッチプレート101
1-2を突出位置から引っ込み位置に移動させようとする
あらゆる力は、カム機構103をラッチ位置から回転させ
ようとするトルクを何ら発生させることなく、カム機構
103の回転軸線を介してカムローブ1361-2に沿って伝達
される。従って、カムローブ1361-2は、ラッチの第２作
動段の間及びラッチ機構がラッチ位置にあるときの両期
間において、ラッチプレート101を物理的に突出位置に
維持して、ラッチが直線的衝撃を受けたときに解放され
ないようにする。
にあるとき、カムローブ1361-2はカム機構103の回転軸
線と整合した状態にある。従って、ラッチプレート101
1-2を突出位置から引っ込み位置に移動させようとする
あらゆる力は、カム機構103をラッチ位置から回転させ
ようとするトルクを何ら発生させることなく、カム機構
103の回転軸線を介してカムローブ1361-2に沿って伝達
される。従って、カムローブ1361-2は、ラッチの第２作
動段の間及びラッチ機構がラッチ位置にあるときの両期
間において、ラッチプレート101を物理的に突出位置に
維持して、ラッチが直線的衝撃を受けたときに解放され
ないようにする。
ラッチの第２作動段により、ナイフエッジ118とガス
ケット120とを係合させる強力なクランプ力が発生さ
れ、これにより、ポッド18の内部領域21が外部条件の影
響を受けないように防止するシールが形成される。例え
ば、このシールにより、微粒状物質や水分が内部領域21
内に入ることが防止される。また、このシールにより、
内部領域21を真空引きして不活性ガスの埋め戻し（バッ
クフィル）を行うことが可能になる。クランプ力は、１
インチ当たり約１ポンド（約0.18kg/cm）である。この
クランプ力は、ラッチプレート1011-2を僅かに曲げるこ
とにより調節することができる。この曲げは、厚さ0.12
5インチ（約3.18mm）のアルミニウム合金（例えば7075
−T6）で形成されるラッチプレート1011-2について設計
可能である。
ケット120とを係合させる強力なクランプ力が発生さ
れ、これにより、ポッド18の内部領域21が外部条件の影
響を受けないように防止するシールが形成される。例え
ば、このシールにより、微粒状物質や水分が内部領域21
内に入ることが防止される。また、このシールにより、
内部領域21を真空引きして不活性ガスの埋め戻し（バッ
クフィル）を行うことが可能になる。クランプ力は、１
インチ当たり約１ポンド（約0.18kg/cm）である。この
クランプ力は、ラッチプレート1011-2を僅かに曲げるこ
とにより調節することができる。この曲げは、厚さ0.12
5インチ（約3.18mm）のアルミニウム合金（例えば7075
−T6）で形成されるラッチプレート1011-2について設計
可能である。
クランプ力の付与によりボックス扉32に局部的な曲が
りすなわち変形が生じないようにするため、クランプ荷
重が分散される。クランプ力を分散させる１つの手法
は、各ラッチプレート1011-2に多数のラッチアーム108
1-4を使用することである。ラッチアーム1081-4は、ボ
ックス扉32の中央から縁部の端に至る距離の1/2の位置
に配置されている。第５図に示すように、幅Ｗをもつボ
ックス扉の場合には、両ラッチアームは互いに約W/2の
距離を隔てて、且つボックス扉の縁部から約W/4の距離
を隔てて配置される。
りすなわち変形が生じないようにするため、クランプ荷
重が分散される。クランプ力を分散させる１つの手法
は、各ラッチプレート1011-2に多数のラッチアーム108
1-4を使用することである。ラッチアーム1081-4は、ボ
ックス扉32の中央から縁部の端に至る距離の1/2の位置
に配置されている。第５図に示すように、幅Ｗをもつボ
ックス扉の場合には、両ラッチアームは互いに約W/2の
距離を隔てて、且つボックス扉の縁部から約W/4の距離
を隔てて配置される。
ボックス20（該ボックス20は通常プラスチックで形成
される）のラッチ係合領域を強化するため、ラッチ係合
面1121-8の各対の間に支柱113が設けられている。この
支柱113を収容するため、各ラッチアーム1081-4は、ノ
ッチにより分離されたラッチフィンガ1101-8を有してい
る。支柱113は、ラッチ係合面1121-8の非支持長さを約1
/3のファクタだけ減少させ、且つ２のファクタだけ剪断
領域を増大させる機能を有している。
される）のラッチ係合領域を強化するため、ラッチ係合
面1121-8の各対の間に支柱113が設けられている。この
支柱113を収容するため、各ラッチアーム1081-4は、ノ
ッチにより分離されたラッチフィンガ1101-8を有してい
る。支柱113は、ラッチ係合面1121-8の非支持長さを約1
/3のファクタだけ減少させ、且つ２のファクタだけ剪断
領域を増大させる機能を有している。
第14A図及び第15A図には、縁部（すなわち、支点200
1-4）においてのみ支持されており且つポッド内に保管
されたウェーハの荷重であってボックス扉の面積全体に
わたって均一に分布する荷重（FW1-n）が作用している
ボックス扉の撓みDAを図式的に示すものである。ボック
ス扉の周囲にはシール力FSも作用している。ボックス扉
の長さＬに沿う任意のセクションは梁として取り扱うこ
とができ、梁の中央における最大撓みDAはL3に従って変
化する。荷重が作用する梁の撓み及び応力は、例えばOb
ery及びJones著「機械工学ハンドブック（MACHINERY'S
HANDBOOK）」（1963年、Industrial Press社発行）に記
載されている既知の現象である。撓みDAの量があまりに
も大きいと、ボックス扉とボックスとの間のシールが壊
れてしまうであろう。
1-4）においてのみ支持されており且つポッド内に保管
されたウェーハの荷重であってボックス扉の面積全体に
わたって均一に分布する荷重（FW1-n）が作用している
ボックス扉の撓みDAを図式的に示すものである。ボック
ス扉の周囲にはシール力FSも作用している。ボックス扉
の長さＬに沿う任意のセクションは梁として取り扱うこ
とができ、梁の中央における最大撓みDAはL3に従って変
化する。荷重が作用する梁の撓み及び応力は、例えばOb
ery及びJones著「機械工学ハンドブック（MACHINERY'S
HANDBOOK）」（1963年、Industrial Press社発行）に記
載されている既知の現象である。撓みDAの量があまりに
も大きいと、ボックス扉とボックスとの間のシールが壊
れてしまうであろう。
第14B図及び第15B図には、本発明によるボックス扉の
最大撓みDBが、縁部のみにおいて支持されたボックス扉
の撓みDAに比べ大幅に減少していることが図式的に示さ
れている。本発明のボックス扉においては、ウェーハの
荷重（FW）及びボックス扉に作用するシール力（FS）
は、ラッチプレート支持体1051-6の位置で支持される。
長さＬに沿うボックス扉の各セクションを梁として取り
扱えば、中央での最大撓みDBはB2（B2−A2）/Lに従って
変化する。ボックス扉の片持ち部分にシール力FSを付与
すると、ウェーハの重量により生じるボックス扉の撓み
を生じさせる方向とは逆向きに作用する。本発明のボッ
クス扉の最大撓みDBは撓みDAのほぼ1/10になるように決
定されている。ボックス扉32の幅に沿ってラッチプレー
ト支持体105が分散配置されているため、幅方向に沿う
撓みが防止される。
最大撓みDBが、縁部のみにおいて支持されたボックス扉
の撓みDAに比べ大幅に減少していることが図式的に示さ
れている。本発明のボックス扉においては、ウェーハの
荷重（FW）及びボックス扉に作用するシール力（FS）
は、ラッチプレート支持体1051-6の位置で支持される。
長さＬに沿うボックス扉の各セクションを梁として取り
扱えば、中央での最大撓みDBはB2（B2−A2）/Lに従って
変化する。ボックス扉の片持ち部分にシール力FSを付与
すると、ウェーハの重量により生じるボックス扉の撓み
を生じさせる方向とは逆向きに作用する。本発明のボッ
クス扉の最大撓みDBは撓みDAのほぼ1/10になるように決
定されている。ボックス扉32の幅に沿ってラッチプレー
ト支持体105が分散配置されているため、幅方向に沿う
撓みが防止される。
本発明のラッチ機構80は、ボックス20のベースの周囲
を遮蔽する必要（従ってボックス20内の「清浄な」環境
へのアクセス領域を無くす必要）は全くない。また、ラ
ッチ機構80の全体がボックス扉32内に収容されているた
め、ボックス20の浄化を容易に行うことができる。ま
た、ラッチ機構80に対する無用な操作は事実上なくな
る。これは、ラッチプレート101を突出位置から引っ込
み位置に移動させようとする力ではカム機構103を回転
できないという事実、及びカム機構103がボックス扉32
のキャビティ124内に収容されているため、正当な権限
のない者はカム孔132内に道具を挿入してカム機構103を
回転させる必要があるという事実による。従って、カム
機構103が回転される前に作動させなくてはならないイ
ンターロックシステム及び／又はカム機構103が回転さ
れる前に挿入しなければならない機械的キーを使用して
のアクセスが制限される。
を遮蔽する必要（従ってボックス20内の「清浄な」環境
へのアクセス領域を無くす必要）は全くない。また、ラ
ッチ機構80の全体がボックス扉32内に収容されているた
め、ボックス20の浄化を容易に行うことができる。ま
た、ラッチ機構80に対する無用な操作は事実上なくな
る。これは、ラッチプレート101を突出位置から引っ込
み位置に移動させようとする力ではカム機構103を回転
できないという事実、及びカム機構103がボックス扉32
のキャビティ124内に収容されているため、正当な権限
のない者はカム孔132内に道具を挿入してカム機構103を
回転させる必要があるという事実による。従って、カム
機構103が回転される前に作動させなくてはならないイ
ンターロックシステム及び／又はカム機構103が回転さ
れる前に挿入しなければならない機械的キーを使用して
のアクセスが制限される。
好ましい実施例及び図面に関連して述べた上記説明か
ら、当業者には本発明の多くの特徴及び利点が明らかに
なったであろう。従って、本発明の範囲内に含まれるあ
らゆる変更及び均等物は、本願の特許請求の範囲の記載
によりカバーされる。
ら、当業者には本発明の多くの特徴及び利点が明らかに
なったであろう。従って、本発明の範囲内に含まれるあ
らゆる変更及び均等物は、本願の特許請求の範囲の記載
によりカバーされる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ローゼンキスト フレデリッグ セオド ア アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94062 レッドウッド シティー キャ ニオン ロード 738 (56)参考文献 特開 昭62−222625（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−237233（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−136339（ＪＰ，Ｕ) 特表 昭61−502994（ＪＰ，Ａ) 特表 昭63−503260（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68
Claims (12)
- 【請求項１】シール可能且つ輸送可能な容器において、 内部領域及び第１シール面を備えたボックスと、 周縁部及び第２シール面を備えたボックス扉とを有して
おり、第２シール面は、ボックス扉がシール方向に移動
されると第１シール面と係合するようになっており、 ラッチ手段を更に有しており、該ラッチ手段が、ボック
スに対するボックス扉の運動を許容する第１位置と、ボ
ックスに対するボックス扉の運動を制限する第２位置と
の間で第１方向の非こすり運動を行い、且つ前記第２位
置と、ボックス扉の前記周縁部から間隔を隔てた位置に
おいて前記ラッチ手段がボックス扉を支持して該ボック
ス扉が撓まないようにする第３位置との間で第２方向の
非こすり運動を行なって、ボックス扉をシール方向に移
動させ且つ第１シール面と第２シール面とを接触させる
ことを特徴とするシール可能且つ輸送可能な容器。 - 【請求項２】シール可能且つ輸送可能な容器において、 内部領域及び第１シール面を備えたボックスと、 第２シール面を備えたボックス扉とを有しており、第２
シール面は、ボックス扉がシール方向に移動されると第
１シール面と係合するようになっており、 ラッチ手段を更に有しており、該ラッチ手段が、 前記内部領域内でラッチ手段とボックス又はボックス扉
とがこすれ接触することなく、ボックスに対するボック
ス扉の運動を許容する第１位置とボックスに対するボッ
クス扉の運動を制限する第２位置との間で第１方向に直
線運動でき、且つ、 前記内部領域内でラッチ手段とボックス又はボックス扉
とがこすれ接触することなく、前記第２位置と第３位置
との間で第２方向に枢動して、ボックス扉をシール方向
に移動させ、第１シール面と第２シール面とを接触させ
ることを特徴とするシール可能且つ輸送可能な容器。 - 【請求項３】シール可能且つ輸送可能な容器において、 第１シール面を備えたボックスと、 周縁部及び第２シール面を備えたボックス扉とを有して
おり、第２シール面は、ボックス扉がシール方向に移動
されると第１シール面と係合するようになっており、 ラッチ手段を有しており、該ラッチ手段が、ボックスに
対してボックス扉が移動されるときにラッチ手段がボッ
クスと係合しない第１位置と、ラッチ手段がボックスに
対するボックス扉の運動を制限する第２位置との間で第
１方向に移動できるようにボックス扉に取り付けられて
いて、前記第１位置から第２位置へのラッチ手段の運動
が該ラッチ手段とボックスとの間の滑り接触なくして行
われ、ラッチ手段が更に、前記第２位置から、ラッチ手
段がボックスに接触し且つボックス扉の前記周縁部から
間隔を隔てた位置においてボックス扉を支持してボック
ス扉の撓みを防止する第３位置に向かう第２方向に移動
できるようにボックス扉に取り付けられていて、該ラッ
チ手段とボックスとの間の滑り接触なくしてボックス扉
をシール方向に移動させ、 ラッチ手段を前記第１位置から第２位置に移動させ且つ
ラッチ手段を第２位置から第３位置に移動させるラッチ
作動手段を更に有していることを特徴とするシール可能
且つ輸送可能な容器。 - 【請求項４】前記ラッチ手段が第１ラッチ部材及び第２
ラッチ部材を備えており、 前記ラッチ作動手段がボックス扉内で中央に配置されて
おり且つ前記第１及び第２ラッチ部材の両方を移動させ
ることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の容器。 - 【請求項５】標準機械式インターフェース（SMIF）ポッ
ドにおいて、 内部領域、第１シール面、及び少なくとも２つのラッチ
係合面を備えたボックスと、 第２シール面を備えたボックス扉と、 ボックス扉がボックスに対してシール方向に移動される
ときに、前記内部領域を周囲の圧力条件から隔絶するシ
ールを形成すべく前記第１及び第２シール面と係合する
手段と、 ボックス扉に設けられた第１及び第２ラッチ部材とを有
しており、各ラッチ部材が、少なくとも２つのボックス
係合部分を備えており且つ非係合位置と、第１係合位置
と、第２係合位置との間で移動でき、ラッチ部材が、前
記非係合位置から前記第１係合位置へとボックスに接触
することなく移動でき、前記第１係合位置から前記第２
係合位置へのラッチ部材の移動により、該ラッチ部材が
少なくとも２つのラッチ係合面に対してこすれることな
く、ラッチ部材の前記少なくとも２つのボックス係合部
分と前記少なくとも２つのラッチ係合面のそれぞれとが
接触され且つボックス扉がシール方向に移動され、 ボックス扉の中央に配置された２段カム手段を更に有し
ており、該２段カム手段が、第１独立作動段において前
記ラッチ部材を前記非係合位置から前記第１係合位置に
移動させ、且つ第２独立作動段において前記ラッチ部材
を前記第１係合位置から前記第２係合位置に移動させる
ことを特徴とする標準機械式インターフェースポッド。 - 【請求項６】前記ラッチ部材が前記第１係合位置にある
とき、ラッチ部材がボックスと接触し、 前記ラッチ部材が前記第２係合位置にあるとき、ラッチ
部材が、ボックス扉の周囲から間隔を隔てた位置にボッ
クス扉を支持してボックス扉の撓みを防止することを特
徴とする請求の範囲第５項に記載のシール可能且つ輸送
可能な容器。 - 【請求項７】加工すべき物品の清浄度を維持する輸送可
能な容器において、 物品を収容する内部空間を形成するボックスを有してお
り、該ボックスがボックスシール面と複数のラッチ面と
を備えており、 ボックス扉シール面を備えたボックス扉と、 ボックス扉がボックスに対してシール方向に移動すると
き、周囲の圧力条件から内部領域を隔絶するシールを形
成すべく、ボックスシール面及びボックス扉シール面と
係合する手段と、 前記ラッチ面のそれぞれに対応する複数のラッチアーム
を有しており、各ラッチアームが、ボックス係合部分を
備えており且つ前記複数のラッチアームの各々がボック
ス扉内に完全に収容される引っ込み位置と前記複数のラ
ッチアームの各々のボックス係合部分が前記複数のラッ
チ面のそれぞれに隣接して配置される突出位置との間で
ボックスに接触することなく移動できるように、且つ前
記複数のラッチ面に対して前記複数のラッチアームがこ
すれることなく前記突出位置とラッチ位置との間で移動
できるようにボックス扉に取り付けられており、 直線運動及び枢動運動できるように、前記複数のラッチ
アームをボックス扉に支持する第１手段と、 ボックス扉シール面にほぼ平行な第１平面内の実質的な
直線運動により、前記複数のラッチアームを引っ込み位
置から突出位置に移動させ且つ前記複数のラッチアーム
を突出位置からラッチ位置まで枢動させる第２手段とを
更に有しており、前記複数のラッチアームのボックス係
合部分が前記第１平面にほぼ垂直な方向に移動して、ボ
ックス扉をシール方向に移動させることを特徴とする加
工すべき物品の清浄度を維持する輸送可能な容器。 - 【請求項８】前記複数のラッチアームが、第１ラッチア
ーム及び第２ラッチアームを備えており、 前記第１手段が、ボックス扉の周囲から間隔を隔てた位
置においてボックス扉に設けられた第１群及び第２群の
ラッチアーム支持部材を備えており、 前記第１群のラッチアーム支持部材が前記第１ラッチア
ームを支持しており、 前記第２群のラッチアーム支持部材が前記第２ラッチア
ームを支持していることを特徴とする請求の範囲第７項
に記載の輸送可能な容器。 - 【請求項９】前記第２手段が２段ロータリカムを有して
おり、該２段ロータリカムが少なくとも２つの第１段カ
ム面及び少なくとも２つの第２段カム面とを備えてお
り、前記２段ロータリカムがボックス扉の中央において
回転可能に取り付けられていて、該２段ロータリカムの
第１位置から第２位置への回転により、前記少なくとも
２つの第１段カム面のそれぞれが前記それぞれのラッチ
アームと係合され且つそれぞれのラッチアームを引っ込
み位置から突出位置へと移動させ、且つ、前記第２位置
から第３位置への前記２段ロータリカムの回転により、
少なくとも２つの第２段カム面のそれぞれが前記それぞ
れのラッチアームと係合され且つそれぞれのラッチアー
ムを突出位置からラッチ位置へと枢動させることを特徴
とする請求の範囲第７項に記載の輸送可能な容器。 - 【請求項１０】加工すべき物品の清浄度を維持するSMIF
システムにおいて、 物品を収容する内部空間を形成するSMIFポッドを有して
おり、該SMIFポッドが、 第１及び第２のボックストップシール面及びラッチ面を
備えたボックスと、 ボックス扉シール面を備えたボックス扉と、 ボックス扉がボックスに対してシール方向に移動される
ときに、前記内部空間を周囲の圧力条件から隔絶するシ
ールを形成すべく、前記第１ボックストップシール面及
びボックス扉シール面と係合するガスケットと、 ラッチアームとを有しており、該ラッチアームの各々が
ボックス係合部分を備えており、各ラッチアームが、ラ
ッチアームがボックス扉内に完全に収容される引っ込み
位置と、ラッチアームのボックス係合部分が前記ラッチ
面のそれぞれに隣接して配置される突出位置との間をボ
ックスに接触することなく移動できるように、且つ前記
突出位置とラッチ位置との間を移動できるようにボック
ス扉に取り付けられており、 直線運動及び枢動運動できるようにラッチアームをボッ
クス扉に支持する第１手段と、 ラッチアームを引っ込み位置から突出位置まで直線的に
移動させ、且つラッチアームを突出位置からラッチ位置
まで枢動させる第２手段とを更に有しており、ラッチア
ームのボックス係合部分がボックス扉をシール方向に移
動させて第１シールを形成し、 第１及び第２のポートプレートシール面を備えたポート
プレートを有しており、第１ポートプレートシール面が
第２ボックストップシール面とシール係合して第２シー
ルを形成し、 第２ポートプレートシール面とシール係合して第３シー
ルを形成する第１ポート扉シール面を備えたポート扉を
更に有しており、前記ポート扉が前記第２手段を作動さ
せる手段を備えていることを特徴とする加工すべき物品
の清浄度を維持するSMIFシステム。 - 【請求項１１】前記内部空間と周囲の外部との間でボッ
クスに連通している導管手段と、 該導管手段を通る流体を濾過する濾過手段とを更に有し
ていることを特徴とする請求の範囲第10項に記載のSMIF
システム。 - 【請求項１２】加工すべき物品の清浄度を維持するSMIF
システムにおいて、 物品を収容する内部空間を形成するボックスを有してお
り、該ボックスが第１及び第２のボックストップシール
面及びラッチ係合面を備えており、 第１ボックストップシール面とシール係合して第１シー
ルを形成する第１ボックス扉シール面を備えたボックス
扉と、 ボックス扉をボックストップにラッチするボックス扉ラ
ッチ手段とを有しており、該ボックス扉ラッチ手段の操
作により前記第１シールの形成及び解除が行われ、ボッ
クス扉ラッチ手段が、 ボックス扉に設けられたラッチプレートを有しており、
該ラッチプレートが少なくとも２つのボックス係合部分
を備えており且つ非係合位置と、第１係合位置と、第２
係合位置との間で移動でき、前記第１係合位置から前記
第２係合位置へのラッチプレートの移動により、ラッチ
プレートの少なくとも２つのボックス係合部分がラッチ
係合面に接触して、ボックスの内部領域に向けてボック
ス扉を移動させ、且つ前記第１及び第２シール面を一体
に押圧して前記内部領域を周囲の圧力条件から隔絶する
シールを形成し、 ２段カム手段を有しており、該２段カム手段が、第１独
立作動段において、ラッチプレートをボックスに接触さ
せることなく、前記ラッチプレートを前記非係合位置か
ら前記第１係合位置に移動させ、且つ第２独立作動段に
おいて、前記ラッチプレートを前記第１係合位置から前
記第２係合位置に移動させ、 前記内部空間と周囲の外部との間でボックスに連通して
いる導管手段と、 該導管手段を通る流体を濾過する濾過手段と、 加工ステーションとを有しており、該加工ステーション
が、 第１及び第２のポートプレートシール面を備えたポート
プレートを有しており、第１ポートプレートシール面が
第２ボックストップシール面とシール係合して第２シー
ルを形成し、 第２ポートプレートシール面とシール係合して第３シー
ルを形成する第１ポート扉シール面を備えたポート扉を
有しており、前記ポート扉が前記ボックス扉ラッチ手段
を付勢する手段を備えており、 前記濾過手段を通して流体をボックスから出入りさせる
流体移動手段を更に有しており、該流体移動手段は、こ
れが付勢されたときに、前記導管手段と連通している流
体を移動させて前記内部空間を交互に減圧又は加圧する
ことを特徴とする加工すべき物品の清浄度を維持するSM
IFシステム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/354,027 US4995430A (en) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | Sealable transportable container having improved latch mechanism |
| US354,027 | 1989-05-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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